JPH10298692A - 高強度・高精度枠形状部材およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ペリクルフレームなどの高精度、高強度が要
求される枠形状部材として、切削加工後の寸法精度が確
実かつ安定して高い部材を提供する。 【解決手段】 析出硬化されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金
からなり、かつ１μｍ以上の分散粒子の平均径が６μｍ
未満である枠形状部材。かつ１μｍ以上の分散粒子の平
均径が６〜２５μｍであって、しかも６μｍ以上の全分
散粒子のうち６６％以上の粒子の最長方向がある軸を中
心とする３次元３０°以内に含まれることがないような
枠形状部材。鋳塊もしくは粉末成形体または急冷堆積体
に１回以上の熱間塑性加工を施して作製した素材に、４
００〜５００℃の範囲内で溶体化処理を施した後、２０
〜８０℃の水中に焼入れし、その後１〜５％の圧縮加工
により残留応力除去を行なった後、さらに時効析出処理
を施してから切削加工を施して枠形状とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、高精度および高
強度が要求されるアルミニウム合金製の枠形状を有する
部材、特に半導体製造において用いられるペリクルフレ
ームに最適なＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる枠形状部
材およびその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】析出硬化されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金
は高強度を有するところから、従来から各種の膜を保持
するための枠として用いられており、その代表例として
は、半導体製造設備の半導体回路転写装置（ステッパ
ー）においてペリクル膜を保持するためのペリクルフレ
ームがある。ペリクル膜は、半導体回路の原版であるフ
ォトマスクに対する防塵膜として用いられるものであっ
て、半導体回路転写工程の歩留りに対して大きな影響を
有する。そしてペリクル膜を保持するためのペリクルフ
レームは、中空の枠形状を有する部材であって、圧延材
もしくは押出材からなる素材にＮＣ加工機等により切削
加工を施して枠形状とし、さらに光の反射を防ぐために
黒色に染色アルマイト処理を施して使用されるのが通常
である。

【０００３】ここで、Ａｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金を素材と
して用いる場合、高強度を達成するべく析出硬化させる
必要があるが、そのためには素材の製造工程中におい
て、溶体化処理−焼入れ−時効処理の一連の熱処理を行
なう必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ペリクルフレームに
は、高い寸法精度と高強度とが要求されることが知られ
ており、これらのうち特に高い寸法精度、とりわけ平坦
度が重要とされている。すなわち、ペリクルフレームの
平坦度が悪ければ、密閉性を確保することができず、ペ
リクル膜が防塵の役割を果たすことができなくなる。ま
た高強度については、使用中の歪やキズの発生を防止す
るために必要であるばかりでなく、切削加工中における
歪の発生を防止して、高い寸法精度を実現するためにも
必要である。

【０００５】ところでペリクルフレームは、前述のよう
に主に析出硬化されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金の押出材
もしくは圧延材を素材とし、切削加工およびアルマイト
処理により製造されるが、この場合切削加工後の平坦度
などの寸法精度の点で問題が生じやすく、そのため切削
加工の後あるいは切削加工に引続いてアルマイト処理を
施した後に、作業員が手作業で形状の手直しを行なう必
要が生じることが多い。このような手作業による手直し
作業の必要性が生じることは、製造の安定性が欠けるこ
とを意味し、また製造能率の点からも好ましいとは言え
ない。

【０００６】特に素材として析出硬化されたＡｌ−Ｚｎ
−Ｍｇ系合金を用いる場合、素材の製造工程中において
は既に述べたように溶体化処理−焼入れ−時効処理の一
連の熱処理が必要となるが、焼入れの際には焼入れ歪が
生じるから、焼入後の時効処理前あるいは時効処理後に
歪矯正加工を行なうのが通常である。この歪矯正加工
は、引張等の変形を与えて歪みを除去するものである
が、このような歪矯正加工を行なって素材外形の歪みを
除去しても、その後の切削加工時に改めて部材の歪みが
生じることがあり、これは材料内部の残留応力によるも
のと考えられる。したがって切削加工後の寸法精度を向
上させるためには、残留応力による切削加工時における
歪みの発生を低減することが必要であると考えられる
が、従来はこの点については充分な検討がなされておら
ず、そのため前述のように切削加工後に高い寸法精度を
有するペリクルフレームを安定して確実に得ることが困
難であったのである。

【０００７】この発明は以上の事情を背景としてなされ
たもので、ペリクルフレームで代表されるＡｌ−Ｚｎ−
Ｍｇ系合金からなる枠形状部材として、切削加工後、さ
らにはアルマイト処理後の寸法精度が高くしかも高強度
を有する枠形状部材を提供することを目的とするもので
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、枠形状部
材の素材自体の特性として残留応力が生じにくい状態に
適切に制御することにより、切削加工後の歪みの少ない
高強度Ａｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金を製造する方策を見出す
べく、種々実験・検討を重ねたところ、素材中の分散粒
子、すなわち晶出物および析出物のうち、比較的粒径が
大きい粒子の分散態様が残留応力に影響を及ぼし、切削
加工後の寸法精度に大きな影響を与えることを見出し
た。そしてさらに研究を重ねた結果、素材の成分組成を
適切に定めるばかりでなく、比較的大きい分散粒子の平
均径を適切に制御するかまたは比較的大きい分散粒子の
方向性を適切に分散させることによって、切削加工後の
寸法精度が高いＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる枠形状
部材を安定して得ることができることを見出し、この発
明をなすに至った。

【０００９】すなわち請求項１〜請求項４の発明の枠形
状部材は、合金の成分組成を適切に定めると同時に、組
織中の分散粒子のうち、比較的大きい粒子の平均径を適
切に規制したものであり、また請求項５〜請求項８の発
明の枠形状部材は、合金の成分組成を適切に定めると同
時に、組織中の分散粒子のうち、比較的大きい粒子の最
長方向を適切に分散させるようにしたものである。

【００１０】具体的には、請求項１の発明の枠形状部材
は、Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％を含
有し、残部がＡｌおよび不可避的不純物よりなり、析出
硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材で
あって、しかも組織中の分散粒子のうち、粒径１μｍ以
上の粒子の平均径が６μｍ未満であることを特徴とする
ものである。

【００１１】また請求項２の発明の枠形状部材は、Ｚｎ
２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％、Ｃｕ０．５
〜４ｗｔ％を含有し、残部がＡｌおよび不可避的不純物
よりなり、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金
からなる部材であって、しかも組織中の分散粒子のう
ち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ未満である
ことを特徴とするものである。

【００１２】そしてまた請求項３の発明の枠形状部材
は、Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％を含
有し、さらにＭｎ０．０５〜０．９ｗｔ％、Ｃｒ０．０
５〜０．６ｗｔ％、Ｚｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｖ
０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｎｉ０．０５〜０．６ｗｔ％
およびＣｏ０．０５〜０．６ｗｔ％のうちから選ばれた
１種または２種以上を含有し、残部がＡｌおよび不可避
的不純物よりなり、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍ
ｇ系合金からなる部材であって、しかも組織中の分散粒
子のうち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ未満
であることを特徴とするものである。

【００１３】さらに請求項４の発明の枠形状部材は、Ｚ
ｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％、Ｃｕ０．
５〜４ｗｔ％を含有し、さらにＭｎ０．０５〜０．９ｗ
ｔ％、Ｃｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｚｒ０．０５〜
０．６ｗｔ％、Ｖ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｎｉ０．０
５〜０．６ｗｔ％およびＣｏ０．０５〜０．６ｗｔ％の
うちから選ばれた１種または２種以上を含有し、残部が
Ａｌおよび不可避的不純物よりなり、析出硬化処理され
たＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材であって、しか
も組織中の分散粒子のうち、粒径１μｍ以上の粒子の平
均径が６μｍ未満であることを特徴とするものである。

【００１４】また請求項５の発明の枠形状部材は、Ｚｎ
２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％を含有し、残
部がＡｌおよび不可避的不純物よりなり、析出硬化処理
されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材であって、
しかも組織中の分散粒子のうち、粒径１μｍ以上の粒子
の平均径が６μｍ以上２５μｍ以下であり、かつ粒径６
μｍ以上の全分散粒子のうち６６％以上の粒子の最長方
向がある方向軸を中心とする３次元での３０°以内に含
まれることがないことを特徴とするものである。

【００１５】そしてまた請求項６の発明の枠形状部材
は、Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％、Ｃ
ｕ０．５〜４ｗｔ％を含有し、残部がＡｌおよび不可避
的不純物よりなり、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍ
ｇ系合金からなる部材であって、しかも組織中の分散粒
子のうち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ以上
２５μｍ以下であり、かつ粒径６μｍ以上の全分散粒子
のうち６６％以上の粒子の最長方向がある方向軸を中心
とする３次元での３０°以内に含まれることがないこと
を特徴とするものである。

【００１６】さらに請求項７の発明の枠形状部材は、Ｚ
ｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％を含有し、
さらにＭｎ０．０５〜０．９ｗｔ％、Ｃｒ０．０５〜
０．６ｗｔ％、Ｚｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｖ０．０
５〜０．６ｗｔ％、Ｎｉ０．０５〜０．６ｗｔ％および
Ｃｏ０．０５〜０．６ｗｔ％のうちから選ばれた１種ま
たは２種以上を含有し、残部がＡｌおよび不可避的不純
物よりなり、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合
金からなる部材であって、しかも組織中の分散粒子のう
ち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ以上２５μ
ｍ以下であり、かつ粒径６μｍ以上の全分散粒子のうち
６６％以上の粒子の最長方向がある方向軸を中心とする
３次元での３０°以内に含まれることがないことを特徴
とするものである。

【００１７】さらにまた請求項８の発明の枠形状部材
は、Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５ｗｔ％、Ｃ
ｕ０．５〜４ｗｔ％を含有し、さらにＭｎ０．０５〜
０．９ｗｔ％、Ｃｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｚｒ０．
０５〜０．６ｗｔ％、Ｖ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｎｉ
０．０５〜０．６ｗｔ％およびＣｏ０．０５〜０．６ｗ
ｔ％のうちから選ばれた１種または２種以上を含有し、
残部がＡｌおよび不可避的不純物よりなり、析出硬化処
理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材であっ
て、しかも組織中の分散粒子のうち、粒径１μｍ以上の
粒子の平均径が６μｍ以上２５μｍ以下であり、かつ粒
径６μｍ以上の全分散粒子のうち６６％以上の粒子の最
長方向がある方向軸を中心とする３次元での３０°以内
に含まれることがないことを特徴とするものである。

【００１８】以上のように請求項１〜請求項８の発明に
おいては、素材合金として析出硬化処理されたＡｌ−Ｚ
ｎ−Ｍｇ系合金を用いる必要がある。このように析出硬
化処理されたものであることが必要である理由は、高強
度化を図って、切削加工時の工具との接触時の歪みを排
除して、切削加工後の寸法精度を向上させ、また使用時
における歪みや傷の発生を防止するためである。

【００１９】このようなＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金の成分
組成の限定理由を以下に説明する。

【００２０】Ｚｎ：ＺｎはＭｇとともに析出硬化のため
に必要な必須元素であり、Ｚｎ量が２．５ｗｔ％未満で
は充分な析出硬化による強度上昇が図られず、切削加工
後の寸法精度も低下し、一方Ｚｎ量が９ｗｔ％を越えれ
ば鋳造性や加工性が低下するから、Ｚｎ量は２．５〜９
ｗｔ％の範囲内とすることが必要である。

【００２１】Ｍｇ：ＭｇもＺｎとともに析出硬化のため
に必要な必須元素であり、Ｍｇ量が０．５ｗｔ％未満で
は充分な析出硬化による温度上昇が図られず、切削加工
後の寸法精度も低下し、一方Ｍｇ量が５ｗｔ％を越えれ
ば鋳造性や加工性が低下するから、Ｍｇ量は０．５〜５
ｗｔ％の範囲内とすることが必要である。

【００２２】Ｃｕ；Ｃｕは請求項２、請求項４、請求項
６、請求項８の枠形状部材の素材合金において添加され
る元素であって、固溶強化により強度向上に寄与する。
Ｃｕ添加量が０．５ｗｔ％未満では強度向上の効果が充
分に得られず、一方４ｗｔ％を越えれば鋳造性や加工性
が低下するから、Ｃｕ量は０．５〜４ｗｔ％の範囲内と
することが必要である。

【００２３】Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｉ，Ｃｏ：これ
らの元素は、請求項３、請求項４、請求項７、請求項８
の枠形状部材の素材合金においていずれか１種または２
種以上が添加される。これらは、いずれも結晶粒の微細
化に寄与するが、それぞれ下限未満では結晶粒微細化の
効果が充分に得られず、一方それぞれ上限を越えれば粗
大な晶出物が生成されやすくなるから、それぞれ前述の
範囲内とすることが必要である。

【００２４】そのほか一般のアルミニウム合金において
は、鋳塊の組織の微細化のために微量のＴｉを単独で、
あるいはＴｉをＢと組合せて添加することが多いが、こ
の発明の場合もＴｉを単独であるいはＢと組合せて添加
しても良い。但しＴｉ量、Ｂ量はいずれも０．０５ｗｔ
％未満とすることが望ましい。

【００２５】さらに通常のアルミニウム合金において
は、不純物としてＦｅ，Ｓｉが含有されるが、この発明
の場合それぞれ０．５ｗｔ％未満であれば特に支障はな
い。

【００２６】さらに請求項１〜請求項４の発明において
は、組織中の分散粒子のうち粒子径１μｍ以上の粒子の
平均粒径が６μｍ未満であることを規定し、一方請求項
５〜請求項８の発明においては、組織中の分散粒子のう
ち粒子径１μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ以上２５μ
ｍ以下であってかつ粒径６μｍ以上の全分散粒子のうち
６６％以上の粒子の最長方向がある方向軸を中心とする
３次元での３０°以内に含まれることがないことを規定
している。

【００２７】ここで、組織中の分散粒子には、晶出物お
よび析出物が含まれるが、一般に晶出物の方が析出物よ
り粒径が大きく、そこでこの発明では主として晶出物が
対象となる。なおこの発明において分散粒子の粒径は、
各方向の断面で観察した各分散粒子の面積と等しい面積
を有する円に置き換えた場合の円の直径、すなわち円相
当径を意味するものとし、これは３次元各方向の断面組
織についての画像解析処理によって容易に調べることが
できる。また分散粒子の最長方向についても、同様に３
次元各方向断面組織の画像解析処理によって容易に調べ
ることができる。またこの発明における分散粒子の規定
は、最終的な枠形状部材の状態での組織観察によって判
定されるものであるが、この発明の場合、特に１μｍ以
上の粒径の分散粒子を対象としているところから、実質
的に溶体化処理−焼入れ以降の素材の分散粒子の状態と
ほぼ等しいと言うことができる。

【００２８】溶体化処理後の焼入れ時、あるいはその後
の歪矯正時には、素材内の比較的粒径が大きい分散粒子
の周囲に局部的な残留応力が生じるが、特に大きい径の
分散粒子の長軸方向（最長方向）が一定の方向に揃って
いれば、素材全体に異方性が生じて、最終の切削加工時
に残留応力の解放による歪みが生じやすい。しかしなが
ら、分散粒子の平均径が６μｍ未満であれば、上述のよ
うな歪みは実質上無視できる程度に小さいため、切削加
工後の寸法精度を良好に保つことができ、そこで請求項
１〜請求項４の発明においては分散粒子の平均径を６μ
ｍ未満に限定することとした。なお粒径が１μｍ未満の
分散粒子は、粒径の測定に困難を伴なうことが多く、ま
たそもそも残留応力に影響を及ぼすことはないから、こ
の発明では粒径１μｍ以上の分散粒子について規定する
こととした。

【００２９】一方分散粒子の平均径が６μｍ以上の場
合、前述のように素材内の分散粒子の多くのものの最長
方向がある方向に揃っていれば、素材全体に異方性が生
じて切削加工後の寸法精度が低下する。この点について
詳細に検討を加えた結果、分散粒子の平均径が６μｍ以
上２５μｍ以下であって、かつ粒径が６μｍ以上の全分
散粒子のうち、６６％以上の粒子の最長方向がある方向
軸を中心とする３次元での３０°以内に含まれていなけ
れば、素材全体としての異方性は無視できる程度に小さ
くなり、切削加工後の寸法精度を良好に保ち得ることが
判明した。そこで請求項５〜請求項８の発明において分
散粒子の方向性を上述のように規定した。なお、「粒径
６μｍ以上の全分散粒子のうち６６％以上の粒子の最長
方向がある方向軸を中心とする３次元での３０°以内に
含まれることがない」状態とは、言い換えれば、「ある
方向軸を中心とする３次元での３０°以内の角度域内に
全分散粒子の６６％以上の粒子の最長方向が含まれるよ
うな方向軸が存在しない」状態とも表現することができ
る。

【００３０】ここで、分散粒子の方向性について概念的
に図１に示す。図１の右側には、ある軸Ｏを中心とする
３次元（立体）での３０°の範囲内の角度域Ａを示す。
図１の左側のＰ₁ 〜Ｐ₁₀は、それぞれ分散粒子を示し、
各分散粒子Ｐ₁ 〜Ｐ₁₀内に付された矢印方向が各粒子の
最長方向を示す（但しこの最長方向は、図１においては
紙面と平行な面内で２次元的に示している）。

【００３１】図１において全分散粒子Ｐ₁ 〜Ｐ₁₀のう
ち、５箇の分散粒子Ｐ₁ ，Ｐ₃ ，Ｐ₅，Ｐ₇ ，Ｐ₉ の最
長方向は３次元３０°以内の角度域Ａ内に含まれてお
り、残りの５箇の分散粒子Ｐ₂ ，Ｐ₄ ，Ｐ₆ ，Ｐ₈ ，Ｐ
₁₀の最長方向は３次元３０°以内の角度域Ａ内に含まれ
ていない。したがってこの場合は、軸Ｏを中心とする３
次元３０°以内に最長方向が含まれる分散粒子は全分散
粒子のうち５０％を占めることとなる。

【００３２】図１から明らかなように、最長方向が軸Ｏ
を中心とする３０°以内の角度域Ａに含まれる分散粒子
の数が多ければ、軸Ｏに沿った方向への方向性が強く、
逆に最長方向が角度域Ａに含まれない分散粒子の数が多
いほど、軸Ｏに沿った方向への方向性は弱いと言うこと
ができる。そして６μｍ以上２５μｍ以下の分散粒子の
うち、６６％以上の粒子の最長方向がある軸を中心とす
る３次元３０°以内の角度域に含まれるような強い方向
性を有する場合には、前述のように切削加工後の寸法精
度が劣ってしまう。一方、そのような軸が素材内のいず
れの方向にも存在しない場合、すなわち分散粒子の方向
性が弱く、分散粒子の最長方向がランダムに分散してい
る場合には、良好な寸法精度を維持することができるの
である。

【００３３】さらに請求項９、請求項１０には、上述の
ような分散粒子条件を満たし、切削加工後の寸法精度が
高い枠形状部材を製造する方法を規定している。

【００３４】すなわち請求項９の発明の製造方法は、請
求項１〜請求項８のいずれかに記載の枠形状部材を製造
するにあたり、前記成分組成の合金からなる鋳塊もしく
は粉末成形体または急冷堆積体に１回以上の熱間塑性加
工を施した後、４００〜５００℃の範囲内で溶体化処理
を施して、２０〜８０℃の水中に焼入れし、その後１〜
５％の圧縮加工により残留応力除去を行ない、さらに時
効析出処理を施してから切削加工を施して枠形状とする
ことを特徴とするものである。

【００３５】また請求項１０の発明の製造方法は、請求
項９に記載の製造方法において、前記１回以上の前記熱
間塑性加工を施すにあたり、圧縮方向を互いに４５〜９
０°異なる方向とした各１回以上の熱間鍛造を含む複数
回の熱間塑性加工を施すことを特徴とするものである。

【００３６】これらの製造方法において、熱間塑性加工
の対象となる元材は、鋳塊、粉末成形体、急冷堆積体の
いずれでも良く、このような元材に対し１回以上の熱間
塑性加工を施す。この１回以上の熱間塑性加工は、鋳塊
等の元材の組織を鍛練し、金属組織をより均一にするた
めに必要な工程である。

【００３７】ここで、主として元材として鋳塊を用いた
場合であってかつ特に粒径１μｍ以上の分散粒子の平均
粒径が６μｍ〜２５μｍの場合において、請求項４〜請
求項８で規定しているように粒径６μｍ以上の分散粒子
の最長方向を分散させるためには、複数回の熱間塑性加
工を行なうにあたり、加工によるマトリックスの塑性流
動と分散粒子の破砕の方向性を適切に制御することが望
ましい。そのためには、第１回目の熱間塑性加工による
結晶粒の展伸を打消す方向で第２回目の熱間塑性加工を
行ない、さらに必要に応じて同様に方向を異ならしめな
がら熱間塑性加工を繰返すことが望ましい。具体的に
は、請求項１０において規定しているように、圧縮方向
を交互に４５〜９０°異ならしめた複数回の鍛造を行な
うことが、分散粒子の最長方向を分散させるために有効
である。

【００３８】溶体化処理は４００〜５００℃の範囲内の
温度で行なう必要がある。溶体化処理温度が４００℃未
満では、析出硬化に寄与する元素の固溶、すなわち溶体
化が不充分となり、最終的に充分な高強度が得られなく
なるおそれがある。一方溶体化処理温度が５００℃を越
えれば、共晶融解などによって材料にフクレや不均質な
部分が生じるおそれがある。

【００３９】溶体化処理後の焼入れは、２０〜８０℃の
水中に投入することによって行なわれる。焼入れ温度が
２０℃未満では、焼入れ時の歪が大きくなり、８０℃を
越えれば、焼入れ冷却速度の低下により充分な機械的強
度が得られなくなる。なお特に焼入れ歪を低減させるた
めには、５０〜８０℃の範囲内の温度の水中に焼入れる
ことが望ましい。

【００４０】焼入れ後には、歪みを矯正するために１〜
５％の圧下率の圧縮加工を施して残留応力除去を行なう
必要かあり、この圧下率が１％未満では充分な残留応力
除去が達成されず、一方５％を越えれば過度の加工によ
り機械的性質の変化が生じて新たな歪みの原因となるお
それがある。

【００４１】

【発明の実施の形態】この発明の枠形状部材において素
材として用いるＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金は、前述のよう
な成分組成を有し、かつ時効処理による析出硬化によっ
て高強度化したものであれば良いが、その強度の目安と
しては、耐力値で２８０ＭＰａ以上であることが望まし
い。耐力値が２８０ＭＰａ未満では切削加工時に材料の
歪みが生じやすく、また使用時においても歪みや傷が発
生しやすくなる。耐力値が２８０ＭＰａ以上であればこ
のような歪みや傷の発生を有効に防止することができ
る。

【００４２】次にこの発明の枠形状部材の製造方法、す
なわち請求項９、請求項１０の発明の方法の実施の形態
について説明する。

【００４３】熱間塑性加工に供される元材としては前述
のように鋳塊もしくは粉末成形体または急冷堆積体が用
いられる。

【００４４】ここで、鋳塊の鋳造方法は特に限定される
ものではないが、ＤＣ鋳造法（半連続鋳造法）あるいは
連続鋳造法で鋳造されたものが適し、また金型鋳造法に
より鋳造された鋳塊も適用可能である。鋳塊に対して
は、熱間塑性加工前に必要に応じて均質化熱処理（均熱
処理）を施しても良く、この場合の加熱条件は４２０〜
５５０℃で３〜２４時間とすることが望ましい。なおこ
の均質化熱処理は、熱間塑性加工のための予備加熱と兼
ねて行なっても良い。さらに、均質化熱処理の前あるい
は後には、鋳塊表面の不良層を除去する目的、あるいは
加工に適した寸法とする目的から、面削や切断を行なっ
ても良い。

【００４５】一方粉末成形体は、アトマイズ法等によっ
て作製された粉末を、冷間あるいは温間プレス（静水圧
プレスを含む）で成形したものである。この粉末成形体
は、熱間塑性加工前に脱ガス処理を施しておくことが望
ましい。この脱ガス処理としては、真空中あるいは不活
性雰囲気中で３５０〜５２０℃×０．５時間以上加熱し
て行なうことが適切である。なお粉末成形体は、製造歩
留りの点からは最終的に得るべき枠形状部材に近い枠形
状、すなわちプリフォームとしておくことが望ましい
が、ビレット等の形状でも支障ない。

【００４６】さらに急冷堆積体は、スプレイデポジショ
ン法によって、噴霧された溶湯液滴を堆積させながら急
冷凝固させたものである。この急冷堆積体の場合も、必
要に応じて鋳塊の場合と同様に熱間塑性加工前に均質化
熱処理を行なっても良い。この場合の均質化熱処理の条
件としては、４２０〜５５０℃×３〜２４時間が適当で
ある。なお鋳塊の場合と同様にこの均質化熱処理は熱間
塑性加工のための予備加熱と兼ねて行なっても良く、さ
らには均質化熱処理の前もしくは後に面削や切断を行な
っても良い。

【００４７】鋳塊、粉末成形体もしくは急冷堆積体に対
しては１回以上の熱間塑性加工を行なうが、この熱間塑
性加工法としては、自由鍛造あるいは型鍛造を含む熱間
鍛造が適当であり、またこれらに熱間圧延や熱間押出を
組合せても良い。なお熱間塑性加工温度は３８０〜５２
０℃が適当である。

【００４８】ここで、熱間塑性加工の元材として急冷堆
積体もしくは粉末成形体を用いる場合は、スプレイデポ
ジション時もしくはアトマイズ等の粉末製造時の凝固冷
却速度が１００℃／ｓｅｃ以上と大きいため、晶出物の
粒径は小さくなりやすく、そのため請求項１〜請求項４
で規定するような１μｍ以上の分散粒子の平均粒径が６
μｍ未満の組織を容易に得ることができる。また鋳塊を
元材として用いた場合も、合金の不純物元素を低減させ
たり、また鋳塊サイズを小さくするなどの手段によって
凝固冷却速度を大きくする等の方策を講じることによ
り、請求項１〜請求項４で規定する分散粒子条件を満た
す組織を得ることは可能である。

【００４９】一方、主に鋳塊を用いた場合であってかつ
粒径１μｍ以上の分散粒子の平均粒径が６μｍ以上２５
μｍ以下の場合、既に述べた如く、請求項１０において
規定したように、熱間鍛造の圧縮方向を交互に４５〜９
０°変えて複数回の鍛造を行なうことが分散粒子の最長
方向の集中を回避して分散させるに有効であるが、その
ための最も簡単な方法としては、自由鍛造もしくは型鍛
造にて、３次元を構成する３軸の２方向もしくは３方向
の圧縮を各１回以上行なう方法が挙げられる。

【００５０】なお特に熱間塑性加工に供する元材として
粉末成形体を用いる場合、熱間塑性加工は、内部を充分
に緻密化して実質的に無気孔の状態とする役割も果た
す。

【００５１】さらに熱間塑性加工においては、最終的に
得るべき枠形状部材に近い形状、すなわちプリフォーム
に加工しても良く、あるいは熱間塑性加工時には平板に
近い形状に加工しておき、溶体化処理前に打ち抜きや切
削加工等を施して最終的な枠形状部材に近い形状のプリ
フォームとしても良く、さらには平板のまま溶体化処理
を施しても良い。

【００５２】熱間塑性加工の後の溶体化処理は、前述の
ように４００〜５００℃で行なえば良いが、その場合の
保持時間は１０〜１００ｍｉｎの範囲内が好ましい。溶
体化処理後の焼入れは、前述のように２０〜８０℃、好
ましくは５０〜８０℃の水中に投入して行ない、その
後、歪矯正のために１〜５％の圧下の圧縮加工によって
残留応力除去を行なう。この圧縮加工は、最終的に得る
べき枠形状部材の厚み方向に圧縮することが望ましい。

【００５３】焼入れ後には、析出硬化のために時効処理
を行なう。この時効処理としては、１００〜１４０℃の
範囲内の温度で１２〜３６時間加熱する人工時効処理を
適用することが適当であり、また任意の時間の自然時効
後に上記の人工時効処理を施しても良い。なお２８０Ｍ
Ｐａ以上の耐力値を得るためには、通常は前述のような
人工時効処理を行なうことが必要であるが、場合によっ
ては自然時効（室温時効）のみによって２８０ＭＰａ以
上の耐力値が得られる場合もあり、その場合は自然時効
のみを行なっても良い。

【００５４】析出硬化後の素材に対しては、ＮＣ切削加
工機などにより切削加工を施して最終的な枠形状とす
る。

【００５５】切削加工後には、必要に応じてアルマイト
処理を施す。すなわち、ペリクルフレームの如く光学的
に無反射であることが要求される場合は、表面を黒色化
する必要があり、そのために染色アルマイト処理、電解
着色アルマイト処理、あるいは自然発色アルマイト処理
による黒色化を行なうのが通常である。

【００５６】以上のようにして、分散粒子の分散状態を
適切に制御することによって、切削加工後の寸法精度が
安定して優れ、また切削加工後にアルマイト処理を行な
う場合はそのアルマイト処理後の寸法精度も安定して優
れた枠形状部材を得ることができる。

【００５７】

【実施例】

実施例１〜６：表１に示される合金符号ａ〜ｆの各合金
について、ＤＣ鋳造法により直径２０３ｍｍの鋳塊を作
成し、長さ１８０ｍｍに切断して元材とした。各元材に
ついて、４５０℃×１０時間の均質化熱処理を施した
後、第１回目の熱間自由鍛造によって直径２８７ｍｍ、
高さ９０ｍｍの円盤状に加工し、次いで第１回目の自由
鍛造の圧縮方向に対し直角な方向に圧縮する第２回目の
熱間自由鍛造を行ない、さらに第３回目の熱間自由鍛造
として、第１回目、第２回目の鍛造の各圧縮方向に対し
直角方向に圧縮する鍛造を行ない、これらの３方向の圧
縮を適宜繰返して、２７０ｍｍ×１６５ｍｍの断面を有
する直方体形状とした。なおこれらの鍛造は、いずれも
鍛造温度４００〜４１０℃で実施した。次いで切断およ
び打抜加工を施して、図２に示すような中央に縦方向に
リブ２を設けた枠状をなす外形寸法１５３ｍｍ×１２６
ｍｍ×８ｍｍのプリフォーム（中間加工材）１とした。
その後、４７０℃×２時間の条件で溶体化処理を行な
い、水温６５℃の水中に焼入れし、さらに厚み方向に３
％の加工を加える冷間圧縮によって歪み矯正を行なっ
た。次いで１２５℃×２５時間の人工時効処理（析出硬
化処理）を行なってＴ６５２テンパーとした。その後、
最終的にＮＣ切削加工を行なって図３に示すような枠形
状の部材３とした。

【００５８】比較例１〜４：表１に示される合金符号ａ
〜ｄの各合金について、実施例１〜６と同様にして鋳塊
作製、均質化熱処理を行なった後、４００℃において熱
間押出を行なって、断面寸法１３５ｍｍ×８ｍｍの押出
材を得た。この押出材に対し、実施例１〜６と同様に切
断および打抜加工を行なって図２に示すプリフォームを
作製し、さらに実施例１〜６と同様に溶体化処理、水焼
入れ、歪み矯正、ＮＣ切削加工を施して図３に示すよう
な枠形状部材を得た。

【００５９】比較例５，６：表１に示される合金符号
ａ，ｂ，の各合金について、熱間押出までは比較例１〜
４と同様に行ない、得られた押出材（断面寸法１３４ｍ
ｍ×８ｍｍ）について、そのまま４７０℃×２時間の条
件で溶体化処理を施してから、水温６５℃の水中に焼入
れした。その後、押出方向に平行に３％の引張加工を加
えて歪み矯正を行ない、次いで１２５℃×２５時間の析
出硬化処理を施してＴ６５１テンパーとし、これを元材
としてＮＣ切削加工を行ない、図３に示す形状、寸法の
枠形状部材とした。

【００６０】以上の実施例１〜６、比較例１〜６によっ
て得られた各枠形状部材について、耐力値を調べるとと
もに、組織中における粒径１μｍ以上の分散粒子の粒径
を調べ、さらに平均粒径が６μｍ以上の場合について、
６μｍ以上の粒径の分散粒子の方向性、すなわち方向軸
の有無を調べた。ここで、方向軸の有無としては、ある
軸を中心とする３次元での３０°以内に粒径６μｍ以上
の分散粒子のうち６６％以上の粒子の最長方向が含まれ
るような方向軸が存在するか否かを調べた。さらにその
ような方向軸が存在する場合について、６μｍ以上の全
分散粒子のうちその方向軸を中心とする３次元３０°以
内の角度域に含まれる粒子の割合を調べた。なお分散粒
子の粒径は、３方向からの断面での画像解析により円相
当径として求め、また分散粒子の最長方向は、同じく３
方向からの画像解析による断面観察によって調べた。

【００６１】また特に実施例１〜４、比較例１，２によ
って得られた枠形状部材については、図２に示すプリフ
ォーム（中間加工材）１を前述のようにＴ６５２テンパ
ー状態とした後、図２中の×印で示す位置に歪ゲーシを
貼着し、中央のリブ２を切落した時の歪みを測定するこ
とにより、ＮＣ加工前の残留応力の大きさを調べた。

【００６２】さらに実施例１〜６、比較例１〜６の各枠
形状部材の寸法精度評価として、厚さ歪みおよび辺歪み
の平均値と最大値とを調べた。ここで、厚さ歪みについ
ては、１０個のサンプルの枠形状部材について、それぞ
れ厚さ方向のゆがみの最も大きな値を厚さ歪みとし、そ
の１０個のサンプルの厚さ歪みの平均値および最大値を
求めた。また辺歪みについては、同じく１０個のサンプ
ルの枠形状部材について、それぞれ基準点Ｐ１，Ｐ２
（図３参照）で決定される外形理想形状からのずれの最
大値を調べて辺歪みとし、その１０個のサンプルの辺歪
みの平均値および最大値を求めた。

【００６３】これらの測定結果を表２に示す。

【００６４】

【表１】

【００６５】

【表２】

【００６６】表２に示すように、この発明の実施例１〜
６による枠形状部材では、いずれも耐力値が２８０ＭＰ
ａを越える高強度を示していた。また組織中の粒径１μ
ｍ以上の分散粒子の平均径がいずれも６μｍを越えてい
たが、分散粒子の最長方向については請求項５〜請求項
８で規定する条件を満たしているため、切削加工後の厚
さ歪み、辺歪みはともに小さく、寸法精度が高いと言う
ことができる。

【００６７】一方比較例１〜６により得られた各枠形状
部材は、いずれも粒径１μｍ以上の分散粒子の粒径が６
μｍを越えているばかりでなく、押出方向を軸とする３
０°の範囲内に６μｍ以上の分散粒子の最長方向が集中
して、請求項５〜請求項８で規定する要件を満たさない
状態となっており、そのため切削加工後の厚さ歪み、辺
歪みが著しく大きくなってしまい、切削加工後の寸法精
度に劣ることが判明した。

【００６８】なお実施例１〜４、比較例１，２について
は残留応力も調べたが、実施例１〜４の場合の残留応力
は、比較例１，２の場合よりも格段に小さく、したがっ
てこのことがこの発明の実施例の枠形状部材における寸
法精度向上に大きく寄与していることが明らかである。

【００６９】実施例７〜１３：表１の合金符号ａ〜ｇの
各合金について粉末成形体を元材として枠形状部材を作
製した。

【００７０】すなわち、窒素アトマイズにより粒径−１
５０メッシュの合金粉を作製し、これを２３０℃にて温
間圧縮し、外形寸法１００×１００×６ｍｍで、肉厚１
２ｍｍの枠形状の粉末成形体を作製した。この粉末成形
体の見掛け密度は約８５％であった。次いでこの粉末成
形体を４００℃で密閉型にて熱間短軸圧縮して、真密度
まで緻密化した後、さらに同じく４００℃での鍛造（熱
間圧入）を施し、外形寸法９８×９８×７．５ｍｍで肉
厚８ｍｍのプリフォームとした。これを実施例１〜６と
同じ条件で熱処理及び矯正処理し、Ｔ６５２テンパーと
した。さらにそれをＮＣ加工し、外形寸法９５×９５×
５．５ｍｍで肉厚２ｍｍの枠形状部材とした。

【００７１】実施例１４〜２０：表１の合金符号ａ〜ｇ
の各合金について、急冷堆積体を元材として枠形状部材
を作製した。

【００７２】すなわち、窒素アトマイズにより噴霧され
た−１５０メッシュの液滴および半凝固状態の粉末を、
水冷された銅製金型で受けて急冷堆積し、１００×１０
０×約１２ｍｍの平板状の急冷堆積体とした。これを前
記実施例７〜１３の粉末成形体と同じ枠形状とし、４０
０℃で密閉型にて熱間短軸圧縮し、実施例７〜１３と同
様の工程により枠形状部材とした。

【００７３】実施例２１〜２７：表１の合金符号ａ〜ｇ
の各合金について、実施例１４〜２０と同様の方法によ
り板厚約４０ｍｍの平板状の急冷堆積体を作製した。各
急冷堆積体について４００℃で熱間圧延を施して板厚１
２ｍｍとした後、実施例１４〜２０と同様の工程により
枠形状部材とした。

【００７４】以上の実施例７〜２７によって得られた各
枠形状部材について、実施例１〜６と同様に耐力値、１
μｍ以上の分散粒子の平均径および６μｍ以上の分散粒
子の方向軸の有無、厚さ歪み、辺歪みを調べた結果を表
３、表４に示す。

【００７５】

【表３】

【００７６】

【表４】

【００７７】表３、表４から明らかなように、粉末成形
体を素材とした実施例７〜１３、急冷堆積体を元材とし
た実施例１４〜２７のいずれの場合も、２８０ＭＰａを
越える高い耐力値を示すとともに、粒径１μｍ以上の分
散粒子の平均粒径が６μｍ未満であり、切削加工後の厚
さ歪み、辺歪みが小さく、切削加工後の寸法精度が高い
ことが確認された。なお実施例２０〜２７では、粒径６
μｍ以上の分散粒子の方向軸は存在していたが、分散粒
子の平均粒径が６μｍ未満であるため、前述のような高
い寸法精度を確保することができた。

【００７８】

【発明の効果】請求項１〜８の枠形状部材は、高強度を
有するばかりでなく、組織中の１μｍ以上の粒径の分散
粒子の分布状況、特に分散粒子の平均粒径もしくは各分
散粒子の最長方向を適切に制御することによって、切削
加工後の寸法精度が確実かつ安定して優れたものとな
り、そのため高精度、高強度が要求される枠形状部材の
部品、特にペリクルフレーム、そのほか各種の光学機器
や電子機器に最適である。また請求項９、請求項１０の
製造方法によれば、上述のように切削加工後の寸法精度
に優れかつ高強度を有する枠形状部材を、確実かつ安定
して製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の枠形状部材の組織中の分散粒子の方
向性について概略的に説明するための模式図である。

【図２】この発明の実施例において中間加工材（プリフ
ォーム）の形状、寸法を示す平面図である。

【図３】この発明の実施例において最終的に得られた枠
形状部材の形状、寸法を示す平面図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｃ２２Ｆ 1/00 ６９１ Ｃ２２Ｆ 1/00 ６９１Ｂ ６９２ ６９２Ｂ ６９４ ６９４Ａ (72)発明者 関口 常久 東京都港区芝大門一丁目13番９号 昭和電 工株式会社内 (72)発明者 小浜 憲人 東京都港区芝大門一丁目13番９号 昭和電 工株式会社内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％を含有し、残部がＡｌおよび不可避的不純物より
   なり、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金から
   なる部材であって、しかも組織中の分散粒子のうち、粒
   径１μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ未満であることを
   特徴とする、高強度・高精度枠形状部材。
2. 【請求項２】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％、Ｃｕ０．５〜４ｗｔ％を含有し、残部がＡｌお
   よび不可避的不純物よりなり、析出硬化処理されたＡｌ
   −Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材であって、しかも組織
   中の分散粒子のうち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が
   ６μｍ未満であることを特徴とする、高強度・高精度枠
   形状部材。
3. 【請求項３】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％を含有し、さらにＭｎ０．０５〜０．９ｗｔ％、
   Ｃｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｚｒ０．０５〜０．６ｗ
   ｔ％、Ｖ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｎｉ０．０５〜０．
   ６ｗｔ％およびＣｏ０．０５〜０．６ｗｔ％のうちから
   選ばれた１種または２種以上を含有し、残部がＡｌおよ
   び不可避的不純物よりなり、析出硬化処理されたＡｌ−
   Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材であって、しかも組織中
   の分散粒子のうち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が６
   μｍ未満であることを特徴とする、高強度・高精度枠形
   状部材。
4. 【請求項４】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％、Ｃｕ０．５〜４ｗｔ％を含有し、さらにＭｎ
   ０．０５〜０．９ｗｔ％、Ｃｒ０．０５〜０．６ｗｔ
   ％、Ｚｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｖ０．０５〜０．６
   ｗｔ％、Ｎｉ０．０５〜０．６ｗｔ％およびＣｏ０．０
   ５〜０．６ｗｔ％のうちから選ばれた１種または２種以
   上を含有し、残部がＡｌおよび不可避的不純物よりな
   り、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からな
   る部材であって、しかも組織中の分散粒子のうち、粒径
   １μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ未満であることを特
   徴とする、高強度・高精度枠形状部材。
5. 【請求項５】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％を含有し、残部がＡｌおよび不可避的不純物より
   なり、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金から
   なる部材であって、しかも組織中の分散粒子のうち、粒
   径１μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ以上２５μｍ以下
   であり、かつ粒径６μｍ以上の全分散粒子のうち６６％
   以上の粒子の最長方向がある方向軸を中心とする３次元
   での３０°以内に含まれることがないことを特徴とす
   る、高強度・高精度枠形状部材。
6. 【請求項６】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％、Ｃｕ０．５〜４ｗｔ％を含有し、残部がＡｌお
   よび不可避的不純物よりなり、析出硬化処理されたＡｌ
   −Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材であって、しかも組織
   中の分散粒子のうち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が
   ６μｍ以上２５μｍ以下であり、かつ粒径６μｍ以上の
   全分散粒子のうち６６％以上の粒子の最長方向がある方
   向軸を中心とする３次元での３０°以内に含まれること
   がないことを特徴とする、高強度・高精度枠形状部材。
7. 【請求項７】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％を含有し、さらにＭｎ０．０５〜０．９ｗｔ％、
   Ｃｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｚｒ０．０５〜０．６ｗ
   ｔ％、Ｖ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｎｉ０．０５〜０．
   ６ｗｔ％およびＣｏ０．０５〜０．６ｗｔ％のうちから
   選ばれた１種または２種以上を含有し、残部がＡｌおよ
   び不可避的不純物よりなり、析出硬化処理されたＡｌ−
   Ｚｎ−Ｍｇ系合金からなる部材であって、しかも組織中
   の分散粒子のうち、粒径１μｍ以上の粒子の平均径が６
   μｍ以上２５μｍ以下であり、かつ粒径６μｍ以上の全
   分散粒子のうち６６％以上の粒子の最長方向がある方向
   軸を中心とする３次元での３０°以内に含まれることが
   ないことを特徴とする、高強度・高精度枠形状部材。
8. 【請求項８】 Ｚｎ２．５〜９ｗｔ％、Ｍｇ０．５〜５
   ｗｔ％、Ｃｕ０．５〜４ｗｔ％を含有し、さらにＭｎ
   ０．０５〜０．９ｗｔ％、Ｃｒ０．０５〜０．６ｗｔ
   ％、Ｚｒ０．０５〜０．６ｗｔ％、Ｖ０．０５〜０．６
   ｗｔ％、Ｎｉ０．０５〜０．６ｗｔ％およびＣｏ０．０
   ５〜０．６ｗｔ％のうちから選ばれた１種または２種以
   上を含有し、残部がＡｌおよび不可避的不純物よりな
   り、析出硬化処理されたＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金からな
   る部材であって、しかも組織中の分散粒子のうち、粒径
   １μｍ以上の粒子の平均径が６μｍ以上２５μｍ以下で
   あり、かつ粒径６μｍ以上の全分散粒子のうち６６％以
   上の粒子の最長方向がある方向軸を中心とする３次元で
   の３０°以内に含まれることがないことを特徴とする、
   高強度・高精度枠形状部材。
9. 【請求項９】 請求項１〜請求項８のいずれかに記載の
   枠形状部材を製造するにあたり、 前記成分組成の合金からなる鋳塊もしくは粉末成形体ま
   たは急冷堆積体に１回以上の熱間塑性加工を施した後、
   ４００〜５００℃の範囲内で溶体化処理を施して、２０
   〜８０℃の水中に焼入れし、その後１〜５％の圧縮加工
   により残留応力除去を行ない、さらに時効析出処理を施
   してから切削加工を施して枠形状とすることを特徴とす
   る、高強度・高精度枠形状部材の製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の製造方法において、 前記１回以上の前記熱間塑性加工を施すにあたり、圧縮
    方向を互いに４５〜９０°異なる方向とした各１回以上
    の熱間鍛造を含む複数回の熱間塑性加工を施すことを特
    徴とする、高強度・高精度枠形状部材の製造方法。