JPH102998A - Ｘ線回折装置のスリット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 四枚のスリット片を二台の駆動モータによっ
て独立駆動させることにより、装置の小形化と低価格化
を実現する。 【解決手段】 第１，第２のスリット片１，２を横駆動
モータ１０によって駆動するとともに、第３，第４のス
リット片３，４を縦駆動モータ２０によって駆動させ
る。横駆動モータ１０が正回転したときは、第１の一方
向クラッチ１１が第１カム１２に回転駆動力を伝え、第
１のスリット片１を横方向に移動させる。横駆動モータ
１０が逆回転したときは、第２の一方向クラッチ１３が
第２カム１４に回転駆動力を伝え、第２のスリット片２
を横方向に移動させる。また、縦駆動モータ２０が正回
転したときは、第３の一方向クラッチ２１が第３カム２
２に回転駆動力を伝え、第３のスリット片３を縦方向に
移動させる。縦駆動モータ２０が逆回転したときは、第
４の一方向クラッチ２３が第４カム２４に回転駆動力を
伝え、第４のスリット片４を縦方向に移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、Ｘ線回折装置に
用いられるＸ線幅制御用のスリット装置に関し、特にＸ
線の横方向および縦方向の線幅のいずれをも調整するこ
とができるＸ線回折装置のスリット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線回折装置は、試料に対し入射角度を
変化させながらＸ線を照射し、試料で回折してきたＸ線
（回折Ｘ線）の強度を検出することにより、試料の結晶
構造等を分析することができる理化学装置である。この
Ｘ線回折装置においては、試料に入射するＸ線や、検出
器に入射する回折Ｘ線の発散角をスリット装置により制
限し、一定幅のＸ線が試料や検出器に入射するように調
整している。このスリット装置により、Ｘ線の発散や周
囲の散乱Ｘ線の影響等による測定誤差を抑制することが
でき、測定精度の高精度化を実現することができる。

【０００３】さて、一般のＸ線回折測定においては、縦
横いずれか一方向のＸ線幅をスリット装置により調整し
ている。しかし、走査角度５°以下といった小角測定を
行なう場合等の特殊な測定条件下においては、縦横双方
向のＸ線幅を調整する必要がある場合もある。

【０００４】そこで従来から、図３に示すように、横方
向に移動自在な二枚のスリット片１０１，１０２と、縦
方向に移動自在な二枚のスリット片１０３，１０４とを
組み合わせたスリット装置１００が提案されていた。こ
のスリット装置１００によれば、光源１０５から発射さ
れたＸ線ａを、これら四枚のスリット片１０１乃至１０
４で囲まれた隙間１００ａに通すことで、スリット片１
０１，１０２によって当該Ｘ線ａの横方向の幅を調整す
るとともに、スリット片１０３，１０４によって当該Ｘ
線ａの縦方向の幅を調整し、縦横一定の幅をもったＸ線
ｂを試料に入射させることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ここで、スリット片１
０１と１０２の間隔、およびスリット片１０３と１０４
の間隔を調整すると同時に、各スリット片の隙間１００
ａを通過したＸ線ｂの試料Ｓに対する照射位置をも調整
するために、四枚のスリット片１０１乃至１０４をそれ
ぞれ独立して駆動していた。すなわち、各々のスリット
片１０１乃至１０４に対して、それぞれ別個に駆動モー
タが連結してあり、各駆動モータの駆動力によって各ス
リット片１０１乃至１０４を独立して移動させる構成と
なっていた。

【０００６】このように従来のこの種のスリット装置
は、四台の駆動モータを搭載するために大形で、しかも
四台の駆動モータにそれぞれドライバ回路を備えなけれ
ばならないので、製品コストが高価格となる問題を有し
ていた。この発明は、従来装置のこのような問題に鑑み
てなされたもので、四枚のスリット片を二台の駆動モー
タによって独立駆動させることにより、装置の小形化と
低価格化を実現することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明は、試料に入射するＸ線の入射角度を変化さ
せながら、試料で回折するＸ線の強度を測定するＸ線回
折装置に用いられるスリット装置であって、次の構成を
備えたことを特徴としている。 （ａ） Ｘ線の横方向の幅を調整する第１，第２のスリ
ット片 （ｂ） Ｘ線の縦方向の幅を調整する第３，第４のスリ
ット片 （ｃ） 第１，第２のスリット片を各々横方向へ移動自
在に支持する横方向案内ガイド （ｄ） 第３，第４のスリット片を各々縦方向へ移動自
在に支持する縦方向案内ガイド （ｅ） 第１，第２のスリット片を横方向に駆動するた
めの回転駆動力を発生する横駆動モータ （ｆ） 横駆動モータの正方向の回転のみを第１のスリ
ット片の横方向への移動に変換する第１の駆動力伝達手
段 （ｇ） 横駆動モータの逆方向の回転のみを前記第２の
スリット片の横方向への移動に変換する第２の駆動力伝
達手段 （ｈ） 第３，第４のスリット片を縦方向に駆動するた
めの回転駆動力を発生する縦駆動モータ （ｉ） 縦駆動モータの正方向の回転のみを第３のスリ
ット片の縦方向への移動に変換する第３の駆動力伝達手
段 （ｊ） 縦駆動モータの逆方向の回転のみを第４のスリ
ット片の縦方向への移動に変換する第４の駆動力伝達手
段

【０００８】これらの構成を備えたスリット装置は、第
１，第２のスリット片を横駆動モータによって駆動する
とともに、第３，第４のスリット片を縦駆動モータによ
って駆動させる。このようにこの発明では、四枚のスリ
ット片を二台の駆動モータによって駆動させるようにし
ている。

【０００９】まず、第１のスリット片を駆動するには、
横駆動モータを正方向に回転させる。横駆動モータの回
転駆動力は、第１の駆動力伝達手段に伝えられ、同駆動
力伝達手段によって第１のスリット片の横方向への移動
に変換される。このとき、第２の駆動力伝達手段は、横
駆動モータの回転駆動力を第２のスリット片の横方向へ
の移動に変換せず、したがって、第２のスリット片は静
止したままの状態を保持する。

【００１０】次に、第２のスリット片を駆動するには、
横駆動モータを逆方向に回転させる。横駆動モータの回
転駆動力は、第２の駆動力伝達手段に伝えられ、同駆動
力伝達手段によって第２のスリット片の横方向への移動
に変換される。このとき、第１の駆動力伝達手段は、横
駆動モータの回転駆動力を第１のスリット片の横方向へ
の移動に変換せず、したがって、第１のスリット片は静
止したままの状態を保持する。

【００１１】また、第３のスリット片を駆動するには、
縦駆動モータを正方向に回転させる。縦駆動モータの回
転駆動力は、第３の駆動力伝達手段に伝えられ、同駆動
力伝達手段によって第３のスリット片の縦方向への移動
に変換される。このとき、第４の駆動力伝達手段は、縦
駆動モータの回転駆動力を第４のスリット片の縦方向へ
の移動に変換せず、したがって、第４のスリット片は静
止したままの状態を保持する。

【００１２】そして、第４のスリット片を駆動するに
は、縦駆動モータを逆方向に回転させる。縦駆動モータ
の回転駆動力は、第４の駆動力伝達手段に伝えられ、同
駆動力伝達手段によって第４のスリット片の縦方向への
移動に変換される。このとき、第３の駆動力伝達手段
は、縦駆動モータの回転駆動力を第３のスリット片の縦
方向への移動に変換せず、したがって、第３のスリット
片は静止したままの状態を保持する。

【００１３】上述した発明において、第１の駆動力伝達
手段は、横駆動モータの回転を第１のスリット片の横方
向への移動に変換する第１カムと、この第１カムに横駆
動モータの正方向の回転のみを伝える第１の一方向クラ
ッチとを含んだ構成とすることができる。また、第２の
駆動力伝達手段は、横駆動モータの回転を第２のスリッ
ト片の横方向への移動に変換する第２カムと、この第２
カムに横駆動モータの逆方向の回転のみを伝える第２の
一方向クラッチとを含んだ構成とすることができる。

【００１４】さらに、第３の駆動力伝達手段は、縦駆動
モータの回転を第３のスリット片の縦方向への移動に変
換する第３カムと、この第３カムに縦駆動モータの正方
向の回転のみを伝える第３の一方向クラッチとを含んだ
構成とすることができる。そして、第４の駆動力伝達手
段は、縦駆動モータの回転を第４のスリット片の縦方向
への移動に変換する第４カムと、この第４カムに縦駆動
モータの逆方向の回転のみを伝える第４の一方向クラッ
チとを含んだ構成とすることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して詳細に説明する。図１はこの発明の
実施形態に係るスリット装置の構成を示す正面図であ
る。この実施形態に係るスリット装置は、Ｘ線を遮蔽す
る金属材料で薄板状に形成した第１乃至第４のスリット
片１，２，３，４を備えている。このうち、第１，第２
のスリット片１，２が対になって横方向のスリット幅を
決定するとともに、第３，第４のスリット片３，４が対
になって縦方向のスリット幅を決定するようになってい
る。これら第１乃至第４のスリット片１，２，３，４は
格子状に配置してあり、それら各スリット片１，２，
３，４で囲まれた隙間が、Ｘ線を所定の幅で通過させる
ためのスリットＡとなる。

【００１６】第１，第２のスリット片１，２の両端は、
一対の横方向案内ガイド５，５によって横方向へ移動自
在に支持されている。一方、第３，第４のスリット片
３，４は、一対の縦方向案内ガイド６，６によって縦方
向へ移動自在に支持されている。図１に示した構造で
は、これら横方向案内ガイド５，５および縦方向案内ガ
イド６，６を、一体のガイドフレーム７として構成して
ある。

【００１７】またこの実施形態に係るスリット装置は、
横駆動モータ１０および縦駆動モータ２０の二台の駆動
モータを備えている。横駆動モータ１０の駆動軸１０ａ
には、第１の一方向クラッチ１１を介して第１カム１２
が装着してあるとともに、同軸上に第２の一方向クラッ
チ１３を介して第２カム１４が装着してある。ここで、
第１の一方向クラッチ１１は、横駆動モータ１０の駆動
軸１０ａが正方向に回転したとき、その回転駆動力を第
１カム１２に伝えて同カム１２を回転させる。一方、第
１の一方向クラッチ１１は、横駆動モータ１０の駆動軸
１０ａが逆方向に回転したときは、その回転駆動力を第
１カム１２に伝えず、したがって第１カム１２は回転し
ない。

【００１８】また、第２の一方向クラッチ１３は、横駆
動モータ１０の駆動軸１０ａが逆方向に回転したとき、
その回転駆動力を第２カム１４に伝えて同カム１４を回
転させる。一方、第２の一方向クラッチ１３は、横駆動
モータ１０の駆動軸１０ａが正方向に回転したときは、
その回転駆動力を第２カム１４に伝えず、したがって第
２カム１４は回転しない。

【００１９】上述した第１カム１２には第１従動軸１５
の基端が当接している。この第１従動軸１５の先端は第
１のスリット片１に連結してあり、第１カム１２の回転
に伴い第１のスリット片１を横方向に移動させる。な
お、第１従動軸１５は、コイルばね等の付勢部材１６に
よって付勢され、第１カム１２への当接状態を保持して
いる。

【００２０】また、第２カム１４には第２従動軸１７の
基端が当接している。この第２従動軸１７の先端は第２
のスリット片２に連結してあり、第２カム１４の回転に
伴い第２のスリット片２を横方向に移動させる。なお、
第２従動軸１７は、コイルばね等の付勢部材１８によっ
て付勢され、第２カム１４への当接状態を保持してい
る。図２の斜視図は、上述した横駆動モータ１０の回転
駆動力により、第１，第２のスリット片１，２を横方向
に移動させる概要を示している。

【００２１】一方、縦駆動モータ２０の駆動軸２０ａに
は、第３の一方向クラッチ２１を介して第３カム２２が
装着してあるとともに、同軸上に第４の一方向クラッチ
２３を介して第４カム２４が装着してある。ここで、第
３の一方向クラッチ２１は、縦駆動モータ２０の駆動軸
２０ａが正方向に回転したとき、その回転駆動力を第３
カム２２に伝えて同カム２２を回転させる。一方、第３
の一方向クラッチ２１は、縦駆動モータ２０の駆動軸２
０ａが逆方向に回転したときは、その回転駆動力を第３
カム２２に伝えず、したがって第３カム２２は回転しな
い。

【００２２】また、第４の一方向クラッチ２３は、縦駆
動モータ２０の駆動軸２０ａが逆方向に回転したとき、
その回転駆動力を第４カム２４に伝えて同カム２４を回
転させる。一方、第４の一方向クラッチ２３は、縦駆動
モータ２０の駆動軸２０ａが正方向に回転したときは、
その回転駆動力を第４カム２４に伝えず、したがって第
４カム２４は回転しない。

【００２３】上述した第３カム２２には第３従動軸２５
の基端が当接している。この第３従動軸２５の先端は第
３のスリット片３に連結してあり、第３カム２２の回転
に伴い第３のスリット片３を縦方向に移動させる。な
お、第３従動軸２５は、コイルばね等の付勢部材２６に
よって付勢され、第３カム２２への当接状態を保持して
いる。

【００２４】また、第４カム２４には第４従動軸２７の
基端が当接している。この第４従動軸２７の先端は第４
のスリット片４に連結してあり、第４カム２４の回転に
伴い第４のスリット片４を縦方向に移動させる。なお、
第４従動軸２７は、コイルばね等の付勢部材２８によっ
て付勢され、第４カム２４への当接状態を保持してい
る。

【００２５】次に、上述したスリット装置の動作を説明
する。まず、第１のスリット片１を横方向に移動するに
は、横駆動モータ１０の駆動軸１０ａを正方向に回転さ
せる。この回転駆動力は、第１の一方向クラッチ１１を
介して第１カム１２に伝えられるため、第１カム１２が
駆動軸１０ａとともに正方向に回転する。そして、第１
カム１２の回転に伴い、第１従動軸１５が作動し第１の
スリット片１を横方向案内ガイド５，５に沿って横方向
に移動させる。このとき、横駆動モータ１０の駆動軸１
０ａに装着された第２の一方向クラッチ１３は空転し、
駆動軸１０ａの正方向回転を第２カム１４に伝えない。
したがって、第２のスリット片２は静止状態を保ってい
る。

【００２６】次に、第２のスリット片２を横方向に移動
するには、横駆動モータ１０の駆動軸１０ａを逆方向に
回転させる。この回転駆動力は、第２の一方向クラッチ
１３を介して第２カム１４に伝えられるため、第２カム
１４が駆動軸１０ａとともに逆方向に回転する。そし
て、第２カム１４の回転に伴い、第２従動軸１７が作動
し第２のスリット片２を横方向案内ガイド５，５に沿っ
て横方向に移動させる。このとき、横駆動モータ１０の
駆動軸１０ａに装着された第１の一方向クラッチ１１は
空転し、駆動軸１０ａの正方向回転を第１カム１２に伝
えない。したがって、第１のスリット片１は静止状態を
保っている。このようにして第１のスリット片１と第２
のスリット片２の間隔、すなわちスリットＡの横幅を任
意に調整することができる。

【００２７】一方、第３のスリット片３を縦方向に移動
するには、縦駆動モータ２０の駆動軸２０ａを正方向に
回転させる。この回転駆動力は、第３の一方向クラッチ
２１を介して第３カム２２に伝えられるため、第３カム
２２が駆動軸２０ａとともに正方向に回転する。そし
て、第３カム２２の回転に伴い、第３従動軸２５が作動
し第３のスリット片３を縦方向案内ガイド６，６に沿っ
て縦方向に移動させる。このとき、縦駆動モータ２０の
駆動軸２０ａに装着された第４の一方向クラッチ２３は
空転し、駆動軸２０ａの正方向回転を第４カム２４に伝
えない。したがって、第４のスリット片４は静止状態を
保っている。

【００２８】次に、第４のスリット片４を縦方向に移動
するには、縦駆動モータ２０の駆動軸２０ａを逆方向に
回転させる。この回転駆動力は、第４の一方向クラッチ
２３を介して第４カム２４に伝えられるため、第４カム
２４が駆動軸２０ａとともに逆方向に回転する。そし
て、第４カム２４の回転に伴い、第４従動軸２７が作動
し第４のスリット片４を縦方向案内ガイド６，６に沿っ
て縦方向に移動させる。このとき、縦駆動モータ２０の
駆動軸２０ａに装着された第３の一方向クラッチ２１は
空転し、駆動軸２０ａの正方向回転を第３カム２２に伝
えない。したがって、第３のスリット片３は静止状態を
保っている。このようにして第３のスリット片３と第４
のスリット片４の間隔、すなわちスリットＡの縦幅を任
意に調整することができる。

【００２９】なお、この発明は上述した一実施形態に限
定されるものではない。例えば、図１，図２はこの発明
の実施形態に係るスリット装置を概念的に示したもので
あり、同装置を構成する個々の要素形状等は、この発明
の範囲内で適宜設計変更できることは勿論である。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明のスリット
装置によれば、四枚のスリット片を二台の駆動モータに
よって独立駆動させることができ、装置の小形化と低価
格化を簡易な構成で実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態に係るスリット装置を示す
正面図である。

【図２】図１に示したスリット装置において、横駆動モ
ータの回転を第１，第２のスリット片の横方向への移動
に変換させる構成を示す斜視図である。

【図３】従来の技術を説明するための斜視図である。

【符号の説明】

１：第１のスリット片 ２：第２のスリット片 ３：第３のスリット片 ４：第４のスリット片 ５：横方向案内ガイド ６：縦方向案内ガイド １０：横駆動モータ １１：第１の一方向クラッチ １２：第１カム １３：第２の一方向クラッチ １４：第２カム １５：第１従動軸 １７：第２従動軸 ２０：縦駆動モータ ２１：第３の一方向クラッチ ２２：第３カム ２３：第４の一方向クラッチ ２４：第４カム ２５：第３従動軸 ２７：第４従動軸

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 任意の幅に形成したＸ線を試料に入射さ
   せるとともに、試料から回折してきたＸ線の強度を測定
   するＸ線回折装置に用いられるスリット装置であって、 Ｘ線の横方向の幅を調整する第１，第２のスリット片
   と、Ｘ線の縦方向の幅を調整する第３，第４のスリット
   片と、前記第１，第２のスリット片を各々横方向へ移動
   自在に支持する横方向案内ガイドと、前記第３，第４の
   スリット片を各々縦方向へ移動自在に支持する縦方向案
   内ガイドと、前記第１，第２のスリット片を横方向に駆
   動するための回転駆動力を発生する横駆動モータと、前
   記横駆動モータの正方向の回転のみを前記第１のスリッ
   ト片の横方向への移動に変換する第１の駆動力伝達手段
   と、前記横駆動モータの逆方向の回転のみを前記第２の
   スリット片の横方向への移動に変換する第２の駆動力伝
   達手段と、前記第３，第４のスリット片を縦方向に駆動
   するための回転駆動力を発生する縦駆動モータと、前記
   縦駆動モータの正方向の回転のみを前記第３のスリット
   片の縦方向への移動に変換する第３の駆動力伝達手段
   と、前記縦駆動モータの逆方向の回転のみを前記第４の
   スリット片の縦方向への移動に変換する第４の駆動力伝
   達手段とを備えたことを特徴とするＸ線回折装置のスリ
   ット装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載したＸ線回折装置のスリ
   ット装置において、 前記第１の駆動力伝達手段は、前記横駆動モータの回転
   を前記第１のスリット片の横方向への移動に変換する第
   １カムと、この第１カムに前記横駆動モータの正方向の
   回転のみを伝える第１の一方向クラッチとを含み、 前記第２の駆動力伝達手段は、前記横駆動モータの回転
   を前記第２のスリット片の横方向への移動に変換する第
   ２カムと、この第２カムに前記横駆動モータの逆方向の
   回転のみを伝える第２の一方向クラッチとを含み、 前記第３の駆動力伝達手段は、前記縦駆動モータの回転
   を前記第３のスリット片の縦方向への移動に変換する第
   ３カムと、この第３カムに前記縦駆動モータの正方向の
   回転のみを伝える第３の一方向クラッチとを含み、 前記第４の駆動力伝達手段は、前記縦駆動モータの回転
   を前記第４のスリット片の縦方向への移動に変換する第
   ４カムと、この第４カムに前記縦駆動モータの逆方向の
   回転のみを伝える第４の一方向クラッチとを含むことを
   特徴とするＸ線回折装置のスリット装置。