JPH10300702A - 低濃度ＮＯｘ計測器 - Google Patents
低濃度ＮＯｘ計測器Info
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- JPH10300702A JPH10300702A JP9107215A JP10721597A JPH10300702A JP H10300702 A JPH10300702 A JP H10300702A JP 9107215 A JP9107215 A JP 9107215A JP 10721597 A JP10721597 A JP 10721597A JP H10300702 A JPH10300702 A JP H10300702A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】大気中の低濃度のＮＯｘ濃度を精度良く測定す
ることができる低濃度ＮＯｘ計測器を提供する。 【解決手段】ＮＯｘを含む被測定ガスが接触することに
よりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する金属酸化物
半導体からなるセンサ素子６からなり、センサ素子６の
温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃とした状態で測定を行
う（第１発明）。ＮＯｘを含む被測定ガスが接触するこ
とによりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する酸化物
２２からなるセンサ素子６と、センサ素子６の抵抗変化
を検出して被測定ガス中のＮＯｘ濃度を検知するための
測定部７とを備えるＮＯｘ計測器１において、測定対象
となる被測定ガスが大気であり、センサ素子６に対して
被測定ガスの流れの上流側に、ＮＯ／ＮＯ2 分圧比を平
衡状態にし且つ可燃性ガスを除去するための触媒５を設
け、センサ素子６の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃と
した状態で測定を行う（第２発明）。
ることができる低濃度ＮＯｘ計測器を提供する。 【解決手段】ＮＯｘを含む被測定ガスが接触することに
よりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する金属酸化物
半導体からなるセンサ素子６からなり、センサ素子６の
温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃とした状態で測定を行
う（第１発明）。ＮＯｘを含む被測定ガスが接触するこ
とによりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する酸化物
２２からなるセンサ素子６と、センサ素子６の抵抗変化
を検出して被測定ガス中のＮＯｘ濃度を検知するための
測定部７とを備えるＮＯｘ計測器１において、測定対象
となる被測定ガスが大気であり、センサ素子６に対して
被測定ガスの流れの上流側に、ＮＯ／ＮＯ2 分圧比を平
衡状態にし且つ可燃性ガスを除去するための触媒５を設
け、センサ素子６の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃と
した状態で測定を行う（第２発明）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＮＯｘを含む被測
定ガスが接触することによりそのＮＯｘ成分に応じて抵
抗が変化する酸化物からなるセンサ素子と、このセンサ
素子の抵抗変化を検出して被測定ガス中のＮＯｘ濃度を
検知するための測定部とを備えるＮＯｘ計測器に関し、
特に大気中の低濃度のＮＯｘ濃度を検知するのに好適な
低濃度ＮＯｘ計測器に関するものである。
定ガスが接触することによりそのＮＯｘ成分に応じて抵
抗が変化する酸化物からなるセンサ素子と、このセンサ
素子の抵抗変化を検出して被測定ガス中のＮＯｘ濃度を
検知するための測定部とを備えるＮＯｘ計測器に関し、
特に大気中の低濃度のＮＯｘ濃度を検知するのに好適な
低濃度ＮＯｘ計測器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、焼却炉の燃焼排ガス等のＮＯｘを
含む被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定する方法として、
例えば煙道中のＮＯｘを含む被測定ガスをサンプリング
し、サンプリングしたガスを光学式測定器を用いて計測
する方法が行われている。しかし、上述した光学式の測
定器は高価であり、またサンプリングが必要なため応答
性が悪くなる問題があった。
含む被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定する方法として、
例えば煙道中のＮＯｘを含む被測定ガスをサンプリング
し、サンプリングしたガスを光学式測定器を用いて計測
する方法が行われている。しかし、上述した光学式の測
定器は高価であり、またサンプリングが必要なため応答
性が悪くなる問題があった。
【０００３】上記問題を解消するための技術として、煙
道直下型半導体センサが近年使用されている。例えば、
特開平６−２２２０２８号公報において、所定のペロプ
スカイト型酸化物からなる感応部と、この感応部の導電
性を測定するための導電性測定部とを備えるＮＯｘセン
サが開示されている。
道直下型半導体センサが近年使用されている。例えば、
特開平６−２２２０２８号公報において、所定のペロプ
スカイト型酸化物からなる感応部と、この感応部の導電
性を測定するための導電性測定部とを備えるＮＯｘセン
サが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した煙道直下型半
導体センサでは、測定対象が煙道を流れる燃焼排ガス中
のＮＯｘ濃度であり、センサ素子温度が３００〜４００
℃と低かった。そのため、ＮＯｘが感応部に対し平衡吸
着せず、比較的ＮＯｘ濃度の高い燃焼排ガス中のＮＯｘ
濃度を測定するためにはそれほど問題とならないが、大
気中のＮＯｘ濃度等の低濃度のＮＯｘ濃度を高精度に測
定できない問題があった。
導体センサでは、測定対象が煙道を流れる燃焼排ガス中
のＮＯｘ濃度であり、センサ素子温度が３００〜４００
℃と低かった。そのため、ＮＯｘが感応部に対し平衡吸
着せず、比較的ＮＯｘ濃度の高い燃焼排ガス中のＮＯｘ
濃度を測定するためにはそれほど問題とならないが、大
気中のＮＯｘ濃度等の低濃度のＮＯｘ濃度を高精度に測
定できない問題があった。
【０００５】また、上述した煙道直下型半導体センサに
おいても、ＮＯｘ以外に被測定ガス中に含まれるＯ2 お
よびＣＯのＮＯｘ測定値に対する干渉について全く対策
をとっていなかった。さらに、感応部は、通常ＮＯｘ
（ＮＯ2 ＋ＮＯ）の存在する量すなわち濃度に応じて抵
抗値が変化する。しかし、ＮＯ2 とＮＯの存在する量
（濃度）の比、言い換えるとＮＯ2 とＮＯの分圧の比が
異なると、同じＮＯｘ量であっても感応部で測定した抵
抗値が変化する問題があった。そのため、被測定ガス中
のＮＯｘのみを選択的に測定しているとは考え難く、上
述した煙道直下型半導体センサは、光学式のものに比べ
て安価で応答性が良いものの、被測定ガス中のＮＯｘ濃
度を選択的かつ高精度で測定できない問題があった。
おいても、ＮＯｘ以外に被測定ガス中に含まれるＯ2 お
よびＣＯのＮＯｘ測定値に対する干渉について全く対策
をとっていなかった。さらに、感応部は、通常ＮＯｘ
（ＮＯ2 ＋ＮＯ）の存在する量すなわち濃度に応じて抵
抗値が変化する。しかし、ＮＯ2 とＮＯの存在する量
（濃度）の比、言い換えるとＮＯ2 とＮＯの分圧の比が
異なると、同じＮＯｘ量であっても感応部で測定した抵
抗値が変化する問題があった。そのため、被測定ガス中
のＮＯｘのみを選択的に測定しているとは考え難く、上
述した煙道直下型半導体センサは、光学式のものに比べ
て安価で応答性が良いものの、被測定ガス中のＮＯｘ濃
度を選択的かつ高精度で測定できない問題があった。
【０００６】また、この問題を解消するために、本出願
人は特開平８−２７８２７２号公報において、酸化物か
らなるセンサ素子の上流側に設けたＮＯ／ＮＯ2分圧比
を平衡状態にしＣＯを除去するための触媒と、温度調節
用ヒータと、校正用のＯ2 センサとを備えるＮＯｘセン
サを開示している。しかし、このＮＯｘセンサも測定対
象が上述した従来例と同様に焼却炉の燃焼排ガスであ
り、本発明で目的とする大気中の低濃度のＮＯｘ濃度を
測定するには、最良の構成とは言い難く、不十分な問題
があった。
人は特開平８−２７８２７２号公報において、酸化物か
らなるセンサ素子の上流側に設けたＮＯ／ＮＯ2分圧比
を平衡状態にしＣＯを除去するための触媒と、温度調節
用ヒータと、校正用のＯ2 センサとを備えるＮＯｘセン
サを開示している。しかし、このＮＯｘセンサも測定対
象が上述した従来例と同様に焼却炉の燃焼排ガスであ
り、本発明で目的とする大気中の低濃度のＮＯｘ濃度を
測定するには、最良の構成とは言い難く、不十分な問題
があった。
【０００７】本発明の目的は上述した課題を解消して、
大気中の低濃度のＮＯｘ濃度を精度良く測定することが
できる低濃度ＮＯｘ計測器を提供しようとするものであ
る。
大気中の低濃度のＮＯｘ濃度を精度良く測定することが
できる低濃度ＮＯｘ計測器を提供しようとするものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の低濃度ＮＯｘ計
測器の第１発明は、ＮＯｘを含む被測定ガスが接触する
ことによりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する金属
酸化物半導体からなるセンサ素子からなり、センサ素子
の温度Ｔが５００℃≦Ｔ≦８００℃であることを特徴と
するものである。
測器の第１発明は、ＮＯｘを含む被測定ガスが接触する
ことによりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する金属
酸化物半導体からなるセンサ素子からなり、センサ素子
の温度Ｔが５００℃≦Ｔ≦８００℃であることを特徴と
するものである。
【０００９】また、本発明の低濃度ＮＯｘ計測器の第２
発明は、ＮＯｘを含む被測定ガスが接触することにより
そのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する酸化物からなる
センサ素子と、該センサ素子の抵抗変化を検出して被測
定ガス中のＮＯｘ濃度を検知するための測定部とを備え
るＮＯｘ計測器において、測定対象となる被測定ガスが
大気であり、前記センサ素子に対して被測定ガスの流れ
の上流側に、ＮＯ／ＮＯ2 分圧比を平衡状態にし且つ可
燃性ガスを除去するための触媒を設け、前記センサ素子
の温度Ｔが５００℃≦Ｔ≦８００℃であることを特徴と
するものである。
発明は、ＮＯｘを含む被測定ガスが接触することにより
そのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する酸化物からなる
センサ素子と、該センサ素子の抵抗変化を検出して被測
定ガス中のＮＯｘ濃度を検知するための測定部とを備え
るＮＯｘ計測器において、測定対象となる被測定ガスが
大気であり、前記センサ素子に対して被測定ガスの流れ
の上流側に、ＮＯ／ＮＯ2 分圧比を平衡状態にし且つ可
燃性ガスを除去するための触媒を設け、前記センサ素子
の温度Ｔが５００℃≦Ｔ≦８００℃であることを特徴と
するものである。
【００１０】本発明の第１発明では、センサ素子の温度
Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃に保った状態でＮＯｘ濃度
を測定することで、好ましくはさらに水分を一定にする
手段で含まれる水分量を一定量にした空気をセンサ素子
に接触するよう構成することで、ＮＯｘが感応部に対し
平衡吸着し、低濃度のＮＯｘ濃度を高精度に測定するこ
とができる。また、本発明の第２発明では、センサ素子
の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃に保った状態で、Ｎ
Ｏ／ＮＯ2 の分圧比を平衡状態にする触媒を通過した空
気、好ましくはさらに水分を一定にする手段で含まれる
水分量を一定量にした空気を、センサ素子に接触するよ
う構成することで、空気中の低濃度のＮＯｘ濃度を高精
度で測定することができる。
Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃に保った状態でＮＯｘ濃度
を測定することで、好ましくはさらに水分を一定にする
手段で含まれる水分量を一定量にした空気をセンサ素子
に接触するよう構成することで、ＮＯｘが感応部に対し
平衡吸着し、低濃度のＮＯｘ濃度を高精度に測定するこ
とができる。また、本発明の第２発明では、センサ素子
の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃に保った状態で、Ｎ
Ｏ／ＮＯ2 の分圧比を平衡状態にする触媒を通過した空
気、好ましくはさらに水分を一定にする手段で含まれる
水分量を一定量にした空気を、センサ素子に接触するよ
う構成することで、空気中の低濃度のＮＯｘ濃度を高精
度で測定することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明の低濃度ＮＯｘ計測
器の一例の構成を示す図である。図１に示す例には、本
発明の第１発明及び第２発明を包含している。同様に変
形例を示す以下の図２〜図４でも、本発明の第１発明及
び第２発明を包含している。図１に示す例において、本
発明の低濃度ＮＯｘ計測器１は、大気導入管２と大気導
出管３とを有するチャンバ４内に、大気の流れの上流側
から触媒５およびセンサ素子６を設けるとともに、チャ
ンバ４外に測定部７を設けて構成されている。また、８
は触媒５を加熱するための電源、９はセンサ素子６を加
熱するための電源である。大気導入管２には、大気の流
れの上流側から、異物を除去するためのフィルタ１０、
ポンプ１１、減圧弁１２、流量計１３を設け、チャンバ
４内に被測定ガスとしての大気が常に一定量供給される
よう構成されている。測定部７は、抵抗検出手段１４、
ＣＰＵ１５、表示部１６、キャリブレーション部１７と
から構成され、センサ素子６の抵抗変化を検出して大気
中のＮＯｘ濃度を検知し、表示するよう構成されてい
る。
器の一例の構成を示す図である。図１に示す例には、本
発明の第１発明及び第２発明を包含している。同様に変
形例を示す以下の図２〜図４でも、本発明の第１発明及
び第２発明を包含している。図１に示す例において、本
発明の低濃度ＮＯｘ計測器１は、大気導入管２と大気導
出管３とを有するチャンバ４内に、大気の流れの上流側
から触媒５およびセンサ素子６を設けるとともに、チャ
ンバ４外に測定部７を設けて構成されている。また、８
は触媒５を加熱するための電源、９はセンサ素子６を加
熱するための電源である。大気導入管２には、大気の流
れの上流側から、異物を除去するためのフィルタ１０、
ポンプ１１、減圧弁１２、流量計１３を設け、チャンバ
４内に被測定ガスとしての大気が常に一定量供給される
よう構成されている。測定部７は、抵抗検出手段１４、
ＣＰＵ１５、表示部１６、キャリブレーション部１７と
から構成され、センサ素子６の抵抗変化を検出して大気
中のＮＯｘ濃度を検知し、表示するよう構成されてい
る。
【００１２】触媒５は、ＮＯ／ＮＯ2 の分圧比を平衡状
態にし、且つＣＯ等の可燃性ガスを燃焼除去するために
使用される。触媒５としては、貴金属または金属酸化物
を使用することが好ましい。貴金属としては、白金、ロ
ジュームまたは金を、また金属酸化物としては、酸化マ
ンガン、酸化コバルトまたは酸化錫を使用するとさらに
好ましい。触媒５の加熱は、チャンバ４に設けたヒータ
２１を電源８により加熱することで行っている。
態にし、且つＣＯ等の可燃性ガスを燃焼除去するために
使用される。触媒５としては、貴金属または金属酸化物
を使用することが好ましい。貴金属としては、白金、ロ
ジュームまたは金を、また金属酸化物としては、酸化マ
ンガン、酸化コバルトまたは酸化錫を使用するとさらに
好ましい。触媒５の加熱は、チャンバ４に設けたヒータ
２１を電源８により加熱することで行っている。
【００１３】センサ素子６は、ＮＯｘを含む被測定ガス
が接触することによりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変
化する酸化物２２を、ヒータ２３を内蔵したセラミック
基板２４の表面に設けて構成される。ヒータ２３は電源
９により加熱される。このような酸化物２２としては金
属酸化物半導体を使用することが好ましくその中でもＳ
ｎＯ2 単独またはＳｎＯ2 と好ましくはＴａおよびＲｈ
からなる添加物の混合物を使用することがさらに好まし
い。センサ素子６は上記酸化物から構成されていれば、
構成、形状等の他の要件は従来から公知のものと同じも
のを使用することができる。
が接触することによりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変
化する酸化物２２を、ヒータ２３を内蔵したセラミック
基板２４の表面に設けて構成される。ヒータ２３は電源
９により加熱される。このような酸化物２２としては金
属酸化物半導体を使用することが好ましくその中でもＳ
ｎＯ2 単独またはＳｎＯ2 と好ましくはＴａおよびＲｈ
からなる添加物の混合物を使用することがさらに好まし
い。センサ素子６は上記酸化物から構成されていれば、
構成、形状等の他の要件は従来から公知のものと同じも
のを使用することができる。
【００１４】上述した構成の低濃度ＮＯｘ計測器１にお
いて、本発明の第１発明は、図１の構成から触媒５を除
去し、実使用にあたってセンサ素子６の温度Ｔが５００
℃≦Ｔ≦８００℃となるよう、センサ素子６を加熱する
ための電源９で制御することで達成することができる。
また、本発明の第２発明は、センサ素子６に対して被測
定ガスの流れの上流側に所定の触媒５を設けるととも
に、上記第１発明と同様に、センサ素子６の温度Ｔが５
００℃≦Ｔ≦８００℃となるよう、センサ素子６を加熱
するための電源９で制御することで達成することができ
る。
いて、本発明の第１発明は、図１の構成から触媒５を除
去し、実使用にあたってセンサ素子６の温度Ｔが５００
℃≦Ｔ≦８００℃となるよう、センサ素子６を加熱する
ための電源９で制御することで達成することができる。
また、本発明の第２発明は、センサ素子６に対して被測
定ガスの流れの上流側に所定の触媒５を設けるととも
に、上記第１発明と同様に、センサ素子６の温度Ｔが５
００℃≦Ｔ≦８００℃となるよう、センサ素子６を加熱
するための電源９で制御することで達成することができ
る。
【００１５】以下、上述した構成の本発明の低濃度ＮＯ
ｘ計測器１におけるＮＯｘ濃度測定方法を以下に説明す
る。まず、センサ素子６の温度Ｔが５００℃≦Ｔ≦８０
０℃となるよう電源９で制御するとともに、触媒５の温
度を触媒５が活性化する例えば３８０℃の温度に電源８
で制御する。この状態で、ＮＯｘを含む空気が空気導入
管２からチャンバ４内に供給される。供給された空気
は、触媒５を通過する。触媒５を通過することで、大気
中のＮＯ／ＮＯ2 の分圧比が平衡状態となるとともに、
大気中のＣＯ等の可燃成分が焼却除去される。そのた
め、ＮＯ／ＮＯ2 の分圧比が平衡状態で可燃成分が除去
された大気が、５００℃〜８００℃に加熱されてセンサ
素子６と接触して測定に使用されることとなる。大気の
酸素濃度は一定であるため、この状態でセンサ素子６の
抵抗測定値の変化とＮＯｘ濃度とは一義的に対応する。
そのため、抵抗値検出手段１４で測定した抵抗値をＣＰ
Ｕ１５で演算してＮＯｘ濃度を求め、そのＮＯｘ濃度を
表示部１６で表示している。
ｘ計測器１におけるＮＯｘ濃度測定方法を以下に説明す
る。まず、センサ素子６の温度Ｔが５００℃≦Ｔ≦８０
０℃となるよう電源９で制御するとともに、触媒５の温
度を触媒５が活性化する例えば３８０℃の温度に電源８
で制御する。この状態で、ＮＯｘを含む空気が空気導入
管２からチャンバ４内に供給される。供給された空気
は、触媒５を通過する。触媒５を通過することで、大気
中のＮＯ／ＮＯ2 の分圧比が平衡状態となるとともに、
大気中のＣＯ等の可燃成分が焼却除去される。そのた
め、ＮＯ／ＮＯ2 の分圧比が平衡状態で可燃成分が除去
された大気が、５００℃〜８００℃に加熱されてセンサ
素子６と接触して測定に使用されることとなる。大気の
酸素濃度は一定であるため、この状態でセンサ素子６の
抵抗測定値の変化とＮＯｘ濃度とは一義的に対応する。
そのため、抵抗値検出手段１４で測定した抵抗値をＣＰ
Ｕ１５で演算してＮＯｘ濃度を求め、そのＮＯｘ濃度を
表示部１６で表示している。
【００１６】図２は本発明の低濃度ＮＯｘ計測器の他の
例の構成を示す図である。図２に示す例において、図１
に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明
を省略する。図２に示す例において、図１に示す例と異
なる点は、触媒５およびセンサ素子６の温度を一定にす
る手段が備えられている点である。すなわち触媒５の温
度を一定にするため、制御部３１と触媒５の温度を測定
するための熱電対３２を設けている。そして、熱電対３
２で測定した触媒５の温度に基づき、制御部３１におい
て、電源８から供給されるパワーのオン／オフをその時
間間隔を変えて繰り返して制御することにより、または
電源８からのパワーの大小を制御することにより、触媒
５の温度を例えば３８０℃±０．１℃の範囲に保ってい
る。また、センサ素子６にも制御部３３と熱電対３４を
設け、上述した触媒５に対する温度制御と同様の制御を
行い、５００℃〜８００℃の範囲のセンサ素子６の温度
に対し±０．１℃の範囲にセンサ素子６の温度を保って
いる。
例の構成を示す図である。図２に示す例において、図１
に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明
を省略する。図２に示す例において、図１に示す例と異
なる点は、触媒５およびセンサ素子６の温度を一定にす
る手段が備えられている点である。すなわち触媒５の温
度を一定にするため、制御部３１と触媒５の温度を測定
するための熱電対３２を設けている。そして、熱電対３
２で測定した触媒５の温度に基づき、制御部３１におい
て、電源８から供給されるパワーのオン／オフをその時
間間隔を変えて繰り返して制御することにより、または
電源８からのパワーの大小を制御することにより、触媒
５の温度を例えば３８０℃±０．１℃の範囲に保ってい
る。また、センサ素子６にも制御部３３と熱電対３４を
設け、上述した触媒５に対する温度制御と同様の制御を
行い、５００℃〜８００℃の範囲のセンサ素子６の温度
に対し±０．１℃の範囲にセンサ素子６の温度を保って
いる。
【００１７】なお、触媒５およびセンサ素子６の温度を
一定にする方法は、他の方法をとることもできる。例え
ば、ヒータ２１およびヒータ２３として用いる例えばＰ
ｔ抵抗体を含むブリッジ回路を構成し、そのＰｔ抵抗体
の抵抗値の変化で触媒５およびセンサ素子６の温度を制
御することもできる。
一定にする方法は、他の方法をとることもできる。例え
ば、ヒータ２１およびヒータ２３として用いる例えばＰ
ｔ抵抗体を含むブリッジ回路を構成し、そのＰｔ抵抗体
の抵抗値の変化で触媒５およびセンサ素子６の温度を制
御することもできる。
【００１８】図３は本発明の低濃度ＮＯｘ計測器のさら
に他の例の構成を示す図である。図３に示す例におい
て、図１に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、
その説明を省略する。図３に示す例において、図１に示
す例と異なる点は、センサ素子６に対して被測定ガスと
しての大気の流れの上流側に、大気の含有する水分を一
定にする手段が備えられている点である。すなわち、大
気導入管２の流量計１３の下流側に冷凍機４１を設け、
大気の温度を露点±０．２℃に制御することで、０．１
％±０．００５％の湿度に保っている。冷凍機４１とし
てはペルチェ素子を用いた冷凍機が好適に使用される
が、他の装置例えばパーマピュアドライヤ（商品名）を
使用することもできる。本発明のように低濃度のＮＯｘ
濃度を高精度で測定するためには、水分量を一定にする
ことが重要であり、本発明はこのように大気の含有する
水分を一定にする手段を設けることが好ましい。
に他の例の構成を示す図である。図３に示す例におい
て、図１に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、
その説明を省略する。図３に示す例において、図１に示
す例と異なる点は、センサ素子６に対して被測定ガスと
しての大気の流れの上流側に、大気の含有する水分を一
定にする手段が備えられている点である。すなわち、大
気導入管２の流量計１３の下流側に冷凍機４１を設け、
大気の温度を露点±０．２℃に制御することで、０．１
％±０．００５％の湿度に保っている。冷凍機４１とし
てはペルチェ素子を用いた冷凍機が好適に使用される
が、他の装置例えばパーマピュアドライヤ（商品名）を
使用することもできる。本発明のように低濃度のＮＯｘ
濃度を高精度で測定するためには、水分量を一定にする
ことが重要であり、本発明はこのように大気の含有する
水分を一定にする手段を設けることが好ましい。
【００１９】図４は本発明の低濃度ＮＯｘ計測器のさら
に他の例の構成を示す図である。図４に示す例におい
て、図１に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、
その説明を省略する。図４に示す例において、図１に示
す例と異なる点は、センサ素子６の近傍に温度検知手段
を設け、温度変化によるセンサ素子６の抵抗変化を補正
した点である。すなわち、セラミック基板２４に対して
酸化物２２を設けた面と反対側の面に、その温度により
抵抗変化がセンサ素子６と同等である酸化物ここでは酸
化物２２と同一組成の酸化物５１を設け、この酸化物５
１の抵抗変化から測定部７に設けた温度検出部５２でセ
ンサ素子６の温度を求め、求めた温度変化に応じてセン
サ素子６の抵抗変化を補正している。抵抗変化の補正は
従来から公知の方法を用いることができる。なお、温度
検出手段として熱電対を用いても、同様の抵抗変化の補
正を行うことができる。また、センサ素子加熱ヒーター
の抵抗変化を用いても同様の抵抗変化の補正を行うこと
ができる。本発明のように低濃度のＮＯｘ濃度を高精度
で測定するためには、水分差を一定にすることと同様、
抵抗変化によりセンサ素子６の抵抗変化を補正すること
が好ましい。
に他の例の構成を示す図である。図４に示す例におい
て、図１に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、
その説明を省略する。図４に示す例において、図１に示
す例と異なる点は、センサ素子６の近傍に温度検知手段
を設け、温度変化によるセンサ素子６の抵抗変化を補正
した点である。すなわち、セラミック基板２４に対して
酸化物２２を設けた面と反対側の面に、その温度により
抵抗変化がセンサ素子６と同等である酸化物ここでは酸
化物２２と同一組成の酸化物５１を設け、この酸化物５
１の抵抗変化から測定部７に設けた温度検出部５２でセ
ンサ素子６の温度を求め、求めた温度変化に応じてセン
サ素子６の抵抗変化を補正している。抵抗変化の補正は
従来から公知の方法を用いることができる。なお、温度
検出手段として熱電対を用いても、同様の抵抗変化の補
正を行うことができる。また、センサ素子加熱ヒーター
の抵抗変化を用いても同様の抵抗変化の補正を行うこと
ができる。本発明のように低濃度のＮＯｘ濃度を高精度
で測定するためには、水分差を一定にすることと同様、
抵抗変化によりセンサ素子６の抵抗変化を補正すること
が好ましい。
【００２０】
【実施例】以下、実際の例について説明する。実施例１（第１発明） 図１に示す構成において、触媒５を除去した構成のＮＯ
ｘ計測器において、センサ素子の酸化物をＳｎＯ2 とし
て、ＮＯｘ計測器を準備した。このとき、センサ素子の
調製は以下の通りに行った。まず、塩化錫をアンモニア
水で加水分解し濾過分離後、６００℃で２時間熱分解し
て酸化錫粉末を得た。この酸化錫粉末を有機バインダお
よび可塑剤とともに、アセトンと２・エチルヘキサノー
ルの混合溶媒中、ジルコニア玉石を用い、１０時間湿式
混合し、その後アセトンを蒸発させ、素子印刷用インク
を作製した。セル素子の気体には、１×５×６５ｍｍの
アルミナ板を用いた。この気体に予め白金電極および白
金ヒータを印刷しておき、電極の先端部分に素子印刷用
インクを印刷し、８００℃で２時間焼成し、センサ素子
を得た。
ｘ計測器において、センサ素子の酸化物をＳｎＯ2 とし
て、ＮＯｘ計測器を準備した。このとき、センサ素子の
調製は以下の通りに行った。まず、塩化錫をアンモニア
水で加水分解し濾過分離後、６００℃で２時間熱分解し
て酸化錫粉末を得た。この酸化錫粉末を有機バインダお
よび可塑剤とともに、アセトンと２・エチルヘキサノー
ルの混合溶媒中、ジルコニア玉石を用い、１０時間湿式
混合し、その後アセトンを蒸発させ、素子印刷用インク
を作製した。セル素子の気体には、１×５×６５ｍｍの
アルミナ板を用いた。この気体に予め白金電極および白
金ヒータを印刷しておき、電極の先端部分に素子印刷用
インクを印刷し、８００℃で２時間焼成し、センサ素子
を得た。
【００２１】準備したＮＯｘ計測器において、センサ素
子の温度を以下の表１に示すように設定した実施例１〜
２、比較例１〜２の場合について、ＮＯ／ＮＯ2＝１／
１でＮＯｘ設定濃度を１０００〜１ｐｐｂとマスフロー
コントローラで調整した被測定ガスのＮＯｘ濃度を測定
した。なお、各例とも、表１に設定した使用温度におい
て予めキャリブレーションを行った。結果を表１に示
す。
子の温度を以下の表１に示すように設定した実施例１〜
２、比較例１〜２の場合について、ＮＯ／ＮＯ2＝１／
１でＮＯｘ設定濃度を１０００〜１ｐｐｂとマスフロー
コントローラで調整した被測定ガスのＮＯｘ濃度を測定
した。なお、各例とも、表１に設定した使用温度におい
て予めキャリブレーションを行った。結果を表１に示
す。
【００２２】
【表１】
【００２３】表１の結果から、本発明の実施例１〜２は
比較例１〜２に比べて、いずれの測定値も設定濃度と高
い相関を有し、低濃度のＮＯｘ濃度を高精度で測定でき
ることがわかった。なお、センサ素子の温度が４００℃
の比較例１では、ＮＯｘが感応部に対し平衡吸着しない
ため、その温度でキャリブレーションをとってもそのキ
ャリブレーションの結果を維持することができず、高精
度のＮＯｘ濃度測定を行うことができなかった。また、
センサ素子の温度が９００℃の比較例２では、センサ素
子におけるＮＯｘ濃度の変化に対する抵抗値変化が極端
に小さくなり、高精度のＮＯｘ濃度測定を行うことがで
きなかった。
比較例１〜２に比べて、いずれの測定値も設定濃度と高
い相関を有し、低濃度のＮＯｘ濃度を高精度で測定でき
ることがわかった。なお、センサ素子の温度が４００℃
の比較例１では、ＮＯｘが感応部に対し平衡吸着しない
ため、その温度でキャリブレーションをとってもそのキ
ャリブレーションの結果を維持することができず、高精
度のＮＯｘ濃度測定を行うことができなかった。また、
センサ素子の温度が９００℃の比較例２では、センサ素
子におけるＮＯｘ濃度の変化に対する抵抗値変化が極端
に小さくなり、高精度のＮＯｘ濃度測定を行うことがで
きなかった。
【００２４】実施例２（第２発明） 図４に示すＮＯｘ計測器において、センサ素子の酸化物
の種類および触媒の有無を以下の表２に示すようにして
変えて、実施例１１〜１７、比較例１１〜１３のＮＯｘ
計測器を準備した。このとき、センサ素子の調製は以下
の通りに行った。まず、塩化錫をアンモニア水で加水分
解し濾過分離後、６００℃で２時間熱分解して酸化錫粉
末を得た。この酸化錫粉末を有機バインダおよび可塑剤
とともに、アセトンと２・エチルヘキサノールの混合溶
媒中、ジルコニア玉石を用い、１０時間湿式混合し、そ
の後アセトンを蒸発させ、素子印刷用インクを作製し
た。セル素子の気体には、１×５×６５ｍｍのアルミナ
板を用いた。この気体に予め白金電極および白金ヒータ
を印刷しておき、電極の先端部分に素子印刷用インクを
印刷し、８００℃で２時間焼成し、センサ素子を得た。
このセンサ素子にＴａが入る場合は、湿式混合の際、有
機バインダとともに酸化タンタルを添加する。本例での
Ｔａ添加量は、Ｓｎ原子に対して３ａｔｍ％添加した。
また、Ｒｈが入る場合は、予め得たセンサ素子に硝酸ロ
ジウム水溶液を塗布し、８００℃×２Ｈｒ焼成して得
る。
の種類および触媒の有無を以下の表２に示すようにして
変えて、実施例１１〜１７、比較例１１〜１３のＮＯｘ
計測器を準備した。このとき、センサ素子の調製は以下
の通りに行った。まず、塩化錫をアンモニア水で加水分
解し濾過分離後、６００℃で２時間熱分解して酸化錫粉
末を得た。この酸化錫粉末を有機バインダおよび可塑剤
とともに、アセトンと２・エチルヘキサノールの混合溶
媒中、ジルコニア玉石を用い、１０時間湿式混合し、そ
の後アセトンを蒸発させ、素子印刷用インクを作製し
た。セル素子の気体には、１×５×６５ｍｍのアルミナ
板を用いた。この気体に予め白金電極および白金ヒータ
を印刷しておき、電極の先端部分に素子印刷用インクを
印刷し、８００℃で２時間焼成し、センサ素子を得た。
このセンサ素子にＴａが入る場合は、湿式混合の際、有
機バインダとともに酸化タンタルを添加する。本例での
Ｔａ添加量は、Ｓｎ原子に対して３ａｔｍ％添加した。
また、Ｒｈが入る場合は、予め得たセンサ素子に硝酸ロ
ジウム水溶液を塗布し、８００℃×２Ｈｒ焼成して得
る。
【００２５】準備した実施例１１〜１７、比較例１１〜
１３のＮＯｘ計測器において、センサ素子の温度、温度
制御の有無、水分制御の有無を以下の表２に示すように
設定して、大気中任意の１５カ所のＮＯｘ濃度を計測
し、得られたデータの１時間平均値を、ＪＩＳＢ７９５
３に示されているザルツマン法による計測結果と比較し
た。評価は、ザルツマン法で測定したデータとの一致を
回帰線の勾配Ａと相関係数ｒを比較することでおこなっ
た。結果を表２、表３に示す。
１３のＮＯｘ計測器において、センサ素子の温度、温度
制御の有無、水分制御の有無を以下の表２に示すように
設定して、大気中任意の１５カ所のＮＯｘ濃度を計測
し、得られたデータの１時間平均値を、ＪＩＳＢ７９５
３に示されているザルツマン法による計測結果と比較し
た。評価は、ザルツマン法で測定したデータとの一致を
回帰線の勾配Ａと相関係数ｒを比較することでおこなっ
た。結果を表２、表３に示す。
【００２６】
【表２】
【００２７】
【表３】
【００２８】表２及び表３の結果から、本発明例である
実施例１１〜１７は、いずれもザルツマン法で測定した
データと良く一致し、ＮＯｘ濃度の高精度の測定ができ
ることがわかった。また、この結果から、センサ素子の
温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃とすることが必須であ
ることがわかった。一方、触媒を使用しなかった比較例
１では、センサ素子の温度Ｔを上記範囲内にしても、ザ
ルツマン法で測定したデータと一致しないことがわかっ
た。また、センサ素子の温度Ｔを上記温度範囲外とした
比較例１２、１３では、触媒を使用しても、ザルツマン
法で測定したデータと一致しないことがわかった。さら
に、本発明の実施例１１〜１７の中でも５２０℃の同一
のセンサ素子温度で測定を行った実施例１４〜１７を比
較すると、温度制御および／または水分制御および／ま
たは温度補正を行った例の方が行わない例よりも高精度
でＮＯｘ濃度を測定できることがわかった。
実施例１１〜１７は、いずれもザルツマン法で測定した
データと良く一致し、ＮＯｘ濃度の高精度の測定ができ
ることがわかった。また、この結果から、センサ素子の
温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００℃とすることが必須であ
ることがわかった。一方、触媒を使用しなかった比較例
１では、センサ素子の温度Ｔを上記範囲内にしても、ザ
ルツマン法で測定したデータと一致しないことがわかっ
た。また、センサ素子の温度Ｔを上記温度範囲外とした
比較例１２、１３では、触媒を使用しても、ザルツマン
法で測定したデータと一致しないことがわかった。さら
に、本発明の実施例１１〜１７の中でも５２０℃の同一
のセンサ素子温度で測定を行った実施例１４〜１７を比
較すると、温度制御および／または水分制御および／ま
たは温度補正を行った例の方が行わない例よりも高精度
でＮＯｘ濃度を測定できることがわかった。
【００２９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、センサ素子の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００
℃に保った状態でＮＯｘ濃度を測定しているため、好ま
しくはさらに水分を一定にする手段で含まれる水分量を
一定量にした空気をセンサ素子に接触するよう構成して
いるため、ＮＯｘが感応部に対し平衡吸着し、低濃度の
ＮＯｘ濃度を高精度に測定することができる（第１発
明）。また、センサ素子の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８０
０℃に保った状態で、ＮＯ／ＮＯ2 の分圧比を平衡状態
にする触媒を通過した空気、好ましくはさらに水分を一
定にする手段で含まれる水分量を一定量にした空気を、
センサ素子に接触するよう構成しているため、空気中の
低濃度のＮＯｘ濃度を高精度で測定することができる
（第２発明）。
によれば、センサ素子の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８００
℃に保った状態でＮＯｘ濃度を測定しているため、好ま
しくはさらに水分を一定にする手段で含まれる水分量を
一定量にした空気をセンサ素子に接触するよう構成して
いるため、ＮＯｘが感応部に対し平衡吸着し、低濃度の
ＮＯｘ濃度を高精度に測定することができる（第１発
明）。また、センサ素子の温度Ｔを５００℃≦Ｔ≦８０
０℃に保った状態で、ＮＯ／ＮＯ2 の分圧比を平衡状態
にする触媒を通過した空気、好ましくはさらに水分を一
定にする手段で含まれる水分量を一定量にした空気を、
センサ素子に接触するよう構成しているため、空気中の
低濃度のＮＯｘ濃度を高精度で測定することができる
（第２発明）。
【図１】本発明の低濃度ＮＯｘ計測器の一例の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明の低濃度ＮＯｘ計測器の他の例の構成を
示す図である。
示す図である。
【図３】本発明の低濃度ＮＯｘ計測器のさらに他の例の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図４】本発明の低濃度ＮＯｘ計測器のさらに他の例の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
１ 低濃度ＮＯｘ計測器、５ 触媒、６ センサ素子、
７ 測定部、２２ 酸化物
７ 測定部、２２ 酸化物
Claims (12)
- 【請求項１】ＮＯｘを含む被測定ガスが接触することに
よりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する金属酸化物
半導体からなるセンサ素子からなり、センサ素子の温度
Ｔが５００℃≦Ｔ≦８００℃であることを特徴とする低
濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項２】ＮＯｘを含む被測定ガスが接触することに
よりそのＮＯｘ成分に応じて抵抗が変化する酸化物から
なるセンサ素子と、該センサ素子の抵抗変化を検出して
被測定ガス中のＮＯｘ濃度を検知するための測定部とを
備えるＮＯｘ計測器において、測定対象となる被測定ガ
スが大気であり、前記センサ素子に対して被測定ガスの
流れの上流側に、ＮＯ／ＮＯ2 分圧比を平衡状態にし且
つ可燃性ガスを除去するための触媒を設け、前記センサ
素子の温度Ｔが５００℃≦Ｔ≦８００℃であることを特
徴とする低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項３】前記センサ素子の酸化物が金属酸化物半導
体である請求項２記載の低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項４】前記金属酸化物半導体が、ＳｎＯ2 または
ＳｎＯ2 と添加物の混合物である請求項１または３記載
の低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項５】前記添加物がＴａおよびＲｈである請求項
４記載の低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項６】前記触媒が貴金属または金属酸化物である
請求項１記載の低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項７】前記センサ素子近傍に温度検知手段を備
え、温度変化によるセンサ素子の抵抗変化を補正する請
求項１〜６のいずれか１項に記載の低濃度ＮＯｘ計測
器。 - 【請求項８】前記温度検知手段が酸化物であり、その温
度による抵抗変化がセンサ素子と同等である請求項７記
載の低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項９】前記温度検知手段が熱電対である請求項７
記載の低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項１０】前記温度検知手段がセンサ素子加熱用Ｐ
ｔヒーターの抵抗である請求項７記載の低濃度ＮＯｘ計
測器。 - 【請求項１１】前記センサ素子および／または触媒の温
度を一定にする手段が備えられている請求項１〜６のい
ずれか１項に記載の低濃度ＮＯｘ計測器。 - 【請求項１２】前記センサ素子に対して被測定ガスの流
れの上流側に、被測定ガスの含有する水分を一定にする
手段が備えられている請求項１〜１１のいずれか１項に
記載の低濃度ＮＯｘ計測器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9107215A JPH10300702A (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 低濃度ＮＯｘ計測器 |
| US09/063,471 US6044689A (en) | 1997-04-24 | 1998-04-20 | Apparatus for sensing low concentration NOx, chamber used for apparatus for sensing low concentration NOx; gas sensor element and method of manufacturing the same; and ammonia removing apparatus and NOx sensor utilizing this apparatus |
| DE69826057T DE69826057T2 (de) | 1997-04-24 | 1998-04-22 | Apparat und Sensor für geringe NOx Konzentrationen |
| EP98303116A EP0874236B1 (en) | 1997-04-24 | 1998-04-22 | Apparatus and sensor for sensing low concentration NOx |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9107215A JPH10300702A (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 低濃度ＮＯｘ計測器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10300702A true JPH10300702A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14453417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9107215A Withdrawn JPH10300702A (ja) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | 低濃度ＮＯｘ計測器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10300702A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101487812B (zh) | 2009-01-20 | 2012-01-25 | 天津大学 | 一种元器件阻温特性与气敏特性测试系统 |
| WO2018008336A1 (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2018155119A1 (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019138710A1 (ja) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019138712A1 (ja) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019146242A1 (ja) * | 2018-01-26 | 2019-08-01 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019163232A1 (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019176506A1 (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
-
1997
- 1997-04-24 JP JP9107215A patent/JPH10300702A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101487812B (zh) | 2009-01-20 | 2012-01-25 | 天津大学 | 一种元器件阻温特性与气敏特性测试系统 |
| WO2018008336A1 (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| JP2018004583A (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2018155119A1 (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019138710A1 (ja) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019138712A1 (ja) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019146242A1 (ja) * | 2018-01-26 | 2019-08-01 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019163232A1 (ja) * | 2018-02-21 | 2019-08-29 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
| WO2019176506A1 (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
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