JPH1030643A - 転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法 - Google Patents
転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法Info
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- JPH1030643A JPH1030643A JP20796296A JP20796296A JPH1030643A JP H1030643 A JPH1030643 A JP H1030643A JP 20796296 A JP20796296 A JP 20796296A JP 20796296 A JP20796296 A JP 20796296A JP H1030643 A JPH1030643 A JP H1030643A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 玉表面に固体潤滑膜を強固に付着させ、回転
時に発塵が少ない、耐久性に優れる転がり軸受の玉への
固体潤滑膜形成方法を提供する。 【解決手段】 スパッタエッチングにより表面を荒らし
た玉１上に二硫化モリブデンまたは二硫化タングステン
をスパッタにより被膜処理を行い、被膜処理された玉１
と、玉１の端面に接触させたＰＴＦＥの自己潤滑性材料
からなる内輪３１と外輪３２及び保持器３３を備えた仮
組立軸受を構成するスラスト軸受３を用いて、内輪３１
と外輪３２の向かい合う面の何れか一方を玉１に押圧さ
せた状態で、玉１が回転するように移動させるとともに
玉１にＰＴＦＥの移着膜を形成させる。移着膜の付いた
玉１をスラスト軸受３から取り出して被試験用の玉軸受
に組み込んで回転させると、保持器及び転走面との接触
による摩耗が減少し、回転時に発塵の少ない、耐久性に
優れる高信頼性の固体潤滑玉軸受が得られる。
時に発塵が少ない、耐久性に優れる転がり軸受の玉への
固体潤滑膜形成方法を提供する。 【解決手段】 スパッタエッチングにより表面を荒らし
た玉１上に二硫化モリブデンまたは二硫化タングステン
をスパッタにより被膜処理を行い、被膜処理された玉１
と、玉１の端面に接触させたＰＴＦＥの自己潤滑性材料
からなる内輪３１と外輪３２及び保持器３３を備えた仮
組立軸受を構成するスラスト軸受３を用いて、内輪３１
と外輪３２の向かい合う面の何れか一方を玉１に押圧さ
せた状態で、玉１が回転するように移動させるとともに
玉１にＰＴＦＥの移着膜を形成させる。移着膜の付いた
玉１をスラスト軸受３から取り出して被試験用の玉軸受
に組み込んで回転させると、保持器及び転走面との接触
による摩耗が減少し、回転時に発塵の少ない、耐久性に
優れる高信頼性の固体潤滑玉軸受が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は転がり軸受に係わ
り、特に高真空、高温、低温、放射性雰囲気などのよう
にグリースや油で潤滑できない環境や油の存在が好まし
くない環境での使用に適する転がり軸受の玉への固体潤
滑膜形成方法に関する。
り、特に高真空、高温、低温、放射性雰囲気などのよう
にグリースや油で潤滑できない環境や油の存在が好まし
くない環境での使用に適する転がり軸受の玉への固体潤
滑膜形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、高真空、高温、低温、放射性雰囲
気等のようにグリースや油で潤滑できない所や油の存在
が好ましくない場所では、一般的に固体潤滑が採用され
ている。固体潤滑の方法としては玉および内輪、外輪の
軌道溝に二硫化モリブデン、二硫化タングステン、ポリ
テトラフルオロエチレン樹脂（以下、ＰＴＦＥと略
す）、金、銀などの固体潤滑剤を蒸着、スパッタ、イオ
ンプレーティング、メッキ、焼き付けおよびバーニッシ
ュ（機械的な押しつけ）などの方法が提案されている。
例えば、特開平２ー２４５５１４号公報に記載されてい
るように、コーティングの手段としてスパッタによる技
術が用いられ、特開昭５３ー１３８９８９号および特開
昭５５ー５７７１７号公報には、イオンプレーティング
による技術が用いられている。また、特開昭５１ー４２
８４７号公報に記載されているように、玉表面に金、銀
等の潤滑性金属のメッキを施す技術が用いられている。
また、特開平６ー１０９０２２号公報および特開平６ー
１５９３７３号公報には固体潤滑剤の微粉末をボールミ
ル、バレル加工およびショットピーニング等の機械的エ
ネルギを利用して軸受部品にコーティングする技術が開
示されている。
気等のようにグリースや油で潤滑できない所や油の存在
が好ましくない場所では、一般的に固体潤滑が採用され
ている。固体潤滑の方法としては玉および内輪、外輪の
軌道溝に二硫化モリブデン、二硫化タングステン、ポリ
テトラフルオロエチレン樹脂（以下、ＰＴＦＥと略
す）、金、銀などの固体潤滑剤を蒸着、スパッタ、イオ
ンプレーティング、メッキ、焼き付けおよびバーニッシ
ュ（機械的な押しつけ）などの方法が提案されている。
例えば、特開平２ー２４５５１４号公報に記載されてい
るように、コーティングの手段としてスパッタによる技
術が用いられ、特開昭５３ー１３８９８９号および特開
昭５５ー５７７１７号公報には、イオンプレーティング
による技術が用いられている。また、特開昭５１ー４２
８４７号公報に記載されているように、玉表面に金、銀
等の潤滑性金属のメッキを施す技術が用いられている。
また、特開平６ー１０９０２２号公報および特開平６ー
１５９３７３号公報には固体潤滑剤の微粉末をボールミ
ル、バレル加工およびショットピーニング等の機械的エ
ネルギを利用して軸受部品にコーティングする技術が開
示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来の固体潤
滑剤のコーティング方法においては次のような問題点、
課題がある。 （１）スパッタやイオンプレーティングで玉表面に固体
潤滑剤をコーティングする場合、強固に付着する膜厚
は、約０．２μｍ以下であり、その範囲内では膜厚が増
すほど軸受寿命が延びる。ところが製造時に膜厚が均一
になりにくいことや玉の表面粗さのばらつきを考慮し
て、固体潤滑剤の膜厚は０．２μｍ以上にするのが一般
的である。このように膜厚を増すと約０．２μｍ以上に
ついた膜は付着力が弱くなるため、軸受を回転したとき
に潤滑膜が容易に摩耗して、発塵となって軸受外に多量
の塵となって出てくるという問題があった。このように
固体潤滑膜をコーティングした玉をテフロンのような自
己潤滑性材料からなる保持器をもつ軸受に組み込み、回
転させると玉の表面に保持器材が移着して薄い膜が出来
るが、下地材の固体潤滑剤の膜厚が厚すぎて強固に付着
していないため、移着膜も容易に剥離が起こってしま
い、発塵が多かったり耐久性が短いなどの問題があっ
た。 （２）電気メッキでコーティングする場合は、金属電極
との距離でメッキ厚さが大きく影響を受け、かつ玉にも
電極を設置しなければならないため、電極設置部分はメ
ッキされないという問題があった。 （３）固体潤滑剤の微粉末を機械的エネルギでコーティ
ングする方法では、コーティングするときのエネルギで
軸受表面が傷ついたり、コーティングされた膜は固体潤
滑剤の微粉末が重なって表面に係留している状態なの
で、膜は剥がれ易くそのため軸受の寿命が短かったり、
発塵が多いという問題があった。 そこで、本発明は玉表面に固体潤滑膜を強固に付着させ
るとともに、回転時に発塵が少なく、さらに 耐久性に
優れる転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法を提供す
ることを目的とする。
滑剤のコーティング方法においては次のような問題点、
課題がある。 （１）スパッタやイオンプレーティングで玉表面に固体
潤滑剤をコーティングする場合、強固に付着する膜厚
は、約０．２μｍ以下であり、その範囲内では膜厚が増
すほど軸受寿命が延びる。ところが製造時に膜厚が均一
になりにくいことや玉の表面粗さのばらつきを考慮し
て、固体潤滑剤の膜厚は０．２μｍ以上にするのが一般
的である。このように膜厚を増すと約０．２μｍ以上に
ついた膜は付着力が弱くなるため、軸受を回転したとき
に潤滑膜が容易に摩耗して、発塵となって軸受外に多量
の塵となって出てくるという問題があった。このように
固体潤滑膜をコーティングした玉をテフロンのような自
己潤滑性材料からなる保持器をもつ軸受に組み込み、回
転させると玉の表面に保持器材が移着して薄い膜が出来
るが、下地材の固体潤滑剤の膜厚が厚すぎて強固に付着
していないため、移着膜も容易に剥離が起こってしま
い、発塵が多かったり耐久性が短いなどの問題があっ
た。 （２）電気メッキでコーティングする場合は、金属電極
との距離でメッキ厚さが大きく影響を受け、かつ玉にも
電極を設置しなければならないため、電極設置部分はメ
ッキされないという問題があった。 （３）固体潤滑剤の微粉末を機械的エネルギでコーティ
ングする方法では、コーティングするときのエネルギで
軸受表面が傷ついたり、コーティングされた膜は固体潤
滑剤の微粉末が重なって表面に係留している状態なの
で、膜は剥がれ易くそのため軸受の寿命が短かったり、
発塵が多いという問題があった。 そこで、本発明は玉表面に固体潤滑膜を強固に付着させ
るとともに、回転時に発塵が少なく、さらに 耐久性に
優れる転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法を提供す
ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は内輪と外輪との間に複数の玉が挿設された
転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法において、前記
玉の表面に残留した物質をスパッタ装置内でスパッタエ
ッチングにより除去し表面を荒らす第１の工程と、前記
第１の工程で処理された玉の表面上に二硫化モリブデン
または二硫化タングステンをスパッタにより０．０１〜
０．１μｍの膜厚に形成する第２の工程と、前記スパッ
タ装置内から取り出し前記第２の工程で被膜処理された
玉と、前記被膜処理された玉の表面に接触させた自己潤
滑性材料からなる第１のリング材と第２のリング材およ
び保持器を備えたスラスト型の仮組立軸受を構成し、前
記仮組立軸受の両端に設けた両リング材の向かい合う面
の何れか一方を前記被膜処理された玉に押圧させた状態
で、前記被膜処理された玉が回転するように移動させる
ことにより前記両リング材から前記被膜処理された玉に
移着させて潤滑膜を形成する第３の工程と、からなるこ
とを特徴とするものである。また、前記第１のリング材
と前記第２のリング材のうち、少なくとも一方のリング
材に前記被膜処理された玉と互いに向かい合う面で接触
する弧状の軌道溝を形成していることを特徴とするもの
である。
め、本発明は内輪と外輪との間に複数の玉が挿設された
転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法において、前記
玉の表面に残留した物質をスパッタ装置内でスパッタエ
ッチングにより除去し表面を荒らす第１の工程と、前記
第１の工程で処理された玉の表面上に二硫化モリブデン
または二硫化タングステンをスパッタにより０．０１〜
０．１μｍの膜厚に形成する第２の工程と、前記スパッ
タ装置内から取り出し前記第２の工程で被膜処理された
玉と、前記被膜処理された玉の表面に接触させた自己潤
滑性材料からなる第１のリング材と第２のリング材およ
び保持器を備えたスラスト型の仮組立軸受を構成し、前
記仮組立軸受の両端に設けた両リング材の向かい合う面
の何れか一方を前記被膜処理された玉に押圧させた状態
で、前記被膜処理された玉が回転するように移動させる
ことにより前記両リング材から前記被膜処理された玉に
移着させて潤滑膜を形成する第３の工程と、からなるこ
とを特徴とするものである。また、前記第１のリング材
と前記第２のリング材のうち、少なくとも一方のリング
材に前記被膜処理された玉と互いに向かい合う面で接触
する弧状の軌道溝を形成していることを特徴とするもの
である。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図に基
づいて説明する。図１は本発明の実施の形態を示す転が
り軸受の玉への固体潤滑形成方法のうち、スパッタエッ
チングとスパッタに用いるスパッタ装置の断面図であ
る。図において、１は玉、２はスパッタ装置、２１は回
転基板、２２は皿、２３は固定基板、２４は二硫化モリ
ブデンターゲット、２５は真空チャンバ、２６は二硫化
モリブデン膜である。まず、最初に第１の工程として軸
受型番＃６０８（内径φ８、外径φ２２、幅７）用の玉
１（直径５／３２″、材質 ステンレスＳＵＳ４４０
Ｃ）を軸受２セット分の１４個準備し、玉１に付着した
酸化膜や吸着膜、あるいは塵などを十分に溶剤で洗浄す
る。次に、スパッタダウンのスパッタ装置２を使って、
回転基板２１の上に内径φ６０、高さ１５の皿２２を固
定し、その中に洗浄・乾燥した１４個の玉１を入れる。
固定基板２３に配設されたターゲット２４には純度９９
％の二硫化モリブデンのバルクを用いる。まず、真空チ
ャンバ２５内を真空引きして、真空度が落ち着いてきた
ら、回転基板２１を４ｒ／ｍｉｎで１０秒間回転、２秒
間停止のサイクルで稼動する。３分経過後、スパッタエ
ッチングを開始し、１０分間その状態に保持する。時間
がきたらスパッタエッチングを停止して３分経過後、続
いて第２の工程としてスパッタに入る。この間、回転基
板２１は前記サイクルで稼動したままの状態にしてお
く。この時、玉１表面に付着させる膜厚はスパッタする
時間で管理する。このようにして二硫化モリブデンの膜
厚（μｍ）を０．００５、０．００８、０．０１、０．
０５、０．１、０．１５および０．３にスパッタした玉
１をそれぞれ１４個（軸受＃６０８の２セット分）ずつ
準備した。
づいて説明する。図１は本発明の実施の形態を示す転が
り軸受の玉への固体潤滑形成方法のうち、スパッタエッ
チングとスパッタに用いるスパッタ装置の断面図であ
る。図において、１は玉、２はスパッタ装置、２１は回
転基板、２２は皿、２３は固定基板、２４は二硫化モリ
ブデンターゲット、２５は真空チャンバ、２６は二硫化
モリブデン膜である。まず、最初に第１の工程として軸
受型番＃６０８（内径φ８、外径φ２２、幅７）用の玉
１（直径５／３２″、材質 ステンレスＳＵＳ４４０
Ｃ）を軸受２セット分の１４個準備し、玉１に付着した
酸化膜や吸着膜、あるいは塵などを十分に溶剤で洗浄す
る。次に、スパッタダウンのスパッタ装置２を使って、
回転基板２１の上に内径φ６０、高さ１５の皿２２を固
定し、その中に洗浄・乾燥した１４個の玉１を入れる。
固定基板２３に配設されたターゲット２４には純度９９
％の二硫化モリブデンのバルクを用いる。まず、真空チ
ャンバ２５内を真空引きして、真空度が落ち着いてきた
ら、回転基板２１を４ｒ／ｍｉｎで１０秒間回転、２秒
間停止のサイクルで稼動する。３分経過後、スパッタエ
ッチングを開始し、１０分間その状態に保持する。時間
がきたらスパッタエッチングを停止して３分経過後、続
いて第２の工程としてスパッタに入る。この間、回転基
板２１は前記サイクルで稼動したままの状態にしてお
く。この時、玉１表面に付着させる膜厚はスパッタする
時間で管理する。このようにして二硫化モリブデンの膜
厚（μｍ）を０．００５、０．００８、０．０１、０．
０５、０．１、０．１５および０．３にスパッタした玉
１をそれぞれ１４個（軸受＃６０８の２セット分）ずつ
準備した。
【０００６】次に第３の工程として、図２に示すスラス
ト軸受３（ＮＳＫ型番＃51200、内径φ１０、外径φ２
６、幅１１）を準備する。なお、図１の（ａ）はスラス
ト軸受の側断面図、（ｂ）は（ａ）に関するＡＡ’矢視
図を示したものである。スラスト軸受３はその構成要素
である第１のリング材である内輪３１、第２のリング材
である外輪３２および保持器３３の材質を、二硫化モリ
ブデンを５０％、ガラス繊維を５％添加したＰＴＦＥと
したものを使用した。このスラスト軸受３に前記の二硫
化モリブデン膜２６がスパッタされた玉１を組み込んで
仮組立軸受とし、真空チャンバ内の稼動軸に取り付け
る。このような状態で内輪３１を固定し、外輪３２をス
パッタされた玉１に押圧させた状態でスラスト荷重５ｋ
ｇｆをかけて、真空度が１０-4Ｐａになったら、１，２
００ｒ／ｍｉｎで外輪３２を１時間回転させる。その後
回転を停止して、玉１を取り出す。玉１の表面には二硫
化モリブデン膜２６があるが、さらにその上にＰＴＦＥ
複合材料の移着膜３４が付いている。なお、このスラス
ト軸受３はその両端に設けた内輪３１と外輪３２のう
ち、少なくとも一方にスパッタされた玉１と互いに向か
い合う面で接触する弧状の軌道溝を形成させる構成と
し、内輪３１、外輪３２の向かい合う面はその何れか一
方を固定し、他方を回転させるようにしたものである。
また、スラスト軸受３のリング材３１、３２および保持
器３３の材質はＰＴＦＥに替えて、二硫化モリブデンを
２０％とＰＴＦＥを２０％を含んだポリエ−テルエ−テ
ルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、二硫化モリブデンを１５％
添加したポリイミド樹脂、あるいは鉛１０％、すず１０
％、銅８０％からなる鉛青銅鋳物、ＰＴＦＥを２０％含
んだポリイミド樹脂などを使用しても良い。
ト軸受３（ＮＳＫ型番＃51200、内径φ１０、外径φ２
６、幅１１）を準備する。なお、図１の（ａ）はスラス
ト軸受の側断面図、（ｂ）は（ａ）に関するＡＡ’矢視
図を示したものである。スラスト軸受３はその構成要素
である第１のリング材である内輪３１、第２のリング材
である外輪３２および保持器３３の材質を、二硫化モリ
ブデンを５０％、ガラス繊維を５％添加したＰＴＦＥと
したものを使用した。このスラスト軸受３に前記の二硫
化モリブデン膜２６がスパッタされた玉１を組み込んで
仮組立軸受とし、真空チャンバ内の稼動軸に取り付け
る。このような状態で内輪３１を固定し、外輪３２をス
パッタされた玉１に押圧させた状態でスラスト荷重５ｋ
ｇｆをかけて、真空度が１０-4Ｐａになったら、１，２
００ｒ／ｍｉｎで外輪３２を１時間回転させる。その後
回転を停止して、玉１を取り出す。玉１の表面には二硫
化モリブデン膜２６があるが、さらにその上にＰＴＦＥ
複合材料の移着膜３４が付いている。なお、このスラス
ト軸受３はその両端に設けた内輪３１と外輪３２のう
ち、少なくとも一方にスパッタされた玉１と互いに向か
い合う面で接触する弧状の軌道溝を形成させる構成と
し、内輪３１、外輪３２の向かい合う面はその何れか一
方を固定し、他方を回転させるようにしたものである。
また、スラスト軸受３のリング材３１、３２および保持
器３３の材質はＰＴＦＥに替えて、二硫化モリブデンを
２０％とＰＴＦＥを２０％を含んだポリエ−テルエ−テ
ルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、二硫化モリブデンを１５％
添加したポリイミド樹脂、あるいは鉛１０％、すず１０
％、銅８０％からなる鉛青銅鋳物、ＰＴＦＥを２０％含
んだポリイミド樹脂などを使用しても良い。
【０００７】上記の第３の処理工程にて、これらの二硫
化モリブデン膜の上にＰＴＦＥ複合材料の移着膜が形成
された玉１を仮組立軸受であるスラスト軸受３から取り
外し、十分に溶剤で洗浄されたステンレス製の被試験用
のラジアル軸受（型番＃６０８）４に組み込んで、真空
中で発塵試験を行った。発塵量測定装置５を図３に示
す。モータ５１のロータ５２が垂直になるようにして、
ロータ５２の支持に前記のとおり製作した２個ずつの玉
軸受４、４１を取りつけた。モータ５１の内部は１０-4
Ｐａの真空になっている。２．７ｋｇｆのスラスト荷重
をバネ５３で軸受４にかけて、モータ５１を１，２００
ｒ／ｍｉｎで回転させたときに、軸受４から発生する塵
を、下部の玉軸受４１の下方に設置したレーザ式のパー
ティクルカウンタ５４（最高測定感度０．２７μｍ）で
測定した。
化モリブデン膜の上にＰＴＦＥ複合材料の移着膜が形成
された玉１を仮組立軸受であるスラスト軸受３から取り
外し、十分に溶剤で洗浄されたステンレス製の被試験用
のラジアル軸受（型番＃６０８）４に組み込んで、真空
中で発塵試験を行った。発塵量測定装置５を図３に示
す。モータ５１のロータ５２が垂直になるようにして、
ロータ５２の支持に前記のとおり製作した２個ずつの玉
軸受４、４１を取りつけた。モータ５１の内部は１０-4
Ｐａの真空になっている。２．７ｋｇｆのスラスト荷重
をバネ５３で軸受４にかけて、モータ５１を１，２００
ｒ／ｍｉｎで回転させたときに、軸受４から発生する塵
を、下部の玉軸受４１の下方に設置したレーザ式のパー
ティクルカウンタ５４（最高測定感度０．２７μｍ）で
測定した。
【０００８】図４に８時間測定したときの０．２７μｍ
以上の塵のカウント総数と二硫化モリブデンの膜厚との
関係を示す。二硫化モリブデンの膜厚が０．０１〜０．
１μｍの間では軸受からの発塵は比較的少ない。二硫化
モリブデンの膜厚が０．０１μｍ未満および０．１μｍ
を越えると発塵が多い。０．０１μｍ未満では玉軸受の
潤滑としてＰＴＦＥ複合材料が支配的になり、０．１μ
ｍを越えると二硫化モリブデンからの発塵があると考え
る。このようにまず玉１に０．０１μｍ〜０．１μｍの
膜厚の二硫化モリブデン膜２５をスパッタして、その玉
１の表面に固体潤滑剤の移着膜３４を処理して、固体潤
滑玉軸受４を構成すると、非常に発塵の少ない玉軸受を
提供することが出来る。なお、実施例では、スパッタす
る固体潤滑剤として二硫化モリブデンを挙げたが、二硫
化タングステンなどの他の層状構造物質でも良い。
以上の塵のカウント総数と二硫化モリブデンの膜厚との
関係を示す。二硫化モリブデンの膜厚が０．０１〜０．
１μｍの間では軸受からの発塵は比較的少ない。二硫化
モリブデンの膜厚が０．０１μｍ未満および０．１μｍ
を越えると発塵が多い。０．０１μｍ未満では玉軸受の
潤滑としてＰＴＦＥ複合材料が支配的になり、０．１μ
ｍを越えると二硫化モリブデンからの発塵があると考え
る。このようにまず玉１に０．０１μｍ〜０．１μｍの
膜厚の二硫化モリブデン膜２５をスパッタして、その玉
１の表面に固体潤滑剤の移着膜３４を処理して、固体潤
滑玉軸受４を構成すると、非常に発塵の少ない玉軸受を
提供することが出来る。なお、実施例では、スパッタす
る固体潤滑剤として二硫化モリブデンを挙げたが、二硫
化タングステンなどの他の層状構造物質でも良い。
【０００９】上記スパッタエッチングにより、玉表面は
全面にわたってほぼ均一に０．０１〜０．３μｍ程度に
荒らされて、その面に膜厚０．０１〜０．１μｍの二硫
化モリブデンがスパッタされ、さらにその表面に自己潤
滑性材料の移着膜が処理されるので、二硫化モリブデン
膜は強固に付着しており、また移着膜も荒らされた面の
谷間に食い込む。したがって、玉軸受に組み込まれて回
転するときの保持器および転走面との接触による摩耗は
非常に少なくなるので、発塵が少ない転がり軸受の玉へ
の固体潤滑膜形成方法を提供することができる。
全面にわたってほぼ均一に０．０１〜０．３μｍ程度に
荒らされて、その面に膜厚０．０１〜０．１μｍの二硫
化モリブデンがスパッタされ、さらにその表面に自己潤
滑性材料の移着膜が処理されるので、二硫化モリブデン
膜は強固に付着しており、また移着膜も荒らされた面の
谷間に食い込む。したがって、玉軸受に組み込まれて回
転するときの保持器および転走面との接触による摩耗は
非常に少なくなるので、発塵が少ない転がり軸受の玉へ
の固体潤滑膜形成方法を提供することができる。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、玉表
面に固体潤滑膜を強固に付着させ、回転時に発塵の少な
い、耐久性に優れる高信頼性の転がり軸受の玉への固体
潤滑膜形成方法を得る効果がある。
面に固体潤滑膜を強固に付着させ、回転時に発塵の少な
い、耐久性に優れる高信頼性の転がり軸受の玉への固体
潤滑膜形成方法を得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示すスパッタ装置の断面
図である。
図である。
【図２】（ａ）は本発明の実施の形態を示すスラスト軸
受の側断面図、（ｂ）は（ａ）に関するＡＡ’矢視図で
ある。
受の側断面図、（ｂ）は（ａ）に関するＡＡ’矢視図で
ある。
【図３】発塵量測定装置を示す断面図である。
【図４】二硫化モリブデンのスパッタ膜厚と発塵カウン
ト数の関係を示す図である。
ト数の関係を示す図である。
１：玉、２：スパッタ装置、２１：回転基板、２２：
皿、２３：回転基板、２４：二硫化モリブデンターゲッ
ト、２５：真空チャンバ、２６：二硫化モリブデン膜、
３：スラスト軸受、３１：内輪、３２：外輪、３３：保
持器、３４：ＰＴＦＥの移着膜、４、４１：玉軸受、
５：発塵量測定装置、５１：モータ、５２：ロータ、５
３：バネ、５４：パーティクルカウンタ
皿、２３：回転基板、２４：二硫化モリブデンターゲッ
ト、２５：真空チャンバ、２６：二硫化モリブデン膜、
３：スラスト軸受、３１：内輪、３２：外輪、３３：保
持器、３４：ＰＴＦＥの移着膜、４、４１：玉軸受、
５：発塵量測定装置、５１：モータ、５２：ロータ、５
３：バネ、５４：パーティクルカウンタ
Claims (2)
- 【請求項１】 内輪と外輪との間に複数の玉が挿設され
た転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法において、 前記玉の表面に残留した物質をスパッタ装置内でスパッ
タエッチングにより除去し表面を荒らす第１の工程と、
前記第１の工程で処理された玉の表面上に二硫化モリブ
デンまたは二硫化タングステンをスパッタにより０．０
１〜０．１μｍの膜厚に形成する第２の工程と、前記ス
パッタ装置内から取り出し前記第２の工程で被膜処理さ
れた玉と、前記被膜処理された玉の表面に接触させた自
己潤滑性材料からなる第１のリング材と第２のリング材
および保持器を備えたスラスト型の仮組立軸受を構成
し、前記仮組立軸受の両端に設けた両リング材の向かい
合う面の何れか一方を前記被膜処理された玉に押圧させ
た状態で、前記被膜処理された玉が回転するように移動
させることにより前記両リング材から前記被膜処理され
た玉に移着させて潤滑膜を形成する第３の工程と、から
なることを特徴とする転がり軸受の玉への固体潤滑膜形
成方法。 - 【請求項２】 前記第１のリング材と前記第２のリング
材のうち、少なくとも一方のリング材に前記被膜処理さ
れた玉と互いに向かい合う面で接触する弧状の軌道溝を
形成している転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20796296A JP3729217B2 (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | 転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20796296A JP3729217B2 (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | 転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1030643A true JPH1030643A (ja) | 1998-02-03 |
| JP3729217B2 JP3729217B2 (ja) | 2005-12-21 |
Family
ID=16548414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20796296A Expired - Lifetime JP3729217B2 (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | 転がり軸受の玉への固体潤滑膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3729217B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6896416B2 (en) | 2000-12-20 | 2005-05-24 | Nsk Limited | Rolling-bearing and bearing unit |
| EP1588878A2 (en) | 2004-03-29 | 2005-10-26 | Nissan Motor Co., Ltd. | Slide apparatus for automotive vehicle |
| JP2006137614A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Hoya Corp | モールドプレス成形装置、及びモールドプレス成形装置の製造方法 |
| CN116180288A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-05-30 | 江苏君霖纺织科技有限公司 | 具有多层错式导丝辊的并轴机设备及其应用 |
| GB2621340A (en) * | 2022-08-08 | 2024-02-14 | Esr Tech Limited | Rolling element bearings |
-
1996
- 1996-07-17 JP JP20796296A patent/JP3729217B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6896416B2 (en) | 2000-12-20 | 2005-05-24 | Nsk Limited | Rolling-bearing and bearing unit |
| EP1588878A2 (en) | 2004-03-29 | 2005-10-26 | Nissan Motor Co., Ltd. | Slide apparatus for automotive vehicle |
| EP1588878A3 (en) * | 2004-03-29 | 2008-11-26 | Nissan Motor Co., Ltd. | Slide apparatus for automotive vehicle |
| US9238932B2 (en) | 2004-03-29 | 2016-01-19 | Nissan Motor Co., Ltd. | Slide apparatus for automotive vehicle |
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| JP3729217B2 (ja) | 2005-12-21 |
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