JPH10307113A - 水中ｔｏｃモニター - Google Patents
水中ｔｏｃモニターInfo
- Publication number
- JPH10307113A JPH10307113A JP13287697A JP13287697A JPH10307113A JP H10307113 A JPH10307113 A JP H10307113A JP 13287697 A JP13287697 A JP 13287697A JP 13287697 A JP13287697 A JP 13287697A JP H10307113 A JPH10307113 A JP H10307113A
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- Japan
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】電子工業における超純水の回収水のように、高
濃度の電解質と低濃度のＴＯＣ成分を含む水について、
迅速かつ正確に、ＴＯＣ濃度を測定することができる水
中ＴＯＣモニターを提供する。 【解決手段】電解質とＴＯＣ成分を含む水のＴＯＣ濃度
を測定する装置であって、試料水中の電解質を除去する
連続再生型イオン交換装置と、該連続再生型イオン交換
装置により電解質を除去した脱イオン水中のＴＯＣ成分
を分解する紫外線照射装置と、該紫外線照射装置により
ＴＯＣ成分を分解した水の電気伝導率を測定する電気伝
導率計とを有することを特徴とする水中ＴＯＣモニタ
ー。
濃度の電解質と低濃度のＴＯＣ成分を含む水について、
迅速かつ正確に、ＴＯＣ濃度を測定することができる水
中ＴＯＣモニターを提供する。 【解決手段】電解質とＴＯＣ成分を含む水のＴＯＣ濃度
を測定する装置であって、試料水中の電解質を除去する
連続再生型イオン交換装置と、該連続再生型イオン交換
装置により電解質を除去した脱イオン水中のＴＯＣ成分
を分解する紫外線照射装置と、該紫外線照射装置により
ＴＯＣ成分を分解した水の電気伝導率を測定する電気伝
導率計とを有することを特徴とする水中ＴＯＣモニタ
ー。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水中ＴＯＣ（有機
体炭素）モニターに関する。さらに詳しくは、本発明
は、電子工業用超純水の回収水のように、電解質とＴＯ
Ｃ成分を含む水について、迅速かつ正確に、そのＴＯＣ
濃度を測定することができる水中ＴＯＣモニターに関す
る。
体炭素）モニターに関する。さらに詳しくは、本発明
は、電子工業用超純水の回収水のように、電解質とＴＯ
Ｃ成分を含む水について、迅速かつ正確に、そのＴＯＣ
濃度を測定することができる水中ＴＯＣモニターに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電子工業において用いられる超純水は、
製造工程で使用したのち回収し、ＴＯＣ分解装置で処理
して再利用している。しかし、回収水中のＴＯＣ濃度は
大きく変動し、ＴＯＣ濃度の高い回収水がＴＯＣ分解装
置に流入すると、装置の除去性能を著しく悪化させるた
め、ＴＯＣ濃度の高い回収水は、バブル切り替え操作な
どで分別し、ＴＯＣ分解装置への流入を防止する必要が
ある。このため、回収水中のＴＯＣ濃度を迅速に検出す
ることができる水中ＴＯＣモニターが必要となる。しか
し、従来より超純水のＴＯＣモニターに使用されている
紫外線分解式ＴＯＣ計は、ＴＯＣ成分の分解によって生
成した二酸化炭素による水の電気伝導率の変化からＴＯ
Ｃ濃度を求めるものであり、試料水中の電解質が低濃度
であることが必要条件であるため、高濃度の電解質を含
む回収水には適用できない。また、加熱分解式ＴＯＣ計
は、ＴＯＣ成分の分解によって生成した二酸化炭素を赤
外線ガス分析計により分析してＴＯＣ濃度を求めるもの
であり、電解質濃度にかかわらず分析可能であるが、装
置が大きくなるためモニターとしては適していない。そ
のため、小型軽量で、回収水中の電解質の影響を受ける
ことなく、迅速、簡便かつ正確にＴＯＣ濃度を測定する
ことができる水中ＴＯＣモニターが求められている。
製造工程で使用したのち回収し、ＴＯＣ分解装置で処理
して再利用している。しかし、回収水中のＴＯＣ濃度は
大きく変動し、ＴＯＣ濃度の高い回収水がＴＯＣ分解装
置に流入すると、装置の除去性能を著しく悪化させるた
め、ＴＯＣ濃度の高い回収水は、バブル切り替え操作な
どで分別し、ＴＯＣ分解装置への流入を防止する必要が
ある。このため、回収水中のＴＯＣ濃度を迅速に検出す
ることができる水中ＴＯＣモニターが必要となる。しか
し、従来より超純水のＴＯＣモニターに使用されている
紫外線分解式ＴＯＣ計は、ＴＯＣ成分の分解によって生
成した二酸化炭素による水の電気伝導率の変化からＴＯ
Ｃ濃度を求めるものであり、試料水中の電解質が低濃度
であることが必要条件であるため、高濃度の電解質を含
む回収水には適用できない。また、加熱分解式ＴＯＣ計
は、ＴＯＣ成分の分解によって生成した二酸化炭素を赤
外線ガス分析計により分析してＴＯＣ濃度を求めるもの
であり、電解質濃度にかかわらず分析可能であるが、装
置が大きくなるためモニターとしては適していない。そ
のため、小型軽量で、回収水中の電解質の影響を受ける
ことなく、迅速、簡便かつ正確にＴＯＣ濃度を測定する
ことができる水中ＴＯＣモニターが求められている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、電子工業に
おける超純水の回収水のように、高濃度の電解質と低濃
度のＴＯＣ成分を含む水について、迅速かつ正確に、そ
のＴＯＣ濃度を測定することができる水中ＴＯＣモニタ
ーを提供することを目的としてなされたものである。
おける超純水の回収水のように、高濃度の電解質と低濃
度のＴＯＣ成分を含む水について、迅速かつ正確に、そ
のＴＯＣ濃度を測定することができる水中ＴＯＣモニタ
ーを提供することを目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、試料水中の電解質
を連続再生型イオン交換装置により除去し、得られた脱
イオン水中のＴＯＣ成分を紫外線照射により分解したの
ち、水の電気伝導率を測定することにより、迅速かつ正
確に試料水中のＴＯＣ濃度を測定し得ることを見いだ
し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。す
なわち、本発明は、電解質とＴＯＣ成分を含む水のＴＯ
Ｃ濃度を測定する装置であって、試料水中の電解質を除
去する連続再生型イオン交換装置と、該連続再生型イオ
ン交換装置により電解質を除去した脱イオン水中のＴＯ
Ｃ成分を分解する紫外線照射装置と、該紫外線照射装置
によりＴＯＣ成分を分解した水の電気伝導率を測定する
電気伝導率計とを有することを特徴とする水中ＴＯＣモ
ニターを提供するものである。
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、試料水中の電解質
を連続再生型イオン交換装置により除去し、得られた脱
イオン水中のＴＯＣ成分を紫外線照射により分解したの
ち、水の電気伝導率を測定することにより、迅速かつ正
確に試料水中のＴＯＣ濃度を測定し得ることを見いだ
し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。す
なわち、本発明は、電解質とＴＯＣ成分を含む水のＴＯ
Ｃ濃度を測定する装置であって、試料水中の電解質を除
去する連続再生型イオン交換装置と、該連続再生型イオ
ン交換装置により電解質を除去した脱イオン水中のＴＯ
Ｃ成分を分解する紫外線照射装置と、該紫外線照射装置
によりＴＯＣ成分を分解した水の電気伝導率を測定する
電気伝導率計とを有することを特徴とする水中ＴＯＣモ
ニターを提供するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の水中ＴＯＣモニターは、
電解質とＴＯＣ成分を含む水のＴＯＣ濃度の測定に用い
る装置であって、特に電子工業において用いられる超純
水の回収水のように、電解質を１ppm以上のような高濃
度に含有し、ＴＯＣ成分を１ppm以下のような低濃度に
含有する水に対して、好適に使用することができる。図
１は、本発明の水中ＴＯＣモニターの系統図である。本
発明の水中ＴＯＣモニターは、連続再生型イオン交換装
置１、紫外線照射装置２及び電気伝導率計３を有する。
連続再生型イオン交換装置とは、イオン交換膜を陽陰交
互に並べ、両端に電極を配して、膜間に混合型イオン交
換樹脂を充填した装置で、膜面と垂直方向に印加電圧を
かけながら、水試料を膜面と平行に通水することで、電
解質（イオン）を除去すると同時に、樹脂を連続的に再
生することができるイオン交換装置である。試料水は、
回収水系統配管４から、試料採取管５を経由して、連続
再生型イオン交換装置１に送られる。本態様の連続再生
型イオン交換装置１においては、相対する面に陽極６及
び陰極７が設けられ、その間が交互に設けた４枚の陽イ
オン交換膜８及び４枚の陰イオン交換膜９により仕切ら
れて、３個の脱イオン室１０、４個の濃縮室１１及び２
個の電極室１２に分けられ、さらに混合型イオン交換樹
脂１３が各室に充填されている。陽極と陰極の間に電位
差を与えると、陽イオンは陽イオン交換膜を通るが、陰
イオン交換膜によって阻止され、陰イオンは陰イオン交
換膜を通るが、陽イオン交換膜によって阻止されるの
で、脱イオン室から濃縮室に水中のイオンが移動する。
脱イオン室、濃縮室及び電極室に充填された混合型イオ
ン交換樹脂は、高い導電性を有するブリッジとして働
き、イオンの移動を促進する。一方、ＴＯＣ成分は陽イ
オン交換膜も陰イオン交換膜も通過しないので、脱イオ
ン室内の水は、試料水と同じＴＯＣ濃度を保ったまま、
電解質が除去された脱イオン水となる。水中のイオンが
移動し電解質が濃縮された濃縮室の水及び電極表面で化
学反応が起こる可能性のある電極室の水は、ドレン配管
１４を経由して放流される。本発明において、水中の電
解質を効率的に除去する手段であれば制限なく使用する
ことができるが、連続再生型イオン交換装置を特に好適
に使用することができる。
電解質とＴＯＣ成分を含む水のＴＯＣ濃度の測定に用い
る装置であって、特に電子工業において用いられる超純
水の回収水のように、電解質を１ppm以上のような高濃
度に含有し、ＴＯＣ成分を１ppm以下のような低濃度に
含有する水に対して、好適に使用することができる。図
１は、本発明の水中ＴＯＣモニターの系統図である。本
発明の水中ＴＯＣモニターは、連続再生型イオン交換装
置１、紫外線照射装置２及び電気伝導率計３を有する。
連続再生型イオン交換装置とは、イオン交換膜を陽陰交
互に並べ、両端に電極を配して、膜間に混合型イオン交
換樹脂を充填した装置で、膜面と垂直方向に印加電圧を
かけながら、水試料を膜面と平行に通水することで、電
解質（イオン）を除去すると同時に、樹脂を連続的に再
生することができるイオン交換装置である。試料水は、
回収水系統配管４から、試料採取管５を経由して、連続
再生型イオン交換装置１に送られる。本態様の連続再生
型イオン交換装置１においては、相対する面に陽極６及
び陰極７が設けられ、その間が交互に設けた４枚の陽イ
オン交換膜８及び４枚の陰イオン交換膜９により仕切ら
れて、３個の脱イオン室１０、４個の濃縮室１１及び２
個の電極室１２に分けられ、さらに混合型イオン交換樹
脂１３が各室に充填されている。陽極と陰極の間に電位
差を与えると、陽イオンは陽イオン交換膜を通るが、陰
イオン交換膜によって阻止され、陰イオンは陰イオン交
換膜を通るが、陽イオン交換膜によって阻止されるの
で、脱イオン室から濃縮室に水中のイオンが移動する。
脱イオン室、濃縮室及び電極室に充填された混合型イオ
ン交換樹脂は、高い導電性を有するブリッジとして働
き、イオンの移動を促進する。一方、ＴＯＣ成分は陽イ
オン交換膜も陰イオン交換膜も通過しないので、脱イオ
ン室内の水は、試料水と同じＴＯＣ濃度を保ったまま、
電解質が除去された脱イオン水となる。水中のイオンが
移動し電解質が濃縮された濃縮室の水及び電極表面で化
学反応が起こる可能性のある電極室の水は、ドレン配管
１４を経由して放流される。本発明において、水中の電
解質を効率的に除去する手段であれば制限なく使用する
ことができるが、連続再生型イオン交換装置を特に好適
に使用することができる。
【０００６】電解質が除去された脱イオン水は、次い
で、紫外線照射装置２へ送られる。本態様の紫外線照射
装置２においては、周辺に設けられた紫外線ランプ１５
により、中央部の通水路１６を流れる脱イオン水に紫外
線が照射され、脱イオン水中に含まれるＴＯＣ成分が分
解して、二酸化炭素が生成する。紫外線照射によりＴＯ
Ｃ成分が分解された二酸化炭素を含む脱イオン水は、次
いで、電気伝導率計３に送られる。生成した二酸化炭素
は、水に溶解して重炭酸イオンとなるので、二酸化炭素
が多いほど、すなわち試料水中のＴＯＣ成分が多いほ
ど、紫外線照射後の脱イオン水の電気伝導率は大きくな
る。あらかじめ、試料水中のＴＯＣ成分の量と、紫外線
照射後の脱イオン水の電気伝導率の関係を求め、検量線
を作成しておくことにより、電気伝導率の値から、容易
に試料水中のＴＯＣ成分の濃度を求めることができる。
本発明の水中ＴＯＣモニターに試料水を連続的に導入す
ることにより、電解質が除去された脱イオン水を連続的
に得て、超純水の回収水などのように、高濃度の電解質
と低濃度のＴＯＣ成分を含む水中のＴＯＣ濃度を、連続
的に測定することができる。本発明の水中ＴＯＣモニタ
ーは、構造も単純であるので、容易に現場に持ち運び、
大きなスペースを占めることなく、簡便に使用すること
ができる。本発明の水中ＴＯＣモニターを、電子工業に
おける超純水の回収水系統配管に接続し、試料水を通水
することにより、回収水中のＴＯＣ濃度を連続的にモニ
ターすることができる。また、本発明の水中ＴＯＣモニ
ターと、自動駆動バルブやコックなどに接続し、高濃度
ＴＯＣが検出されたとき、バルブ切り替え操作などによ
り、ＴＯＣ濃度が高い回収水のＴＯＣ分解装置への流入
を防止し、ＴＯＣ分解装置の性能の低下を防止すること
ができる。
で、紫外線照射装置２へ送られる。本態様の紫外線照射
装置２においては、周辺に設けられた紫外線ランプ１５
により、中央部の通水路１６を流れる脱イオン水に紫外
線が照射され、脱イオン水中に含まれるＴＯＣ成分が分
解して、二酸化炭素が生成する。紫外線照射によりＴＯ
Ｃ成分が分解された二酸化炭素を含む脱イオン水は、次
いで、電気伝導率計３に送られる。生成した二酸化炭素
は、水に溶解して重炭酸イオンとなるので、二酸化炭素
が多いほど、すなわち試料水中のＴＯＣ成分が多いほ
ど、紫外線照射後の脱イオン水の電気伝導率は大きくな
る。あらかじめ、試料水中のＴＯＣ成分の量と、紫外線
照射後の脱イオン水の電気伝導率の関係を求め、検量線
を作成しておくことにより、電気伝導率の値から、容易
に試料水中のＴＯＣ成分の濃度を求めることができる。
本発明の水中ＴＯＣモニターに試料水を連続的に導入す
ることにより、電解質が除去された脱イオン水を連続的
に得て、超純水の回収水などのように、高濃度の電解質
と低濃度のＴＯＣ成分を含む水中のＴＯＣ濃度を、連続
的に測定することができる。本発明の水中ＴＯＣモニタ
ーは、構造も単純であるので、容易に現場に持ち運び、
大きなスペースを占めることなく、簡便に使用すること
ができる。本発明の水中ＴＯＣモニターを、電子工業に
おける超純水の回収水系統配管に接続し、試料水を通水
することにより、回収水中のＴＯＣ濃度を連続的にモニ
ターすることができる。また、本発明の水中ＴＯＣモニ
ターと、自動駆動バルブやコックなどに接続し、高濃度
ＴＯＣが検出されたとき、バルブ切り替え操作などによ
り、ＴＯＣ濃度が高い回収水のＴＯＣ分解装置への流入
を防止し、ＴＯＣ分解装置の性能の低下を防止すること
ができる。
【０００７】
【発明の効果】本発明の水中ＴＯＣモニターによれば、
電子工業などで用いられる超純水の回収水中のＴＯＣ濃
度を連続的にモニターし、ＴＯＣ濃度の高い回収水が発
生した場合にも、その回収水のＴＯＣ分解装置への流入
を防止し、ＴＯＣ分解装置の安定したＴＯＣ除去性能を
維持することができる。
電子工業などで用いられる超純水の回収水中のＴＯＣ濃
度を連続的にモニターし、ＴＯＣ濃度の高い回収水が発
生した場合にも、その回収水のＴＯＣ分解装置への流入
を防止し、ＴＯＣ分解装置の安定したＴＯＣ除去性能を
維持することができる。
【図１】図１は、本発明の水中ＴＯＣモニターの系統図
である。
である。
１ 連続再生型イオン交換装置 ２ 紫外線照射装置 ３ 電気伝導率計 ４ 回収水系統配管 ５ 試料採取管 ６ 陽極 ７ 陰極 ８ 陽イオン交換膜 ９ 陰イオン交換膜 １０ 脱イオン室 １１ 濃縮室 １２ 電極室 １３ 混合型イオン交換樹脂 １４ ドレン配管 １５ 紫外線ランプ １６ 通水路
Claims (1)
- 【請求項１】電解質とＴＯＣ成分を含む水のＴＯＣ濃度
を測定する装置であって、試料水中の電解質を除去する
連続再生型イオン交換装置と、該連続再生型イオン交換
装置により電解質を除去した脱イオン水中のＴＯＣ成分
を分解する紫外線照射装置と、該紫外線照射装置により
ＴＯＣ成分を分解した水の電気伝導率を測定する電気伝
導率計とを有することを特徴とする水中ＴＯＣモニタ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13287697A JPH10307113A (ja) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | 水中ｔｏｃモニター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13287697A JPH10307113A (ja) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | 水中ｔｏｃモニター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10307113A true JPH10307113A (ja) | 1998-11-17 |
Family
ID=15091630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13287697A Pending JPH10307113A (ja) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | 水中ｔｏｃモニター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10307113A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006090732A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Dkk Toa Corp | 全有機炭素含量の測定方法および装置 |
-
1997
- 1997-05-07 JP JP13287697A patent/JPH10307113A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006090732A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Dkk Toa Corp | 全有機炭素含量の測定方法および装置 |
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