JPH10308058A - ディスクチャック機構 - Google Patents
ディスクチャック機構Info
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- JPH10308058A JPH10308058A JP9090202A JP9020297A JPH10308058A JP H10308058 A JPH10308058 A JP H10308058A JP 9090202 A JP9090202 A JP 9090202A JP 9020297 A JP9020297 A JP 9020297A JP H10308058 A JPH10308058 A JP H10308058A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- cylinder
- rod
- circular groove
- ring
- Prior art date
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- Pending
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- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 径の小さいディスクをチャックするのに適
し、かつ、ディスクを高速回転しても安定なチャックが
できるディスクチャック機構を提供することにある。 【解決手段】この発明のディスクチャック機構は、シリ
ンダを貫通する短いロッドを設け、このロッドの両端に
円板部材と板部材とを結合し、シリンダの後側にロッド
をシリンダから引き出す方向付勢する付勢部材を設け
て、この付勢部材を、例えば、コイルばね等として、こ
れの付勢力によりロッドをシリンダから後ろへと引き出
し、これによって円形溝の径より小さい径のリング部材
を拡大させて円形溝に適合させて、リング部材の外周面
がディスクの中心開口部の側面を全面的に均等に加圧す
ることでシリンダの上端面において確実にディスクをチ
ャックするものである。
し、かつ、ディスクを高速回転しても安定なチャックが
できるディスクチャック機構を提供することにある。 【解決手段】この発明のディスクチャック機構は、シリ
ンダを貫通する短いロッドを設け、このロッドの両端に
円板部材と板部材とを結合し、シリンダの後側にロッド
をシリンダから引き出す方向付勢する付勢部材を設け
て、この付勢部材を、例えば、コイルばね等として、こ
れの付勢力によりロッドをシリンダから後ろへと引き出
し、これによって円形溝の径より小さい径のリング部材
を拡大させて円形溝に適合させて、リング部材の外周面
がディスクの中心開口部の側面を全面的に均等に加圧す
ることでシリンダの上端面において確実にディスクをチ
ャックするものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、情報記録用ディ
スクのチャック機構に関し、詳しくは、磁気ディスク検
査装置のディスク駆動機構として、径の小さいディスク
をチャックするのに適し、かつ、ディスクを高速回転し
ても安定なチャックができるような小型なディスクチャ
ック機構に関する。
スクのチャック機構に関し、詳しくは、磁気ディスク検
査装置のディスク駆動機構として、径の小さいディスク
をチャックするのに適し、かつ、ディスクを高速回転し
ても安定なチャックができるような小型なディスクチャ
ック機構に関する。
【0002】
【従来の技術】情報記憶に使用される磁気ディスクや光
ディスクなどは、記憶媒体の物理的欠陥と、その電気的
な記憶性能の良否が、ディスク検査装置により検査され
る。この種の検査装置にはスピンドルとその回転機構が
設けられていて、検査対象となるディスクは、スピンド
ルの頭部に設けたチャック機構によりチャックされて回
転する。初期においては、ディスクは、手作業によりチ
ャック機構に装着されていたが、検査の自動化に対応し
て、現在ではロボットハンドにより自動装着されるの
で、これに適応するディスクチャック機構が使用されて
いる。
ディスクなどは、記憶媒体の物理的欠陥と、その電気的
な記憶性能の良否が、ディスク検査装置により検査され
る。この種の検査装置にはスピンドルとその回転機構が
設けられていて、検査対象となるディスクは、スピンド
ルの頭部に設けたチャック機構によりチャックされて回
転する。初期においては、ディスクは、手作業によりチ
ャック機構に装着されていたが、検査の自動化に対応し
て、現在ではロボットハンドにより自動装着されるの
で、これに適応するディスクチャック機構が使用されて
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図5は、自動装着が可
能な従来のディスクチャック機構の代表的な数例を示す
ものであって、(a)は、従来のディスクチャック機構の
斜視図、(b)〜(f)は、それぞれのディスクチャック機構
の垂直断面図であって、そのセンターラインより左半分
に解放状態を、右半分にディスクチャック状態を示す。
ただし、(d)については左半分のみを示し、(e)について
はチャック状態を点線で示す。なお、この種のチャック
機構の一部については、出願人の所有する米国特許50
14143号とその従来技術において記載されている。
(a)は、周囲に複数の爪C1を有するヘッドHと、このヘ
ッドHの下側に配置されスピンドル2に結合されたシリ
ンダSと、スピンドル2とシリンダSを貫通してヘッド
Hに先端側が結合する貫通軸2aと、この貫通軸2aの後
端側に結合するエアシリンダAsとにより構成される。
能な従来のディスクチャック機構の代表的な数例を示す
ものであって、(a)は、従来のディスクチャック機構の
斜視図、(b)〜(f)は、それぞれのディスクチャック機構
の垂直断面図であって、そのセンターラインより左半分
に解放状態を、右半分にディスクチャック状態を示す。
ただし、(d)については左半分のみを示し、(e)について
はチャック状態を点線で示す。なお、この種のチャック
機構の一部については、出願人の所有する米国特許50
14143号とその従来技術において記載されている。
(a)は、周囲に複数の爪C1を有するヘッドHと、このヘ
ッドHの下側に配置されスピンドル2に結合されたシリ
ンダSと、スピンドル2とシリンダSを貫通してヘッド
Hに先端側が結合する貫通軸2aと、この貫通軸2aの後
端側に結合するエアシリンダAsとにより構成される。
【0004】エアシリンダAsにより貫通軸2aが上昇
すると、ヘッドH内のばね(図示せず)とシリンダSの
傾斜面とからなる開閉機構により各爪C1が閉じるの
で、この状態でロボットハンドによりディスク1の中心
開口部をヘッドHに挿入にシリンダSのディスク保持面
に載置する。エアシリンダAsにより貫通軸2aを下降
させると、各爪C1が開いてディスク1の中心開口部の
周囲表面部1aを爪C1の先端部が押圧する。これにより
ディスク1が爪C1とシリンダSとによりチャックされ
る。 この(a)は、爪開閉機構との関係でヘッドHの径
を小さくするのには限界がある。これは、小型なディス
クをチャックするには適しておらず、製造や保守作業が
容易でない欠点がある。
すると、ヘッドH内のばね(図示せず)とシリンダSの
傾斜面とからなる開閉機構により各爪C1が閉じるの
で、この状態でロボットハンドによりディスク1の中心
開口部をヘッドHに挿入にシリンダSのディスク保持面
に載置する。エアシリンダAsにより貫通軸2aを下降
させると、各爪C1が開いてディスク1の中心開口部の
周囲表面部1aを爪C1の先端部が押圧する。これにより
ディスク1が爪C1とシリンダSとによりチャックされ
る。 この(a)は、爪開閉機構との関係でヘッドHの径
を小さくするのには限界がある。これは、小型なディス
クをチャックするには適しておらず、製造や保守作業が
容易でない欠点がある。
【0005】(b)は、ヘッドHの下部を円錐形とし、こ
れとシリンダSとの間にZ形の押圧片C2を複数個配列
したものである。貫通軸2aを上昇すると、(b)図左側に
示すように、各押圧片C2は、スプリングSpにより押圧
されて内側に傾く。この状態でディスク1の中心開口部
をヘッドHに挿通してシリンダSの表面に載置する。貫
通軸2aを下降させると、ヘッドHの円錐形の斜面が各
押圧片C2の上端を外側に押出して図面右側に示す状態
にする。これにより(a)の場合と同様にディスク1が押
圧片C2とシリンダSとによりチャックされる。(c)は、
L字形の押圧片C3を複数個、シリンダSの内壁にピン
により回動可能に支持する。貫通軸2aを上昇させる
と、図左側に示すように、各押圧片C3は、内側に傾く
ので、この状態でディスク1の中心開口部をヘッドHに
挿通してシリンダSの表面に載置する。貫通軸2aを下
降させると、各押圧片C3の上端をヘッドHが押して各
押圧片C3を回動させ図面右側に示す状態にする。これ
により(b)の場合と同様にディスク1が押圧片C3とシリ
ンダSとによりチャックされる。これは、スプリングS
pが不要な点分、チャックを小型化するのに有利であ
る。しかし、これら(a)〜(c)は、ディスク1の回転速度
が高速になると、それぞれの押圧片C1〜C3の押圧力が
不足してディスク1が不安定となる。そのためこれにエ
ア吸着力を併用したものが次の(d)である。
れとシリンダSとの間にZ形の押圧片C2を複数個配列
したものである。貫通軸2aを上昇すると、(b)図左側に
示すように、各押圧片C2は、スプリングSpにより押圧
されて内側に傾く。この状態でディスク1の中心開口部
をヘッドHに挿通してシリンダSの表面に載置する。貫
通軸2aを下降させると、ヘッドHの円錐形の斜面が各
押圧片C2の上端を外側に押出して図面右側に示す状態
にする。これにより(a)の場合と同様にディスク1が押
圧片C2とシリンダSとによりチャックされる。(c)は、
L字形の押圧片C3を複数個、シリンダSの内壁にピン
により回動可能に支持する。貫通軸2aを上昇させる
と、図左側に示すように、各押圧片C3は、内側に傾く
ので、この状態でディスク1の中心開口部をヘッドHに
挿通してシリンダSの表面に載置する。貫通軸2aを下
降させると、各押圧片C3の上端をヘッドHが押して各
押圧片C3を回動させ図面右側に示す状態にする。これ
により(b)の場合と同様にディスク1が押圧片C3とシリ
ンダSとによりチャックされる。これは、スプリングS
pが不要な点分、チャックを小型化するのに有利であ
る。しかし、これら(a)〜(c)は、ディスク1の回転速度
が高速になると、それぞれの押圧片C1〜C3の押圧力が
不足してディスク1が不安定となる。そのためこれにエ
ア吸着力を併用したものが次の(d)である。
【0006】(d)は、図示の形状の複数個の押圧片C4に
よりディスク1の中心開口部に沿った表面1aを部分的
に押圧するとともに、ヘッドHの下部に設けた複数の吸
引孔mによりエアを矢印Aの方向に吸引することでディ
スク1の裏面を吸着する。しかし、これは、吸引孔mが
加わり、吸引構造が追加されるので構造が複雑になり、
小型化には適していない。(e)は、ヘッドHの下部の円
錐形の位置に、Cリングの弾性リングrを装着したたも
のである。ヘッドHを上昇すると弾性リングrは直径が
縮小する。この状態でシリンダSにディスク1を載置
し、ヘッドHを下降して弾性リングrの直径を拡大させ
て表面1aの全周を押圧する。このような全周押圧方式
は、先の部分押圧方式よりチャック力が強く、高速回転
に適している。なお、これは、先の特許5014143
号における発明の1つである。
よりディスク1の中心開口部に沿った表面1aを部分的
に押圧するとともに、ヘッドHの下部に設けた複数の吸
引孔mによりエアを矢印Aの方向に吸引することでディ
スク1の裏面を吸着する。しかし、これは、吸引孔mが
加わり、吸引構造が追加されるので構造が複雑になり、
小型化には適していない。(e)は、ヘッドHの下部の円
錐形の位置に、Cリングの弾性リングrを装着したたも
のである。ヘッドHを上昇すると弾性リングrは直径が
縮小する。この状態でシリンダSにディスク1を載置
し、ヘッドHを下降して弾性リングrの直径を拡大させ
て表面1aの全周を押圧する。このような全周押圧方式
は、先の部分押圧方式よりチャック力が強く、高速回転
に適している。なお、これは、先の特許5014143
号における発明の1つである。
【0007】(f)は、シリンダSの内壁に円錐面を形成
し、この円錐面の内壁にピンにより複数個の押圧棒C5
を回動可能に支持する。貫通軸2aの上部に設けた押圧
板2cにより各押圧棒C5を外方に傾斜させて、中心開口
部の側面を部分的に押圧する。この方式は、ディスク1
の上部に機構が全くない。そのため、例えば、磁気ディ
スクの磁気特性検査などにに好都合なチャックとして使
用される。しかし、ディスク1の回転速度が向上する
と、やはり押圧力が不足するので通常のディスク検査装
置には適していない。
し、この円錐面の内壁にピンにより複数個の押圧棒C5
を回動可能に支持する。貫通軸2aの上部に設けた押圧
板2cにより各押圧棒C5を外方に傾斜させて、中心開口
部の側面を部分的に押圧する。この方式は、ディスク1
の上部に機構が全くない。そのため、例えば、磁気ディ
スクの磁気特性検査などにに好都合なチャックとして使
用される。しかし、ディスク1の回転速度が向上する
と、やはり押圧力が不足するので通常のディスク検査装
置には適していない。
【0008】上記の各種のチャック機構は、(f)を除
き、表面1aの複数箇所を部分的、または全周を押圧す
るものである。これに対して、最近におけるディスクは
ますます小型化されるとともに厚さが薄くなってきてい
る。また回転速度もさらに高速化されて来ている。その
ため、前記のようなディスクチャック機構では、ディス
クに歪みが生じ易い。特に、小型で高速回転するディス
クにあっては、スピンドルに対する位置ズレによってデ
ィスクに有害な振動が発生する。この発明の目的は、こ
のような問題点を解決したものであって、径の小さいデ
ィスクをチャックするのに適し、かつ、ディスクを高速
回転しても安定なチャックができるディスクチャック機
構を提供することにある。
き、表面1aの複数箇所を部分的、または全周を押圧す
るものである。これに対して、最近におけるディスクは
ますます小型化されるとともに厚さが薄くなってきてい
る。また回転速度もさらに高速化されて来ている。その
ため、前記のようなディスクチャック機構では、ディス
クに歪みが生じ易い。特に、小型で高速回転するディス
クにあっては、スピンドルに対する位置ズレによってデ
ィスクに有害な振動が発生する。この発明の目的は、こ
のような問題点を解決したものであって、径の小さいデ
ィスクをチャックするのに適し、かつ、ディスクを高速
回転しても安定なチャックができるディスクチャック機
構を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためのこの発明のディスクチャック機構の特徴は、デ
ィスクを受ける先端表面の周辺部に設けられた前記ディ
スクの内径と実質的に等しいかこれより少し大きい円形
溝、この円形溝の内側に設けられた円錐状の凸部、そし
て中心部に設けられた貫通孔とを有するするシリンダ
と、前記貫通孔を貫通しこの貫通孔に沿ってスライドす
るロッドと、このロッドの前記円錐状の凸部側に突出し
た先端に設けられ前記ディスクの内径に対応する径の円
板と、この円板と反対側の前記ロッドの端部に設けられ
た板部材と、前記円板と前記円錐状の凸部との間に設け
られ一部が解放され前記円形溝の径より小さい径の弾性
体のリング部材と、前記板部材と前記シリンダの後端部
との間に装着され前記ロッドを前記シリンダの後部から
引き出す方向に付勢する付勢部材とを備えていて、前記
リング部材が、前記円錐状の凸部に当接される傾斜面を
有し、前記付勢部材により前記ロッドが前記シリンダよ
り後方に引き出されることによって前記円形溝に適合し
てその側面により前記ディスクの中央開口部の側面を押
圧することで前記ディスクをチャックするものである。
るためのこの発明のディスクチャック機構の特徴は、デ
ィスクを受ける先端表面の周辺部に設けられた前記ディ
スクの内径と実質的に等しいかこれより少し大きい円形
溝、この円形溝の内側に設けられた円錐状の凸部、そし
て中心部に設けられた貫通孔とを有するするシリンダ
と、前記貫通孔を貫通しこの貫通孔に沿ってスライドす
るロッドと、このロッドの前記円錐状の凸部側に突出し
た先端に設けられ前記ディスクの内径に対応する径の円
板と、この円板と反対側の前記ロッドの端部に設けられ
た板部材と、前記円板と前記円錐状の凸部との間に設け
られ一部が解放され前記円形溝の径より小さい径の弾性
体のリング部材と、前記板部材と前記シリンダの後端部
との間に装着され前記ロッドを前記シリンダの後部から
引き出す方向に付勢する付勢部材とを備えていて、前記
リング部材が、前記円錐状の凸部に当接される傾斜面を
有し、前記付勢部材により前記ロッドが前記シリンダよ
り後方に引き出されることによって前記円形溝に適合し
てその側面により前記ディスクの中央開口部の側面を押
圧することで前記ディスクをチャックするものである。
【0010】
【発明の実施の形態】このように、この発明は、シリン
ダを貫通する短いロッドを設け、このロッドの両端に円
板部材と板部材とを結合し、シリンダの後側にロッドを
シリンダから引き出す方向付勢する付勢部材を設けて、
この付勢部材を、例えば、コイルばね等として、これの
付勢力によりロッドをシリンダから後ろへと引き出し、
これによって円形溝の径より小さい径のリング部材を拡
大させて円形溝に適合させる。このとき、リング部材の
外周面がディスクの中心開口部の側面を全面的に均等に
加圧する。その結果、ディスクは、シリンダの上端面に
おいて確実にチャックされる。板部材を押し上げると、
付勢部材としてばねが圧縮されて付勢力が抑えられると
ともに、リング部材の収縮力によりロッドが上昇し、拡
大したリング部材の外径が小さくなる。これによりチャ
ックされたディスクが解放される。
ダを貫通する短いロッドを設け、このロッドの両端に円
板部材と板部材とを結合し、シリンダの後側にロッドを
シリンダから引き出す方向付勢する付勢部材を設けて、
この付勢部材を、例えば、コイルばね等として、これの
付勢力によりロッドをシリンダから後ろへと引き出し、
これによって円形溝の径より小さい径のリング部材を拡
大させて円形溝に適合させる。このとき、リング部材の
外周面がディスクの中心開口部の側面を全面的に均等に
加圧する。その結果、ディスクは、シリンダの上端面に
おいて確実にチャックされる。板部材を押し上げると、
付勢部材としてばねが圧縮されて付勢力が抑えられると
ともに、リング部材の収縮力によりロッドが上昇し、拡
大したリング部材の外径が小さくなる。これによりチャ
ックされたディスクが解放される。
【0011】このようなディスクのチャックと解放は、
ロッドの上下移動で簡単に行われ、この間、付勢部材の
付勢力に対し、リング部材の収縮力がバランスを採るよ
うな状態で動作する。これによって、各部材を付勢部材
の付勢力とリング部材の収縮力との協同でシリンダに一
体的に保持する状態でロッドが上下移動する。その結
果、ディスクチャックやディスク解放の動作が安定して
いる。ディスクを受ける先端側の部材は、単に、リング
部材に付勢部材からの付勢力を加える形態で済むので1
枚の円板という簡単な構造になる。また、ロッドは、シ
リンダの表裏を貫通するだけでよいので短くて済む。し
たがって、移動部分全体は、小型でその質量は小さくで
きる。また、シリンダは、前部に円錐状の凸部を設け、
後部に付勢部材を設けるだけの構造になるので、その径
を小さくすることができる。
ロッドの上下移動で簡単に行われ、この間、付勢部材の
付勢力に対し、リング部材の収縮力がバランスを採るよ
うな状態で動作する。これによって、各部材を付勢部材
の付勢力とリング部材の収縮力との協同でシリンダに一
体的に保持する状態でロッドが上下移動する。その結
果、ディスクチャックやディスク解放の動作が安定して
いる。ディスクを受ける先端側の部材は、単に、リング
部材に付勢部材からの付勢力を加える形態で済むので1
枚の円板という簡単な構造になる。また、ロッドは、シ
リンダの表裏を貫通するだけでよいので短くて済む。し
たがって、移動部分全体は、小型でその質量は小さくで
きる。また、シリンダは、前部に円錐状の凸部を設け、
後部に付勢部材を設けるだけの構造になるので、その径
を小さくすることができる。
【0012】これらにより高速回転させるのに適した小
型なディスクチャック機構が実現できる。特に、シリン
ダの後部にダイアフラムを設けて付勢部材としてばねの
伸張力を受ける円板を設け、これをダイアフラムを介し
てエアにより押し上げるようにすれば、ディスクのチャ
ックと解放が簡単にできる。このようなディスクチャッ
ク機構は、ディスクの中心開口部の側面の全周をリング
部材の外周側面により押圧するので、たとえ、ディスク
の厚さが薄くなったとしても、従来の表面押圧の場合に
生じたディスクの歪みや位置ズレが発生し難い。また、
構造がシンプルで小型化に好都合である。さらにチャッ
クするための駆動源として、エアによりダイアフラムを
湾曲させる方法を採ればエアシリンダを必要としない。
型なディスクチャック機構が実現できる。特に、シリン
ダの後部にダイアフラムを設けて付勢部材としてばねの
伸張力を受ける円板を設け、これをダイアフラムを介し
てエアにより押し上げるようにすれば、ディスクのチャ
ックと解放が簡単にできる。このようなディスクチャッ
ク機構は、ディスクの中心開口部の側面の全周をリング
部材の外周側面により押圧するので、たとえ、ディスク
の厚さが薄くなったとしても、従来の表面押圧の場合に
生じたディスクの歪みや位置ズレが発生し難い。また、
構造がシンプルで小型化に好都合である。さらにチャッ
クするための駆動源として、エアによりダイアフラムを
湾曲させる方法を採ればエアシリンダを必要としない。
【0013】
【実施例】図1において、ディスクチャック機構3は、
上部より順に、ヘッド円板31と、結合ロッド32、円
形の一部が切断された弾性体のチャックリング33、シ
リンダ34、コイルスプリング36、押圧円板37、ダ
イアフラム38、そして、当てリング39よりなる。シ
リンダ34は、内部が空洞のシリンダ本体340と、こ
のシリンダ本体340の内壁から突出するたフランジ部
341、空洞に配置されフランジ部341に係合する前
側円板35a、空洞に配置されフランジ部341に前側
円板35aとは反対側において係合する後側円板35b
とからなる。なお、前記の当てリング39の外形は、シ
リンダ本体340の内径と一致していて、ダイアフラム
38を均一に保持する役割を果たす。
上部より順に、ヘッド円板31と、結合ロッド32、円
形の一部が切断された弾性体のチャックリング33、シ
リンダ34、コイルスプリング36、押圧円板37、ダ
イアフラム38、そして、当てリング39よりなる。シ
リンダ34は、内部が空洞のシリンダ本体340と、こ
のシリンダ本体340の内壁から突出するたフランジ部
341、空洞に配置されフランジ部341に係合する前
側円板35a、空洞に配置されフランジ部341に前側
円板35aとは反対側において係合する後側円板35b
とからなる。なお、前記の当てリング39の外形は、シ
リンダ本体340の内径と一致していて、ダイアフラム
38を均一に保持する役割を果たす。
【0014】前側円板35aと後側円板35bとは、そ
れぞれ中心部に結合ロッド32が挿入される貫通孔35
1a,351bを有していて、前側円板35aには、コ
ーン状に突出したボス(凸部)352が設けられてい
る。そこで、以下これをコーンボスという。すなわち、
コーンボス35aは、中心に結合ロッド32が挿入され
る貫通孔351aが設けられ、上部にチャックリング3
3を受ける円錐部の斜面(コーン部)がボス352とし
て形成されたものである。後側円板35bは、ヘッド円
板31と、結合ロッド32、チャックリング33とを、
シリンダ本体340にフランジ部341を介して上下動
可能に保持するための円板である。後側円板35bの底
面には圧縮されたコイルスプリング36が装填される底
のあるばね装填孔353,353が複数個、点対称ある
いは所定の円周に沿って設けられている(図2参照)。
れぞれ中心部に結合ロッド32が挿入される貫通孔35
1a,351bを有していて、前側円板35aには、コ
ーン状に突出したボス(凸部)352が設けられてい
る。そこで、以下これをコーンボスという。すなわち、
コーンボス35aは、中心に結合ロッド32が挿入され
る貫通孔351aが設けられ、上部にチャックリング3
3を受ける円錐部の斜面(コーン部)がボス352とし
て形成されたものである。後側円板35bは、ヘッド円
板31と、結合ロッド32、チャックリング33とを、
シリンダ本体340にフランジ部341を介して上下動
可能に保持するための円板である。後側円板35bの底
面には圧縮されたコイルスプリング36が装填される底
のあるばね装填孔353,353が複数個、点対称ある
いは所定の円周に沿って設けられている(図2参照)。
【0015】結合ロッド32は、図3(b)に示される
ように、その両端に雄ねじが切られていて、ヘッド円板
31と押圧円板37にそれぞれこれらの中心部において
ねじ込みにより結合される。これは、ヘッド円板31と
押圧円板37の間にあるチャックリング33の中心を通
り、コーンボス35の貫通孔351aに挿入され、さら
に後側円板35bの貫通孔251bを貫通している。な
お、図示していないが、ヘッド円板31と押圧円板37
の中心部には雌ねじが切られる。シリンダ本体340
は、ディスク1(図2参照)を受ける先端側の表面周辺
部に段差部344が設けられている。この段差部344
がコーンボス35aの側面との間でディスク1の内径と
実質的に等しいかこれより少し大きい円形溝345を形
成する。さらに、段差部344の奥には内壁から内側に
突出しているフランジ部341が設けられている。シリ
ンダ本体340の後端内側には、ダイアフラム38が装
着されるリング溝342、そしてその下側にスピンドル
2の先端が螺合されるねじ溝343が切られている。な
お、リング溝342に装着されるダイアフラム38は、
弾性ゴム製である。
ように、その両端に雄ねじが切られていて、ヘッド円板
31と押圧円板37にそれぞれこれらの中心部において
ねじ込みにより結合される。これは、ヘッド円板31と
押圧円板37の間にあるチャックリング33の中心を通
り、コーンボス35の貫通孔351aに挿入され、さら
に後側円板35bの貫通孔251bを貫通している。な
お、図示していないが、ヘッド円板31と押圧円板37
の中心部には雌ねじが切られる。シリンダ本体340
は、ディスク1(図2参照)を受ける先端側の表面周辺
部に段差部344が設けられている。この段差部344
がコーンボス35aの側面との間でディスク1の内径と
実質的に等しいかこれより少し大きい円形溝345を形
成する。さらに、段差部344の奥には内壁から内側に
突出しているフランジ部341が設けられている。シリ
ンダ本体340の後端内側には、ダイアフラム38が装
着されるリング溝342、そしてその下側にスピンドル
2の先端が螺合されるねじ溝343が切られている。な
お、リング溝342に装着されるダイアフラム38は、
弾性ゴム製である。
【0016】チャックリング33は、この発明のリング
部材の具体例であって、図3(a)に示すものであり、
軟質ナイロン樹脂あるいは弾性樹脂を素材として内部に
はスチールのCリング333を封じ込めて、リング状に
加工し、その一部分を切欠いて切欠部331を設けたも
のである。また、その外周面331は、垂直に形成し、
底面332は、テーパーにして全体として凹型の円錐面
を形成してある。ここでの底面332の傾斜は、コーン
ボス35aにおけるボス352の凸型の傾斜と一致して
いる。チャックリング33の外径は、前述したシリンダ
本体340において形成される円形溝345の径より小
さい径になっている。これらの部材からなるディスクチ
ャック機構3の組立は、ヘッド円板31に結合ロッド3
2の先端をねじ込み、これらを一体化する。そして、チ
ャックリング33を装着してコーンボス35aの貫通孔
351aに挿入する。このとき、チャックリング33の
凹型の底面332とコーンボス35aの円錐形のボス3
52の斜面とを対向させてこれらを接触させる。これに
より、シリンダ本体340の内側に上部からこれら結合
ロッド32と、コーンボス35、チャックリング33、
そしてヘッド円板31とを納める。このとき、これら部
材は、フランジ部341により係止される。
部材の具体例であって、図3(a)に示すものであり、
軟質ナイロン樹脂あるいは弾性樹脂を素材として内部に
はスチールのCリング333を封じ込めて、リング状に
加工し、その一部分を切欠いて切欠部331を設けたも
のである。また、その外周面331は、垂直に形成し、
底面332は、テーパーにして全体として凹型の円錐面
を形成してある。ここでの底面332の傾斜は、コーン
ボス35aにおけるボス352の凸型の傾斜と一致して
いる。チャックリング33の外径は、前述したシリンダ
本体340において形成される円形溝345の径より小
さい径になっている。これらの部材からなるディスクチ
ャック機構3の組立は、ヘッド円板31に結合ロッド3
2の先端をねじ込み、これらを一体化する。そして、チ
ャックリング33を装着してコーンボス35aの貫通孔
351aに挿入する。このとき、チャックリング33の
凹型の底面332とコーンボス35aの円錐形のボス3
52の斜面とを対向させてこれらを接触させる。これに
より、シリンダ本体340の内側に上部からこれら結合
ロッド32と、コーンボス35、チャックリング33、
そしてヘッド円板31とを納める。このとき、これら部
材は、フランジ部341により係止される。
【0017】その後に、ヘッド円板31を押さえてシリ
ンダ本体340を逆さにして後側円板35bを結合ロッ
ド32に貫通孔351bを介して挿入してフランジ部3
41に前側円板35aと反対側において係止させて保持
する。その後、後側円板35bに設けられた複数のばね
装填孔353,353にコイルばね36を装填する。そ
して、押圧円板37を結合ロッド32の上部先端にねじ
込ませて結合する。このとき、押圧円板37は、コイル
ばね36を圧縮状態にする。もちろん、コイルばね36
の長さは、ばね装填孔353,353の深さより長く、
ここでは2倍程度はある。このとき、コイルばね36の
圧縮されたばねの伸張力は、チャックリング333の収
縮力により結合ロッド32を引き上げる力よりも大き
い。しかし、圧縮されたコイルばね36の伸張は、結合
ロッド32の長さで制限を受ける。逆さにしたシリンダ
本体340の上下を元に戻してその状態を説明すると、
コイルばね36が伸張したとしても、図2の右側に示す
状態以上には、結合ロッド32はシリンダ本体340の
後部から引き出されない。それは、チャックリング33
が円形溝345と係合するからである。このときの押圧
円板37の位置は、リング溝342の上側の位置に実質
的に対応するように結合ロッド32の長さが選択されて
いる。
ンダ本体340を逆さにして後側円板35bを結合ロッ
ド32に貫通孔351bを介して挿入してフランジ部3
41に前側円板35aと反対側において係止させて保持
する。その後、後側円板35bに設けられた複数のばね
装填孔353,353にコイルばね36を装填する。そ
して、押圧円板37を結合ロッド32の上部先端にねじ
込ませて結合する。このとき、押圧円板37は、コイル
ばね36を圧縮状態にする。もちろん、コイルばね36
の長さは、ばね装填孔353,353の深さより長く、
ここでは2倍程度はある。このとき、コイルばね36の
圧縮されたばねの伸張力は、チャックリング333の収
縮力により結合ロッド32を引き上げる力よりも大き
い。しかし、圧縮されたコイルばね36の伸張は、結合
ロッド32の長さで制限を受ける。逆さにしたシリンダ
本体340の上下を元に戻してその状態を説明すると、
コイルばね36が伸張したとしても、図2の右側に示す
状態以上には、結合ロッド32はシリンダ本体340の
後部から引き出されない。それは、チャックリング33
が円形溝345と係合するからである。このときの押圧
円板37の位置は、リング溝342の上側の位置に実質
的に対応するように結合ロッド32の長さが選択されて
いる。
【0018】最後に、押圧円板37の上にダイアフラム
38を乗せてダイアフラム38の周辺を湾曲させてリン
グ溝342にダイアフラム38の周辺部を挿入してシリ
ンダ本体340に装着する。そして、スピンドル2の先
端をねじ溝343に結合してスピンドル2を固定し、ス
ピンドル2とシリンダ34とを一体化する。なお、スピ
ンドル2とシリンダ34との結合は、このようなねじに
よる結合に限定されない。また、スピンドル2の先端を
シリンダ34の後端に嵌合させて別の止めねじでこれら
を固定してもよい。このようにして組立てられたディス
クチャック機構3は、図2の右側に図示する状態にな
る。すなわち、コイルばね36を圧縮状態にして押圧円
板37とヘッド円板31とを結合ロッド32で結合する
と、後側円板35bを介して係合するフランジ部341
を基準にしてコイルばね36が伸張して結合ロッド32
を押し下げて、後側円板35bより結合ロッド32が引
き出され、チャックリング33の径をコーンボスに接触
させて拡大させ、チャックリング33を円形溝345の
位置まで降下させる。それ以上の結合ロッド32の後側
円板35bからの引き出しはなく、結合ロッド32の移
動がこの状態で停止する。これにより、図2の右側の断
面図で示す状態になってフランジ部341を介して結合
ロッド32と、チャックリング33、前部円板35a、
後部円板35bとがシリンダ本体340に一体的に保持
される。
38を乗せてダイアフラム38の周辺を湾曲させてリン
グ溝342にダイアフラム38の周辺部を挿入してシリ
ンダ本体340に装着する。そして、スピンドル2の先
端をねじ溝343に結合してスピンドル2を固定し、ス
ピンドル2とシリンダ34とを一体化する。なお、スピ
ンドル2とシリンダ34との結合は、このようなねじに
よる結合に限定されない。また、スピンドル2の先端を
シリンダ34の後端に嵌合させて別の止めねじでこれら
を固定してもよい。このようにして組立てられたディス
クチャック機構3は、図2の右側に図示する状態にな
る。すなわち、コイルばね36を圧縮状態にして押圧円
板37とヘッド円板31とを結合ロッド32で結合する
と、後側円板35bを介して係合するフランジ部341
を基準にしてコイルばね36が伸張して結合ロッド32
を押し下げて、後側円板35bより結合ロッド32が引
き出され、チャックリング33の径をコーンボスに接触
させて拡大させ、チャックリング33を円形溝345の
位置まで降下させる。それ以上の結合ロッド32の後側
円板35bからの引き出しはなく、結合ロッド32の移
動がこの状態で停止する。これにより、図2の右側の断
面図で示す状態になってフランジ部341を介して結合
ロッド32と、チャックリング33、前部円板35a、
後部円板35bとがシリンダ本体340に一体的に保持
される。
【0019】次に、このディスクチャック機構3のチャ
ック動作を説明すると、図2において、スピンドル2の
中心に設けた貫通孔2bを介してエアポンプ40から開
いた弁41を経てエアAを供給する。ディスクチャック
機構3にエアAが供給されると、左側に示すようにダイ
アフラム38は、上方に湾曲する。これにより押圧円板
37が上へと押されてコイルばね36を圧縮する。これ
とともにヘッド円板31とチャックリング33が上昇す
る。上昇したチャックリング33の円錐面332は、チ
ャックリング333の収縮力により、コーンボス35a
の円錐形のボス352の斜面に接触しながら内側に後退
移動する。このとき、チャックリング33は直径が縮小
する。ロボットハンドによって取り上げられたディスク
1の中心開口部をヘッド円板31に通し、シリンダ本体
340の円形溝350の外側周面にディスク1を載置す
る。コイルばね36の圧縮されたばねの伸張力は、チャ
ックリング333の収縮力により結合ロッド32を引き
上げる力よりも大きいので、結合ロッド32の上下移動
の動作は安定している。このとき、チャックリング33
3は、自己の収縮力によりコーンボス35aの傾斜面に
沿って前進,後退して安定な動作をする。
ック動作を説明すると、図2において、スピンドル2の
中心に設けた貫通孔2bを介してエアポンプ40から開
いた弁41を経てエアAを供給する。ディスクチャック
機構3にエアAが供給されると、左側に示すようにダイ
アフラム38は、上方に湾曲する。これにより押圧円板
37が上へと押されてコイルばね36を圧縮する。これ
とともにヘッド円板31とチャックリング33が上昇す
る。上昇したチャックリング33の円錐面332は、チ
ャックリング333の収縮力により、コーンボス35a
の円錐形のボス352の斜面に接触しながら内側に後退
移動する。このとき、チャックリング33は直径が縮小
する。ロボットハンドによって取り上げられたディスク
1の中心開口部をヘッド円板31に通し、シリンダ本体
340の円形溝350の外側周面にディスク1を載置す
る。コイルばね36の圧縮されたばねの伸張力は、チャ
ックリング333の収縮力により結合ロッド32を引き
上げる力よりも大きいので、結合ロッド32の上下移動
の動作は安定している。このとき、チャックリング33
3は、自己の収縮力によりコーンボス35aの傾斜面に
沿って前進,後退して安定な動作をする。
【0020】ここで、エアAの供給を停止すると、図2
右側のようにダイアフラム38は湾曲の前の元の状態に
戻り平坦となる。そのため押圧円板37とともにチャッ
クリング33が下降してチャックリング33の直径は拡
大する。そして、円形溝345にチャックリング33が
嵌合することあるいは嵌入することでチャックリング3
3が円形溝345に適合し、これによりチャックリング
33の外周側面がディスク1の中心開口部の周囲側面1
bの全周を均一に押圧する。このことによりディスク1
は、シリンダ本体340の上端面に対する位置ずれがほ
とんどなく、また歪みほとんど発生せず、確実に保持さ
れる。図3は、他の実施例であって、コーンボス35a
(前側円板35a)と後側円板35bとを円筒体35と
して一体的に形成した実施例である。シリンダ本体34
0と円筒体35との結合は、シリンダ本体340のフラ
ンジ部341の位置にフランジ部341に換えて設けた
溝346と、これに対向する円筒体35に設けた溝35
4と、これらの溝の間に装着される、図3(c)に示す
一部が解放された弾性体のストップリング347とによ
る。なお、円筒体35の長さは、シリンダ本体340よ
りも短い。これにより円筒体35の後端部は、シリンダ
本体340の内側に配置される。
右側のようにダイアフラム38は湾曲の前の元の状態に
戻り平坦となる。そのため押圧円板37とともにチャッ
クリング33が下降してチャックリング33の直径は拡
大する。そして、円形溝345にチャックリング33が
嵌合することあるいは嵌入することでチャックリング3
3が円形溝345に適合し、これによりチャックリング
33の外周側面がディスク1の中心開口部の周囲側面1
bの全周を均一に押圧する。このことによりディスク1
は、シリンダ本体340の上端面に対する位置ずれがほ
とんどなく、また歪みほとんど発生せず、確実に保持さ
れる。図3は、他の実施例であって、コーンボス35a
(前側円板35a)と後側円板35bとを円筒体35と
して一体的に形成した実施例である。シリンダ本体34
0と円筒体35との結合は、シリンダ本体340のフラ
ンジ部341の位置にフランジ部341に換えて設けた
溝346と、これに対向する円筒体35に設けた溝35
4と、これらの溝の間に装着される、図3(c)に示す
一部が解放された弾性体のストップリング347とによ
る。なお、円筒体35の長さは、シリンダ本体340よ
りも短い。これにより円筒体35の後端部は、シリンダ
本体340の内側に配置される。
【0021】その組立は、円筒体35の溝354にスト
ップリング347をはめ込み、シリンダ本体340に装
着することでストップリング347が弾性変形してシリ
ンダ本体340の溝346に嵌合することによる。な
お、このストップリング347としては、硬質ゴムある
いはばね等を使用することができる。このような組立と
は別に、ストップリング347を接着剤等によりシリン
ダ本体340にあらかじめ固定しておき、これに円筒体
35が溝354を介して装着されて組立てられてもよ
い。
ップリング347をはめ込み、シリンダ本体340に装
着することでストップリング347が弾性変形してシリ
ンダ本体340の溝346に嵌合することによる。な
お、このストップリング347としては、硬質ゴムある
いはばね等を使用することができる。このような組立と
は別に、ストップリング347を接着剤等によりシリン
ダ本体340にあらかじめ固定しておき、これに円筒体
35が溝354を介して装着されて組立てられてもよ
い。
【0022】図1の実施例では、コーンボス35aと後
側円板35bとシリンダ本体340とを別体とし、これ
らを組立てることで一体化している。また、図3の実施
例では、シリンダ本体340と円筒体35とをストップ
リング347を介して組立てて一体化している。この実
施例では、シリンダをステンレス製としている。また、
保守作業の問題と製造上の問題で、このシリンダ34を
これらを複数の部材に分けて後から組立てることで一体
化している。このシリンダ34は、金属で構成すること
ができるが、例えば、樹脂成形等により円筒体35とシ
リンダ本体340とを一体的に最初から1個の部材とし
て形成して製造してもよいことはもちろんである。
側円板35bとシリンダ本体340とを別体とし、これ
らを組立てることで一体化している。また、図3の実施
例では、シリンダ本体340と円筒体35とをストップ
リング347を介して組立てて一体化している。この実
施例では、シリンダをステンレス製としている。また、
保守作業の問題と製造上の問題で、このシリンダ34を
これらを複数の部材に分けて後から組立てることで一体
化している。このシリンダ34は、金属で構成すること
ができるが、例えば、樹脂成形等により円筒体35とシ
リンダ本体340とを一体的に最初から1個の部材とし
て形成して製造してもよいことはもちろんである。
【0023】以上説明してきたが、実施例では、押圧円
板37とヘッド円板31とを結合ロッド32に結合する
際にねじ結合しているが、これらは、適当な接着剤等で
結合されてもよい。特に、押圧円板37とヘッド円板3
1のいずれか一方は、予め結合ロッドと一体化した部材
としておくことができる。実施例では、コイルばねを結
合ロッドを引き出す付勢手段として利用しているが、こ
れは、板ばね等他の付勢手段であってもよい。さらに、
これは、結合ロッドをシリンダの後部から引き出す方向
に付勢する付勢部材であればよい。また、実施例では、
ダイアフラムを用いて圧縮ばねに力を加えて結合ロッド
を上へと移動するようにしているが、この発明における
結合ロッドの上下移動は、ダイアフラムとエアによる駆
動に限定されない。実施例では、円形溝の内側側面は、
コーンボス(凸部)の側面と一緒になっているが、コー
ンボスは、独立しにていてもよく、円形溝の内側にあれ
ばよい。もちろん、コーンボスの表面と円形溝の表面の
高さがほぼ等しくてもよい。
板37とヘッド円板31とを結合ロッド32に結合する
際にねじ結合しているが、これらは、適当な接着剤等で
結合されてもよい。特に、押圧円板37とヘッド円板3
1のいずれか一方は、予め結合ロッドと一体化した部材
としておくことができる。実施例では、コイルばねを結
合ロッドを引き出す付勢手段として利用しているが、こ
れは、板ばね等他の付勢手段であってもよい。さらに、
これは、結合ロッドをシリンダの後部から引き出す方向
に付勢する付勢部材であればよい。また、実施例では、
ダイアフラムを用いて圧縮ばねに力を加えて結合ロッド
を上へと移動するようにしているが、この発明における
結合ロッドの上下移動は、ダイアフラムとエアによる駆
動に限定されない。実施例では、円形溝の内側側面は、
コーンボス(凸部)の側面と一緒になっているが、コー
ンボスは、独立しにていてもよく、円形溝の内側にあれ
ばよい。もちろん、コーンボスの表面と円形溝の表面の
高さがほぼ等しくてもよい。
【0024】さらに、実施例の押圧円板37は、ダイア
フラムから力を受ける関係で円板としているが、上下移
動を行う駆動力をエアとしない場合には、これは円板で
ある必要はない。単に、結合ロッドの後端部に結合さ
れ、かつ、ばねに係合する板部材であればよい。
フラムから力を受ける関係で円板としているが、上下移
動を行う駆動力をエアとしない場合には、これは円板で
ある必要はない。単に、結合ロッドの後端部に結合さ
れ、かつ、ばねに係合する板部材であればよい。
【0025】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明にあって
は、シリンダを貫通する短いロッドを設け、このロッド
の両端に円板部材と板部材とを結合し、シリンダの後側
にロッドをシリンダから引き出す方向付勢する付勢部材
を設けて、この付勢部材を、例えば、コイルばね等とし
て、これの付勢力によりロッドをシリンダから後ろへと
引き出し、これによって円形溝の径より小さい径のリン
グ部材を拡大させて円形溝に適合させて、リング部材の
外周面がディスクの中心開口部の側面を全面的に均等に
加圧することでシリンダの上端面において確実にディス
クをチャックすることができる。このように、ディスク
の中心開口部の側面の全周をリング部材の外周側面によ
り押圧するようにしているので、たとえ、ディスクの厚
さが薄くなったとしても、従来の表面押圧の場合に生じ
たディスクの歪みや位置ズレが発生し難い。また、構造
がシンプルで小型化に好都合である。
は、シリンダを貫通する短いロッドを設け、このロッド
の両端に円板部材と板部材とを結合し、シリンダの後側
にロッドをシリンダから引き出す方向付勢する付勢部材
を設けて、この付勢部材を、例えば、コイルばね等とし
て、これの付勢力によりロッドをシリンダから後ろへと
引き出し、これによって円形溝の径より小さい径のリン
グ部材を拡大させて円形溝に適合させて、リング部材の
外周面がディスクの中心開口部の側面を全面的に均等に
加圧することでシリンダの上端面において確実にディス
クをチャックすることができる。このように、ディスク
の中心開口部の側面の全周をリング部材の外周側面によ
り押圧するようにしているので、たとえ、ディスクの厚
さが薄くなったとしても、従来の表面押圧の場合に生じ
たディスクの歪みや位置ズレが発生し難い。また、構造
がシンプルで小型化に好都合である。
【図1】図1は、この発明のディスクチャック機構を適
用した一実施例の分解図斜視図である。
用した一実施例の分解図斜視図である。
【図2】図2は、その垂直断面図であって、そのセンタ
ーラインより左半分にチャック状態を、そして右半分に
解放状態を示す。
ーラインより左半分にチャック状態を、そして右半分に
解放状態を示す。
【図3】図3は、各部材の説明図であって、(a)は、
チャックリングの平面図、(b)は、結合ロッドの斜視
図、そして(c)は、ストップリングの平面図である。
チャックリングの平面図、(b)は、結合ロッドの斜視
図、そして(c)は、ストップリングの平面図である。
【図4】図4は、この発明のディスクチャック機構を適
用した他の実施例の分解図斜視図である。
用した他の実施例の分解図斜視図である。
【図5】図5は、従来のチャック機構の説明図であっ
て、(a)は、従来のディスクチャック機構の斜視図、(b)
〜(f)は、それぞれのディスクチャック機構の垂直断面
図であって、そのセンターラインより右半分に解放状態
を、左半分にディスクチャック状態を示す。ただし、
(d)については左半分のみ示し、(e)についてはチャック
状態を点線で示す。
て、(a)は、従来のディスクチャック機構の斜視図、(b)
〜(f)は、それぞれのディスクチャック機構の垂直断面
図であって、そのセンターラインより右半分に解放状態
を、左半分にディスクチャック状態を示す。ただし、
(d)については左半分のみ示し、(e)についてはチャック
状態を点線で示す。
1…ディスク、1a …ディスクの中心孔の周辺の表面、
1b …中心孔の側面、2…スピンドル、2a…貫通軸、
2b…貫通孔、3…この発明のチャック機構、31…ヘ
ッド円板、32…結合シャフト、33…チャックリン
グ、331…外周面、332…チャックリングの円錐状
の凹型底面、333…Cリング、34…シリンダ、34
0…シリンダ本体、341…フランジ部、342…リン
グ溝、345…円形溝、35…円筒体、35a…前側円
板(コーンボス)、35b…後側円板、347…ストッ
プリング、36…コイルスプリング、37…押圧円板、
38…ダイヤフラム、39…当てリング。
1b …中心孔の側面、2…スピンドル、2a…貫通軸、
2b…貫通孔、3…この発明のチャック機構、31…ヘ
ッド円板、32…結合シャフト、33…チャックリン
グ、331…外周面、332…チャックリングの円錐状
の凹型底面、333…Cリング、34…シリンダ、34
0…シリンダ本体、341…フランジ部、342…リン
グ溝、345…円形溝、35…円筒体、35a…前側円
板(コーンボス)、35b…後側円板、347…ストッ
プリング、36…コイルスプリング、37…押圧円板、
38…ダイヤフラム、39…当てリング。
Claims (5)
- 【請求項1】ディスクを受ける先端表面の周辺部に設け
られた前記ディスクの内径と実質的に等しいかこれより
少し大きい円形溝、この円形溝の内側に設けられた円錐
状の凸部、そして中心部に設けられた貫通孔とを有する
するシリンダと、前記貫通孔を貫通しこの貫通孔に沿っ
てスライドするロッドと、このロッドの前記円錐状の凸
部側に突出した先端に設けられ前記ディスクの内径に対
応する径の円板と、この円板と反対側の前記ロッドの端
部に設けられた板部材と、前記円板と前記円錐状の凸部
との間に設けられ一部が解放され前記円形溝の径より小
さい径の弾性体のリング部材と、前記板部材と前記シリ
ンダの後端部との間に装着され前記ロッドを前記シリン
ダの後部から引き出す方向に付勢する付勢部材とを備
え、前記リング部材は、前記円錐状の凸部に当接される
傾斜面を有し、前記付勢部材により前記ロッドが前記シ
リンダより後方に引き出されることによって前記円形溝
に適合してその側面により前記ディスクの中央開口部の
側面を押圧することで前記ディスクをチャックするディ
スクチャック機構。 - 【請求項2】前記円形溝の内側側面は、前記凸部の側面
と一緒になっている請求項1記載のディスクチャック機
構。 - 【請求項3】前記リング部材は、スチールリングを有す
る樹脂で形成され、前記付勢部材はコイルばねであり、
前記シリンダの後部には、前記コイルばねが挿着される
孔を複数有し、前記コイルばねは、圧縮された状態にあ
って、その伸張力が前記リング部材の収縮力によって前
記ロッドが引き戻す力より大きい請求項2記載のディス
クチャック機構。 - 【請求項4】前記円形溝の内側側面は、前記凸不の側面
と一緒になっている請求項3記載のディスクチャック機
構。 - 【請求項5】さらにダイアフラムを有し、前記板部材は
円板であり、前記ダイアフラムは、この円板の後ろに配
置されエアにより加圧されたときにこの円板を押し上げ
ることにより前記ロッドを前記シリンダに戻し前記リン
グ部材を前記円形溝より内側に後退させるものである請
求項4記載のディスクチャック機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9090202A JPH10308058A (ja) | 1996-04-03 | 1997-03-25 | ディスクチャック機構 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10636496 | 1996-04-03 | ||
| JP6922997 | 1997-03-06 | ||
| JP9-69229 | 1997-03-06 | ||
| JP8-106364 | 1997-03-06 | ||
| JP9090202A JPH10308058A (ja) | 1996-04-03 | 1997-03-25 | ディスクチャック機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10308058A true JPH10308058A (ja) | 1998-11-17 |
Family
ID=27299983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9090202A Pending JPH10308058A (ja) | 1996-04-03 | 1997-03-25 | ディスクチャック機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10308058A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011192368A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスククランプ機構、磁気ヘッド及び磁気ディスク検査装置 |
-
1997
- 1997-03-25 JP JP9090202A patent/JPH10308058A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011192368A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-09-29 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスククランプ機構、磁気ヘッド及び磁気ディスク検査装置 |
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