JPH10308376A - ウェーハ洗浄方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄時間の短縮化ができ、またウェーハの
洗浄性能の向上が図れ、しかも洗浄時やこれに付随する
カセットハンドリング時におけるカセット内でのウェー
ハの安定性が良好なウェーハ洗浄装置およびその洗浄方
法を提供する。 【解決手段】 カセット１２内にウェーハＷを水平状態
で上下へ重ね置きし、カセット１２内の洗浄液の流れを
水平層流とするので、洗浄液のウェーハＷ間での層流が
円滑化し、ウェーハ表面のごみを除き易く、除去後のご
みも再付着し難くて洗浄時間が短縮化する。各ウェーハ
Ｗはカセット１２内に水平挿填するので、ウェーハは自
重でカセット１２内に安定し易く、洗浄液の流れが速く
てもウェーハＷはバタつき難くい。よって洗浄時のウェ
ーハＷ表面がカセット１２内で損傷し難く、洗浄中や取
扱中にウェーハＷがカセット１２から脱落し難い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はウェーハ洗浄装置
およびその洗浄方法、詳しくは洗浄時間の短縮化がで
き、またウェーハの洗浄性能の向上が図れるとともに、
洗浄時およびこれに付随するカセットハンドリング時に
おけるカセット内でのウェーハの安定性が良好なウェー
ハ洗浄装置およびその洗浄方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、シリコンウェーハのウエット式洗
浄ラインに配備されるウェーハ洗浄装置として、例えば
図４、図５に示すようなものが知られている。図４は従
来手段に係るウェーハ洗浄装置の模式縦断面図であり、
図５は他の従来手段に係るウェーハ洗浄装置の模式縦断
面図である。すなわち、図４に示す従来の洗浄装置１０
０では、洗浄槽１０１の内部に、複数枚のウェーハＷが
収納されたカセット１０２を、ウェーハ出し入れ口１０
２ａを上向きにして収納し、洗浄槽１０１の槽底から洗
浄液をバブリングさせながら注入することで、各ウェー
ハＷの隙間へ洗浄液を垂直に層流させて、ウェーハ表面
のごみ（パーティクル等）などを除去する。なお、各ウ
ェーハＷは、互いに隙間をあけて垂直状態で槽長さ方向
へ整列されている。また、カセット１０２を収納したオ
ーバーフロー液は、洗浄槽１０１の上部で回収され、そ
の後、ポンプにより循環使用される。

【０００３】また、図５に示す別の従来の洗浄装置２０
０は、洗浄槽２０１の内部に、多数枚のウェーハＷを互
いに隙間をあけて垂直状態で収納したカセット２０２を
セットし、洗浄槽２０１の側方から洗浄液を流して、カ
セット２０２内のウェーハＷを洗浄するものである。す
なわち、洗浄槽２０１の一側面からカセット２０２方向
へ向かった洗浄液は、上向きのウェーハ出し入れ口２０
２ａの一側縁部からカセット２０２内へと下降流入し、
その後、カセット２０２の内部で乱流を起こしながら各
ウェーハＷを洗浄し、そしてカセット２０２のウェーハ
出し入れ口２０２ａの他側より洗浄槽２０１の反対側へ
流れ出る。なお、洗浄液はカセット２０２の幅狭な奥側
口２０２ｂからも出し入れされる。図４および図５にお
いて、１０３は洗浄後の洗浄液のフィルタ、１０４は循
環ポンプである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来技術では、以下の不都合があった。すなわち、従
来の洗浄装置１００の場合では、各ウェーハＷを垂直状
態に並べて槽底から上方へ洗浄液を流すので、いったん
ウェーハＷの表面から除去されたごみは、洗浄槽１０１
の上部に発生した乱流に巻き込まれ、再びそのごみがウ
ェーハＷに付着したり、洗い残しが生じたりするおそれ
があった。しかも、比較的長い洗浄時間がかかってい
た。

【０００５】また、別の従来洗浄装置２００の場合で
は、具体的に洗浄槽２０１内での洗浄液の流れを調べた
ときに、前述したように洗浄液は、上向き配置されたウ
ェーハ出し入れ口２０２ａよりカセット２０２内へ潜り
込んだ後、この内部で乱流を起こしながらウェーハＷを
洗浄して外部排出されるという、比較的低流速となる流
れになっている。したがって、洗浄に時間がかかり、か
つ、各ウェーハＷの洗浄性能も悪く、洗い残しが多くな
る洗浄となっていた。

【０００６】

【発明の目的】そこで、この発明は、洗浄時間の短縮化
が図れ、またウェーハの洗浄性能を向上できるととも
に、洗浄時およびこれに付随するカセットハンドリング
時におけるカセット内でのウェーハの安定性が良好なウ
ェーハ洗浄方法およびその洗浄装置を提供することを、
その目的としている。また、洗浄後の洗浄液の再利用が
できるウェーハ洗浄装置およびその洗浄方法を提供する
ことを、その目的としている。さらに、洗浄槽内で洗浄
液の水平層流を容易に現出できるウェーハ洗浄装置を提
供することを、その目的としている。さらにまた、洗浄
槽内でスムーズな水平層流を現出できるとともに、浮遊
ごみを円滑に外部排出できるウェーハ洗浄装置を提供す
ることを、その目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、洗浄槽に収納されて、開口方向を洗浄液の流れ方向
に揃えたカセットの内部に、複数枚のウェーハを互いに
隙間をあけて水平状態で上下に重ね置きし、この各ウェ
ーハ間に洗浄液を水平に層流させて洗浄するウェーハの
洗浄方法である。ここでいう洗浄槽とは、例えばＲＣＡ
洗浄におけるＡＰＭ（アンモニア／過酸化水素水）槽、
水洗槽（リンス槽）、ＨＦ槽などの各種洗浄槽が挙げら
れる。これに付随して洗浄槽で使用される洗浄液には、
例えばＡＰＭ、純水、ＨＦなどの各種洗浄液が挙げられ
る。

【０００８】請求項２に記載の発明は、上記洗浄後の洗
浄液を循環使用する請求項１に記載のウェーハの洗浄方
法である。

【０００９】請求項３に記載の発明は、洗浄槽と、この
洗浄槽に出し入れ可能に配備されて、複数枚のウェーハ
同士を互いに隙間をあけて収納するカセットと、上記洗
浄槽に設けられて、上記カセット内に挿填された各ウェ
ーハの隙間に洗浄液を流す洗浄手段とを備えたウェーハ
洗浄装置において、上記カセットが、水平状態で挿填さ
れる上記ウェーハを上下に重ね置きする収納体であり、
また上記洗浄手段は、上記洗浄槽の一側からその対向側
へ向かって洗浄液を流すことで、この洗浄液の流れ方向
に開口方向を揃えた上記カセットに収納された各ウェー
ハ間に洗浄液を水平に層流させるウェーハ洗浄装置であ
る。

【００１０】ここでいう洗浄手段とは、ウェーハ間を通
過する際に水平な層流となり、しかも洗浄液を洗浄槽の
一側からその対向側へ向かって流すことができれば、ど
のような形式のものでもよい。例えば、洗浄槽の一側か
ら槽内へ洗浄液を圧送する形式のものでも、洗浄槽の対
向側から、槽内の洗浄液を外部へ吸引することで洗浄槽
内に洗浄液の流れを起こす形式のものでも、両者を併用
したものでもよい。なお、併用時には、洗浄槽内への洗
浄液の時間当たりの圧送量と、槽外へ洗浄液を吸い出す
時間当たりの吸引量とは略等しくした方が、安定した層
流を発生できて好ましい。

【００１１】請求項４に記載の発明は、洗浄手段が、洗
浄液循環式のものである請求項３に記載のウェーハ洗浄
装置である。洗浄液循環式の洗浄手段としては、例えば
洗浄液の循環路途中に循環ポンプ、洗浄液のフィルタな
どが連結されたものが挙げられる。また、洗浄液が薬液
の場合には、必要により濃度センサと、このセンサから
の濃度検知信号に基づいて、薬液の原液タンクから循環
路へ薬液原液を添加する濃度調整手段などを配設しても
よい。

【００１２】請求項５に記載の発明は、上記洗浄槽の対
向側の面が、複数のエリアに区分され、この各エリアに
は、洗浄液の流れ方向の奥側へ徐々に先細り化した洗浄
液の吸引ノズルがそれぞれ配設され、この各吸引ノズル
は洗浄液の吸引手段に連結されている請求項３または請
求項４に記載のウェーハ洗浄装置である。このエリアと
しては、どのような寸法および形状のものでもよい。例
えば、一辺５ｃｍの正方形を格子状に配置したものなど
でもよい。格子状にすれば、洗浄槽内に流速がより均等
化した層流を現出でき、各ウェーハの洗浄性能をさらに
向上できる。

【００１３】請求項６に記載の発明は、上記洗浄槽の上
部に開閉蓋を設けるとともに、上記洗浄槽の対向側の上
部に、浮遊ごみの排出口を形成させた請求項３〜請求項
５のうちのいずれか１項に記載のウェーハ洗浄装置であ
る。ここでいう開閉蓋は、ヒンジによる回動式、横スラ
イド式などどのような開閉構造の蓋でもよい。また、排
出口は、開閉蓋の一端部を切欠して形成してもよいし、
単に洗浄槽の上縁と開閉蓋との隙間としてもよい。

【００１４】

【作用】この発明のウェーハ洗浄装置およびその洗浄方
法によれば、開口方向を洗浄液の流れ方向に揃えて洗浄
槽に収納されたカセットに対して、その開口方向から洗
浄液を流すと、洗浄液はカセット内に水平状態で上下に
重ね置きされた各ウェーハの隙間を層流状態で略水平に
流れる。このように水平層流としたことで、比較的カセ
ット内における洗浄液の乱流が起きにくくなり、洗浄液
の層流が円滑に行われる。よって、各ウェーハ表面から
除去されたごみなどが再付着しにくく、しかも洗い残し
も少なく良好に洗浄できる。この結果、洗浄時間が短縮
できる。

【００１５】また、各ウェーハは、カセット内に水平状
態で収納されているので自重により状態が安定し易く、
したがって例えば洗浄時に比較的洗浄液の流速を速めて
も、各ウェーハのバタつきが起きにくく、これを原因と
した洗浄時のウェーハ表面の損傷が防止できたり、洗浄
中にウェーハがカセットから脱落するおそれも減少す
る。しかも、このようにウェーハはカセット内へ水平挿
填されたことで、自重により状態が安定しているので、
例えばロボットハンドを用いて洗浄槽の液面からカセッ
トを出し入れする際にも、収納されたウェーハが脱落し
たり、振動によりウェーハ表面を傷つけたりするおそれ
が少ない。

【００１６】特に、請求項２および請求項４に記載の発
明では、洗浄後の洗浄液を回収し、再び洗浄槽へ流して
ウェーハの洗浄液として循環使用するので、資源の再利
用化、洗浄コストの低減、洗浄液の種類によっては無害
化処理にかかる費用の削減が図れる。

【００１７】また、請求項５に記載の発明では、洗浄槽
の対向側の面付近まで洗浄液が達すると、吸引手段の負
圧力により、この対向側の面に区分して形成された各エ
リアの、洗浄液の流れ方向の奥側へ徐々に先細り化し
た、いわゆるラッパ状の吸引ノズルから各々吸引される
ので、洗浄槽内に比較的流速が均等化された層流を現出
でき、各ウェーハの洗浄性能を向上できる。

【００１８】さらに、請求項６に記載の発明では、洗浄
槽の上部に開閉蓋を設けたので、洗浄槽内を水平方向へ
流れる洗浄液は槽容量に対して流量が多くなってもオー
バーフローすることなく、良好な水平層流を現出でき
る。しかも、流動中の液面付近に浮かぶ浮遊ごみは排出
口からそのまま排出されるので、開閉蓋を設けたにも拘
らず浮遊ごみの処理ができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を図面を
参照して説明する。なお、ここでは超純水によりウェー
ハを水洗（リンス）するウェーハ洗浄を例に説明する。
図１はこの発明の一実施例に係るウェーハ洗浄装置の模
式縦断面図であり、図２は洗浄槽の対向側の面にエリア
区分させて形成された吸引ノズルの拡大正面図であり、
図３は洗浄槽内に収納されたカセットの拡大斜視図であ
る。

【００２０】図１において、１０はウェーハ洗浄装置で
あり、このウェーハ洗浄装置１０は、超純水である洗浄
液を貯液する横長な洗浄槽１１と、洗浄槽１１に出し入
れ可能に配備されて、複数枚のウェーハＷ同士を互いに
隙間をあけて収納するカセット１２と、洗浄槽１１に設
けられて、カセット１２内に挿填された各ウェーハＷの
隙間に洗浄液を流す洗浄液循環式の洗浄手段１３とを備
えている。洗浄槽１１の上部には、この一端から他端付
近までを閉蓋できる横スライド式の開閉蓋１１ｃが設け
られている。開閉蓋１１ｃの長さは、洗浄槽１１の開口
部の全長より若干短い。これにより、開口部の他端と開
閉蓋１１ｃの先端との間に浮遊ごみ１４の排出口１５が
形成される。なお、洗浄槽１１の開口部の他端は、若干
反り上がっている。

【００２１】洗浄槽１１の一側板１１ａには、所定ピッ
チで洗浄液の流入孔１１１ａが形成されている。また、
この一側板１１ａの外面には、洗浄液をいったん貯液す
るウォータジャケット１６が取り付けられている。洗浄
槽１１の他側板１１ｂは、一辺５ｃｍの正方形を格子状
に配置した複数のエリアに区分されている。各エリアに
は、洗浄液の流れ方向の奥側へ徐々に先細り化した洗浄
液の吸引ノズル１７が形成されている（図２も参照）。
洗浄槽１１の下流側に配設された各吸引ノズル１７と、
洗浄槽１１の上流側に配設されたウォータジャケット１
６とは、洗浄手段１３の洗浄液循環路１８を介して連結
されている。

【００２２】洗浄手段１３は、洗浄液循環路１８の途中
に順次連結されたフィルタ１９、吸引手段を兼務する循
環ポンプ２０を有している。なお、洗浄液循環路１８の
各吸引ノズル１７付近には開閉弁２１が連結されてい
る。循環ポンプ２０を作動させると、洗浄槽１１内の洗
浄液が各吸引ノズル１７から洗浄液循環路１８へと吸引
される。洗浄液は途中でフィルタ１９により濾過された
後、ウォータジャケット１６へと流れ込み、一側板１１
ａに形成された流入口１１１ａを介して、再び洗浄槽１
１内へ流れ込む。洗浄液はこの循環を連続的に繰り返
す。図３に示すように、カセット１２は、水平配置され
たウェーハＷを出し入れするウェーハ出し入れ口１２ａ
が一側面（前側面）に形成され、しかもこの面に対向す
る他側部は徐々に先細り化して、縦長な奥側口１２ｂが
形成されている。

【００２３】次に、このウェーハ洗浄装置１０を用いた
この発明の一実施例に係るウェーハ洗浄方法を説明す
る。図１に示すように、開閉蓋１１ｃを開けて、洗浄液
が貯液された洗浄槽１１内に、複数枚のウェーハＷが水
平状態で上下に重ね置きされたカセット１２を、ロボッ
トハンドにより槽内の所定位置にセットして、再び開閉
蓋１１ｃを閉じる。なお、このときのカセット１２は、
開口方向を洗浄液の流れ方向に揃えられている。すなわ
ち、カセット出し入れ口１２ａを洗浄槽１１の一側板１
１ａ方向へ向け、また奥側口１２ｂを他側板１１ｃ側へ
向けて、洗浄槽１１の中央部にセットされている。

【００２４】その後、各開閉弁２１を開弁して循環ポン
プ２０を作動させると、洗浄槽１１内の洗浄液が他側板
１１ｂ付近において各吸引ノズル１７を介して洗浄液循
環路１８へ吸引される。吸引された洗浄液は、フィルタ
１９を通過して異物などが除去され、それから洗浄槽１
１の上流側に設けられたウォータジャケット１６に一旦
貯留される。ウォータジャケット１６内の濾過された洗
浄液は、一側板１１ａに穿孔された多数個の流入口１１
１ａを介して洗浄槽１１内へ流れ込む。

【００２５】流れ込んだ洗浄液は、各吸引ノズル１７か
らの吸引作用をも受けて、洗浄槽１１内を図１、図２の
矢印方向へ流れる。洗浄槽１１の内部には、ウェーハＷ
を収めたカセット１２が、各開口部１２ａ、１２ｂの方
向を洗浄液の流れ方向に揃えてセットされている。すな
わち、他側板１１ｂ側へ向かって流入された洗浄液は、
カセット１２のウェーハ出し入れ口１２ａからカセット
１２内へ流れ込み、その後、洗浄液はカセット１２内に
水平状態で上下に重ね置きされた各ウェーハＷの隙間を
層流状態で水平に流れる。この際、ウェーハＷに付着し
たごみなどが除去され、カセット１２の幅狭な奥側口１
２ｂから外部へ排出される。

【００２６】このように、カセット１２内での洗浄液の
流れは、各ウェーハＷの隙間を通過することで水平な層
流となるので、例えば図４に示す洗浄槽の槽底から上方
へ洗浄液を流して垂直置きのウェーハを洗浄する従来の
洗浄装置、および、図５に示すウェーハ出し入れ口を上
向きにしたカセットに対して洗浄槽の側方向から洗浄液
を流す他の洗浄装置に比べ、カセット１２内や液面付近
での洗浄液の乱流が起きにくく、洗浄液の層流が円滑化
する。これにより、各ウェーハＷの表面から除去された
ごみなどが再付着しにくく、しかも洗い残しも少なく良
好に洗浄できる。この結果、洗浄時間が短縮される。

【００２７】また、カセット２１に収納された各ウェー
ハＷは、カセット１２内に水平状態で収納されているの
で自重によって状態が安定し易い。これにより、例えば
洗浄時に比較的洗浄液の流速を速めても、各ウェーハＷ
が流速の速い洗浄液によりバタつくおそれが少なく、ま
たこれを原因とした洗浄時のウェーハＷの表面の損傷を
も防止できる。加えて、洗浄中、ウェーハＷがカセット
１２から脱落するおそれも減少する。しかも、このよう
にカセット１２内に水平挿填されたウェーハＷは、自重
で状態が安定しているので、ロボットハンドにより洗浄
槽１１内へカセット１２を出し入れする際にも、ロボッ
トハンド側から伝わる振動などにより、ウェーハ１２が
脱落するおそれが少ない。

【００２８】カセット１２の奥側口１２ｂから排出され
た洗浄液は、洗浄槽１１の他側板１１ｂ側において、循
環ポンプ２０の作動により各吸引ノズル１７を介して吸
引され、洗浄手段１３によって、フィルタ１９により濾
過後、ウェーハＷの洗浄液として循環使用される。これ
により、資源の再利用化、洗浄コストの低減、洗浄液の
種類によっては無害化処理にかかる費用の削減が図れ
る。また、このように洗浄槽１１の対向側の面付近まで
洗浄液が達すると、循環ポンプ２０の負圧力により、こ
の対向側の面に区分して形成された各エリアのラッパ状
の吸引ノズル１７を介して、各々洗浄液循環路１８へ吸
引されるので、比較的流速が均等化した層流を洗浄槽１
１内に作ることができる。これにより、各ウェーハＷの
洗浄性能を向上できる。各エリアは５ｃｍの格子状であ
るので、洗浄槽１１内に、より均等化した流速の層流を
現出でき、各ウェーハＷの洗浄性能をさらに向上でき
る。しかも、洗浄液１１の上流側には、一側板１１ａに
洗浄液の流入口１１１ａが所定ピッチで多数個形成され
ているので、流速を均等化した層流をさらに現出し易
い。

【００２９】さらに、洗浄槽１１の上部に開閉蓋１１ｃ
が設けられたので、洗浄槽１１内を水平方向へ流れる洗
浄液は槽容量に対して流量が多くなってもオーバーフロ
ーすることなく、良好な水平層流が現出できる。しか
も、液面付近の浮遊ごみ１４は洗浄槽１１の下流側の排
出口１５からそのまま排出されるので、開閉蓋１１ｃを
設けたにも拘らず浮遊ごみ１４の処理ができる。以上、
実施例を説明したが、この発明はこの実施例に限定され
るものではなく、要旨を逸脱しない範囲での設計変更な
どがあってもこの発明に含まれる。例えば、実施例で
は、吸引ノズルから洗浄槽内の洗浄液を吸い出す吸引手
段を、洗浄液の循環手段の循環ポンプと兼用したが、こ
れに限定しなくても、各々別個のものとしてもよい。

【００３０】

【発明の効果】この発明に係るウェーハ洗浄装置および
その洗浄方法によれば、カセット内にウェーハを水平状
態で上下へ重ね置きして、カセット内の洗浄液の流れを
水平層流としたので、洗浄液のウェーハ間での層流が円
滑となり、各ウェーハ表面からごみが除去し易く、しか
も除去されたごみなども再付着しにくくなり、この結
果、洗浄時間が短縮できる。また、このように各ウェー
ハをカセット内に水平挿填させたので、ウェーハは自重
によりカセット内で状態が安定し易く、したがって例え
ば洗浄液の流速が速くなっても各ウェーハのバタつきが
起きにくい。これにより、洗浄時のウェーハ表面がカセ
ット内で損傷しにくいとともに、この洗浄中やこれに付
随するカセットハンドリング時などに、ウェーハがカセ
ットから脱落するおそれが減少する。

【００３１】特に、請求項２および請求項４に記載の発
明では、洗浄後の洗浄液を循環使用するようにしたの
で、資源の再利用化、洗浄コストの低減、洗浄液の種類
によっては無害化処理にかかる費用の削減が図れる。

【００３２】また、請求項５に記載の発明では、洗浄槽
内の洗浄液の循環時において、複数にエリア化された吸
引ノズルを用いて洗浄後の洗浄液を循環系へ吸引するの
で、洗浄槽内に比較的流速が均等化された層流を現出で
き、各ウェーハの洗浄性能を向上できる。

【００３３】さらに、請求項６に記載の発明では、洗浄
槽の上部に開閉蓋を設けたので、洗浄槽内の洗浄液の流
量が増加してもオーバーフローすることなく、良好な水
平層流を現出できる。しかも、流動中における液面付近
の浮遊ごみは排出口から排出されるので、開閉蓋を設け
たにも拘らず浮遊ごみの処理ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係るウェーハ洗浄装置の
模式縦断面図である。

【図２】洗浄槽の対向側の面にエリア区分させて形成さ
れた吸引ノズルの拡大正面図である。

【図３】洗浄槽内に収納されたカセットの拡大斜視図で
ある。

【図４】従来手段に係るウェーハ洗浄装置の模式縦断面
図である。

【図５】他の従来手段に係るウェーハ洗浄装置の模式縦
断面図である。

【符号の説明】

１０ ウェーハ洗浄装置、 １１ 洗浄槽、 １１ｃ 開閉蓋、 １２ カセット、 １３ 洗浄手段、 １４ 浮遊ごみ、 １５ 排出口、 １７ 吸引ノズル、 ２０ 循環ポンプ（吸引手段）、 Ｗウェーハ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄槽に収納されて、開口方向を洗浄液
   の流れ方向に揃えたカセットの内部に、複数枚のウェー
   ハを互いに隙間をあけて水平状態で上下に重ね置きし、
   これらの各ウェーハ間に洗浄液を水平に層流させて洗浄
   するウェーハの洗浄方法。
2. 【請求項２】 上記洗浄後の洗浄液を循環使用する請求
   項１に記載のウェーハの洗浄方法。
3. 【請求項３】 洗浄槽と、この洗浄槽に出し入れ可能に
   配備されて、複数枚のウェーハ同士を互いに隙間をあけ
   て収納するカセットと、上記洗浄槽に設けられて、上記
   カセット内に挿填された各ウェーハの隙間に洗浄液を流
   す洗浄手段とを備えたウェーハ洗浄装置において、 上記カセットが、水平状態で挿填される上記ウェーハを
   上下に重ね置きする収納体であり、また上記洗浄手段
   は、上記洗浄槽の一側からその対向側へ向かって洗浄液
   を流すことで、この洗浄液の流れ方向に開口方向を揃え
   た上記カセットに収納された各ウェーハ間に洗浄液を水
   平に層流させるウェーハ洗浄装置。
4. 【請求項４】 上記洗浄手段が、洗浄液循環式のもので
   ある請求項３に記載のウェーハ洗浄装置。
5. 【請求項５】 上記洗浄槽の対向側の面が、複数のエリ
   アに区分され、これらの各エリアには、洗浄液の流れ方
   向の奥側へ徐々に先細り化した洗浄液の吸引ノズルがそ
   れぞれ配設され、これらの各吸引ノズルは洗浄液の吸引
   手段に連結されている請求項３または請求項４に記載の
   ウェーハ洗浄装置。
6. 【請求項６】 上記洗浄槽の上部に開閉蓋を設けるとと
   もに、上記洗浄槽の対向側の上部に、浮遊ごみの排出口
   を形成させた請求項３〜請求項５のうちのいずれか１項
   に記載のウェーハ洗浄装置。