JPH10312059A5 - - Google Patents
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- JPH10312059A5 JPH10312059A5 JP1997123892A JP12389297A JPH10312059A5 JP H10312059 A5 JPH10312059 A5 JP H10312059A5 JP 1997123892 A JP1997123892 A JP 1997123892A JP 12389297 A JP12389297 A JP 12389297A JP H10312059 A5 JPH10312059 A5 JP H10312059A5
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- Japan
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- carbon atoms
- group
- organic group
- r4r5r6r7
- nhr4
- Prior art date
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- Granted
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Claims (1)
- （ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とするポリマーと、
（ｂ）増感剤
を含有するコントラスト比１１００以上２０００以下であることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12389297A JP3921734B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 高解像度感光性ポリイミド前駆体組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12389297A JP3921734B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 高解像度感光性ポリイミド前駆体組成物 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10312059A JPH10312059A (ja) | 1998-11-24 |
| JPH10312059A5 true JPH10312059A5 (ja) | 2005-04-07 |
| JP3921734B2 JP3921734B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
ID=14871937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12389297A Expired - Fee Related JP3921734B2 (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | 高解像度感光性ポリイミド前駆体組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3921734B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4164974B2 (ja) * | 2000-01-13 | 2008-10-15 | 東レ株式会社 | アルカリ現像可能な感光性ポリイミド前駆体組成物 |
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Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US5446074A (en) * | 1993-12-17 | 1995-08-29 | International Business Machines Corporation | Photosensitive polyimide precursors |
| JP3130217B2 (ja) * | 1994-12-22 | 2001-01-31 | 東洋インキ製造株式会社 | カラーフィルタ用着色組成物およびカラーフィルタ |
| JP3168909B2 (ja) * | 1995-04-13 | 2001-05-21 | 日立化成工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、ポリイミドパターンの製造法及び半導体素子の製造法 |
| JP3743027B2 (ja) * | 1995-07-27 | 2006-02-08 | 東レ株式会社 | 顔料分散熱硬化性樹脂溶液組成物、その製造方法およびカラーフィルター |
| JPH09115900A (ja) * | 1995-10-20 | 1997-05-02 | Toray Ind Inc | 半導体素子 |
-
1997
- 1997-05-14 JP JP12389297A patent/JP3921734B2/ja not_active Expired - Fee Related
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