JPH10318150A5 - - Google Patents

Description

【００２４】
【発明の実施の形態】
図１ａは上面にマイクロメカニカルモジュールを配列して形成されたシリコンウェーハ１４を概略的に示している。このモジュールの各々は本発明のマイクロメカニカルピペットモジュールの第一実施例１１の構成部材として使用できる。

図４ａは上面にマイクロメカニカルモジュールを配列して形成されたシリコンウェーハ１４を概略的に示している。このモジュールの各々は本発明のマイクロメカニカルピペットモジュールの第二実施例４１の構成部材として使用できる。

図５は図４ｂに示されたマイクロメカニカルピペットモジュール４１の縦断面図を示す。図５に示されたマイクロメカニカルピペットモジュール４１は、底壁として膜１６を有する室１５と、通路１８と、膜１６を変位させる作動手段１９と、通路１８の一部に形成された室２３と、膜１６の変位に関する出力信号を発生するセンサー手段２２とを含んでなる。通路１８の一部はセンサー手段２２の一部であり、このセンサー手段が発生する出力信号は膜１６の変位に関する。作動手段１９の構成部材は膜１６と、シリコンウェーハ１４と、ガラスプレート３２とで画成された室５１内に配置される。センサー２２の構成部材はシリコンウェーハ１４の一部である膜３６と、シリコンウェーハ１４とガラスプレート３２とで画成された室５２内に配置される。

Claims (3)

1. ピペットチップに連結可能な入口／出口を有していてシリコンウェーハ上に一体構成されたピペットモジュールを含むマイクロメカニカルピペット装置であって、前記ピペットモジュールが、
   ａ） 該ピペットモジュールの内部に配置された第一室であって、その第一室の壁の少なくとも一部が該第一室の容積を変化させるようにするための変位可能な膜を有するとともに、該第一室の内部に対して流体が流入出できるようにするための一つの開口を有している前記第一室と、
   ｂ） 前記ピペットモジュールの内部に位置し、第一室の前記開口と該ピペットモジュールの入口／出口との間に直接的なバルブのない永続的な流体連結を確立する通路と、
   ｃ） 前記膜を変位させて、前記第一室に対して或る量の空気または液体を吸引または排出するようにし、それによって或る量の液体試料を前記ピペットチップに対して吸引または排出させるようにする作動手段と、
   ｄ） 前記第一室および前記通路の外側に配置されていて、前記膜の変位に関する第一出力信号を発生する第一センサー手段とを含み、
   前記通路の一部分が、第二室を形成するとともに、その通路内部の圧力を表す第二出力信号を発生する第二センサー手段の一部分になっており、また、前記作動手段の作動を制御する手段が前記第一および第二出力信号の両方に応答するようになっているマイクロメカニカルピペット装置。
2. ピペットチップに連結可能な入口／出口を有していてシリコンウェーハ上に一体構成されたピペットモジュールを含むマイクロメカニカルピペット装置であって、前記ピペットモジュールが、
   ａ） 該ピペットモジュールの内部に配置された第一室であって、その第一室の壁の少なくとも一部が該第一室の容積を変化させるようにするための変位可能な膜を有するとともに、該第一室の内部に対して流体が流入出できるようにするための一つの開口を有している前記第一室と、
   ｂ） 前記ピペットモジュールの内部に位置し、第一室の前記開口と該ピペットモジュールの入口／出口との間に直接的なバルブのない永続的な流体連結を確立する通路と、
   ｃ） 前記膜を変位させて、前記第一室に対して或る量の空気または液体を吸引または排出するようにし、それによって或る量の液体試料を前記ピペットチップに対して吸引または排出させるようにする作動手段と、
   ｄ） 前記第一室および前記通路の外側に配置されていて、前記膜の変位に関する第一出力信号を発生する第一センサー手段とを含み、
   前記通路の一部分が、第二室を形成するとともに、その通路を通る流体の流量を表す第二出力信号を発生する第二センサー手段の一部分になっており、また、前記作動手段の作動を制御する手段が前記第一および第二出力信号の両方に応答するようになっているマイクロメカニカルピペット装置。
3. ピペットチップに連結可能な入口／出口を有するマイクロメカニカルピペット装置であって、
   ａ） 第一室であって、その第一室の壁の少なくとも一部が該第一室の容積を変化させるようにするための変位可能な膜を有するとともに、該第一室の内部に対して流体が流入出できるようにするための一つの開口を有している前記第一室と、
   ｂ） 第一室の前記開口とピペットモジュールの入口／出口との間に流体連結を確立する通路と、
   ｃ） 前記膜を変位させて、前記第一室に対して或る量の空気または液体を吸引または排出するようにし、それによって或る量の液体試料を前記ピペットチップに対して吸引または排出させるようにする作動手段と、
   ｄ） 前記第一室および前記通路の外側に配置されていて、前記膜の変位に関する第一出力信号を発生する第一センサー手段とを含むマイクロメカニカルピペット装置。