JPH10318883A - レンズの測定装置及び測定方法 - Google Patents
レンズの測定装置及び測定方法Info
- Publication number
- JPH10318883A JPH10318883A JP9137988A JP13798897A JPH10318883A JP H10318883 A JPH10318883 A JP H10318883A JP 9137988 A JP9137988 A JP 9137988A JP 13798897 A JP13798897 A JP 13798897A JP H10318883 A JPH10318883 A JP H10318883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- light
- mirror
- optical path
- path bending
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検レンズの中心部と周辺部の光学性能の測
定が短時間でできるレンズの測定装置及び測定方法を提
供する。 【解決手段】 光源１１の光をパターン板１３に透過
し、該透過した光束をコリメータ１４により平行光束と
し、該平行光束を光軸上に置かれた第１の光路折曲ミラ
ー２７で折り曲げて入射角設定ミラー２８に入射させ、
入射角設定ミラー２８で結像レンズＡの周辺部に入射さ
せ、該結像レンズＡから射出された光束を出射角設定ミ
ラー３２により反射して第２の光路折曲ミラー３１に入
射させ、該第２の光路折曲ミラー３１で光軸方向に折り
曲げて結像レンズ２０に入射させ、該結像レンズで受光
素子２４上に上記パターン板のパターン像を結像させ、
該受光素子の出力から被検レンズの周辺部のレンズ性能
を測定する。第１と第２の光路折曲ミラー２７，３１を
取り外せば、被検レンズＡの中心部の測定ができる。
定が短時間でできるレンズの測定装置及び測定方法を提
供する。 【解決手段】 光源１１の光をパターン板１３に透過
し、該透過した光束をコリメータ１４により平行光束と
し、該平行光束を光軸上に置かれた第１の光路折曲ミラ
ー２７で折り曲げて入射角設定ミラー２８に入射させ、
入射角設定ミラー２８で結像レンズＡの周辺部に入射さ
せ、該結像レンズＡから射出された光束を出射角設定ミ
ラー３２により反射して第２の光路折曲ミラー３１に入
射させ、該第２の光路折曲ミラー３１で光軸方向に折り
曲げて結像レンズ２０に入射させ、該結像レンズで受光
素子２４上に上記パターン板のパターン像を結像させ、
該受光素子の出力から被検レンズの周辺部のレンズ性能
を測定する。第１と第２の光路折曲ミラー２７，３１を
取り外せば、被検レンズＡの中心部の測定ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アフォーカル光学
系におけるＭＴＦ等のレンズ性能の測定方法及び装置に
関し、カメラのファインダ、双眼鏡又は望遠鏡等のレン
ズ性能の測定にも適用できる技術に関する。
系におけるＭＴＦ等のレンズ性能の測定方法及び装置に
関し、カメラのファインダ、双眼鏡又は望遠鏡等のレン
ズ性能の測定にも適用できる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】カメラのファインダレンズ等のアフォー
カル光学系のレンズ性能の測定を行うものとして、図４
に示すイギリスのイーリング社のテレスコープ測定装置
が知られている。これは、被検レンズのＭＴＦを測定す
るものである。
カル光学系のレンズ性能の測定を行うものとして、図４
に示すイギリスのイーリング社のテレスコープ測定装置
が知られている。これは、被検レンズのＭＴＦを測定す
るものである。
【０００３】図４において、光源１から射出された光
は、スリット２を通過し、コリメータレンズ３で平行光
束にされ、ファインダレンズ等の被検レンズ４で虚像Ｐ
´から射出される発散光束となり、結像レンズ５でＰ点
に結像する。この像を拡大レンズ６で受光素子７上に結
像させ、マイクロコンピュータで光量分布をフーリエ変
換し、アフォーカル光学系のＭＴＦを測定している。
は、スリット２を通過し、コリメータレンズ３で平行光
束にされ、ファインダレンズ等の被検レンズ４で虚像Ｐ
´から射出される発散光束となり、結像レンズ５でＰ点
に結像する。この像を拡大レンズ６で受光素子７上に結
像させ、マイクロコンピュータで光量分布をフーリエ変
換し、アフォーカル光学系のＭＴＦを測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の装置で
は、レンズの中心部の光学性能（ＭＴＦ）は測定できる
が、周辺部の光学性能は測定はできない。
は、レンズの中心部の光学性能（ＭＴＦ）は測定できる
が、周辺部の光学性能は測定はできない。
【０００５】本発明は、上記の事実から考えられたもの
で、レンズの周辺部の光学性能の測定が短時間でできる
レンズの測定装置及び測定方法を提供することを目的と
している。
で、レンズの周辺部の光学性能の測定が短時間でできる
レンズの測定装置及び測定方法を提供することを目的と
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明のレンズ測定装置は、光源と、該光源からの
光を受けるパターン板と、該パターン板を前側焦点位置
とするコリメータと、該コリメータから射出された光束
が入射するように被検レンズを保持する試料台と、該試
料台と上記コリメータとの間に着脱自在に設けられた第
１の光路折曲ミラーと、該第１の光路折曲ミラーからの
反射光束を、光軸と交差する光線として被検レンズに入
射させる入射角設定ミラーと、上記被検レンズから射出
された光線が入射する出射角設定ミラーと、被検レンズ
の光軸上にあって該出射角設定ミラーからの反射光束を
受光して光軸方向に射出する着脱自在な第２の光路折曲
ミラーと、第２の光路折曲ミラーからの反射光束が入射
する結像レンズと、該結像レンズの結像面に設けられた
受光素子と、該受光素子を光軸方向に進退させる受光素
子コントローラと、該受光素子の出力を処理する演算回
路と、該演算回路と上記受光素子コントローラを制御す
る制御装置と、を有することを特徴とことを特徴として
いる。
めに本発明のレンズ測定装置は、光源と、該光源からの
光を受けるパターン板と、該パターン板を前側焦点位置
とするコリメータと、該コリメータから射出された光束
が入射するように被検レンズを保持する試料台と、該試
料台と上記コリメータとの間に着脱自在に設けられた第
１の光路折曲ミラーと、該第１の光路折曲ミラーからの
反射光束を、光軸と交差する光線として被検レンズに入
射させる入射角設定ミラーと、上記被検レンズから射出
された光線が入射する出射角設定ミラーと、被検レンズ
の光軸上にあって該出射角設定ミラーからの反射光束を
受光して光軸方向に射出する着脱自在な第２の光路折曲
ミラーと、第２の光路折曲ミラーからの反射光束が入射
する結像レンズと、該結像レンズの結像面に設けられた
受光素子と、該受光素子を光軸方向に進退させる受光素
子コントローラと、該受光素子の出力を処理する演算回
路と、該演算回路と上記受光素子コントローラを制御す
る制御装置と、を有することを特徴とことを特徴として
いる。
【０００７】また、上記パターン板がスリットを有する
構成や、さらに、上記第１の光路折曲ミラーと入射角設
定ミラーとを支持して光軸中心に回転する第１の回動枠
と、上記第２の光路折曲ミラーと出射角設定ミラーとを
支持して光軸中心に回転する第２の回動枠と、該第１と
第２の回動枠を連動して駆動するミラーコントローラと
を設けた構成や、上記光源がパターン板及びコリメータ
とともに光軸を中心に回動自在なコリメータ回動手段を
有する構成とすることができる。
構成や、さらに、上記第１の光路折曲ミラーと入射角設
定ミラーとを支持して光軸中心に回転する第１の回動枠
と、上記第２の光路折曲ミラーと出射角設定ミラーとを
支持して光軸中心に回転する第２の回動枠と、該第１と
第２の回動枠を連動して駆動するミラーコントローラと
を設けた構成や、上記光源がパターン板及びコリメータ
とともに光軸を中心に回動自在なコリメータ回動手段を
有する構成とすることができる。
【０００８】また、本発明のレンズ測定方法としては、
光源の光をパターン板に透過し、該透過した光束をコリ
メータにより平行光束とし、該平行光束を光軸上に置か
れた第１の光路折曲ミラーで折り曲げて入射角設定ミラ
ーに入射させ、入射角設定ミラーで光軸と交差する光束
として結像レンズに入射させ、該結像レンズから射出さ
れた光束を出射角設定ミラーにより反射して第２の光路
折曲ミラーに入射させ、該第２の光路折曲ミラーで光軸
方向に折り曲げて結像レンズに入射させ、該結像レンズ
で受光素子上に上記パターン板のパターン像を結像さ
せ、該受光素子の出力から被検レンズの周辺部のレンズ
性能を測定することを特徴としている。
光源の光をパターン板に透過し、該透過した光束をコリ
メータにより平行光束とし、該平行光束を光軸上に置か
れた第１の光路折曲ミラーで折り曲げて入射角設定ミラ
ーに入射させ、入射角設定ミラーで光軸と交差する光束
として結像レンズに入射させ、該結像レンズから射出さ
れた光束を出射角設定ミラーにより反射して第２の光路
折曲ミラーに入射させ、該第２の光路折曲ミラーで光軸
方向に折り曲げて結像レンズに入射させ、該結像レンズ
で受光素子上に上記パターン板のパターン像を結像さ
せ、該受光素子の出力から被検レンズの周辺部のレンズ
性能を測定することを特徴としている。
【０００９】上記第１と第２の光路折曲ミラーを取り外
し、被検レンズに光軸と平行な光束を入射させ、該光束
により結像レンズにパターン板の像を結像させ、被検レ
ンズの中心部のレンズ性能を測定することが望ましい。
し、被検レンズに光軸と平行な光束を入射させ、該光束
により結像レンズにパターン板の像を結像させ、被検レ
ンズの中心部のレンズ性能を測定することが望ましい。
【００１０】また、上記第１の光路折曲ミラーと上記入
射角設定ミラーを一体として第１の回動枠で被検レンズ
の光軸中心に回動し、上記第２の光路折曲ミラーと出射
角設定ミラーとを一体として第２の回動枠で被検レンズ
の光軸中心に回動し、被検レンズの周辺部の任意の方向
についてレンズの性能を測定することとしてもよい。
射角設定ミラーを一体として第１の回動枠で被検レンズ
の光軸中心に回動し、上記第２の光路折曲ミラーと出射
角設定ミラーとを一体として第２の回動枠で被検レンズ
の光軸中心に回動し、被検レンズの周辺部の任意の方向
についてレンズの性能を測定することとしてもよい。
【００１１】また、上記パターン板を光軸中心に回転
し、被検レンズの任意の方向について、中心部及び／又
は周辺部のレンズ性能を測定することとしてもよい。
し、被検レンズの任意の方向について、中心部及び／又
は周辺部のレンズ性能を測定することとしてもよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面によ
り説明する。図１、図２は、本発明の測定装置の１実施
例の構成を示す図である。光源１１は、筒体１２に支持
され、この筒体１２には、パターン板１３と、コリメー
タ１４とが一体に組み込まれている。パターン板１３に
は、幅ｄのスリット１３ａが開けられ、このスリット１
３ａがコリメータ１４の前側焦点に重なる。また、筒体
１２には、コリメータ回動手段１５が接続され、光軸Ｘ
−Ｘ′を中心に回動自在となって、スリット１３ａの向
きを自在に変化させることができる。コリメータ回動手
段１５は、光源支持台１６に固定され、光源支持台１６
は装置基部１７に固定される。
り説明する。図１、図２は、本発明の測定装置の１実施
例の構成を示す図である。光源１１は、筒体１２に支持
され、この筒体１２には、パターン板１３と、コリメー
タ１４とが一体に組み込まれている。パターン板１３に
は、幅ｄのスリット１３ａが開けられ、このスリット１
３ａがコリメータ１４の前側焦点に重なる。また、筒体
１２には、コリメータ回動手段１５が接続され、光軸Ｘ
−Ｘ′を中心に回動自在となって、スリット１３ａの向
きを自在に変化させることができる。コリメータ回動手
段１５は、光源支持台１６に固定され、光源支持台１６
は装置基部１７に固定される。
【００１３】光源支持台１６の右側には、装置基部１７
から立設された試料台１８があり、被検レンズＡが着脱
自在である。図示の実施例における被検レンズＡとして
は、カメラのファインダレンズが取り付けられている。
試料台１８の右側には、結像レンズ支持台１９があり、
この先端に結像レンズ２０が取り付けられている。
から立設された試料台１８があり、被検レンズＡが着脱
自在である。図示の実施例における被検レンズＡとして
は、カメラのファインダレンズが取り付けられている。
試料台１８の右側には、結像レンズ支持台１９があり、
この先端に結像レンズ２０が取り付けられている。
【００１４】結像レンズ支持台１９の右側には、自動ス
テージ２１が光軸Ｘ−Ｘ′方向に進退自在に取り付けら
れ、この自動ステージ２１には受光素子支持台２２が設
けられ、この受光素子支持台２２に受光素子２４が固定
されている。受光素子２４にはラインセンサが使用さ
れ、受光素子２２は、光軸Ｘ−Ｘ′を中心に回動自在で
ある。
テージ２１が光軸Ｘ−Ｘ′方向に進退自在に取り付けら
れ、この自動ステージ２１には受光素子支持台２２が設
けられ、この受光素子支持台２２に受光素子２４が固定
されている。受光素子２４にはラインセンサが使用さ
れ、受光素子２２は、光軸Ｘ−Ｘ′を中心に回動自在で
ある。
【００１５】被検レンズＡとコリメータ１４との間に
は、第１の回動枠２６が設けられ、ここに、第１の光路
折曲ミラー２７と入射角設定ミラー２８とが固定され
る。第１の回動枠２６は、光軸Ｘ−Ｘ′を中心として回
動可能な構成である。
は、第１の回動枠２６が設けられ、ここに、第１の光路
折曲ミラー２７と入射角設定ミラー２８とが固定され
る。第１の回動枠２６は、光軸Ｘ−Ｘ′を中心として回
動可能な構成である。
【００１６】第１の光路折曲ミラー２７は着脱自在で、
取り付けられた場合は、コリメータ１４からの光束を入
射角設定ミラー２８へと反射し、取り外された場合は、
コリメータ１４からの光束は直接被検レンズＡに入射す
るようになっている。入射角設定ミラー２８は、コリメ
ータ１４からの光束を第１の折曲ミラーから受け、被検
レンズＡの周辺部に光束を入射させるようにミラーの傾
き角度θを調節可能となっている。
取り付けられた場合は、コリメータ１４からの光束を入
射角設定ミラー２８へと反射し、取り外された場合は、
コリメータ１４からの光束は直接被検レンズＡに入射す
るようになっている。入射角設定ミラー２８は、コリメ
ータ１４からの光束を第１の折曲ミラーから受け、被検
レンズＡの周辺部に光束を入射させるようにミラーの傾
き角度θを調節可能となっている。
【００１７】被検レンズＡと結像レンズ２０との間に
は、第２の回動枠３０が設けられ、ここに、第２の光路
折曲ミラー３１と出射角設定ミラー３２とが固定され
る。この第２の回動枠３０も、光軸を中心として回動可
能な構成である。第２の光路折曲ミラー３１は着脱自在
で、取り付けられた場合は、被検レンズＡから射出され
て出射角設定ミラー３２で反射された光束を、光軸Ｘ−
Ｘ′に重なるように射出し、結像レンズ２０に送る。取
り外された場合は、結像レンズＡからの光軸に沿った光
束を直接結像レンズ２０に入射するようになっている。
は、第２の回動枠３０が設けられ、ここに、第２の光路
折曲ミラー３１と出射角設定ミラー３２とが固定され
る。この第２の回動枠３０も、光軸を中心として回動可
能な構成である。第２の光路折曲ミラー３１は着脱自在
で、取り付けられた場合は、被検レンズＡから射出され
て出射角設定ミラー３２で反射された光束を、光軸Ｘ−
Ｘ′に重なるように射出し、結像レンズ２０に送る。取
り外された場合は、結像レンズＡからの光軸に沿った光
束を直接結像レンズ２０に入射するようになっている。
【００１８】出射角設定ミラー３２は、被検レンズＡの
周辺部を透過してきた光束を受け、第２の折曲ミラーへ
送るように、ミラーの傾き角度αを調節可能となってい
る。受光素子２４は、その出力が２値化回路からなる演
算回路３５を介して制御装置３６としてのマイクロコン
ピュータに入力される。自動ステージ２１は受光素子コ
ントローラ３７により自動的に光軸上を進退するが、受
光素子コントローラ３７は、予め定められたプログラム
にしたがって制御装置３６により駆動される。また、受
光素子２４の出力状態や測定結果などは、ディスプレイ
（ＣＲＴ）３８によりモニター可能となっている。ミラ
ーコントローラ３９は、さらに、上記第１の回動枠２６
と、第２の回動枠３０とを連動して回動させる。
周辺部を透過してきた光束を受け、第２の折曲ミラーへ
送るように、ミラーの傾き角度αを調節可能となってい
る。受光素子２４は、その出力が２値化回路からなる演
算回路３５を介して制御装置３６としてのマイクロコン
ピュータに入力される。自動ステージ２１は受光素子コ
ントローラ３７により自動的に光軸上を進退するが、受
光素子コントローラ３７は、予め定められたプログラム
にしたがって制御装置３６により駆動される。また、受
光素子２４の出力状態や測定結果などは、ディスプレイ
（ＣＲＴ）３８によりモニター可能となっている。ミラ
ーコントローラ３９は、さらに、上記第１の回動枠２６
と、第２の回動枠３０とを連動して回動させる。
【００１９】次に、第１の光路折曲ミラー２７と第２の
光路折曲ミラー３１とを取り付けた状態で、被検レンズ
Ａの周辺部のレンズ性能を測定する方法を説明する。ま
ず、図１及び図２において、光源１１から射出された光
束は、パターン板１３のスリット１３ａを透過してコリ
メータ１４により平行光束となり、第１の光路折曲ミラ
ー２７で反射され、入射角設定ミラー２８で角θを適正
に調整され、被検レンズＡの周辺部に入射する。
光路折曲ミラー３１とを取り付けた状態で、被検レンズ
Ａの周辺部のレンズ性能を測定する方法を説明する。ま
ず、図１及び図２において、光源１１から射出された光
束は、パターン板１３のスリット１３ａを透過してコリ
メータ１４により平行光束となり、第１の光路折曲ミラ
ー２７で反射され、入射角設定ミラー２８で角θを適正
に調整され、被検レンズＡの周辺部に入射する。
【００２０】被検レンズＡから射出された光束は、出射
角設定ミラー３２で角αを適正に調整され、第２の光路
折曲ミラー３１で光軸に沿った光束とされ、結像レンズ
２０に入射する。結像レンズ２０では、被検レンズＡの
周辺部を透過してきた光束を、受光素子２４上に結像さ
せる。
角設定ミラー３２で角αを適正に調整され、第２の光路
折曲ミラー３１で光軸に沿った光束とされ、結像レンズ
２０に入射する。結像レンズ２０では、被検レンズＡの
周辺部を透過してきた光束を、受光素子２４上に結像さ
せる。
【００２１】受光素子コントローラ３７は、移動ステー
ジ２１を光軸方向に進退させ、スリット像が受光素子上
に結像するようにする。受光素子２４としてはラインセ
ンサを用い、スリット像がこのラインセンサに直交する
ように結像させる。
ジ２１を光軸方向に進退させ、スリット像が受光素子上
に結像するようにする。受光素子２４としてはラインセ
ンサを用い、スリット像がこのラインセンサに直交する
ように結像させる。
【００２２】光量を縦軸にとり、スリットの幅方向の長
さを横軸にとってスリット１３ａを表すと、図３（ａ）
のように矩形波となる。ラインセンサは多数の素子を一
列に配置してあり、素子１つの幅δはスリット像の幅Ｄ
より遥かに小さく、スリット像の幅にラインセンサの素
子が多数含まれている。したがって、ラインセンサの各
素子の出力を、縦軸に出力、横軸に素子の並んだ方向を
とって表すと、図３（ｂ）のように裾野の幅がｄ´の階
段状の山となる。制御装置３６が受光素子コントローラ
３７を駆動して受光素子２４を光軸方向に移動し、上記
の山が最大となる位置を求める。
さを横軸にとってスリット１３ａを表すと、図３（ａ）
のように矩形波となる。ラインセンサは多数の素子を一
列に配置してあり、素子１つの幅δはスリット像の幅Ｄ
より遥かに小さく、スリット像の幅にラインセンサの素
子が多数含まれている。したがって、ラインセンサの各
素子の出力を、縦軸に出力、横軸に素子の並んだ方向を
とって表すと、図３（ｂ）のように裾野の幅がｄ´の階
段状の山となる。制御装置３６が受光素子コントローラ
３７を駆動して受光素子２４を光軸方向に移動し、上記
の山が最大となる位置を求める。
【００２３】最大の位置が見つかったら、受光素子２４
の出力を演算回路３５としての２値化回路で２値化し、
制御装置３６に入力し、特定周波数でＭＴＦを算出する
と、被検レンズＡの周辺部のＭＴＦを求めることができ
る。
の出力を演算回路３５としての２値化回路で２値化し、
制御装置３６に入力し、特定周波数でＭＴＦを算出する
と、被検レンズＡの周辺部のＭＴＦを求めることができ
る。
【００２４】次に、被検レンズＡの中心部のＭＴＦ測定
の方法について説明する。まず、第１の光路折曲ミラー
２７と、第２の光路折曲ミラー３１とを取り外す。する
と、コリメータ１４からの光束は、直接被検レンズＡに
入射し、光軸に沿った光束となって、被検レンズＡから
射出される。射出された光束は結像レンズ２０を経て受
光素子２４に達し、以下は、周辺部の場合と同様にな
る。
の方法について説明する。まず、第１の光路折曲ミラー
２７と、第２の光路折曲ミラー３１とを取り外す。する
と、コリメータ１４からの光束は、直接被検レンズＡに
入射し、光軸に沿った光束となって、被検レンズＡから
射出される。射出された光束は結像レンズ２０を経て受
光素子２４に達し、以下は、周辺部の場合と同様にな
る。
【００２５】上記の方向がラジアル（Ｒ）方向である場
合、この後、必要に応じて、コリメータ回動手段１５で
スリット１３ａを９０゜回転してタンジェンシャル
（Ｔ）方向にし、受光素子２４もこれと直交するように
９０゜回転する。そして上記と同様の作業を繰り返せ
ば、タンジェンシャル方向についてのレンズ性能の測定
ができる。
合、この後、必要に応じて、コリメータ回動手段１５で
スリット１３ａを９０゜回転してタンジェンシャル
（Ｔ）方向にし、受光素子２４もこれと直交するように
９０゜回転する。そして上記と同様の作業を繰り返せ
ば、タンジェンシャル方向についてのレンズ性能の測定
ができる。
【００２６】また、第１と第２の回動枠２６，３０を連
動して回動すれば、被検レンズＡの任意の周辺部につい
てのレンズ性能の測定ができることになる。上記の実施
例では受光素子２４をラインセンサとしたが、エリアセ
ンサを使用することもできる。エリアセンサとした場合
には、受光素子２４を回転する必要はなく、ラジアル
（Ｒ）方向はエリアセンサのラインを縦方向に読みと
り、タンジェンシャル（Ｔ）方向は横方向に読みとるこ
とで同様の測定ができる。また、スリット１３ａの形状
を正方形とすれば、スリットを回動する必要がなくな
る。
動して回動すれば、被検レンズＡの任意の周辺部につい
てのレンズ性能の測定ができることになる。上記の実施
例では受光素子２４をラインセンサとしたが、エリアセ
ンサを使用することもできる。エリアセンサとした場合
には、受光素子２４を回転する必要はなく、ラジアル
（Ｒ）方向はエリアセンサのラインを縦方向に読みと
り、タンジェンシャル（Ｔ）方向は横方向に読みとるこ
とで同様の測定ができる。また、スリット１３ａの形状
を正方形とすれば、スリットを回動する必要がなくな
る。
【００２７】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
第１の光路折曲ミラーと、入射角設定ミラー、及び出射
角設定ミラーと第２の光路折曲ミラーとを設け、第１と
第２の光路折曲ミラーを着脱自在としたので、第１と第
２の光路折曲ミラーを取り付けた場合は、被検レンズの
周辺部のレンズ性能が測定でき、取り外せば、被検レン
ズの中心部のレンズ性能が測定できる。すなわち、２枚
のミラーの着脱のみで被検レンズの中心と周辺部の測定
ができるので、切替が簡単にでき、短時間での測定がで
きるようになった。
第１の光路折曲ミラーと、入射角設定ミラー、及び出射
角設定ミラーと第２の光路折曲ミラーとを設け、第１と
第２の光路折曲ミラーを着脱自在としたので、第１と第
２の光路折曲ミラーを取り付けた場合は、被検レンズの
周辺部のレンズ性能が測定でき、取り外せば、被検レン
ズの中心部のレンズ性能が測定できる。すなわち、２枚
のミラーの着脱のみで被検レンズの中心と周辺部の測定
ができるので、切替が簡単にでき、短時間での測定がで
きるようになった。
【００２８】また、第１、第２の回動枠を設ければ、被
検レンズの任意の周辺部についての測定が可能となり、
コリメータ回動手段を設ければ、ラジアル方向とタンジ
ェンシャル方向の測定も簡単にできるようになる。
検レンズの任意の周辺部についての測定が可能となり、
コリメータ回動手段を設ければ、ラジアル方向とタンジ
ェンシャル方向の測定も簡単にできるようになる。
【図１】本発明のレンズ測定装置の実施例の構成を示す
平面図である。
平面図である。
【図２】本発明のレンズ測定装置の実施例の構成を示す
正面図である。
正面図である。
【図３】（ａ）はスリットにおける光量を示す線図、
（ｂ）はスリット像における受光素子の出力を示す線図
である。
（ｂ）はスリット像における受光素子の出力を示す線図
である。
【図４】従来のレンズ測定装置の構成を示す図である。
Ａ 被検レンズ １１ 光源 １３ パターン板 １３ａ スリット １４ コリメータ １８ 試料台 ２０ 結像レンズ ２４ 受光素子 ２６ 第１の回動枠 ２７ 第１の光路折曲ミラー ２８ 入射角設定ミラー ３０ 第２の回動枠 ３１ 第２の光路折曲ミラー ３２ 出射角設定ミラー ３５ 演算回路 ３６ 制御装置 ３７ 受光素子コントローラ ３８ ミラーコントローラ
Claims (8)
- 【請求項１】 光源と、 該光源からの光を受けるパターン板と、 該パターン板を前側焦点位置とするコリメータと、 該コリメータから射出された光束が入射するように被検
レンズを保持する試料台と、 該試料台と上記コリメータとの間に着脱自在に設けられ
た第１の光路折曲ミラーと、 該第１の光路折曲ミラーからの反射光束を、光軸と交差
する光線として被検レンズに入射させる入射角設定ミラ
ーと、 上記被検レンズから射出された光線が入射する出射角設
定ミラーと、 被検レンズの光軸上にあって該出射角設定ミラーからの
反射光束を受光して光軸方向に射出する着脱自在な第２
の光路折曲ミラーと、 該第２の光路折曲ミラーからの反射光束が入射する結像
レンズと、 該結像レンズの結像面に設けられた受光素子と、 該受光素子を光軸方向に進退させる受光素子コントロー
ラと、 該受光素子の出力を処理する演算回路と、 該演算回路と上記受光素子コントローラを制御する制御
装置と、を有することを特徴とするレンズの測定装置。 - 【請求項２】 上記パターン板がスリットを有すること
を特徴とする請求項１記載のレンズの測定装置。 - 【請求項３】 さらに、上記第１の光路折曲ミラーと入
射角設定ミラーとを支持して光軸中心に回転する第１の
回動枠と、上記第２の光路折曲ミラーと出射角設定ミラ
ーとを支持して光軸中心に回転する第２の回動枠と、該
第１と第２の回動枠を連動して駆動するミラーコントロ
ーラとを設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の
レンズの測定装置。 - 【請求項４】 上記光源がパターン板及びコリメータと
ともに光軸を中心に回動自在なコリメータ回動手段を有
することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載
のレンズの測定装置。 - 【請求項５】 光源の光をパターン板に透過し、該透過
した光束をコリメータにより平行光束とし、該平行光束
を光軸上に置かれた第１の光路折曲ミラーで折り曲げて
入射角設定ミラーに入射させ、入射角設定ミラーで光軸
と交差する光束として結像レンズに入射させ、該結像レ
ンズから射出された光束を出射角設定ミラーにより反射
して第２の光路折曲ミラーに入射させ、該第２の光路折
曲ミラーで光軸方向に折り曲げて結像レンズに入射さ
せ、該結像レンズで受光素子上に上記パターン板のパタ
ーン像を結像させ、該受光素子の出力から被検レンズの
周辺部のレンズ性能を測定することを特徴とするレンズ
の測定方法。 - 【請求項６】 上記第１と第２の光路折曲ミラーを取り
外し、被測定レンズに光軸と平行な光束を入射させ、該
光束により結像レンズにパターン板の像を結像させ、被
検レンズの中心部のレンズ性能を測定することを特徴と
する請求項５記載のレンズの測定方法。 - 【請求項７】 上記第１の光路折曲ミラーと上記入射角
設定ミラーを一体として第１の回動枠で被検レンズの光
軸中心に回動し、上記第２の光路折曲ミラーと出射角設
定ミラーとを一体として第２の回動枠で被検レンズの光
軸中心に回動し、被検レンズの周辺部の任意の方向につ
いてレンズの性能を測定することを特徴とする請求項５
記載のレンズの測定方法。 - 【請求項８】 上記パターン板を光軸中心に回転し、被
検レンズの任意の方向について、中心部及び／又は周辺
部のレンズ性能を測定することを特徴とする請求項５か
ら７のいずれかに記載のレンズの測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9137988A JPH10318883A (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | レンズの測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9137988A JPH10318883A (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | レンズの測定装置及び測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10318883A true JPH10318883A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15211442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9137988A Pending JPH10318883A (ja) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | レンズの測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10318883A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103674488A (zh) * | 2012-09-12 | 2014-03-26 | 中国科学院光电研究院 | 激光器发散角及光斑形状测量装置 |
| CN107505120A (zh) * | 2017-09-18 | 2017-12-22 | 歌尔股份有限公司 | 摄像头模组光心位置测量方法及测量装置 |
| CN108291854A (zh) * | 2016-03-10 | 2018-07-17 | 松下知识产权经营株式会社 | 光学检查装置、透镜以及光学检查方法 |
-
1997
- 1997-05-14 JP JP9137988A patent/JPH10318883A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103674488A (zh) * | 2012-09-12 | 2014-03-26 | 中国科学院光电研究院 | 激光器发散角及光斑形状测量装置 |
| CN108291854A (zh) * | 2016-03-10 | 2018-07-17 | 松下知识产权经营株式会社 | 光学检查装置、透镜以及光学检查方法 |
| US10386266B2 (en) | 2016-03-10 | 2019-08-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical inspection device having a mirror for reflecting light rays, a method of producing a lens using the optical inspection device, and an optical inspection method using the optical inspection device |
| CN107505120A (zh) * | 2017-09-18 | 2017-12-22 | 歌尔股份有限公司 | 摄像头模组光心位置测量方法及测量装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3660691B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JP2790279B2 (ja) | 粒子検出方法および装置 | |
| US5043589A (en) | Semiconductor device inspection apparatus using a plurality of reflective elements | |
| JP2003503726A (ja) | センサの測定用アパーチャーよりも大きなターゲットの評価に用いる装置及び方法 | |
| JP2510786B2 (ja) | 物体の形状検出方法及びその装置 | |
| JPH0593888A (ja) | オフ・セツト鏡の光軸を決めるための方法および装置 | |
| JPH11183326A (ja) | レンズの測定装置及び測定方法 | |
| JPH0318352A (ja) | Ｘ線診断装置 | |
| JPH10318883A (ja) | レンズの測定装置及び測定方法 | |
| JPH02278110A (ja) | 水平に対する光の入射角を測定するための方法及び装置 | |
| JP2002500771A (ja) | レンズ検査装置 | |
| JP2000509825A (ja) | 光走査デバイス | |
| CN118381893A (zh) | 内在参数校准系统 | |
| JPH1068674A (ja) | レンズ系の測定装置及びレンズ系のｍｔｆ測定方法 | |
| JP2769405B2 (ja) | 液晶表示パネルの二次元配光分布測定装置 | |
| JP2004132858A (ja) | 光学系の光学性能を測定する装置及び方法 | |
| JPH07140046A (ja) | レンズ性能検査装置 | |
| JPH10142102A (ja) | レンズの測定装置及び方法 | |
| CN214898335U (zh) | 基底背面缺陷检测装置 | |
| JP2597711B2 (ja) | ３次元位置測定装置 | |
| JPH02272514A (ja) | 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法 | |
| JPH03130639A (ja) | Ｍｔｆ測定装置の光軸整合方法 | |
| WO1986006159A1 (en) | Optical measuring instrument | |
| JPH0829131A (ja) | 光学式測定装置 | |
| JP2000046535A (ja) | 角度測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |