JPH10318904A - 粒子画像分析装置およびその分析用プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents

粒子画像分析装置およびその分析用プログラムを記録した記録媒体

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JPH10318904A
JPH10318904A JP9150995A JP15099597A JPH10318904A JP H10318904 A JPH10318904 A JP H10318904A JP 9150995 A JP9150995 A JP 9150995A JP 15099597 A JP15099597 A JP 15099597A JP H10318904 A JPH10318904 A JP H10318904A
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particle
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時弘 小坂
Yoichi Miyashita
洋一 宮下
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 粒子画像を解析して粒子に関する情報を求め
ること。 【解決手段】 移動粒子を撮像し、撮像された粒子像を
画像処理する画像処理部が、撮像された各粒子像につい
て、粒径パラメータ、円形度パラメータ、長短径比パラ
メータ、以上3つのパラメータのうち必要なパラメータ
を算出する算出部と、上記算出されたパラメータから、
円形度パラメータによる分布データ、長短径比パラメー
タによる分布データ、粒径パラメータと長短径比パラメ
ータとによる分布データ、円形度パラメータと長短径比
パラメータとによる分布データ、粒径パラメータと円形
度パラメータと長短径比パラメータとによる分布デー
タ、以上5つの分布データのうち少なくとも1つの分布
データを作成しそれを分布図として出力するための図表
作成部と、分布データに対し解析を行いその解析結果を
出力部に出力する解析部とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は粒子を撮像し、粒
子像を画像解析することによって、粒子の大きさや形状
に関する情報を求める粒子画像分析装置およびその分析
用プログラムを記録した記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】ファインセラミックス粒子、トナー、顔
料、研磨剤等の粉体の品質を管理する上で、粒子の粒径
を測定、管理することは非常に重要である。また最近で
は、より付加価値の高い粉体の開発、商品化が進められ
ており、粒子の大きさだけでなく、形状パラメータの計
測およびその品質管理も重要になってきている。
【0003】粒子の粒度分布測定装置としては、古くか
ら液相沈降法、電気的検知帯法(クールター法)による
測定装置があり、最近ではレーザ回折散乱法による測定
装置が広く利用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
いづれの方式による測定装置においても、その測定精度
(正確度)は、いまだに満足できるものではない。特
に、対象とする粒子が偏平であったり細長い形をしてい
る場合には、測定原理の違いによって、求められる粒径
は大きく異なることがある。また、トナー粒子のよう
に、トナー本来の粒子だけでなく、印字品質を向上させ
るための微小粒子を添加した混合粉体などでは、両方の
種類の粒子を同時に正しく測定することは困難なことが
多い。また、一般的に微小な粒子は凝集しやすく、その
場合にも正確な粒度分布を求めることができない。ま
た、従来の粒度分布測定装置では、粒子の球形度(円形
度)や凝集度合い等に関する情報を求めることは不可能
である。
【0005】懸濁液中の粒子の内、大きい粒子の方が速
く沈降するので、粒子濃度が時間的、空間的に変化す
る。この変化を光の透過量で検知して粒度分布を求める
方法が、沈降法として代表的な液相沈降光透過法であ
る。この沈降法では、同じ体積の粒子でも、その粒子の
形状が異なると沈降速度は異なる。また、粒子どうしが
凝集していると、その凝集粒子は速く沈降する。
【0006】電気的検知帯法による装置は、電解液に浮
遊させた粒子が小さな穴を通過する時の電気抵抗の変化
を検出するものであり、1個1個の粒子の体積相当径が
形状にほとんど影響されず測定できる。逆に言えば、電
気的検知帯法では、粒子の形状に関する情報を得ること
は困難である。
【0007】また、細孔径が1種類の大きさの検出器で
は粒径測定レンジが狭く、大きさの異なる2種類以上の
粒子が含まれる粉体を、1回で正しく測定することは難
しい場合が多い。また、粒子の大きさと比較して電気的
検知領域がかなり広いので、粒子どうしが近接あるいは
凝集していると、正確な粒度分布を求めることができな
い。
【0008】最近広く使用されているレーザ回折散乱法
の装置は、浮遊している粒子群にレーザ光を照射して得
られる回折光/散乱光強度の角度分布情報から、ミー散
乱理論に基づいて粒径分布を推定、算出するものであ
る。この装置では粒度が未知の試料や屈折率が同じ粒子
の混合試料でも、粒径が0.1μmから数百μmまでの
粒子に対して、1回の測定で粒度分布が得られるという
利点がある。
【0009】しかし、この方式の装置には次に挙げるよ
うな問題点がある。 1)粒子による散乱光強度分布は、形状、屈折率、表面
状態等の違いによる影響を大きく受け、正確な粒度分布
を求めるのは難しい。 2)測定する粒子の正確な屈折率を入力する必要がある
が、粒子の表面が酸化していたり、不純物が混ざってい
ることがあり、文献値を入力しても正しく粒度分布が求
められないことがある。
【0010】3)粒子が球形で表面が滑らかであり凝集
していないという仮定のもとに、多数の粒子による回折
光/散乱光強度分布についての連立方程式を解いて粒度
分布を推定する。その仮定を満足しない粉体に対して
は、その連立方程式はまともに解けないことがあり、独
自の補正を行っている。
【0011】4)上記のような独自の補正のために、同
じレーザ回折法の装置でも機種間の測定結果に大きな差
が生じることがある。 以上のように、上記従来の粒度分布測定装置では、粒子
の形状や凝集影響を大きく受け、正確な粒度分布を求め
るのは難しい。また、粒子の形状(円形度等)に関する
情報を得ることも不可能である。
【0012】粒子の形状を測定する方法としては、顕微
鏡又は電子顕微鏡と画像処理装置を組み合わせる方法が
ある。しかし、工業用の粉体は、粉砕して作られた粒子
が多く、そのような粉体では、ひとつの試料でも各粒子
の大きさが著しく異なり、スライドグラス上の粒子の全
てにピントを合わすことはできない。すなわち、小さな
粒子に対してピントを合わすと大きな粒子に対してピン
トが合わなくなる。大きな粒子に対してピントを合わす
と小さな粒子に対してピントが合わなくなる。従って、
この顕微鏡方式は、粒子の大きさが揃っている場合にし
か利用できない。
【0013】また、この顕微鏡方式で何千個もの粒子像
を解析しようとすると、撮像する視野を変更するために
スライドグラスを少しずつ移動させて何百枚も画像を取
り込んで解析する必要があり、手間と時間がかかる。こ
のような理由で、工業用粉体に対しては、粒子像から粒
子の大きさや形状を測定することはあまり行われていな
いのが現状である。
【0014】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数粒子を
移動させる粒子移動手段と、移動粒子に対して光を照射
する光照射部と、照射された粒子を撮像する撮像部と、
撮像された粒子像を解析する画像解析部と、出力部とを
備え、画像解析部は、撮像された各粒子像の面積および
周囲長についての粒子データを測定して粒子の円形度を
算出する算出部と、円形度を表すパラメータについて分
析データ(ヒストグラムデータ)を作成し、分布図(ヒ
ストグラム)としてて出力部に出力する図表作成部から
なることを特徴とする粒子画像分析装置を提供するもの
である。ここで複数粒子を移動させる手段として、スラ
イドグラス上に粒子を塗布し、スライドグラスを移動さ
せる機構や、シースフローセル中に粒子懸濁液の流れを
シース液で取り囲んだ流れに変換する機構を使用するこ
とができる。
【0015】また、この発明は、撮像された各粒子像の
短径および長径についての粒子データを測定し粒子の長
短径比を算出する算出部と、長短径比を表すパラメータ
について分析データ(ヒストグラムデータ)を作成し、
分布図(ヒストグラム)として出力部に出力する図表作
成部からなることを特徴とする粒子画像分析装置を提供
するものである。
【0016】さらに、この発明は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長、短径および長径についての粒子データ
を測定しその粒子データから粒子の粒径と円形度と長短
径比を算出する算出部と、粒径と長短径比を表すパラメ
ータによる分布データ(2次元スキャッタグラムデー
タ)又は長短径比と円形度を表すパラメータによる分布
データ(2次元スキャッタグラムデータ)を作成し、分
布図(2次元スキャッタグラム)として出力部に表示す
る図表作成部からなることを特徴とする粒子画像分析装
置を提供するものである。
【0017】さらに、この発明は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長、短径および長径についての粒子データ
を測定しその粒子データから粒子の粒径と円形度と長短
径比を算出する算出部と、粒径と円形度と長短径比とに
対応する3つのパラメータによる分布データ(3次元ス
キャッタグラムデータ)を作成し、分布図(3次元スキ
ャッタグラム)として出力部に表示する図表作成部から
なることを特徴とする粒子画像分析装置を提供するもの
である。
【0018】
【発明の実施の形態】この発明の装置の分析対象は、ト
ナー、ファインセラミックス、研磨剤、顔料、化粧品用
パウダーのような無機物の粉体および食品添加物のよう
な有機物の粉体を含むものであり、予め染料や標識試薬
によって染色処理された粒子であってもよい。
【0019】シースフローセルは、粒子を含む試料液、
すなわち、粒子懸濁液の流れをシース液で包んで流すこ
とにより流体力学的効果によって、細いあるいは偏平な
流れに変換することができるセルであり、これには、従
来公知のものを用いることができる。
【0020】なお、シースフローセルに供給されるシー
ス液については、粒子懸濁液の性質(粒子や溶媒の性
質)対応してその種類を選択することが好ましい。光照
射部には、パルス発光するストロボやレーザ光源を用い
ることが好ましい。連続的に発光する光源を用いること
もできるが、この場合には、撮像部にシャッターを設け
る必要がある。撮像部には、一般的な2次元画像を撮像
するビデオカメラを用いることができる。
【0021】光照射部と撮像部とはシースフローセルを
挟んで配置され、シースフローセルにおいて粒子懸濁液
が偏平な流れに変換される場合、光照射部は、粒子懸濁
流の偏平な一面に直交して光を照射し、撮像部はその光
軸上に配置されることが好ましい。
【0022】画像解析部は、1/30秒ごとの撮像画面
を実時間で処理できるパイプライン処理方式の画像処理
機能を有するパーソナルコンピュータで構成できる。入
力部には、キーボードやマウス、あるいは、フロッピー
ディスクのような記録媒体を機械的に読み取る装置など
を用いることができる。
【0023】出力部には、例えば、CRTや液晶ディス
プレイに表示するような表示装置や、レーザプリンタの
ように紙に印刷する印刷装置、あるいは、フロッピーデ
ィスクのような記録媒体に書き込む装置などを用いるこ
とができる。
【0024】この発明において、シースフローセルは、
粒子懸濁液の流れをシース液で取り囲み、細いあるいは
偏平な流れに変換し、光照射部は、変換された懸濁液流
に対して光を照射し、撮像部は、光照射された粒子を撮
像する。画像解析部は、撮像された粒子像を解析して解
析結果を出力部に出力する。
【0025】つまり、画像解析部においては、算出部
が、撮像された各粒子像の面積および周囲長についての
粒子データを算出し、そのデータから円形度を算出し、
図表作成部が、円形度を表すパラメータについてヒスト
グラムデータを作成し、ヒストグラムとして出力部に出
力する。
【0026】具体的には、粒子懸濁液を透明なフローセ
ルに導き、その懸濁液を細い又は偏平な流れにする。そ
の流れに対して光照射することによって、流れの中の粒
子をビデオカメラで撮像する。撮像された各粒子像の投
影面積と周囲長を算出し、円形度を算出する。さらに、
円形度によるヒストグラムを作成する。このヒストグラ
ムから粒子の形状、とくに、表面の凹凸に関する情報を
得ることができる。
【0027】また、画像解析部は、撮像された各粒子像
の短径および長径についての粒子データを測定して粒子
の長短径比を算出する算出部と、長短径比を表すパラメ
ータについてヒストグラムデータを作成し、ヒストグラ
ムとして出力部に出力する図表作成部から構成されても
よい。この場合には、このヒストグラムから粒子の形
状、とくに粒子の長細さに関する情報を得ることができ
る。
【0028】さらに、図表作成部は、撮像部が複数の粒
子懸濁液について撮像を行うとき、各粒子懸濁液につい
てのヒストグラムを1つのヒストグラムに合成して出力
部に出力させてもよい。これによって、統計的に偏りの
少ないヒストグラムが作成できる。特に、懸濁液中の粒
子数が少ない場合に、この方法は有効である。
【0029】なお、この装置が、ヒストグラムの領域を
指定する指定部と、指定された領域のパラメータについ
て統計的解析を行い解析結果を出力部に出力する解析部
とをさらに備えれば、指定領域における上記の粒子形状
に関する情報を定量的に得ることが可能となる。指定部
は、新たに設ける事が可能であるが、入力部に兼用させ
ることも可能である。
【0030】また、画像解析部は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長・短径および長径についての粒子データ
を測定しその粒子データから粒子の粒径と円形度と長短
径比を算出する算出部と、粒径と長短径比を表すパラメ
ータによる2次元スキャッタグラムデータ又は長短径比
と円形度を表すパラメータによる2次元スキャッタグラ
ムデータを作成し、2次元スキャッタグラムとして出力
部に表示する図表作成部から構成されてもよい。この場
合には、粒子の円形度と長短径比の相関関係から、粒子
形状、とくに、表面の凹凸および長細さに関する情報を
さらに詳細に得ることができる。
【0031】また、画像解析部は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長・短径および長径についての粒子データ
を測定し、その粒子データから粒子の粒径と円形度と長
短径比を算出する算出部と、粒径と円形度と長短径比と
に対応する3つのパラメータによる3次元スキャッタグ
ラムデータを作成し、3次元スキャッタグラムとして出
力部に表示する図表作成部から構成されてもよい。この
場合には、粒子の粒径と円形度と長短径比の相関関係か
ら、粒子形状および粒子の凝集の程度などの情報を詳細
に得ることができる。
【0032】図表作成部は、撮像部が複数の粒子懸濁液
について撮像を行うとき、各粒子懸濁液についてのスキ
ャッタグラムを1つのスキャッタグラムに合成して出力
手段に出力させてもよい。これによって、統計的に偏り
の少ないスキャッタグラムが作成できる。特に、懸濁液
中の粒子数が少ない場合にこの方法は有効である。
【0033】なお、この装置が、スキャッタグラムの領
域を指定する指定部と、指定された領域のパラメータに
ついて統計的解析を行い解析結果を出力部に出力する解
析部とをさらに備えれば、指定領域における上記の各情
報を定量的に得ることができる。指定部は、新たに設け
る事も可能であるが、入力部に兼用させることも可能で
ある。
【0034】また、上記の解析とは、統計的解析を含む
ものであって、例えば粒径、円形度又は長短径比につい
て、平均値、標準偏差、変動係数、メジアン値、モード
値、10%累積値、50%累積値、90%累積値および
限定粒子比率などを算出することである。
【0035】また、画像解析部は、円形度および長短径
比の少なくとも一方が任意に設定される時、その設定値
以下の円形度又は長短径比を有する粒子の数の比率を算
出して出力部に出力する算出部を備えることが好まし
い。これによって、例えば、円形度又は長短径比が平均
値よりも小さい粒子の比率が求められ、粒子形状を微妙
に評価することができる。
【0036】
【実施例】この発明の粒子画像分析装置の実施例の構成
を図1および図2に示す。これらの図において、まず粒
子懸濁液はダイヤフラムポンプ等の吸引部(図示してい
ない)によって吸引ピペット1から吸引され、サンプル
フィルター2を通りフローセル5の上部の試料チャージ
ングライン3へ引き込まれる。サンプルフィルター2に
よって、懸濁液中の粗大な粒子やごみが取り除かれ、流
路の細い(狭い)フローセル5が詰まらないようにして
いる。また、このサンプルフィルタ2は、粗大な凝集塊
をほぐす効果も持っている。
【0037】測定する粒子が半透明状の場合には、その
粒子に対して適当な染色を施すのが好ましい。図1には
図示していないが、装置内に染色液ボトルを設け、吸引
した試料をその染色液で染色するための反応チャンバー
を付加してもよい。
【0038】チャージングライン3に引き込まれた粒子
懸濁液は、シースシリンジ4を動作させることによって
フローセル5に導かれ、サンプルノズル5aの先端から
懸濁液が少しずつ押し出される。それと同時にシース液
もシース液ボトル6からシース液チャンバー7を介して
フローセル5に送り込まれ、粒子懸濁液はそのシース液
で取り囲まれ、図2に示すように、液体力学的に懸濁液
流は偏平に絞られてフローセル5の内を流れ、廃液チャ
ンバー14へ排出される。
【0039】このように偏平に絞られた懸濁液流に対し
て、ストロボ8からパルス光を1/30秒ごとに周期的
に照射することによって、1/30秒ごとに粒子の静止
画像が対物レンズ9を介して撮像部としてのビデオカメ
ラ10で撮像される。粒子を懸濁する溶媒は粒子特性
(粒径や比重)に応じて最適なものを選べばよい。
【0040】また、懸濁液の流れを確実に偏平にあるい
は細く絞り込むため懸濁液の特性に応じて、例えば溶媒
の粘度や比重に応じて、シース液の粘度や比重を変更す
るのが好ましい。図1には図示していないが、複数種類
のシース液ボトルを設け、測定する試料に応じて使用す
るシース液の種類を容易に切り換えられるような機構を
付加してもよい。
【0041】懸濁液流の偏平な面をビデオカメラ10で
撮像すれば、ビデオカメラ10の撮像エリア全体に渡っ
て粒子像を捉えることができ、1回の撮像で多数の粒子
を撮像できる。また、撮像される粒子の重心とビデオカ
メラ10の撮像面との距離をほぼ一定にすることができ
るので、粒子の大きさに関わらず常にピントの合った粒
子像が得られる。さらに、流体力学的な効果によって、
偏平な粒子や細長い粒子の向きが揃いやすく、粒子像を
解析して得られる特徴パラメータは、ばらつきが小さく
再現性が良い。
【0042】複数回のパルス光照射によって撮像される
粒子像の数は、懸濁液流を偏平にした場合には、ビデオ
カメラ10の撮像エリアの面積、試料流の厚み、粒子懸
濁液の単位体積当たりの粒子数、および撮像回数(フレ
ーム数)によって決まる。例えば、撮像エリアを200
×200μm、試料流の厚みを5μm、粒子濃度を10
000個/μl、撮像フレーム数を1800(撮像時間
を60秒)とした時に撮像される粒子数は3600個と
なる。
【0043】撮像エリアの面積は、ビデオカメラ10の
受光面に対する結像倍率とそのサイズによって決まる。
対物レンズ9の倍率を大きくすれば撮像エリアが小さく
なるが、小さな粒子まで大きく撮像できる。対物レンズ
9の倍率を小さくすれば撮像エリアが大きくなり、大き
な粒子を撮像するのに適している。この装置では、対物
レンズ9の倍率を選択あるいは測定途中に切り換えでき
るようにしており(図示していない)、粒径の測定レン
ジを広くしている。
【0044】図18は、この実施例における画像処理系
を示すブロック図であり、ビデオカメラ10からの画像
信号は、画像処理部(パーソナルコンピュータ)11で
処理され、出力部としてのモニターテレビ12に表示さ
れる。13は各種の入力操作や指令操作等を行なうため
の入力部(キーボード及びマウス)である。さらに、画
像処理部11は、算出部21、図表作成部22および解
析部23を備える。
【0045】1/30秒ごとの粒子撮像画面に対する画
像処理の手順を図3に示す。図3において、算出部21
はステップS1〜S9およびS14の処理を、図表作成
部22はステップS10,S11の処理を、解析部23
はステップS12,S13の処理をそれぞれ実行する。
【0046】画像信号は、画像処理部11に取り込まれ
てA/D変換され、画像データとして取り込まれる(ス
テップS1)。まず懸濁液流に対する照射光の強度むら
(シェーディング)を補正するためのバックグランド補
正が行われる(ステップS2)。
【0047】具体的には、粒子がフローセル5を通過し
ていない時に光照射して得られる画像データを、測定前
にあらかじめ取り込んでおき、その画像データと実際の
粒子撮像画面の画像データとを比較演算することであ
り、画像処理として一般的によく知られた処理である。
次に、粒子像の輪郭を的確に抽出するための前処理とし
て輪郭強調処理を行う(ステップS3)。具体的には、
一般的によく知られたラプラシアン強調処理を行う。
【0048】次に、画像データをある適当なスレシホー
ルドレベルで2値化する(ステップS4)。次に、2値
化された粒子像に対してエッジ点かどうかを判定すると
ともに、着目しているエッジ点に対して隣合うエッジ点
がどの方向にあるかの情報、すなわちチェインコードを
生成する(ステップS5)。次に、このチェインコード
を参照しながら粒子像のエッジトレースを行い、各粒子
像の総画素数、総エッジ数、斜めエッジ数を求める(ス
テップS6)。
【0049】高性能のパイプライン処理可能な画像処理
装置を使用すれば、以上の画像処理を、1/30秒ごと
に撮像される画面に対してリアルタイムに処理すること
ができる。この装置では、ある倍率で撮像される複数の
画面に対して上記画像処理を繰り返し行い、次に異なる
撮像倍率に切り換えて撮像し、同様の画像処理を行う。
また、撮像されたフレームから粒子像の切り出しを行
い、切り出した粒子像を画像処理装置11の画像メモリ
に格納する(ステップS7)。
【0050】撮像が終了すると(ステップS8)、次の
ようにして、円相当径(粒度)、円形度および長短径比
の算出を行なう(ステップS9)。まず、各粒子像に対
して求められた総画素数、総エッジ数、斜めエッジ数か
ら、下記の式によって各粒子像の投影面積Sと周囲長L
を求める。
【0051】図4に示すように、2値画像の周囲のエッ
ジの中心を結んでできる枠内の面積Sおよび枠の長さ
(周期長L)は、1画素当たりの面積を1とした場合、 面積S=総画素数−(総エッジ×0.5)−1……(1) 周囲長L=(総エッジ数−斜めエッジ数)+(斜めエッジ数×√2)……(2)
【0052】次に、上記面積Sと周囲長Lを用いて円相
当径と円形度を求める。円形当径とは、粒子像の投影面
積と同じ面積を持つ円の直径のことであり、式(3)で表
される。円形度は、式(4)で定義される値であり、粒子
像が円形の時に円形度は1になり、粒子像の外周の凹凸
の程度が大きくなればなるほど円形度は小さい値にな
る。
【0053】 円相当径=(粒子投影像面積値/π)1/2×2……(3) 円形度=(粒子像と同じ投影面積値を持つ円の周囲長)/(粒子投影像の周囲 長) ……(4)
【0054】次に、図4より、長径D1および短径D2
を求める。フローセル5において、粒子懸濁液流は流体
的学的に細い偏平な試料流に変換され、偏平な粒子や細
長い粒子の向きが流れ方向に沿って揃うので、粒子像に
おいてその流れの方向を考慮することにより長径D1と
短径D2が算出される。つまり、図4においてはX軸方
向が流れの方向に対応するため、粒子像のエッジ部のX
座標、Y座標の最大差分△X、△Yから、それぞれ長径
D1、短径D2が次のように算出される。
【0055】 D1=△X=X4−X1+1 ……(5) D2=△Y=Y3−Y2+1 ……(6) 従って、 長短径比=D2/D1 ……(7) となる。つまり、粒子像が円形や正方形に近い時に長短
径比は1に近くなり、細長くなるほど長短径比は1より
小さい値になる。
【0056】このようにして、各粒子像に対して円相当
径(粒度)、円形度および長短径比が算出されると、次
に、キーボード13からの指令に基づいて、必要なスキ
ャッタグラムやヒストグラムを作成して表示する(ステ
ップS10,S11)。
【0057】そして、表示したスキャッタグラムやヒス
トグラムについて、解析項目や解析領域がキーボード1
3から指定されると、その項目や領域について解析を行
い、つまり、平均値、標準偏差、変動係数、メジアン
値、モード値、10%累積値、50%累積値、90%累
積値等の解析データを算出し、算出結果を表示する(ス
テップS12,S13)。
【0058】図17は、円相当径と円形度のパラメータ
に基づいて作成されて表示された2次元スキャッタグラ
ムが、破線A,B,C,Dで領域指定されたとき、その
領域における円相当径と円形度の各ヒストグラムと、そ
の領域における解析結果の数値をそれぞれ表示した例を
示している。また、キーボード13からの指令により、
撮像した粒子像は図16のように一括表示される(ステ
ップS14)。なお、図17において、%径は累積%
径、SDとは標準偏差、CVとは変動係数、限粒子率と
は破線A,B,C,Dで囲まれた粒子の比率、大、中、
小粒子率とは、大は破線Bより大きい粒子の比率,中は
破線AとBで囲まれた粒子の比率,小は破線Aより小さ
い粒子の比率である。
【0059】この装置で得られた、円相当径、円形度、
長短径比による3次元スキャッタグラムの一例を図5に
示す。図5は、X軸、Y軸を円形度、長短径比、Z軸を
対数変換した円相当径とした例で、円相当径、円形度、
長短径比及びそれらの頻度値に応じて各プロット点(ド
ット)の色を変えて表示することができる。
【0060】また、円相当径、円形度、長短径比を限定
することにより、ある特定の粒子(凝集、異物など)を
選択的に3次元スキャッタグラム上に表示することが可
能である。
【0061】図5は、粒子表面に凹凸があり、比較的形
の揃った粉体(トナーなど)の測定例である。もし、測
定サンプル中に凝集があった場合、図5中の(ロ)、
(ハ)に示すような凝集物がスキャッタグラム上に現れ
ることが予想される。また、図5において円相当径、円
形度、長短径比の各領域を限定した場合、スキャッタグ
ラムは図6のように表示され、限定された粒子群の3次
元分布と比率がわかる。この場合、40μm≦粒径≦1
00μm、0.6≦円形度≦0.8、0.2≦長短径比
≦0.4と限定し、比率5.3%として算出される。
【0062】図7は粒子が細長い形状の粉体(炭素繊維
など)の測定例である。図7中の(イ)、(ロ)に示す
ような形状の粒子が3次元スキャッタグラムに現れる。
また、図7において、円相当径、円形度、長短径比の各
領域を限定した場合、スキャッタグラムは図8のように
なり、限定された粒子群の3次元分布と比率がわかる。
この場合、20μm≦粒径≦40μm、0.6≦円形度
≦0.7、0.1≦長短径比≦0.3であり、比率=1
6.3%として算出される。
【0063】このように、3次元スキャッタグラムで表
すことにより、粒子の大きさ(粒子径)、粒子表面状態
(円形度)、粒子形状(長短径比)が3次元的に把握さ
れ、粒子特性が視覚的に確認でき、限定された粒子群の
比率がわかる。図5の3次元スキャッタグラムを2次元
スキャッタグラムに展開した例を図9〜図11に示す。
図9は横軸を対数変換した円相当径、縦軸を円形度、図
10は横軸を対数変換した円相当径、縦軸を長短径比、
図11は横軸を長短径比、縦軸を円形度としたときの例
である。
【0064】図9〜図11の各プロット点(ドット)の
色は2次元頻度値に応じて変えることができる。図9は
円相当径と円形度の2次元スキャッタグラムであるが、
撮像された粒子像から、枠線A,Bで囲まれた部分の粒
子はそれぞれ(イ)凝集粒子、(ロ)未凝集粒子である
と推測できるが、その凝集粒子の形については、推測で
きない。
【0065】そのため、図10の円相当径と長短径比と
の2次元スキャッタグラム、および図11の長短径比と
円形度との2次元スキャッタグラムにおける枠線A,
B,Cで囲まれた粒子の形状がそれぞれ(イ)、
(ロ)、(ハ)に示すような形状であると推測出来るこ
とから、図9の枠線Aで囲まれた凝集粒子の形は枝状に
繋がった形状と塊状を含むことが推測できる。
【0066】また、円形度と長短径比の比率(長短径比
/円形度)のパラメータを新たに算出し、円相当径との
2次元スキャッタグラムを図12のように描かすことに
よっても、図12の枠線A,B,Cで囲まれた粒子が
(イ)、(ロ)、(ハ)に示すような形状であると推測
できるので、同様な効果が期待できる。
【0067】また、上記スキャッタグラムを図13〜図
15に示すように円形度、長短径比/円形度あるいは長
短径比だけに着目して、その頻度分布や累積分布のヒス
トグラムに展開することができる。ここでは、円形度に
着目した頻度分布や累積分布の例を図13に示す。この
ヒストグラムから解析データとして、平均円形度=0.
895、円形度標準差=0.152、50%円形度=
0.907、モード円形度=0.920を算出し、表示
することが可能である。
【0068】また、円形度を限定してその比率を求める
ことができる。例えば、図13は粒子表面形状の異なる
2種類の粒子の混合された粒子の分布であり、目的の円
形度を持つ粒子の比率(枠線Rで囲まれた部分)を求め
ることができる。つまり、0.75≦円形度≦0.83
と限定することにより、比率30.5%が算出される。
【0069】同様に図14および図15に示すように長
短径比/円形度及び長短径比にそれぞれ着目した頻度分
布や累積分布のヒストグラムを描くことにより、2次元
スキャッタグラム(図11)と同じような分析結果を1
次元ヒストグラムから得ることができる。このように、
粒子表面状態、粒子の形をコントロールしなければなら
ない粉体に対して、これらの分布データはきわめて有用
である。
【0070】さらに、この装置では、上記のように撮像
した粒子像から円相当径、円形度や長短径比を求めるだ
けでなく、撮像した粒子像を記憶しておき、測定後に大
きさ別にクラス分けして図16に示すように、一括表示
する機能も有している。もっとも、画像を記憶する画像
メモリの容量に制限があるので、撮像された全ての粒子
像を記憶、表示するわけではない。撮像された粒子像を
一括表示できる機能を有しているので、粒子の形態や凝
集状態を直接使用者が確認することができる。
【0071】粒子どうし凝集することが重要な意味を持
つような場合には、図16に示す各枠内の粒子像につい
て、一次(単独)粒子像か、2個凝集粒子像か、3個凝
集粒子像か、高次凝集塊か、あるいは対象外の粒子か
を、使用者が判定し、キーボード13を用いて入力す
る。その判定結果をもとにして、凝集している粒子の数
の比率を自動的に計算することができる。もし、一括表
示された粒子像の中に凝集粒子像が全く無い場合には、
図9や図10の2次元スキャッタグラムでの円形度や長
短径比の算出値は、真に粒子の円形度や長短径比を表し
ていると考えてよい。
【0072】また、上記判定結果をもとにして、一次粒
子(凝集していない粒子)像だけを対象にして画像解析
し直すこともできる。記憶できる粒子像の数に限りがあ
るので、再現性の良い解析結果が得られない場合もある
が、対象外の粒子(ごみ等)や凝集粒子を除いて解析す
るので、より正確な粒度分布、円形度および、長短径比
が求められる。
【0073】上記実施例においては、図18に示す画像
解析部としてのパーソナルコンピュータ(以下、パソコ
ンという)11が、図3のステップS1〜S9およびS
14を実行するための算出部21、同図のステップS1
0,S11を実行するための図表作成部22、同図のス
テップS12,S13を実行するための解析部23とし
て機能する。そのためのプログラムが図示しない記憶部
に格納されている。
【0074】図19は、上記実施例の変形例を、図18
に対応して示したブロック図である。この変形例では、
図18におけるパソコン11が、2台のパソコン11
a,11bから構成され、それぞれが入力部13a,1
3b,出力部12a,12bを備える。そして、パソコ
ン11aは図18の算出部21として機能するためのプ
ログラムを内蔵し、算出部21は入力部(キーボード)
13aから入力される条件に従って図3のステップS1
〜S9を実行する。算出されたパラメータ、つまり、各
粒子像の円相当径、円形度および長短径比は出力部12
aでデータ記録媒体26へ記録されて出力されるか、又
は、通信ケーブルによて直接データ記録部25へ出力さ
れるようになっている。
【0075】一方、パソコン11bは、データ記録媒体
26からパラメータを読み取ってデータ記憶部25に格
納する。または、パソコン11aから通信ケーブルによ
って直接送信されたデータをデータ記憶部25に格納す
る。そして、図表作成部22および解析部23は、入力
部(キーボード)13bから設定される条件に基づい
て、図3のステップS10〜S13の処理を実行する。
なお、パソコン11bは、予めプログラム記録媒体27
からプログラム記憶部24に読み込んだ分析用プログラ
ムを用いて、図18の図表作成部22および解析部23
としての機能を実行する。
【0076】図20は、さらに他の実施例を示し、図1
に示す粒子画像分析装置にパソコン11cを接続した例
である。ここでは、画像処理部11から得られた円形度
ヒストグラム、長短径比ヒストグラム、粒径と長短径比
の2次元スキャッタグラム、長短径比と円形度の2次元
スキャッタグラム、粒径と円形度と長短径比の3次元ス
キャッタグラムの分布データがパソコン11cに出力さ
れる。パソコン11cは、プログラム記録媒体27aか
ら読み込んだ分析用プログラムを用いて、図3のステッ
プS11〜S13の処理を実行する。その処理結果は出
力部12cに出力される。なお、入力部13cは、パソ
コン11cの各種処理条件を設定するためのキーボード
およびマウスから構成される。
【0077】ここで、データ記録媒体26およびプログ
ラム記録媒体27、27aには、ROMやEEPROM
からなるメモリーガード,フロッピーディスク,ハード
ディスク,又はCD−ROMを用いることができる。こ
れらの変形例によれば、記録媒体27,27aに記録さ
れたプログラムを変更することにより、パソコン11
b,11cの分析機能の拡張や、分析仕様の変更を任意
に行うことができる。
【0078】
【発明の効果】この発明は、次のような効果を奏する。 1.各粒子の円形度又は長短径比によるヒストグラムか
ら粒子形状を容易に把握することができる。 2.円形度また長短径比のヒストグラムの解析結果の情
報を用いて、粒子の形状に関しての定量的な品質管理が
できる。
【0079】3.2種類以上の粒子を含む粉体の評価に
おいて、、円相当径に対する円形度または長短径比のパ
ラメータの2次元スキャッタグラムによって、それぞれ
の種類の粒子群を区分けすることが容易になり、対象と
している粒子群だけに着目しての解析を行うことがで
き、より有用で定量的な情報が得られる。 4.各粒子の粒度、円形度および長短径比による3次元
スキャッタグラムから粒子形状についての情報を詳細に
得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の構成説明図である。
【図2】図1の要部拡大断面図である。
【図3】粒子撮像画面の例を示す説明図である。
【図4】実施例における粒子の撮影面積、周囲長、長
径、および短径の算出方法を示す説明図である。
【図5】実施例において表示される3次元スキャッタグ
ラムである。
【図6】実施例において表示される3次元スキャッタグ
ラムである。
【図7】実施例において表示される3次元スキャッタグ
ラムである。
【図8】実施例において表示される3次元スキャッタグ
ラムである。
【図9】実施例において表示される2次元スキャッタグ
ラムである。
【図10】実施例において表示される2次元スキャッタ
グラムである。
【図11】実施例において表示される2次元スキャッタ
グラムである。
【図12】実施例において表示される2次元スキャッタ
グラムである。
【図13】実施例において表示されるヒストグラムであ
る。
【図14】実施例において表示されるヒストグラムであ
る。
【図15】実施例において表示されるヒストグラムであ
る。
【図16】実施例の表示画像の例を示す説明図である。
【図17】実施例において表示される表示例である。
【図18】実施例の要部の構成を示すブロック図であ
る。
【図19】この発明の変形例の要部の構成を示すブロッ
ク図である。
【図20】この発明の他の変形例の要部の構成を示すブ
ロック図である。
【符号の説明】
1 吸引ピペット 2 サンプルフィルター 3 試料チャージングライン 4 シースシリンジ 5 フローセル 6 シース液ボトル 7 シース液チャンバー 8 ストロボ 9 対物レンズ 10 ビデオカメラ 11 画像処理装置 12 モニターテレビ 13 キーボード

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数粒子を移動させる粒子移動手段と、
    移動粒子に対して光を照射する光照射部と、光照射され
    た粒子を撮像する撮像部と、撮像された粒子像を画像処
    理する画像処理部と、画像処理結果を出力する出力部と
    を備え、 画像処理部は、撮像された各粒子像について、粒径パラ
    メータ、円形度パラメータ、長短径比パラメータ、以上
    3つのパラメータのうち必要なパラメータを算出する算
    出部と、上記算出されたパラメータから、円形度パラメ
    ータによる分布データ、長短径比パラメータによる分布
    データ、粒径パラメータと長短径比パラメータとによる
    分布データ、円形度パラメータと長短径比パラメータと
    による分布データ、粒径パラメータと円形度パラメータ
    と長短径比パラメータとによる分布データ、以上5つの
    分布データのうち少なくとも1つの分布データを作成し
    それを分布図として出力するための図表作成部と、分布
    データに対し解析を行いその解析結果を出力部に出力す
    る解析部とからなることを特徴とする粒子画像分析装
    置。
  2. 【請求項2】 分布図内に所定領域を指定する指定部を
    さらに備え、解析部は、その指定された領域内の分布デ
    ータに対し解析を行いその解析結果を出力部に出力する
    請求項1記載の粒子画像分析装置。
  3. 【請求項3】 図表作成部は、個々に得られた複数の分
    布データを累積する分布データ累積部を備え、その累積
    された分布データを合成分布図として出力部に出力させ
    る分布データ合成機能をさらに備えてなる請求項1又は
    2記載の粒子画像分析装置。
  4. 【請求項4】 移動する複数の粒子を順次撮像して得ら
    れる粒子画像から、粒径パラメータ,円形度パラメータ
    および長短径比パラメータの少なくとも1つのパラメー
    タを算出し、得られたパラメータの値を集計し、円形度
    パラメータによる分布データ,長短径比パラメータによ
    る分布パラメータ,粒径パラメータと長短径比パラメー
    タとによる分布データ,円形度パラメータと長短径比パ
    ラメータとによる分布データ,粒径パラメータと円形度
    パラメータと長短径比パラメータとによる分布データ、
    以上5つの分布データのうち少なくとも1つの分布デー
    タを作成しそれを分布図として出力する図表作成機能及
    びその作成された分布データに対し解析を行いその解析
    結果を出力する解析機能を実行するための分析用プログ
    ラムを記録した記録媒体。
  5. 【請求項5】 移動する複数の粒子を順次撮像して得ら
    れる粒子画像から算出された粒径パラメータ,円形度パ
    ラメータおよび長短径比パラメータの内の少なくとも1
    つのパラメータの値を集計し、円形度パラメータによる
    分布データ,長短径比パラメータによる分布パラメー
    タ,粒径パラメータと長短径比パラメータとによる分布
    データ,円形度パラメータと長短径比パラメータとによ
    る分布データ,粒径パラメータと円形度パラメータと長
    短径比パラメータとによる分布データ、以上5つの分布
    データのうち少なくとも1つの分布データを作成しそれ
    を分布図として出力する図表作成機能及びその作成され
    た分布データに対し解析を行いその解析結果を出力する
    解析機能を実行するための分析用プログラムを記録した
    記録媒体。
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