JPH10320016A - 制御システムおよび制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 システムの変更が容易で、トラブルに強く、
システム開発に要する時間の短い制御システムを提供す
る。 【解決手段】 この制御システムは、対象物４６に関す
る制御を、複数の独立した要素制御に分割して実行す
る。状態記憶手段４２は、識別子４８に基づいて各対象
物４６の相違を判断し、各対象物４６ごとに現在の状態
を取得して記憶する。制御決定実行手段４４は、記憶さ
れた各対象物４６に関する現在の状態と、当該状態にお
いて生じた事象との組合せにしたがって、複数の要素制
御のうちつぎに行なうべき要素制御を各対象物４６ごと
に決定して、決定された要素制御を各対象物４６ごとに
実質的に独立して実行する。要素制御相互間の独立性が
高いため、システムの変更、開発が容易で、トラブルに
強い。対象物を基準にして制御を行なうので、簡単なシ
ステムで複雑な制御が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、制御システムに
関し、特に、対象物に関する制御を行なう制御システム
に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣなど半導体装置の製造工程のひとつ
にエッチング工程がある。エッチングを行なうに際し、
カセットに収められた半導体ウエハに対するエッチング
の条件を、装置（エッチング装置）にセットする工程が
必要となる。図１９に、エッチング条件を設定する工程
を、コンピュータを用いて自動化した場合における従来
の制御システムのフローチャートを示す。

【０００３】従来の制御システムにおいては、エッチン
グの条件をセットするための一連の工程（モジュール）
をひとまとめにして、エッチング条件設定装置という概
念でとらえていた。すなわち、複数のモジュール（ステ
ップＳ１〜ステップＳ６）相互の接続関係を厳格に規定
することにより、全体として、エッチング条件設定装置
を実現していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の制御システムには、つぎのような問題点が
あった。従来の制御システムは、上述のように、複数の
モジュール相互の接続関係を厳格に規定することにより
構築されている。

【０００５】したがって、システムを変更する場合、た
とえば、１つのカセットの制御のみを行なうという前提
であったシステムを、複数のカセットの制御を行なうよ
う変更するとなると、図２０に示すように、制御手順の
大幅な見直しが必要となる。すなわち、図１９に示すス
テップＳ１の前にステップＳ７を挿入し、ステップＳ３
とステップＳ４との間にステップＳ８を挿入し、ステッ
プＳ４とステップＳ５との間にステップＳ９およびステ
ップＳ１０を挿入するよう、変更しなければならない。

【０００６】このように、システムの変更や、モジュー
ルの変更、追加、分割などが極めて困難であった。ま
た、ひとつのモジュールにトラブルが発生すると、シス
テム全体が止ってしまうおそれがあった。

【０００７】また、モジュールの分割が容易でないた
め、モジュールをさらに分割し分担してシステム開発を
進めることが困難である。また、上述のようにモジュー
ル相互の接続関係が厳格に規定されているため、モジュ
ールごとに独立して開発することが、そもそも困難であ
る。このため、分担してシステム開発を進めることが、
極めて困難であった。この結果、システム全体の開発に
長時間を費やすこととなっていた。

【０００８】この発明は、このような従来の制御システ
ムの問題点を解決し、システムの変更が容易で、トラブ
ルに強く、システム開発に要する時間の短い制御システ
ムを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の制御システム
は、対象物に関する制御を行なう制御システムにおい
て、対象物に関する制御を、複数の独立した要素制御に
分割して実行するよう構成するとともに、対象物に関す
る現在の状態を取得して記憶する状態記憶手段と、状態
記憶手段に記憶された対象物に関する現在の状態に基づ
いて、複数の要素制御のうちつぎに行なうべき要素制御
を決定して、決定された要素制御を実行する制御決定実
行手段と、を備えたこと、を特徴とする。

【００１０】請求項２の制御システムは、請求項１の制
御システムにおいて、前記制御決定実行手段は、前記状
態記憶手段に記憶された対象物に関する現在の状態と、
当該状態において生じた事象との組合せにしたがって、
つぎに行なうべき要素制御を決定すること、を特徴とす
る。

【００１１】請求項３の制御システムは、請求項１ない
し請求項２のいずれかの制御システムにおいて、対象物
が複数であり、前記状態記憶手段は、各対象物ごとに前
記状態を取得して記憶し、前記制御決定実行手段は、状
態記憶手段に記憶された各対象物に関する現在の状態に
基づいて、つぎに行なうべき要素制御を各対象物ごとに
決定して、決定された要素制御を、各対象物ごとに実質
的に独立して実行すること、を特徴とする。

【００１２】請求項４の制御システムは、請求項３の処
理制御システムにおいて、前記各対象物は、それぞれ固
有の識別子を備えており、前記状態記憶手段は、当該識
別子に基づいて各対象物の相違を判断する機能を備えて
いること、を特徴とする。

【００１３】請求項５の制御方法は、対象物に関する制
御を行なう制御方法であって、対象物に関する制御を、
複数の独立した要素制御に分割し、対象物に関する現在
の状態を取得して記憶し、記憶された対象物に関する現
在の状態に基づいて、複数の要素制御のうちつぎに行な
うべき要素制御を決定して、決定された要素制御を実行
すること、を特徴とする。

【００１４】請求項６の電子部品の製造方法は、電子部
品の製造方法であって、請求項１ないし請求項４のいず
れかの制御システムまたは請求項５の制御方法を用い
て、対象物である電子部品の加工に関する制御を行なう
こと、を特徴とする。

【００１５】請求項７の制御手順作成方法は、対象物に
関する制御の手順を作成する方法であって、対象物に関
する制御の手順を、複数の独立した要素制御手順に分割
して作成し、対象物に関する現在の状態を記載する状態
記載図表を設定し、状態記載図表に記載された対象物に
関する現在の状態と、複数の要素制御のうちつぎに行な
うべき要素制御との関係を記載した制御決定図表を作成
し、状態記載図表に記載された対象物に関する現在の状
態に基づいて、制御決定図表にしたがって複数の要素制
御のうちつぎに行なうべき要素制御を決定して、決定さ
れた要素制御を実行するよう、制御の手順を作成するこ
と、を特徴とする。

【００１６】請求項８の記憶媒体は、コンピュータが実
行可能なプログラムを記憶したコンピュータ可読の記憶
媒体であって、前記プログラムは、請求項１ないし請求
項６のいずれかの装置または方法をコンピュータにより
実現するものであること、を特徴とする。

【００１７】

【発明の作用および効果】請求項１の制御システムおよ
び請求項５の制御方法は、対象物に関する制御を、複数
の独立した要素制御に分割し、対象物に関する現在の状
態を取得して記憶し、記憶された対象物に関する現在の
状態に基づいて、複数の要素制御のうちつぎに行なうべ
き要素制御を決定して、決定された要素制御を実行する
ことを特徴とする。

【００１８】したがって、対象物に関する制御を複数の
独立した要素制御に分割することで、要素制御の独立性
が担保される。このため、制御システムを変更する場
合、要素制御内での変更、要素制御の削除、新たな要素
制御の追加などを行なえばよい。すなわち、制御システ
ムの変更を容易に行なうことができる。また、同様の機
能を有する要素制御を複数設定しておけば、ひとつの要
素制御にトラブルが発生しても、システム全体が止って
しまうことはない。また、要素制御を複数のコンピュー
タに自由に分配することが容易になるので、コンピュー
タの負荷の均一化を図ることができる。また、制御要素
ごとに独立して開発することができるため、分担してシ
ステム開発を進めることが容易である。このため、シス
テム全体の開発を短時間で行なうことが可能となる。

【００１９】また、対象物に関する現在の状態に基づい
て、複数の要素制御のうちつぎに行なうべき要素制御を
決定することを特徴とする。すなわち、対象物を基準と
して制御を行なうよう構成したので、装置を基準として
制御を行なう場合のように要素制御相互間の接続関係を
厳格に規定する必要がない。したがって、制御内容が複
雑化した場合であっても、制御システムはそれほど複雑
にならない。このため、システム開発が容易となる。

【００２０】請求項２の制御システムは、記憶された対
象物に関する現在の状態と、当該状態において生じた事
象との組合せにしたがって、つぎに行なうべき要素制御
を決定することを特徴とする。したがって、対象物に関
するある状態において生じた事象によってつぎの状態が
定まることになる。このため、状態遷移図や状態遷移表
などを用いて容易に制御システムを設計することができ
る。

【００２１】請求項３の制御システムは、対象物が複数
であり、各対象物ごとに状態を取得して記憶し、記憶さ
れた各対象物に関する現在の状態に基づいて、つぎに行
なうべき要素制御を各対象物ごとに決定して、決定され
た要素制御を、各対象物ごとに実質的に独立して実行す
ることを特徴とする。

【００２２】したがって、対象物が複数ある場合であっ
ても、対象物を基準として制御を行なうことで、各対象
物ごとに実質的に独立して並列制御を行なうことができ
る。このため、装置を基準として制御を行なう場合のよ
うに制御システムが複雑化することはない。

【００２３】請求項４の制御システムは、各対象物がそ
れぞれ固有の識別子を備えており、システムは当該識別
子に基づいて各対象物の相違を判断する機能を備えてい
ることを特徴とする。したがって、たとえば、システム
に識別センサを設けることで各対象物の位置など対象物
の状態を、容易に取得することができる。

【００２４】請求項６の電子部品の製造方法は、上述の
制御システムまたは制御方法を用いて、対象物である電
子部品の加工に関する制御を行なうことを特徴とする。
したがって、加工手順の変更などが多い電子部品の加工
を比較的容易に自動化することができる。また、複数の
部品の加工が同時に行なわれる複雑な工程を比較的容易
に自動化することができる。このため、電子部品の加工
を正確かつ安価に行なうことができる。

【００２５】請求項７の制御手順作成方法は、対象物に
関する制御の手順を複数の独立した要素制御手順に分割
して作成し、状態記載図表を設定し、制御決定図表を作
成し、状態記載図表に記載された対象物に関する現在の
状態に基づいて、制御決定図表にしたがって複数の要素
制御のうちつぎに行なうべき要素制御を決定して、決定
された要素制御を実行するよう、制御の手順を作成する
ことを特徴とする。

【００２６】したがって、制御の手順を複数の独立した
要素制御手順に分割して作成することにより、制御手順
の作成を多人数で分担して行なうことができる。このた
め、制御手順の作成を短期間でおこなうことができる。
また、要素制御手順相互間の独立性が高いため、制御手
順の変更が容易である。

【００２７】また、状態記載図表に記載された対象物に
関する現在の状態を基準としてつぎに行なうべき要素制
御を決定するから、装置を基準として制御を行なう場合
のように要素制御相互間の接続関係を厳格に規定する必
要がない。したがって、制御内容が複雑化した場合であ
っても、制御手順はそれほど複雑にならない。

【００２８】また、制御決定図表にしたがって複数の要
素制御のうちつぎに行なうべき要素制御を決定するか
ら、制御手順が直感的に分りやすく、要素制御の追加、
変更、削除が容易である。

【００２９】

【発明の実施の形態】図１に、この発明の一実施形態に
よる制御システムの構成を示す。この制御システムは、
対象物４６に関する制御を、複数の独立した要素制御に
分割して実行するよう構成されており、状態記憶手段４
２および制御決定実行手段４４を備えている。

【００３０】図１においては説明の便宜のため、対象物
４６をひとつだけ描いているが、この制御システムは、
複数の対象物４６、４６、・・・に関する制御を並行し
て行なうことができるよう構成されている。

【００３１】なお、制御決定実行手段４４を複数設け
て、処理を分散して行なうこともできる。対象物４６が
複数の場合には複数の状態記憶手段４２を用いて、当該
複数の対象物４６の状態を、分散して記憶させることも
できる。ただし、この場合、同じ対象物４６の状態に関
する記載が複数同時に存在してはならない。

【００３２】各対象物４６は、それぞれ固有の識別子４
８を備えている。状態記憶手段４２は、識別子４８に基
づいて各対象物４６の相違を判断し、各対象物４６ごと
に現在の状態を取得して記憶する。このように構成する
ことで、各対象物４６の位置など、対象物４６の状態
を、容易に取得することができる。

【００３３】制御決定実行手段４４は、状態記憶手段４
２に記憶された各対象物４６に関する現在の状態と、当
該状態において生じた事象との組合せにしたがって、複
数の要素制御のうちつぎに行なうべき要素制御を各対象
物４６ごとに決定して、決定された要素制御を各対象物
４６ごとに実質的に独立して実行する。

【００３４】つぎに、図１の制御システムを、半導体ウ
エハのエッチング条件を自動的に設定する工程に適用し
た例について説明する。ＩＣなど電子部品の製造工程の
ひとつにウエットエッチング工程がある。ひとつのカセ
ットに収納された多数の半導体ウエハを１ロットとした
場合、このウエットエッチング工程は、複数ロットの半
導体ウエハを、連続して処理することができるものとす
る。

【００３５】ロットごとにエッチング条件が異なる場合
があるため、順次搬入される各ロットのエッチング条件
をウエットエッチング装置２４（図２参照）にセットす
る工程が必要となる。このような工程を自動化するため
に図１の制御システムを用いる。

【００３６】図２は、上述の制御システムの各機能を、
ＣＰＵを用いて実現した場合のハードウェア構成の一例
を示す図面である。制御用コンピュータ３４が、この制
御システムの中核をなす。

【００３７】制御用コンピュータ３４のハードディスク
２には、エッチング条件を自動的に設定するプログラム
等が記憶されている。主メモリ４には、ハードディスク
２に記憶されたプログラム等がロードされる。また、主
メモリ４には、各ロット（すなわち各対象物４６）の現
在の状態等が記憶される。ＣＰＵ６は、主メモリ４にロ
ードされたプログラムを実行する。

【００３８】キーボード８、マウス１０を介して、ＣＰ
Ｕ６に指令が送られる。ＣＲＴ１２には制御結果等を表
示する。また、外部機器（図示せず）との間でのプログ
ラムや各種データの授受は、ＦＤＤ（フレキシブルディ
スクドライブ）１４を介してフレキシブルディスク（図
示せず）により行なうことができる。

【００３９】制御用コンピュータ３４は、入出力インタ
ーフェース１６を介して、ウエットエッチング装置２４
に接続されている。この例においては、入出力インター
フェース１６は専用コンピュータにより構成されてい
る。

【００４０】ウエットエッチング装置２４には、テンキ
ー２６、表示器２８、パトライト３０、バーコード読取
器３２、確認ボタン３３などが設けられており、これら
は入出力インターフェース１６を介して、制御用コンピ
ュータ３４に接続されている。バーコード読取器３２
は、１ロット分の半導体ウエハを収納したカセット（図
示せず）に付されているバーコード（識別子）を読み取
る。

【００４１】制御用コンピュータ３４は、また、中継機
２２およびターミナルサーバ２０を介してホストコンピ
ュータ１８に接続されている。ホストコンピュータ１８
には、種々のエッチング条件に関するレシピが記憶され
ている。

【００４２】バーコード読取器３２、入出力インターフ
ェース１６および主メモリ４が、状態記憶手段に対応す
る。ＣＰＵ６が、制御決定実行手段に対応する。

【００４３】つぎに、上述の制御システムに用いるプロ
グラムを作成する手順について説明する。まず、制御決
定図表である状態遷移表（図３参照）を作成し、状態記
載図表である黒板モデル（図４参照）を設定し、各要素
制御である各モジュール（図５〜図９参照）の処理内容
を定める。

【００４４】図３に示す状態遷移表には、半導体ウエハ
のロット（すなわち対象物）の現在の状態および当該状
態において生じたイベント（事象）と、つぎに実行すべ
きモジュール（処理１〜処理１３のいずれか）との関係
を記載する。たとえば、あるロットが問い合せ応答待ち
（状態番号「２」）状態のときに問い合せ応答（イベン
ト番号「２」）があれば、そのロットに対して処理２を
行なうことになる。

【００４５】このように、ロットを基準として処理を行
なうようにしているので、装置を基準として処理を行な
う場合のようにモジュール相互間の接続関係を厳格に規
定する必要がない。したがって、処理内容が複雑化した
場合であっても、制御システムはそれほど複雑にならな
い。このため、システム開発が容易となる。

【００４６】図４に示す黒板モデルには、半導体ウエハ
の各ロットの現在の状態が記載される。この例では、第
１ロット〜第４ロットについて、状態番号（図中、矢印
で示す）の他、搬送キャリアの種別などが記載される。
なお、図４の時点において、第１ロットの状態番号は
「２」、第２ロットの状態番号は「４」、第３ロットの
状態番号は「４」である。

【００４７】このように、黒板モデルを用いることによ
り、ロットが複数ある場合であっても、ロットを基準と
して処理を行なうことが容易となる。したがって、各ロ
ットごとに実質的に独立して並列処理を行なうシステム
を容易に構築することができる。このため、装置を基準
として処理を行なう場合のように制御システムが複雑化
することはない。

【００４８】図５〜図９に各モジュール（処理１〜処理
１３）の処理内容を例示する。たとえば、図７Ｃに示す
処理５は、まず、メッセージを消去し、処理開始要求送
信を行ない、タイマーセットを行なった後、当該ロット
の状態番号を「６」にするという一連の処理を行なう。

【００４９】このように、ロットに関する処理を複数の
独立したモジュールに分割することで、モジュール相互
間の独立性が担保される。このため、制御システムを変
更する場合、モジュール内での変更、モジュールの削
除、新たなモジュールの追加などを行なえばよい。すな
わち、制御システムの変更を容易に行なうことができ
る。また、同様の機能を有するモジュールを複数設定し
ておけば、ひとつのモジュールにトラブルが発生して
も、システム全体が止ってしまうことはない。また、モ
ジュールごとに独立して開発することができるため、分
担してシステム開発を進めることが容易である。このた
め、システム全体の開発を短時間で行なうことが可能と
なる。

【００５０】つぎに、このようにして作成した状態遷移
表（図３参照）、黒板モデル（図４参照）および各モジ
ュールの処理内容（図５〜図９参照）を参照することに
より、ロットの現在の状態およびイベントに基づいて次
に行なうべきモジュールを決定するとともに決定された
モジュールを実行するよう、プログラムを作成する。こ
のようにして、上述の制御システムに用いるプログラム
を作成することができる。

【００５１】上述のように、処理の手順を複数の独立し
たモジュールに分割して作成することにより、プログラ
ムの作成を多人数で分担して行なうことができる。この
ため、プログラムの作成を短期間でおこなうことができ
る。また、モジュール相互間の独立性が高いため、プロ
グラムの変更が容易である。

【００５２】また、黒板モデルに記載されたロットに関
する現在の状態を基準としてつぎに行なうべきモジュー
ルを決定するから、装置を基準として制御を行なう場合
のようにモジュール相互間の接続関係を厳格に規定する
必要がない。したがって、制御内容が複雑化した場合で
あっても、プログラムはそれほど複雑にならない。

【００５３】また、状態遷移表にしたがって複数のモジ
ュールのうちつぎに行なうべきモジュールを決定するか
ら、プログラムが直感的に分りやすく、モジュールの追
加、変更、削除が容易である。

【００５４】つぎに、このようにして作成されたプログ
ラムを用いた制御システムの動作を説明する。図１０
は、このような制御システムの動作を示す状態遷移図の
一部である。図１１〜図１５は、制御システムの動作を
説明するための図面である。図２および図１０に基づい
て、図３、図１１〜図１５を参照しつつ、制御システム
の動作の一部を説明する。なお、ここでは第１ロットを
例に説明する。

【００５５】図１０に示すように、ＣＰＵ６は、まず、
第１ロットを状態１（図３参照、バーコード読取器３２
からのバーコード入力待ち状態）にセットする。このと
き、図１１に示すように、黒板モデルの第１ロットの状
態番号（図中、矢印で示す）が「１」にセットされる。

【００５６】この状態で、イベント１（図３参照、バー
コード入力）が発生したとすると、ＣＰＵ６は、処理１
を行なう。なお、状態１においてイベント１１が発生し
た場合は処理７を行ない、イベント８が発生した場合は
処理９を行ない、イベント１２が発生した場合は処理１
１を行なう。

【００５７】図１２に示すように、ＣＰＵ６は処理１
（ホストコンピュータ１８にロット情報を問い合せる）
を実行し、第１ロットの状態番号を「２」にセットす
る。これにより第１ロットは、問合せ応答待ちの状態に
なる（図３参照）。

【００５８】つぎに、状態２において、イベント２（図
３参照、問合せ応答）が発生したとすると、ＣＰＵ６
は、処理２を行なう。図１３に示すように、ＣＰＵ６は
処理２（ウエットエッチング装置２４にレシピ変更を指
示）を実行し、第１ロットの状態番号を「４」にセット
する。これにより第１ロットは、レシピ変更応答待ちの
状態になる（図３参照）。

【００５９】つぎに、状態４において、イベント４（図
３参照、レシピ変更応答）が発生したとすると、ＣＰＵ
６は、処理４を行なう。図１４に示すように、ＣＰＵ６
は処理４（処理開始確認要求送信）を実行し、第１ロッ
トの状態番号を「５」にセットする。これにより第１ロ
ットは、処理開始確認入力待ちの状態になる（図３参
照）。

【００６０】つぎに、状態５において、イベント５（図
３参照、処理開始確認ボタン３３が押された）が発生し
たとすると、ＣＰＵ６は、処理５（図７Ｃ参照）を行な
う。図１５に示すように、ＣＰＵ６は処理５（ウエット
エッチング装置２４に処理開始指示）を実行し、第１ロ
ットの状態番号を「６」にセットする。これにより第１
ロットは、処理開始応答待ちの状態になる（図３参
照）。

【００６１】このように、黒板モデルに記載された第１
ロットに関する現在の状態を基準としてつぎに行なうべ
きモジュールを決定し、これを実行することにより、第
１ロットの状態は、状態１から、状態２、状態４、状態
５を経て、状態６へと遷移してゆく。

【００６２】このようにして、第１ロットのウエハに関
する処理が行なわれる。第２ロット〜第４ロットのウエ
ハに関する処理も、同様の手順で並行して行なわれる。

【００６３】つぎに、上述の制御システムを変更する場
合の手順について説明する。たとえば、エラーが発生し
た場合に各ロットの状態をいったん記憶し、エラー回復
措置がとられたとき、各ロットをエラー発生前の状態に
復帰させるよう、システムを変更する場合を考える。

【００６４】このような変更を行なうには、図１６に示
すように、状態遷移表において、「エラー待機」の状態
を追加するとともに、「エラー」および「回復」のイベ
ントを追加すればよい。さらに、図１６、図１７に示す
ように、モジュールとして、「エラー処理」および「回
復処理」を追加すればよい。

【００６５】したがって、既存のモジュールの内容を変
更することなく制御システムを変更することができる。
つまり、このような場合、必要となる状態、イベント、
モジュールを追加し、これら３者の関係を状態遷移表で
規定し、これにしたがってプログラムを変更するだけで
よい。したがって、極めて容易にシステムの変更を行な
うことができる。

【００６６】このようにして変更した後のシステムの状
態遷移図を、図１８に示す。なお、変更により追加され
た部分を（ａ）で示す。図１８に基づいて、エラーが発
生した場合のシステムの動作を説明する。

【００６７】いずれかの状態において、イベント１３
（図１６参照、エラー）が発生したとすると、ＣＰＵ６
は、エラー処理（図１７Ａ参照）を行ない、状態番号を
「９」にセットする。状態９において、イベント１４
（図１６参照、回復措置がとられた）が発生したとする
と、ＣＰＵ６は、回復処理（図１７Ｂ参照）を行ない、
各ロットの状態を記憶していたエラー発生前の状態に復
帰させる。

【００６８】このように、この発明にかかる制御システ
ムを用いることで、処理手順の変更が比較的多いウエッ
トエッチング工程等も容易に自動化することができる。
また、処理条件の異なる複数のロットに対する処理が同
時に行なわれる複雑な工程であっても、比較的容易に自
動化することができる。このため、エッチング処理等を
正確かつ安価に行なうことができる。

【００６９】なお、上述の実施形態においては、この発
明にかかる制御システムを、電子部品のウエットエッチ
ング工程に適用する場合を例に説明したが、電子部品の
加工に関する他の工程に適用することもできる。また、
電子部品以外の物の加工に関する工程に適用することも
できる。さらに、物の加工に関する工程のみならず、物
を扱うロボットや生産プラント一般に適用することがで
きる。さらに、なんらかの対象物に関する生産管理シス
テム、在庫管理システム、受発注管理システム、交通管
理制御システム等にも適用することができる。たとえば
交通管理制御システムの場合には、通行中の自動車など
が対象物となる。

【００７０】また、上述の実施形態においては、固有の
識別子としてバーコードを用いた例を説明したが、識別
子はバーコードに限定されるものではない。たとえば、
対象物の形状、色や、対象物の発する音、電磁波などを
識別子とすることができる。また、対象物にコンピュー
タを搭載し、対象物のコンピュータと通信することで対
象物を識別するよう構成することもできる。

【００７１】また、上述の実施形態においては、複数の
対象物を並列的に制御する場合を例に説明したが、対象
物がひとつの場合にも、この発明を適用することができ
る。

【００７２】また、上述の実施形態においては、状態記
憶手段（状態記憶図表）として黒板モデルを用いた場合
を例に説明したが、状態記憶手段は黒板モデルに限定さ
れるものではない。また、制御決定図表として状態遷移
表を用いたが、制御決定図表は、これに限定されるもの
ではない。制御決定図表として、たとえば状態遷移図を
用いてもよい。

【００７３】また、上述の実施形態においては、対象物
に関する現在の状態と、当該状態において生じた事象と
の組合せにしたがって、つぎに行なうべき要素制御を決
定するよう構成したが、対象物に関する現在の状態のみ
に基づいて、つぎに行なうべき要素制御を決定するよう
構成することもできる。

【００７４】また、上述の実施形態においては、ＣＰＵ
６は、ハードディスク２に記憶されたプログラムにした
がい、各部を制御する。このプログラムは、ＦＤＤ１４
を介して、プログラムが記憶されたフレキシブルディス
クから読み出されてハードディスク２にインストールさ
れたものである。なお、フレキシブルディスク以外に、
ＣＤ−ＲＯＭ、ＩＣカード等のプログラムを記憶したコ
ンピュータ可読の記憶媒体から、ハードディスク２にイ
ンストールさせるようにしてもよい。さらに、通信回線
を用いてダウンロードするようにしてもよい。

【００７５】本実施形態においては、プログラムをフレ
キシブルディスクからハードディスク２にインストール
させることにより、フレキシブルディスクに記憶させた
プログラムを間接的にコンピュータに実行させるように
している。しかし、これに限定されることなく、フレキ
シブルディスクに記憶させたプログラムをＦＤＤ１４か
ら直接的に実行するようにしてもよい。なお、コンピュ
ータによって、実行可能なプログラムとしては、そのま
まのインストールするだけで直接実行可能なものはもち
ろん、一旦他の形態等に変換が必要なもの（例えば、デ
ータ圧縮されているものを、解凍する等）、さらには、
他のモジュール部分と組合わせて実行可能なものも含
む。

【００７６】なお、上述の実施形態においては、ＣＰＵ
６を用いて、図１に示す制御システムの各機能を実現し
た場合を例に説明したが、当該各機能の一部または全部
を、ハードウェアロジックにより実現するよう構成する
こともできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態による制御システムの構
成を示す図面である。

【図２】図１に示す制御システムの各機能を、ＣＰＵを
用いて実現した場合のハードウェア構成の一例を示す図
面である。

【図３】状態遷移表の一例である。

【図４】黒板モデルの一例を示す図面である。

【図５】モジュールの処理内容を示す図面である。

【図６】モジュールの処理内容を示す図面である。

【図７】図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃはモジュールの処理内
容を示す図面である。

【図８】図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃはモジュールの処理内
容を示す図面である。

【図９】図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃ、図９Ｄ、図９Ｅはモ
ジュールの処理内容を示す図面である。

【図１０】制御システムの動作を示す状態遷移図の一部
である。

【図１１】制御システムの動作を説明するための図面で
ある。

【図１２】制御システムの動作を説明するための図面で
ある。

【図１３】制御システムの動作を説明するための図面で
ある。

【図１４】制御システムの動作を説明するための図面で
ある。

【図１５】制御システムの動作を説明するための図面で
ある。

【図１６】システム変更後の状態遷移表の一例である。

【図１７】図１７Ａ、図１７Ｂは、追加したモジュール
の処理内容を示す図面である。

【図１８】変更後の制御システムの動作を示す状態遷移
図の一部である。

【図１９】エッチング条件を設定する工程を、コンピュ
ータを用いて自動化した場合における従来の制御システ
ムのフローチャートを示す図面である。

【図２０】図１９に示す制御システムを変更した場合に
おけるフローチャートを示す図面である。

【符号の説明】

４２・・・・・・状態記憶手段 ４４・・・・・・制御決定実行手段 ４６・・・・・・対象物 ４８・・・・・・識別子

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】対象物に関する制御を行なう制御システム
   において、 対象物に関する制御を、複数の独立した要素制御に分割
   して実行するよう構成するとともに、 対象物に関する現在の状態を取得して記憶する状態記憶
   手段と、 状態記憶手段に記憶された対象物に関する現在の状態に
   基づいて、複数の要素制御のうちつぎに行なうべき要素
   制御を決定して、決定された要素制御を実行する制御決
   定実行手段と、 を備えたこと、 を特徴とする制御システム。
2. 【請求項２】請求項１の制御システムにおいて、 前記制御決定実行手段は、前記状態記憶手段に記憶され
   た対象物に関する現在の状態と、当該状態において生じ
   た事象との組合せにしたがって、つぎに行なうべき要素
   制御を決定すること、 を特徴とするもの。
3. 【請求項３】請求項１ないし請求項２のいずれかの制御
   システムにおいて、 対象物が複数であり、 前記状態記憶手段は、各対象物ごとに前記状態を取得し
   て記憶し、 前記制御決定実行手段は、状態記憶手段に記憶された各
   対象物に関する現在の状態に基づいて、つぎに行なうべ
   き要素制御を各対象物ごとに決定して、決定された要素
   制御を、各対象物ごとに実質的に独立して実行するこ
   と、 を特徴とするもの。
4. 【請求項４】請求項３の処理制御システムにおいて、 前記各対象物は、それぞれ固有の識別子を備えており、 前記状態記憶手段は、当該識別子に基づいて各対象物の
   相違を判断する機能を備えていること、 を特徴とするもの。
5. 【請求項５】対象物に関する制御を行なう制御方法であ
   って、 対象物に関する制御を、複数の独立した要素制御に分割
   し、 対象物に関する現在の状態を取得して記憶し、 記憶された対象物に関する現在の状態に基づいて、複数
   の要素制御のうちつぎに行なうべき要素制御を決定し
   て、決定された要素制御を実行すること、 を特徴とする制御方法。
6. 【請求項６】電子部品の製造方法であって、 請求項１ないし請求項４のいずれかの制御システムまた
   は請求項５の制御方法を用いて、対象物である電子部品
   の加工に関する制御を行なうこと、 を特徴とする、電子部品の製造方法。
7. 【請求項７】対象物に関する制御の手順を作成する方法
   であって、 対象物に関する制御の手順を、複数の独立した要素制御
   手順に分割して作成し、 対象物に関する現在の状態を記載する状態記載図表を設
   定し、 状態記載図表に記載された対象物に関する現在の状態
   と、複数の要素制御のうちつぎに行なうべき要素制御と
   の関係を記載した制御決定図表を作成し、 状態記載図表に記載された対象物に関する現在の状態に
   基づいて、制御決定図表にしたがって複数の要素制御の
   うちつぎに行なうべき要素制御を決定して、決定された
   要素制御を実行するよう、制御の手順を作成すること、 を特徴とする制御手順作成方法。
8. 【請求項８】コンピュータが実行可能なプログラムを記
   憶したコンピュータ可読の記憶媒体であって、 前記プログラムは、請求項１ないし請求項６のいずれか
   の装置または方法をコンピュータにより実現するもので
   あること、 を特徴とする記憶媒体。