JPH10320043A - サーボドライバ診断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 発電プラントのガバナ蒸気弁を開閉制御する
サーボドライバカードの健全性を常時診断し、万一の故
障発生時にもプラント負荷変動を最小にする。 【解決手段】 サーボドライバカード２１に入力された
実弁開度信号に応じて弁開度信号を出力して、図示しな
いガバナ蒸気弁の開度を制御する。診断時は周波数基準
信号発生部２２から一定周波数・一定大きさの周波数基
準信号１０５を発生して、テスト信号発生部２４を経て
テスト信号としてサーボドライバカード２１に入力す
る。その出力１０２は、弁開度指令（直流信号）とテス
ト信号１０１による交流分の出力が重畳された出力とな
り、フィルタ５０で交流分のみ通過させ、整流器６１で
交流分を整流し、その信号１０６の直流レベルがレベル
検出器２６の設定値以上であると、判定結果信号１０７
を出力し、この出力があると制御ブロック部２７はサー
ボドライバカード２１が正常と判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、発電プラントに
おけるガバナ弁の弁開度を制御するサーボドライバの健
全性を診断するサーボドライバ診断装置、および該診断
装置自体の健全性を診断するサーボドライバ診断装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来の主タービン制御盤等に内
蔵されるガバナ蒸気弁の制御に係る要部の構成とサーボ
ドライバ診断装置の構成を示すブロック図である。図８
は、ロジックＣＰＵ内のブロック図である。図９は、サ
ーボドライバカードの入出力特性を示す図で、実弁開度
と弁開度指令とも直流信号である。ここで実弁開度と
は、負荷設定値やタービンの回転数設定値との偏差等の
弁開度に係る信号から導出される実際の弁開度とする信
号である。

【０００３】図７において、１は弁コントローラＡ、２
は弁コントローラＢ、３は弁コントローラＡ・Ｂの信号
を切り換え、その信号入力を手動で切り離しを行う切換
装置、４はサーボドライバカード、５はガバナ蒸気弁、
６はロジックＣＰＵのＡ系、７はロジックＣＰＵのＢ
系、８はサーボループ異常検出器、９は表示部である。

【０００４】ここで、サーボドライバカード４は、上位
の弁コントローラＡ・Ｂいずれかの実弁開度信号を受け
て、ガバナ蒸気弁５へ弁開度指令を出力し、弁開度を制
御している。

【０００５】図８において、ロジックＣＰＵのＡ系６、
およびＢ系７内のサーボドライバは、サーボドライバカ
ード４と同一の動作特性をもっており、その出力は弁開
度指令との偏差が加算器で求められ出力する。

【０００６】次に動作について説明する。 （１）弁コントローラＡ１もしくは、弁コントローラＢ
２より出力された実弁開度信号は、切換装置３によりい
ずれかの実弁開度が選択される。なお、ここでは手動に
より選択された実弁開度を出力信号から切り離す事も出
来る。 （２）この実弁開度信号を受けてサーボドライバカード
４は、ガバナ蒸気弁５への弁開度指令（図９の出力特性
による指令）を出力し、弁開度を制御する。

【０００７】（３）ロジックＣＰＵのＡ系６、ロジック
ＣＰＵのＢ系７は、サーボドライバカード４に入力され
る実弁開度信号と弁開度指令とを入力とし、サーボドラ
イバカード４内と同じ演算を行い、サーボドライバカー
ド４からガバナ蒸気弁５への出力（弁開度指令）とを比
較し、その偏差を出力する。

【０００８】（４）サーボループ異常検出器８は、その
偏差の大きさに応じて異常を検出し、プラズマ表示器な
どを用いた表示部９でその検出結果を表示する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来のサーボドライバ
診断装置は、ロジックＣＰＵを用いてサーボドライバに
入力される実弁開度信号によりサーボドライバカード４
内と同じ演算を行い、その演算結果と弁開度指令とを比
較し、その偏差から異常を検出していた。

【００１０】この診断はＣＰＵを用いたＳ／Ｗの診断で
あり、このＳ／Ｗによる診断は、サーボドライバ内のサ
ーボアンプの出力電圧が飽和しない領域（比例領域）に
おいての診断であり、図９に示すようにサーボアンプで
の出力が飽和する領域においての診断は、その偏差が大
きくなっても必ずしも異常でないので正確な診断ができ
ず、その診断が困難であるという問題点があった。

【００１１】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたものであり、サーボドライバの動作が比例
領域・飽和領域に拘わらず正確に診断を行うことを目的
とする。また、常時診断することにより、万一故障が発
生した際にもプラント負荷変動を最小にすることを目的
とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

（１）この発明に係るサーボドライバ診断装置は、発電
プラントのガバナ弁を開閉制御するサーボドライバに対
して診断を行うサーボドライバ診断装置において、所定
の交流テスト信号を上記サーボドライバに入力し、出力
される交流分の信号の大きさに応じて異常の有無を判定
する診断手段を備えたものである。

【００１３】（２）また、上記（１）において、サーボ
ドライバと同等の特性を有する模擬サーボドライバを設
け、上記模擬サーボドライバに直流バイアス信号と所定
の交流テスト信号とを入力して、その出力の交流分の信
号の大きさに応じて自診断装置の異常の有無を判定する
自己診断手段を備えたものである。

【００１４】（３）また、上記（２）において、自己診
断手段は、交流テスト信号として低レベル信号と高レベ
ル信号の２つの交流テスト信号を用意し、上記低レベル
信号を模擬サーボドライバに入力したときは、その交流
分の出力が低レベルであれば正常、高レベルであれば異
常と判定し、上記高レベル信号を模擬サーボドライバに
入力したときは、その交流分の出力が高レベルであれば
正常、低レベルであれば異常と判定する手段としたもの
である。

【００１５】（４）また、上記（２）において、診断手
段による診断と、自己診断手段による診断とを切換え実
行する手段を設けたものである。

【００１６】（５）また、上記（２）において、サーボ
ドライバの診断を第１モードの診断とし、低レベル信号
を用いた模擬サーボドライバの診断を第２モードの診断
とし、高レベル信号を用いた模擬サーボドライバの診断
を第３モードの診断とし、上記各モードによる診断を周
期的に繰り返し実行する手段を設けたものである。

【００１７】（６）また、上記（１）〜（５）のいずれ
か１項において、サーボドライバまたは模擬サーボドラ
イバの出力信号を入力とし、交流テスト信号の周波数を
通過させるバンドパスフィルタを設け、このバンドパス
フィルタを通過した交流分の信号の大きさに応じて異常
の有無を判定するようにしたものである。

【００１８】（７）また、上記（１）〜（６）のいずれ
か１項において、サーボドライバへの交流テスト信号の
入力を切り離しする手段を設けたものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．以下、この発明の実施の形態１を図に基
づいて説明する。図１はガバナ蒸気弁の制御に係る要部
の構成とサーボドライバ診断装置の構成図である。図２
はサーボドライバ診断装置の構成を示すブロック図で、
図１のＡ系・Ｂ系のサーボドライバ診断装置１４，１５
の構成を示したものである。

【００２０】図１において、１は弁コントローラＡ、２
は弁コントローラＢ、３は弁コントローラＡ・Ｂの信号
を切り換えると共にその信号入力を手動で切り離しを行
う切換装置、１１は待機系切換装置で、内部の構成は切
換装置３と同様である。１２はＡ系サーボドライバカー
ド、１３はＢ系サーボドライバカード、５はガバナ蒸気
弁、１４はＡ系用サーボドライバ診断装置、１５はＢ系
用サーボドライバ診断装置である。

【００２１】図２において、２１はサーボドライバカー
ドで、図１のＡ系・Ｂ系サーボドライバカード１２，１
３に相当するものであり、実弁開度信号と交流のテスト
信号１０１とが入力され、その出力１０２は弁開度指令
とテスト信号の交流分との合成された信号となる。２２
は周波数基準信号発生部で、所定の周波数（例えば１ｋ
Ｈｚ）の所定の大きさの正弦波の周波数基準信号１０５
を発生する。２３はその周波数基準信号１０５の停止を
検出する信号停止検出回路である。

【００２２】２４はテスト信号１０１を発生するテスト
信号発生部で、加算器を内蔵し、周波数基準信号１０５
とサーボドライバカード２１からの出力信号１０２とサ
ンプルホールド部２５からの出力信号１０４とを加減算
してテスト信号１０１を発生する。

【００２３】２５はサーボドライバカード２１からの出
力信号１０２をサンプルホールドするサンプルホールド
部、２６はレベル検出器で、サーボドライバカード２１
からの出力信号１０２をフィルタ５０で交流分を抽出
し、整流器６１で整流して直流分とし、この直流分の信
号と予め設定している所定の設定値とを比較し設定値以
上であると判定結果信号１０７を送出する。２７は診断
装置全体を制御する制御ロッジク部である。

【００２４】次に動作について説明する。図１におい
て、常時は切換装置３を用いて弁コントローラＡまたは
弁コントローラＢからの出力をＡ系サーボドライバカー
ド１２に入力し、その出力である弁開度指令によりガバ
ナ蒸気弁５を開閉制御する。Ａ系サーボドライバカード
１２に異常があれば待機系切換装置１１とＢ系サーボド
ライバカード１３を用いてガバナ蒸気弁５を開閉制御す
る。

【００２５】Ａ系サーボドライバ診断装置１４は常時使
用のＡ系サーボドライバカード１２を診断し、Ｂ系サー
ボドライバ診断装置１５は、待機系であるＢ系サーボド
ライバカード１３を診断する。この診断の内容を図２を
用いて説明する。

【００２６】図２において、周波数基準信号発生部２２
は周波数基準信号１０５を発生する。この周波数基準信
号１０５は、所定の周波数で所定の大きさの正弦波信
号、つまり交流信号で、この場合の信号の大きさは、後
述するレベル検出部２６が検出出力を送出する高レベル
の交流信号としている。

【００２７】サンプルホールド部２５はサーボドライバ
カード２１からの出力をサンプルホールドし、このサン
プルホールドした出力１０４がテスト信号発生部２４の
加算器の加算入力となる。一方、サーボドライバカード
２１の出力１０２はフィードバック信号としてテスト信
号発生部２４の加算器の減算入力となる。従って、サー
ボドライバカード２１とテスト信号発生部２４は閉ルー
プを構成している。

【００２８】テスト信号発生部２４の加算器では、サー
ボドライバカードの出力信号１０２とサンプルホールド
部２５の出力信号１０４とが相殺され周波数基準信号１
０５がテスト信号１０１として出力される。サーボドラ
イバカード２１は、実弁開度信号と共にテスト信号１０
１が入力され、サーボドライバカードの出力信号１０２
は弁開度指令（直流信号）と共にテスト信号１０１の交
流分が重畳されて出力される。

【００２９】この時、入力するテスト信号１０１は、サ
ーボドライバカード２１の負荷であるサーボ蒸気弁５に
は応答しないが、サーボドライバカード２１の内部回路
は応答可能な周波数としている。

【００３０】よってサーボドライバカード２１は未飽和
領域（比例領域）で動作していても、飽和領域で動作し
ていても、テスト信号１０１の周波数に対して応答する
のでテスト信号１０１に対応した交流出力が得られる。

【００３１】それ故、サーボドライバカード２１の内部
の回路部品の固着等の故障がない限り、閉ループの制御
によりサーボドライバカード２１の出力１０２は弁開度
指令に高レベルテスト信号１０１の所定周波数の波形が
重畳した波形となる。

【００３２】次に、サーボドライバカード２１の出力信
号１０２による判定動作を説明する。サーボドライバカ
ード２１の出力信号１０２の内、直流分である弁開度指
令はフィルタ５０でカットされ、交流分のみが通過す
る。この交流分を整流器６１で全波整流して直流の検出
波形成分１０６としてレベル検出器２６に入力する。レ
ベル検出器２６は、所定の設定値と比較し設定値以上で
あれば判定結果信号１０７を出力する。

【００３３】制御ロジック部２７は、周波数基準信号発
生部２２の周波数基準信号１０５が高レベル信号であれ
ば、判定結果信号１０７が出力されることにより、サー
ボドライバカード２１が正常と判定して、サーボドライ
バ異常警報１０８は出力しない。もし、周波数基準信号
１０５が高レベル信号で、判定結果信号１０７が出力さ
れないと、サーボドライバカード２１が異常と判定し
て、サーボドライバ異常警報１０８を出力する。

【００３４】以上のように、負荷であるガバナ蒸気弁５
には影響せず、サーボドライバカード２１の健全性を常
時診断することができる。

【００３５】実施の形態２．実施の形態１では、サーボ
ドライバカード２１の診断のみであったが、この実施の
形態２は、サーボドライバ診断装置内部に、模擬サーボ
ドライバ部と切換スイッチを設けることにより、サーボ
ドライバ診断装置自身の自己診断を可能して、診断の安
全性を上げるものである。

【００３６】図３は、模擬サーボドライバ部と切換スイ
ッチを設けた本発明の実施の形態である。４１は模擬サ
ーボドライバ部で、飽和信号を模擬するバイアス信号発
生部と、バイアス信号とテスト信号とを加算する加算器
と、その加算結果を入力してサーボドライバカード２１
と動作特性が同一なサーボドライブで演算して出力す
る。

【００３７】４２、４３、４４、４５は模擬サーボドラ
イバ部とサーボドライバカードの閉ループを切り換える
各スイッチで、制御ブロック部２７により制御され、ス
イッチ４２，４５がＯＮ、スイッチ４３，４４がＯＦＦ
の場合は、サーボドライバカード２１が診断され、スイ
ッチ４２，４５がＯＦＦ、スイッチ４３，４４の場合
は、模擬サーボドライバ部４１を診断することによって
サーボドライバ診断装置自体を自己診断する。

【００３８】次に実施の形態２の動作について説明す
る。模擬サーボドライバ部４１を用いてのサーボドライ
バ診断装置の自己診断は、周波数基準信号発生部２２か
らの周波数基準信号１０５として、所定周波数で所定の
低レベルの正弦波信号を用い、これをテスト信号として
模擬サーボドライバ部４１に入力し、その判定結果の信
号２０３を非検出確認することにより正常と判定する。

【００３９】また、周波数基準信号１０５として、所定
周波数で高レベルの正弦波信号を用い、これをテスト信
号として模擬サーボドライバ部４１に入力して、その判
定結果の信号２０３を検出確認することにより正常と判
定する。以上の２つのレベルの異なるテスト信号を用い
ることにより診断を行う。

【００４０】まず、所定周波数の低レベルテスト信号２
０１を模擬サーボドライバ部４１に入力しての非検出確
認の動作について説明する。スイッチ４２、スイッチ４
５＝ＯＦＦ、スイッチ４３、スイッチ４４＝ＯＮとし
て、模擬サーボドライバ部４１とテスト信号発生部２４
は図３に示すように閉ループを構成する。

【００４１】この閉ループのテスト信号２０１は、サン
プルホールド部２５の出力信号１０４と周波数基準信号
発生部２２の周波数基準信号１０５の和と、フィードバ
ック信号としての模擬サーボドライバ部４１の出力信号
２０２の差である。なお、模擬サーボドライバ部４１
は、バイアス入力（飽和信号）を印加して出力信号２０
２を飽和状態（＋電位）にする。

【００４２】サンプルホールド部２５は模擬サーボドラ
イバ部４１の出力信号２０２をサンプルホールドして、
その電圧出力１０４は、テスト信号発生部２４の加算器
に入力される。そして加算器では、出力１０４と模擬サ
ーボドライバ部４１の出力信号２０２とが相殺され、そ
の結果、周波数基準信号１０５が低レベルテスト信号２
０１として出力され、模擬サーボドライバ部４１に入力
される。

【００４３】この閉ループの制御により模擬サーボドラ
イバ部４１の出力２０２はバイアス信号による飽和信号
と低レベルテスト信号２０１の所定周波数が重畳した波
形になる。この出力２０２は、フィルタ５０で交流分を
抽出された後、整流器６１により検出波形成分１０６と
してレベル検出器へ入力される。その検出波形成分１０
６は低レベルであるので、レベル検出部２６の設定値未
満となり自己診断異常信号２０３は出力されず、診断装
置自体の動作は正常と判定される。

【００４４】もし、周波数基準信号発生部２２から低レ
ベルの周波数基準信号１０５が発生しているにも拘わら
ず直流波形成１０６が設定値以上であると、レベル検出
器２６は自己診断異常信号２０３を出力し、制御ロジッ
ク部２７は自己診断故障警報２０４を出力する。

【００４５】次に、所定周波数の高レベルテスト信号３
０１を模擬サーボドライバ部４１に入力しての診断動作
について説明する。図３に示すように、模擬サーボドラ
イバ部４１を使用して、所定周波数の正弦波信号の検出
の確認を行う。

【００４６】スイッチ４２，４５＝ＯＦＦ、スイッチ４
３，４４＝ＯＮとして、模擬サーボドライバ部４１とテ
スト信号発生部２４は図３のように閉ループを構成す
る。周波数基準信号発生部２２は高レベルの周波数基準
信号１０５を発生し、この高レベルの周波数基準信号１
０５に対応した高レベルテスト信号３０１を発生する。
ここでサンプルホールド部２５とテスト信号発生部２４
の動作は低レベルの周波数基準信号の場合と同様の動作
であるので説明を省略する。

【００４７】高レベルテスト信号３０１が模擬サーボド
ライバ部４１に入力されると出力信号３０２は、模擬サ
ーボドライバ部４１のバイアス信号による直流の飽和信
号と高レベルテスト信号３０１が重畳された信号とな
る。この出力信号３０２はその交流分がフィルタ５０で
抽出され、整流器６１で全波整流され検出波形成分１０
６となりレベル検出部２６に入力される。レベル検出器
２６は、検出波形成分１０６が設定値以上となるので、
診断装置自体が正常であると判定し、自己診断異常信号
２０３は出力されない。

【００４８】このようにして、診断装置自体を診断する
ことができる。なお、模擬サーボドライバ部４１のバイ
アス信号はサーボドライバの出力が飽和するようにして
テストしたが、飽和しない領域（比例領域）てテストす
ることもできる。

【００４９】また、スイッチ４３，４４をＯＦＦ、スイ
ッチ４２，４５をＯＮとして、何時でもサーボドライバ
カード２１の診断をすることができる。また、スイッチ
４３，４４とスイッチ４２，４５とを交互に切り換え
て、サーボドライバカード２１と自診断装置の診断を周
期的に行うようにしてもよい。

【００５０】実施の形態３．図４はこの実施の形態の構
成図である。図において、実施の形態１および２と同一
のものは同一符号とし説明を省略する。５１は周波数基
準信号である交流信号の周波数を通過させるバンドパス
フィルタである。

【００５１】このバンドパスフィルタ５１は直流分をカ
ットするのみでなく、ノイズの侵入を少なくすることが
でき、レベル検出器２６の判定動作を正確にすることが
できる。従って、診断するサーボドライブカードや診断
装置の環境にとらわれず診断することができる。

【００５２】実施の形態４．図５はこの実施の形態のテ
スト期間の関係を示すタイムチャートである。この実施
の形態の構成は、実施の形態２または実施の形態３と同
一であり、実施の形態２の図３を用いて説明する。

【００５３】図３において、制御ブロック部２７はスイ
ッチ４２，４３，４４，４５をＯＮ、ＯＦＦ操作して、
図５に示すように、 模擬サーボドライバ部４１の低レベルテスト信号での
テスト、 模擬サーボドライバ部４１の高レベルテスト信号での
テスト、 実機のサーボドライバカード２１の高レベルテスト信
号でのテスト を順次周期的に繰り返して、常時ガバナ蒸気弁５を制御
しながら診断を実行する。

【００５４】以上のように、この実施の形態による診断
は、発電プラントの運転中に運転を中断することなく行
うことができ、更に、サーボドライバカード２１の診断
のみでなく、診断装置の自己診断も同時に行うことがで
きる。

【００５５】実施の形態５．図６はこの実施の形態の構
成図を示す。図において、手動スイッチ８１により、ス
イッチ８２をＯＮ，ＯＦＦし、このスイッチ８２をＯＦ
Ｆとすることにより、サーボドライバカード２１へのテ
スト信号をＯＦＦとし、サーボドライバカード２１とサ
ーボドライバ診断装置を機能的に切り離すことができ
る。また、診断停止指令４０１を発生することによりサ
ーボドライバ診断装置自身も停止することができる。上
記の切り離しにより診断装置自体の保守等が実行でき、
また、診断装置の誤動作、誤操作等によるプラントへの
影響を無くすることができる。

【００５６】実施の形態６．以上の実施の形態では、火
力・原子力発電プラントに用いられるガバナ蒸気弁を制
御するサーボドライバカードの診断について説明した
が、水力発電のガバナ弁に対しても適用することができ
る。また、サーボドライバカードは、カードでなくても
サーボドライバ回路等のサーボドライバの機能を持って
いるものに適用できる。また、実施の形態１では、プラ
ント運転時のサーボドライバに対して、交流のテスト信
号を入力して診断するようにしたが、非運転時にサーボ
ドライバの診断をしてもよい。この場合、交流信号と直
流のバイアス信号を重畳したテスト信号を用いるように
してもよい。

【００５７】

【発明の効果】

（１）以上のようにこの発明によれば、交流テスト信号
を用いてサーボドライバを診断するようにしたので、プ
ラントの運転中においても診断することができる。

【００５８】（２）また、模擬サーボドライバ部を用い
て診断するようにしたので、診断装置自体の診断を行う
ことができる。

【００５９】（３）また、サーボドライバの診断と、診
断装置自体の診断とを切り換えて実行するようにしたの
で、両者の診断ができ信頼性のある診断が行える。

【００６０】（４）また、サーボドライバの診断と、診
断装置自体の診断とを周期的に繰り返し実行するように
したので、信頼性のある診断が行える。

【００６１】（５）また、バンドパスフィルタによりノ
イズを除去するようにしたので、誤診断が防止できる。

【００６２】（６）また、プラントから診断装置を機能
的に切り離すようにしたので、この切り離しにより診断
装置自体の保守等が実行でき、また、診断装置の誤動
作、誤操作等によるプラントへの影響を無くすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１によるガバナ蒸気弁
の制御に係る要部の構成とサーボドライバ診断装置の構
成を示すブロック図である。

【図２】 この発明の実施の形態１によるサーボドライ
バ診断装置の構成図である。

【図３】 この発明の実施の形態２によるサーボドライ
バ診断装置の構成図である。

【図４】 この発明の実施の形態３によるサーボドライ
バ診断装置の構成図である。

【図５】 この発明の実施の形態４によるテスト期間の
タイミングチャートである。

【図６】 この発明の実施の形態５によるサーボドライ
バ診断装置の構成図である。

【図７】 従来のガバナ蒸気弁の制御に係る要部の構成
とサーボドライバ診断装置の構成を示すブロック図であ
る。

【図８】 図７のロジックＣＰＵの内部構成図である。

【図９】 サーボドライバカードの入出力特性を示す図
である。

【符号の説明】

１ 弁コントローラＡ ２ 弁コント
ローラＢ ３ 切換装置 ５ ガバナ蒸
気弁 １１ 待機系切換装置 １２ Ａ系サ
ーボドライバカード １３ Ｂ系サーボドライバカード １４ Ａ系用
サーボドライバ診断装置 １５ Ｂ系用サーボドライバ診断装置 ２１ サーボ
ドライバカード ２２ 周波数基準信号発生部 ２３ 信号停
止検出回路 ２４ テスト信号発生部 ２５ サンプ
ルホールド部 ２６ レベル検出部 ２７ 制御ロ
ジック部 ４１ 模擬サーボドライバ部 ４２，４３，
４４，４５ スイッチ ５０ フィルタ ５１ バンド
パスフィルタ ６１ 整流器 ８１ 手動ス
イッチ ８２ スイッチ １０１ テスト
信号 １０２ サーボドライバカード出力信号１０４ サンプ
ルホールド出力信号 １０５ 周波数基準信号 １０６ 検出波
形成分 １０７ 判定結果信号 １０８ サーボ
ドライバ異常警報 ２０１ 低レベルテスト信号 ２０２ 模擬サ
ーボドライバ出力 ２０３ 自己診断異常信号 ２０４ 自己診
断故障警報 ３０１ 高レベルテスト信号 ４０１ 診断停
止指令

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 発電プラントのガバナ弁を開閉制御する
   サーボドライバに対して診断を行うサーボドライバ診断
   装置において、所定の交流テスト信号を上記サーボドラ
   イバに入力し、出力される交流分の信号の大きさに応じ
   て異常の有無を判定する診断手段を備えたことを特徴と
   するサーボドライバ診断装置。
2. 【請求項２】 請求項１のサーボドライバ診断装置にお
   いて、サーボドライバと同等の特性を有する模擬サーボ
   ドライバを設け、上記模擬サーボドライバに所定の直流
   バイアス信号と所定の交流テスト信号とを入力して、そ
   の出力の交流分の信号の大きさに応じて自診断装置の異
   常の有無を判定する自己診断手段を備えたことを特徴と
   するサーボドライバ診断装置。
3. 【請求項３】 請求項２のサーボドライバ診断装置にお
   いて、自己診断手段は、交流テスト信号として低レベル
   信号と高レベル信号の２つの交流テスト信号を用意し、
   上記低レベル信号を模擬サーボドライバに入力したとき
   は、その交流分の出力が低レベルであれば正常、高レベ
   ルであれば異常と判定し、上記高レベル信号を模擬サー
   ボドライバに入力したときは、その交流分の出力が高レ
   ベルであれば正常、低レベルであれば異常と判定する手
   段としたことを特徴とするサーボドライバ診断装置。
4. 【請求項４】 請求項２のサーボドライバ診断装置にお
   いて、診断手段による診断と、自己診断手段による診断
   とを切換え実行する手段を設けたことを特徴とするサー
   ボドライバ診断装置。
5. 【請求項５】 請求項２のサーボドライバ診断装置にお
   いて、サーボドライバの診断を第１モードの診断とし、
   低レベル信号を用いた模擬サーボドライバの診断を第２
   モードの診断とし、高レベル信号を用いた模擬サーボド
   ライバの診断を第３モードの診断とし、上記各モードに
   よる診断を周期的に繰り返し実行する手段を設けたこと
   を特徴とするサーボドライバ診断装置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか１項のサーボド
   ライバ診断装置において、サーボドライバまたは模擬サ
   ーボドライバの出力信号を入力とし、交流テスト信号の
   周波数を通過させるバンドパスフィルタを設け、このバ
   ンドパスフィルタを通過した交流分の信号の大きさに応
   じて異常の有無を判定するようにしたことを特徴とする
   サーボドライバ診断装置。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか１項のサーボド
   ライバ診断装置において、サーボドライバへの交流テス
   ト信号の入力を切り離しする手段を設けたことを特徴と
   するサーボドライバ診断装置。