JPH10320945A - ヘッドスライダ、ディスク装置及びスティック状ウエハの切断方法 - Google Patents
ヘッドスライダ、ディスク装置及びスティック状ウエハの切断方法Info
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- JPH10320945A JPH10320945A JP9210514A JP21051497A JPH10320945A JP H10320945 A JPH10320945 A JP H10320945A JP 9210514 A JP9210514 A JP 9210514A JP 21051497 A JP21051497 A JP 21051497A JP H10320945 A JPH10320945 A JP H10320945A
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
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- G—PHYSICS
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、スライダ加工時に生じるレール面
平面性公差による浮上変動及びテーパ長の加工公差によ
る浮上変動を抑制することができ、良好な浮上特性を有
する磁気ヘッドスライダを提供することを目的とする。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダであって、磁気ディ
スクに対向するディスク対向面に形成されたそれぞれデ
ィスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベア
リング表面を有する一対のレールと、一対のレールの間
の空気流入端側に形成されたスリットと、スリットに連
続して一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された
空気を膨張させて負圧を発生させるスリットよりも幅広
の溝を含んでいる。磁気ヘッドスライダは更に、レール
の一方が位置する空気流出端に形成された電磁トランス
デューサを含んでいる。スライダは、空気流入端側が狭
く、空気流出端側が広い台形形状をしている。
平面性公差による浮上変動及びテーパ長の加工公差によ
る浮上変動を抑制することができ、良好な浮上特性を有
する磁気ヘッドスライダを提供することを目的とする。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダであって、磁気ディ
スクに対向するディスク対向面に形成されたそれぞれデ
ィスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベア
リング表面を有する一対のレールと、一対のレールの間
の空気流入端側に形成されたスリットと、スリットに連
続して一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された
空気を膨張させて負圧を発生させるスリットよりも幅広
の溝を含んでいる。磁気ヘッドスライダは更に、レール
の一方が位置する空気流出端に形成された電磁トランス
デューサを含んでいる。スライダは、空気流入端側が狭
く、空気流出端側が広い台形形状をしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的に磁気ディ
スク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関
し、特に低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
スク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関
し、特に低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
【０００２】近年の磁気ディスク装置の磁気ヘッドスラ
イダにおいては、磁気ディスク媒体の記録密度の増加の
ために低浮上量化が進められている。また、アクセスの
高速化のため、アクセス方向に大きな加速度がかけられ
るので、浮上安定性に優れたスライダが求められてい
る。
イダにおいては、磁気ディスク媒体の記録密度の増加の
ために低浮上量化が進められている。また、アクセスの
高速化のため、アクセス方向に大きな加速度がかけられ
るので、浮上安定性に優れたスライダが求められてい
る。
【０００３】更に、磁気ディスク装置の小型化、機構の
単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回
転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上
量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回
転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上
量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
【０００４】
【従来の技術】浮上安定性に優れた負圧磁気ヘッドスラ
イダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレー
ル幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの
間に溝を画成し、この溝部で負圧を発生させるスライダ
が提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
イダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレー
ル幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの
間に溝を画成し、この溝部で負圧を発生させるスライダ
が提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
【０００５】図１（Ａ）は上記公開公報に開示された従
来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１
（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状を
しており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有して
いる。
来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１
（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状を
しており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有して
いる。
【０００６】スライダ２のディスク対向面には正圧を発
生させるための一対のレール４，６が形成されている。
各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発
生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）
４ａ，６ａを有している。
生させるための一対のレール４，６が形成されている。
各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発
生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）
４ａ，６ａを有している。
【０００７】各レール４，６の空気流入端側にはテーパ
面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール
４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を
発生させる溝８が画成されている。
面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール
４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を
発生させる溝８が画成されている。
【０００８】レール４が位置するスライダ２の空気流出
端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一
対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１
１が形成されている。
端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一
対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１
１が形成されている。
【０００９】各レール４，６の幅を流入端及び流出端側
で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変
化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ
面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮
上変動を抑制することができる。
で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変
化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ
面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮
上変動を抑制することができる。
【００１０】図１（Ｂ）はレール面側から見たスライダ
２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧
を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。
レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧
が発生する。
２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧
を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。
レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧
が発生する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】スライダの浮上量が
０．０５μｍ以下となると、スライダ表面形状が浮上状
態に与える影響が大きくなる。
０．０５μｍ以下となると、スライダ表面形状が浮上状
態に与える影響が大きくなる。
【００１２】上述した従来のスライダでは、スライダが
長方形状をしており、概略平行に形成された一対のレー
ルの各々が流入端側と流出端側に２個の幅広部を有する
ため、スライダ浮上時における圧力分布のピークが４点
で発生し、スライダが４点支持となる。
長方形状をしており、概略平行に形成された一対のレー
ルの各々が流入端側と流出端側に２個の幅広部を有する
ため、スライダ浮上時における圧力分布のピークが４点
で発生し、スライダが４点支持となる。
【００１３】このようにスライダが４点で支持されて浮
上すると、スライダの表面形状が浮上状態に与える影響
が大きくなる。即ち、製造誤差によりスライダのクラウ
ン、キャンバ、ツイスト等が変動すると、スライダの浮
上状態が大きく変動してしまうという問題がある。
上すると、スライダの表面形状が浮上状態に与える影響
が大きくなる。即ち、製造誤差によりスライダのクラウ
ン、キャンバ、ツイスト等が変動すると、スライダの浮
上状態が大きく変動してしまうという問題がある。
【００１４】よって本発明の目的は、スライダ加工時に
生じるレール面平面性公差による浮上変動、テーパ長の
加工公差による浮上変動を抑制することができ、良好な
浮上特性を有するヘッドスライダを提供することであ
る。
生じるレール面平面性公差による浮上変動、テーパ長の
加工公差による浮上変動を抑制することができ、良好な
浮上特性を有するヘッドスライダを提供することであ
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明によると、空気流
入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、デ
ィスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞ
れディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気
ベアリング表面を有する一対のレールと、前記一対のレ
ールの間の空気流入端側に画成されたスリットと、前記
スリットに連続して前記一対のレールの間に画成され
た、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる
前記スリットよりも幅広の溝と、前記レールの一方が位
置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを
具備し、前記スライダは空気流入端側が狭く空気流出端
側が広い台形形状を有していることを特徴とするヘッド
スライダが提供される。
入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、デ
ィスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞ
れディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気
ベアリング表面を有する一対のレールと、前記一対のレ
ールの間の空気流入端側に画成されたスリットと、前記
スリットに連続して前記一対のレールの間に画成され
た、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる
前記スリットよりも幅広の溝と、前記レールの一方が位
置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを
具備し、前記スライダは空気流入端側が狭く空気流出端
側が広い台形形状を有していることを特徴とするヘッド
スライダが提供される。
【００１６】本発明のヘッドスライダは空気流入端側が
狭く空気流出端側が広い台形形状をしているため、一対
のレールは流入端側で近付くこととなる。これにより、
スライダ浮上時における圧力分布のピークは３カ所とな
り、スライダが３点支持されることになる。
狭く空気流出端側が広い台形形状をしているため、一対
のレールは流入端側で近付くこととなる。これにより、
スライダ浮上時における圧力分布のピークは３カ所とな
り、スライダが３点支持されることになる。
【００１７】スライダが３点支持されると、製造誤差に
よりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動
しても、スライダの浮上変動を抑制することができ、ス
ライダの良好な浮上特性を実現することができる。
よりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動
しても、スライダの浮上変動を抑制することができ、ス
ライダの良好な浮上特性を実現することができる。
【００１８】好ましくは、各レールはレールの空気流出
端部の中心が、空気流入端部の中心と中間部分の中心を
結んだ直線の外側にあるような形状を有している。更に
好ましくは、各レールは流入端側に正圧を発生させるテ
ーパ面を有しており、且つテーパ面を有するレール部分
のレール幅が、空気流入端側から流出端側に向かって連
続的に減少する。
端部の中心が、空気流入端部の中心と中間部分の中心を
結んだ直線の外側にあるような形状を有している。更に
好ましくは、各レールは流入端側に正圧を発生させるテ
ーパ面を有しており、且つテーパ面を有するレール部分
のレール幅が、空気流入端側から流出端側に向かって連
続的に減少する。
【００１９】本発明の他の側面によると、空気流入端と
空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスク
に対向するディスク対向面に形成された、それぞれディ
スク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリ
ング表面を有する一対のレールと、前記一対のレールの
間の空気流入端側に画成されたスリットと、前記スリッ
トに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦
圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリ
ットよりも幅広の溝と、前記レールの一方が位置する前
記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し、
前記スライダは空気流出端側に互いに概略平行な一対の
側面と、該一対の側面から空気流入端に向けて連続して
互いに近付く一対の傾斜側面とを有していることを特徴
とするヘッドスライダが提供される。
空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスク
に対向するディスク対向面に形成された、それぞれディ
スク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリ
ング表面を有する一対のレールと、前記一対のレールの
間の空気流入端側に画成されたスリットと、前記スリッ
トに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦
圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリ
ットよりも幅広の溝と、前記レールの一方が位置する前
記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し、
前記スライダは空気流出端側に互いに概略平行な一対の
側面と、該一対の側面から空気流入端に向けて連続して
互いに近付く一対の傾斜側面とを有していることを特徴
とするヘッドスライダが提供される。
【００２０】本発明の更に他の側面によると、空気流入
端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディ
スクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれ
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する一対のレールと、前記一対のレー
ルを空気流入端側で連結する連結レール部と、前記一対
のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張
させて負圧を発生させる溝と、前記一方のレールが位置
する前記空気流出端に形成されたトランスデューサとを
具備し、前記スライダは空気流入端側が狭く空気流出端
側が広い台形形状を有していることを特徴とするヘッド
スライダが提供される。
端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディ
スクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれ
ディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベ
アリング表面を有する一対のレールと、前記一対のレー
ルを空気流入端側で連結する連結レール部と、前記一対
のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張
させて負圧を発生させる溝と、前記一方のレールが位置
する前記空気流出端に形成されたトランスデューサとを
具備し、前記スライダは空気流入端側が狭く空気流出端
側が広い台形形状を有していることを特徴とするヘッド
スライダが提供される。
【００２１】好ましくは、連結レール部は空気流入端側
に正圧を発生させるテーパ面を有しており、且つテーパ
面を有するレール部分のレール幅が、空気流入端側から
空気流出端側に向かって連続して減少している。
に正圧を発生させるテーパ面を有しており、且つテーパ
面を有するレール部分のレール幅が、空気流入端側から
空気流出端側に向かって連続して減少している。
【００２２】本発明の更に他の側面によると、複数のス
ライダが横方向に並んで形成されている所定幅のスティ
ック状ウエハを切断して台形スライダを得るスティック
状ウエハの切断方法であって、前記台形スライダの傾斜
側面の角度と等しい傾斜角の切断刃を有する回転カッタ
ーを設け、個々のスライダの空気流入端が上側となるよ
うに前記スティック状ウエハを立てながら、前記カッタ
ーに対して該スティック状ウエハを概略水平方向に搬送
して切断することを特徴とするスティック状ウエハの切
断方法が提供される。
ライダが横方向に並んで形成されている所定幅のスティ
ック状ウエハを切断して台形スライダを得るスティック
状ウエハの切断方法であって、前記台形スライダの傾斜
側面の角度と等しい傾斜角の切断刃を有する回転カッタ
ーを設け、個々のスライダの空気流入端が上側となるよ
うに前記スティック状ウエハを立てながら、前記カッタ
ーに対して該スティック状ウエハを概略水平方向に搬送
して切断することを特徴とするスティック状ウエハの切
断方法が提供される。
【００２３】代替案として、切断箇所がカッターの中心
を通る鉛直線に実質上一致するように、スティック状ウ
エハをカッターに対して鉛直方向に移動して切断するよ
うにしてもよい。
を通る鉛直線に実質上一致するように、スティック状ウ
エハをカッターに対して鉛直方向に移動して切断するよ
うにしてもよい。
【００２４】
【発明の実施の形態】図２を参照すると、本発明の磁気
ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が
示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とか
ら構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）
である。
ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が
示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とか
ら構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）
である。
【００２５】ベース１４上にはインナーハブモータによ
って回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けら
れている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示
しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ
１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数
枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハ
ブに取り付けられる。
って回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けら
れている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示
しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ
１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数
枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハ
ブに取り付けられる。
【００２６】符号２２はアクチュエータアームアセンブ
リ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアク
チュエータを示している。アクチュエータアームアセン
ブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回り
に回転可能に取り付けられている。
リ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアク
チュエータを示している。アクチュエータアームアセン
ブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回り
に回転可能に取り付けられている。
【００２７】アクチュエータアームアセンブリ２６は、
回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータア
ーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸
長したコイル支持部材３６を含んでいる。
回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータア
ーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸
長したコイル支持部材３６を含んでいる。
【００２８】各アクチュエータアーム３０の先端部に
は、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペ
ンション３４の基端部が固定されている。コイル支持部
材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２
８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３
８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成され
る。
は、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペ
ンション３４の基端部が固定されている。コイル支持部
材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２
８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３
８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成され
る。
【００２９】符号４２はヘッドスライダ３２に搭載され
た電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシ
ブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材
４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに
電気的に接続されている。
た電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシ
ブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材
４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに
電気的に接続されている。
【００３０】ベース１４上に環状パッキンアセンブリ４
６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟
んでカバー１６をベース１４にネジ締結することによ
り、ハウジング１２内が密封される。
６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟
んでカバー１６をベース１４にネジ締結することによ
り、ハウジング１２内が密封される。
【００３１】図３は本発明第１実施形態の磁気ヘッドス
ライダ５０Ａの平面図を示しており、図４は浮上状態の
その斜視図を示している。本実施形態及び引き続く数多
くの実施形態において、実質的に同一構成部分について
は同一符号を付して説明する。
ライダ５０Ａの平面図を示しており、図４は浮上状態の
その斜視図を示している。本実施形態及び引き続く数多
くの実施形態において、実質的に同一構成部分について
は同一符号を付して説明する。
【００３２】磁気ヘッドスライダ５０Ａは空気流入端５
２ａと、空気流出端５２ｂを有しており、空気流入端側
が狭く空気流出端側が広い台形形状をしている。磁気ヘ
ッドスライダ５０Ａは図２に示したサスペンション３４
により支持される。
２ａと、空気流出端５２ｂを有しており、空気流入端側
が狭く空気流出端側が広い台形形状をしている。磁気ヘ
ッドスライダ５０Ａは図２に示したサスペンション３４
により支持される。
【００３３】磁気ヘッドスライダ５０Ａのディスク対向
面には、平坦なレール面（空気ベアリング表面）５４
ａ，５６ａを有する一対のレール５４，５６が形成され
ている。
面には、平坦なレール面（空気ベアリング表面）５４
ａ，５６ａを有する一対のレール５４，５６が形成され
ている。
【００３４】各レール５４，５６の空気流入側端部には
それぞれテーパ面５４ｂ，５６ｂが形成されている。ス
ライダ５０Ａが台形形状をしているため、一対のレール
５４，５６は空気流入端側で互いに近付くように配置さ
れており、その間にスリット５８が画成されている。
それぞれテーパ面５４ｂ，５６ｂが形成されている。ス
ライダ５０Ａが台形形状をしているため、一対のレール
５４，５６は空気流入端側で互いに近付くように配置さ
れており、その間にスリット５８が画成されている。
【００３５】更に、一対のレール５４，５６の間には負
圧発生用の溝６０が画成されている。レール５４が位置
するスライダ５０Ａの空気流出端５２ｂには電磁トラン
スデューサ６２が形成されている。
圧発生用の溝６０が画成されている。レール５４が位置
するスライダ５０Ａの空気流出端５２ｂには電磁トラン
スデューサ６２が形成されている。
【００３６】スライダ５０ＡはＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから
形成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデュー
サ６２を形成した後ウエハをバー形状に切断し、側面を
加工してレール５４，５６を形成した後、個々のスライ
ダ５０Ａに切断する。
形成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデュー
サ６２を形成した後ウエハをバー形状に切断し、側面を
加工してレール５４，５６を形成した後、個々のスライ
ダ５０Ａに切断する。
【００３７】スライダサイズは１．２５ｍｍ×０．２５
−０．７５ｍｍ（空気流入端）×１ｍｍ（空気流出端）
であり、厚さは０．３ｍｍである。レール５４，５６の
幅は最も細い部分で１００μｍ以下となるため、レール
５４，５６はフォトリソグラフィ技術により形成する。
−０．７５ｍｍ（空気流入端）×１ｍｍ（空気流出端）
であり、厚さは０．３ｍｍである。レール５４，５６の
幅は最も細い部分で１００μｍ以下となるため、レール
５４，５６はフォトリソグラフィ技術により形成する。
【００３８】即ち、形成すべき所望のレールパターンに
レジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを
削り取ってスリット５８と、溝６０を形成する。テーパ
面５４ｂ，５６ｂはレール５４，５６を形成する前、或
いは後に機械加工によって形成する。
レジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを
削り取ってスリット５８と、溝６０を形成する。テーパ
面５４ｂ，５６ｂはレール５４，５６を形成する前、或
いは後に機械加工によって形成する。
【００３９】テーパの角度は０．５°〜４．０°、テー
パの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望まし
い。テーパ面５４ｂ，５６ｂで発生した正圧により、各
レール５４，５６の先端側面への汚れの付着を防止す
る。
パの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望まし
い。テーパ面５４ｂ，５６ｂで発生した正圧により、各
レール５４，５６の先端側面への汚れの付着を防止す
る。
【００４０】図４のスライダ５０Ａの浮上状態斜視図か
ら明らかなように、点線矢印で示されるようにレール面
（空気ベアリング表面）５４ａ，５６ａで正圧が発生
し、溝６０部分で実線矢印で示すように負圧吸引力が発
生する。即ち、スリット５８部分で一旦圧縮された空気
が溝６０部分で膨張することにより負圧が発生する。
ら明らかなように、点線矢印で示されるようにレール面
（空気ベアリング表面）５４ａ，５６ａで正圧が発生
し、溝６０部分で実線矢印で示すように負圧吸引力が発
生する。即ち、スリット５８部分で一旦圧縮された空気
が溝６０部分で膨張することにより負圧が発生する。
【００４１】図５に示した圧力分布から明らかなよう
に、本実施形態のスライダ５０Ａは台形形状であるた
め、３つの圧力のピークを有しており、浮上状態のスラ
イダ５０Ａは３点支持となる。
に、本実施形態のスライダ５０Ａは台形形状であるた
め、３つの圧力のピークを有しており、浮上状態のスラ
イダ５０Ａは３点支持となる。
【００４２】スライダ５０Ａが３点支持となるため、加
工誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト
等が変動しても、スライダの浮上変動率は小さくなる。
また、スライダ形状が台形形状であるため、同じ厚さを
有するスライダで質量が従来のスライダの１／２〜３／
４程度となる。
工誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト
等が変動しても、スライダの浮上変動率は小さくなる。
また、スライダ形状が台形形状であるため、同じ厚さを
有するスライダで質量が従来のスライダの１／２〜３／
４程度となる。
【００４３】例えば、従来のスライダは１．７５７ｍｇ
であり、第１実施形態のスライダ５０Ａは０．９８４〜
１．３７８ｍｇである。このため、１．１６１ｍｇのサ
スペンションにスライダ５０Ａを取り付けた場合、共振
周波数を３．８〜１３％増加させることができる。
であり、第１実施形態のスライダ５０Ａは０．９８４〜
１．３７８ｍｇである。このため、１．１６１ｍｇのサ
スペンションにスライダ５０Ａを取り付けた場合、共振
周波数を３．８〜１３％増加させることができる。
【００４４】図６は本発明第２実施形態のスライダ５０
Ｂの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｂ
は空気流出端５２ｂ側に形成された互いに平行な一対の
側面６４ａ，６４ｂと、これらの側面６４ａ，６４ｂと
空気流入端５２ａを接続する一対の傾斜側面６６ａ，６
６ｂを有している。
Ｂの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｂ
は空気流出端５２ｂ側に形成された互いに平行な一対の
側面６４ａ，６４ｂと、これらの側面６４ａ，６４ｂと
空気流入端５２ａを接続する一対の傾斜側面６６ａ，６
６ｂを有している。
【００４５】本実施形態のスライダ５０Ｂは空気流出端
部側に一対の平行な側面６４ａ，６４ｂを有しているた
め、スライダ加工の際横方向の押し付けによる位置合わ
せが容易になる。また、空気流出端部側のコーナー部の
角度が鋭角でなくなるため、衝突時のスライダコーナー
部による打痕傷の程度が軽くなる。
部側に一対の平行な側面６４ａ，６４ｂを有しているた
め、スライダ加工の際横方向の押し付けによる位置合わ
せが容易になる。また、空気流出端部側のコーナー部の
角度が鋭角でなくなるため、衝突時のスライダコーナー
部による打痕傷の程度が軽くなる。
【００４６】図７は本発明第３実施形態のスライダ５０
Ｃの平面図を示している。スライダ５０Ｃは一対のレー
ル６８，７０を有しており、一対のレール６８，７０の
間にはスリット７２と、一旦圧縮された空気を膨張させ
て負圧を発生させる溝７４が画成されている。
Ｃの平面図を示している。スライダ５０Ｃは一対のレー
ル６８，７０を有しており、一対のレール６８，７０の
間にはスリット７２と、一旦圧縮された空気を膨張させ
て負圧を発生させる溝７４が画成されている。
【００４７】レール６８は空気流入端部６８ａと、空気
流出端部６８ｂと、中間部分６８ｃとを含んでおり、空
気流出端部６８ｂの中心が、空気流入端部６８ａの中心
と中間部分６８ｃの中心を結んだ直線６９の外側に位置
付けされている。
流出端部６８ｂと、中間部分６８ｃとを含んでおり、空
気流出端部６８ｂの中心が、空気流入端部６８ａの中心
と中間部分６８ｃの中心を結んだ直線６９の外側に位置
付けされている。
【００４８】同様に、レール７０は空気流入端部７０ａ
と、空気流出端部７０ｂと、中間部分７０ｃとを含んで
おり、空気流出端部７０ｂの中心が、空気流入端部７０
ａの中心と中間部分７０ｃの中心を結んだ直線７１の外
側に位置付けされている。
と、空気流出端部７０ｂと、中間部分７０ｃとを含んで
おり、空気流出端部７０ｂの中心が、空気流入端部７０
ａの中心と中間部分７０ｃの中心を結んだ直線７１の外
側に位置付けされている。
【００４９】レール６８，７０が上述したような形状を
有しているため、空気流入端５２ａからの気流が遮断さ
れやすくなり、安定浮上に必要なレール幅を保ったまま
浮上量を低下させることができる。
有しているため、空気流入端５２ａからの気流が遮断さ
れやすくなり、安定浮上に必要なレール幅を保ったまま
浮上量を低下させることができる。
【００５０】図８は本発明第４実施形態のスライダ５０
Ｄの平面図である。テーパ面６８ｄ，７０ｄを有するレ
ール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって
減少しているため、テーパ加工公差によりテーパ長が変
動しても、スライダ５０Ｄの浮上量変化を小さくするこ
とができる。
Ｄの平面図である。テーパ面６８ｄ，７０ｄを有するレ
ール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって
減少しているため、テーパ加工公差によりテーパ長が変
動しても、スライダ５０Ｄの浮上量変化を小さくするこ
とができる。
【００５１】即ち、テーパ長が長くなると浮上量を増加
させるが、テーパ部分のレール幅を空気流入端から空気
流出端に向かって減少させることにより、浮上量を下
げ、テーパ長が長くなったことによる浮上量の増加を相
殺している。
させるが、テーパ部分のレール幅を空気流入端から空気
流出端に向かって減少させることにより、浮上量を下
げ、テーパ長が長くなったことによる浮上量の増加を相
殺している。
【００５２】図９は本発明第５実施形態のスライダ５０
Ｅの平面図である。本実施形態では、センターレール７
６が一対のレール６８，７０の間に設けられている。そ
の他の構成は図８に示した第４実施形態と同様である。
Ｅの平面図である。本実施形態では、センターレール７
６が一対のレール６８，７０の間に設けられている。そ
の他の構成は図８に示した第４実施形態と同様である。
【００５３】図１０は本発明第６実施形態のスライダ５
０Ｆの平面図を示している。本実施形態では、スリット
７２を画成するレール６８，７０の内側エッジ６８ｆ，
７０ｆがスライダ５０Ｆの長手方向中心線に平行に形成
されている。
０Ｆの平面図を示している。本実施形態では、スリット
７２を画成するレール６８，７０の内側エッジ６８ｆ，
７０ｆがスライダ５０Ｆの長手方向中心線に平行に形成
されている。
【００５４】更に、テーパ面６８ｅ，７０ｅを有するレ
ール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって
減少している。これにより、第４及び第５実施形態と同
様に、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、ス
ライダ５０Ｆの浮上量変化を小さくすることができる。
ール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって
減少している。これにより、第４及び第５実施形態と同
様に、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、ス
ライダ５０Ｆの浮上量変化を小さくすることができる。
【００５５】図１１は本発明第７実施形態のスライダ５
０Ｇの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０
Ｇでは、一対のレール７８，８０は空気流入端側の連結
レール部８２で互いに連結されている。
０Ｇの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０
Ｇでは、一対のレール７８，８０は空気流入端側の連結
レール部８２で互いに連結されている。
【００５６】即ち、レール形状が逆Ｖ型であり、空気流
入端が閉じているため、空気が空気流入端で大きく圧縮
され、圧縮された空気が溝８４で膨張するため、負圧の
発生が容易である。連結レール部８２は空気流入端部５
２ａにテーパ面８２ａを有している。
入端が閉じているため、空気が空気流入端で大きく圧縮
され、圧縮された空気が溝８４で膨張するため、負圧の
発生が容易である。連結レール部８２は空気流入端部５
２ａにテーパ面８２ａを有している。
【００５７】従来型方形スライダで逆Ｖ型又は逆Ｕ型レ
ールを採用すると、テーパ長が長くなるため、正圧が発
生しすぎ、スライダの低浮上量を実現することが困難で
あった。
ールを採用すると、テーパ長が長くなるため、正圧が発
生しすぎ、スライダの低浮上量を実現することが困難で
あった。
【００５８】この問題を改善するためには、テーパ部の
レール幅を狭くする必要があるが、そうすると、空気流
入端の両サイドにレールのない部分が広がってしまい、
スライダが前のめりにつんのめった場合、スライダの角
が磁気ディスクに接触してしまうという問題がある。
レール幅を狭くする必要があるが、そうすると、空気流
入端の両サイドにレールのない部分が広がってしまい、
スライダが前のめりにつんのめった場合、スライダの角
が磁気ディスクに接触してしまうという問題がある。
【００５９】本実施形態のスライダ５０Ｇでは、スライ
ダの外形が台形形状をしているため、空気流入端の幅は
従来の通常タイプのスライダよりも短くなる。その結
果、正圧を抑制するためにテーパ部のレール幅を短くす
る必要がなく、スライダ５０Ｇのつんのめりによるスラ
イダの角と磁気ディスクとの接触を回避できる。
ダの外形が台形形状をしているため、空気流入端の幅は
従来の通常タイプのスライダよりも短くなる。その結
果、正圧を抑制するためにテーパ部のレール幅を短くす
る必要がなく、スライダ５０Ｇのつんのめりによるスラ
イダの角と磁気ディスクとの接触を回避できる。
【００６０】図１２は本発明第８実施形態のスライダ５
０Ｈの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０
Ｈでは、レール７８，８０を連結する連結レール部８６
のレール幅が、テーパ面８６ａの部分において、空気流
入端から空気流出端に向かって減少している。その結
果、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スラ
イダ５０Ｈの浮上量変化を小さく抑えることができる。
０Ｈの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０
Ｈでは、レール７８，８０を連結する連結レール部８６
のレール幅が、テーパ面８６ａの部分において、空気流
入端から空気流出端に向かって減少している。その結
果、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スラ
イダ５０Ｈの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６１】図１３は本発明第９実施形態のスライダ５
０Ｉの平面図を示している。連結レール部８６に空気流
出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット８
８が入っているため、空気流入端部における正圧を抑制
することができ、スライダ５０Ｉの低浮上化を達成しや
すくなる。
０Ｉの平面図を示している。連結レール部８６に空気流
出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット８
８が入っているため、空気流入端部における正圧を抑制
することができ、スライダ５０Ｉの低浮上化を達成しや
すくなる。
【００６２】図１４は本発明第１０実施形態のスライダ
５０Ｊの平面図を示している。連結レール部８６に形成
された空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長す
るスリット９０が、空気流出端側から空気流入端側に向
けてその幅が狭くなっている。
５０Ｊの平面図を示している。連結レール部８６に形成
された空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長す
るスリット９０が、空気流出端側から空気流入端側に向
けてその幅が狭くなっている。
【００６３】その結果、連結レール部８６に空気流入端
側から流出端に向けて幅が狭くなる一対のレールを形成
しやすくなり、テーパ加工公差によるテーパ長の変動が
発生しても、スライダ５０Ｊの浮上量変化を小さく抑え
ることができる。
側から流出端に向けて幅が狭くなる一対のレールを形成
しやすくなり、テーパ加工公差によるテーパ長の変動が
発生しても、スライダ５０Ｊの浮上量変化を小さく抑え
ることができる。
【００６４】図１５（Ａ）は本発明第１１実施形態のス
ライダ５０Ｋの平面図を示しており、図１５（Ｂ）は図
１５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。連結レール
部８６に形成されているスリット９２が溝８４の深さよ
り浅いため、容易に負圧を発生させることができ、且つ
圧縮された気流が溝８４で急激に膨張しないため、溝８
４に汚れが付着することもない。
ライダ５０Ｋの平面図を示しており、図１５（Ｂ）は図
１５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。連結レール
部８６に形成されているスリット９２が溝８４の深さよ
り浅いため、容易に負圧を発生させることができ、且つ
圧縮された気流が溝８４で急激に膨張しないため、溝８
４に汚れが付着することもない。
【００６５】図１６は本発明第１２実施形態のスライダ
５０Ｌの平面図を示している。連結レール部８６のテー
パ面８６ａのレール幅が、空気流入端から空気流出端に
向かって減少しているため、テーパ加工公差によるテー
パ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｌの浮上量変化
を小さく抑えることができる。
５０Ｌの平面図を示している。連結レール部８６のテー
パ面８６ａのレール幅が、空気流入端から空気流出端に
向かって減少しているため、テーパ加工公差によるテー
パ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｌの浮上量変化
を小さく抑えることができる。
【００６６】図１７は本発明第１３実施形態のスライダ
５０Ｍの平面図を示している。本実施形態のスライダ５
０Ｍにおいては、連結レール部８６に形成されたスリッ
ト９４の深さが溝８４の深さより浅く、且つスリット９
４の幅が空気流入端５２ａから空気流出端に向けて徐々
に広くなるように形成されている。
５０Ｍの平面図を示している。本実施形態のスライダ５
０Ｍにおいては、連結レール部８６に形成されたスリッ
ト９４の深さが溝８４の深さより浅く、且つスリット９
４の幅が空気流入端５２ａから空気流出端に向けて徐々
に広くなるように形成されている。
【００６７】更に、テーパ面８６ａにおけるレール幅が
空気流入端から空気流出端に向かって減少しているた
め、テーパ加工公差によりテーパ長の変動が発生して
も、スライダ５０Ｍの浮上量変化を小さく抑えることが
できる。
空気流入端から空気流出端に向かって減少しているた
め、テーパ加工公差によりテーパ長の変動が発生して
も、スライダ５０Ｍの浮上量変化を小さく抑えることが
できる。
【００６８】図１８は本発明第１４実施形態のスライダ
５０Ｎの平面図を示している。連結レール部８６の空気
流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット
９６が入っており、スリット９６の深さが溝８４の深さ
よりも浅くなっている。本実施形態のスライダ５０Ｎ
は、負圧を発生させやすく、容易に低浮上を実現するこ
とができる。
５０Ｎの平面図を示している。連結レール部８６の空気
流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット
９６が入っており、スリット９６の深さが溝８４の深さ
よりも浅くなっている。本実施形態のスライダ５０Ｎ
は、負圧を発生させやすく、容易に低浮上を実現するこ
とができる。
【００６９】図１９（Ａ）は本発明第１５実施形態のス
ライダ５０Ｐの平面図を示しており、図１９（Ｂ）は図
１９（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。上述した各
実施形態では、空気流入端で正圧を発生させるため、レ
ール面にテーパを設けていたが、本実施形態では溝７４
の深さの１／２〜１／４程度（溝深さが２〜４μｍの場
合、０．５〜２μｍ）のステップ９８，１００をレール
６８，７０の空気流入端部に形成する。更に、スリット
７２の空気流入端部にステップ１０２を形成する。
ライダ５０Ｐの平面図を示しており、図１９（Ｂ）は図
１９（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。上述した各
実施形態では、空気流入端で正圧を発生させるため、レ
ール面にテーパを設けていたが、本実施形態では溝７４
の深さの１／２〜１／４程度（溝深さが２〜４μｍの場
合、０．５〜２μｍ）のステップ９８，１００をレール
６８，７０の空気流入端部に形成する。更に、スリット
７２の空気流入端部にステップ１０２を形成する。
【００７０】レール６８，７０の空気流入端部に設けた
ステップ９８，１００で正圧を発生させる。従来型方形
スライダの場合と比較すると、ステップ９８，１００，
１０２を形成した空気流入端部の幅が狭くなるため、汚
れの付着量が少なくなり、スライダ５０Ｐの浮上量の変
動を小さく抑えることができる。
ステップ９８，１００で正圧を発生させる。従来型方形
スライダの場合と比較すると、ステップ９８，１００，
１０２を形成した空気流入端部の幅が狭くなるため、汚
れの付着量が少なくなり、スライダ５０Ｐの浮上量の変
動を小さく抑えることができる。
【００７１】図２０は本発明第１６実施形態のスライダ
５０Ｑの平面図を示している。本実施形態のスライダ５
０Ｑは平均レール幅が異なる一対のレール１０４，１０
６を有している。
５０Ｑの平面図を示している。本実施形態のスライダ５
０Ｑは平均レール幅が異なる一対のレール１０４，１０
６を有している。
【００７２】即ち、電磁トランスデューサ６２が位置す
るレール１０６の平均レール幅を、他方のレール１０４
の平均レール幅よりも狭く形成し、必ず電磁トランスデ
ューサ６２側のレール１０６の浮上量を低くする。
るレール１０６の平均レール幅を、他方のレール１０４
の平均レール幅よりも狭く形成し、必ず電磁トランスデ
ューサ６２側のレール１０６の浮上量を低くする。
【００７３】これにより、低浮上時において、スライダ
５０Ｑが磁気ディスクに接触する確率を低下させること
ができる。レール１０４，１０６の間には溝１０８が画
成されている。
５０Ｑが磁気ディスクに接触する確率を低下させること
ができる。レール１０４，１０６の間には溝１０８が画
成されている。
【００７４】図２１は第１６実施形態のスライダ５０Ｑ
の空気流入端及び空気流出端の浮上量を示す図である。
縦軸がスライダ浮上量を、横軸が磁気ディスクの中心か
ら半径方向距離を示している。
の空気流入端及び空気流出端の浮上量を示す図である。
縦軸がスライダ浮上量を、横軸が磁気ディスクの中心か
ら半径方向距離を示している。
【００７５】実線が電磁トランスデューサ搭載レールで
あり、点線が電磁トランスデューサを搭載していないレ
ールの浮上量をそれぞれ示している。空気流入端及び空
気流出端の何れにおいても、電磁トランスデューサ搭載
レールの浮上量が他のレールより低くなっていることが
わかる。
あり、点線が電磁トランスデューサを搭載していないレ
ールの浮上量をそれぞれ示している。空気流入端及び空
気流出端の何れにおいても、電磁トランスデューサ搭載
レールの浮上量が他のレールより低くなっていることが
わかる。
【００７６】次に、図２２（Ａ）及び図２２（Ｂ）を参
照して、スライダの製造方法について概略的に説明す
る。図２２（Ａ）に示すように、まずウエハ１１０上に
複数の電磁トランスデューサ６２を形成する。ウエハ１
１０からＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板１１２をバー形状に切
り出し、これを本明細書においてスティック状ウエハと
称することにする。
照して、スライダの製造方法について概略的に説明す
る。図２２（Ａ）に示すように、まずウエハ１１０上に
複数の電磁トランスデューサ６２を形成する。ウエハ１
１０からＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板１１２をバー形状に切
り出し、これを本明細書においてスティック状ウエハと
称することにする。
【００７７】次いで、スティック状ウエハ１１２上にフ
ォトレジストのマスクパターンを形成し、イオンミリン
グでエッチングして図２２（Ｂ）に示すようにスティッ
ク状ウエハ１１２上に複数のレール５４，５６を形成す
る。
ォトレジストのマスクパターンを形成し、イオンミリン
グでエッチングして図２２（Ｂ）に示すようにスティッ
ク状ウエハ１１２上に複数のレール５４，５６を形成す
る。
【００７８】図２３を参照すると、スティック状ウエハ
１１２の第１の切断方法が示されている。即ち、本発明
のスライダは台形形状をしているため、スティック状ウ
エハ１１２から個々のスライダを分離するのに特別な切
断方法が必要である。
１１２の第１の切断方法が示されている。即ち、本発明
のスライダは台形形状をしているため、スティック状ウ
エハ１１２から個々のスライダを分離するのに特別な切
断方法が必要である。
【００７９】回転カッター１１４はその外周面に切断刃
１１６を有している。切断刃１１６は図２４に示すよう
な特別な断面形状をしている。即ち、切断刃１１６は台
形スライダ５０Ａの傾斜側面と角度と等しい傾斜角を有
している。更に、切断刃１１６は台形スライダ５０Ａの
長さよりも大きな半径方向長さＬを有している。
１１６を有している。切断刃１１６は図２４に示すよう
な特別な断面形状をしている。即ち、切断刃１１６は台
形スライダ５０Ａの傾斜側面と角度と等しい傾斜角を有
している。更に、切断刃１１６は台形スライダ５０Ａの
長さよりも大きな半径方向長さＬを有している。
【００８０】このような切断刃１１６を有する複数の回
転カッター１１４を図２３に示すように等間隔で並設
し、個々のスライダ５０Ａの空気流入端５２ａが上側と
なるようにスティック状ウエハ１１２を立てながら、カ
ッター１１４に対してスティック状ウエハ１１２を矢印
１１８で示す水平方向に搬送してスティック状ウエハ１
１２を個々のスライダ５０Ａに切断する。
転カッター１１４を図２３に示すように等間隔で並設
し、個々のスライダ５０Ａの空気流入端５２ａが上側と
なるようにスティック状ウエハ１１２を立てながら、カ
ッター１１４に対してスティック状ウエハ１１２を矢印
１１８で示す水平方向に搬送してスティック状ウエハ１
１２を個々のスライダ５０Ａに切断する。
【００８１】ここで注意すべきは、スティック状ウエハ
１１２を搬送するときのカッター１１４の切断刃１１６
に対する高さの関係が重要であり、カッター１１４の真
下において図２４に示すような高さ関係となるようにス
ティック状ウエハ１１２を搬送する。スティック状ウエ
ハ１１２がカッター１１４の真下を通過すると、スティ
ック状ウエハ１１２は複数の台形スライダ５０Ａに分離
される。
１１２を搬送するときのカッター１１４の切断刃１１６
に対する高さの関係が重要であり、カッター１１４の真
下において図２４に示すような高さ関係となるようにス
ティック状ウエハ１１２を搬送する。スティック状ウエ
ハ１１２がカッター１１４の真下を通過すると、スティ
ック状ウエハ１１２は複数の台形スライダ５０Ａに分離
される。
【００８２】スティック状ウエハ１１２の切断を自動化
するためには、図２５に示すようなステージ１２０が使
用される。ステージ１２０はスティック状ウエハ１１２
が丁度収容される複数の溝１２２を有している。更に、
これらの溝１２２と直角方向に複数のスリット１２４が
形成されている。これらのスリット１２４中を切断刃１
１６が通過する。
するためには、図２５に示すようなステージ１２０が使
用される。ステージ１２０はスティック状ウエハ１１２
が丁度収容される複数の溝１２２を有している。更に、
これらの溝１２２と直角方向に複数のスリット１２４が
形成されている。これらのスリット１２４中を切断刃１
１６が通過する。
【００８３】図２６（Ａ）は図２５の２６Ａ−２６Ａ線
断面図を示しており、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−
２６Ｂ線断面図をそれぞれ示している。このステージ１
２０を使用してスティック状ウエハ１１２を切断するに
は、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにス
ティック状ウエハ１１２をステージ１２０の溝１２２中
に挿入する。
断面図を示しており、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−
２６Ｂ線断面図をそれぞれ示している。このステージ１
２０を使用してスティック状ウエハ１１２を切断するに
は、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにス
ティック状ウエハ１１２をステージ１２０の溝１２２中
に挿入する。
【００８４】そして、ステージ１２０をキャリアにより
水平方向に搬送しながら、スティック状ウエハ１１２を
個々のスライダに切断する。切断時には、回転カッター
１１４の切断刃１１６はステージ１２０のスリット１２
４を通過する。
水平方向に搬送しながら、スティック状ウエハ１１２を
個々のスライダに切断する。切断時には、回転カッター
１１４の切断刃１１６はステージ１２０のスリット１２
４を通過する。
【００８５】図２７を参照すると、スティック状ウエハ
の第２の切断方法が示されている。この切断方法による
と、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにス
ティック状ウエハ１１２を立ててウエハを回転カッター
１１４の真下に位置付けする。
の第２の切断方法が示されている。この切断方法による
と、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにス
ティック状ウエハ１１２を立ててウエハを回転カッター
１１４の真下に位置付けする。
【００８６】そして、切断箇所がカッター１１４の中心
を通る鉛直線に実質上一致するように、スティック状ウ
エハ１１２をカッター１１４に対して鉛直方向上方に移
動して、スティック状ウエハ１１２を個々のスライダに
切断する。カッター１１４の切断刃１１６は図２４に示
した切断刃と同様な形状をしている。
を通る鉛直線に実質上一致するように、スティック状ウ
エハ１１２をカッター１１４に対して鉛直方向上方に移
動して、スティック状ウエハ１１２を個々のスライダに
切断する。カッター１１４の切断刃１１６は図２４に示
した切断刃と同様な形状をしている。
【００８７】図２８を参照すると、切断の位置決めに適
したスティック状ウエハ１１２′が示されている。この
スティック状ウエハ１１２′は隣接するスライダとスラ
イダの間にスティック状ウエハ１１２′の幅方向全長に
渡る突起１２８を有している。これらの突起１２８はイ
オンミリングによりレール５４，５６を加工するのと同
時に加工される。
したスティック状ウエハ１１２′が示されている。この
スティック状ウエハ１１２′は隣接するスライダとスラ
イダの間にスティック状ウエハ１１２′の幅方向全長に
渡る突起１２８を有している。これらの突起１２８はイ
オンミリングによりレール５４，５６を加工するのと同
時に加工される。
【００８８】このように、スティック状ウエハ１１２′
は複数の突起１２８を有しているため、これらの突起１
２８をカッター１１４の切断刃１１６を位置決めするた
めのガイドとして利用できる。これらの突起１２８をガ
イドとしてスティック状ウエハ１１２′を切断すること
により、スティック状ウエハ１１２′を個々のスライダ
に容易に分離できる。
は複数の突起１２８を有しているため、これらの突起１
２８をカッター１１４の切断刃１１６を位置決めするた
めのガイドとして利用できる。これらの突起１２８をガ
イドとしてスティック状ウエハ１１２′を切断すること
により、スティック状ウエハ１１２′を個々のスライダ
に容易に分離できる。
【００８９】
【発明の効果】本発明によれば、スライダ加工時に生じ
るレール面平面性公差による浮上量の変動及びテーパ長
の加工公差による浮上量の変動を抑制することができ、
良好な浮上特性を有するヘッドスライダを提供すること
ができる。
るレール面平面性公差による浮上量の変動及びテーパ長
の加工公差による浮上量の変動を抑制することができ、
良好な浮上特性を有するヘッドスライダを提供すること
ができる。
【図１】図１（Ａ）は従来の磁気ヘッドスライダの平面
図であり、図１（Ｂ）は浮上状態におけるその斜視図で
ある。
図であり、図１（Ｂ）は浮上状態におけるその斜視図で
ある。
【図２】磁気ディスク装置の斜視図である。
【図３】本発明第１実施形態のスライダの平面図であ
る。
る。
【図４】第１実施形態のスライダの浮上状態の斜視図で
ある。
ある。
【図５】第１実施形態のスライダの圧力分布を示す図で
ある。
ある。
【図６】第２実施形態のスライダの平面図である。
【図７】第３実施形態のスライダの平面図である。
【図８】第４実施形態のスライダの平面図である。
【図９】第５実施形態のスライダの平面図である。
【図１０】第６実施形態のスライダの平面図である。
【図１１】第７実施形態のスライダの平面図である。
【図１２】第８実施形態のスライダの平面図である。
【図１３】第９実施形態のスライダの平面図である。
【図１４】第１０実施形態のスライダの平面図である。
【図１５】図１５（Ａ）は第１１実施形態のスライダの
平面図であり、図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）のＢ−Ｂ線
に沿った断面図である。
平面図であり、図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）のＢ−Ｂ線
に沿った断面図である。
【図１６】第１２実施形態のスライダの平面図である。
【図１７】第１３実施形態のスライダの平面図である。
【図１８】第１４実施形態のスライダの平面図である。
【図１９】図１９（Ａ）は第１５実施形態のスライダの
平面図であり、図１９（Ｂ）は図１９（Ａ）のＢ−Ｂ線
に沿った断面図である。
平面図であり、図１９（Ｂ）は図１９（Ａ）のＢ−Ｂ線
に沿った断面図である。
【図２０】第１６実施形態のスライダの平面図である。
【図２１】第１６実施形態のスライダの浮上量を示す図
である。
である。
【図２２】図２２（Ａ）はウエハの斜視図であり、図２
２（Ｂ）は図２２（Ａ）に示すウエハから切り出したス
ティック状ウエハの斜視図である。
２（Ｂ）は図２２（Ａ）に示すウエハから切り出したス
ティック状ウエハの斜視図である。
【図２３】第１の切断方法を示す図である。
【図２４】切断刃の断面形状を示す図である。
【図２５】ステージの斜視図である。
【図２６】図２６（Ａ）は図２５の２６Ａ−２６Ａ線断
面図であり、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−２６Ｂ線
断面図である。
面図であり、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−２６Ｂ線
断面図である。
【図２７】第２の切断方法を示す図である。
【図２８】切断の位置決めに適したスティック状ウエハ
を示す図である。
を示す図である。
５０Ａ〜５０Ｑ 磁気ヘッドスライダ ５２ａ 空気流入端 ５２ｂ 空気流出端 ５４，５６ レール ５４ａ，５６ａ レール面（空気ベアリング表面） ５４ｂ，５６ｂ テーパ面 ５８ スリット ６０ 溝 ６２ 電磁トランスデューサ
Claims (27)
- 【請求項１】 空気流入端と空気流出端を有するヘッド
スライダであって、ディスクに対向するディスク対向面
に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生
するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレ
ールと；前記一対のレールの間の空気流入端側に画成さ
れたスリットと；前記スリットに連続して前記一対のレ
ールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させ
て負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；前
記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成された
トランスデューサを具備し；前記スライダは空気流入端
側よりも空気流出端側が広い台形形状を有していること
を特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記各レールは流入端部と、流出端部
と、中間部分とを有しており、各レールの流出端部中心
が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に
位置している請求項１記載のヘッドスライダ。 - 【請求項３】 前記各レールは流入端側に空気ベアリン
グ表面に連続して形成されたテーパ面を有しており、該
テーパ面を有するレール部分のレール幅が流入端側から
流出端側に向かって連続して減少する請求項１記載のヘ
ッドスライダ。 - 【請求項４】 前記一対のレールの内側側面は前記テー
パ面を有するレール部分でスライダ長手方向中心軸線に
平行である請求項３記載のヘッドスライダ。 - 【請求項５】 前記スリットの深さは前記溝の深さより
も浅い請求項１記載のヘッドスライダ。 - 【請求項６】 前記各レールは流入端側に段差を有する
請求項１記載のヘッドスライダ。 - 【請求項７】 前記一方のレールの平均レール幅は他方
のレールの平均レール幅よりも狭い請求項１記載のヘッ
ドスライダ。 - 【請求項８】 前記各レールの前記テーパ面を有する部
分のレール幅が流入端側から流出端側に連続して減少す
る請求項５記載のヘッドスライダ。 - 【請求項９】 前記スリットの幅が流入端から流出端に
かけて連続して増加する請求項８記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項１０】 空気流入端と空気流出端を有するヘッ
ドスライダであって、 ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それ
ぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対の
レールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；前
記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成され
た、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる
前記スリットよりも幅広の溝と；前記レールの一方が位
置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを
具備し；前記スライダは空気流出端側に互いに概略平行
な一対の側面と、該一対の側面から空気流入端に向けて
連続して互いに近付く一対の傾斜側面とを有しているこ
とを特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項１１】 前記各レールは流入端部と、流出端部
と、中間部分とを有しており、各レールの流出端部中心
が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に
位置している請求項１０記載のヘッドスライダ。 - 【請求項１２】 前記各レールは流入端側に空気ベアリ
ング表面に連続して形成されたテーパ面を有しており、
該テーパ面を有するレールのレール幅が流入端側から流
出端側に向かって連続して減少する請求項１０記載のヘ
ッドスライダ。 - 【請求項１３】 前記一対のレールの内側側面は前記テ
ーパ面を有するレール部分でスライダ長手方向中心軸線
に平行である請求項１０記載のヘッドスライダ。 - 【請求項１４】 空気流入端と空気流出端を有するヘッ
ドスライダであって、 ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それ
ぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対の
レールを空気流入端側で連結する連結レール部と；前記
一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を
膨張させて負圧を発生させる溝と；前記一方のレールが
位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサ
とを具備し；前記スライダは空気流入端側よりも空気流
出端側が広い台形形状を有していることを特徴とするヘ
ッドスライダ。 - 【請求項１５】 前記連結レール部は空気流入端側にテ
ーパ面を有しており、該テーパ面の形成された連結レー
ル部のレール幅が流入端側から流出端側に連続して減少
することを特徴とする請求項１４記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項１６】 前記連結レール部は横方向概略中心部
分に前記溝から前記テーパ面の一部にかけて伸長するス
リットを有している請求項１５記載のヘッドスライダ。 - 【請求項１７】 前記スリットは流入端から流出端に向
けてその幅が増加する請求項１６記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項１８】 空気流入端と空気流出端を有するヘッ
ドスライダであって、 ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それ
ぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記レール
の一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランス
デューサを具備し；前記一対のレールの間の間隔は空気
流入端から空気流出端に向けて広がっており；前記スラ
イダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状
を有していることを特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項１９】 空気流入端と空気流出端を有するヘッ
ドスライダであって、 ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それ
ぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空
気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記レール
の一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランス
デューサを具備し；前記一対のレールはその間に一旦圧
縮された空気を膨張させて負圧を発生される溝を画成し
ており、前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端
側が広い台形形状を有しており、 前記一対のレールの各々は前記スライダの両側エッジに
ほぼ平行に形成されていることを特徴とするヘッドスラ
イダ。 - 【請求項２０】 ディスク装置であって、 ハウジングと；該ハウジング内に回転可能に取り付けら
れたディスクと；前記ディスクに対してデータをライト
／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダ
と；前記ヘッドスライダをディスクのトラックを横切っ
て移動させるアクチュエータとを具備し；前記ヘッドス
ライダは、ディスクに対向するディスク対向面に形成さ
れた、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するため
の平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリ
ットと；前記スリットに連続して前記一対のレールの間
に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を
発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；前記レール
の一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランス
デューサとを具備し；前記スライダは空気流入端側より
も空気流出端側が広い台形形状を有していることを特徴
とするディスク装置。 - 【請求項２１】 複数のスライダが横方向に並んで形成
されている所定幅のスティック状ウエハを切断して台形
スライダを得るスティック状ウエハの切断方法であっ
て、 前記台形スライダの傾斜側面の角度と等しい傾斜角の切
断刃を有する回転カッターを設け；個々のスライダの空
気流入端が上側となるように前記スティック状ウエハを
立てながら、前記カッターに対して該スティック状ウエ
ハを概略水平方向に搬送して切断する；ことを特徴とす
るスティック状ウエハの切断方法。 - 【請求項２２】 前記切断刃の半径方向長さは前記ステ
ィック状ウエハの幅以上である請求項２１記載のスティ
ック状ウエハの切断方法。 - 【請求項２３】 前記スティック状ウエハは隣接するス
ライダの中間部分に空気流入端に達する切断位置決め用
の突起を有している請求項２１記載のスティック状ウエ
ハの切断方法。 - 【請求項２４】 複数のスライダが横方向に並んで形成
されている所定幅のスティック状ウエハを切断して台形
スライダを得るスティック状ウエハの切断方法であっ
て、 前記台形スライダの傾斜側面の角度と等しい傾斜角の切
断刃を有する回転カッターを設け；個々のスライダの空
気流入端が上側となるように前記スティック状ウエハを
立てて該ウエハを前記カッターの真下に位置付けし；切
断箇所が前記カッターの中心を通る鉛直線に実質上一致
するように、前記スティック状ウエハを前記カッターに
対して鉛直方向に移動して切断する；ことを特徴とする
スティック状ウエハの切断方法。 - 【請求項２５】 前記切断刃の半径方向長さは前記ステ
ィック状ウエハの幅以上である請求項２４記載のスティ
ック状ウエハの切断方法。 - 【請求項２６】 前記スティック状ウエハは隣接するス
ライダの中間部分に空気流入端に達する切断位置決め用
の突起を有している請求項２４記載のスティック状ウエ
ハの切断方法。 - 【請求項２７】 複数のスライダが横方向に並んで形成
されている所定幅のスティック状ウエハを切断して複数
の台形スライダを得るスティック状ウエハの切断方法で
あって、 前記台形スライダの傾斜側面の角度と等しい傾斜角の切
断刃を有する複数の回転カッターを所定間隔離間して設
け；前記スティック状ウエハが挿入される溝と、該溝に
対して直角方向に前記所定間隔で形成された複数のスリ
ットとを有するステージを設け；個々のスライダの空気
流入端が上側となるように前記スティック状ウエハを前
記ステージの溝中に挿入し；前記ステージを前記カッタ
ーに対して概略水平方向に搬送して前記スティック状ウ
エハを切断する；ことを特徴とするスティック状ウエハ
の切断方法。
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-
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