JPH10321179A - 走査型電子顕微鏡のパラメータ入力装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡のパラメータ入力装置Info
- Publication number
- JPH10321179A JPH10321179A JP9133043A JP13304397A JPH10321179A JP H10321179 A JPH10321179 A JP H10321179A JP 9133043 A JP9133043 A JP 9133043A JP 13304397 A JP13304397 A JP 13304397A JP H10321179 A JPH10321179 A JP H10321179A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parameter
- mouse
- operation panel
- operator
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料観察の際、観察用モニタから視線を外さ
ずに、倍率、視野等のパラメータ数値を入力できる。 【解決手段】 走査型電子顕微鏡の電子光学系と試料台
とを制御するパラメータを入力するために、操作パネル
２、マウス３及びホストコンピュータ４を設ける。操作
パネル２はパラメータの種類の選択又は解除に用いら
れ、マウス３はパラメータの数値の入力又は変更に用い
られる。このように、操作パネルとマウスの機能分担を
図る。
ずに、倍率、視野等のパラメータ数値を入力できる。 【解決手段】 走査型電子顕微鏡の電子光学系と試料台
とを制御するパラメータを入力するために、操作パネル
２、マウス３及びホストコンピュータ４を設ける。操作
パネル２はパラメータの種類の選択又は解除に用いら
れ、マウス３はパラメータの数値の入力又は変更に用い
られる。このように、操作パネルとマウスの機能分担を
図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査型電子顕微鏡
のパラメータ入力装置に関する。
のパラメータ入力装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型電子顕微鏡による観察において
は、オペレータは、観察目的に応じて、焦点、コントラ
スト、ブライトネス、倍率などの電子光学系に関わるパ
ラメータや、試料の観察位置（基準地点からの距離）と
いう試料台に関わるパラメータを入力したり変更したり
する。
は、オペレータは、観察目的に応じて、焦点、コントラ
スト、ブライトネス、倍率などの電子光学系に関わるパ
ラメータや、試料の観察位置（基準地点からの距離）と
いう試料台に関わるパラメータを入力したり変更したり
する。
【０００３】従来の走査型電子顕微鏡では、オペレータ
の観察目的に応じて電子光学系や試料台を制御するため
のパラメータを入力するための装置として、操作パネル
が設置されている。この操作パネルには、一般に、パラ
メータの種類と同数のダイヤルやボタンが付いており、
オペレータは、必要に応じてダイヤル等を選択し、その
ダイヤル等を廻すことによってパラメータの数値を入力
していた。すなわち、オペレータは、パラメータの種類
の選択、パラメータの数値の入力又は変更、及び選択し
たパラメータの種類の解除と少なくとも３つのステップ
を順次行わなければならない。
の観察目的に応じて電子光学系や試料台を制御するため
のパラメータを入力するための装置として、操作パネル
が設置されている。この操作パネルには、一般に、パラ
メータの種類と同数のダイヤルやボタンが付いており、
オペレータは、必要に応じてダイヤル等を選択し、その
ダイヤル等を廻すことによってパラメータの数値を入力
していた。すなわち、オペレータは、パラメータの種類
の選択、パラメータの数値の入力又は変更、及び選択し
たパラメータの種類の解除と少なくとも３つのステップ
を順次行わなければならない。
【０００４】また、近年の走査型電子顕微鏡では、この
ようなパラメータを、パーソナルコンピュータやワーク
ステーションなどのＣＰＵホストコンピュータにより集
中制御する方向にある。そして、試料像を表示する観察
用モニタ上に、上記のパラメータ情報を併せて表示する
ことで、オペレータの視線の移動を少なくするという工
夫もなされている。
ようなパラメータを、パーソナルコンピュータやワーク
ステーションなどのＣＰＵホストコンピュータにより集
中制御する方向にある。そして、試料像を表示する観察
用モニタ上に、上記のパラメータ情報を併せて表示する
ことで、オペレータの視線の移動を少なくするという工
夫もなされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の走査型電子顕微
鏡の操作パネルでは、オペレータは、選択すべきパラメ
ータに対応するダイヤル等を探したり、指示計を注視し
つつダイヤル等を回転しなければならない。従って、こ
のような作業中はオペレータの視線は観察用モニタから
離れてしまう。
鏡の操作パネルでは、オペレータは、選択すべきパラメ
ータに対応するダイヤル等を探したり、指示計を注視し
つつダイヤル等を回転しなければならない。従って、こ
のような作業中はオペレータの視線は観察用モニタから
離れてしまう。
【０００６】一方、上記のホストコンピュータによる制
御では、オペレータからの指示はキーボードとマウスで
入力される形態になり、特に最近ではほとんどの指示は
マウスにより行われる。しかし、マウスによって上記の
３つのステップを実行するには、操作画面上のボタンや
メニューなどの選択動作を繰り返さなければならず、こ
の間、オペレータは観察に集中することができない。こ
れは、マウスとキーボードを併用しても同様である。特
に、試料の状態変化を観察する場合では、各種パラメー
タの変更が多く、試料の状態変化にリアルタイムに対応
することは非常に困難である。
御では、オペレータからの指示はキーボードとマウスで
入力される形態になり、特に最近ではほとんどの指示は
マウスにより行われる。しかし、マウスによって上記の
３つのステップを実行するには、操作画面上のボタンや
メニューなどの選択動作を繰り返さなければならず、こ
の間、オペレータは観察に集中することができない。こ
れは、マウスとキーボードを併用しても同様である。特
に、試料の状態変化を観察する場合では、各種パラメー
タの変更が多く、試料の状態変化にリアルタイムに対応
することは非常に困難である。
【０００７】本発明は、試料の観察を行いながら、つま
り観察用モニタから視線を外さずにパラメータの種類の
選択又は解除やパラメータの数値の入力又は変更を可能
にするパラメータ入力装置を提供することを目的とす
る。
り観察用モニタから視線を外さずにパラメータの種類の
選択又は解除やパラメータの数値の入力又は変更を可能
にするパラメータ入力装置を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の発明は、走査型電子顕微鏡の電子光学系と試料台とを
制御する複数のパラメータを入力するために用いられ
る、操作パネル、マウス及びホストコンピュータから構
成されたパラメータ入力装置である。操作パネルは、パ
ラメータの種類の選択又は解除に用いられ、マウスは、
パラメータの数値の入力又は変更に用いられ、操作パネ
ルとマウスの分担が明確化されている（請求項２）。
の発明は、走査型電子顕微鏡の電子光学系と試料台とを
制御する複数のパラメータを入力するために用いられ
る、操作パネル、マウス及びホストコンピュータから構
成されたパラメータ入力装置である。操作パネルは、パ
ラメータの種類の選択又は解除に用いられ、マウスは、
パラメータの数値の入力又は変更に用いられ、操作パネ
ルとマウスの分担が明確化されている（請求項２）。
【０００９】操作パネルをオペレータの一方の側に設
け、マウスをオペレータの他方の側に設けることによ
り、オペレータは、試料の観察を行いながら、各種パラ
メータを設定できる（請求項３）。
け、マウスをオペレータの他方の側に設けることによ
り、オペレータは、試料の観察を行いながら、各種パラ
メータを設定できる（請求項３）。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態に係
るパラメータ入力装置を説明するための概略構成図であ
る。パラメータ入力装置１は、操作パネル２、マウス３
及びホストコンピュータ４から構成されている。オペレ
ータは、操作パネル２、マウス３を操作することによ
り、必要なパラメータを入力する。これらのパラメータ
情報はホストコンピュータ２に入力され処理された後
に、走査型電子顕微鏡の電子光学系と試料台の制御に用
いられる。また、パラメータ情報はモニタ５に表示され
る。モニタ５には試料の画像も併せて表示されている。
すなわち、モニタ５には、操作画面と観察画面が併せて
表示される。
るパラメータ入力装置を説明するための概略構成図であ
る。パラメータ入力装置１は、操作パネル２、マウス３
及びホストコンピュータ４から構成されている。オペレ
ータは、操作パネル２、マウス３を操作することによ
り、必要なパラメータを入力する。これらのパラメータ
情報はホストコンピュータ２に入力され処理された後
に、走査型電子顕微鏡の電子光学系と試料台の制御に用
いられる。また、パラメータ情報はモニタ５に表示され
る。モニタ５には試料の画像も併せて表示されている。
すなわち、モニタ５には、操作画面と観察画面が併せて
表示される。
【００１１】従来の操作では、モニタ５に表示されてい
る操作画面上のボタンやメニュー等をマウス３で指示
し、観察の際にパラメータ変更が必要な場合、パラメー
タの種類の選択、パラメータの数値の変更、選択パラメ
ータの解除を繰り返していた。この３つのステップ全て
をマウス３のみで入力指示するのは以下の理由から望ま
しくない。つまり、１つの画面上でもオペレータの視線
は、操作画面上のボタンやメニューに移ってしまい、そ
の間は試料像の観察ができないからである。また、マウ
ス３の入力指示の時間差も、試料の状態変化に速やかに
対応することを妨げる。
る操作画面上のボタンやメニュー等をマウス３で指示
し、観察の際にパラメータ変更が必要な場合、パラメー
タの種類の選択、パラメータの数値の変更、選択パラメ
ータの解除を繰り返していた。この３つのステップ全て
をマウス３のみで入力指示するのは以下の理由から望ま
しくない。つまり、１つの画面上でもオペレータの視線
は、操作画面上のボタンやメニューに移ってしまい、そ
の間は試料像の観察ができないからである。また、マウ
ス３の入力指示の時間差も、試料の状態変化に速やかに
対応することを妨げる。
【００１２】そこで、本実施形態においては、パラメー
タの種類の選択及び解除には操作パネル２を使い、パラ
メータの数値の入力にはマウス３を使う。このように、
操作パネルとマウスを使い分ければ速やかなパラメータ
の入力、変更が可能になる。操作パネル２には、比較的
頻繁に変更するパラメータに対応するスイッチが設けら
れる。スイッチの数は、容易に確実に操作するためには
５個程度が望ましい。パラメータの種類が多い場合は、
キーボードを補助的に用いればよい。
タの種類の選択及び解除には操作パネル２を使い、パラ
メータの数値の入力にはマウス３を使う。このように、
操作パネルとマウスを使い分ければ速やかなパラメータ
の入力、変更が可能になる。操作パネル２には、比較的
頻繁に変更するパラメータに対応するスイッチが設けら
れる。スイッチの数は、容易に確実に操作するためには
５個程度が望ましい。パラメータの種類が多い場合は、
キーボードを補助的に用いればよい。
【００１３】スイッチ操作は、例えば、パラメータの種
類を選択するには「ＯＮ」、解除するには「ＯＦＦ」と
する。すなわち、スイッチ「ＯＮ」の時にはホストコン
ピュータ４はパラメータの種類の選択と認識し、「ＯＦ
Ｆ」の時には解除と認識するようにする。マウスは、通
常２つのボタンを持っている。本実施形態では、これら
の２つのボタンを、図１のように３ａ、３ｂで示してい
る。例えば、ボタン３ａを押した時にパラメータの数値
がアップし、ボタン３ｂを押した時にパラメータの数値
がダウンするように設定しておけば、観察時に変更が要
求されるフォーカス、コントラスト、ブライトネス、試
料台の移動距離などは変更可能である。
類を選択するには「ＯＮ」、解除するには「ＯＦＦ」と
する。すなわち、スイッチ「ＯＮ」の時にはホストコン
ピュータ４はパラメータの種類の選択と認識し、「ＯＦ
Ｆ」の時には解除と認識するようにする。マウスは、通
常２つのボタンを持っている。本実施形態では、これら
の２つのボタンを、図１のように３ａ、３ｂで示してい
る。例えば、ボタン３ａを押した時にパラメータの数値
がアップし、ボタン３ｂを押した時にパラメータの数値
がダウンするように設定しておけば、観察時に変更が要
求されるフォーカス、コントラスト、ブライトネス、試
料台の移動距離などは変更可能である。
【００１４】以上のように、操作パネル２とマウス３を
使い分けることにより、オペレータは、観察画面を注視
したままで各種のパラメータを変更することができる。
次に、試料像の観察中に試料の状態変化により、フォー
カスとコントラストの変更の必要が発生した場合につい
て図１を参照しながら具体的に述べる。オペレータの視
線はモニタ５に表示されている観察画面にあり、オペレ
ータの左手に操作パネル２、オペレータの右手にマウス
３があるとする。多くの場合、オペレータの利き腕は右
手であるので、比較的細かい調整動作を要するマウスは
右手で操作するのが合理的である。勿論、利き腕が左手
のオペレータは、マウス３を左側に、操作パネル２を右
側に置いて、マウス３を左手で操作すればよい。重要な
点は、左右両手を同時に使えることである。
使い分けることにより、オペレータは、観察画面を注視
したままで各種のパラメータを変更することができる。
次に、試料像の観察中に試料の状態変化により、フォー
カスとコントラストの変更の必要が発生した場合につい
て図１を参照しながら具体的に述べる。オペレータの視
線はモニタ５に表示されている観察画面にあり、オペレ
ータの左手に操作パネル２、オペレータの右手にマウス
３があるとする。多くの場合、オペレータの利き腕は右
手であるので、比較的細かい調整動作を要するマウスは
右手で操作するのが合理的である。勿論、利き腕が左手
のオペレータは、マウス３を左側に、操作パネル２を右
側に置いて、マウス３を左手で操作すればよい。重要な
点は、左右両手を同時に使えることである。
【００１５】先ず、オペレータは、操作パネル２に設け
られているフォーカス選択スイッチ２ａを押す。この
時、ホストコンピュータ４はフォーカス変更モードが選
択されていることを認識する。次に、オペレータは、マ
ウス３のボタン３ａもしくは３ｂを押す。この時、ホス
トコンピュータ４はフォーカス変更モードで、マウス３
のボタンが押されたので、押し続けた時間に相当する分
だけフォーカス距離を移動するように電子光学系、試料
台駆動部のいずれかをフィードバック制御する。フォー
カス制御の場合は、一般に、微動ならば電子光学系を制
御し、ストローク長が大きければ試料台を制御するの
で、２通りのフォーカス変更モードを設定してもよい。
られているフォーカス選択スイッチ２ａを押す。この
時、ホストコンピュータ４はフォーカス変更モードが選
択されていることを認識する。次に、オペレータは、マ
ウス３のボタン３ａもしくは３ｂを押す。この時、ホス
トコンピュータ４はフォーカス変更モードで、マウス３
のボタンが押されたので、押し続けた時間に相当する分
だけフォーカス距離を移動するように電子光学系、試料
台駆動部のいずれかをフィードバック制御する。フォー
カス制御の場合は、一般に、微動ならば電子光学系を制
御し、ストローク長が大きければ試料台を制御するの
で、２通りのフォーカス変更モードを設定してもよい。
【００１６】フォーカス値が適切値になったときは、操
作パネル２のフォーカス選択スイッチ２ａからオペレー
タの手が離れ、ホストコンピュータ４はフォーカス設定
モードが解除されたことを認識する。次に、オペレータ
は、操作パネル２に設けられているコントラスト選択ス
イッチ２ｂを押す。この時、ホストコンピュータ４はコ
ントラスト変更モードが選択されていることを認識す
る。
作パネル２のフォーカス選択スイッチ２ａからオペレー
タの手が離れ、ホストコンピュータ４はフォーカス設定
モードが解除されたことを認識する。次に、オペレータ
は、操作パネル２に設けられているコントラスト選択ス
イッチ２ｂを押す。この時、ホストコンピュータ４はコ
ントラスト変更モードが選択されていることを認識す
る。
【００１７】続いてオペレータは、マウス３のボタン３
ａもしくは３ｂを押す。この時、ホストコンピュータ４
はコントラスト変更モードで、マウス３のボタンで指示
された分だけ、コントラストをフィードバック制御し、
コントラスト値を変更する。コントラスト値が適切値に
なったときは、操作パネル２のコントラスト選択スイッ
チ２ｂからオペレータの手が離れ、ホストコンピュータ
４はコントラスト設定モードが解除されたことを認識す
る。
ａもしくは３ｂを押す。この時、ホストコンピュータ４
はコントラスト変更モードで、マウス３のボタンで指示
された分だけ、コントラストをフィードバック制御し、
コントラスト値を変更する。コントラスト値が適切値に
なったときは、操作パネル２のコントラスト選択スイッ
チ２ｂからオペレータの手が離れ、ホストコンピュータ
４はコントラスト設定モードが解除されたことを認識す
る。
【００１８】このように、観察画像の変化に対応したパ
ラメータ変更が、モニタ５から視線を外すことなく行え
るので操作性が向上するとともに、オペレータの疲労を
軽減する効果もある。また、操作パネルのスイッチ数
は、視線を移動しないために５個程度にしているが、様
々な用途に対応するためにはスイッチのモードを設定変
更できるようにすればよい。
ラメータ変更が、モニタ５から視線を外すことなく行え
るので操作性が向上するとともに、オペレータの疲労を
軽減する効果もある。また、操作パネルのスイッチ数
は、視線を移動しないために５個程度にしているが、様
々な用途に対応するためにはスイッチのモードを設定変
更できるようにすればよい。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、観察時にパラメータの
変更が必要になった場合に、オペレータは、観察画面か
ら視線を外すことなくパラメータの変更作業ができる。
特に、試料の状態の変化が激しいときでも、リアルタイ
ムな観察ができる。また、操作パネルとマウスに機能を
分担させるので、操作性が向上する。
変更が必要になった場合に、オペレータは、観察画面か
ら視線を外すことなくパラメータの変更作業ができる。
特に、試料の状態の変化が激しいときでも、リアルタイ
ムな観察ができる。また、操作パネルとマウスに機能を
分担させるので、操作性が向上する。
【図１】本発明の実施の形態に係るパラメータ入力装置
を説明するための概略構成図である。
を説明するための概略構成図である。
１・・・・・パラメータ入力装置 ２・・・・・操作パネル ３・・・・・マウス ４・・・・・ホストコンピュータ ５・・・・・モニタ
Claims (3)
- 【請求項１】 電子ビームを発生し、該電子ビームを試
料に照射し、前記試料から放出された電子を検出する電
子光学系と、前記試料を載置する移動可能な試料台と、
を制御する複数のパラメータを入力するために用いられ
る、走査型電子顕微鏡のパラメータ入力装置において、 前記パラメータ入力装置は、オペレータが前記パラメー
タを入力するための操作パネル及びマウスと、前記パラ
メータの情報に基づいて前記電子光学系及び試料台を制
御するホストコンピュータと、から構成されたことを特
徴とする、走査型電子顕微鏡のパラメータ入力装置。 - 【請求項２】 前記操作パネルは、前記パラメータの選
択、解除に用いられ、前記マウスは、選択されたパラメ
ータの数値の入力或いは変更に用いられることを特徴と
する、請求項１に記載の走査型電子顕微鏡のパラメータ
入力装置。 - 【請求項３】 前記操作パネルは、前記オペレータの前
面の左右いずれかに配置され、前記マウスは、前記オペ
レータに対し前記操作パネルと反対側に配置されたこと
を特徴とする、請求項１又は２に記載の走査型電子顕微
鏡のパラメータ入力装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9133043A JPH10321179A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 走査型電子顕微鏡のパラメータ入力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9133043A JPH10321179A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 走査型電子顕微鏡のパラメータ入力装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321179A true JPH10321179A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15095484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9133043A Pending JPH10321179A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 走査型電子顕微鏡のパラメータ入力装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10321179A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009081661A1 (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | 試料同定装置および試料同定方法 |
-
1997
- 1997-05-23 JP JP9133043A patent/JPH10321179A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009081661A1 (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | 試料同定装置および試料同定方法 |
| JP2009148224A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 試料同定装置および試料同定方法 |
| US8867815B2 (en) | 2007-12-21 | 2014-10-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Sample identification device and sample identification method |
| DE112008003471B4 (de) * | 2007-12-21 | 2016-05-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Probenidentifizierungs-Vorrichtung und Probenidentifizierungs-Verfahren |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6292178B1 (en) | Screen navigation control apparatus for ophthalmic surgical instruments | |
| US5982532A (en) | Process for the operation of an operation microscope | |
| US11215807B2 (en) | Microscope having a button for switching between functions of a focus knob | |
| JP2008099874A (ja) | 内視鏡プロセッサおよび内視鏡システム | |
| JP2000194469A (ja) | 項目表示制御装置 | |
| US7262907B2 (en) | Microscope and method for operating a microscope | |
| US10018823B2 (en) | Force-feedback control device and method for digital microscope | |
| JP2002253502A (ja) | 視野計 | |
| US20050111087A1 (en) | Observation device with separate operating unit | |
| JP3872866B2 (ja) | 焦点深度伸長装置 | |
| JP3483293B2 (ja) | 電子顕微鏡用画像処理装置 | |
| JP3242964B2 (ja) | 自覚式検眼装置 | |
| JPH09127426A (ja) | 拡大観察装置における駆動指令装置 | |
| JP2008175896A (ja) | 画像表示装置 | |
| JP3376823B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡および類似装置 | |
| JP4189539B2 (ja) | テレビカメラの制御装置 | |
| JP2011028110A (ja) | 顕微鏡用コントローラ、顕微鏡 | |
| JPH04625A (ja) | 情報処理装置 | |
| KR20010059258A (ko) | 에이브이/네비게이션 시스템의 계기 조작 장치 | |
| JPH08203464A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH04229167A (ja) | マイクロマニピュレータ | |
| JPH04366539A (ja) | 電子顕微鏡の対物絞り駆動装置 | |
| JPH09320503A (ja) | 走査電子顕微鏡の試料位置制御装置 | |
| JP2000340155A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| JP2000306538A (ja) | 荷電粒子ビーム走査型画像表示装置 |