JPH09320503A - 走査電子顕微鏡の試料位置制御装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡の試料位置制御装置Info
- Publication number
- JPH09320503A JPH09320503A JP8133097A JP13309796A JPH09320503A JP H09320503 A JPH09320503 A JP H09320503A JP 8133097 A JP8133097 A JP 8133097A JP 13309796 A JP13309796 A JP 13309796A JP H09320503 A JPH09320503 A JP H09320503A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning electron
- sample
- optical image
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Abstract
(57)【要約】
【課題】走査電子顕微鏡の観察画面に、コンピュータ等
により光学的画像と電顕画像を切換えて表示することを
目的とする。 【解決手段】走査電子顕微鏡の操作により光学的画像取
込み装置９，電顕画像取込み装置６および試料ステージ
１２を制御して、目的の視野を簡易に探せるよう構成し
た走査電子顕微鏡の試料位置制御装置。
により光学的画像と電顕画像を切換えて表示することを
目的とする。 【解決手段】走査電子顕微鏡の操作により光学的画像取
込み装置９，電顕画像取込み装置６および試料ステージ
１２を制御して、目的の視野を簡易に探せるよう構成し
た走査電子顕微鏡の試料位置制御装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は走査電子顕微鏡の試
料位置制御装置に関する。
料位置制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡等では、光学的顕微鏡に
比べ高倍率、いわゆる高い分解能の顕微鏡として使用さ
れているため、低倍率での観察は不得手である。走査電
子顕微鏡における最低倍率は２０〜３０倍であるから大
形の試料台の視野を探す時には、例えば２０倍だとして
も試料台の５mm四方しか見えず視野を探すために時間を
要していた。
比べ高倍率、いわゆる高い分解能の顕微鏡として使用さ
れているため、低倍率での観察は不得手である。走査電
子顕微鏡における最低倍率は２０〜３０倍であるから大
形の試料台の視野を探す時には、例えば２０倍だとして
も試料台の５mm四方しか見えず視野を探すために時間を
要していた。
【０００３】また、走査電子顕微鏡のほかにコンピュー
タシステムを置き、これに光学的画像取込み装置等から
の画像を記憶し、この画像に試料ステージの座標を重ね
コンピュータシステム上で画像の一点を選ぶと試料ステ
ージが連動して動くようになっているが、画像を記憶し
た後試料を走査電子顕微鏡の試料ステージに装着しシス
テムの座標に合うよう試料を回転させＸ方向Ｙ方向の位
置を合わせていた。また、目的の視野を探すのに走査電
子顕微鏡とシステムの操作を別々に行っていた。
タシステムを置き、これに光学的画像取込み装置等から
の画像を記憶し、この画像に試料ステージの座標を重ね
コンピュータシステム上で画像の一点を選ぶと試料ステ
ージが連動して動くようになっているが、画像を記憶し
た後試料を走査電子顕微鏡の試料ステージに装着しシス
テムの座標に合うよう試料を回転させＸ方向Ｙ方向の位
置を合わせていた。また、目的の視野を探すのに走査電
子顕微鏡とシステムの操作を別々に行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来装置で
は、コンピュータ等に試料の光学的画像を記憶させ、そ
の試料を走査電子顕微鏡の試料ステージに移動，装着し
Ｘ方向Ｙ方向の位置を合わせる手間や電子顕微鏡とシス
テムの操作を別々に行う煩わしさがあり、本発明はこれ
を半減するものである。
は、コンピュータ等に試料の光学的画像を記憶させ、そ
の試料を走査電子顕微鏡の試料ステージに移動，装着し
Ｘ方向Ｙ方向の位置を合わせる手間や電子顕微鏡とシス
テムの操作を別々に行う煩わしさがあり、本発明はこれ
を半減するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の装置は、光学的
画像取込み装置を走査電子顕微鏡に組み込むことにより
試料を脱着する手間が省くことができ、また、コンピュ
ータ等を用いて走査電子顕微鏡の操作等により自動的に
光学的画像と電顕画像の切換えができ、操作が簡易にで
きることにより課題を解決できる。
画像取込み装置を走査電子顕微鏡に組み込むことにより
試料を脱着する手間が省くことができ、また、コンピュ
ータ等を用いて走査電子顕微鏡の操作等により自動的に
光学的画像と電顕画像の切換えができ、操作が簡易にで
きることにより課題を解決できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づき詳述する。
づき詳述する。
【０００７】図１は本発明の実施例装置のブロック図で
ある。図中、１は電子ビーム、２は電子ビーム１を面走
査させるための偏向コイルで、倍率はこのコイルに流す
電流により変えられる。３は偏向コイル２を駆動するた
めの駆動装置、４は偏向コイル及び各動作の制御を行う
制御用コンピュータ装置、５は走査電子顕微鏡の操作を
行うためのマウス、６は電顕画像取込み装置、７は電顕
画像取込み装置６の電顕画像処理装置、８は走査電子顕
微鏡の観察画面、９は光学的画像取込み装置、１０は光
学的画像取込み装置９の光学的画像処理装置、１１は試
料ホルダ、１２は試料ホルダ１１を装着するための試料
ステージ、１３は試料ステージのＸ軸，Ｙ軸および回転
軸を動かすためのモータ装置、１４はモータ装置１３を
駆動するための駆動装置、１５は試料ホルダ１１を入れ
るための試料室である。また、図２は実施例であり、観
察画面８に表示した画像例を示す。図中１６はマウス５
を観察画面８に表示させたマウスカーソルであり、走査
電子顕微鏡の操作はマウス５の操作によりマウスカーソ
ル１６が観察画面上で動き画面上のメニューを選択する
ことができる。１７は観察画面８に光学的画像を表示し
た状態を示す画面表示、１８は観察画面８に光学的画像
を表示した状態を示す画面表示、１９は観察画面８に電
顕画像を表示した状態を示す画面表示である。
ある。図中、１は電子ビーム、２は電子ビーム１を面走
査させるための偏向コイルで、倍率はこのコイルに流す
電流により変えられる。３は偏向コイル２を駆動するた
めの駆動装置、４は偏向コイル及び各動作の制御を行う
制御用コンピュータ装置、５は走査電子顕微鏡の操作を
行うためのマウス、６は電顕画像取込み装置、７は電顕
画像取込み装置６の電顕画像処理装置、８は走査電子顕
微鏡の観察画面、９は光学的画像取込み装置、１０は光
学的画像取込み装置９の光学的画像処理装置、１１は試
料ホルダ、１２は試料ホルダ１１を装着するための試料
ステージ、１３は試料ステージのＸ軸，Ｙ軸および回転
軸を動かすためのモータ装置、１４はモータ装置１３を
駆動するための駆動装置、１５は試料ホルダ１１を入れ
るための試料室である。また、図２は実施例であり、観
察画面８に表示した画像例を示す。図中１６はマウス５
を観察画面８に表示させたマウスカーソルであり、走査
電子顕微鏡の操作はマウス５の操作によりマウスカーソ
ル１６が観察画面上で動き画面上のメニューを選択する
ことができる。１７は観察画面８に光学的画像を表示し
た状態を示す画面表示、１８は観察画面８に光学的画像
を表示した状態を示す画面表示、１９は観察画面８に電
顕画像を表示した状態を示す画面表示である。
【０００８】走査電子顕微鏡の画像は、電子ビーム１を
偏向コイル２により試料表面を面走査させその試料から
出る信号を電顕画像取込み装置６で検出し、電顕画像処
理装置７を介して観察画面８に表示させる。一方、光学
的画像は、試料ホルダ１１を試料ステージ１２に装着し
試料室１５に入れる前に計学的画像取込み装置９により
取込み、光学的画像処理装置１０に記憶させることがで
き、試料の脱着を省け、煩わしさが半減できる。なお光
学的画像を光学的画像処理装置１０に取込み、記憶させ
るための操作は、制御用コンピュータ装置４を用いるこ
とで走査電子顕微鏡の操作に使用するマウス５により観
察画面上のメニューで操作を行い、操作を簡易にでき
る。この時、観察画面８は図２の光学的画像を表示した
画面表示１７になっている。次に試料ステージ１２を試
料室１５に入れて真空状態にする。この観察画面上でマ
ウス５により目的の視野を一点選択することにより、観
察画面上で選択されたマウスカーソルの座標位置を観察
画面中央となるよう画像全体が観察画面上で移動し、図
２の表示画面１８のように選択した目的の視野が観察画
面の中央に表示される。また同時に試料ステージ１２の
Ｘ軸およびＹ軸等のモータ装置１３により画面の座標に
リンクした位置に試料ホルダ１１を移動させる。マウス
５で電子ビーム１を出して倍率を上げると電顕画像の表
示画面１９のように、目的の視野が電顕画像の表示に変
わり拡大されてゆく。また、別の視野を観察する時には
マウス５で倍率を下げ、倍率レンジを最低倍より低く設
定することにより、走査電子顕微鏡の観察画面８が再び
光学的画像の表示画面１８に切換わり、真空内でマウス
５の操作一つで光学的画像と電顕画像の観察ができるた
め視野探しを簡易に行えることができる。
偏向コイル２により試料表面を面走査させその試料から
出る信号を電顕画像取込み装置６で検出し、電顕画像処
理装置７を介して観察画面８に表示させる。一方、光学
的画像は、試料ホルダ１１を試料ステージ１２に装着し
試料室１５に入れる前に計学的画像取込み装置９により
取込み、光学的画像処理装置１０に記憶させることがで
き、試料の脱着を省け、煩わしさが半減できる。なお光
学的画像を光学的画像処理装置１０に取込み、記憶させ
るための操作は、制御用コンピュータ装置４を用いるこ
とで走査電子顕微鏡の操作に使用するマウス５により観
察画面上のメニューで操作を行い、操作を簡易にでき
る。この時、観察画面８は図２の光学的画像を表示した
画面表示１７になっている。次に試料ステージ１２を試
料室１５に入れて真空状態にする。この観察画面上でマ
ウス５により目的の視野を一点選択することにより、観
察画面上で選択されたマウスカーソルの座標位置を観察
画面中央となるよう画像全体が観察画面上で移動し、図
２の表示画面１８のように選択した目的の視野が観察画
面の中央に表示される。また同時に試料ステージ１２の
Ｘ軸およびＹ軸等のモータ装置１３により画面の座標に
リンクした位置に試料ホルダ１１を移動させる。マウス
５で電子ビーム１を出して倍率を上げると電顕画像の表
示画面１９のように、目的の視野が電顕画像の表示に変
わり拡大されてゆく。また、別の視野を観察する時には
マウス５で倍率を下げ、倍率レンジを最低倍より低く設
定することにより、走査電子顕微鏡の観察画面８が再び
光学的画像の表示画面１８に切換わり、真空内でマウス
５の操作一つで光学的画像と電顕画像の観察ができるた
め視野探しを簡易に行えることができる。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、走査電子顕微鏡等にお
ける煩わしい操作の一つである試料の視野探しが容易と
なり、操作性が向上する。
ける煩わしい操作の一つである試料の視野探しが容易と
なり、操作性が向上する。
【図１】走査電子顕微鏡の試料位置制御装置のブロック
図。
図。
【図２】観察画面の表示の実施例を示す説明図。
【符号の説明】 １…電子ビーム、２…偏向コイル、３…偏向コイル駆動
装置、４…制御用コンピュータ装置、５…マウス、６…
電顕画像取込み装置、７…画像処理装置、８…観察画
面、９…光学的画像取込み装置、１０…画像処理装置、
１１…試料ホルダ、１２…試料ステージ、１３…モータ
装置、１４…モータ駆動装置、１５…試料室。
装置、４…制御用コンピュータ装置、５…マウス、６…
電顕画像取込み装置、７…画像処理装置、８…観察画
面、９…光学的画像取込み装置、１０…画像処理装置、
１１…試料ホルダ、１２…試料ステージ、１３…モータ
装置、１４…モータ駆動装置、１５…試料室。
Claims (1)
- 【請求項１】走査電子顕微鏡において、光学的画像取込
み装置を走査電子顕微鏡の試料ステージに組み込むこと
により試料の画像を低倍率で記憶し、前記走査電子顕微
鏡像の低倍率限界から光学的画像に倍率連動してコンピ
ュータを用い自動的に画像の切換え表示をすることを特
徴とする走査電子顕微鏡の試料位置制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8133097A JPH09320503A (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 走査電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8133097A JPH09320503A (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 走査電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320503A true JPH09320503A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15096768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8133097A Pending JPH09320503A (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 走査電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320503A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006173021A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
| CN105225909A (zh) * | 2015-09-17 | 2016-01-06 | 北京大学 | 一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法 |
-
1996
- 1996-05-28 JP JP8133097A patent/JPH09320503A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006173021A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
| CN105225909A (zh) * | 2015-09-17 | 2016-01-06 | 北京大学 | 一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040831 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041101 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20041207 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20050207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |