JPH10321826A - 光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法Info
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- JPH10321826A JPH10321826A JP9125868A JP12586897A JPH10321826A JP H10321826 A JPH10321826 A JP H10321826A JP 9125868 A JP9125868 A JP 9125868A JP 12586897 A JP12586897 A JP 12586897A JP H10321826 A JPH10321826 A JP H10321826A
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ビデオカメラやポケットカメラの小型化を推
進することのできる光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮
像装置を提供する。 【解決手段】 接続ピン１を有するパッケージ２の内部
に、導電性樹脂３を介して固体撮像装置４を固定する。
固体撮像装置４の上面に、アルミニウム配線パッドの存
在しないチップ周辺部に塗布されたギャップ材１０を介
してパイレックスガラス基板１２を固定し、固体撮像装
置４とパイレックスガラス基板１２との間に空気層１４
を形成する。パイレックスガラス基板１２の下面に、フ
ェノール系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚
で塗布し、露光現像によって所望の位相格子形状にパタ
ーンニングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱して
光学レンズアレイ１３を形成することにより、光学的ロ
ーパスフィルタ１１を構成する。パッケージ２の開口端
に、接着剤５を用いて石英ガラス基板６を固定する。
進することのできる光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮
像装置を提供する。 【解決手段】 接続ピン１を有するパッケージ２の内部
に、導電性樹脂３を介して固体撮像装置４を固定する。
固体撮像装置４の上面に、アルミニウム配線パッドの存
在しないチップ周辺部に塗布されたギャップ材１０を介
してパイレックスガラス基板１２を固定し、固体撮像装
置４とパイレックスガラス基板１２との間に空気層１４
を形成する。パイレックスガラス基板１２の下面に、フ
ェノール系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚
で塗布し、露光現像によって所望の位相格子形状にパタ
ーンニングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱して
光学レンズアレイ１３を形成することにより、光学的ロ
ーパスフィルタ１１を構成する。パッケージ２の開口端
に、接着剤５を用いて石英ガラス基板６を固定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学的ローパスフ
ィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法に関する。
ィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ビデオカメラやポケットカメラに
おいては、図７に示すように、接続ピン２０を有するパ
ッケージ２１の内部に、導電性樹脂２２を用いて固体撮
像装置２３を固定した後、パッケージ２１の開口端に接
着剤２４を用いて石英ガラス基板２５を固定することに
より、固体撮像装置２３がパッケージ２１内に封入され
ている。そして、燐酸ガラス基板２６を水晶フィルタ２
７によって挟み込んだ赤外線カットフィルタ内蔵の水晶
ローパスフィルタ２８が、石英ガラス基板２５の外側に
離れて配置されている。
おいては、図７に示すように、接続ピン２０を有するパ
ッケージ２１の内部に、導電性樹脂２２を用いて固体撮
像装置２３を固定した後、パッケージ２１の開口端に接
着剤２４を用いて石英ガラス基板２５を固定することに
より、固体撮像装置２３がパッケージ２１内に封入され
ている。そして、燐酸ガラス基板２６を水晶フィルタ２
７によって挟み込んだ赤外線カットフィルタ内蔵の水晶
ローパスフィルタ２８が、石英ガラス基板２５の外側に
離れて配置されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の構
成においては、光学的ローパスフィルタとして肉太な貼
り合わせ水晶フィルタ（外線カットフィルタ内蔵の水晶
ローパスフィルタ２８）が用いられるため、光学的ロー
パスフィルタをどうしても石英ガラス基板２５の外側に
配置せざるを得ない。従って、光学的ローパスフィルタ
を設置するための余分なスペースが必要となり、小型化
が進むビデオカメラやポケットカメラの省スペース化の
要望に応えることができないという問題点があった。
成においては、光学的ローパスフィルタとして肉太な貼
り合わせ水晶フィルタ（外線カットフィルタ内蔵の水晶
ローパスフィルタ２８）が用いられるため、光学的ロー
パスフィルタをどうしても石英ガラス基板２５の外側に
配置せざるを得ない。従って、光学的ローパスフィルタ
を設置するための余分なスペースが必要となり、小型化
が進むビデオカメラやポケットカメラの省スペース化の
要望に応えることができないという問題点があった。
【０００４】本発明は、従来技術における前記課題を解
決するためになされたものであり、ビデオカメラやポケ
ットカメラの小型化を推進することのできる光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法を提供
することを目的とする。
決するためになされたものであり、ビデオカメラやポケ
ットカメラの小型化を推進することのできる光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像
装置の構成は、パッケージと、前記パッケージの内部に
固定された固体撮像装置と、前記固体撮像装置上に所定
の厚みを有し、かつ屈折率が１．５未満の物質を介して
前記固体撮像装置と平行な状態で固定された第１の透明
基板と、前記透明基板の下面に形成された屈折率が１．
５以上の光学レンズアレイと、前記パッケージの開口端
を封止する第２の透明基板とを備えたことを特徴とす
る。この光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の構
成によれば、固体撮像装置と、第１の透明基板と前記第
１の透明基板の下面に形成された光学レンズアレイとか
らなる光学的ローパスフィルタとが、一体形成された状
態でパッケージに内蔵されるので、光学的ローパスフィ
ルタの保護を図ることができると共に、省スペース化を
図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化を推進す
ることができる。また、光学的ローパスフィルタをパッ
ケージ中に内蔵したことにより、光学的ローパスフィル
タにキズやゴミが付きにくくなり、ビデオカメラやポケ
ットカメラの故障が減少するので、信頼性の向上を図る
ことができる。
め、本発明に係る光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像
装置の構成は、パッケージと、前記パッケージの内部に
固定された固体撮像装置と、前記固体撮像装置上に所定
の厚みを有し、かつ屈折率が１．５未満の物質を介して
前記固体撮像装置と平行な状態で固定された第１の透明
基板と、前記透明基板の下面に形成された屈折率が１．
５以上の光学レンズアレイと、前記パッケージの開口端
を封止する第２の透明基板とを備えたことを特徴とす
る。この光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の構
成によれば、固体撮像装置と、第１の透明基板と前記第
１の透明基板の下面に形成された光学レンズアレイとか
らなる光学的ローパスフィルタとが、一体形成された状
態でパッケージに内蔵されるので、光学的ローパスフィ
ルタの保護を図ることができると共に、省スペース化を
図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化を推進す
ることができる。また、光学的ローパスフィルタをパッ
ケージ中に内蔵したことにより、光学的ローパスフィル
タにキズやゴミが付きにくくなり、ビデオカメラやポケ
ットカメラの故障が減少するので、信頼性の向上を図る
ことができる。
【０００６】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、光学レンズアレ
イが位相格子形状にパターンニングされているのが好ま
しい。この好ましい例によれば、光学レンズアレイの厚
みを薄くして、光学的ローパスフィルタの膜厚を薄くす
ることができる。その結果、固体撮像装置と光学的ロー
パスフィルタとをパッケージ中に容易に内蔵することが
できる。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、光学レンズアレ
イが位相格子形状にパターンニングされているのが好ま
しい。この好ましい例によれば、光学レンズアレイの厚
みを薄くして、光学的ローパスフィルタの膜厚を薄くす
ることができる。その結果、固体撮像装置と光学的ロー
パスフィルタとをパッケージ中に容易に内蔵することが
できる。
【０００７】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、屈折率が１．５
未満の物質が空気であるのが好ましい。また、前記本発
明の光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の構成に
おいては、屈折率が１．５未満の物質がシアン色素含有
フィルタであるのが好ましい。この好ましい例によれ
ば、このシアン色素含有フィルタは赤外線を吸収して可
視光を透過させる性質を有するので、赤外線カットフィ
ルタ機能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像
装置を実現することができる。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、屈折率が１．５
未満の物質が空気であるのが好ましい。また、前記本発
明の光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の構成に
おいては、屈折率が１．５未満の物質がシアン色素含有
フィルタであるのが好ましい。この好ましい例によれ
ば、このシアン色素含有フィルタは赤外線を吸収して可
視光を透過させる性質を有するので、赤外線カットフィ
ルタ機能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像
装置を実現することができる。
【０００８】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、屈折率が１．５
未満の物質がシアン顔料フィルタであるのが好ましい。
この好ましい例によれば、このシアン顔料フィルタは赤
外線を吸収して可視光を透過させる性質を有するので、
赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィ
ルタ内蔵固体撮像装置を実現することができる。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、屈折率が１．５
未満の物質がシアン顔料フィルタであるのが好ましい。
この好ましい例によれば、このシアン顔料フィルタは赤
外線を吸収して可視光を透過させる性質を有するので、
赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィ
ルタ内蔵固体撮像装置を実現することができる。
【０００９】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、光学レンズアレ
イの材料がフェノール系ノボラック樹脂であるのが好ま
しい。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、光学レンズアレ
イの材料がフェノール系ノボラック樹脂であるのが好ま
しい。
【００１０】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、第１の透明基板
がパイレックスガラス基板であるのが好ましい。また、
前記本発明の光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置
の構成においては、第１の透明基板が燐酸ガラス基板で
あるのが好ましい。この好ましい例によれば、燐酸ガラ
スは赤外線を吸収して可視光を透過させる性質を有する
ので、赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパ
スフィルタ内蔵固体撮像装置を実現することができる。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、第１の透明基板
がパイレックスガラス基板であるのが好ましい。また、
前記本発明の光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置
の構成においては、第１の透明基板が燐酸ガラス基板で
あるのが好ましい。この好ましい例によれば、燐酸ガラ
スは赤外線を吸収して可視光を透過させる性質を有する
ので、赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパ
スフィルタ内蔵固体撮像装置を実現することができる。
【００１１】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、固体撮像装置と
第１の透明基板とが、球状のスペーサと熱硬化性樹脂と
からなるギャップ材を介して固定されているのが好まし
い。この好ましい例によれば、熱硬化性樹脂を熱硬化さ
せるだけで、固体撮像装置と、光学レンズアレイをその
下面に有する第１の透明基板とを、所望の距離を保って
互いに平行に配置された状態で固定することができる。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、固体撮像装置と
第１の透明基板とが、球状のスペーサと熱硬化性樹脂と
からなるギャップ材を介して固定されているのが好まし
い。この好ましい例によれば、熱硬化性樹脂を熱硬化さ
せるだけで、固体撮像装置と、光学レンズアレイをその
下面に有する第１の透明基板とを、所望の距離を保って
互いに平行に配置された状態で固定することができる。
【００１２】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、固体撮像装置と
第１の透明基板とが、紫外線硬化性樹脂のみからなるギ
ャップ材を介して固定されているのが好ましい。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、固体撮像装置と
第１の透明基板とが、紫外線硬化性樹脂のみからなるギ
ャップ材を介して固定されているのが好ましい。
【００１３】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、第２の透明基板
が積層基板からなり、前記積層基板を構成する基板の少
なくとも１つが燐酸ガラス基板であるのが好ましい。こ
の好ましい例によれば、燐酸ガラスは赤外線を吸収して
可視光を透過させる性質を有するので、赤外線カットフ
ィルタ機能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮
像装置を実現することができる。
タ内蔵固体撮像装置の構成においては、第２の透明基板
が積層基板からなり、前記積層基板を構成する基板の少
なくとも１つが燐酸ガラス基板であるのが好ましい。こ
の好ましい例によれば、燐酸ガラスは赤外線を吸収して
可視光を透過させる性質を有するので、赤外線カットフ
ィルタ機能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮
像装置を実現することができる。
【００１４】また、本発明に係る光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の製造方法は、パッケージと、前記
パッケージの内部に固定された固体撮像装置と、前記固
体撮像装置上に所定の厚みを有し、かつ屈折率が１．５
未満の物質を介して前記固体撮像装置と平行な状態で固
定された第１の透明基板と、前記透明基板の下面に形成
された屈折率が１．５以上の光学レンズアレイと、前記
パッケージの開口端を封止する第２の透明基板とを備え
た光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法
であって、前記第１の透明基板の下面に光学レンズアレ
イを形成するに際し、前記第１の透明基板にフェノール
系ノボラック樹脂を塗布し、露光現像によって所望の位
相格子形状にパターンニングした後、１３０〜２４０℃
の温度で加熱することにより、前記第１の透明基板上に
楕円形状の光学レンズアレイを形成することを特徴とす
る。この光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製
造方法によれば、光学レンズアレイを位相格子形状にパ
ターンニングして、光学的ローパスフィルタの膜厚を薄
くすることができるので、固体撮像装置と光学的ローパ
スフィルタとをパッケージ中に容易に内蔵することがで
きる。
タ内蔵固体撮像装置の製造方法は、パッケージと、前記
パッケージの内部に固定された固体撮像装置と、前記固
体撮像装置上に所定の厚みを有し、かつ屈折率が１．５
未満の物質を介して前記固体撮像装置と平行な状態で固
定された第１の透明基板と、前記透明基板の下面に形成
された屈折率が１．５以上の光学レンズアレイと、前記
パッケージの開口端を封止する第２の透明基板とを備え
た光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法
であって、前記第１の透明基板の下面に光学レンズアレ
イを形成するに際し、前記第１の透明基板にフェノール
系ノボラック樹脂を塗布し、露光現像によって所望の位
相格子形状にパターンニングした後、１３０〜２４０℃
の温度で加熱することにより、前記第１の透明基板上に
楕円形状の光学レンズアレイを形成することを特徴とす
る。この光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製
造方法によれば、光学レンズアレイを位相格子形状にパ
ターンニングして、光学的ローパスフィルタの膜厚を薄
くすることができるので、固体撮像装置と光学的ローパ
スフィルタとをパッケージ中に容易に内蔵することがで
きる。
【００１５】また、前記本発明の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置の製造方法においては、固体撮像装
置と第１の透明基板との間を所定の距離に保持するため
のギャップ材を、前記固体撮像装置の上面のアルミニウ
ム配線パッドの存在しないチップ周辺部に形成するのが
好ましい。また、この場合には、ギャップ材として、球
状のスペーサと熱硬化性樹脂とからなるギャップ材を用
いるのが好ましい。また、この場合には、ギャップ材と
して、紫外線硬化性樹脂のみからなるギャップ材を用い
るのが好ましい。この場合にはさらに、固体撮像装置と
第１の透明基板との距離を機械的に一定に保持した状態
で、紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射するのが好まし
い。
タ内蔵固体撮像装置の製造方法においては、固体撮像装
置と第１の透明基板との間を所定の距離に保持するため
のギャップ材を、前記固体撮像装置の上面のアルミニウ
ム配線パッドの存在しないチップ周辺部に形成するのが
好ましい。また、この場合には、ギャップ材として、球
状のスペーサと熱硬化性樹脂とからなるギャップ材を用
いるのが好ましい。また、この場合には、ギャップ材と
して、紫外線硬化性樹脂のみからなるギャップ材を用い
るのが好ましい。この場合にはさらに、固体撮像装置と
第１の透明基板との距離を機械的に一定に保持した状態
で、紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射するのが好まし
い。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態を用いて本発明
をさらに具体的に説明する。 〈第１の実施の形態〉図１は本発明の第１の実施の形態
における光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置を示
す断面図である。
をさらに具体的に説明する。 〈第１の実施の形態〉図１は本発明の第１の実施の形態
における光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置を示
す断面図である。
【００１７】図１に示すように、接続ピン１を有するパ
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられたギャップ材１０を介してパイレ
ックスガラス基板１２が固定されている。これにより、
固体撮像装置４とパイレックスガラス基板１２との間に
厚さ３０〜８０μｍの空気層（屈折率：１．０）１４が
形成されている。ここで、ギャップ材１０は、直径３０
〜８０μｍのセラミックスペーサ１０ａとアクリレート
等の熱硬化性樹脂１０ｂとの混合物からなっている。パ
イレックスガラス基板１２の下面には光学レンズアレイ
１３が形成されており、これにより光学的ローパスフィ
ルタ１１が構成されている。パッケージ２の開口端に
は、エポキシ等の接着剤５を介して石英ガラス基板６が
固定されている。
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられたギャップ材１０を介してパイレ
ックスガラス基板１２が固定されている。これにより、
固体撮像装置４とパイレックスガラス基板１２との間に
厚さ３０〜８０μｍの空気層（屈折率：１．０）１４が
形成されている。ここで、ギャップ材１０は、直径３０
〜８０μｍのセラミックスペーサ１０ａとアクリレート
等の熱硬化性樹脂１０ｂとの混合物からなっている。パ
イレックスガラス基板１２の下面には光学レンズアレイ
１３が形成されており、これにより光学的ローパスフィ
ルタ１１が構成されている。パッケージ２の開口端に
は、エポキシ等の接着剤５を介して石英ガラス基板６が
固定されている。
【００１８】以下に、上記構成を備えた光学的ローパス
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。また、パイレ
ックスガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール
系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布
し、露光現像によって所望の位相格子形状にパターンニ
ングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することに
より、パイレックスガラス基板１２上に楕円形状の光学
レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ
１１を予め作製しておく。このように光学レンズアレイ
１３を位相格子形状にパターンニングして形成するよう
にしたので、光学レンズアレイ１３の厚みを薄くするこ
とができ、その結果、光学的ローパスフィルタ１１の膜
厚を薄くすることができる。次いで、直径３０〜８０μ
ｍのセラミックスペーサ１０ａと熱硬化性樹脂（アクリ
レート）１０ｂを混合したギャップ材１０を、固体撮像
装置４の上面のアルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に塗布する。そして、光学的ローパスフィル
タ１１を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態で
ギャップ材１０の上に載置し、１２０℃の温度でギャッ
プ材１０を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４
と、光学レンズアレイ１３をその下面に有するパイレッ
クスガラス基板１２とが、厚み３０〜８０μｍの空気層
１４を介して互いに平行に配置された状態で固定され
る。次いで、パッケージ２の開口端に接着剤（エポキ
シ）５を塗布し、石英ガラス６を載置した後、１７０℃
の温度で接着剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮
像装置４と光学的ローパスフィルタ１１が、一体形成さ
れた状態でパッケージ２に内蔵される。
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。また、パイレ
ックスガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール
系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布
し、露光現像によって所望の位相格子形状にパターンニ
ングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することに
より、パイレックスガラス基板１２上に楕円形状の光学
レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ
１１を予め作製しておく。このように光学レンズアレイ
１３を位相格子形状にパターンニングして形成するよう
にしたので、光学レンズアレイ１３の厚みを薄くするこ
とができ、その結果、光学的ローパスフィルタ１１の膜
厚を薄くすることができる。次いで、直径３０〜８０μ
ｍのセラミックスペーサ１０ａと熱硬化性樹脂（アクリ
レート）１０ｂを混合したギャップ材１０を、固体撮像
装置４の上面のアルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に塗布する。そして、光学的ローパスフィル
タ１１を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態で
ギャップ材１０の上に載置し、１２０℃の温度でギャッ
プ材１０を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４
と、光学レンズアレイ１３をその下面に有するパイレッ
クスガラス基板１２とが、厚み３０〜８０μｍの空気層
１４を介して互いに平行に配置された状態で固定され
る。次いで、パッケージ２の開口端に接着剤（エポキ
シ）５を塗布し、石英ガラス６を載置した後、１７０℃
の温度で接着剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮
像装置４と光学的ローパスフィルタ１１が、一体形成さ
れた状態でパッケージ２に内蔵される。
【００１９】以上のような構成を採用することにより、
光学的ローパスフィルタ１１の膜厚を薄くして、固体撮
像装置４と光学的ローパスフィルタ１１とをパッケージ
２中に容易に内蔵することができる。その結果、光学的
ローパスフィルタ１１の保護を図ることができると共
に、省スペース化を図ってビデオカメラやポケットカメ
ラの小型化を推進することができる。また、光学的ロー
パスフィルタ１１をパッケージ２中に内蔵したことによ
り、光学的ローパスフィルタ１１にキズやゴミが付きに
くくなり、ビデオカメラやポケットカメラの故障が減少
するので、信頼性の向上を図ることができる。
光学的ローパスフィルタ１１の膜厚を薄くして、固体撮
像装置４と光学的ローパスフィルタ１１とをパッケージ
２中に容易に内蔵することができる。その結果、光学的
ローパスフィルタ１１の保護を図ることができると共
に、省スペース化を図ってビデオカメラやポケットカメ
ラの小型化を推進することができる。また、光学的ロー
パスフィルタ１１をパッケージ２中に内蔵したことによ
り、光学的ローパスフィルタ１１にキズやゴミが付きに
くくなり、ビデオカメラやポケットカメラの故障が減少
するので、信頼性の向上を図ることができる。
【００２０】尚、本実施の形態においては、ギャップ材
１０中のスペーサとして、セラミックスペーサ１０を用
いているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、
球状で一定の強度と均一性を有するものであれば他の材
料からなるスペーサを用いることもできる。
１０中のスペーサとして、セラミックスペーサ１０を用
いているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、
球状で一定の強度と均一性を有するものであれば他の材
料からなるスペーサを用いることもできる。
【００２１】〈第２の実施の形態〉図２は本発明の第２
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
【００２２】図２に示すように、接続ピン１を有するパ
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられた変性アクリレート等の紫外線硬
化性樹脂（ギャップ材）１５を介してパイレックスガラ
ス基板１２が固定されている。これにより、固体撮像装
置４とパイレックスガラス基板１２との間に空気層１４
が形成されている。パイレックスガラス基板１２の下面
には光学レンズアレイ１３が形成されており、これによ
り光学的ローパスフィルタ１１が構成されている。パッ
ケージ２の開口端には、エポキシ等の接着剤５を介して
石英ガラス基板６が固定されている。
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられた変性アクリレート等の紫外線硬
化性樹脂（ギャップ材）１５を介してパイレックスガラ
ス基板１２が固定されている。これにより、固体撮像装
置４とパイレックスガラス基板１２との間に空気層１４
が形成されている。パイレックスガラス基板１２の下面
には光学レンズアレイ１３が形成されており、これによ
り光学的ローパスフィルタ１１が構成されている。パッ
ケージ２の開口端には、エポキシ等の接着剤５を介して
石英ガラス基板６が固定されている。
【００２３】以下に、上記構成を備えた光学的ローパス
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。また、パイレ
ックスガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール
系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布
し、露光現像によって所望の位相格子形状にパターンニ
ングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することに
より、パイレックスガラス基板１２上に楕円形状の光学
レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ
１１を予め作製しておく。次いで、紫外線硬化性樹脂
（変性アクリレート）１５を、固体撮像装置４の上面の
アルミニウム配線パッドの存在しないチップ周辺部に塗
布する。そして、光学的ローパスフィルタ１１を、光学
レンズアレイ１３を下向きにした状態で紫外線硬化性樹
脂１５の上に載置し、固体撮像装置４と光学的ローパス
フィルタ１１との距離を機械的に一定（３０〜８０μ
ｍ）に保持した状態で、紫外線硬化性樹脂１５に紫外線
を照射することにより、紫外線硬化性樹脂１５を硬化さ
せる。これにより、固体撮像装置４と、光学レンズアレ
イ１３をその下面に有するパイレックスガラス基板１２
とが、厚み３０〜８０μｍの空気層１４を介して互いに
平行に配置された状態で固定される。次いで、パッケー
ジ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布し、石英ガ
ラス基板６を載置した後、１７０℃の温度で接着剤５を
熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４と光学的ロ
ーパスフィルタ１１が、一体形成された状態でパッケー
ジ２中に内蔵される。
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。また、パイレ
ックスガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール
系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布
し、露光現像によって所望の位相格子形状にパターンニ
ングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することに
より、パイレックスガラス基板１２上に楕円形状の光学
レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ
１１を予め作製しておく。次いで、紫外線硬化性樹脂
（変性アクリレート）１５を、固体撮像装置４の上面の
アルミニウム配線パッドの存在しないチップ周辺部に塗
布する。そして、光学的ローパスフィルタ１１を、光学
レンズアレイ１３を下向きにした状態で紫外線硬化性樹
脂１５の上に載置し、固体撮像装置４と光学的ローパス
フィルタ１１との距離を機械的に一定（３０〜８０μ
ｍ）に保持した状態で、紫外線硬化性樹脂１５に紫外線
を照射することにより、紫外線硬化性樹脂１５を硬化さ
せる。これにより、固体撮像装置４と、光学レンズアレ
イ１３をその下面に有するパイレックスガラス基板１２
とが、厚み３０〜８０μｍの空気層１４を介して互いに
平行に配置された状態で固定される。次いで、パッケー
ジ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布し、石英ガ
ラス基板６を載置した後、１７０℃の温度で接着剤５を
熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４と光学的ロ
ーパスフィルタ１１が、一体形成された状態でパッケー
ジ２中に内蔵される。
【００２４】以上のような構成を採用することにより、
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。
【００２５】尚、本実施の形態においては、ギャップ材
として紫外線硬化性樹脂を用いているが、必ずしもこれ
に限定されるものではなく、例えば、ギャップ材として
遠紫外線硬化性樹脂を用いた場合であっても、同一の機
能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置を
実現することができる。
として紫外線硬化性樹脂を用いているが、必ずしもこれ
に限定されるものではなく、例えば、ギャップ材として
遠紫外線硬化性樹脂を用いた場合であっても、同一の機
能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置を
実現することができる。
【００２６】〈第３の実施の形態〉図３は本発明の第３
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
【００２７】図３に示すように、接続ピン１を有するパ
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられた変性アクリレート等の紫外線硬
化性樹脂（ギャップ材）１５を介してパイレックスガラ
ス基板１２が固定されている。これにより、固体撮像装
置４とパイレックスガラス基板１２との間には空気層１
４が形成されている。パイレックスガラス基板１２の下
面には光学レンズアレイ１３が形成されており、これに
より光学的ローパスフィルタ１１が構成されている。パ
ッケージ２の開口端には、燐酸ガラス基板１６が挟み込
まれた石英ガラス基板６がエポキシ等の接着剤５を介し
て固定されている。 以下に、上記構成を備えた光学的
ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について
説明する。
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられた変性アクリレート等の紫外線硬
化性樹脂（ギャップ材）１５を介してパイレックスガラ
ス基板１２が固定されている。これにより、固体撮像装
置４とパイレックスガラス基板１２との間には空気層１
４が形成されている。パイレックスガラス基板１２の下
面には光学レンズアレイ１３が形成されており、これに
より光学的ローパスフィルタ１１が構成されている。パ
ッケージ２の開口端には、燐酸ガラス基板１６が挟み込
まれた石英ガラス基板６がエポキシ等の接着剤５を介し
て固定されている。 以下に、上記構成を備えた光学的
ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について
説明する。
【００２８】まず、接続ピン１を有するパッケージ２の
内部に、導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性
樹脂３の上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５
０℃の温度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、
パッケージ２の内部に固体撮像装置４を固定する。ま
た、パイレックスガラス基板１２に屈折率が１．５６の
フェノール系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜
厚で塗布し、露光現像によって所望の位相格子形状にパ
ターンニングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱す
ることにより、パイレックスガラス基板１２上に楕円形
の光学レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフ
ィルタ１１を予め作製しておく。次いで、紫外線硬化性
樹脂（変性アクリレート）１５を、固体撮像装置４の上
面のアルミニウム配線パッドの存在しないチップ周辺部
に塗布する。そして、光学的ローパスフィルタ１１を、
光学レンズアレイ１３を下向きにした状態で紫外線硬化
性樹脂１５の上に載置し、固体撮像装置４と光学的ロー
パスフィルタ１１との距離を機械的に一定（３０〜８０
μｍ）に保持した状態で、紫外線硬化性樹脂１５に紫外
線を照射することにより、紫外線硬化性樹脂１５を硬化
させる。これにより、固体撮像装置４と、光学レンズア
レイ１３をその下面に有するパイレックスガラス基板１
２とが、厚み３０〜８０μｍの空気層１４を介して互い
に平行に配置された状態で固定される。また、燐酸ガラ
ス基板１６を石英ガラス基板６間に挟み込むことによ
り、高い耐湿性を有すると共に赤外線カットフィルタ機
能を有する積層基板３０を予め作製しておく。次いで、
パッケージ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布
し、積層基板３０を載置した後、１７０℃の温度で接着
剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４と光
学的ローパスフィルタ１１が、一体形成された状態でパ
ッケージ２中に内蔵される。
内部に、導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性
樹脂３の上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５
０℃の温度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、
パッケージ２の内部に固体撮像装置４を固定する。ま
た、パイレックスガラス基板１２に屈折率が１．５６の
フェノール系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜
厚で塗布し、露光現像によって所望の位相格子形状にパ
ターンニングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱す
ることにより、パイレックスガラス基板１２上に楕円形
の光学レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフ
ィルタ１１を予め作製しておく。次いで、紫外線硬化性
樹脂（変性アクリレート）１５を、固体撮像装置４の上
面のアルミニウム配線パッドの存在しないチップ周辺部
に塗布する。そして、光学的ローパスフィルタ１１を、
光学レンズアレイ１３を下向きにした状態で紫外線硬化
性樹脂１５の上に載置し、固体撮像装置４と光学的ロー
パスフィルタ１１との距離を機械的に一定（３０〜８０
μｍ）に保持した状態で、紫外線硬化性樹脂１５に紫外
線を照射することにより、紫外線硬化性樹脂１５を硬化
させる。これにより、固体撮像装置４と、光学レンズア
レイ１３をその下面に有するパイレックスガラス基板１
２とが、厚み３０〜８０μｍの空気層１４を介して互い
に平行に配置された状態で固定される。また、燐酸ガラ
ス基板１６を石英ガラス基板６間に挟み込むことによ
り、高い耐湿性を有すると共に赤外線カットフィルタ機
能を有する積層基板３０を予め作製しておく。次いで、
パッケージ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布
し、積層基板３０を載置した後、１７０℃の温度で接着
剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４と光
学的ローパスフィルタ１１が、一体形成された状態でパ
ッケージ２中に内蔵される。
【００２９】以上のような構成を採用することにより、
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、燐酸ガラス基板１６を
石英ガラス基板６間に挟み込んだ赤外線カットフィルタ
機能を有する積層基板３０によってパッケージ２の開口
端を封止するようにしたので、赤外線カットフィルタ機
能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置を
実現することができる。
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、燐酸ガラス基板１６を
石英ガラス基板６間に挟み込んだ赤外線カットフィルタ
機能を有する積層基板３０によってパッケージ２の開口
端を封止するようにしたので、赤外線カットフィルタ機
能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置を
実現することができる。
【００３０】〈第４の実施の形態〉図４は本発明の第４
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
【００３１】図４に示すように、接続ピン１を有するパ
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられた変性アクリレート等の紫外線硬
化性樹脂（ギャップ材）１５を介して燐酸ガラス基板１
７が固定されている。これにより、固体撮像装置４と燐
酸ガラス１７との間には空気層１４が形成されている。
燐酸ガラス基板１７の下面には光学レンズアレイ１３が
形成されており、これにより光学的ローパスフィルタ１
１が構成されている。パッケージ２の開口端には、エポ
キシ等の接着剤５を介して石英ガラス基板６が固定され
ている。
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、アルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に設けられた変性アクリレート等の紫外線硬
化性樹脂（ギャップ材）１５を介して燐酸ガラス基板１
７が固定されている。これにより、固体撮像装置４と燐
酸ガラス１７との間には空気層１４が形成されている。
燐酸ガラス基板１７の下面には光学レンズアレイ１３が
形成されており、これにより光学的ローパスフィルタ１
１が構成されている。パッケージ２の開口端には、エポ
キシ等の接着剤５を介して石英ガラス基板６が固定され
ている。
【００３２】以下に、上記構成を備えた光学的ローパス
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。また、燐酸ガ
ラス基板１７に屈折率が１．５６のフェノール系ノボラ
ック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布し、露光現
像によって所望の位相格子形状にパターンニングした
後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することにより、燐
酸ガラス基板１７上に楕円形状の光学レンズアレイ１３
を形成して、赤外線カットフィルタ機能を有する光学的
ローパスフィルタ１１を予め作製しておく。次いで、紫
外線硬化性樹脂（変性アクリレート）１５を、固体撮像
装置４の上面のアルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に塗布する。そして、光学的ローパスフィル
タ１１を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態で
紫外線硬化性樹脂１５の上に載置し、固体撮像装置４と
光学的ローパスフィルタ１１との距離を機械的に一定
（３０〜８０μｍ）に保持した状態で、紫外線硬化性樹
脂１５に紫外線を照射することにより、紫外線硬化性樹
脂１５を硬化させる。これにより、固体撮像装置４と、
光学レンズアレイ１３をその下面に有する燐酸ガラス基
板１７とが、厚み３０〜８０μｍの空気層１４を介して
互いに平行に配置された状態で固定される。次いで、パ
ッケージ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布し、
石英ガラス基板６を載置した後、１７０℃の温度で接着
剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４と赤
外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィル
タ１１が、一体形成された状態でパッケージ２中に内蔵
される。
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。また、燐酸ガ
ラス基板１７に屈折率が１．５６のフェノール系ノボラ
ック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布し、露光現
像によって所望の位相格子形状にパターンニングした
後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することにより、燐
酸ガラス基板１７上に楕円形状の光学レンズアレイ１３
を形成して、赤外線カットフィルタ機能を有する光学的
ローパスフィルタ１１を予め作製しておく。次いで、紫
外線硬化性樹脂（変性アクリレート）１５を、固体撮像
装置４の上面のアルミニウム配線パッドの存在しないチ
ップ周辺部に塗布する。そして、光学的ローパスフィル
タ１１を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態で
紫外線硬化性樹脂１５の上に載置し、固体撮像装置４と
光学的ローパスフィルタ１１との距離を機械的に一定
（３０〜８０μｍ）に保持した状態で、紫外線硬化性樹
脂１５に紫外線を照射することにより、紫外線硬化性樹
脂１５を硬化させる。これにより、固体撮像装置４と、
光学レンズアレイ１３をその下面に有する燐酸ガラス基
板１７とが、厚み３０〜８０μｍの空気層１４を介して
互いに平行に配置された状態で固定される。次いで、パ
ッケージ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布し、
石英ガラス基板６を載置した後、１７０℃の温度で接着
剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４と赤
外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィル
タ１１が、一体形成された状態でパッケージ２中に内蔵
される。
【００３３】以上のような構成を採用することにより、
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、第１の透明基板として
燐酸ガラス基板１７を用いたので、赤外線カットフィル
タ機能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装
置を実現することができる。
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、第１の透明基板として
燐酸ガラス基板１７を用いたので、赤外線カットフィル
タ機能を有する光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装
置を実現することができる。
【００３４】〈第５の実施の形態〉図５は本発明の第５
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
【００３５】図５に示すように、接続ピン１を有するパ
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、厚み５〜２０μｍのシアン色素含有フィ
ルタ（屈折率：１．４４）１８を介してパイレックスガ
ラス基板１２が固定されている。パイレックスガラス基
板１２下面には光学レンズアレイ１３が形成されてお
り、これにより光学的ローパスフィルタ１１が構成され
ている。パッケージ２の開口端には、エポキシ等の接着
剤５を介して石英ガラス６が固定されている。
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、厚み５〜２０μｍのシアン色素含有フィ
ルタ（屈折率：１．４４）１８を介してパイレックスガ
ラス基板１２が固定されている。パイレックスガラス基
板１２下面には光学レンズアレイ１３が形成されてお
り、これにより光学的ローパスフィルタ１１が構成され
ている。パッケージ２の開口端には、エポキシ等の接着
剤５を介して石英ガラス６が固定されている。
【００３６】以下に、上記構成を備えた光学的ローパス
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。次いで、赤外
線カットフィルタ機能を有するシアン色素含有フィルタ
１８を固体撮像装置４の全面に塗布し、露光現像によっ
てアルミニウム配線パッドを露出させる。また、パイレ
ックスガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール
系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布
し、露光現像によって所望の位相格子形状にパターンニ
ングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することに
より、パイレックスガラス基板１２上に楕円形状の光学
レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ
１１を予め作製しておく。次いで、光学的ローパスフィ
ルタ１１を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態
でシアン色素含有フィルタ１８上に載置し、１８０℃の
温度でシアン色素含有フィルタ１８を熱硬化させること
により、固体撮像装置４と、光学レンズアレイ１３をそ
の下面に有するパイレックスガラス基板１２とを、厚み
５〜２０μｍのシアン色素含有フィルタ１８を介して互
いに平行に配置された状態で固定する。これにより、赤
外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィル
タ１１が固体撮像装置４上に直接形成される。次いで、
パッケージ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布
し、石英ガラス基板６を載置した後、１７０℃の温度で
接着剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４
と赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフ
ィルタ１１が、一体形成された状態でパッケージ２中に
内蔵される。
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。次いで、赤外
線カットフィルタ機能を有するシアン色素含有フィルタ
１８を固体撮像装置４の全面に塗布し、露光現像によっ
てアルミニウム配線パッドを露出させる。また、パイレ
ックスガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール
系ノボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布
し、露光現像によって所望の位相格子形状にパターンニ
ングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することに
より、パイレックスガラス基板１２上に楕円形状の光学
レンズアレイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ
１１を予め作製しておく。次いで、光学的ローパスフィ
ルタ１１を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態
でシアン色素含有フィルタ１８上に載置し、１８０℃の
温度でシアン色素含有フィルタ１８を熱硬化させること
により、固体撮像装置４と、光学レンズアレイ１３をそ
の下面に有するパイレックスガラス基板１２とを、厚み
５〜２０μｍのシアン色素含有フィルタ１８を介して互
いに平行に配置された状態で固定する。これにより、赤
外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィル
タ１１が固体撮像装置４上に直接形成される。次いで、
パッケージ２の開口端に接着剤（エポキシ）５を塗布
し、石英ガラス基板６を載置した後、１７０℃の温度で
接着剤５を熱硬化させる。これにより、固体撮像装置４
と赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフ
ィルタ１１が、一体形成された状態でパッケージ２中に
内蔵される。
【００３７】以上のような構成を採用することにより、
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、屈折率が１．５未満の
物質としてシアン色素含有フィルタ１８を用いたので、
赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィ
ルタ内蔵固体撮像装置を実現することができる。
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、屈折率が１．５未満の
物質としてシアン色素含有フィルタ１８を用いたので、
赤外線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィ
ルタ内蔵固体撮像装置を実現することができる。
【００３８】尚、本実施の形態においては、赤外線カッ
トフィルタ機能を有する物質としてシアン色素含有フィ
ルタ１８を用いているが、必ずしもこれに限定されるも
のではなく、赤外線を吸収して可視光を透過させる色素
を含有するフィルタであればよい。
トフィルタ機能を有する物質としてシアン色素含有フィ
ルタ１８を用いているが、必ずしもこれに限定されるも
のではなく、赤外線を吸収して可視光を透過させる色素
を含有するフィルタであればよい。
【００３９】〈第６の実施の形態〉図６は本発明の第６
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
の実施の形態における光学的ローパスフィルタ内蔵固体
撮像装置を示す断面図である。
【００４０】図６に示すように、接続ピン１を有するパ
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、厚み５〜２０μｍのシアン顔料フィルタ
（屈折率：１．４８）１９を介してパイレックスガラス
基板１２が固定されている。パイレックスガラス基板１
２下面には光学レンズアレイ１３が形成されており、こ
れにより光学的ローパスフィルタ１１が構成されてい
る。パッケージ２の開口端には、エポキシ等の接着剤５
を介して石英ガラス６が固定されている。
ッケージ２の内部には、銀ペースト等の導電性樹脂３を
介して固体撮像装置４が固定されている。固体撮像装置
４の上面には、厚み５〜２０μｍのシアン顔料フィルタ
（屈折率：１．４８）１９を介してパイレックスガラス
基板１２が固定されている。パイレックスガラス基板１
２下面には光学レンズアレイ１３が形成されており、こ
れにより光学的ローパスフィルタ１１が構成されてい
る。パッケージ２の開口端には、エポキシ等の接着剤５
を介して石英ガラス６が固定されている。
【００４１】以下に、上記構成を備えた光学的ローパス
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。次いで、赤外
線カットフィルタ機能を有するシアン顔料フィルタ１９
を固体撮像装置４の全面に塗布し、露光現像によってア
ルミニウム配線パッドを露出させる。また、パイレック
スガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール系ノ
ボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布し、露
光現像によって所望の位相格子形状にパターンニングし
た後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することにより、
パイレックスガラス基板１２上に楕円形の光学レンズア
レイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ１１を予
め作製しておく。次いで、光学的ローパスフィルタ１１
を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態でシアン
顔料フィルタ１９上に載置し、２００℃の温度でシアン
顔料フィルタ１９を熱硬化させることにより、固体撮像
装置４と、光学レンズアレイ１３をその下面に有するパ
イレックスガラス基板１２とを、厚み５〜２０μｍのシ
アン顔料フィルタ１９を介して互いに平行に配置された
状態で固定する。これにより、赤外線カットフィルタ機
能を有する光学的ローパスフィルタ１１が固体撮像装置
４上に直接形成される。次いで、パッケージ２の開口端
に接着剤（エポキシ）５を塗布し、石英ガラス６を載置
した後、１７０℃の温度で接着剤５を熱硬化させる。こ
れにより、固体撮像装置４と赤外線カットフィルタ機能
を有する光学的ローパスフィルタ１１が、一体形成され
た状態でパッケージ２中に内蔵される。
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法について説明す
る。まず、接続ピン１を有するパッケージ２の内部に、
導電性樹脂（銀ペースト）３を塗布し、導電性樹脂３の
上に固体撮像装置４を載置する。そして、１５０℃の温
度で導電性樹脂３を熱硬化させることにより、パッケー
ジ２の内部に固体撮像装置４を固定する。次いで、赤外
線カットフィルタ機能を有するシアン顔料フィルタ１９
を固体撮像装置４の全面に塗布し、露光現像によってア
ルミニウム配線パッドを露出させる。また、パイレック
スガラス基板１２に屈折率が１．５６のフェノール系ノ
ボラック樹脂を１．５〜３．０μｍの膜厚で塗布し、露
光現像によって所望の位相格子形状にパターンニングし
た後、１３０〜２４０℃の温度で加熱することにより、
パイレックスガラス基板１２上に楕円形の光学レンズア
レイ１３を形成して、光学的ローパスフィルタ１１を予
め作製しておく。次いで、光学的ローパスフィルタ１１
を、光学レンズアレイ１３を下向きにした状態でシアン
顔料フィルタ１９上に載置し、２００℃の温度でシアン
顔料フィルタ１９を熱硬化させることにより、固体撮像
装置４と、光学レンズアレイ１３をその下面に有するパ
イレックスガラス基板１２とを、厚み５〜２０μｍのシ
アン顔料フィルタ１９を介して互いに平行に配置された
状態で固定する。これにより、赤外線カットフィルタ機
能を有する光学的ローパスフィルタ１１が固体撮像装置
４上に直接形成される。次いで、パッケージ２の開口端
に接着剤（エポキシ）５を塗布し、石英ガラス６を載置
した後、１７０℃の温度で接着剤５を熱硬化させる。こ
れにより、固体撮像装置４と赤外線カットフィルタ機能
を有する光学的ローパスフィルタ１１が、一体形成され
た状態でパッケージ２中に内蔵される。
【００４２】以上のような構成を採用することにより、
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、屈折率が１．５未満の
物質としてシアン顔料フィルタ１９を用いたので、赤外
線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィルタ
内蔵固体撮像装置を実現することができる。
上記第１の実施の形態の場合と同様に、光学的ローパス
フィルタ１１の保護を図ることができると共に、省スペ
ース化を図ってビデオカメラやポケットカメラの小型化
を推進することができる。また、屈折率が１．５未満の
物質としてシアン顔料フィルタ１９を用いたので、赤外
線カットフィルタ機能を有する光学的ローパスフィルタ
内蔵固体撮像装置を実現することができる。
【００４３】尚、本実施の形態においては、赤外線カッ
トフィルタ機能を有する物質としてシアン顔料フィルタ
１９を用いているが、必ずしもこれに限定されるもので
はなく、赤外線を吸収して可視光を透過させる顔料を含
有するフィルタであればよい。
トフィルタ機能を有する物質としてシアン顔料フィルタ
１９を用いているが、必ずしもこれに限定されるもので
はなく、赤外線を吸収して可視光を透過させる顔料を含
有するフィルタであればよい。
【００４４】また、上記実施の形態においては、光学レ
ンズアレイ１３の材料として、屈折率が１．５６のフェ
ノール系ノボラック樹脂を用いているが、必ずしもこれ
に限定されるものではなく、屈折率が１．６以上のレン
ズ材料を用いれば、屈折率１．６未満のシアン顔料フィ
ルタを赤外線カットフィルタとして用いることもでき
る。
ンズアレイ１３の材料として、屈折率が１．５６のフェ
ノール系ノボラック樹脂を用いているが、必ずしもこれ
に限定されるものではなく、屈折率が１．６以上のレン
ズ材料を用いれば、屈折率１．６未満のシアン顔料フィ
ルタを赤外線カットフィルタとして用いることもでき
る。
【００４５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固体撮像装置と、第１の透明基板と前記第１の透明基板
の下面に形成された光学レンズアレイとからなる光学的
ローパスフィルタとが、一体形成された状態でパッケー
ジに内蔵されるので、光学的ローパスフィルタの保護を
図ることができると共に、省スペース化を図ってビデオ
カメラやポケットカメラの小型化を推進することができ
る。また、光学的ローパスフィルタをパッケージ中に内
蔵したことにより、光学的ローパスフィルタにキズやゴ
ミが付きにくくなり、ビデオカメラやポケットカメラの
故障が減少するので、信頼性の向上を図ることができ
る。
固体撮像装置と、第１の透明基板と前記第１の透明基板
の下面に形成された光学レンズアレイとからなる光学的
ローパスフィルタとが、一体形成された状態でパッケー
ジに内蔵されるので、光学的ローパスフィルタの保護を
図ることができると共に、省スペース化を図ってビデオ
カメラやポケットカメラの小型化を推進することができ
る。また、光学的ローパスフィルタをパッケージ中に内
蔵したことにより、光学的ローパスフィルタにキズやゴ
ミが付きにくくなり、ビデオカメラやポケットカメラの
故障が減少するので、信頼性の向上を図ることができ
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態における光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態における光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態における光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態における光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態における光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
【図６】本発明の第６の実施の形態における光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
パスフィルタ内蔵固体撮像装置を示す断面図である。
【図７】従来技術における固体撮像装置を示す断面図で
ある。
ある。
１ 接続ピン ２ パッケージ ３ 導電性樹脂 ４ 固体撮像装置 ５ 接着剤 ６ 石英ガラス基板 １０ ギャップ材 １０ａ セラミックスペーサ １０ｂ 熱硬化性樹脂 １１ 光学的ローパスフィルタ １２ パイレックスガラス基板 １３ 光学レンズアレイ １５ 紫外線硬化性樹脂 １６ 燐酸ガラス基板 １７ 燐酸ガラス基板 １８ シアン色素含有フィルタ １９ シアン顔料フィルタ ３０ 積層基板
Claims (16)
- 【請求項１】 パッケージと、前記パッケージの内部に
固定された固体撮像装置と、前記固体撮像装置上に所定
の厚みを有し、かつ屈折率が１．５未満の物質を介して
前記固体撮像装置と平行な状態で固定された第１の透明
基板と、前記透明基板の下面に形成された屈折率が１．
５以上の光学レンズアレイと、前記パッケージの開口端
を封止する第２の透明基板とを備えた光学的ローパスフ
ィルタ内蔵固体撮像装置。 - 【請求項２】 光学レンズアレイが位相格子形状にパタ
ーンニングされた請求項１に記載の光学的ローパスフィ
ルタ内蔵固体撮像装置。 - 【請求項３】 屈折率が１．５未満の物質が空気である
請求項１に記載の光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像
装置。 - 【請求項４】 屈折率が１．５未満の物質がシアン色素
含有フィルタである請求項１に記載の光学的ローパスフ
ィルタ内蔵固体撮像装置。 - 【請求項５】 屈折率が１．５未満の物質がシアン顔料
フィルタである請求項１に記載の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置。 - 【請求項６】 光学レンズアレイの材料がフェノール系
ノボラック樹脂である請求項１に記載の光学的ローパス
フィルタ内蔵固体撮像装置。 - 【請求項７】 第１の透明基板がパイレックスガラス基
板である請求項１に記載の光学的ローパスフィルタ内蔵
固体撮像装置。 - 【請求項８】 第１の透明基板が燐酸ガラス基板である
請求項１に記載の光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像
装置。 - 【請求項９】 固体撮像装置と第１の透明基板とが、球
状のスペーサと熱硬化性樹脂とからなるギャップ材を介
して固定された請求項１に記載の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置。 - 【請求項１０】 固体撮像装置と第１の透明基板とが、
紫外線硬化性樹脂のみからなるギャップ材を介して固定
された請求項１に記載の光学的ローパスフィルタ内蔵固
体撮像装置。 - 【請求項１１】 第２の透明基板が積層基板からなり、
前記積層基板を構成する基板の少なくとも１つが燐酸ガ
ラス基板である請求項１に記載の光学的ローパスフィル
タ内蔵固体撮像装置。 - 【請求項１２】 パッケージと、前記パッケージの内部
に固定された固体撮像装置と、前記固体撮像装置上に所
定の厚みを有し、かつ屈折率が１．５未満の物質を介し
て前記固体撮像装置と平行な状態で固定された第１の透
明基板と、前記透明基板の下面に形成された屈折率が
１．５以上の光学レンズアレイと、前記パッケージの開
口端を封止する第２の透明基板とを備えた光学的ローパ
スフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法であって、前記
第１の透明基板の下面に光学レンズアレイを形成するに
際し、前記第１の透明基板にフェノール系ノボラック樹
脂を塗布し、露光現像によって所望の位相格子形状にパ
ターンニングした後、１３０〜２４０℃の温度で加熱す
ることにより、前記第１の透明基板上に楕円形状の光学
レンズアレイを形成することを特徴とする光学的ローパ
スフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項１３】 固体撮像装置と第１の透明基板との間
を所定の距離に保持するためのギャップ材を、前記固体
撮像装置の上面のアルミニウム配線パッドの存在しない
チップ周辺部に形成する請求項１２に記載の光学的ロー
パスフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項１４】 ギャップ材として、球状のスペーサと
熱硬化性樹脂とからなるギャップ材を用いる請求項１３
に記載の光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製
造方法。 - 【請求項１５】 ギャップ材として、紫外線硬化性樹脂
のみからなるギャップ材を用いる請求項１３に記載の光
学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法。 - 【請求項１６】 固体撮像装置と第１の透明基板との距
離を機械的に一定に保持した状態で、紫外線硬化性樹脂
に紫外線を照射する請求項１５に記載の光学的ローパス
フィルタ内蔵固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9125868A JPH10321826A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9125868A JPH10321826A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321826A true JPH10321826A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=14920929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9125868A Pending JPH10321826A (ja) | 1997-05-15 | 1997-05-15 | 光学的ローパスフィルタ内蔵固体撮像装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10321826A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG123651A1 (en) * | 2005-01-05 | 2006-07-26 | Advanced Chip Eng Tech Inc | Fbga and cob package structure for image sensor |
| KR100681779B1 (ko) * | 2004-06-15 | 2007-02-12 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 촬상 장치 및 그 제조 방법 |
| JP2007142058A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体撮像素子およびその製造方法並びに半導体撮像装置とその製造方法 |
| JP2009246055A (ja) * | 2008-03-30 | 2009-10-22 | Fujikura Ltd | 光学フィルター内蔵ガラスウエハ |
| JP4799550B2 (ja) * | 2004-05-10 | 2011-10-26 | アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド | 瞳孔検出方法及びシステム |
-
1997
- 1997-05-15 JP JP9125868A patent/JPH10321826A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4799550B2 (ja) * | 2004-05-10 | 2011-10-26 | アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー（シンガポール）プライベート・リミテッド | 瞳孔検出方法及びシステム |
| KR100681779B1 (ko) * | 2004-06-15 | 2007-02-12 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 촬상 장치 및 그 제조 방법 |
| US8411197B2 (en) | 2004-06-15 | 2013-04-02 | Fujitsu Semiconductor Limited | Image pickup device and production method thereof |
| SG123651A1 (en) * | 2005-01-05 | 2006-07-26 | Advanced Chip Eng Tech Inc | Fbga and cob package structure for image sensor |
| JP2007142058A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体撮像素子およびその製造方法並びに半導体撮像装置とその製造方法 |
| JP2009246055A (ja) * | 2008-03-30 | 2009-10-22 | Fujikura Ltd | 光学フィルター内蔵ガラスウエハ |
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