JPS61196175A - 品種自動切換えオ−トハンドラ - Google Patents
品種自動切換えオ−トハンドラInfo
- Publication number
- JPS61196175A JPS61196175A JP60036341A JP3634185A JPS61196175A JP S61196175 A JPS61196175 A JP S61196175A JP 60036341 A JP60036341 A JP 60036341A JP 3634185 A JP3634185 A JP 3634185A JP S61196175 A JPS61196175 A JP S61196175A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lsi
- test
- autohandler
- automatic switching
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ＬＳＩ検査等のマテハンの自動化に係り、特
に検査工数の低減、省力化に有効なオートハンドラに関
する。
に検査工数の低減、省力化に有効なオートハンドラに関
する。
従来のオートハンドラについては、タケダ理研＠）発行
のカタｏグＬＳＩ／ＶＬＳＩ ＴＥＳＴＳＹＳＴＥＭ
Ｓ ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ（１９８３年１０月）Ｐ１３
〜Ｐ１６にＨａｎｄｉｅｒとして製品紹介されている。
のカタｏグＬＳＩ／ＶＬＳＩ ＴＥＳＴＳＹＳＴＥＭ
Ｓ ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ（１９８３年１０月）Ｐ１３
〜Ｐ１６にＨａｎｄｉｅｒとして製品紹介されている。
これらハンドラは、テストヘッドをＩＣ／ＬＳＩの品種
に応じて人手で交換する必要がありまたＩ Ｃ／Ｌ Ｓ
Ｉの品種に対応する検査データの切換え指令も人手で
ＶＤＴよりキーインする必要がある。このため、比較的
少品種かつ一品種あたりの生産量が多いＩＣ／ＬＳＩに
は有効な自動検査設備であるが、多品種少量生産の場合
、品種が変わる毎に人手によるテストヘッドの交換並び
にＶＤＴからの人手キーインによる検査データの切換え
を繁雑に実施する必要があり、オートハンドラとしての
効果が大巾に低下する欠点があった。
に応じて人手で交換する必要がありまたＩ Ｃ／Ｌ Ｓ
Ｉの品種に対応する検査データの切換え指令も人手で
ＶＤＴよりキーインする必要がある。このため、比較的
少品種かつ一品種あたりの生産量が多いＩＣ／ＬＳＩに
は有効な自動検査設備であるが、多品種少量生産の場合
、品種が変わる毎に人手によるテストヘッドの交換並び
にＶＤＴからの人手キーインによる検査データの切換え
を繁雑に実施する必要があり、オートハンドラとしての
効果が大巾に低下する欠点があった。
本発明の目的は、試験すべき多品種のＩＣ／ＬＳＩに関
し、各品種に対応する検査データ及びテストアダプタボ
ードを自動的に切換え試験し、人手介入を全く必要とし
ないＩＣ／ＬＳＩ用オートハンドラを提供することにあ
る。
し、各品種に対応する検査データ及びテストアダプタボ
ードを自動的に切換え試験し、人手介入を全く必要とし
ないＩＣ／ＬＳＩ用オートハンドラを提供することにあ
る。
本発明の特徴は、上記目的を達成するために試験すべき
Ｉ Ｃ／Ｌ Ｓ Ｉの捺印文字を、例えば画像処理方式
による捺印文字読取り装置で読取り、結果をホス）ＣＰ
Ｕ及びテストアダプタボード自動切換機構に送り、ホス
トＣＰＵからは対応する試験データ、試験プログラムが
検索されＬＳＩテスタへ返され、対応するテストアダプ
タボードがセットされるという一連の品種切換動作を自
動で行なうものである。
Ｉ Ｃ／Ｌ Ｓ Ｉの捺印文字を、例えば画像処理方式
による捺印文字読取り装置で読取り、結果をホス）ＣＰ
Ｕ及びテストアダプタボード自動切換機構に送り、ホス
トＣＰＵからは対応する試験データ、試験プログラムが
検索されＬＳＩテスタへ返され、対応するテストアダプ
タボードがセットされるという一連の品種切換動作を自
動で行なうものである。
以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第１図は、本発明による品種自動切換えオートハンドラ
と関係機器のブロック図である。１は品種自動切換えオ
ートハンドラ本体、２は工Ｃ／ＬＳＩを順次供給するロ
ーダ機構、３は供給されたＩ Ｃ／Ｌ Ｓ Ｉをあらか
じめ設定した所定の位置まで搬送し位置決めを行なう搬
送位置決め機構、４は被試験物となるＩＣ／ＬＳＩをテ
ストヘッドへハンドリングするハンドリング機構、５は
試験終了したＬＳＩを良否に判別し収納するアンローダ
機構、６はＩＣ／ＬＳＩの捺印文字読取り装置で実施例
では画像処理方式によっている。７はテストボード切換
え機構で関係機器として外部補助記憶装置１０を持つホ
ストＣＰＵ８及びＬＳＩテスタ９がある。
と関係機器のブロック図である。１は品種自動切換えオ
ートハンドラ本体、２は工Ｃ／ＬＳＩを順次供給するロ
ーダ機構、３は供給されたＩ Ｃ／Ｌ Ｓ Ｉをあらか
じめ設定した所定の位置まで搬送し位置決めを行なう搬
送位置決め機構、４は被試験物となるＩＣ／ＬＳＩをテ
ストヘッドへハンドリングするハンドリング機構、５は
試験終了したＬＳＩを良否に判別し収納するアンローダ
機構、６はＩＣ／ＬＳＩの捺印文字読取り装置で実施例
では画像処理方式によっている。７はテストボード切換
え機構で関係機器として外部補助記憶装置１０を持つホ
ストＣＰＵ８及びＬＳＩテスタ９がある。
次に品種自動切換えオートハンドラの動作について説明
する。ローダ機構２にセット、準備されたＩＣ／ＬＳＩ
は該機構２により順次搬送位置決め機構３に供給されて
くる。搬送位置決め機構３は供給されたＩＣ／ＬＳＩを
所定の位置で止め、位置決めをし、位置決めが完了した
時点で、完了信号を捺印文字読取り装置６に送信する。
する。ローダ機構２にセット、準備されたＩＣ／ＬＳＩ
は該機構２により順次搬送位置決め機構３に供給されて
くる。搬送位置決め機構３は供給されたＩＣ／ＬＳＩを
所定の位置で止め、位置決めをし、位置決めが完了した
時点で、完了信号を捺印文字読取り装置６に送信する。
捺印文字読取り装置６はこの完了信号を受信確認後読取
りを開始する。該装置６は読取り終了後、読取りデータ
をＩＣ／ＬＳＩの品名として、ホス）ＣＰＵ８とテスト
アダプタボード自動切換え機構７に送る。第２図は、各
ＩＣ／ＬＳＩ品名に対応する試験データ名、試験プログ
ラム名及びテストアダプタボードのテーブルを示す。こ
のテーブルは、ホストＣＰＵ８の内部記憶装置に記憶さ
れており、ホス）ＣＰＵ８は捺印文字読取り装置６から
送られた品名とテーブルの品名を照合比較し、一致した
品名に対応する行のデータを、例えば品名ｎい試験デー
タ名ｄい試験プログラム名ｐ１、テストアダプタボード
ｔ、を抜き出してくる６次にホストＣＰＵ８は、試験デ
ータ名ｄ、及び試験プログラム名ｐ、で表わされるデー
タを外部記憶装置１０より索引して一致したデータを８
の内部記憶装置に格納し、ＬＳＩテスタ９が試験実行で
きるレベルにデータ処理し、ＬＳＩテスタ９に処理デー
タを受は渡す。
りを開始する。該装置６は読取り終了後、読取りデータ
をＩＣ／ＬＳＩの品名として、ホス）ＣＰＵ８とテスト
アダプタボード自動切換え機構７に送る。第２図は、各
ＩＣ／ＬＳＩ品名に対応する試験データ名、試験プログ
ラム名及びテストアダプタボードのテーブルを示す。こ
のテーブルは、ホストＣＰＵ８の内部記憶装置に記憶さ
れており、ホス）ＣＰＵ８は捺印文字読取り装置６から
送られた品名とテーブルの品名を照合比較し、一致した
品名に対応する行のデータを、例えば品名ｎい試験デー
タ名ｄい試験プログラム名ｐ１、テストアダプタボード
ｔ、を抜き出してくる６次にホストＣＰＵ８は、試験デ
ータ名ｄ、及び試験プログラム名ｐ、で表わされるデー
タを外部記憶装置１０より索引して一致したデータを８
の内部記憶装置に格納し、ＬＳＩテスタ９が試験実行で
きるレベルにデータ処理し、ＬＳＩテスタ９に処理デー
タを受は渡す。
一方テストアダプタボード自動切換え機構７は、受信し
た品名データを処理し、該当するテストアダプタボード
に自動的に切換える。この間被試験物のＩＣ／ＬＳＩは
搬送位置決め機構３よりハンドリング機構４によりテス
トヘッドにセットされ試験準備光となる。この時、ＬＳ
Ｉテスタ９に試験開始の起動がかかり、ＬＳＩテスタ９
はテストヘッドにセットされたＩＣ／ＬＳＩに一致した
試験条件、試験データで試験される。試験終了後は良否
によってアンローダ機構５で判別排出される。
た品名データを処理し、該当するテストアダプタボード
に自動的に切換える。この間被試験物のＩＣ／ＬＳＩは
搬送位置決め機構３よりハンドリング機構４によりテス
トヘッドにセットされ試験準備光となる。この時、ＬＳ
Ｉテスタ９に試験開始の起動がかかり、ＬＳＩテスタ９
はテストヘッドにセットされたＩＣ／ＬＳＩに一致した
試験条件、試験データで試験される。試験終了後は良否
によってアンローダ機構５で判別排出される。
本実施例によれば、多品種のＩＣ／ＬＳＩの試験が全自
動で実施でき、検査効率向上の効果がある。
動で実施でき、検査効率向上の効果がある。
本発明によれば、多品種少量生産のＩ Ｃ／ＬＳＩの試
験が効率良〈実施でき、検査作業の自動化、省力化に大
きな効果がある。
験が効率良〈実施でき、検査作業の自動化、省力化に大
きな効果がある。
第１図は本発明の一実施例の品種自動切換オートハンド
ラのブロック図、第２図はＬＳＩ品名に対応する各パラ
メータをテーブル形式で示す表示図である。 ２・・・ローダ機構 ５・・・搬送位置決め機構 ４・・・ハンドリング機構 ５・・・アンローダ機構 ６・・・捺印文字読喉す装置 ８・・・ホストＣＰＵ ９・・・ＬＳＩテスタ １０・・・外部補助記憶装置 第 １ 図 第２図
ラのブロック図、第２図はＬＳＩ品名に対応する各パラ
メータをテーブル形式で示す表示図である。 ２・・・ローダ機構 ５・・・搬送位置決め機構 ４・・・ハンドリング機構 ５・・・アンローダ機構 ６・・・捺印文字読喉す装置 ８・・・ホストＣＰＵ ９・・・ＬＳＩテスタ １０・・・外部補助記憶装置 第 １ 図 第２図
Claims (1)
- １、ＬＳＩを順次供給するローダ機構と、供給されたＬ
ＳＩを所定の位置まで搬送し位置決めを行う搬送位置決
め機構と、ＬＳＩを試験すべくテストヘッドへハンドリ
ングするハンドリング機構と、試験終了後のＬＳＩを良
否に判別収納するアンローダ機構より成るオートハンド
ラにおいて、ＩＣ／ＬＳＩの捺印文字読取り装置とテス
トアダプタボード自動切換え機構を設けたことを特徴と
する品種自動切換えオートハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60036341A JPS61196175A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 品種自動切換えオ−トハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60036341A JPS61196175A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 品種自動切換えオ−トハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61196175A true JPS61196175A (ja) | 1986-08-30 |
Family
ID=12467127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60036341A Pending JPS61196175A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 品種自動切換えオ−トハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61196175A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63179267A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | Tokyo Electron Ltd | 多品種測定装置 |
| JPH01292270A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JPH028757A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-12 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| US7562350B2 (en) | 2000-12-15 | 2009-07-14 | Ricoh Company, Ltd. | Processing system and method using recomposable software |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP60036341A patent/JPS61196175A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63179267A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | Tokyo Electron Ltd | 多品種測定装置 |
| JPH01292270A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JPH028757A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-01-12 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| US7562350B2 (en) | 2000-12-15 | 2009-07-14 | Ricoh Company, Ltd. | Processing system and method using recomposable software |
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