JPH10323664A - 排水回収処理装置 - Google Patents
排水回収処理装置Info
- Publication number
- JPH10323664A JPH10323664A JP13646497A JP13646497A JPH10323664A JP H10323664 A JPH10323664 A JP H10323664A JP 13646497 A JP13646497 A JP 13646497A JP 13646497 A JP13646497 A JP 13646497A JP H10323664 A JPH10323664 A JP H10323664A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wastewater
- water
- reverse osmosis
- acid
- treatment tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 title claims abstract description 128
- 238000011084 recovery Methods 0.000 title claims abstract description 45
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 148
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims abstract description 84
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims abstract description 50
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 19
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 14
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 10
- 239000001110 calcium chloride Substances 0.000 claims description 10
- 229910001628 calcium chloride Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 claims description 10
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 8
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 7
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 6
- -1 fluorine ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 claims description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 7
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 abstract description 6
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 abstract 1
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 20
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 18
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 12
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 11
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 9
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 9
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 9
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 7
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 238000005273 aeration Methods 0.000 description 4
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 4
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 3
- 235000011116 calcium hydroxide Nutrition 0.000 description 3
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 3
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 3
- DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H aluminium sulfate (anhydrous) Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 2
- 230000001580 bacterial effect Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000011221 initial treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- FQKMRXHEIPOETF-UHFFFAOYSA-N F.OP(O)(O)=O Chemical compound F.OP(O)(O)=O FQKMRXHEIPOETF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000233866 Fungi Species 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229920001429 chelating resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000701 coagulant Substances 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000029087 digestion Effects 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000010842 industrial wastewater Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002207 metabolite Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000036632 reaction speed Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000012465 retentate Substances 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F9/00—Multistage treatment of water, waste water or sewage
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
- B01D61/025—Reverse osmosis; Hyperfiltration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
- B01D61/04—Feed pretreatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/28—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption
- C02F1/283—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption using coal, charred products, or inorganic mixtures containing them
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
- C02F1/441—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by reverse osmosis
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
- C02F1/444—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by ultrafiltration or microfiltration
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/66—Treatment of water, waste water, or sewage by neutralisation; pH adjustment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F11/00—Treatment of sludge; Devices therefor
- C02F11/12—Treatment of sludge; Devices therefor by de-watering, drying or thickening
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F3/00—Biological treatment of water, waste water, or sewage
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F3/00—Biological treatment of water, waste water, or sewage
- C02F3/02—Aerobic processes
- C02F3/06—Aerobic processes using submerged filters
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F5/00—Softening water; Preventing scale; Adding scale preventatives or scale removers to water, e.g. adding sequestering agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2311/00—Details relating to membrane separation process operations and control
- B01D2311/04—Specific process operations in the feed stream; Feed pretreatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2311/00—Details relating to membrane separation process operations and control
- B01D2311/06—Specific process operations in the permeate stream
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/28—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption
- C02F1/285—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption using synthetic organic sorbents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
- C02F1/5236—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/68—Treatment of water, waste water, or sewage by addition of specified substances, e.g. trace elements, for ameliorating potable water
- C02F1/683—Treatment of water, waste water, or sewage by addition of specified substances, e.g. trace elements, for ameliorating potable water by addition of complex-forming compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F11/00—Treatment of sludge; Devices therefor
- C02F11/12—Treatment of sludge; Devices therefor by de-watering, drying or thickening
- C02F11/13—Treatment of sludge; Devices therefor by de-watering, drying or thickening by heating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F3/00—Biological treatment of water, waste water, or sewage
- C02F2003/001—Biological treatment of water, waste water, or sewage using granular carriers or supports for the microorganisms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F3/00—Biological treatment of water, waste water, or sewage
- C02F2003/001—Biological treatment of water, waste water, or sewage using granular carriers or supports for the microorganisms
- C02F2003/003—Biological treatment of water, waste water, or sewage using granular carriers or supports for the microorganisms using activated carbon or the like
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2101/00—Nature of the contaminant
- C02F2101/10—Inorganic compounds
- C02F2101/12—Halogens or halogen-containing compounds
- C02F2101/14—Fluorine or fluorine-containing compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/023—Water in cooling circuits
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/12—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from the silicate or ceramic industries, e.g. waste waters from cement or glass factories
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S210/00—Liquid purification or separation
- Y10S210/902—Materials removed
- Y10S210/915—Fluorine containing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Biodiversity & Conservation Biology (AREA)
- Microbiology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)
- Water Treatment By Sorption (AREA)
- Biological Treatment Of Waste Water (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 排水回収のために使う薬品の種類および量を
極力少なくし、これにより廃棄物量を少なく抑えるとと
もに、大きな敷地面積を要する設備を無くしたコンパク
トな排水回収処理装置を提供する。 【解決手段】 有機物を含みフッ素を含まない酸・アル
カリ排水排水を対象としかつ逆浸透装置を備えた排水回
収処理装置である。これは、有機物を含む酸・アルカリ
排水を逆浸透により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固
させ、逆浸透透過水を回収する装置において、逆浸透過
程で上記排水がスケール成分を析出するのを防止するた
めに、逆浸透装置の前に上記排水を中和する中和装置
と、中和した排水を生物処理する生物処理槽が設置され
てなることを特徴とするものである。
極力少なくし、これにより廃棄物量を少なく抑えるとと
もに、大きな敷地面積を要する設備を無くしたコンパク
トな排水回収処理装置を提供する。 【解決手段】 有機物を含みフッ素を含まない酸・アル
カリ排水排水を対象としかつ逆浸透装置を備えた排水回
収処理装置である。これは、有機物を含む酸・アルカリ
排水を逆浸透により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固
させ、逆浸透透過水を回収する装置において、逆浸透過
程で上記排水がスケール成分を析出するのを防止するた
めに、逆浸透装置の前に上記排水を中和する中和装置
と、中和した排水を生物処理する生物処理槽が設置され
てなることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業排水の有機物
を含む酸・アルカリ排水に関するものであり、特に比較
的低濃度のアンモニアおよび有機物、場合によってはフ
ッ素、更にはリン酸を含む排水の回収処理装置に関する
ものである。とりわけ、半導体や液晶等の電子製品ない
しはその素子の製造工場において超純水を使用したウエ
ット・プロセスから排出される排水の回収処理装置に関
する。
を含む酸・アルカリ排水に関するものであり、特に比較
的低濃度のアンモニアおよび有機物、場合によってはフ
ッ素、更にはリン酸を含む排水の回収処理装置に関する
ものである。とりわけ、半導体や液晶等の電子製品ない
しはその素子の製造工場において超純水を使用したウエ
ット・プロセスから排出される排水の回収処理装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】有機物を数ｐｐｍ含む酸・アルカリ排水
を回収するには、図３に示すように、先ず、同排水を中
和槽で中和した後、生物処理槽で処理して有機物を分
解、除去する。次に、生物処理水を限外濾過（ＵＦ）循
環槽を経てＵＦ装置へ供給し、生物処理水中の微生物主
体のＳＳ成分を除去する。ＳＳ除去後の生物処理水は再
生式イオン交換装置に供給され、無機イオンが除去され
る。無機イオン除去後の処理水は、中水あるいは冷却塔
補給水として再利用されている。
を回収するには、図３に示すように、先ず、同排水を中
和槽で中和した後、生物処理槽で処理して有機物を分
解、除去する。次に、生物処理水を限外濾過（ＵＦ）循
環槽を経てＵＦ装置へ供給し、生物処理水中の微生物主
体のＳＳ成分を除去する。ＳＳ除去後の生物処理水は再
生式イオン交換装置に供給され、無機イオンが除去され
る。無機イオン除去後の処理水は、中水あるいは冷却塔
補給水として再利用されている。
【０００３】また、フッ素を含む排水は、図４に示すよ
うに、先ず、反応槽においてフッ素含有回収排水に消石
灰を添加して同排水の一次処理を行い、反応式、Ｃａ2+
＋２Ｆ- →ＣａＦ2 、に従って生じたＣａＦ2 を沈降槽
で沈殿させ、これを含むスラッジを脱水機で除去する。
他方、一次処理水を生物処理槽で処理して有機物を分
解、除去する。更に反応槽において生物処理水に凝集剤
として硫酸アルミニウムを添加して高度処理を行い、反
応式、Ａｌ3+＋３ＯＨ→Ａｌ（ＯＨ）3 、に従って生成
したフッ素吸着性のＡｌ（ＯＨ）3 にフッ素を吸着させ
て沈降槽で沈殿させ、このＡｌ（ＯＨ）3 を含むスラッ
ジを上記脱水機で除去する。高度処理水に含まれる微量
のフッ素は、キレート樹脂を充填した吸着塔で吸着除去
され、処理水は放流される。
うに、先ず、反応槽においてフッ素含有回収排水に消石
灰を添加して同排水の一次処理を行い、反応式、Ｃａ2+
＋２Ｆ- →ＣａＦ2 、に従って生じたＣａＦ2 を沈降槽
で沈殿させ、これを含むスラッジを脱水機で除去する。
他方、一次処理水を生物処理槽で処理して有機物を分
解、除去する。更に反応槽において生物処理水に凝集剤
として硫酸アルミニウムを添加して高度処理を行い、反
応式、Ａｌ3+＋３ＯＨ→Ａｌ（ＯＨ）3 、に従って生成
したフッ素吸着性のＡｌ（ＯＨ）3 にフッ素を吸着させ
て沈降槽で沈殿させ、このＡｌ（ＯＨ）3 を含むスラッ
ジを上記脱水機で除去する。高度処理水に含まれる微量
のフッ素は、キレート樹脂を充填した吸着塔で吸着除去
され、処理水は放流される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】有機物を数ｐｐｍ含む
酸・アルカリ排水の回収処理装置は、上述の通り、再生
式のイオン交換装置を備えている。この再生式イオン交
換装置は、イオンの吸着が飽和に到達したら樹脂の再生
が必要なものであり、通常１当量のイオンの除去に対し
て２〜３倍当量の再生薬品が使用され系外に排出され、
また、大容量の再生排水が排出される。そのため、適切
な排水処理を別途設ける必要がある。
酸・アルカリ排水の回収処理装置は、上述の通り、再生
式のイオン交換装置を備えている。この再生式イオン交
換装置は、イオンの吸着が飽和に到達したら樹脂の再生
が必要なものであり、通常１当量のイオンの除去に対し
て２〜３倍当量の再生薬品が使用され系外に排出され、
また、大容量の再生排水が排出される。そのため、適切
な排水処理を別途設ける必要がある。
【０００５】また、有機物を含む排水の回収処理装置で
は、回収排水中の有機物が微生物をよく繁殖させるこ
と、あるいは微生物の代謝生産物や菌類がリークするこ
とにより、後流の膜分離装置あるいはイオン交換装置の
閉塞といったトラブルが発生する。
は、回収排水中の有機物が微生物をよく繁殖させるこ
と、あるいは微生物の代謝生産物や菌類がリークするこ
とにより、後流の膜分離装置あるいはイオン交換装置の
閉塞といったトラブルが発生する。
【０００６】他方、フッ素を含む排水処理で用いられる
消石灰は微粒子であり、水に溶解して液相反応によりＣ
ａＦ2 微粒子を生成する。排水を更に高度処理するため
には、凝集剤を添加しなければならない。これらの薬品
添加により生じたスラッジを分離するためには、凝集
槽、シックナー等の設備が必要となる。これらの諸設備
は大きな敷地面積を要する。しかも、処理水中のフッ素
濃度を排水規制値以下とするためには、中和剤としての
消石灰や凝集剤としての硫酸アルミニウム、高分子凝集
剤等が過剰量用いられ、その結果大量のスラッジが発生
し、廃棄物量を増加させている。スラッジの含水率はフ
ィルタープレスによる脱水後でも約８０％であり、スラ
ッジ中のＣａＦ2 含有率は通常１０％以下である。
消石灰は微粒子であり、水に溶解して液相反応によりＣ
ａＦ2 微粒子を生成する。排水を更に高度処理するため
には、凝集剤を添加しなければならない。これらの薬品
添加により生じたスラッジを分離するためには、凝集
槽、シックナー等の設備が必要となる。これらの諸設備
は大きな敷地面積を要する。しかも、処理水中のフッ素
濃度を排水規制値以下とするためには、中和剤としての
消石灰や凝集剤としての硫酸アルミニウム、高分子凝集
剤等が過剰量用いられ、その結果大量のスラッジが発生
し、廃棄物量を増加させている。スラッジの含水率はフ
ィルタープレスによる脱水後でも約８０％であり、スラ
ッジ中のＣａＦ2 含有率は通常１０％以下である。
【０００７】また、得られた回収水を、従来のイオン交
換および膜分離をベースとした純水製造装置の供給原水
として使うには、処理が不十分である。
換および膜分離をベースとした純水製造装置の供給原水
として使うには、処理が不十分である。
【０００８】本発明の目的は、排水回収のために使う薬
品の種類および量を極力少なくし、これにより廃棄物量
を少なく抑えるとともに、シックナー等の大きな敷地面
積を要する設備を無くしたコンパクトな排水回収処理装
置を提供することにある。
品の種類および量を極力少なくし、これにより廃棄物量
を少なく抑えるとともに、シックナー等の大きな敷地面
積を要する設備を無くしたコンパクトな排水回収処理装
置を提供することにある。
【０００９】本発明のもう１つの目的は、微生物による
膜分離装置あるいはイオン交換装置の閉塞トラブルを起
こさず、連続処理を可能とする排水回収処理装置を提供
することにある。
膜分離装置あるいはイオン交換装置の閉塞トラブルを起
こさず、連続処理を可能とする排水回収処理装置を提供
することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明による第１の排水
回収処理装置は、有機物を含みフッ素を含まない酸・ア
ルカリ排水排水を対象としかつ逆浸透装置を備えたもの
である。第１の排水回収処理装置は、有機物を含む酸・
アルカリ排水を逆浸透により濃縮して、残った濃縮水を
蒸発乾固させ、逆浸透透過水を回収する装置において、
逆浸透過程で上記排水がスケール成分を析出するのを防
止するために、逆浸透装置の前に上記排水を中和する中
和装置と、中和した排水を生物処理する生物処理槽が設
置されてなることを特徴とするものである。
回収処理装置は、有機物を含みフッ素を含まない酸・ア
ルカリ排水排水を対象としかつ逆浸透装置を備えたもの
である。第１の排水回収処理装置は、有機物を含む酸・
アルカリ排水を逆浸透により濃縮して、残った濃縮水を
蒸発乾固させ、逆浸透透過水を回収する装置において、
逆浸透過程で上記排水がスケール成分を析出するのを防
止するために、逆浸透装置の前に上記排水を中和する中
和装置と、中和した排水を生物処理する生物処理槽が設
置されてなることを特徴とするものである。
【００１１】第１の排水回収処理装置では、フッ素を含
まない排水を、逆浸透装置で極限まで濃縮されてもスケ
ール成分が析出しにくい（溶解度の高い）性状のものと
するため、逆浸透装置の前流で例えば苛性ソーダ水溶液
で中和される。中和された排水は、生物処理槽で処理さ
れ、有機物が分解、除去される。生物処理槽は、活性炭
充填層に充分に酸素を供給するもの、あるいは酸素を供
給しながら活性炭充填層を流動化させるものであっても
よい。アンモニアが排水中に含まれる場合は、生物処理
槽中で消化される。この消化の過程で排水のｐＨが低下
するので、排水を苛性ソーダ水溶液で中和する。生物処
理装置から流出する処理水中には菌体主体のＳＳ成分が
含まれるので、これを限外濾過（ＵＦ）装置で除去す
る。限外濾過（ＵＦ）膜としては、菌体の付着、閉塞の
防止が可能な特殊スペーサーを有したＵＦ膜、例えば栗
田工業（株）製プレプロックスＵＦ膜が例示される。ま
た、生物処理とＳＳ成分除去を１つの槽で行う方法とし
て、酸素を供給しながら活性炭層を流動化させている生
物処理槽に精密濾過（ＭＦ）膜を浸漬しＭＦ膜を通して
排水を吸引して透過水を得る方法もある。ＳＳ成分除去
後の生物処理水は、溶解度の高い性状のものであるの
で、これを逆浸透（ＲＯ）装置によって極限まで、例え
ば処理量の１／４０まで（処理量を１００とした場合、
透過水９７．５、濃縮水２．５）濃縮できる。逆浸透
（ＲＯ）膜としては、例えば日東電工（株）製ＳＥ−１
０が例示される。極限まで濃縮された濃縮水は蒸発乾固
装置に供給され、スラッジ成分が蒸発乾固させられる。
蒸発乾固装置としては、例えばドラムドライヤーが例示
される。逆浸透透過水は中水、冷却塔の補給水あるいは
蒸留法純水製造装置の原水として回収され再利用され
る。
まない排水を、逆浸透装置で極限まで濃縮されてもスケ
ール成分が析出しにくい（溶解度の高い）性状のものと
するため、逆浸透装置の前流で例えば苛性ソーダ水溶液
で中和される。中和された排水は、生物処理槽で処理さ
れ、有機物が分解、除去される。生物処理槽は、活性炭
充填層に充分に酸素を供給するもの、あるいは酸素を供
給しながら活性炭充填層を流動化させるものであっても
よい。アンモニアが排水中に含まれる場合は、生物処理
槽中で消化される。この消化の過程で排水のｐＨが低下
するので、排水を苛性ソーダ水溶液で中和する。生物処
理装置から流出する処理水中には菌体主体のＳＳ成分が
含まれるので、これを限外濾過（ＵＦ）装置で除去す
る。限外濾過（ＵＦ）膜としては、菌体の付着、閉塞の
防止が可能な特殊スペーサーを有したＵＦ膜、例えば栗
田工業（株）製プレプロックスＵＦ膜が例示される。ま
た、生物処理とＳＳ成分除去を１つの槽で行う方法とし
て、酸素を供給しながら活性炭層を流動化させている生
物処理槽に精密濾過（ＭＦ）膜を浸漬しＭＦ膜を通して
排水を吸引して透過水を得る方法もある。ＳＳ成分除去
後の生物処理水は、溶解度の高い性状のものであるの
で、これを逆浸透（ＲＯ）装置によって極限まで、例え
ば処理量の１／４０まで（処理量を１００とした場合、
透過水９７．５、濃縮水２．５）濃縮できる。逆浸透
（ＲＯ）膜としては、例えば日東電工（株）製ＳＥ−１
０が例示される。極限まで濃縮された濃縮水は蒸発乾固
装置に供給され、スラッジ成分が蒸発乾固させられる。
蒸発乾固装置としては、例えばドラムドライヤーが例示
される。逆浸透透過水は中水、冷却塔の補給水あるいは
蒸留法純水製造装置の原水として回収され再利用され
る。
【００１２】本発明による第２の排水回収処理装置は、
有機物の他にフッ素を含む酸・アルカリ排水を対象とし
かつ逆浸透装置を備えたものである。第２の排水回収処
理装置は、有機物およびフッ素を含む酸・アルカリ排水
を逆浸透により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固さ
せ、逆浸透透過水を回収する装置において、逆浸透過程
で上記排水がスケール成分を析出するのを防止するため
に、逆浸透装置の前に上記排水を中和する中和装置と、
中和した排水を生物処理する生物処理槽と、逆浸透濃縮
水に塩化カルシウムを添加する塩化カルシウム装置と、
逆浸透透過水中のフッ素イオン除去用の吸着塔とが設置
されてなることを特徴とするものである。
有機物の他にフッ素を含む酸・アルカリ排水を対象とし
かつ逆浸透装置を備えたものである。第２の排水回収処
理装置は、有機物およびフッ素を含む酸・アルカリ排水
を逆浸透により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固さ
せ、逆浸透透過水を回収する装置において、逆浸透過程
で上記排水がスケール成分を析出するのを防止するため
に、逆浸透装置の前に上記排水を中和する中和装置と、
中和した排水を生物処理する生物処理槽と、逆浸透濃縮
水に塩化カルシウムを添加する塩化カルシウム装置と、
逆浸透透過水中のフッ素イオン除去用の吸着塔とが設置
されてなることを特徴とするものである。
【００１３】第２の排水回収処理装置において、酸・ア
ルカリ排水は更にリン酸を含む排水であってもよい。
ルカリ排水は更にリン酸を含む排水であってもよい。
【００１４】第２の排水回収処理装置では、フッ素を含
む排水の処理は、逆浸透装置による濃縮過程まではフッ
素を含まない排水の処理と同じである。蒸発乾固装置の
前流にＣａＣｌ2 を添加する反応槽を設け、逆浸透装置
で極限まで濃縮した濃縮水に塩化カルシウム水溶液をフ
ッ素濃度と当量程度の量添加する。同槽において濃縮水
中のフッ素は溶解度の低いＣａＦ2 に変換され、生じた
ＣａＦ2 は蒸発乾固装置に供給されて他のスラッジ成分
とともに蒸発乾固させられる。このように、濃縮水排水
中のフッ素の形態をＮａＦからＣａＦ2 に変えることに
よって、乾燥操作および乾燥後のスラッジの取り扱いが
容易になる。他方、逆浸透透過水中に含まれるフッ素を
除去するため、逆浸透装置後流に吸着剤を充填した吸着
塔を設ける。吸着剤としては、キレート樹脂あるいはジ
ルコニウム系吸着剤が例示される。キレート樹脂でフッ
素が吸着除去された透過水は、中水、冷却塔の補給水あ
るいは蒸留法純水製造装置の原水として回収再利用され
る。
む排水の処理は、逆浸透装置による濃縮過程まではフッ
素を含まない排水の処理と同じである。蒸発乾固装置の
前流にＣａＣｌ2 を添加する反応槽を設け、逆浸透装置
で極限まで濃縮した濃縮水に塩化カルシウム水溶液をフ
ッ素濃度と当量程度の量添加する。同槽において濃縮水
中のフッ素は溶解度の低いＣａＦ2 に変換され、生じた
ＣａＦ2 は蒸発乾固装置に供給されて他のスラッジ成分
とともに蒸発乾固させられる。このように、濃縮水排水
中のフッ素の形態をＮａＦからＣａＦ2 に変えることに
よって、乾燥操作および乾燥後のスラッジの取り扱いが
容易になる。他方、逆浸透透過水中に含まれるフッ素を
除去するため、逆浸透装置後流に吸着剤を充填した吸着
塔を設ける。吸着剤としては、キレート樹脂あるいはジ
ルコニウム系吸着剤が例示される。キレート樹脂でフッ
素が吸着除去された透過水は、中水、冷却塔の補給水あ
るいは蒸留法純水製造装置の原水として回収再利用され
る。
【００１５】第１および第２の排水回収処理装置におい
て、生物処理槽は好ましくは流動床式生物活性炭方法を
用いたものである。生物処理槽の槽内には、処理水のＳ
Ｓ成分を分離して逆浸透装置へ供給するための精密濾過
（ＭＦ）膜を設けることもある。
て、生物処理槽は好ましくは流動床式生物活性炭方法を
用いたものである。生物処理槽の槽内には、処理水のＳ
Ｓ成分を分離して逆浸透装置へ供給するための精密濾過
（ＭＦ）膜を設けることもある。
【００１６】本発明による第３の排水回収処理装置は、
有機物を含みフッ素を含まない酸・アルカリ排水排水を
対象としかつ蒸発濃縮装置を備えたものである。第３の
排水回収処理装置は、有機物を含む酸・アルカリ排水を
蒸発濃縮により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固さ
せ、蒸発物を蒸発水として回収する装置において、蒸発
濃縮過程で上記排水がスケール成分を析出するのを防止
するために、蒸発濃縮装置の前流に上記排水を中和する
中和装置と、中和した排水を生物処理する生物処理槽が
設置されてなることを特徴とするものである。
有機物を含みフッ素を含まない酸・アルカリ排水排水を
対象としかつ蒸発濃縮装置を備えたものである。第３の
排水回収処理装置は、有機物を含む酸・アルカリ排水を
蒸発濃縮により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固さ
せ、蒸発物を蒸発水として回収する装置において、蒸発
濃縮過程で上記排水がスケール成分を析出するのを防止
するために、蒸発濃縮装置の前流に上記排水を中和する
中和装置と、中和した排水を生物処理する生物処理槽が
設置されてなることを特徴とするものである。
【００１７】第３の排水回収処理装置およびその操作
は、第１の排水回収処理装置の逆浸透装置を蒸発濃縮装
置に代えた点を除いて第１の排水回収処理装置のものと
基本的に同じである。第３の排水回収処理装置では、生
物処理槽後流かつ蒸発濃縮装置前流の機器は、加熱操作
を主体とする機器であり、微生物によるトラブル発生の
問題がないので、生物処理槽の後流に、処理水中のＳＳ
成分を分離するためのＳＳ分離装置が設けられている。
ＳＳ分離装置としては渦巻ストレーナが好ましい。渦巻
ストレーナとしては、例えばアイエム（株）製の渦巻ス
トレーナが例示される。蒸発濃縮装置としては、例えば
多重効用蒸発濃縮装置、蒸気圧縮式蒸発濃縮装置等が例
示される。
は、第１の排水回収処理装置の逆浸透装置を蒸発濃縮装
置に代えた点を除いて第１の排水回収処理装置のものと
基本的に同じである。第３の排水回収処理装置では、生
物処理槽後流かつ蒸発濃縮装置前流の機器は、加熱操作
を主体とする機器であり、微生物によるトラブル発生の
問題がないので、生物処理槽の後流に、処理水中のＳＳ
成分を分離するためのＳＳ分離装置が設けられている。
ＳＳ分離装置としては渦巻ストレーナが好ましい。渦巻
ストレーナとしては、例えばアイエム（株）製の渦巻ス
トレーナが例示される。蒸発濃縮装置としては、例えば
多重効用蒸発濃縮装置、蒸気圧縮式蒸発濃縮装置等が例
示される。
【００１８】本発明による第４の排水回収処理装置は、
有機物の他にフッ素を含む酸・アルカリ排水排水を対象
としかつ蒸発濃縮装置を備えたものである。第４の排水
回収処理装置は、有機物およびフッ素を含む酸・アルカ
リ排水を蒸発濃縮により濃縮して、残った濃縮水を蒸発
乾固させ、蒸発物を蒸発水として回収する装置におい
て、蒸発濃縮過程で上記排水がスケール成分を析出する
のを防止するために、蒸発濃縮装置の前流に上記排水を
中和する中和装置と、中和した排水を生物処理する生物
処理槽と、蒸発濃縮過程の濃縮水に塩化カルシウムを添
加する塩化カルシウム添加装置とが設置されてなること
を特徴とするものである。
有機物の他にフッ素を含む酸・アルカリ排水排水を対象
としかつ蒸発濃縮装置を備えたものである。第４の排水
回収処理装置は、有機物およびフッ素を含む酸・アルカ
リ排水を蒸発濃縮により濃縮して、残った濃縮水を蒸発
乾固させ、蒸発物を蒸発水として回収する装置におい
て、蒸発濃縮過程で上記排水がスケール成分を析出する
のを防止するために、蒸発濃縮装置の前流に上記排水を
中和する中和装置と、中和した排水を生物処理する生物
処理槽と、蒸発濃縮過程の濃縮水に塩化カルシウムを添
加する塩化カルシウム添加装置とが設置されてなること
を特徴とするものである。
【００１９】第４の排水回収処理装置およびその操作
は、第２の排水回収処理装置の逆浸透装置を蒸発濃縮装
置に代えた点を除いて第２の排水回収処理装置のものと
基本的に同じである。また、第４の排水回収処理装置で
は、第３の排水回収処理装置と同じく、生物処理槽後流
かつ蒸発濃縮装置前流の機器は、渦巻ストレーナによる
ＳＳ成分除去でもよく、蒸発濃縮装置としては、例えば
多重効用蒸発濃縮装置、蒸気圧縮式蒸発濃縮装置等が用
いられる。
は、第２の排水回収処理装置の逆浸透装置を蒸発濃縮装
置に代えた点を除いて第２の排水回収処理装置のものと
基本的に同じである。また、第４の排水回収処理装置で
は、第３の排水回収処理装置と同じく、生物処理槽後流
かつ蒸発濃縮装置前流の機器は、渦巻ストレーナによる
ＳＳ成分除去でもよく、蒸発濃縮装置としては、例えば
多重効用蒸発濃縮装置、蒸気圧縮式蒸発濃縮装置等が用
いられる。
【００２０】第３および第４の排水回収処理装置におい
て、生物処理槽は好ましくは流動床式生物活性炭方法を
用いたものである。生物処理槽の槽内には、処理水のＳ
Ｓ成分を分離して逆浸透装置へ供給するための精密濾過
（ＭＦ）膜を設けることもある。第４の排水回収処理装
置には、必要に応じて、逆浸透透過水中のフッ素イオン
除去用の吸着塔が設けられる。
て、生物処理槽は好ましくは流動床式生物活性炭方法を
用いたものである。生物処理槽の槽内には、処理水のＳ
Ｓ成分を分離して逆浸透装置へ供給するための精密濾過
（ＭＦ）膜を設けることもある。第４の排水回収処理装
置には、必要に応じて、逆浸透透過水中のフッ素イオン
除去用の吸着塔が設けられる。
【００２１】上記第１、２、３または４の排水回収処理
装置を用いて処理排水を回収し、得られた回収水を補給
水の工業用水あるいは市水と混合して、蒸留法純水装置
の原水として用いることもできる。
装置を用いて処理排水を回収し、得られた回収水を補給
水の工業用水あるいは市水と混合して、蒸留法純水装置
の原水として用いることもできる。
【００２２】
【実施例】以下に本発明の実施例を、半導体の製造にお
ける大量の薬品と純水を使用するウエット・プロセスで
の排水回収処理システムについて具体的に説明する。た
だし、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
ける大量の薬品と純水を使用するウエット・プロセスで
の排水回収処理システムについて具体的に説明する。た
だし、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
【００２３】ウエット・プロセスから排出される排水
は、希薄系排水、酸・アルカリ系濃厚排水、フッ酸・リ
ン酸系排水に分別回収される。それぞれの排水の性状例
を表１に示す。
は、希薄系排水、酸・アルカリ系濃厚排水、フッ酸・リ
ン酸系排水に分別回収される。それぞれの排水の性状例
を表１に示す。
【００２４】
【表１】 実施例１ 図１において、蒸留法純水製造装置に供給する原水は、
イオン交換装置、膜分離装置をベースとする純水製造装
置に比較してラフな性状の原水であってよいので、希薄
系排水はこれを中和槽でｐＨ調整するだけで原水タンク
へ回収される。この中和剤としては、蒸留法純水製造装
置の濃縮過程でのスケール成分析出に対し、溶解度の高
い性状となる苛性ソーダ水溶液を用いる。
イオン交換装置、膜分離装置をベースとする純水製造装
置に比較してラフな性状の原水であってよいので、希薄
系排水はこれを中和槽でｐＨ調整するだけで原水タンク
へ回収される。この中和剤としては、蒸留法純水製造装
置の濃縮過程でのスケール成分析出に対し、溶解度の高
い性状となる苛性ソーダ水溶液を用いる。
【００２５】酸・アルカリ系濃厚排水は、生物処理槽で
の微生物の活動を阻害しないように、先ず中和槽で中和
される。中和剤としては、逆浸透装置の濃縮過程でのス
ケール成分析出に対し、溶解度の高い性状となる苛性ソ
ーダ水溶液を用いる。中和後の導電率は約６２０μＳ／
ｃｍとなる。
の微生物の活動を阻害しないように、先ず中和槽で中和
される。中和剤としては、逆浸透装置の濃縮過程でのス
ケール成分析出に対し、溶解度の高い性状となる苛性ソ
ーダ水溶液を用いる。中和後の導電率は約６２０μＳ／
ｃｍとなる。
【００２６】中和された酸・アルカリ系濃厚排水は、有
機物（ＴＯＣ）分解とアンモニアの消化を目的とした生
物処理槽に供給される。生物処理槽の底部には、槽全体
を均一に曝気するように曝気用ノズルが設置してある。
また、同槽には微生物の保持担体としての活性炭が入れ
てあって、槽内で曝気により流動している。更に、生物
処理水のＳＳ成分を分離して逆浸透装置へ処理水を供給
するため、生物処理槽にＭＦ膜が浸漬されている。ＭＦ
膜は、スペーサを両側より膜が挟む形状の平膜であり、
処理前の水が膜の外側にあり、膜を透過した処理水はス
ペーサの間を通過した後、吸引ポンプで処理水槽に輸送
される。生物処理槽では、アンモニアが消化されるとき
ｐＨが低下するので、ｐＨを７に調整するため、苛性ソ
ーダ水溶液が添加される。ＳＳ成分除去後の生物処理水
の性状は、導電率約６６０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６０
ｐｐｂである。
機物（ＴＯＣ）分解とアンモニアの消化を目的とした生
物処理槽に供給される。生物処理槽の底部には、槽全体
を均一に曝気するように曝気用ノズルが設置してある。
また、同槽には微生物の保持担体としての活性炭が入れ
てあって、槽内で曝気により流動している。更に、生物
処理水のＳＳ成分を分離して逆浸透装置へ処理水を供給
するため、生物処理槽にＭＦ膜が浸漬されている。ＭＦ
膜は、スペーサを両側より膜が挟む形状の平膜であり、
処理前の水が膜の外側にあり、膜を透過した処理水はス
ペーサの間を通過した後、吸引ポンプで処理水槽に輸送
される。生物処理槽では、アンモニアが消化されるとき
ｐＨが低下するので、ｐＨを７に調整するため、苛性ソ
ーダ水溶液が添加される。ＳＳ成分除去後の生物処理水
の性状は、導電率約６６０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６０
ｐｐｂである。
【００２７】ＳＳ成分除去後の生物処理水は、処理水槽
から逆浸透装置に供給され、ここで無機イオン成分の約
９９％が排除される。逆浸透透過水の回収率は９７．５
％である。逆浸透透過水の性状は、導電率約１６０μＳ
／ｃｍ、ＴＯＣ約５５０ｐｐｂである。透過水は原水タ
ンクへ回収される。
から逆浸透装置に供給され、ここで無機イオン成分の約
９９％が排除される。逆浸透透過水の回収率は９７．５
％である。逆浸透透過水の性状は、導電率約１６０μＳ
／ｃｍ、ＴＯＣ約５５０ｐｐｂである。透過水は原水タ
ンクへ回収される。
【００２８】処理水量の２．５％まで濃縮された濃縮水
は、導電率約２２０００μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約４８５０
ｐｐｂであり、ドラムドライヤーへ供給され蒸発乾固さ
れる。固体化された乾燥スラッジは廃棄物として処分さ
れる。
は、導電率約２２０００μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約４８５０
ｐｐｂであり、ドラムドライヤーへ供給され蒸発乾固さ
れる。固体化された乾燥スラッジは廃棄物として処分さ
れる。
【００２９】フッ酸・リン酸系排水は、逆浸透処理まで
は酸・アルカリ系濃厚排水と同じように処理される。各
処理後の処理水の性状は、次の通りである。中和後の排
水の導電率は約１１０μＳ／ｃｍ、ＳＳ成分除去後の生
物処理水は、導電率約１５０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６
０ｐｐｂ、逆浸透透過水は、導電率約５０μＳ／ｃｍ、
ＴＯＣ約５５０ｐｐｂ、逆浸透濃縮水は、導電率約５０
００μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約４８５０ｐｐｂである。逆浸
透透過水には、約１ｐｐｍのフッ素イオンと約１０ｐｐ
ｍのリン酸イオンが含まれているので、逆浸透装置後流
に設けたキレート樹脂吸着塔でこれらのイオンを吸着除
去し、フッ素イオン、リン酸イオンとも約０．１ｐｐｍ
にして、逆浸透透過水を原水タンクへ回収する。蒸発乾
固装置の前流には、逆浸透濃縮水中のフッ素の形態をＮ
ａＦからＣａＦ2 に変えて、乾燥装置および乾燥後のス
ラッジの取り扱いを容易にするために、ＣａＣｌ2 水溶
液を添加する反応槽が設けられている。逆浸透濃縮水中
のフッ素は、この反応槽で溶解度の低いＣａＦ2 に変換
され、ドラムドライヤーに供給されて他のスラッジ成分
とともに蒸発乾固させられる。固体化された乾燥スラッ
ジは、廃棄物として処分される。
は酸・アルカリ系濃厚排水と同じように処理される。各
処理後の処理水の性状は、次の通りである。中和後の排
水の導電率は約１１０μＳ／ｃｍ、ＳＳ成分除去後の生
物処理水は、導電率約１５０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６
０ｐｐｂ、逆浸透透過水は、導電率約５０μＳ／ｃｍ、
ＴＯＣ約５５０ｐｐｂ、逆浸透濃縮水は、導電率約５０
００μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約４８５０ｐｐｂである。逆浸
透透過水には、約１ｐｐｍのフッ素イオンと約１０ｐｐ
ｍのリン酸イオンが含まれているので、逆浸透装置後流
に設けたキレート樹脂吸着塔でこれらのイオンを吸着除
去し、フッ素イオン、リン酸イオンとも約０．１ｐｐｍ
にして、逆浸透透過水を原水タンクへ回収する。蒸発乾
固装置の前流には、逆浸透濃縮水中のフッ素の形態をＮ
ａＦからＣａＦ2 に変えて、乾燥装置および乾燥後のス
ラッジの取り扱いを容易にするために、ＣａＣｌ2 水溶
液を添加する反応槽が設けられている。逆浸透濃縮水中
のフッ素は、この反応槽で溶解度の低いＣａＦ2 に変換
され、ドラムドライヤーに供給されて他のスラッジ成分
とともに蒸発乾固させられる。固体化された乾燥スラッ
ジは、廃棄物として処分される。
【００３０】各排水処理を実施した処理水は、原水タン
クに回収され、補給水の工業用水と混合され、流動床式
生物活性炭装置に供給される。流動床式生物活性炭装置
でＴＯＣが約１６０ｐｐｂ程度に分解処理される。流動
床生物活性炭装置の処理水の水質は、導電率約１５０μ
Ｓ／ｃｍ、ＴＯＣ約１６０ｐｐｂであり、これは蒸留法
純水製造装置の給水水質としては十分なものである。流
動床生物活性炭装置処理水は、蒸留法純水製造装置へ供
給され、この蒸留法純水製造装置により抵抗率１５ＭΩ
・ｃｍ、ＴＯＣ１０ｐｐｂの一次純水となる。この一次
純水は、サブシステムに供給されて抵抗率が１８．２Ｍ
Ω・ｃｍ、ＴＯＣ１ｐｐｂ以下の超純水となり、半導体
製造のウエット・プロセスで使用される。
クに回収され、補給水の工業用水と混合され、流動床式
生物活性炭装置に供給される。流動床式生物活性炭装置
でＴＯＣが約１６０ｐｐｂ程度に分解処理される。流動
床生物活性炭装置の処理水の水質は、導電率約１５０μ
Ｓ／ｃｍ、ＴＯＣ約１６０ｐｐｂであり、これは蒸留法
純水製造装置の給水水質としては十分なものである。流
動床生物活性炭装置処理水は、蒸留法純水製造装置へ供
給され、この蒸留法純水製造装置により抵抗率１５ＭΩ
・ｃｍ、ＴＯＣ１０ｐｐｂの一次純水となる。この一次
純水は、サブシステムに供給されて抵抗率が１８．２Ｍ
Ω・ｃｍ、ＴＯＣ１ｐｐｂ以下の超純水となり、半導体
製造のウエット・プロセスで使用される。
【００３１】実施例２ 図２において、蒸留法純水製造装置に供給する原水は、
イオン交換装置、膜分離装置をベースとする純水製造装
置に比較してラフな性状の原水であってよいので、希薄
系排水はこれを中和槽でｐＨ調整するだけで原水タンク
へ回収される。この中和剤としては、蒸留法純水製造装
置の濃縮過程でのスケール成分析出に対し、溶解度の高
い性状となる苛性ソーダ水溶液を用いる。
イオン交換装置、膜分離装置をベースとする純水製造装
置に比較してラフな性状の原水であってよいので、希薄
系排水はこれを中和槽でｐＨ調整するだけで原水タンク
へ回収される。この中和剤としては、蒸留法純水製造装
置の濃縮過程でのスケール成分析出に対し、溶解度の高
い性状となる苛性ソーダ水溶液を用いる。
【００３２】酸・アルカリ系濃厚排水は、生物処理槽で
の微生物の活動を阻害しないように、先ず中和槽で中和
される。中和剤としては、蒸発濃縮装置の濃縮過程での
スケール成分析出に対し、溶解度の高い性状となる苛性
ソーダ水溶液を用いる。中和後の導電率は約６２０μＳ
／ｃｍとなる。
の微生物の活動を阻害しないように、先ず中和槽で中和
される。中和剤としては、蒸発濃縮装置の濃縮過程での
スケール成分析出に対し、溶解度の高い性状となる苛性
ソーダ水溶液を用いる。中和後の導電率は約６２０μＳ
／ｃｍとなる。
【００３３】中和された酸・アルカリ系濃厚排水は、有
機物（ＴＯＣ）分解とアンモニアの消化を目的とした生
物処理槽に供給される。生物処理槽の底部には、槽全体
を均一に曝気するように曝気用ノズルが設置してある。
また、同槽には微生物の保持担体としての活性炭が入れ
てあって、槽内で曝気により流動している。
機物（ＴＯＣ）分解とアンモニアの消化を目的とした生
物処理槽に供給される。生物処理槽の底部には、槽全体
を均一に曝気するように曝気用ノズルが設置してある。
また、同槽には微生物の保持担体としての活性炭が入れ
てあって、槽内で曝気により流動している。
【００３４】生物処理槽では、アンモニアが消化される
ときｐＨが低下するので、ｐＨを７に調整するため、苛
性ソーダ水溶液が添加される。ＳＳ成分除去後の生物処
理水の性状は、導電率約６６０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６
６０ｐｐｂである。
ときｐＨが低下するので、ｐＨを７に調整するため、苛
性ソーダ水溶液が添加される。ＳＳ成分除去後の生物処
理水の性状は、導電率約６６０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６
６０ｐｐｂである。
【００３５】生物処理水中には菌体主体のＳＳ成分が含
まれるので、渦巻ストレーナによりＳＳ成分が除去され
る。生物処理槽後流の機器は、加熱操作を主体とする機
器であるので、渦巻ストレーナによるＳＳ成分除去でも
微生物によるトラブル発生の問題はない。
まれるので、渦巻ストレーナによりＳＳ成分が除去され
る。生物処理槽後流の機器は、加熱操作を主体とする機
器であるので、渦巻ストレーナによるＳＳ成分除去でも
微生物によるトラブル発生の問題はない。
【００３６】ＳＳ成分除去後の生物処理水は、処理水槽
から蒸発濃縮装置に供給され、ここで不純物（イオン成
分）のほとんどが濃縮される。回収率は９７．５％であ
る。蒸発濃縮装置から出た蒸留水の性状は、導電率約
１．５μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６ｐｐｂである。このた
蒸留水は、熱交換器で約３５℃に冷却されて原水タンク
へ回収される。
から蒸発濃縮装置に供給され、ここで不純物（イオン成
分）のほとんどが濃縮される。回収率は９７．５％であ
る。蒸発濃縮装置から出た蒸留水の性状は、導電率約
１．５μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６ｐｐｂである。このた
蒸留水は、熱交換器で約３５℃に冷却されて原水タンク
へ回収される。
【００３７】処理水量の２．５％まで濃縮された濃縮水
は、導電率約２５０００μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約５０００
ｐｐｂであり、ドラムドライヤーへ供給され蒸発乾固さ
れる。固体化された乾燥スラッジは廃棄物として処分さ
れる。
は、導電率約２５０００μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約５０００
ｐｐｂであり、ドラムドライヤーへ供給され蒸発乾固さ
れる。固体化された乾燥スラッジは廃棄物として処分さ
れる。
【００３８】フッ酸・リン酸系排水は、蒸発濃縮処理ま
では酸・アルカリ系濃厚排水と同じように処理される。
各処理後の処理水の性状は、次の通りである。中和後の
排水の導電率は約１１０μＳ／ｃｍ、ＳＳ成分除去後の
生物処理水は、導電率約１５０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６
６０ｐｐｂ、蒸発濃縮装置から出た蒸留水は、導電率約
０．５μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６ｐｐｂ、蒸発濃縮装置
から出た濃縮水は、導電率約５０００μＳ／ｃｍ、ＴＯ
Ｃ約５０００ｐｐｂである。蒸発濃縮装置から出た蒸留
水に含まれるフッ素は約０．０３ｐｐｍとなるので、蒸
留水はそのまま熱交換器で約３５℃に冷却されて原水タ
ンクへ回収する。蒸発乾固装置の前流には、蒸発濃縮装
置から出た濃縮水中のフッ素の形態をＮａＦからＣａＦ
2 に変えて、乾燥装置および乾燥後のスラッジの取り扱
いを容易にするために、ＣａＣｌ2 水溶液を添加する反
応槽が設けられている。蒸発濃縮装置から出た濃縮水中
のフッ素は、この反応槽で溶解度の低いＣａＦ2 に変換
され、ドラムドライヤーに供給されて他のスラッジ成分
とともに蒸発乾固させられる。固体化された乾燥スラッ
ジは、廃棄物として処分される。
では酸・アルカリ系濃厚排水と同じように処理される。
各処理後の処理水の性状は、次の通りである。中和後の
排水の導電率は約１１０μＳ／ｃｍ、ＳＳ成分除去後の
生物処理水は、導電率約１５０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６
６０ｐｐｂ、蒸発濃縮装置から出た蒸留水は、導電率約
０．５μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ約６６ｐｐｂ、蒸発濃縮装置
から出た濃縮水は、導電率約５０００μＳ／ｃｍ、ＴＯ
Ｃ約５０００ｐｐｂである。蒸発濃縮装置から出た蒸留
水に含まれるフッ素は約０．０３ｐｐｍとなるので、蒸
留水はそのまま熱交換器で約３５℃に冷却されて原水タ
ンクへ回収する。蒸発乾固装置の前流には、蒸発濃縮装
置から出た濃縮水中のフッ素の形態をＮａＦからＣａＦ
2 に変えて、乾燥装置および乾燥後のスラッジの取り扱
いを容易にするために、ＣａＣｌ2 水溶液を添加する反
応槽が設けられている。蒸発濃縮装置から出た濃縮水中
のフッ素は、この反応槽で溶解度の低いＣａＦ2 に変換
され、ドラムドライヤーに供給されて他のスラッジ成分
とともに蒸発乾固させられる。固体化された乾燥スラッ
ジは、廃棄物として処分される。
【００３９】各排水処理を実施した処理水は、原水タン
クに回収され、補給水の工業用水と混合され、流動床式
生物活性炭装置に供給される。流動床式生物活性炭装置
でＴＯＣが約１６０ｐｐｂ程度に分解処理される。流動
床生物活性炭装置の処理水の水質は、導電率約１５０μ
Ｓ／ｃｍ、ＴＯＣ約１６０ｐｐｂであり、これは蒸留法
純水製造装置の給水水質としては十分なものである。流
動床生物活性炭装置処理水は、蒸留法純水製造装置へ供
給され、この蒸留法純水製造装置により抵抗率１５ＭΩ
・ｃｍ、ＴＯＣ１０ｐｐｂの一次純水となる。この一次
純水は、サブシステムに供給されて抵抗率が１８．２Ｍ
Ω・ｃｍ、ＴＯＣ１ｐｐｂ以下の超純水となり、半導体
製造のウエット・プロセスで使用される。
クに回収され、補給水の工業用水と混合され、流動床式
生物活性炭装置に供給される。流動床式生物活性炭装置
でＴＯＣが約１６０ｐｐｂ程度に分解処理される。流動
床生物活性炭装置の処理水の水質は、導電率約１５０μ
Ｓ／ｃｍ、ＴＯＣ約１６０ｐｐｂであり、これは蒸留法
純水製造装置の給水水質としては十分なものである。流
動床生物活性炭装置処理水は、蒸留法純水製造装置へ供
給され、この蒸留法純水製造装置により抵抗率１５ＭΩ
・ｃｍ、ＴＯＣ１０ｐｐｂの一次純水となる。この一次
純水は、サブシステムに供給されて抵抗率が１８．２Ｍ
Ω・ｃｍ、ＴＯＣ１ｐｐｂ以下の超純水となり、半導体
製造のウエット・プロセスで使用される。
【００４０】
【発明の効果】本発明の排水回収処理によれば、使用す
る薬剤の種類は中和用の苛性ソーダ水溶液と、排水がフ
ッ酸を含む場合の塩化カルシウム水溶液でよく、従来の
排水処理に比べ少なくすることができる。また、添加す
る薬剤が水溶液であり、取り扱いが容易な上、反応速度
も速いので、過剰の薬剤を添加する必要がない。従っ
て、使用する薬品コストが低減でき、排出される乾燥ス
ラッジの量も減少できる。
る薬剤の種類は中和用の苛性ソーダ水溶液と、排水がフ
ッ酸を含む場合の塩化カルシウム水溶液でよく、従来の
排水処理に比べ少なくすることができる。また、添加す
る薬剤が水溶液であり、取り扱いが容易な上、反応速度
も速いので、過剰の薬剤を添加する必要がない。従っ
て、使用する薬品コストが低減でき、排出される乾燥ス
ラッジの量も減少できる。
【００４１】また、シックナー等の大きな敷地面積を要
する設備がいらないため、装置全体がコンパクトなもの
となる。
する設備がいらないため、装置全体がコンパクトなもの
となる。
【００４２】第３および４の排水回収処理装置では、生
物処理装置の後流に使用されている機器は加熱を主体と
する装置であるので、微生物に起因するトラブルの発生
がなく、連続的に運転ができる。
物処理装置の後流に使用されている機器は加熱を主体と
する装置であるので、微生物に起因するトラブルの発生
がなく、連続的に運転ができる。
【００４３】本発明の排水回収処理装置を蒸留法純水製
造装置と組み合わせることにより、排水を純水として回
収再利用できる。
造装置と組み合わせることにより、排水を純水として回
収再利用できる。
【図１】 実施例１の半導体ウエット・プロセスを示す
フローシートである。
フローシートである。
【図２】 実施例２の半導体ウエット・プロセスを示す
フローシートである。
フローシートである。
【図３】 有機物を含む排水回収の従来例を示すフロー
シートである。
シートである。
【図４】 フッ酸を含む排水処理の従来例を示すフロー
シートである。
シートである。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 1/04 Ｃ０２Ｆ 1/04 Ｇ 1/28 1/28 Ｌ Ｆ Ｄ 3/08 ＺＡＢ 3/08 ＺＡＢＢ 5/08 5/08 (72)発明者 百瀬 祥一 大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立 造船株式会社内 (72)発明者 木場 和則 大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立 造船株式会社内
Claims (12)
- 【請求項１】 有機物を含む酸・アルカリ排水を逆浸透
により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固させ、逆浸透
透過水を回収する装置において、逆浸透過程で上記排水
がスケール成分を析出するのを防止するために、逆浸透
装置の前流に上記排水を中和する中和装置と、中和した
排水を生物処理する生物処理槽が設置されてなることを
特徴とする排水回収処理装置。 - 【請求項２】 有機物およびフッ素を含む酸・アルカリ
排水を逆浸透により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固
させ、逆浸透透過水を回収する装置において、逆浸透過
程で上記排水がスケール成分を析出するのを防止するた
めに、逆浸透装置の前流に上記排水を中和する中和装置
と、中和した排水を生物処理する生物処理槽と、逆浸透
濃縮水に塩化カルシウムを添加する塩化カルシウム添加
装置と、逆浸透透過水中のフッ素イオン除去用の吸着塔
とが設置されてなることを特徴とする排水回収処理装
置。 - 【請求項３】 酸・アルカリ排水が更にリン酸を含む排
水である請求項２の排水回収処理装置。 - 【請求項４】 生物処理槽が流動床式生物活性炭方法を
用いたものである請求項１または２記載の装置。 - 【請求項５】 生物処理槽の槽内に、処理水中のＳＳ成
分を分離するための精密濾過膜が設けられている請求項
１または２記載の装置。 - 【請求項６】 有機物を含む酸・アルカリ排水を蒸発濃
縮により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾固させ、蒸発
物を蒸発水として回収する装置において、蒸発濃縮過程
で上記排水がスケール成分を析出するのを防止するため
に、蒸発濃縮装置の前流に上記排水を中和する中和装置
と、中和した排水を生物処理する生物処理槽が設置され
てなることを特徴とする排水回収処理装置。 - 【請求項７】 有機物およびフッ素を含む酸・アルカリ
排水を蒸発濃縮により濃縮して、残った濃縮水を蒸発乾
固させ、蒸発物を蒸発水として回収する装置において、
蒸発濃縮過程で上記排水がスケール成分を析出するのを
防止するために、蒸発濃縮装置の前流に上記排水を中和
する中和装置と、中和した排水を生物処理する生物処理
槽と、蒸発濃縮過程の濃縮水に塩化カルシウムを添加す
る塩化カルシウム添加装置とが設置されてなることを特
徴とする排水回収処理装置。 - 【請求項８】 酸・アルカリ排水が更にリン酸を含む排
水である請求項７の排水回収処理装置。 - 【請求項９】 生物処理槽が流動床式生物活性炭方法を
用いたものである請求項６または７記載の装置。 - 【請求項１０】 生物処理槽の後流に、処理水中のＳＳ
成分を分離するためのＳＳ分離装置が設けられている請
求項６または７記載の装置。 - 【請求項１１】 請求項１〜１０記載の装置を用いる排
水回収処理方法。 - 【請求項１２】 請求項１１記載の方法で得られた回収
水を補給水の工業用水あるいは市水と混合して、蒸留法
純水装置の原水として用いる方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13646497A JP3477526B2 (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 排水回収処理装置 |
| CN98805539A CN1258265A (zh) | 1997-05-27 | 1998-05-26 | 污水回收设备 |
| KR19997010896A KR20010012928A (ko) | 1997-05-27 | 1998-05-26 | 폐수 회수 처리 장치 |
| PCT/JP1998/002282 WO1998054096A1 (en) | 1997-05-27 | 1998-05-26 | System for recovering and treating waste water |
| US09/424,296 US6379548B1 (en) | 1997-05-27 | 1998-05-26 | System for recovering and treating waste water |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13646497A JP3477526B2 (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 排水回収処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10323664A true JPH10323664A (ja) | 1998-12-08 |
| JP3477526B2 JP3477526B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=15175730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13646497A Expired - Fee Related JP3477526B2 (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 排水回収処理装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6379548B1 (ja) |
| JP (1) | JP3477526B2 (ja) |
| KR (1) | KR20010012928A (ja) |
| CN (1) | CN1258265A (ja) |
| WO (1) | WO1998054096A1 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002102864A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-09 | Japan Organo Co Ltd | 排水処理装置 |
| JP2005288410A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Japan Organo Co Ltd | 電子部品部材類製造装置用水処理システム |
| JP2007136374A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Sasakura Engineering Co Ltd | 蒸発濃縮処理装置 |
| JP2007175564A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Sasakura Engineering Co Ltd | 廃液処理装置 |
| WO2015037557A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | 三菱レイヨン株式会社 | 有機性排水の処理装置及び処理方法 |
| JP2015150519A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | 東洋紡株式会社 | 排水処理システム |
| CN105330104A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-02-17 | 无锡市嘉邦电力管道厂 | 一种基于电絮凝的污水处理工艺 |
| CN107140776A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-09-08 | 厦门智宏思博环保科技有限公司 | 一种酸性条件下酯化产物的脱水装置及其工艺 |
| WO2022091968A1 (ja) * | 2020-10-27 | 2022-05-05 | 栗田工業株式会社 | 排ガス処理設備排水の処理装置 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI224824B (en) * | 2001-03-06 | 2004-12-01 | Mosel Vitelic Inc | Method of increasing cleaning-water recycling rate of chemical cleaning platen in semiconductor manufacture process |
| AU2003225158A1 (en) * | 2002-04-24 | 2003-11-10 | Praxair Technology, Inc. | Integrated energy recovery system |
| TWI249508B (en) * | 2002-11-28 | 2006-02-21 | Sasakura Eng Co Ltd | Hydrofluoric acid wastewater treatment method and device |
| GB0413110D0 (en) * | 2004-06-11 | 2004-07-14 | Univ Surrey | Cooling apparatus |
| EP2749538A4 (en) * | 2011-08-24 | 2014-11-19 | Toray Industries | PROCESS FOR FRESHWATER PREPARATION |
| CN103204603A (zh) * | 2012-01-11 | 2013-07-17 | 中国海洋石油总公司 | 一种煤气化废水的处理方法 |
| US9028654B2 (en) * | 2012-02-29 | 2015-05-12 | Alstom Technology Ltd | Method of treatment of amine waste water and a system for accomplishing the same |
| US12350627B2 (en) | 2013-02-28 | 2025-07-08 | Aqua Membranes, Inc. | Permeate flow patterns |
| IL265376B2 (en) | 2016-09-20 | 2024-08-01 | Aqua Membranes Llc | Permeate flow patterns |
| KR102033982B1 (ko) | 2016-11-19 | 2019-10-18 | 아쿠아 멤브레인스 엘엘씨 | 나선형 권취 요소를 위한 간섭 패턴 |
| EP3609607B1 (en) | 2017-04-12 | 2024-05-22 | Aqua Membranes, Inc. | Graded spacers for filtration wound elements |
| WO2018195367A1 (en) | 2017-04-20 | 2018-10-25 | Aqua Membranes Llc | Mixing-promoting spacer patterns for spiral-wound elements |
| EP3612293A4 (en) | 2017-04-20 | 2020-12-30 | Aqua Membranes, Inc. | GROUNDS FOR NON-SNAP AND NON-DEFORMATION FOR SPIRAL-WOUND ELEMENTS |
| US11745144B2 (en) | 2017-10-13 | 2023-09-05 | Aqua Membranes Inc. | Bridge support and reduced feed spacers for spiral-wound elements |
| JP7667081B2 (ja) | 2019-01-27 | 2025-04-22 | アクア メンブレインズ，インコーポレイテッド | 複合膜 |
| US12303838B2 (en) | 2019-08-06 | 2025-05-20 | Aqua Membranes, Inc. | Preferred flow paths for spiral-wound elements |
| JP7812794B2 (ja) | 2020-04-07 | 2026-02-10 | アクア メンブレインズ，インコーポレイテッド | 独立したスペーサ及び方法 |
| JP2025501194A (ja) | 2021-12-28 | 2025-01-17 | アクア メンブレインズ，インコーポレイテッド | 渦巻型膜エレメントのテーパ状スペーサ |
| CN119053556A (zh) * | 2022-04-15 | 2024-11-29 | Ddp特种电子材料美国有限责任公司 | 具有生物接触器的水处理系统 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60139398A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-24 | Nishihara Environ Sanit Res Corp | 高濃度廃水処理方法 |
| JP2520317B2 (ja) * | 1990-03-14 | 1996-07-31 | 日立造船株式会社 | 超純水製造装置および方法 |
| JPH04305287A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-28 | Kubota Corp | 水処理設備 |
| US5134407A (en) | 1991-04-10 | 1992-07-28 | Ashtech Telesis, Inc. | Global positioning system receiver digital processing technique |
| JP3227760B2 (ja) | 1992-03-11 | 2001-11-12 | 栗田工業株式会社 | フッ素含有水の処理方法 |
| JP3157347B2 (ja) * | 1993-04-28 | 2001-04-16 | オルガノ株式会社 | フッ素化合物含有排水の処理方法 |
| JPH07232192A (ja) | 1994-02-23 | 1995-09-05 | Kubota Corp | 汚水の処理方法 |
| JP3194123B2 (ja) * | 1995-02-20 | 2001-07-30 | 日立造船株式会社 | クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法 |
| JP3433601B2 (ja) * | 1996-01-09 | 2003-08-04 | 栗田工業株式会社 | 排水の回収、浄化装置 |
| JP2983014B2 (ja) * | 1997-06-17 | 1999-11-29 | 米實 田中 | 汚泥処理方法 |
| JP5140749B2 (ja) | 2011-06-17 | 2013-02-13 | 彰憲 田邊 | 潮流発電機 |
-
1997
- 1997-05-27 JP JP13646497A patent/JP3477526B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-26 CN CN98805539A patent/CN1258265A/zh active Pending
- 1998-05-26 US US09/424,296 patent/US6379548B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-05-26 KR KR19997010896A patent/KR20010012928A/ko not_active Ceased
- 1998-05-26 WO PCT/JP1998/002282 patent/WO1998054096A1/ja not_active Ceased
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002102864A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-09 | Japan Organo Co Ltd | 排水処理装置 |
| JP2005288410A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Japan Organo Co Ltd | 電子部品部材類製造装置用水処理システム |
| JP2007136374A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Sasakura Engineering Co Ltd | 蒸発濃縮処理装置 |
| JP2007175564A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Sasakura Engineering Co Ltd | 廃液処理装置 |
| WO2015037557A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-19 | 三菱レイヨン株式会社 | 有機性排水の処理装置及び処理方法 |
| JPWO2015037557A1 (ja) * | 2013-09-11 | 2017-03-02 | 三菱レイヨン株式会社 | 有機性排水の処理装置及び処理方法 |
| JP2015150519A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | 東洋紡株式会社 | 排水処理システム |
| CN105330104A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-02-17 | 无锡市嘉邦电力管道厂 | 一种基于电絮凝的污水处理工艺 |
| CN107140776A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-09-08 | 厦门智宏思博环保科技有限公司 | 一种酸性条件下酯化产物的脱水装置及其工艺 |
| WO2022091968A1 (ja) * | 2020-10-27 | 2022-05-05 | 栗田工業株式会社 | 排ガス処理設備排水の処理装置 |
| JP2022070609A (ja) * | 2020-10-27 | 2022-05-13 | 栗田工業株式会社 | 排ガス処理設備排水の処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6379548B1 (en) | 2002-04-30 |
| WO1998054096A1 (en) | 1998-12-03 |
| KR20010012928A (ko) | 2001-02-26 |
| CN1258265A (zh) | 2000-06-28 |
| JP3477526B2 (ja) | 2003-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3477526B2 (ja) | 排水回収処理装置 | |
| CN101734820B (zh) | 一种高含盐废水的处理方法 | |
| US20110180479A1 (en) | Zero liquid discharge water treatment system and method | |
| JP3009535B2 (ja) | 下水を生物学的に浄化する方法及び装置 | |
| KR102169490B1 (ko) | 고농도 폐수의 다단계 진공 증발 농축을 이용한 무방류 폐수 처리시스템 | |
| CN108249646A (zh) | 可资源回收利用的电厂脱硫废水零排放处理工艺及装置 | |
| JP2001070989A (ja) | 高濃度の塩類を含有する有機性廃水の処理方法及びその装置 | |
| JP3800450B2 (ja) | 高濃度の塩類を含有する有機性廃水の処理方法及び装置 | |
| JP3800449B2 (ja) | 高濃度の塩類を含有する有機性廃水の処理方法及び装置 | |
| CN114195304A (zh) | 一种煤化工高盐废水的分质分盐处理装置和处理方法 | |
| CN204939142U (zh) | 一种烟气脱硫系统排放的脱硫废水的处理设备 | |
| JP3366258B2 (ja) | 硫酸含有排水の蒸発濃縮方法および蒸発濃縮装置 | |
| JP3376639B2 (ja) | 半導体洗浄排水からの純水回収方法 | |
| CN110759570A (zh) | 染料中间体废水的处理方法以及处理系统 | |
| JP4697758B2 (ja) | 脱塩排水の処理方法及び装置 | |
| JPH11309484A (ja) | 埋立地浸出水の処理方法 | |
| JP2017064639A (ja) | 汽力発電所排水の回収利用方法及び装置 | |
| JP5233138B2 (ja) | 純水製造装置からの濃縮廃水の処理方法および前記濃縮廃水の処理装置。 | |
| CN113354008A (zh) | 一种垃圾填埋场渗滤液蒸发母液处置工艺 | |
| JP3194123B2 (ja) | クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法 | |
| CN110818168A (zh) | 一种洗烟废水零排放技术处理系统及方法 | |
| JP3385388B2 (ja) | アンモニア性窒素含有排水の処理方法 | |
| JP3028391B2 (ja) | めっき廃液の処理方法 | |
| JP2002143850A (ja) | 排水処理装置 | |
| CN206089336U (zh) | 污水资源化零排放装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030805 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101003 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |