JPH10325792A - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
- Publication number
- JPH10325792A JPH10325792A JP13310697A JP13310697A JPH10325792A JP H10325792 A JPH10325792 A JP H10325792A JP 13310697 A JP13310697 A JP 13310697A JP 13310697 A JP13310697 A JP 13310697A JP H10325792 A JPH10325792 A JP H10325792A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- measurement
- prism
- atr prism
- infrared microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定後に測定位置を目視により容易に確認す
ることができ、かつ、測定後試料を容易くＡＴＲプリズ
ムから離すことができる赤外顕微鏡を提供する。 【解決手段】 ＡＴＲプリズム60の試料34との接触面の
頂部を突起面の形状にて形成し、測定に際しＡＴＲプリ
ズムを試料に圧着することにより、試料に窪みができ、
これによって測定後にも容易に測定点を確認することが
できる。
ることができ、かつ、測定後試料を容易くＡＴＲプリズ
ムから離すことができる赤外顕微鏡を提供する。 【解決手段】 ＡＴＲプリズム60の試料34との接触面の
頂部を突起面の形状にて形成し、測定に際しＡＴＲプリ
ズムを試料に圧着することにより、試料に窪みができ、
これによって測定後にも容易に測定点を確認することが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の表面に赤外
光を照射し、その反射光を測定することにより試料表面
の観察を行う赤外顕微鏡に関し、特に赤外顕微鏡を用い
て全反射測定法により試料の表面を分析する際に使用さ
れる全反射対物鏡に関する。
光を照射し、その反射光を測定することにより試料表面
の観察を行う赤外顕微鏡に関し、特に赤外顕微鏡を用い
て全反射測定法により試料の表面を分析する際に使用さ
れる全反射対物鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】全反射吸収（Attenuated Total Reflect
ance）を利用した試料の分析法（ＡＴＲ法）の原理につ
いて図５を参照しながら説明する。図５（ａ）におい
て、試料34よりも大きい屈折率を有するプリズム（ＡＴ
Ｒプリズム）27に試料34を圧着し、赤外光を試料34の表
面に向けて全反射臨界角以上の入射角で照射すると、赤
外光はＡＴＲプリズム27に入射した後、ＡＴＲプリズム
27と試料34との境界面35で全反射される。この全反射の
際、赤外光は図５（ｂ）に示したように境界面35をわず
かに（測定赤外光の波長の数分の１）越えて試料側へ侵
入し、試料34の表面部分により固有の吸収を受ける。こ
のように試料表面で反射された赤外光の吸収スペクトル
を測定することにより、試料表面の分析を行うことがで
きる。
ance）を利用した試料の分析法（ＡＴＲ法）の原理につ
いて図５を参照しながら説明する。図５（ａ）におい
て、試料34よりも大きい屈折率を有するプリズム（ＡＴ
Ｒプリズム）27に試料34を圧着し、赤外光を試料34の表
面に向けて全反射臨界角以上の入射角で照射すると、赤
外光はＡＴＲプリズム27に入射した後、ＡＴＲプリズム
27と試料34との境界面35で全反射される。この全反射の
際、赤外光は図５（ｂ）に示したように境界面35をわず
かに（測定赤外光の波長の数分の１）越えて試料側へ侵
入し、試料34の表面部分により固有の吸収を受ける。こ
のように試料表面で反射された赤外光の吸収スペクトル
を測定することにより、試料表面の分析を行うことがで
きる。
【０００３】図３は一般的な赤外顕微鏡の対物光学系の
構成を示す。対物光学系には、カセグレン式の対物鏡1
4、球面状接触面を有するＡＴＲプリズム60、ＡＴＲプ
リズム60を保持するプリズムホルダ62、試料34を載置す
るための試料ステージ36を含む。ＡＴＲプリズム60の直
径は２〜５ｍｍ程度である。プリズムホルダ62は水平方
向にスライドできるようになっている。また、試料ステ
ージ36の３次元空間（Ｘ、Ｙ及びＺ）上の位置は所定範
囲内で自由に移動することができる。更に、図示されて
いないが、赤外光源、可視光源、赤外光を検出するため
の測定光学系及び可視光を用いて試料を目視観察するた
めの目視光学系などが赤外顕微鏡の構成要素として含ま
れており、これらは周知の構成である。
構成を示す。対物光学系には、カセグレン式の対物鏡1
4、球面状接触面を有するＡＴＲプリズム60、ＡＴＲプ
リズム60を保持するプリズムホルダ62、試料34を載置す
るための試料ステージ36を含む。ＡＴＲプリズム60の直
径は２〜５ｍｍ程度である。プリズムホルダ62は水平方
向にスライドできるようになっている。また、試料ステ
ージ36の３次元空間（Ｘ、Ｙ及びＺ）上の位置は所定範
囲内で自由に移動することができる。更に、図示されて
いないが、赤外光源、可視光源、赤外光を検出するため
の測定光学系及び可視光を用いて試料を目視観察するた
めの目視光学系などが赤外顕微鏡の構成要素として含ま
れており、これらは周知の構成である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような構成の赤外
顕微鏡では、図４にその拡大図を示すように、ＡＴＲプ
リズムは下方に膨らんだ球面上であり、試料との接触面
は直径数１００μｍと比較的広く試料への圧力も少な
い。従って、試料表面に対する物理的ダメージはない
が、逆に測定後測定位置を点検することができないとい
う不都合があった。また、試料との接触面（密着面）が
比較的広いので、測定後試料をＡＴＲプリズムから離し
にくいという問題もあった。
顕微鏡では、図４にその拡大図を示すように、ＡＴＲプ
リズムは下方に膨らんだ球面上であり、試料との接触面
は直径数１００μｍと比較的広く試料への圧力も少な
い。従って、試料表面に対する物理的ダメージはない
が、逆に測定後測定位置を点検することができないとい
う不都合があった。また、試料との接触面（密着面）が
比較的広いので、測定後試料をＡＴＲプリズムから離し
にくいという問題もあった。
【０００５】本発明は、測定後に測定位置を目視により
容易に確認することができ、かつ、測定後試料を容易く
ＡＴＲプリズムから離すことができる赤外顕微鏡を提供
することを目的としている。
容易に確認することができ、かつ、測定後試料を容易く
ＡＴＲプリズムから離すことができる赤外顕微鏡を提供
することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の赤外顕微鏡においては、ＡＴＲプリズムの
試料との接触面の頂部を突起面の形状にて形成したもの
である。
に、本発明の赤外顕微鏡においては、ＡＴＲプリズムの
試料との接触面の頂部を突起面の形状にて形成したもの
である。
【０００７】突起面の大きさとしては直径数１０〜２０
０μｍ程度である。また、突起面形状の加工は、図２に
示すように、ＡＴＲプリズム先端をエッチングなどによ
り削り取って突起面を形成する。
０μｍ程度である。また、突起面形状の加工は、図２に
示すように、ＡＴＲプリズム先端をエッチングなどによ
り削り取って突起面を形成する。
【０００８】このような接触面頂部に突起面を有するＡ
ＴＲプリズムを試料に圧着することにより、試料には図
１に示すように窪みができ、これによって測定後にも容
易に測定位置を確認することができ、また、接触面が小
さいので容易にＡＴＲプリズムから試料を剥がすことも
できる。
ＴＲプリズムを試料に圧着することにより、試料には図
１に示すように窪みができ、これによって測定後にも容
易に測定位置を確認することができ、また、接触面が小
さいので容易にＡＴＲプリズムから試料を剥がすことも
できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例の赤外顕
微鏡を説明するに、ＡＴＲプリズム60の形状が相違する
点を除いて基本的構成は図３に示された一般的な赤外顕
微鏡と同様なので、再度図３を参照しながら説明する。
微鏡を説明するに、ＡＴＲプリズム60の形状が相違する
点を除いて基本的構成は図３に示された一般的な赤外顕
微鏡と同様なので、再度図３を参照しながら説明する。
【００１０】図３（ａ）に示すように、プリズムホルダ
62をスライドさせてＡＴＲプリズム60を試料34の表面か
ら退避させる。この状態で可視光源（図示せず）からの
可視光を試料34に直接照射し、目視光学系により試料34
の像を目視観察しながら試料ステージ36を駆動して試料
34の位置を調節し、試料34の表面上の測定点を対物鏡の
焦点に位置させる。
62をスライドさせてＡＴＲプリズム60を試料34の表面か
ら退避させる。この状態で可視光源（図示せず）からの
可視光を試料34に直接照射し、目視光学系により試料34
の像を目視観察しながら試料ステージ36を駆動して試料
34の位置を調節し、試料34の表面上の測定点を対物鏡の
焦点に位置させる。
【００１１】このように試料34の位置を決定した後、図
３（ｂ）に示すように、プリズムホルダ62を水平方向に
スライドさせてＡＴＲプリズム60が試料34の測定点の上
方に位置するようにし、更に試料ステージ36を上昇させ
てＡＴＲプリズム60の底面に試料34を圧着させる。
３（ｂ）に示すように、プリズムホルダ62を水平方向に
スライドさせてＡＴＲプリズム60が試料34の測定点の上
方に位置するようにし、更に試料ステージ36を上昇させ
てＡＴＲプリズム60の底面に試料34を圧着させる。
【００１２】ここで、ＡＴＲプリズム60の底面、即ち、
試料34との接触面には図２に示されるように、直径数１
０〜２００μｍ程度の小さな突起面（接点）が形成され
ており、試料34が圧着された際、試料34の表面には図１
に示されるように、窪み（跡）がつけられる。これによ
って測定後にも測定点を容易に確認することができる。
試料34との接触面には図２に示されるように、直径数１
０〜２００μｍ程度の小さな突起面（接点）が形成され
ており、試料34が圧着された際、試料34の表面には図１
に示されるように、窪み（跡）がつけられる。これによ
って測定後にも測定点を容易に確認することができる。
【００１３】このような状態で、赤外光源（図示せず）
からの赤外光がカセグレン式対物鏡14で集光されてＡＴ
Ｒプリズム60の試料34との接触面における接点に照射さ
れ、試料34表面からの反射赤外光が再度カセグレン式対
物鏡14で集光され検出光学系により検出される。
からの赤外光がカセグレン式対物鏡14で集光されてＡＴ
Ｒプリズム60の試料34との接触面における接点に照射さ
れ、試料34表面からの反射赤外光が再度カセグレン式対
物鏡14で集光され検出光学系により検出される。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、測定終了後も測定位置に跡が残り、容易に
測定点を確認することができる。また、ＡＴＲプリズム
の試料との接触面が小さいので、試料をＡＴＲプリズム
から容易く剥がすことができるという効果もある。
ているので、測定終了後も測定位置に跡が残り、容易に
測定点を確認することができる。また、ＡＴＲプリズム
の試料との接触面が小さいので、試料をＡＴＲプリズム
から容易く剥がすことができるという効果もある。
【図１】本発明実施例の赤外顕微鏡のＡＴＲプリズムの
形状を示す図である。
形状を示す図である。
【図２】本発明実施例の赤外顕微鏡のＡＴＲプリズムの
加工法の一例を示す図である。
加工法の一例を示す図である。
【図３】一般的な赤外顕微鏡の対物光学系を示す図であ
る。
る。
【図４】従来の赤外顕微鏡のＡＴＲプリズムの形状を示
す図である。
す図である。
【図５】全反射吸収を利用した試料の分析法の原理を説
明する図である。
明する図である。
１４…対物鏡 ３４…試料 ３６…試料ステージ ６０
…ＡＴＲプリズム
…ＡＴＲプリズム
Claims (1)
- 【請求項１】 球面状接触面を有するプリズムを試料に
圧着し、赤外光を試料表面に向けて全反射臨界角以上の
入射角で照射して、試料表面で反射された赤外光の吸収
スペクトルを測定する赤外顕微鏡において、 前記プリズムの接触面頂部を突起面形状にて形成したこ
とを特徴とする赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13310697A JPH10325792A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13310697A JPH10325792A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 赤外顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10325792A true JPH10325792A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=15096965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13310697A Pending JPH10325792A (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10325792A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078487A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Hokkaido Univ | 電気化学赤外分光装置 |
| JP2009063410A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Jasco Corp | 近接場ファイバープローブ、及び近接場光学顕微鏡 |
| US8223429B2 (en) * | 2006-04-26 | 2012-07-17 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Accessory for attenuated total internal reflective (ATR) spectroscopy |
-
1997
- 1997-05-23 JP JP13310697A patent/JPH10325792A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078487A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Hokkaido Univ | 電気化学赤外分光装置 |
| US8223429B2 (en) * | 2006-04-26 | 2012-07-17 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Accessory for attenuated total internal reflective (ATR) spectroscopy |
| US8223430B2 (en) | 2006-04-26 | 2012-07-17 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Accessory for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| US8400711B2 (en) | 2006-04-26 | 2013-03-19 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Accessory for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| US8743456B2 (en) | 2006-04-26 | 2014-06-03 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd. | Systems and methods for attenuated total internal reflectance (ATR) spectroscopy |
| JP2009063410A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Jasco Corp | 近接場ファイバープローブ、及び近接場光学顕微鏡 |
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