JPH11190694A - Ａｔｒマッピング方法 - Google Patents
Ａｔｒマッピング方法Info
- Publication number
- JPH11190694A JPH11190694A JP36067497A JP36067497A JPH11190694A JP H11190694 A JPH11190694 A JP H11190694A JP 36067497 A JP36067497 A JP 36067497A JP 36067497 A JP36067497 A JP 36067497A JP H11190694 A JPH11190694 A JP H11190694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- atr
- prism
- infrared light
- prisms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/251—Colorimeters; Construction thereof
- G01N21/253—Colorimeters; Construction thereof for batch operation, i.e. multisample apparatus
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の測定ポイント毎に試料（試料ステー
ジ）を上下動させることなく試料とＡＴＲプリズムを密
着させたままマッピング分析を行う。 【解決手段】 試料13の表面に複数個の小さなＡＴＲプ
リズム11をＸＹ方向に配置して密着させ、試料13（試料
ステージ14）をカセグレン式対物鏡10（入射赤外光）に
対してＸＹ方向に移動させることにより、試料13上の複
数ポイントで反射された赤外光を測定する。複数個のＡ
ＴＲプリズム11の一個一個は、上部が半球状で下部は少
し曲率を持たせた形状であり、これを樹脂などのプリズ
ム枠15で囲んで形成される。このようなＡＴＲプリズム
11の複数個がプリズムホルダ12にて保持され、試料13の
表面上に密着配置される。
ジ）を上下動させることなく試料とＡＴＲプリズムを密
着させたままマッピング分析を行う。 【解決手段】 試料13の表面に複数個の小さなＡＴＲプ
リズム11をＸＹ方向に配置して密着させ、試料13（試料
ステージ14）をカセグレン式対物鏡10（入射赤外光）に
対してＸＹ方向に移動させることにより、試料13上の複
数ポイントで反射された赤外光を測定する。複数個のＡ
ＴＲプリズム11の一個一個は、上部が半球状で下部は少
し曲率を持たせた形状であり、これを樹脂などのプリズ
ム枠15で囲んで形成される。このようなＡＴＲプリズム
11の複数個がプリズムホルダ12にて保持され、試料13の
表面上に密着配置される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料表面にＡＴＲ
プリズムを介して赤外光を照射し、その反射光を測定す
ることにより試料表面の観察を行う赤外顕微鏡に係り、
特に、赤外顕微鏡を用いて全反射測定法（ＡＴＲ法）に
より試料表面のマッピング分析を行うＡＴＲマッピング
方法に関する。
プリズムを介して赤外光を照射し、その反射光を測定す
ることにより試料表面の観察を行う赤外顕微鏡に係り、
特に、赤外顕微鏡を用いて全反射測定法（ＡＴＲ法）に
より試料表面のマッピング分析を行うＡＴＲマッピング
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料よりも大きい屈折率を有するＡＴＲ
プリズムを試料表面に密着し、赤外光を試料の表面に向
けて全反射臨界角以上の入射角で照射すると、赤外光は
ＡＴＲプリズムに入射した後、ＡＴＲプリズムと試料と
の境界面で全反射され、この際、赤外光は境界面をわず
かに（測定赤外光の波長の数分の一）越えて試料側へ侵
入し、試料の表面部分で固有の吸収を受けるので、この
ようにして試料表面で反射された赤外光の吸収スペクト
ルを測定することにより、試料表面の分析を行うことが
できる。これが赤外顕微鏡を用いたＡＴＲ法による試料
表面の分析法の原理である。
プリズムを試料表面に密着し、赤外光を試料の表面に向
けて全反射臨界角以上の入射角で照射すると、赤外光は
ＡＴＲプリズムに入射した後、ＡＴＲプリズムと試料と
の境界面で全反射され、この際、赤外光は境界面をわず
かに（測定赤外光の波長の数分の一）越えて試料側へ侵
入し、試料の表面部分で固有の吸収を受けるので、この
ようにして試料表面で反射された赤外光の吸収スペクト
ルを測定することにより、試料表面の分析を行うことが
できる。これが赤外顕微鏡を用いたＡＴＲ法による試料
表面の分析法の原理である。
【０００３】ところで、このようなＡＴＲ法による分析
方法の一つに、試料表面の複数のポイントで反射された
赤外光を測定することによりマッピング分析することが
行われているが、通常、カセグレン式の対物鏡にＡＴＲ
プリズムが付設された構成の赤外顕微鏡を用いてマッピ
ング分析が行われていた。
方法の一つに、試料表面の複数のポイントで反射された
赤外光を測定することによりマッピング分析することが
行われているが、通常、カセグレン式の対物鏡にＡＴＲ
プリズムが付設された構成の赤外顕微鏡を用いてマッピ
ング分析が行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のＡＴ
Ｒマッピング分析にあっては、試料表面の複数ポイント
での測定を行う場合、一つのポイントでの測定毎に試料
を上下動させて試料とプリズムの密着及び脱着を繰り返
し行う必要があり、マッピング分析の測定には時間がか
かるという問題点があった。
Ｒマッピング分析にあっては、試料表面の複数ポイント
での測定を行う場合、一つのポイントでの測定毎に試料
を上下動させて試料とプリズムの密着及び脱着を繰り返
し行う必要があり、マッピング分析の測定には時間がか
かるという問題点があった。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑み、試料を
上下動させることなく試料とＡＴＲプリズムを密着させ
たままマッピング分析を行うことができるＡＴＲマッピ
ング方法を提供することを目的としている。
上下動させることなく試料とＡＴＲプリズムを密着させ
たままマッピング分析を行うことができるＡＴＲマッピ
ング方法を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のＡＴＲマッピング方法においては、試料表
面に複数個の小さなＡＴＲプリズムをＸＹ方向に密着し
て配置し、試料と入射赤外光を相対的に移動させること
により、試料表面の複数ポイントで反射された赤外光を
測定しマッピング分析するようにしたものである。
に、本発明のＡＴＲマッピング方法においては、試料表
面に複数個の小さなＡＴＲプリズムをＸＹ方向に密着し
て配置し、試料と入射赤外光を相対的に移動させること
により、試料表面の複数ポイントで反射された赤外光を
測定しマッピング分析するようにしたものである。
【０００７】複数個のＡＴＲプリズムは、図３に示すよ
うに、その一個一個は上部が半球状で下部は少し曲率を
持たせた形状であり、これを樹脂などの枠で囲んで形成
される。このようなＡＴＲプリズムの複数個がプリズム
ホルダにて支持され、試料表面上に密着配置される。
うに、その一個一個は上部が半球状で下部は少し曲率を
持たせた形状であり、これを樹脂などの枠で囲んで形成
される。このようなＡＴＲプリズムの複数個がプリズム
ホルダにて支持され、試料表面上に密着配置される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
のＡＴＲマッピング方法を説明するに、図１は本発明方
法を実施するための赤外顕微鏡の対物光学系の構成を示
す。
のＡＴＲマッピング方法を説明するに、図１は本発明方
法を実施するための赤外顕微鏡の対物光学系の構成を示
す。
【０００９】対物光学系には、カセグレン式の対物鏡1
0、試料表面上に密着配列された複数個のＡＴＲプリズ
ム11、ＡＴＲプリズム11を保持するプリズムホルダ12、
試料13を載置するための試料ステージ14を含む。プリズ
ムホルダ12は水平方向にスライドできるようになってお
り、試料ステージ14は試料13と複数個のＡＴＲプリズム
11（プリズムホルダ12）を密着させた状態でＸＹ方向に
自由に移動することができる。
0、試料表面上に密着配列された複数個のＡＴＲプリズ
ム11、ＡＴＲプリズム11を保持するプリズムホルダ12、
試料13を載置するための試料ステージ14を含む。プリズ
ムホルダ12は水平方向にスライドできるようになってお
り、試料ステージ14は試料13と複数個のＡＴＲプリズム
11（プリズムホルダ12）を密着させた状態でＸＹ方向に
自由に移動することができる。
【００１０】また、図示されていないが、赤外光源、赤
外光を検出するための測定光学系などが赤外顕微鏡の構
成要素として含まれており、これらは周知の構成であ
る。
外光を検出するための測定光学系などが赤外顕微鏡の構
成要素として含まれており、これらは周知の構成であ
る。
【００１１】ＡＴＲプリズム11の個々の形状は、図３に
示すように、上部が半球状で、下部は少し曲率を持たせ
た形状であり、これが樹脂などのプリズム枠15で囲まれ
ている。このようなプリズム形状により、板状プリズム
における全反射条件に比し屈折率ｎ＝４のゲルマニウム
（Ｇｅ）では入射角３０度でも全反射が起き、ＡＴＲス
ペクトルの測定が可能となる。このようなＡＴＲプリズ
ム11の複数個がプリズムホルダ12にて保持されている。
示すように、上部が半球状で、下部は少し曲率を持たせ
た形状であり、これが樹脂などのプリズム枠15で囲まれ
ている。このようなプリズム形状により、板状プリズム
における全反射条件に比し屈折率ｎ＝４のゲルマニウム
（Ｇｅ）では入射角３０度でも全反射が起き、ＡＴＲス
ペクトルの測定が可能となる。このようなＡＴＲプリズ
ム11の複数個がプリズムホルダ12にて保持されている。
【００１２】このような赤外顕微鏡を用いてマッピング
分析するに際しては、まず、図２に示すように、マッピ
ング分析すべき試料13の領域（範囲）をカバーするに十
分な個数、図中実施例では20個のＡＴＲプリズム11をプ
リズムホルダ12にセットし、これらを試料13の面上に密
着させる。
分析するに際しては、まず、図２に示すように、マッピ
ング分析すべき試料13の領域（範囲）をカバーするに十
分な個数、図中実施例では20個のＡＴＲプリズム11をプ
リズムホルダ12にセットし、これらを試料13の面上に密
着させる。
【００１３】しかる後、試料ステージ14をＸ及びＹ方向
に駆動することにより、赤外光源（図示せず）からの赤
外光がカセグレン式対物鏡10で集光されて、次々に複数
個のＡＴＲプリズム11と試料13との接触面における接点
に照射され、試料13上の複数ポイントからの反射赤外光
が再度カセグレン式対物鏡10で集光され、測定光学系
（図示せず）により測定される。測定されたデータは周
知の手法により処理され、これにより色分けなどマッピ
ング分析が行われる。
に駆動することにより、赤外光源（図示せず）からの赤
外光がカセグレン式対物鏡10で集光されて、次々に複数
個のＡＴＲプリズム11と試料13との接触面における接点
に照射され、試料13上の複数ポイントからの反射赤外光
が再度カセグレン式対物鏡10で集光され、測定光学系
（図示せず）により測定される。測定されたデータは周
知の手法により処理され、これにより色分けなどマッピ
ング分析が行われる。
【００１４】従って、マッピング分析に際し、ＡＴＲプ
リズム11（プリズムホルダ12）と試料13は密着されたま
まであり、各ポイントでの測定毎に試料13（試料ステー
ジ14）を上下動させてプリズムとの密着及び脱着を行う
必要はない。
リズム11（プリズムホルダ12）と試料13は密着されたま
まであり、各ポイントでの測定毎に試料13（試料ステー
ジ14）を上下動させてプリズムとの密着及び脱着を行う
必要はない。
【００１５】なお、試料13の表面上に密着させる複数個
のＡＴＲプリズム11、即ちプリズムホルダ12の位置を少
しづつずらしてゆくことにより、さらにＡＴＲプリズム
11の間隔よりも狭い間隔でのマッピング分析ができる。
のＡＴＲプリズム11、即ちプリズムホルダ12の位置を少
しづつずらしてゆくことにより、さらにＡＴＲプリズム
11の間隔よりも狭い間隔でのマッピング分析ができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、マッピング分析において試料面上の複数ポ
イントでの測定を行う場合にも、一つのポイントでの測
定毎に試料（試料ステージ）を上下動させて試料とプリ
ズムの密着及び脱着を繰り返し行う必要がなく、マッピ
ング分析を短時間に効率よく行うことができる。また、
試料の大きさや形状にも、プリズムの個数や配置を変え
るだけで容易に対応することができる。
ているので、マッピング分析において試料面上の複数ポ
イントでの測定を行う場合にも、一つのポイントでの測
定毎に試料（試料ステージ）を上下動させて試料とプリ
ズムの密着及び脱着を繰り返し行う必要がなく、マッピ
ング分析を短時間に効率よく行うことができる。また、
試料の大きさや形状にも、プリズムの個数や配置を変え
るだけで容易に対応することができる。
【図１】本発明方法を実施する赤外顕微鏡の要部の光学
系を示す図である。
系を示す図である。
【図２】本発明方法を実施する赤外顕微鏡の試料ステー
ジ平面図である。
ジ平面図である。
【図３】本発明方法を実施するＡＴＲプリズムの構成を
示す図である。
示す図である。
10…対物鏡 11…ＡＴＲプリズム 12…プリズムホルダ 13…試料 14…試料ステージ 15…プリズム枠
Claims (1)
- 【請求項１】試料よりも大きい屈折率を有するＡＴＲプ
リズムを試料表面に密着させ、ＡＴＲプリズムに対し臨
界角以上の入射角で赤外光を入射し、プリズムと試料の
境界で全反射された赤外光を測定して試料の分析をする
方法において、試料表面に複数個のＡＴＲプリズムを縦
横に密着配置し、試料と入射赤外光を相対的に移動させ
ることにより、試料表面の複数ポイントで反射された赤
外光を測定してマッピング分析を行うことを特徴とする
ＡＴＲマッピング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36067497A JPH11190694A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | Ａｔｒマッピング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36067497A JPH11190694A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | Ａｔｒマッピング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11190694A true JPH11190694A (ja) | 1999-07-13 |
Family
ID=18470430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36067497A Withdrawn JPH11190694A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | Ａｔｒマッピング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11190694A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078488A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Hokkaido Univ | 電気化学赤外分光装置 |
| WO2007041999A1 (de) * | 2005-10-10 | 2007-04-19 | Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main | Vorrichtung für die qualitative und/oder quantitative bestimmung von ir-aktiven inhaltsstoffen in flüssigkeiten sowie ein verfahren zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung von ir-aktiven inhaltsstoffen in flüssigkeiten |
| JP2007225326A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 電力ケーブル用高分子絶縁材料の劣化診断方法 |
| WO2010073605A1 (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 蛍光検出装置 |
| EP2567218A4 (en) * | 2010-05-03 | 2017-11-08 | The Regents of The University of California | Wide-field lensless fluorescent imaging on a chip |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP36067497A patent/JPH11190694A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078488A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Hokkaido Univ | 電気化学赤外分光装置 |
| WO2007041999A1 (de) * | 2005-10-10 | 2007-04-19 | Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main | Vorrichtung für die qualitative und/oder quantitative bestimmung von ir-aktiven inhaltsstoffen in flüssigkeiten sowie ein verfahren zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung von ir-aktiven inhaltsstoffen in flüssigkeiten |
| JP2007225326A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 電力ケーブル用高分子絶縁材料の劣化診断方法 |
| WO2010073605A1 (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 蛍光検出装置 |
| JP5432186B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2014-03-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 蛍光検出装置 |
| US8680483B2 (en) | 2008-12-24 | 2014-03-25 | Hitachi High-Technologies Corporation | Fluorescence detector |
| EP2567218A4 (en) * | 2010-05-03 | 2017-11-08 | The Regents of The University of California | Wide-field lensless fluorescent imaging on a chip |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7755668B2 (ja) | 個片化半導体デバイスの欠陥検出装置 | |
| EP0178037B1 (en) | Compact laser scanning system | |
| US6376852B2 (en) | Surface inspection using the ratio of intensities of s—and p-polarized light components of a laser beam reflected a rough surface | |
| CN110546482B (zh) | 红外光谱学系统 | |
| US9995688B2 (en) | Use of superhydrophobic surfaces for liquid agglutination assays | |
| US20090185734A1 (en) | Apparatus and method for analysis of particles in a liquid sample | |
| JPH1090174A (ja) | 物品の検査方法とその装置 | |
| CN101013136A (zh) | 激光诱导荧光共聚焦扫描装置和方法 | |
| US7221502B2 (en) | Microscope and sample observation method | |
| JP2002148172A (ja) | 近接場顕微鏡 | |
| JP2001305072A (ja) | 基板の欠陥検出方法及び装置 | |
| CN105745527B (zh) | 用于光谱学的改进的机动可变路径长度单元 | |
| US7280261B2 (en) | Method of scanning and light collection for a rare cell detector | |
| JPH11190694A (ja) | Ａｔｒマッピング方法 | |
| KR100615040B1 (ko) | 바이오칩 측정 장치 및 방법 | |
| US5764364A (en) | Scattered-light laser microscope | |
| CN118329899A (zh) | 一种基于光谱成像技术的材料缺陷检测装置及方法 | |
| JP2001027597A (ja) | 近接場光学用プローブ | |
| JPH10325792A (ja) | 赤外顕微鏡 | |
| JPH04116452A (ja) | 顕微赤外ａｔｒ測定装置 | |
| JP2024525137A (ja) | ポータブル分光計を使用する生物学的サンプルのマススクリーニング | |
| KR100480490B1 (ko) | 다중 접합 웨이퍼의 공간 검사장치 | |
| EP4722693A1 (en) | Analysis method and infrared spectrophotometer | |
| KR100691528B1 (ko) | 단백질 칩 분석용 표면 플라즈몬 주사 현미경 장치 | |
| JPH0510872A (ja) | 顕微赤外ａｔｒ測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040803 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20051004 |