JPH10325857A - Icテスタ - Google Patents

Icテスタ

Info

Publication number
JPH10325857A
JPH10325857A JP9134957A JP13495797A JPH10325857A JP H10325857 A JPH10325857 A JP H10325857A JP 9134957 A JP9134957 A JP 9134957A JP 13495797 A JP13495797 A JP 13495797A JP H10325857 A JPH10325857 A JP H10325857A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
level
comparison voltage
comparator
under test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9134957A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3465257B2 (ja
Inventor
Michio Murata
道雄 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP13495797A priority Critical patent/JP3465257B2/ja
Publication of JPH10325857A publication Critical patent/JPH10325857A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3465257B2 publication Critical patent/JP3465257B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウィンドウコンパレートでハイインピーダン
スの判定ができるICテスタを実現することを目的にす
る。 【解決手段】 本発明は、ウィンドウコンパレートによ
り被試験対象の試験を行うICテスタに改良を加えたも
のである。本装置は、被試験対象からの出力とハイレベ
ル比較電圧あるいはロウレベル比較電圧と比較する2つ
のコンパレータと、このコンパレータから比較結果を受
け取り、ウィンドウ区間で被試験対象の出力が常にハイ
レベル比較電圧より高いか、被試験対象の出力が常にロ
ウレベル比較電圧より低いか、被試験対象の出力が常に
ハイレベル比較電圧より低いか、被試験対象の出力が常
にロウレベル比較電圧より高いかのデータを記憶する記
憶回路とを有し、記憶回路のデータにより判定を行うこ
とを特徴とする装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウィンドウコンパ
レートにより被試験対象(例えば、IC,LSI等)の
試験を行うICテスタに関し、ハイインピーダンスの判
定ができるICテスタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】ICテスタは、被試験対象(以下DUT
と略す)に試験パターンを与え、この試験パターンに基
づいて被試験対象が出力した応答信号と期待値とを比較
して、被試験対象の合否を判定するものである。
【0003】この比較の方法として、通常2種類の方法
でDUTの出力を検査している。1つは、ある一点のタ
イミングでストローブし、DUTからの出力と期待値と
を比較する方法(エッジコンパレート)である。これは
例えば、特公平4−36349号公報に記載されてい
る。もう1つは、ある一定区間(ウィンドウ区間)でス
トローブし、DUTからの出力と期待値とを比較する方
法(ウィンドウコンパレート)がある。
【0004】このようなウィンドコンパレートによるI
Cテスタの従来の構成例を図10に示す。図において、
11はコンパレータで、DUT(図示せず)からの出力
とハイレベル比較電圧(REF−H)とを比較する。1
2はコンパレータで、DUTからの出力とロウレベル比
較電圧(REF−L)とを比較する。ここで、ハイレベ
ル比較電圧,ロウレベル比較電圧は、DUTの出力電圧
がハイレベルであるか、ロウレベルであるかの基準を定
めるものである。つまり、ハイレベル比較電圧は、DU
Tの出力電圧がハイレベルであることを定める最小電圧
であり、ロウレベル比較電圧は、DUTの出力電圧がロ
ウレベルであることを定める最大電圧である。
【0005】21はAND回路で、コンパレータ11の
比較結果(反転出力)とストローブ信号とを入力する。
22はAND回路で、コンパレータ12の比較結果(反
転出力)とストローブ信号とを入力する。
【0006】31はDフリップフロップ(以下DFFと
略す)で、セット端子にAND回路21の出力を入力
し、D端子をロウレベルとし、クロック端子にストロー
ブ信号を入力する。32はDFFで、セット端子にAN
D回路22の出力を入力し、D端子をロウレベルとし、
クロック端子にストローブ信号を入力する。4はデジタ
ルコンパレータで、ストローブ信号を入力し、DFF3
1,32のQ端子からの信号と期待値とを比較し、パス
/フェイルを出力する。
【0007】このような装置の動作を以下に説明する。
ここで、ストローブ信号がハイレベルの区間(ウィンド
ウ区間)で、DUTからの出力を監視する。図11は図
10の装置の動作を示したタイミングチャートである。
図12は図10の装置のDFF31,32の出力の真理
値表である。ここで、DHはDFF31のQ出力、DL
はDFF32のQ出力である。
【0008】ストローブ信号がハイレベルになり、コン
パレータ11の反転出力はロウレベルなので、AND回
路21はロウレベルでセット端子に入力される。同時に
クロック端子にストローブ信号が入力されているので、
D端子のロウレベルがQ出力として出力される(a)。
【0009】DUTの出力がハイレベル比較電圧(RE
F−H)より低くなり、コンパレータ11の反転出力が
ハイレベルになる(b)。これにより、AND回路21
はストローブ信号とコンパレータ11の反転出力によ
り、ハイレベルになる(c)。つまり、セット端子がハ
イレベルになり、DFF31の出力(DH)はハイレベ
ルになる(d)。
【0010】DUTの出力が再びハイレベル比較電圧よ
り高くなり、コンパレータ11の反転出力がロウレベル
になる(e)。これにより、AND回路21はストロー
ブ信号とコンパレータ11の反転出力により、ロウレベ
ルになる(f)。しかし、DFF31のQ出力(DH)
はハイレベルのままである。
【0011】ストローブ信号がロウレベルとなると、D
FF31,32とも変化しない。再び、ストローブ信号
がハイレベルとなり、コンパレータ11の反転出力はロ
ウレベルなので、AND回路21はロウレベルでセット
端子に入力される。同時にクロック端子にストローブ信
号が入力されているので、D端子のロウレベルがQ出力
(DH)として出力される(g)。
【0012】このとき、DFF32の出力は、ストロー
ブ信号がクロック端子に入力されるとき、コンパレータ
12からの反転出力とストローブ信号とにより、セット
端子にはハイレベルが入力され、常にハイレベルになっ
ている。
【0013】DFF31,32に保持されたデータによ
り、デジタルコンパレータ4は、ストローブ信号の立ち
下がりで期待値と比較し、パス/フェイルの判定を行
う。例えば、期待値が”1”のとき、始めのウィンドウ
区間では、DHがハイレベルなのでフェイルを出力し、
次のウィンドウ区間では、DHがロウレベルなのでパス
を出力する。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】以上に示されるよう
に、ウィンドウコンパレートの場合、期待値をハイイン
ピーダンス(Z)として、DUTの試験を行うことがで
きなかった。つまり、DUTの出力が常にREF−L<
DUT出力<REF−Hのとき、DFF31,DFF3
2の出力は共にハイレベルで、図11にも示されるよう
に、比較電圧を横切るときもDFF31,DFF32の
出力が共にハイレベルとなってしまう。これにより、あ
る一定区間(ウィンドウ区間)、ハイインピーダンスで
一定なのか、一定でないのかが区別できなかった。
【0015】そして、フェイルになったときに、どのよ
うなフェイルか、例えば、期待値がL(ロウレベル)だ
ったときに、Zだったのか、比較電圧を横切るようなフ
ェイルだったのかがわらからず、後のフェイルの原因究
明を行うのが困難であった。
【0016】そこで、本発明の第1の目的は、ウィンド
ウコンパレートでハイインピーダンスの判定ができるI
Cテスタを実現することにある。第2の目的は、フェイ
ル時の状態がわかるICテスタを実現することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウィンドウコ
ンパレートにより被試験対象の試験を行うICテスタに
おいて、前記被試験対象からの出力とハイレベル比較電
圧あるいはロウレベル比較電圧と比較する2つのコンパ
レータと、このコンパレータから比較結果を受け取り、
ウィンドウ区間で前記被試験対象の出力が常にハイレベ
ル比較電圧より高いか、被試験対象の出力が常にロウレ
ベル比較電圧より低いか、被試験対象の出力が常にハイ
レベル比較電圧より低いか、被試験対象の出力が常にロ
ウレベル比較電圧より高いかのデータを記憶する記憶回
路とを有し、記憶回路のデータにより判定を行うことを
特徴とするものである。
【0018】このような本発明では、記憶回路により、
ウィンドウ区間において被試験対象からの出力がハイレ
ベル比較電圧あるいはロウレベル比較電圧に対しての状
態のデータを記憶し、このデータにより判定を行う。
【0019】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を説明す
る。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。図
10と同一のものは同一符号を付して説明を省略する。
【0020】図において、30は記憶回路で、コンパレ
ータ11、12から比較結果を受け取り、ウィンドウ区
間でDUTの出力が常にハイレベル比較電圧より高い
か、DUTの出力が常にロウレベル比較電圧より低い
か、DUTの出力が常にハイレベル比較電圧より低い
か、DUTの出力が常にロウレベル比較電圧より高いか
のデータを記憶する。
【0021】記憶回路30は、AND回路21〜24と
DFF31〜34とからなる。AND回路21は、コン
パレータ11の比較結果(反転出力)とストローブ信号
とを入力する。AND回路22は、コンパレータ12の
比較結果(反転出力)とストローブ信号とを入力する。
AND回路23は、コンパレータ11の比較結果(非反
転出力)とストローブ信号とを入力する。AND回路2
4は、コンパレータ12の比較結果(非反転出力)とス
トローブ信号とを入力する。
【0022】DFF31は、セット端子にAND回路2
1の反転出力を入力し、D端子をロウレベルとし、クロ
ック端子にストローブ信号を入力する。DFF32は、
セット端子にAND回路22の出力を入力し、D端子を
ロウレベルとし、クロック端子にストローブ信号を入力
する。DFF33は、セット端子にAND回路23の反
転出力を入力し、D端子をロウレベルとし、クロック端
子にストローブ信号を入力する。DFF34は、セット
端子にAND回路24の反転出力を入力し、D端子をロ
ウレベルとし、クロック端子にストローブ信号を入力す
る。
【0023】40はデジタルコンパレータで、DFF3
1〜34からの信号(DH,DL,DZH,DZL)と
期待値とを比較し、パス/フェイルとステータスを出力
する。ここで、ステータスとは、ウィンドウ区間のDU
Tの出力の状態データを示す。また、パス/フェイル
は、パスのときロウレベルを出力し、フェイルのときハ
イレベルを出力する。
【0024】このような装置の動作を以下で説明する。
ここで、ストローブ信号がハイレベルの区間(ウィンド
ウ区間)で、DUTからの出力を監視する。図2〜5は
それぞれ図1の装置のDFF31〜34の出力の真理値
表である。図6はデジタルコンパレータ40の論理表で
ある。図6に示されるステータスの条件は、期待値と比
較した結果、パスしたときはL(ロウレベル)、フェイ
ルのときレベルが高いときはH(ハイレベル)、低いと
きはLとしている。
【0025】(1)DUTの出力がハイレベル一定から
ロウレベル一定へ変化する場合 図7は図1の装置の動作を示したタイミングチャートで
ある。ストローブ信号がハイレベルになり、コンパレー
タ11の反転出力はロウレベルなので、AND回路21
の出力はロウレベルでDFF31のセット端子に入力さ
れる。同時にクロック端子にストローブ信号が入力され
ているので、DFF31のD端子のロウレベルがQ出力
として出力される(a)。
【0026】また、AND回路22は、コンパレータ1
2の反転出力がハイレベルなので、DFF32のセット
端子にハイレベルを入力する(b)。これにより、DF
F32のQ出力はハイレベルとなる(c)。
【0027】そして、コンパレータ11の非反転出力は
ハイレベルなので、AND回路23は、ハイレベルをD
FF33のセット端子に入力する(d)。これにより、
DFF33のQ出力はハイレベルとなる(e)。
【0028】さらに、コンパレータ12の非反転出力は
ロウレベルなので、AND回路24はロウレベルをDF
F34のセット端子に入力する。同時にクロック端子に
ストローブ信号が入力されているので、DFF34のD
端子のロウレベルがQ出力として出力される(f)。
【0029】そして、ストローブ信号の立ち下がりで、
デジタルコンパレータ40により、期待値と比較され
る。このとき、DH,DZH,DZL,DLは、それぞ
れL,H,L,Hとなり、図6に示される論理表から、
期待値がH(”1”)のときはパス/フェイルはパス
(L)でステータスをLとして出力する。期待値が
L(”0”)のときはパス/フェイルはフェイル(H)
でステータスをHとして出力する。期待値がZのときは
パス/フェイルはフェイル(H)でステータスをHとし
て出力する。
【0030】次にストローブ信号が再び立ち上がり、A
ND回路21は、コンパレータ11の反転出力がハイレ
ベルなので、ハイレベルをDFF31のセット端子に入
力する(g)。これにより、DFF31のQ出力はハイ
レベルとなる(h)。
【0031】また、コンパレータ12の反転出力はロウ
レベルなので、AND回路22はロウレベルをDFF3
2のセット端子に入力する。同時にクロック端子にスト
ローブ信号が入力されているので、DFF32のD端子
のロウレベルがQ出力として出力される(i)。
【0032】そして、コンパレータ11の非反転出力は
ロウレベルなので、AND回路23はロウレベルをDF
F33のセット端子に入力する。同時にクロック端子に
ストローブ信号が入力されているので、DFF33のD
端子のロウレベルがQ出力として出力される(j)。
【0033】さらに、コンパレータ12の非反転出力は
ハイレベルなので、AND回路24はハイレベルをDF
F34のセット端子に入力する(k)。これにより、D
FF34のQ出力はハイレベルとなる(l)。
【0034】そして、ストローブ信号の立ち下がりで、
デジタルコンパレータ40により、期待値と比較され
る。このとき、DH,DZH,DZL,DLは、それぞ
れH,L,H,Lとなり、図6に示される論理表から、
期待値がHのときはパス/フェイルはフェイル(H)で
ステータスをLとして出力する。期待値がLのときはパ
ス/フェイルはパス(L)でステータスをLとして出力
する。期待値がZのときはパス/フェイルはフェイル
(H)でステータスをLとして出力する。
【0035】(2)DUTの出力がハイインピーダンス
一定から、ハイレベル,ハイインピーダンスへ変化する
場合 図8は図1の装置の動作を示したタイミングチャートで
ある。ストローブ信号がハイレベルになり、コンパレー
タ11の反転出力はハイレベルなので、AND回路21
はハイレベルをDFF31のセット端子に入力する
(a)。これにより、DFF31のQ出力はハイレベル
を出力する(b)。
【0036】また、AND回路22は、コンパレータ1
2の反転出力がハイレベルなので、ハイレベルをDFF
32のセット端子に入力する(c)。これにより、DF
F32のQ出力はハイレベルとなる(d)。
【0037】そして、コンパレータ11の非反転出力は
ロウレベルなので、AND回路23はロウレベルをDF
F33のセット端子に入力する。同時にクロック端子に
ストローブ信号が入力されているので、DFF33のD
端子のロウレベルがQ出力として出力される(e)。
【0038】さらに、コンパレータ12の非反転出力は
ロウレベルなので、AND回路24はロウレベルをDF
F34のセット端子に入力する。同時にクロック端子に
ストローブ信号が入力されているので、DFF34のD
端子のロウレベルがQ出力として出力される(f)。
【0039】そして、ストローブ信号の立ち下がりで、
デジタルコンパレータ40により、期待値と比較され
る。このとき、DH,DZH,DZL,DLは、それぞ
れH,L,L,Hとなり、図6に示される論理表から、
期待値がHのときはパス/フェイルはフェイル(H)で
ステータスをHとして出力する。期待値がLのときはパ
ス/フェイルはフェイル(H)でステータスをLとして
出力する。期待値がZのときはパス/フェイルはパス
(L)でステータスをLとして出力する。
【0040】次にストローブ信号が再び立ち上がり、コ
ンパレータ11の反転出力がロウレベルなので、AND
回路21はロウレベルをDFF31のセット端子に入力
する。同時にクロック端子にストローブ信号が入力され
ているので、DFF31のD端子のロウレベルがQ出力
として出力される(g)。
【0041】また、コンパレータ12の反転出力はハイ
レベルなので、AND回路22はハイレベルをDFF3
2のセット端子に入力する(k)。これにより、DFF
32のQ出力はハイレベルのままである。
【0042】そして、コンパレータ11の非反転出力は
ハイレベルなので、AND回路23はハイレベルをDF
F33のセット端子に入力する(i)。これにより、D
FF33のQ出力はハイレベルとなる(j)。
【0043】さらに、コンパレータ12の非反転出力は
ロウレベルなので、AND回路24はロウレベルをDF
F34のセット端子に入力する。同時に、クロック端子
にストローブ信号が入力され、D端子のロウレベルがQ
出力となり、ロウレベルが出力された状態が継続され
る。
【0044】ウィンドウ区間の途中で、DUTの出力が
変化し、ハイレベル比較電圧より下がると、コンパレー
タ11の反転出力はハイレベルを出力し、AND回路2
1はハイレベルを出力し、DFF31のセット端子に入
力する(k)。これにより、DFF31のQ出力はハイ
レベルとなる(l)。同時に、コンパレータ11の非反
転出力はロウレベルとなり、AND回路21はロウレベ
ルをDFF33セット端子に入力する。しかし、ストロ
ーブ信号の立ち上がりがないので、DFF33のQ出力
は変化しない。
【0045】そして、ストローブ信号の立ち下がりで、
デジタルコンパレータ40により、期待値と比較され
る。このとき、DH,DZH,DZL,DLは、それぞ
れH,H,L,Hとなる。図6に示される論理表から、
期待値がHのときはパス/フェイルはフェイル(H)で
ステータスをHとして出力する。期待値がLのときはパ
ス/フェイルはフェイル(H)でステータスをHとして
出力する。期待値がZのときはパス/フェイルはフェイ
ル(H)でステータスをHとして出力する。
【0046】(3)DUTの出力がハイインピーダン
ス,ロウレベルから、ハイレベル,ハイインピーダン
ス,ロウレベルへ変化する場合 図9は図1の装置の動作を示したタイミングチャートで
ある。ストローブ信号がハイレベルになり、コンパレー
タ11の反転出力はハイレベルなので、AND回路21
はハイレベルをDFF31のセット端子に入力する
(a)。これにより、DFF31はQ端子からハイレベ
ルを出力する(b)。
【0047】また、コンパレータ12の反転出力がロウ
レベルなので、AND回路22はロウレベルをDFF3
2のセット端子に入力する。同時にクロック端子にスト
ローブ信号が入力されているので、DFF32のD端子
のロウレベルがQ出力として出力される(c)。
【0048】そして、コンパレータ11の非反転出力は
ロウレベルなので、AND回路23はロウレベルをDF
F33のセット端子に入力する。同時にクロック端子に
ストローブ信号が入力されているので、DFF33のD
端子のロウレベルがQ出力として出力される(d)。
【0049】さらに、コンパレータ12の非反転出力は
ハイレベルなので、AND回路24はハイレベルをDF
F34のセット端子に入力する。これにより、DFF3
4はハイレベルがQ出力として出力される(e)。
【0050】ウィンドウ区間の途中で、DUTの出力が
変化し、ロウレベル比較電圧より上がると、コンパレー
タ12の反転出力はハイレベルを出力し、AND回路2
1はハイレベルを出力し、DFF31のセット端子に入
力する(f)。これにより、DFF31のQ出力はハイ
レベルとなる(g)。同時に、コンパレータ12の非反
転出力はロウレベルとなり、AND回路24がロウレベ
ルとなり、DFF34のセット端子に入力される
(h)。しかし、ストローブ信号の立ち上がりがないの
で、DFF34のQ出力は変化しない。
【0051】そして、ストローブ信号の立ち下がりで、
デジタルコンパレータ40により、期待値と比較され
る。このとき、DH,DZH,DZL,DLは、それぞ
れH,L,H,Hとなり、図6に示される論理表から、
期待値がHのときはパス/フェイルはフェイル(H)で
ステータスをLとして出力する。期待値がLのときはパ
ス/フェイルはフェイル(H)でステータスをLとして
出力する。期待値がZのときはパス/フェイルはフェイ
ル(H)でステータスをLとして出力する。
【0052】次にストローブ信号が再び立ち上がり、A
ND回路21は、コンパレータ11の反転出力がハイレ
ベルなので、AND回路21はハイレベルをDFF31
のセット端子に入力する(i)。これにより、DFF3
1はハイレベルをQ出力としままである。
【0053】また、コンパレータ12の反転出力はロウ
レベルなので、AND回路22はロウレベルをDFF3
2のセット端子に入力する。同時に、クロック端子にス
トローブ信号が入力され、D端子のロウレベルがQ出力
となり、ロウレベルが出力される(j)。
【0054】そして、コンパレータ11の非反転出力は
ロウレベルなので、AND回路23はロウレベルをDF
F33のセット端子に入力する。同時に、クロック端子
にストローブ信号が入力され、D端子のロウレベルがQ
出力となり、ロウレベルが出力されたままである。
【0055】さらに、コンパレータ12の非反転出力は
ハイレベルなので、AND回路24はハイレベルをDF
F34のセット端子に入力する。これにより、DFF3
4はハイレベルがQ出力として出力され、ハイレベルの
ままである。
【0056】ウィンドウ区間の途中で、DUTの出力が
変化し、ロウレベル比較電圧より上がると、コンパレー
タ12の反転出力はハイレベルを出力し、AND回路2
2はハイレベルを出力し、DFF32のセット端子に入
力する(k)。これにより、DFF32の出力はハイレ
ベルとなる(l)。同時に、コンパレータ12の非反転
出力はロウレベルとなり、AND回路24はロウレベル
を、DFF34のセット端子に入力する(m)。しか
し、ストローブ信号の立ち上がりがないので、DFF3
4のQ出力は変化しない。
【0057】さらに、DUTが変化し、ハイレベル比較
電圧より上がると、コンパレータ11の反転出力はロウ
レベルを出力し、AND回路21はロウレベルを出力
し、DFF31のセット端子に入力する(n)。しか
し、ストローブ信号の立ち上がりがないので、DFF3
1のQ出力の変化はしない。同時に、コンパレータ11
の非反転出力がハイレベルとなり、AND回路23はハ
イレベルを出力し、DFF33のセット端子に入力する
(o)。これにより、DFF33のQ出力はハイレベル
となる(p)。
【0058】そして、ストローブ信号の立ち下がりで、
デジタルコンパレータ40により、期待値と比較され
る。このとき、DH,DZH,DZL,DLは、それぞ
れH,H,H,Hとなる。図6に示される論理表から、
期待値がHのときはパス/フェイルはフェイル(H)で
ステータスをLとして出力する。期待値がLのときはパ
ス/フェイルはフェイル(H)でステータスをHとして
出力する。期待値がZのときはパス/フェイルはフェイ
ル(H)でステータスをHとして出力する。
【0059】このように、コンパレータ11,12のD
UTの出力の比較結果に基づいて、DFF31はウィン
ドウ区間でDUTの出力が常にハイレベル比較電圧より
高いかのデータを保持し、DFF32はDUTの出力が
常にロウレベル比較電圧より低いかのデータを保持し、
DFF33はDUTの出力が常にハイレベル比較電圧よ
り低いかのデータを保持し、DFF34はDUTの出力
が常にロウレベル比較電圧より高いかのデータを保持す
る。これらのデータにより、ハイインピーダンスの判定
ができる。さらに、HもしくはZ(ロウレベル以外)な
どの複雑な期待値の判定することができる。また、これ
らのデータを用いて、フェイル時の状態の判定を行うこ
とができる。これにより、不良のDUTの解析を容易に
行うことができる。
【0060】なお、本発明はこれに限定されるものでは
なく、デジタルコンパレータによりDUTの判定を行う
構成を示したが、DFF31〜34が保持するデータを
すべて記憶装置に記憶させておいて後ほど、CPU等で
判定や解析する構成でもよい。
【0061】また、デジタルコンパレータ40により、
ステータスを1ビットで出力する構成を示したが、多ビ
ットにして、さらに細かい情報を送出する構成でもよ
い。そして、記憶回路30をAND回路21〜24とD
FF31〜34とで構成された例を示したが、ハイレベ
ル比較電圧より常に高いか低いか、あるいは、ロウレベ
ル比較電圧より常に高いか低いかのデータが記憶される
構成であればよい。
【0062】さらに、デジタルコンパレータ40は、ス
トローブ信号を入力し、期待値と比較する構成を示した
が、ストローブ信号の立ち下がりで比較するのではな
く、常に比較した結果を出力する構成でもよい。この場
合、どのタイミングの判定結果を採用するかは後段の装
置が行う。
【0063】
【発明の効果】本発明によれば、以下のような効果があ
る。請求項1〜4によれば、コンパレータの被試験対象
の出力の比較結果に基づいて、記憶部あるいは第1から
第4の保持部はウィンドウ区間で被試験対象の出力が常
にハイレベル比較電圧より高いかのデータを記憶し、被
試験対象の出力が常にロウレベル比較電圧より低いかの
データを記憶し、被試験対象の出力が常にハイレベル比
較電圧より低いかのデータを記憶し、被試験対象の出力
が常にロウレベル比較電圧より高いかのデータを記憶す
る。これらのデータにより、ハイインピーダンスの判定
ができる。さらに、HもしくはZ(ロウレベル以外)な
どの複雑な期待値の判定することができる。また、これ
らのデータを用いて、フェイル時の状態の判定を行うこ
とができる。これらにより、不良の被試験対象の解析を
容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図2】図1の装置のDFF31の出力の真理値表であ
る。
【図3】図1の装置のDFF32の出力の真理値表であ
る。
【図4】図1の装置のDFF33の出力の真理値表であ
る。
【図5】図1の装置のDFF34の出力の真理値表であ
る。
【図6】デジタルコンパレータ40の論理表である。
【図7】図1の装置の動作を示したタイミングチャート
である。
【図8】図1の装置の動作を示したタイミングチャート
である。
【図9】図1の装置の動作を示したタイミングチャート
である。
【図10】従来のICテスタの要部構成図である。
【図11】図10の装置のタイミングチャートである。
【図12】図10の装置のDFF31,32の出力の真
理値表である。
【符号の説明】 11,12 コンパレータ 21〜24 AND回路 31〜34 DFF 30 記憶回路 40 デジタルコンパレータ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ウィンドウコンパレートにより被試験対
    象の試験を行うICテスタにおいて、 前記被試験対象からの出力とハイレベル比較電圧あるい
    はロウレベル比較電圧と比較する2つのコンパレータ
    と、 このコンパレータから比較結果を受け取り、ウィンドウ
    区間で前記被試験対象の出力が常にハイレベル比較電圧
    より高いか、被試験対象の出力が常にロウレベル比較電
    圧より低いか、被試験対象の出力が常にハイレベル比較
    電圧より低いか、被試験対象の出力が常にロウレベル比
    較電圧より高いかのデータを記憶する記憶回路とを有
    し、記憶回路のデータにより判定を行うことを特徴とす
    るICテスタ。
  2. 【請求項2】 記憶回路からデータを受け取り、期待値
    と比較し、パス/フェイルの判定を行うデジタルコンパ
    レータを具備することを特徴とする請求項1記載のIC
    テスタ。
  3. 【請求項3】 デジタルコンパレータは、ステータスデ
    ータを生成することを特徴とする請求項2記載のICテ
    スタ。
  4. 【請求項4】 ウィンドウコンパレートにより被試験対
    象の試験を行うICテスタにおいて、 前記被試験対象からの出力とハイレベル比較電圧あるい
    はロウレベル比較電圧と比較する2つのコンパレータ
    と、 このコンパレータから比較結果を受け取り、ウィンドウ
    区間で前記被試験対象の出力が常にハイレベル比較電圧
    より高いかのデータを保持する第1の保持部と、 前記コンパレータから比較結果を受け取り、ウィンドウ
    区間で前記被試験対象の出力が常にロウレベル比較電圧
    より低いかのデータを保持する第2の保持部と、 前記コンパレータから比較結果を受け取り、ウィンドウ
    区間で前記被試験対象の出力が常にハイレベル比較電圧
    より低いかのデータを保持する第3の保持部と、 前記コンパレータから比較結果を受け取り、ウィンドウ
    区間で前記被試験対象の出力が常にロウレベル比較電圧
    より高いかのデータを保持する第4の保持部とを有し、
    第1から第4の保持部のデータにより判定を行うことを
    特徴とするICテスタ。
JP13495797A 1997-05-26 1997-05-26 Icテスタ Expired - Lifetime JP3465257B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13495797A JP3465257B2 (ja) 1997-05-26 1997-05-26 Icテスタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13495797A JP3465257B2 (ja) 1997-05-26 1997-05-26 Icテスタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10325857A true JPH10325857A (ja) 1998-12-08
JP3465257B2 JP3465257B2 (ja) 2003-11-10

Family

ID=15140538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13495797A Expired - Lifetime JP3465257B2 (ja) 1997-05-26 1997-05-26 Icテスタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3465257B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015002405A (ja) * 2013-06-14 2015-01-05 スパンション エルエルシー ノイズ検出回路および受信回路

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015002405A (ja) * 2013-06-14 2015-01-05 スパンション エルエルシー ノイズ検出回路および受信回路

Also Published As

Publication number Publication date
JP3465257B2 (ja) 2003-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0663092B1 (en) Robust delay fault built-in self-testing method and apparatus
US7596731B1 (en) Test time reduction algorithm
US5844909A (en) Test pattern selection method for testing of integrated circuit
JP4417955B2 (ja) 集積回路のタイミング関連不良検証のためのイベント形式によるテスト方法
US5544175A (en) Method and apparatus for the capturing and characterization of high-speed digital information
US20100107026A1 (en) Semiconductor device having built-in self-test circuit and method of testing the same
US6920590B2 (en) Semiconductor apparatus for providing reliable data analysis of signals
US20050157565A1 (en) Semiconductor device for detecting memory failure and method thereof
Huang et al. Using fault model relaxation to diagnose real scan chain defects
JP2985056B2 (ja) Ic試験装置
JPH10325857A (ja) Icテスタ
JPH09264929A (ja) 論理回路のテスト方法およびそのテスト回路
JP4385523B2 (ja) 半導体装置の動作試験装置および動作試験方法
US7279996B2 (en) Method of functionality testing for a ring oscillator
JPH063413A (ja) 論理信号検査方法及び検査装置
US20050166113A1 (en) Semiconductor device-testing apparatus
US6421810B1 (en) Scalable parallel test bus and testing method
JP2588244B2 (ja) 半導体装置
JP3183585B2 (ja) ロジックic試験装置及び試験方法
JP3165131B2 (ja) 半導体集積回路のテスト方法及びテスト回路
JP2002267726A (ja) 信号のレベル判定方法およびその装置
JPH04102081A (ja) 集積回路検査装置
US20060190793A1 (en) Establishing a reference bit in a bit pattern
JP4429449B2 (ja) 半導体試験装置
JPH04344540A (ja) 検査系列生成方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070829

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080829

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080829

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090829

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100829

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100829

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110829

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120829

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120829

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130829

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20170829

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20170829

Year of fee payment: 14

S201 Request for registration of exclusive licence

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314201

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20170829

Year of fee payment: 14

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term