JPH10325969A - 2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子 - Google Patents
2次の非線形光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子Info
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- JPH10325969A JPH10325969A JP10072542A JP7254298A JPH10325969A JP H10325969 A JPH10325969 A JP H10325969A JP 10072542 A JP10072542 A JP 10072542A JP 7254298 A JP7254298 A JP 7254298A JP H10325969 A JPH10325969 A JP H10325969A
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Abstract
と、光の変調度が変化するため、組立が非常に困難であ
ったり、温度特性に問題があった。 【解決手段】無機ガラスからなる基材に対して、相異な
るx軸方向とy軸方向から加熱状態で高電圧を印加する
ことにより分極処理を行うことにより、分極処理方向に
ほぼ直交するz軸方向、即ち光透過方向に伝搬する光が
ほとんど複屈折を感じない2次の非線形光学部材101
を得る。この2次の非線形光学部材101からなる電気
光学素子を、偏光子、1/4波長板、検光子の間に配置
し、光変調素子を作製する。この結果、光軸ずれの影響
の小さな、温度特性の良好な2次の非線形光学材料やそ
れを用いた光変調素子が作製可能となる。
Description
線形光学効果を有する光透過方向にほとんど複屈折を示
さない非線形光学部材とその製造方法、および前記非線
形光学部材を電気光学素子として用いた光変調素子に関
する。
線形光学材料としてはLiNbO3(LN)やBi12S
iO20(BSO)やBi12GeO20(BGO)そしてB
i4Ge3O12などの光学結晶が知られていた。また、大
越孝敬編著「光ファイバセンサ」オーム社(1986
年)pp149−153に示されるように、これらの非
線形光学材料を用いた光変調素子が通信用光変調素子や
高電圧測定用の光ファイバセンサとして開発されてき
た。
学素子削減のためレンズやミラーを省略し、光ファイバ
からなる光路途中に磁気光学素子または電気光学素子を
組み込んだ光ファイバセンサが検討されてきた(例えば
特開平5−297086、特開平6−74979、特開
平8−219825等)。
理する事により2次の非線形光学効果が発現する事が明
らかになり、光ファイバを用いた光変調素子が作製され
るようになって来ている(例えばA.C.Liu 他:Opt. L
ett. Vol.19 pp.466-468(1994)、T. Fujiwara他:IE
EE Photonics Lett. Vol.7 PP.1177-1179(1995)、
特開平9−230293など)。
例えば大きな自然複屈折を持つLNを用いた光変調素子
(光ファイバセンサも含む)では、特開平3−4456
2号公報や大越孝敬 編著「光ファイバセンサ」 オー
ム社(1986年)pp153に示すように、約0.1
〜0.2度以下の軸ずれ角にする必要があった。これは
光の入射角がずれると以下の2つの問題が発生するため
である。
り発生する自然複屈折が電気光学効果により発生する複
屈折より大きくなり、その結果変調度が設計値から大き
く変化する。
光学定数)の温度変化のため、変調度の温度特性が非常
に大きくなる。
のない結晶を用いる方法が考えられる。自然複屈折のな
い非線形光学材料(結晶)としてはBGO、BSO、そ
してBi4G e3O12等が知られている。
光面が結 晶長に比例して回転する効果)のため結晶長
を長くできず、光の変調度を任意に設定できなかった
り、変調度を十分大きくできないという課題があった
(例えば大越孝敬 編著「光ファイバセンサ」 オーム
社(1986年)pp.152−153)。又、Bi4
Ge3O12は高温でDCドリフトが存在するため、光変
調素子として安定した温度特性を実現できないという課
題があった(例えばO.Kamada, Appl.Phys. Vol.32(199
3) pp.4288-4291)。
の電気光学素子を配置した光ファイバセンサに於いて
は、レンズが省略されており、軸ずれ角の許容範囲の小
さなLNを電気光学素子として用いた場合、大きな温度
特性が発生するという課題があった。また、液晶を用い
た場合は、応答速度が非常に遅く電圧値の急速な変化が
測定できなっかたり、低温で液晶が固体化し使用出来な
くなるなどの課題があった。
極処理して電気光学素子として用いた場合、LN結晶を
電気光学素子として用い、かつ入射光が光軸(Z軸)か
らずれた場合に生じるものと同様の課題が発生すること
を本願発明者が初めて発見した。すなわち、新たに発見
された上記課題とは、光ファイバを従来の方法で分極処
理する事により、非線形光学効果(電気光学効果)のみ
ならず、屈折率の異方性(自然複屈折)が発生するた
め、それを光ファイバセンサとして用いた場合、目的と
する光学バイアスの状態にする事が困難であるという課
題である。
屈折率変化を利用した従来の光変調器では、上記課題が
発生する余地が無かったため、上記課題自体は、まった
く認識されなかった。
ている光変調素子に於いても、電気光学効果のみしか考
慮されていないため、当然のことながら自然複屈折によ
る光学バイアスが考慮されておらず、直線性が悪い変調
素子となる。さらに上記従来例に於いては、光ファイバ
のクラッド部に電極挿入用孔が作製されており、この結
果分極処理により発生する自然複屈折以上に、光ファイ
バ断面構造の異方性に起因する非常に大きな自然複屈折
が発生する。この結果、この光ファイバはいわゆる偏波
面保存ファイバと同様の機能を有し、誘電主軸(2対の
孔を結んだ直線およびそれに垂直な方向)以外に入射し
た光の偏光状態は非常に不安定となり、温度や外圧が加
わると著しく変化する光ファイバとなる。この結果特に
上記光ファイバを電気光学素子として用い誘電主軸とは
異なる方向に偏光方向をもつ光を入射した場合、例えば
温度が数℃変化しただけでも変調度が大きく変化し、著
しく温度特性の悪い、また歪み率の大きな電気光学素子
になるという課題があった。
来に比べて自然複屈折の発生を抑制出来る2次の非線形
光学部材、及びその製造方法、並びに光変調素子を提供
することを目的とする。
に、請求項1記載の本発明は、無機ガラス材料を含む基
材を分極処理して作製された2次の非線形光学部材であ
って、前記分極処理は、相異なる第1の方向と第2の方
向から行われたものであり、前記第1及び前記第2の方
向に実質上直交する第3の方向に伝搬する光に対して、
自然複屈折の発生が抑制されること、又はその発生が実
質上ない2次の非線形光学部材である。
方向と前記第2の方向が互いに90度±10度の範囲で
実質上直交している請求項1記載の2次の非線形光学部
材である。
方向が前記第1の方向および前記第2の方向とそれぞれ
互いに90度±10度の範囲で実質上直交している請求
項1記載の2次の非線形光学部材である。
材料を含む基材に対して、互いに異なる第1の方向及び
第2の方向から所定の電界を印加して分極処理を施す2
次の非線形光学部材の製造方法であって、前記分極処理
は、前記第1および前記第2の方向に実質上垂直な第3
の方向に伝搬する光に対して、自然複屈折の発生を抑制
又はその発生を実質上なくす様に行う2次の非線形光学
部材の製造方法である。
理は、前記基材を通過した光の偏光状態を観測しながら
行う請求項4記載の2次の非線形光学部材の製造方法で
ある。
2次の非線形光学部材と、前記2次の非線形光学部材に
電界を印加するための電極とを含む電気光学素子を備え
た光変調素子であって、前記2次の非線形光学部材が請
求項1記載の2次の非線形光学部材である光変調素子で
ある。
偏光子と、検光子と、電気光学素子とを備えた光変調素
子であって、前記電気光学素子が請求項1記載の2次の
非線形光学部材を含むものである光変調素子である。
ミラーと、電気光学素子とを備えた光変調素子であっ
て、前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光
学部材を含むものである光変調素子である。
学素子は、光透過方向に対して実質上直交する相異なる
2方向から同時に変調電圧が印加されるものである請求
項8記載の光変調素子である。
バと、前記光ファイバを固定するための光ファイバ固定
用溝を有する基板と、前記光ファイバの所定の箇所に設
けられた光学素子挿入用溝に取り付けられた偏光子と、
前記光学素子挿入用溝に取り付けられた検光子と、前記
光学素子挿入用溝に取り付けられた電気光学素子とを備
えた光変調素子であって、前記電気光学素子が請求項1
記載の2次の非線形光学部材からなる光変調素子であ
る。
ァイバが所定の形状に曲げられている請求項10記載の
光変調素子である。
の形状が底面がフラット形状のU字型光ファイバである
請求項11記載の光変調素子である。
て、図面を参照しながら説明する。
の製造方法の一実施の形態について、従来の2次の非線
形光学材料の作製における分極処理方法と対比しながら
説明する。
2次の非線形光学材料は、1方向のみ分極処理されてい
るため、分極処理をすればするほど(大きな2次の非線
形光学特性、即ち大きな電気光学定数を得るほど)大き
な自然複屈折を示す。
て、従来の方法により分極処理を行うと、自然複屈折が
大きくなる理由を、本実施の形態の説明と合わせて述べ
る。
からなる電気光学素子101とx,y,z軸を示す図で
ある。
のとして表されているが、必ずしも直交する必要はな
い。ただし、x軸,y軸を互いに90度±10度の範囲
で直交させた場合、y軸方向の分極処理がx軸方向の分
極処理の結果に影響を与えにくいという特徴があり、分
極処理を容易にコントロールする事ができる。また、z
軸は、このx軸及びy軸に、90度±10度の範囲でほ
ぼ直交している。
に昇温し、次に、x軸方向に1×104〜1×106cm
/V程度の電界を印加し分極処理を行う。このとき、x
軸方向に分極処理するとx軸方向の電子分極が大きくな
り、x軸方向に偏光した光(x軸方向に光電界が振動す
る光)が感じる屈折率nxは増加する(図1(b)参
照)。図1(b)は、本実施の形態の分極処理による屈
折率変化を説明する図である。
屈折率ny、nzは低下する(図1(b)参照)。
処理を行った場合、z軸方向に伝搬する光は必ず自然複
屈折を示すことになる。即ち、この段階で分極処理を終
了するとすると、従来のLN等を用いた場合と同じよう
に、温度特性や変調度の設計値からの大きなずれの原因
となる。
先ほどのx軸方向と同じ要領で電界を印加することによ
り、更に分極処理を行う点が、従来の方法と大きく異な
るところである。
y軸方向の偏光を持つ光が感じる屈折率nyが大きくな
る。ここで、分極処理時間や分極電圧を適当に選ぶこと
により、nx≒nyとする事が可能となる。
y偏光またはx軸とy軸の間に偏光方向を持つ光)に対
しては、自然複屈折を非常に小さく、又はゼロにする事
が可能となる。
により、z軸方向の屈折率が小さくなる。しかし、等方
的なガラスを分極処理した場合の複屈折量(屈折率の最
大値と最小値の差)は、通常0.001程度以下であ
る。
る。0.09/0.001=90となることから、LN
の複屈折量は、本発明による非線形光学材料の複屈折量
より約2桁大きいと言える。従って、非線形光学材料に
入射する光の角度精度もLNの場合に比べて約2桁近く
大きくなり、そのため、軸ずれ角を±10度程度以内と
する事が可能となる。この結果、光変調素子の作製がき
わめて容易になる。
分極処理は、時間的に別々に行った場合について述べた
が、これに限らず例えば、同時に行っても同様の効果が
得られる。
用いて本発明を説明する。
して加温中に高電圧を印加し分極処理を行う方法を示す
が、紫外線を照射しながら室温で高電界を印加する方
法、コロナポーリングによる方法、あるいは高真空中で
高電圧を印加する方法などいずれの分極方法を用いても
本質的に同様の機能を得ることができる。
(a)〜(f)、及び図3を用いて説明する。
向(x軸と定義する)の分極処理として以下の操作を行
った。ガラス材料としてGeO2 を5〜20%含む光学
研磨された厚み0.5mmの薄板状のガラス基材201
を用意した。
にアルミ電極202を蒸着した。このガラス基材201
を乾燥窒素置換した電気炉に入れ250℃に保持した。
この状態で5kVの電圧を印加し約100分保持し分極
処理を行った(図2(a)参照)。
をケミカルエッチングで完全にとり除いた後、このガラ
ス基材201を回転式ブレードソーを用いて0.6mm
巾に切断して、複数個の短冊形状の部材203を得た
(図2(b))。
処理として以下の操作を行った。
を図2(c)のように、x軸及びy軸にほぼ垂直なz軸
を中心に右回りに90度±10度の範囲で回転させる。
そして、図2(c)に示す様に、y軸がほぼ上向きにな
るように各短冊形状の部材203を並べて、一枚のガラ
ス板状となるように接着する。
り、表と裏の両面)を合計0.1mmだけ光学研磨し、
y軸方向の厚みを0.5mmとした。
ルミ電極202を蒸着し、リード線204をつけた。そ
して、電気炉に入れて乾燥窒素雰囲気で250℃に保持
し、両端に5kVの電圧を印加し30分放置し、y軸方
向に分極処理を行った(図2(d)参照)。
どした。第1(x軸)と第2(y軸)の分極方向に垂直
方向(z軸)に直線偏光を透過させ、光の楕円率を測定
した。このとき、入射光の偏光面はx軸から45度の角
度とした。透過してきた光が楕円偏光の場合は、さらに
前記と同様の分極処理を行い、楕円偏光がほぼ直線偏光
になるまで前記の分極操作を繰り返した。分極処理の大
きさにも依存するが、x軸およびy軸の垂直度は90度
±10度、z軸とx軸またはz軸とy軸との垂直度は9
0度±10度の範囲でほ自然複屈折のほとんどない試料
を得る事ができた。
長さに切り出しz軸(光の透過方向)の両面205を光
学研磨し、電気光学素子206を得た(図2(f))。
また、電極の端からの沿面放電が発生する場合、結晶エ
ッジの部分の電極をとり除いて電気光学素子206を作
製した。
206を用いて光変調素子35を作製した実施例を図3
を用いて説明する。
を用いた。この光をコリメートレンズ32を透過させ、
平行光を得た。次に、偏光ビームスプリッタからなる偏
光子33、水晶を用いた1/4波長板34、電気光学素
子35、検光子36を図3のように配置した。さらに、
検光子を透過した光は集光レンズ36で集光し、受光素
子(フォトダイオード)で電気信号に変換され、信号処
理を行った。電気光学素子35の電極間に1000Vの
交流を印加した時、変調度1%の交流波形信号を得た。
向及び第2の分極方向に垂直な入射角から±1度入射角
を変化させた場合、変調度の変化率(垂直入射の場合の
変調度を100と規格化)は±3%以下、また±10度
入射角を変化させた時の変調度の変化は±10%以内で
あった。
度を−20℃〜+80℃まで温度変化させ変調度の温度
変化を測定した結果、変調度の変化(室温での変調度を
100と規格化)は±2%以下と良好な結果を示した。
さらに、70℃以上の高温でも、Bi4Ge3O12の場合
のような光量のDCドリフトは観測されず、安定した変
調信号を得る事ができた。
用いている。これは入射直線偏光を円偏光にし光学バイ
アスをかけることによりアナログ(強度)変調信号を直
線性よく取り出す為に設置したものである。デジタル変
調のように、光のON−OFF変調を行う場合、省略す
る事も可能である。
図4を用いて説明する。
子(光の位相変調素子)として用い、干渉計を構成し
た。ここでは電気光学素子45(この場合電気光学素子
45が光の光変調素子として機能する)としてy軸方向
に電極を形成した電気光学素子を用いた。入射光として
は可干渉性のよいHe−Neレーザ光を用い、干渉計に
入射する光の偏光をx軸方向とした。x軸方向に150
0Vの電圧を印加する事により電気光学素子45で入射
光の位相が変調され、位相変調しない光とハーフミラー
41で合成され受光素子48で変調信号を得る事ができ
た。次にx軸及びy軸方向に電極を形成した電気光学素
子を用い、電圧をx軸及びy軸から同時に印加した。こ
の時、偏光子46により入射光の偏光方向を回転させて
も、変調度の大きな差をなくす事が出来た。さらに偏光
子46を取り除いた場合にも受光素子48で変調信号を
観測する事ができた。
することが出来た。
いる1方向(x軸とする)のみに分極処理した非線形光
学材料を電気光学素子として用い、上記実施例2と同様
にx軸、y軸2方向に電極を形成し、以下のような実験
を行った。
させると、受光素子48で観測される変調信号は入射光
の偏光面の回転とともに大きく変化した。
形光学材料からなる電気光学素子を用いた場合、分極処
理による自然複屈折のため、偏光面を回転すると透過光
の位相が変化し電圧を印加しなくとも受光素子48で観
測される光強度が変化するためである。また、y軸方向
にはほとんど2次の非線形光学特性を示さないためであ
る。
がy軸方向の場合、電圧印加による光の変調信号はほと
んど観測されなっかた。
望の大きさの変調度が得られず、変調素子として使用す
ることが出来なかった。
図5を用いて説明する。ここでは、基板上に偏光子、電
気光学素子、検光子、光ファイバ等をハイブリッドに集
積化した光変調素子の実施の形態を示す。
ックス、樹脂など、絶縁性の材料であればいずれの材料
でもよいが、とくに絶縁性が高く加工性の優れたガラス
エポキシ基板を用いた。
いて光ファイバ固定用溝58を作製する。
除去し、光ファイバ素線部52が見える状態とし、この
光ファイバを基板59の光ファイバ固定用溝58に接着
固定した。
光学素子を挿入するための光学素子挿入用溝57を形成
した。この溝57に偏光子と1/4波長板(水晶製)を
張り合わせた素子53、電気光学素子55、そして検光
子56を図5のように接着固定した。尚、素子53は、
入射光側に偏光子ががくるように配置されている。ま
た、電圧印加のためのリード線を電気光学素子の電極に
直接銀ペーストで接続した。また、基板59の裏側のリ
ード線は、基板に孔を形成し、電気光学素子55に直接
リード線を接続した。また、電気光学素子55は実施例
1と同様の方法で作製したものであり、また光の透過方
向の厚みは1.5mmのものを用いた。
加した結果、変調度0.7%の交流変調信号を得た。
ろ、室温での変調度を100とすると、−20〜80℃
の温度範囲で、±3.5%の良好な結果を示した。さら
に、70℃以上の高温においても、Bi4Ge3O12結晶
を用いた場合問題となるDCドリフトが観測されず安定
した温度特性を実現を実現可能であった。なお、この光
変調素子は、光の入射方向と出射方向が同一直線上にあ
り、途中光ファイバの曲がりがなく低損失化が可能なた
め、特に光通信用光変調素子として有効である。 (実施例4)次に、本発明による第4の実施例を図6
(a)〜図7(b)を用いて説明する。
検光子、光ファイバ等をハイブリッドに集積化した光変
調素子の実施例を示す。
9の上に、回転式ブレードソーを用いて光ファイバ固定
用溝を作製する。基板69の材料としては、絶縁性の高
く加工性の優れたガラスエポキシ基板を用いた。
し、光ファイバ素線部が見える状態とし、この光ファイ
バ素線部に加熱処理にを行い、底面がフラットなU字型
光ファイバ(屈曲光ファイバ)601を作製した。この
方法は特開平8―219825に開示されている内容と
同様の方法を用いた。
68に接着固定した(図6(b))。
光学素子を挿入するための光学素子挿入用溝67を形成
した(図7(a))。この溝67に偏光子と1/4波長
板(水晶製)を張り合わせた素子63、電気光学素子6
5、そして検光子66を図7(b)のように接着固定し
た。尚、ここでは、図面の記載が複雑になるのを避ける
ために、電圧印加のためのリード線の図面への記載は省
略してある。
同様の方法で作製したものであり、また光の透過方向の
厚みは1mmのものを用いた。この電気光学素子に10
00Vの電圧を印加した結果、変調度0.4%の交流変
調信号を得た。この光変調素子は、入射光及び出射光が
平行であり、直線状に長くならず、コンパクトに出来る
ことから、光ファイバ(電界または電圧)センサとし
て、特に有効利用できる。 この光変調素子の温度特性
を測定したところ、室温での変調度を100とすると、
±3%の良好な結果を示した。
の光損失を押さえる対策は特に施していないが、光損失
を極力小さくしたい場合など、光ファイバ屈曲部に光の
反射構造を、金属の蒸着や、金属ペーストの塗布などの
方法により形成してもよい。
例によれば以下の効果が発揮される。
非常に小さな、2次の非線形光学材量を、ガラスに分極
処理をするだけで容易に作製する事ができる。
巾が大きなかつ温度特性の良好な光変調素子や、光変調
素子の一種である光ファイバ電圧(電界)センサを作製
する事ができる。
ほとんど無い光変調素子(光の位相変調素子)を実現で
きる。
3O12)などで問題となるDCドリフトの問題がない光
変調素子を実現できる。
発明の工業的価値は高い。
発明は、自然複屈折の発生を抑制出来るという長所を有
する。
極処理による屈折率変化を説明する図
作製方法を示す図
を示す図
調素子の構成を示す図
ァイバ光路途中に作製した構成図
光変調素子をファイバ光路途中に作製した作製プロセス
及び構成を示す図
光変調素子をファイバ光路途中に作製した作製プロセス
及び構成を示す図
合わせた素子 43 全反射ミラー 41 ハーフミラー 57,67 光学素子挿入用溝 58,68 光ファイバ固定用溝 59,69 基板
に昇温し、次に、x軸方向に1×104〜1×10 6V/
cm程度の電界を印加し分極処理を行う。このとき、x
軸方向に分極処理するとx軸方向の電子分極が大きくな
り、x軸方向に偏光した光(x軸方向に光電界が振動す
る光)が感じる屈折率nxは増加する(図1(b)参
照)。図1(b)は、本実施の形態の分極処理による屈
折率変化を説明する図である。
Claims (12)
- 【請求項1】 無機ガラス材料を含む基材を分極処理し
て作製された2次の非線形光学部材であって、 前記分極処理は、相異なる第1の方向と第2の方向から
行われたものであり、前記第1及び前記第2の方向に実
質上直交する第3の方向に伝搬する光に対して、自然複
屈折の発生が抑制されること、又はその発生が実質上な
いことを特徴とする2次の非線形光学部材。 - 【請求項2】 前記第1の方向と前記第2の方向が互い
に90度±10度の範囲で実質上直交している事を特徴
とする請求項1記載の2次の非線形光学部材。 - 【請求項3】 前記第3の方向が前記第1の方向および
前記第2の方向とそれぞれ互いに90度±10度の範囲
で実質上直交している事を特徴とする請求項1記載の2
次の非線形光学部材。 - 【請求項4】 無機ガラス材料を含む基材に対して、互
いに異なる第1の方向及び第2の方向から所定の電界を
印加して分極処理を施す2次の非線形光学部材の製造方
法であって、 前記分極処理は、前記第1および前記第2の方向に実質
上垂直な第3の方向に伝搬する光に対して、自然複屈折
の発生を抑制又はその発生を実質上なくす様に行う事を
特徴とする2次の非線形光学部材の製造方法。 - 【請求項5】 前記分極処理は、前記基材を通過した光
の偏光状態を観測しながら行う事を特徴とする請求項4
記載の2次の非線形光学部材の製造方法。 - 【請求項6】 少なくとも2次の非線形光学部材と、前
記2次の非線形光学部材に電界を印加するための電極と
を含む電気光学素子を備えた光変調素子であって、 前記2次の非線形光学部材が請求項1記載の2次の非線
形光学部材である事を特徴とする光変調素子。 - 【請求項7】 少なくとも偏光子と、検光子と、電気光
学素子とを備えた光変調素子であって、 前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部
材を含むものである事を特徴とする光変調素子。 - 【請求項8】 少なくともミラーと、電気光学素子とを
備えた光変調素子であって、 前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部
材を含むものである事を特徴とする光変調素子。 - 【請求項9】 前記電気光学素子は、光透過方向に対し
て実質上直交する相異なる2方向から同時に変調電圧が
印加されるものである事を特徴とする請求項8記載の光
変調素子。 - 【請求項10】 光ファイバと、 前記光ファイバを固定するための光ファイバ固定用溝を
有する基板と、 前記光ファイバの所定の箇所に設けられた光学素子挿入
用溝に取り付けられた偏光子と、 前記光学素子挿入用溝に取り付けられた検光子と、 前記光学素子挿入用溝に取り付けられた電気光学素子と
を備えた光変調素子であって、 前記電気光学素子が請求項1記載の2次の非線形光学部
材からなる事を特徴とする光変調素子。 - 【請求項11】 前記光ファイバが所定の形状に曲げら
れている事を特徴とする請求項10記載の光変調素子。 - 【請求項12】 前記所定の形状が底面がフラット形状
のU字型光ファイバである事を特徴とする請求項11記
載の光変調素子。
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