JPH10331624A - 有害ガス排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 除害筒が破過しても排気機能を停止する必要
のない有害ガス排気装置を提供する。 【解決手段】 有害ガス排気装置１は、排気ポンプ１１
が設けられた排気管１３と、排気管１３に設けられた第
１の除害筒１５と、第１の除害筒１５に対して並列をな
す状態で切り替え弁２３，２５を介して排気管１３に接
続された予備排気管２７と、予備排気管２７に設けられ
た第２の除害筒とを有することを特徴としている。切り
替え弁２３，２５を操作することで、第１の除害筒１５
が設けられた排気管１３部分を閉鎖して、第２の除害筒
２９が設けられた予備排気管２７を開通させることで、
第２の除害筒２９でガスの無害化を行いながら、第１の
除害筒１５の再生が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有害ガスが排出さ
れる各種の処理装置に設けられる有害ガス排気装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】図３は、半導体装置の製造工程で用いら
れる成膜装置やエッチング装置等の有害ガスが排出され
る各種の処理装置９に設けられる有害ガス排気装置８の
構成図である。この図に示すように、有害ガス排気装置
８は、排気ポンプ１１が設けられた排気管１３と、この
排気管１３に設けられた除害筒１５とで構成されてい
る。除害筒１５は、例えば、処理装置９から排出される
ガス中の有害物質を除去するための吸着剤のような除害
剤が充填された筒状体からなるものである。また、排気
管１３における除害筒１５の両側には開閉弁１７，１９
が設けられ、排気管１３における除害筒１５の下流側に
は、除害筒１５において除害剤に対する有害物質の吸着
が飽和状態になった（すなわち、除害剤が破過した）こ
とを検知する、破過センサ２１が設けられている。

【０００３】上記有害ガス排気装置８によれば、処理装
置９内で発生したガスが、排気ポンプ１１の作動によっ
て排気管１３内に送り込まれ、除害筒１５を通過した後
に排気管１３から排気される。このため、排気管１３か
らは、除害筒１５内を通過することによって無害化され
たガスが排気される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記有害ガ
ス排気装置では、排気管に除害筒が１つしか設けられて
いないことから、除害筒内の除害剤が破過したり除害筒
内で何らかのトラブルが発生した場合には、この除害筒
内において処理装置から排出されるガスを無害化するこ
とができなくなる。このため、処理装置の稼働を速やか
に停止してガスの発生を抑え、開閉弁を閉じて上記除害
筒の交換作業やその他の再生作業を行う必要がある。こ
れは、この有害ガス排気装置を備えた処理装置の稼働率
を低下させる要因になっている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、排気管と、当該排気管に設けられた除害筒
とを備えた有害ガス排気装置であり、特に請求項１記載
の有害ガス排気装置では、排気管に設けられた第１の除
害筒と、この第１の除害筒に対して並列をなす状態で切
り替え弁を介して前記排気管に接続された予備排気管
と、予備排気管に設けられた第２の除害筒とを有するこ
とを特徴としている。

【０００６】上記請求項１記載の有害ガス排気装置で
は、上記第１の除害筒が設けられた排気管部分と第２の
排気筒が設けられた予備排気管とが、切り替え弁で分岐
されている。このため、切り替え弁によって第１の除害
筒が設けられた排気管部分のみが開通状態になるかまた
は第２の除害筒が設けられた予備排気管のみが開通状態
になり、第１の除害筒または第２の除害筒の何方か一方
で排気管内に供給されたガスが無害化される。したがっ
て、排気管内へのガスの供給及びガスの無害化を続けた
ままで、第１の除害筒または第２の除害筒の何方か一方
へのガスの供給が停止され、各除害筒の再生が行われ
る。

【０００７】また、請求項２記載の有害ガス排気装置で
は、排気管と、この排気管に設けられた第１の除害筒
と、この下流側における上記排気管に設けられた第２の
除害筒とを備えている。そして、排気管には、第１の除
害筒のみに対して並列をなす状態で切り替え弁を介して
第１の予備排気管が接続され、第２の除害筒に対して並
列をなす状態で切り替え弁を介して第２の予備排気管が
接続されている。

【０００８】上記請求項２記載の有害ガス排気装置で
は、各切り替え弁によって、第１の除害筒が設けられた
排気管部分と第２の予備排気管とが開通状態になり、第
２の除害筒が設けられた排気管部分が閉鎖され、また
は、第１の除害筒が設けられた排気管部分が閉鎖され、
第１の予備排気管と第２の除害筒が設けられた排気管部
分とが開通状態になる。したがって、上記請求項１記載
の有害ガス排気装置と同様に、排気管内へのガスの供給
及びガスの無害化を続けたままで、第１の除害筒または
第２の除害筒の何方か一方へのガスの供給が停止され、
各除害筒の再生が行われる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明を適用した有害ガ
ス排気装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
尚、図３を用いて説明した従来の有害ガス排気装置と同
一の構成要素には同一の符号を付して説明を行う。ま
た、各実施形態で同一の構成要素には同一の符号を付
し、重複する説明は省略する。

【００１０】（第１実施形態）図１は、第１実施形態の
有害ガス排気装置の構成図である。この図に示す有害ガ
ス排気装置１は、例えば半導体装置の製造工程で用いら
れる成膜装置やエッチング装置等の有害ガスが排出され
る各種の処理装置９に設けられるものである。すなわ
ち、有害ガス排気装置１は、排気ポンプ１１が設けられ
た排気管１３と、この排気管１３に設けられた除害筒
（以下、第１の除害筒と記す）１５の他に、さらに切り
替え弁２３，２５を介して排気管１３に接続された予備
排気管２７と、予備の除害筒（以下、第２の除害筒と記
す）２９とで構成されている。

【００１１】上記排気管１１は、処理装置９の排気口部
分に一端を接続されたものであり、当該排気管１１途中
に排気ポンプ１３を直列に接続させてなるものである。
また、第１の除害筒１５は、例えば排気ポンプ１３の下
流側における排気管１１途中に、当該排気管１１に対し
て直列に接続させた状態で設けられている。この第１の
除害筒１５は、処理装置９から排出されるガスを無害化
するためのものであり、当該ガス中の有害物質を除去す
るための吸着剤や吸収剤（吸収液）のような除害剤が内
部に充填された筒状体であっても、有害な組成のガスを
分解する手段であっても良い。

【００１２】そして、上記切り替え弁２３，２５を介し
て排気管１３に接続された予備排気管２７は、第１の除
害筒１５が設けられた排気管１３部分に対して並列に、
すなわち第１の除害筒１５が設けられた排気管１３部分
のバイパスになるように、両端を排気管１３に接続させ
た状態で設けられている。また、上記切り替え弁２３，
２５は、排気管１３を開通させるか、排気管１３の一部
分（第１の除害筒１５が設けられた部分）を閉鎖して排
気ポンプ１１と予備排気管２７との間を開通させる２ポ
ート弁からなるものとする。尚、上記切り替え弁２３，
２５は、排気管１３と予備排気管２７との各接続部分か
ら第１の除害筒１５及び第２の除害筒２９までの間にそ
れぞれ配置される４つの開閉弁からなる構成にしても良
い。

【００１３】また、第２の除害筒２９は、上記予備排気
管２７途中に当該予備排気管２７に対して直列に接続さ
せた状態で設けられている。この第２の除害筒２９は、
第１の除害筒１５と同様にしてガスを無害化するものと
し、第１の除害筒１５と同程度のガス処理能力を有する
ものや、第１の除害筒１５よりもガス処理能力が小さい
ものでも良い。

【００１４】そして、予備排気管２７の接続部よりも下
流における排気管１３部分には、第１の除害筒１５また
は第２の除害筒２９の破過を検知する破過センサ２１を
設けた。ここで、上記切り替え弁２３，２５を電磁弁と
し、破過センサ２１で第１の除害筒１５または第２の除
害筒２９の破過が検知された場合に、切り替え弁２３，
２５による排気管１３と予備排気管２７との接続状態の
切り替えが自動的に行われるような構成にしても良い。

【００１５】上記のように構成された有害ガス排気装置
１では、上記第１の除害筒１５が設けられた排気管１３
部分と第２の排気筒２９が設けられた予備排気管２７と
が、切り替え弁２３，２５で分岐されている。このた
め、切り替え弁２３，２５によって、第２の除害筒２９
が設けられた予備排気管２７を閉鎖して第１の除害筒１
５が設けられた排気管部１５を開通状態にするか、また
は第１の除害筒１５が設けられた排気管１３部分を閉鎖
して第２の除害筒２９が設けられた予備排気管２７を開
通状態にすることができる。

【００１６】このため、第１の除害筒１５または第２の
除害筒２９の何方か一方にのみ処理装置９からのガスを
供給して、処理装置９から排気管１３内に供給されたガ
スを無害化することができる。したがって、処理装置９
から排気管１３内へのガスの供給及び当該ガスの無害化
を続けたままで、第１の除害筒１５または第２の除害筒
２９の何方か一方へのガスの供給を停止して、各除害筒
１５，２９の再生を行うことができる。

【００１７】この際、先ず例えば、切り替え弁２３，２
５を操作して予備排気管２７を閉鎖し上記排気管１３部
分を開通状態にして処理装置９を稼働させる。これによ
って、この排気管１３に設けられた第１の除害筒１５に
処理装置９からのガスが供給され、この第１の除害筒１
５で無害化されたガスが排気管１３から排気される。

【００１８】そして、上記処理を連続して行う過程にお
いて、第１の除害筒１５の破過が破過センサ２１で検知
された場合に、切り替え弁２３，２５を操作して第１の
除害筒１５が設けられた排気管１３部分を閉鎖して予備
排気管２７を開通状態にする。そして、処理装置９から
のガスを、予備排気管２７に供給して第２の除害筒２９
で無害化させ、排気管１３から排気させる。この間、第
１の除害筒１５が設けられた排気管１３部分が閉鎖され
いることから、破過した第１の除害筒１５を再生（場合
によっては交換）することができる。

【００１９】そして、破過センサ２１で第２の除害筒２
９の破過が検知された場合には、切り替え弁２３，２５
を操作して予備排気管２７を閉鎖し、第１の除害筒１５
が設けられた排気管１３部分を開通状態にする。これに
よって、処理装置９の稼働を停止することなく、第１の
除害筒１５で処理装置９からのガスを無害化すると共に
破過した第２の除害筒２９を交換することができる。

【００２０】（第２実施形態）図２は、第２実施形態の
有害ガス排気装置の構成図である。この図に示す有害ガ
ス排気装置２は、処理装置９に設けられるものであり、
上記第１実施形態と同様の排気管１３と第１の除害筒１
５と切り替え弁２３，２５を介して排気管１３に接続さ
れた予備排気管（以下、第１の予備排気管と記す）２７
とを有し、さらに予備の除害筒（以下、第２の除害筒と
記す）３１と、切り替え弁３３，３５を介して排気管１
３に接続された第２の予備排気管３７とを備えている。
ただし、第１の予備排気管２７は、第１の除害筒１５を
設けた排気管１３部分のみに対して並列をなす状態で、
排気管１３に接続されている。

【００２１】そして、上記第２の除害筒３１は、上記第
１の除害筒１５の下流側における排気管１３途中に当該
排気管１３に対して直列に接続させた状態で設けられて
いる。この第２の除害筒３１は、第１の除害筒１５と同
様にしてガスを無害化するものとし、第１の除害筒１５
と同程度のガス処理能力を有するものや、第１の除害筒
１５よりもガス処理能力が小さいものでも良い。

【００２２】そして、上記切り替え弁３３，３５を介し
て排気管１３に接続された第２の予備排気管３７は、第
２の除害筒３１が設けられた排気管１３部分のみに対し
て並列をなす状態で、すなわち排気管１３における第２
の除害筒３１の接続部分のバイパスになるように、両端
を排気管１３に接続させた状態で設けられている。そし
て、上記切り替え弁３３，３５は、第２の除害筒３１が
設けられた排気管１３部分を開通させるか、第２の予備
排気管３７を開通させる２ポート弁からなるものであ
る。尚、上記切り替え弁２３，２５，３３，３５は、排
気管１３と第１の予備排気管２７及び第２の予備排気管
３７との各接続部分から第１の除害筒１５及び第２の除
害筒２９までの間にそれぞれ配置される４つの開閉弁
と、第１の予備排気管２７及び第２の予備排気管３７に
配置される２つの開閉弁とからなる構成にしても良い。

【００２３】そして、第２の予備排気管３７の接続部よ
りも下流における排気管１３部分には、第１の除害筒１
５または第２の除害筒３１の破過を検知する破過センサ
２１を設けた。ここで、上記切り替え弁２３，２５，３
３，３５を電磁弁とし、破過センサ２１で第１の除害筒
１５または第２の除害筒３１の破過が検知された場合
に、切り替え弁２３，２５，３３，３５による排気管１
３と第１の予備排気管２７及び第２の予備排気管３７と
の接続状態の切り替えが自動的に行われるような構成に
しても良い。

【００２４】上記のように構成された有害ガス排気装置
２では、上記第１の除害筒１５が設けられた排気管１３
部分と第１の予備排気管２７とが切り替え弁２３，２５
で分岐され、第２の排気筒３１が設けられた排気管１３
部と第２の予備排気管３７とが切り替え弁３３，３５で
分岐されている。このため、れらの切り替え弁２３，２
５，３３，３５によって、第１の予備排気管２７と第２
の除害筒３１が設けられた排気管１３部分とを閉鎖して
第１の除害筒１５が設けられた排気管１３部分と第２の
予備排気管３７とを開通状態にするか、または第１の除
害筒１５が設けられた排気管１３部分と第２の予備排気
管３７とを閉鎖して第１の予備排気管２７と第２の除害
筒３１が設けられた排気管１３部分とを開通状態にする
ことができる。

【００２５】このため、第１の除害筒１５または第２の
除害筒３１の何方か一方で、処理装置９から排気管１３
内に供給されたガスを無害化させて当該排気管１３から
排出することができる。そして、排気管１３内へのガス
の供給及びガスの無害化を続けたままで、第１の除害筒
１５または第２の除害筒３１の何方か一方へのガスの供
給を停止し、各除害筒１５，３１の再生を行うことがで
きる。

【００２６】この際、先ず例えば、切り替え弁２３，２
５，３３，３５を操作して、第１の予備排気管２７と第
２の除害筒３１が設けられた排気管１３部分とを閉鎖
し、かつ第１の除害筒１５が設けられた排気管１３部分
と第２の予備排気管３７とを開通状態にして処理装置９
を稼働させる。これによって、第１の除害筒１５にのみ
処理装置９からのガスが供給され、この第１の除害筒１
５で無害化されたガスが排気管１３から排気される。

【００２７】そして、上記処理を連続して行う過程にお
いて、第１の除害筒１５の破過が破過センサ２１で検知
された場合には、切り替え弁２３，２５，３３，３５を
操作して第１の除害筒１５が設けられた排気管１３部分
と第２の予備排気管３７とを閉鎖し、第１の予備排気管
２７と第２の除害筒３１が設けられた排気管１３部分と
を開通状態にする。そして、処理装置９からのガスを、
第２の除害筒３１で無害化して排気管１３から排気させ
る。この間、第１の除害筒１５が設けられた排気管１３
部分が閉鎖されいることから、破過した第１の除害筒１
５を再生（場合によっては交換）することができる。

【００２８】そして、破過センサ２１で第２の除害筒３
１の破過が検知された場合には、切り替え弁２３，２
５，３３，３５を操作して第２の除害筒３１を設けた排
気管３１部分を閉鎖し、第１の除害筒１５が設けられた
排気管１３部分を開通状態にすることで、処理装置９の
稼働を停止することなく破過した第２の除害筒３１を交
換することができる。

【００２９】尚、上記第１実施形態及び第２実施形態に
おいて、切り替え弁を電磁弁で構成して破過センサ２１
と連動させた場合には、切り替え弁の操作は自動的に行
われる。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
または請求項２記載の有害ガス排気装置によれば、一方
の除害筒にガスが供給されて他方の除害筒が閉鎖される
ように排気管に予備排気管と２つの除害筒を設けたこと
で、一方の除害筒が破過したりトラブルを発生させたり
しても、ガスの無害化を行いながら上記除害筒を再生さ
せることが可能になる。したがって、有害ガス排気装置
のメンテナンスを行いながら、この有害ガス排気装置及
びこの装置を備えた処理装置の稼働を続け、稼働率を向
上させることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の有害ガス排気装置の構成図であ
る。

【図２】第２実施形態の有害ガス排気装置の構成図であ
る。

【図３】従来の有害ガス排気装置の構成図である。

【符号の説明】

１，２…有害ガス排気装置、１３…排気管、１５…第１
の除害筒、２３，２５，３３，３５…切り替え弁、２７
…予備排気管，第１の予備排気管、２９，３１…第２の
除害筒、３７…第２の予備排気管

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 排気管と、 前記排気管に設けられた第１の除害筒と、 前記第１の除害筒に対して並列をなす状態で、切り替え
   弁を介して前記排気管に接続された予備排気管と、 前記予備排気管に設けられた第２の除害筒とを有するこ
   とを特徴とする有害ガス排気装置。
2. 【請求項２】 排気管と、 前記排気管に設けられた第１の除害筒と、 前記第１の除害筒の下流側における前記排気管に設けら
   れた第２の除害筒と、 前記第１の除害筒のみに対して並列をなす状態で、切り
   替え弁を介して前記排気管に接続された第１の予備排気
   管と、 前記第２の除害筒に対して並列をなす状態で、切り替え
   弁を介して前記排気管に接続された第２の予備排気管
   と、 を有することを特徴とする有害ガス排気装置。