JPH10334843A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- JPH10334843A JPH10334843A JP9138255A JP13825597A JPH10334843A JP H10334843 A JPH10334843 A JP H10334843A JP 9138255 A JP9138255 A JP 9138255A JP 13825597 A JP13825597 A JP 13825597A JP H10334843 A JPH10334843 A JP H10334843A
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- scanning
- signal
- electron beam
- sample
- coil
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子ビームの走査速度を変化させても像の位
置ずれが生じない走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 走査信号発生部１５からの走査速度に応
じた信号が補正データメモリー１７に供給され、補正デ
ータメモリー１７からは走査速度に応じた補正データが
読み出される。この補正データは、補正信号として駆動
回路１８を介して補正コイル１０に供給されることか
ら、走査コイル９による偏向磁場に加え、補正コイル１
０による偏向磁場が発生する。この結果、走査コイル９
に供給される走査信号の波形と、電子ビームに対する偏
向磁場の変化波形とが同じとなり、走査速度が速くなっ
ても試料上の電子ビームの走査位置のずれは生じない。
置ずれが生じない走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 走査信号発生部１５からの走査速度に応
じた信号が補正データメモリー１７に供給され、補正デ
ータメモリー１７からは走査速度に応じた補正データが
読み出される。この補正データは、補正信号として駆動
回路１８を介して補正コイル１０に供給されることか
ら、走査コイル９による偏向磁場に加え、補正コイル１
０による偏向磁場が発生する。この結果、走査コイル９
に供給される走査信号の波形と、電子ビームに対する偏
向磁場の変化波形とが同じとなり、走査速度が速くなっ
ても試料上の電子ビームの走査位置のずれは生じない。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、走査速度の変化によっ
ても像の位置ずれが生じない走査電子顕微鏡に関する。
ても像の位置ずれが生じない走査電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子銃から発生し
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
で試料上に細く集束すると共に、試料の所望の２次元領
域を電子ビームで走査するようにしている。
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
で試料上に細く集束すると共に、試料の所望の２次元領
域を電子ビームで走査するようにしている。
【０００３】試料への電子ビームの照射によって発生し
た例えば２次電子は、２次電子検出器によって検出され
る。検出器の検出信号は、その振幅や輝度レベルが調整
された後、陰極線管に輝度変調信号として供給され、そ
の結果、陰極線管上には試料の走査２次電子像が表示さ
れる。
た例えば２次電子は、２次電子検出器によって検出され
る。検出器の検出信号は、その振幅や輝度レベルが調整
された後、陰極線管に輝度変調信号として供給され、そ
の結果、陰極線管上には試料の走査２次電子像が表示さ
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
走査電子顕微鏡では、走査コイルを使用して電子ビーム
をＸ，Ｙ方向に偏向し、試料の２次元領域を走査するよ
うにしている。このような走査電子顕微鏡における画像
観察において、電子ビームの２次元走査の速度は、変化
させられるが、走査コイルの応答により、観察画面上で
画像が走査速度に応じてずれが生じる。
走査電子顕微鏡では、走査コイルを使用して電子ビーム
をＸ，Ｙ方向に偏向し、試料の２次元領域を走査するよ
うにしている。このような走査電子顕微鏡における画像
観察において、電子ビームの２次元走査の速度は、変化
させられるが、走査コイルの応答により、観察画面上で
画像が走査速度に応じてずれが生じる。
【０００５】図１は走査コイルに供給される走査信号と
走査コイルによって生じる磁場の変化を示しており、図
１（ａ）が走査速度が速い場合、図１（ｂ）が走査速度
が遅い場合である。図１（ａ）の走査速度が速い場合、
走査コイルの磁場応答の遅れ、走査コイルに流す電流を
駆動する回路の応答の遅れにより、実線で示す走査信号
波形Ｓに対して、走査コイルの磁場は遅れ、点線Ｂで示
すように変化する。これに対して走査速度が遅い場合に
は、図１（ｂ）に示すように走査信号Ｓと磁場Ｂの変化
は時間的に一致する。
走査コイルによって生じる磁場の変化を示しており、図
１（ａ）が走査速度が速い場合、図１（ｂ）が走査速度
が遅い場合である。図１（ａ）の走査速度が速い場合、
走査コイルの磁場応答の遅れ、走査コイルに流す電流を
駆動する回路の応答の遅れにより、実線で示す走査信号
波形Ｓに対して、走査コイルの磁場は遅れ、点線Ｂで示
すように変化する。これに対して走査速度が遅い場合に
は、図１（ｂ）に示すように走査信号Ｓと磁場Ｂの変化
は時間的に一致する。
【０００６】図２は走査速度に応じた画像の位置ずれを
示したもので、図２（ａ）は図１（ｂ）の走査速度が遅
い場合に対応した画像を示しており、図２（ｂ）は図１
（ａ）の走査速度が速い場合に対応した画像を示してい
る。
示したもので、図２（ａ）は図１（ｂ）の走査速度が遅
い場合に対応した画像を示しており、図２（ｂ）は図１
（ａ）の走査速度が速い場合に対応した画像を示してい
る。
【０００７】図２（ａ）に示すように走査速度が遅い場
合に画面の中央に位置していたパターンＰは、走査速度
が速くなる図２（ｂ）では、位置が左側にずれてしま
う。なお、図２（ｂ）で点線で示したパターンＰ´が走
査速度が遅い場合に表示されるパターン位置を示してい
る。
合に画面の中央に位置していたパターンＰは、走査速度
が速くなる図２（ｂ）では、位置が左側にずれてしま
う。なお、図２（ｂ）で点線で示したパターンＰ´が走
査速度が遅い場合に表示されるパターン位置を示してい
る。
【０００８】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、電子ビームの走査速度を変化させ
ても像の位置ずれが生じない走査電子顕微鏡を実現する
にある。
もので、その目的は、電子ビームの走査速度を変化させ
ても像の位置ずれが生じない走査電子顕微鏡を実現する
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】第１の発明に基づく走査
電子顕微鏡は、電子銃からの電子ビームを試料上に細く
集束すると共に、試料上の電子ビームの照射位置を２次
元的に走査し、試料への電子ビームの照射にともなって
得られた信号に基づき、試料の走査像を得るようにした
走査電子顕微鏡において、電子ビームの走査信号が供給
される走査コイルに接近して補助偏向手段を設け、補助
偏向手段に走査信号の走査速度に応じた補正信号を供給
するようにしたことを特徴としている。
電子顕微鏡は、電子銃からの電子ビームを試料上に細く
集束すると共に、試料上の電子ビームの照射位置を２次
元的に走査し、試料への電子ビームの照射にともなって
得られた信号に基づき、試料の走査像を得るようにした
走査電子顕微鏡において、電子ビームの走査信号が供給
される走査コイルに接近して補助偏向手段を設け、補助
偏向手段に走査信号の走査速度に応じた補正信号を供給
するようにしたことを特徴としている。
【００１０】第１の発明では、電子ビームの走査信号が
供給される走査コイルに接近して補助偏向手段を設け、
補助偏向手段に走査信号の走査速度に応じた補正信号を
供給し、走査速度を速くした場合でも磁場の遅れによる
像の位置ずれを防止する。
供給される走査コイルに接近して補助偏向手段を設け、
補助偏向手段に走査信号の走査速度に応じた補正信号を
供給し、走査速度を速くした場合でも磁場の遅れによる
像の位置ずれを防止する。
【００１１】第２の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、補助偏向手段としてインダクタンス
の小さい補助コイルを用いた。第３の発明では、第１の
発明において、補助偏向手段として応答速度の極めて速
い静電偏向板を用いた。
１の発明において、補助偏向手段としてインダクタンス
の小さい補助コイルを用いた。第３の発明では、第１の
発明において、補助偏向手段として応答速度の極めて速
い静電偏向板を用いた。
【００１２】第４の発明に基づく走査電子顕微鏡は、電
子銃からの電子ビームを試料上に細く集束すると共に、
試料上の電子ビームの照射位置を２次元的に走査し、試
料への電子ビームの照射にともなって得られた信号に基
づき、試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡に
おいて、電子ビームを走査するための走査コイルに、走
査信号と走査信号の走査速度に応じた補正信号とが重畳
された信号を供給するようにしたことを特徴としてい
る。
子銃からの電子ビームを試料上に細く集束すると共に、
試料上の電子ビームの照射位置を２次元的に走査し、試
料への電子ビームの照射にともなって得られた信号に基
づき、試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡に
おいて、電子ビームを走査するための走査コイルに、走
査信号と走査信号の走査速度に応じた補正信号とが重畳
された信号を供給するようにしたことを特徴としてい
る。
【００１３】第４の発明では、電子ビームを走査するた
めの走査コイルに、走査信号と走査信号の走査速度に応
じた補正信号とが重畳された信号を供給し、走査速度を
速くした場合ても磁場の遅れによる像の位置ずれを防止
する。
めの走査コイルに、走査信号と走査信号の走査速度に応
じた補正信号とが重畳された信号を供給し、走査速度を
速くした場合ても磁場の遅れによる像の位置ずれを防止
する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図３は本発明を実施する走
査電子顕微鏡の一例を示している。１は電子ビームを発
生する電界放射型電子銃であり、電界放射エミッタ２、
引出電極３、加速電極４より構成されている。
施の形態を詳細に説明する。図３は本発明を実施する走
査電子顕微鏡の一例を示している。１は電子ビームを発
生する電界放射型電子銃であり、電界放射エミッタ２、
引出電極３、加速電極４より構成されている。
【００１５】加速電極４は接地電位に保たれ、エミッタ
２には高圧電源５から加速電圧が印加されている。ま
た、エミッタ２と引出電極３との間には高圧電源５から
引出電圧が印加される。この結果、エミッタ２先端には
強電界が形成され、エミッタ２からは電界放射電子が引
き出される。エミッタ２からの電子は加速電極４によっ
て加速される。
２には高圧電源５から加速電圧が印加されている。ま
た、エミッタ２と引出電極３との間には高圧電源５から
引出電圧が印加される。この結果、エミッタ２先端には
強電界が形成され、エミッタ２からは電界放射電子が引
き出される。エミッタ２からの電子は加速電極４によっ
て加速される。
【００１６】電子銃１から発生し加速された電子ビーム
は、コンデンサレンズ６、対物レンズ７によって試料８
上に細く集束される。電子ビームは更に走査コイル９に
よって走査され、試料８上の所望２次元領域は電子ビー
ムによって走査される。なお、走査コイル９に接近して
補正コイル１０が配置されている。この補正コイル１０
としてはインダクタンスが小さく応答の速い空芯コイル
等が用いられる。
は、コンデンサレンズ６、対物レンズ７によって試料８
上に細く集束される。電子ビームは更に走査コイル９に
よって走査され、試料８上の所望２次元領域は電子ビー
ムによって走査される。なお、走査コイル９に接近して
補正コイル１０が配置されている。この補正コイル１０
としてはインダクタンスが小さく応答の速い空芯コイル
等が用いられる。
【００１７】試料８への電子ビームの照射によって発生
した２次電子は、２次電子検出器１１によって検出され
る。検出器１１の検出信号は、増幅器１２によって増幅
された後、陰極線管１３に供給される。
した２次電子は、２次電子検出器１１によって検出され
る。検出器１１の検出信号は、増幅器１２によって増幅
された後、陰極線管１３に供給される。
【００１８】上記走査コイル９にはコンピュータのごと
き制御装置１４内の走査信号発生部１５からＸ，Ｙ２方
向の走査信号が駆動回路１６を介して供給される。ま
た、制御装置１４内には、補正データメモリー１７が設
けられており、このメモリー１７からは、走査信号発生
部１５からの走査信号の速度に応じた補正データが出力
される。補正データメモリー１７からの補正データは、
駆動回路１８を介して補正コイル１０に供給される。こ
のような構成の動作を次に説明する。
き制御装置１４内の走査信号発生部１５からＸ，Ｙ２方
向の走査信号が駆動回路１６を介して供給される。ま
た、制御装置１４内には、補正データメモリー１７が設
けられており、このメモリー１７からは、走査信号発生
部１５からの走査信号の速度に応じた補正データが出力
される。補正データメモリー１７からの補正データは、
駆動回路１８を介して補正コイル１０に供給される。こ
のような構成の動作を次に説明する。
【００１９】電子銃１から発生し加速された電子ビーム
をコンデンサレンズ６、対物レンズ７によって試料８上
に細く集束し、更に、走査コイル９によって電子ビーム
を試料８上で２次元的に走査する。この走査に基づき試
料８から発生した２次電子は、２次電子検出器１１によ
って検出される。検出器の検出信号は、増幅器１２によ
って増幅された後、陰極線管１３に供給されることか
ら、陰極線管１３には試料８の走査２次電子像が表示さ
れる。
をコンデンサレンズ６、対物レンズ７によって試料８上
に細く集束し、更に、走査コイル９によって電子ビーム
を試料８上で２次元的に走査する。この走査に基づき試
料８から発生した２次電子は、２次電子検出器１１によ
って検出される。検出器の検出信号は、増幅器１２によ
って増幅された後、陰極線管１３に供給されることか
ら、陰極線管１３には試料８の走査２次電子像が表示さ
れる。
【００２０】さて、図３の構成で、制御装置１４内の走
査信号発生部１５から走査信号が発生され、この走査信
号は駆動回路１６を介して走査コイル９に供給される。
試料上の電子ビームの走査速度は、走査信号発生部１５
からの鋸歯状の走査信号の周期を変化させることによっ
て実行される。
査信号発生部１５から走査信号が発生され、この走査信
号は駆動回路１６を介して走査コイル９に供給される。
試料上の電子ビームの走査速度は、走査信号発生部１５
からの鋸歯状の走査信号の周期を変化させることによっ
て実行される。
【００２１】走査信号発生部１５からの走査信号の周期
を速めて走査速度を速めた場合、図１と図２を用いて画
像の位置ずれが生じることは既に説明した。本実施の形
態では、走査信号発生部１５からの走査速度に応じた信
号が補正データメモリー１７に供給され、補正データメ
モリー１７からは走査速度に応じた補正データが読み出
される。
を速めて走査速度を速めた場合、図１と図２を用いて画
像の位置ずれが生じることは既に説明した。本実施の形
態では、走査信号発生部１５からの走査速度に応じた信
号が補正データメモリー１７に供給され、補正データメ
モリー１７からは走査速度に応じた補正データが読み出
される。
【００２２】この補正データは、補正信号として駆動回
路１８を介して補正コイル１０に供給される。この結
果、走査コイル９による偏向磁場に加え、補正コイル１
０による偏向磁場が発生する。
路１８を介して補正コイル１０に供給される。この結
果、走査コイル９による偏向磁場に加え、補正コイル１
０による偏向磁場が発生する。
【００２３】図４（ａ）は走査コイル９に供給される走
査信号Ｓとこの走査信号に基づいて走査コイル９により
生じる磁場の変化Ｂとを示している。磁場の変化Ｂは、
走査コイル９や駆動回路１８の応答の遅れにより、走査
信号Ｓに遅れて発生する。
査信号Ｓとこの走査信号に基づいて走査コイル９により
生じる磁場の変化Ｂとを示している。磁場の変化Ｂは、
走査コイル９や駆動回路１８の応答の遅れにより、走査
信号Ｓに遅れて発生する。
【００２４】図４（ｂ）は補正コイル１０により発生す
る磁場の変化ｂを示しており、この磁場の変化ｂは、走
査信号Ｓの波形に対する走査コイル９による磁場の応答
の遅れの成分と反対方向の変化とされている。すなわ
ち、走査信号Ｓの立上がりの時点では、走査コイル９に
よる磁場の遅れに相当する分、補正コイル１０により磁
場が発生される。
る磁場の変化ｂを示しており、この磁場の変化ｂは、走
査信号Ｓの波形に対する走査コイル９による磁場の応答
の遅れの成分と反対方向の変化とされている。すなわ
ち、走査信号Ｓの立上がりの時点では、走査コイル９に
よる磁場の遅れに相当する分、補正コイル１０により磁
場が発生される。
【００２５】この補正コイル１０による磁場ｂは、＋側
は走査コイル９による磁場Ｂと同じ方向の磁場であり、
−側は走査コイル９による磁場と反対方向の磁場であ
る。この結果、走査コイル９に供給される走査信号の波
形と、電子ビームに対する偏向磁場の変化波形とが同じ
となり、走査速度が速くなっても試料上の電子ビームの
走査位置のずれは生じない。
は走査コイル９による磁場Ｂと同じ方向の磁場であり、
−側は走査コイル９による磁場と反対方向の磁場であ
る。この結果、走査コイル９に供給される走査信号の波
形と、電子ビームに対する偏向磁場の変化波形とが同じ
となり、走査速度が速くなっても試料上の電子ビームの
走査位置のずれは生じない。
【００２６】図５は本発明の他の実施の形態を示してい
る。この実施の形態では、インダクタンスの小さな補正
コイル１０に代え、静電偏向板２０を設けている。この
静電偏向板２０には、制御装置１４内の走査信号発生部
１５からの走査信号に応じて補正データメモリー１７か
らの補正信号が、駆動回路２１を介して供給される。こ
のケースでは、走査コイル９の応答の遅れを、応答の極
めて速い静電偏向板２０による偏向電場によって補正し
ている。
る。この実施の形態では、インダクタンスの小さな補正
コイル１０に代え、静電偏向板２０を設けている。この
静電偏向板２０には、制御装置１４内の走査信号発生部
１５からの走査信号に応じて補正データメモリー１７か
らの補正信号が、駆動回路２１を介して供給される。こ
のケースでは、走査コイル９の応答の遅れを、応答の極
めて速い静電偏向板２０による偏向電場によって補正し
ている。
【００２７】図６は本発明の更に他の実施の形態を示し
ている。この実施の形態では、走査コイル９に走査信号
と補正信号が重畳された信号が供給される。すなわち、
制御装置１４内の走査信号発生部からの走査信号と、補
正データメモリー１６から読み出された補正信号は、加
減算回路２２において加減算される。加減算回路２２の
出力信号は、駆動回路１６を介して走査コイル９に供給
される。
ている。この実施の形態では、走査コイル９に走査信号
と補正信号が重畳された信号が供給される。すなわち、
制御装置１４内の走査信号発生部からの走査信号と、補
正データメモリー１６から読み出された補正信号は、加
減算回路２２において加減算される。加減算回路２２の
出力信号は、駆動回路１６を介して走査コイル９に供給
される。
【００２８】図７（ａ）は走査信号発生部１５からの走
査信号を示しているが、この実施の形態における走査信
号（実線）は、ブランキング期間Ｔが長く設定されてい
る。なお、図７（ａ）で点線は実線で示した走査信号Ｓ
による磁場Ｂの変化を示しており、磁場Ｂは走査信号Ｓ
に遅れて発生する。
査信号を示しているが、この実施の形態における走査信
号（実線）は、ブランキング期間Ｔが長く設定されてい
る。なお、図７（ａ）で点線は実線で示した走査信号Ｓ
による磁場Ｂの変化を示しており、磁場Ｂは走査信号Ｓ
に遅れて発生する。
【００２９】図７（ｂ）は補正データメモリー１６から
の補正信号Ｃであり、走査信号による磁場の遅れを補正
するための信号とされている。この補正信号Ｃは走査信
号Ｓと加減算回路２２において加算あるいは減算され
る。加減算回路２２において加減算された信号は、駆動
回路１６を介して走査コイル９に供給されることから、
加減算された信号に基づく走査コイル９による磁場ｂの
変化は、図７（ｃ）に示すようなものとなる。すなわ
ち、走査信号のブランキング期間中は走査信号に遅れて
磁場が発生するが、ブランキングがオフとなった期間で
は、磁場の変化はほぼ走査信号に応じたものとなる。
の補正信号Ｃであり、走査信号による磁場の遅れを補正
するための信号とされている。この補正信号Ｃは走査信
号Ｓと加減算回路２２において加算あるいは減算され
る。加減算回路２２において加減算された信号は、駆動
回路１６を介して走査コイル９に供給されることから、
加減算された信号に基づく走査コイル９による磁場ｂの
変化は、図７（ｃ）に示すようなものとなる。すなわ
ち、走査信号のブランキング期間中は走査信号に遅れて
磁場が発生するが、ブランキングがオフとなった期間で
は、磁場の変化はほぼ走査信号に応じたものとなる。
【００３０】以上本発明の一実施形態を説明したが、本
発明はこの実施の形態に限定されない。例えば、２次電
子像を観察するようにしたが、反射電子像等の観察の場
合にも本発明を適用することができる。
発明はこの実施の形態に限定されない。例えば、２次電
子像を観察するようにしたが、反射電子像等の観察の場
合にも本発明を適用することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、第１の発明では、
電子銃からの電子ビームを試料上に細く集束すると共
に、試料上の電子ビームの照射位置を２次元的に走査
し、試料への電子ビームの照射にともなって得られた信
号に基づき、試料の走査像を得るようにした走査電子顕
微鏡において、電子ビームの走査信号が供給される走査
コイルに接近して補助偏向手段を設け、補助偏向手段に
走査信号の走査速度に応じた補正信号を供給するように
した。その結果、走査コイルによる磁場の遅れを補助偏
向手段による電子ビームの偏向場によって補正できるよ
うになったので、走査速度を速くした場合でも、磁場の
遅れによる像の位置ずれを防止することができる。
電子銃からの電子ビームを試料上に細く集束すると共
に、試料上の電子ビームの照射位置を２次元的に走査
し、試料への電子ビームの照射にともなって得られた信
号に基づき、試料の走査像を得るようにした走査電子顕
微鏡において、電子ビームの走査信号が供給される走査
コイルに接近して補助偏向手段を設け、補助偏向手段に
走査信号の走査速度に応じた補正信号を供給するように
した。その結果、走査コイルによる磁場の遅れを補助偏
向手段による電子ビームの偏向場によって補正できるよ
うになったので、走査速度を速くした場合でも、磁場の
遅れによる像の位置ずれを防止することができる。
【００３２】第２の発明は、第１の発明において、補助
偏向手段としてインダクタンスの小さい補助コイルを用
いたので、走査コイルによる磁場の遅れを補助コイルに
よる電子ビームの偏向磁場によって補正できるようにな
り、磁場の遅れによる像の位置ずれを防止することがで
きる。
偏向手段としてインダクタンスの小さい補助コイルを用
いたので、走査コイルによる磁場の遅れを補助コイルに
よる電子ビームの偏向磁場によって補正できるようにな
り、磁場の遅れによる像の位置ずれを防止することがで
きる。
【００３３】第３の発明では、第１の発明において、補
助偏向手段として応答速度の極めて速い静電偏向板を用
いたので、走査コイルによる磁場の遅れを静電偏向板に
よる電子ビームの偏向電場によって補正できるようにな
り、磁場の遅れによる像の位置ずれを防止することがで
きる。
助偏向手段として応答速度の極めて速い静電偏向板を用
いたので、走査コイルによる磁場の遅れを静電偏向板に
よる電子ビームの偏向電場によって補正できるようにな
り、磁場の遅れによる像の位置ずれを防止することがで
きる。
【００３４】第４の発明は、電子銃からの電子ビームを
試料上に細く集束すると共に、試料上の電子ビームの照
射位置を２次元的に走査し、試料への電子ビームの照射
にともなって得られた信号に基づき、試料の走査像を得
るようにした走査電子顕微鏡において、電子ビームを走
査するための走査コイルに、走査信号と走査信号の走査
速度に応じた補正信号とが重畳された信号を供給するよ
うにした。その結果、走査コイルに供給される信号は、
走査信号による磁場の遅れを補正したものであるので、
磁場の遅れによる像の位置ずれを防止することができ
る。
試料上に細く集束すると共に、試料上の電子ビームの照
射位置を２次元的に走査し、試料への電子ビームの照射
にともなって得られた信号に基づき、試料の走査像を得
るようにした走査電子顕微鏡において、電子ビームを走
査するための走査コイルに、走査信号と走査信号の走査
速度に応じた補正信号とが重畳された信号を供給するよ
うにした。その結果、走査コイルに供給される信号は、
走査信号による磁場の遅れを補正したものであるので、
磁場の遅れによる像の位置ずれを防止することができ
る。
【図１】走査信号と磁場の遅れを説明するための図であ
る。
る。
【図２】磁場の遅れに伴う像の位置ずれを説明するため
の図である。
の図である。
【図３】本発明に基づく走査電子顕微鏡の一例を示す図
である。
である。
【図４】走査信号と補正信号を示す図である。
【図５】本発明の他の実施の形態を示す図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す図である。
【図７】走査信号と補正信号と走査信号と補正信号とが
重畳された信号に基づく磁場の変化を示す図である。
重畳された信号に基づく磁場の変化を示す図である。
１ 電子銃 ２ エミッタ ３ 引出電極 ４ 加速電極 ５ 高圧電源 ６ コンデンサレンズ ７ 対物レンズ ８ 試料 ９ 走査コイル １０ 補助コイル １１ ２次電子検出器 １２ 増幅器 １３ 陰極線管 １４ 制御装置 １５ 走査信号発生部 １６，１８ 駆動回路 １７ 補正データメモリー
Claims (4)
- 【請求項１】 電子銃からの電子ビームを試料上に細く
集束すると共に、試料上の電子ビームの照射位置を２次
元的に走査し、試料への電子ビームの照射にともなって
得られた信号に基づき、試料の走査像を得るようにした
走査電子顕微鏡において、電子ビームの走査信号が供給
される走査コイルに接近して補助偏向手段を設け、補助
偏向手段に走査信号の走査速度に応じた補正信号を供給
するようにした走査電子顕微鏡。 - 【請求項２】 補助偏向手段は、インダクタンスの小さ
い補助コイルである請求項１記載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】 補助偏向手段は、静電偏向板である請求
項１記載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項４】 電子銃からの電子ビームを試料上に細く
集束すると共に、試料上の電子ビームの照射位置を２次
元的に走査し、試料への電子ビームの照射にともなって
得られた信号に基づき、試料の走査像を得るようにした
走査電子顕微鏡において、電子ビームを走査するための
走査コイルに、走査信号と走査速度に応じた補正信号と
が重畳された信号を供給するようにした走査電子顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9138255A JPH10334843A (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9138255A JPH10334843A (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10334843A true JPH10334843A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15217684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9138255A Withdrawn JPH10334843A (ja) | 1997-05-28 | 1997-05-28 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10334843A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015002112A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線発生装置 |
| CN119132915A (zh) * | 2024-09-09 | 2024-12-13 | 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 | 磁偏转控制系统和扫描电镜 |
-
1997
- 1997-05-28 JP JP9138255A patent/JPH10334843A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015002112A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線発生装置 |
| CN119132915A (zh) * | 2024-09-09 | 2024-12-13 | 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 | 磁偏转控制系统和扫描电镜 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040803 |