JPH1027563A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- JPH1027563A JPH1027563A JP8180738A JP18073896A JPH1027563A JP H1027563 A JPH1027563 A JP H1027563A JP 8180738 A JP8180738 A JP 8180738A JP 18073896 A JP18073896 A JP 18073896A JP H1027563 A JPH1027563 A JP H1027563A
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- sample
- acceleration voltage
- electron beam
- memory
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/1501—Beam alignment means or procedures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加速電圧とワーキングディスタンスとコンデ
ンサレンズの励磁量の変化によっても、簡単な構成と操
作により、電子ビームのアライメント動作を行うことが
できる走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 制御回路２１には、加速電源５から加速
電圧に応じた信号が供給され、また、駆動回路１３から
ワーキングディスタンスに応じた信号が供給される。制
御回路２１はこれらの信号に基づき、データメモリー２
０から所定のアライメント信号を読み出し加算回路２２
に供給する。加算回路２２からのアライメント信号はス
イッチ１８を介してアライメントコイル１１に供給さ
れ、電子ビームＥＢの光軸合わせが行われる。この光軸
合わせを行った状態で、陰極線管１６には試料の２次電
子像が表示される。オペレータはこの表示画面を観察
し、微調整入力手段２３を操作する。微調整入力手段２
３から発生した信号は加算回路２２に供給され、データ
メモリー２０からのアライメント信号と加算される。
ンサレンズの励磁量の変化によっても、簡単な構成と操
作により、電子ビームのアライメント動作を行うことが
できる走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 制御回路２１には、加速電源５から加速
電圧に応じた信号が供給され、また、駆動回路１３から
ワーキングディスタンスに応じた信号が供給される。制
御回路２１はこれらの信号に基づき、データメモリー２
０から所定のアライメント信号を読み出し加算回路２２
に供給する。加算回路２２からのアライメント信号はス
イッチ１８を介してアライメントコイル１１に供給さ
れ、電子ビームＥＢの光軸合わせが行われる。この光軸
合わせを行った状態で、陰極線管１６には試料の２次電
子像が表示される。オペレータはこの表示画面を観察
し、微調整入力手段２３を操作する。微調整入力手段２
３から発生した信号は加算回路２２に供給され、データ
メモリー２０からのアライメント信号と加算される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子銃から発生し
加速された電子ビームのアライメント調整を簡単に行う
ことができる走査電子顕微鏡に関する。
加速された電子ビームのアライメント調整を簡単に行う
ことができる走査電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の走査電子顕微鏡では、電子銃から
の一次電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズによ
り試料上に細く集束し、更に、一次電子ビームを走査コ
イルにより試料上で２次元的に走査している。そして試
料への電子ビームの照射によって発生した２次電子等を
検出し、検出信号を電子ビームの走査と同期した陰極線
管に供給して陰極線管上に２次電子像などを表示するよ
うにしている。
の一次電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズによ
り試料上に細く集束し、更に、一次電子ビームを走査コ
イルにより試料上で２次元的に走査している。そして試
料への電子ビームの照射によって発生した２次電子等を
検出し、検出信号を電子ビームの走査と同期した陰極線
管に供給して陰極線管上に２次電子像などを表示するよ
うにしている。
【０００３】このような走査電子顕微鏡において、電子
銃から発生した電子ビームはコンデンサレンズや対物レ
ンズで集束され、また、走査コイルによって２次元的に
走査される。更に、電子ビームは、軸合わせのために複
数の偏向手段により偏向される。
銃から発生した電子ビームはコンデンサレンズや対物レ
ンズで集束され、また、走査コイルによって２次元的に
走査される。更に、電子ビームは、軸合わせのために複
数の偏向手段により偏向される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した走査電子顕微
鏡では、電子銃からの電子ビームの加速電圧を変化させ
た場合や、対物レンズと試料との間の距離（ワーキング
ディスタンス）を変化させた場合や、コンデンサレンズ
の励磁量を変えた場合には、電子ビームの光軸合わせを
再度行わねばならず、面倒な操作が伴っている。特に、
最近開発されているセミインレンズ形の対物レンズを用
いた走査電子顕微鏡では、電子ビームの軸調整用の電子
ビーム偏向手段が多数設けられており、それらを加速電
圧の変化と、ワーキングディスタンスの変化と、コンデ
ンサレンズの励磁量の変化の都度調整せねばならず、操
作の簡単化が大きく望まれていた。
鏡では、電子銃からの電子ビームの加速電圧を変化させ
た場合や、対物レンズと試料との間の距離（ワーキング
ディスタンス）を変化させた場合や、コンデンサレンズ
の励磁量を変えた場合には、電子ビームの光軸合わせを
再度行わねばならず、面倒な操作が伴っている。特に、
最近開発されているセミインレンズ形の対物レンズを用
いた走査電子顕微鏡では、電子ビームの軸調整用の電子
ビーム偏向手段が多数設けられており、それらを加速電
圧の変化と、ワーキングディスタンスの変化と、コンデ
ンサレンズの励磁量の変化の都度調整せねばならず、操
作の簡単化が大きく望まれていた。
【０００５】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、加速電圧と、ワーキングディスタ
ンスと、コンデンサレンズの励磁量の変化によっても、
簡単な構成と操作により、電子ビームのアライメント動
作を行うことができる走査電子顕微鏡を実現するにあ
る。
もので、その目的は、加速電圧と、ワーキングディスタ
ンスと、コンデンサレンズの励磁量の変化によっても、
簡単な構成と操作により、電子ビームのアライメント動
作を行うことができる走査電子顕微鏡を実現するにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
走査電子顕微鏡は、電子銃から発生し加速された電子ビ
ームをコンデンサレンズと対物レンズとによって試料上
に集束し、更に、試料上で電子ビームを２次元的に走査
し、試料への電子ビームの照射に基づいて発生した信号
を検出し、検出信号に基づいて試料の走査像を表示する
ようにした走査電子顕微鏡において、電子銃から発生し
加速された電子ビームを偏向するための偏向手段と、電
子銃の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離の２種
類のパラメータに応じたデータを記憶するメモリーと、
微調整入力手段と、全体の動作を制御する制御手段と、
電子銃の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離に応
じてメモリーから読み出されたデータと微調整入力手段
からの信号とを加算する加算回路とを具備し、該加算回
路からの出力に基づき前記偏向手段に偏向信号を供給す
るように構成したことを特徴としている。
走査電子顕微鏡は、電子銃から発生し加速された電子ビ
ームをコンデンサレンズと対物レンズとによって試料上
に集束し、更に、試料上で電子ビームを２次元的に走査
し、試料への電子ビームの照射に基づいて発生した信号
を検出し、検出信号に基づいて試料の走査像を表示する
ようにした走査電子顕微鏡において、電子銃から発生し
加速された電子ビームを偏向するための偏向手段と、電
子銃の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離の２種
類のパラメータに応じたデータを記憶するメモリーと、
微調整入力手段と、全体の動作を制御する制御手段と、
電子銃の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離に応
じてメモリーから読み出されたデータと微調整入力手段
からの信号とを加算する加算回路とを具備し、該加算回
路からの出力に基づき前記偏向手段に偏向信号を供給す
るように構成したことを特徴としている。
【０００７】請求項１の発明では、メモリーから電子銃
の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離に応じて読
み出されたデータと微調整入力手段からの信号とを加算
し、加算した信号を偏向信号として電子ビームを偏向す
る偏向手段に供給する。
の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離に応じて読
み出されたデータと微調整入力手段からの信号とを加算
し、加算した信号を偏向信号として電子ビームを偏向す
る偏向手段に供給する。
【０００８】請求項２の発明に基づく走査電子顕微鏡
は、請求項１の発明に加えて、特定の電子銃の加速電圧
と対物レンズと試料との間の距離に応じた制御手段への
信号を設定し、この設定された信号に基づいて補間演算
を行い、メモリーに記憶する全データを作成するように
したことを特徴としている。
は、請求項１の発明に加えて、特定の電子銃の加速電圧
と対物レンズと試料との間の距離に応じた制御手段への
信号を設定し、この設定された信号に基づいて補間演算
を行い、メモリーに記憶する全データを作成するように
したことを特徴としている。
【０００９】請求項２の発明では、特定の電子銃の加速
電圧と対物レンズと試料との間の距離に応じた制御手段
への信号を設定し、この設定された信号に基づいて補間
演算を行い、メモリーに記憶する全データを作成する。
電圧と対物レンズと試料との間の距離に応じた制御手段
への信号を設定し、この設定された信号に基づいて補間
演算を行い、メモリーに記憶する全データを作成する。
【００１０】請求項３の発明に基づく走査電子顕微鏡
は、請求項２の発明に加えて、メモリーに記憶されたデ
ータを読み出して表示し、読み出されたデータを補正編
集する手段を備えたことを特徴としている。
は、請求項２の発明に加えて、メモリーに記憶されたデ
ータを読み出して表示し、読み出されたデータを補正編
集する手段を備えたことを特徴としている。
【００１１】請求項３の発明では、メモリーに記憶され
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集する。請求項４の発明に基づく走査電子顕微鏡
は、電子銃から発生し加速された電子ビームをコンデン
サレンズと対物レンズとによって試料上に集束し、更
に、試料上で電子ビームを２次元的に走査し、試料への
電子ビームの照射に基づいて発生した信号を検出し、検
出信号に基づいて試料の走査像を表示するようにした走
査電子顕微鏡において、電子銃から発生し加速された電
子ビームを偏向するための偏向手段と、電子銃の加速電
圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサレ
ンズの励磁量の３種類のパラメータに応じたデータを記
憶するメモリーと、微調整入力手段と、全体の動作を制
御する制御手段と、電子銃の加速電圧と、対物レンズと
試料との間の距離と、コンデンサレンズの励磁量に応じ
てメモリーから読み出されたデータと微調整入力手段か
らの信号とを加算する加算回路とを具備し、該加算回路
からの出力に基づき前記偏向手段に偏向信号を供給する
ように構成したことを特徴としている。
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集する。請求項４の発明に基づく走査電子顕微鏡
は、電子銃から発生し加速された電子ビームをコンデン
サレンズと対物レンズとによって試料上に集束し、更
に、試料上で電子ビームを２次元的に走査し、試料への
電子ビームの照射に基づいて発生した信号を検出し、検
出信号に基づいて試料の走査像を表示するようにした走
査電子顕微鏡において、電子銃から発生し加速された電
子ビームを偏向するための偏向手段と、電子銃の加速電
圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサレ
ンズの励磁量の３種類のパラメータに応じたデータを記
憶するメモリーと、微調整入力手段と、全体の動作を制
御する制御手段と、電子銃の加速電圧と、対物レンズと
試料との間の距離と、コンデンサレンズの励磁量に応じ
てメモリーから読み出されたデータと微調整入力手段か
らの信号とを加算する加算回路とを具備し、該加算回路
からの出力に基づき前記偏向手段に偏向信号を供給する
ように構成したことを特徴としている。
【００１２】請求項４の発明では、メモリーから電子銃
の加速電圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コン
デンサレンズの励磁量に応じて読み出されたデータと微
調整入力手段からの信号とを加算し、加算した信号を偏
向信号として電子ビームを偏向する偏向手段に供給す
る。
の加速電圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コン
デンサレンズの励磁量に応じて読み出されたデータと微
調整入力手段からの信号とを加算し、加算した信号を偏
向信号として電子ビームを偏向する偏向手段に供給す
る。
【００１３】請求項５の発明に基づく走査電子顕微鏡
は、請求項４の発明に加えて、特定の電子銃の加速電圧
と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサレン
ズの励磁量に応じた制御手段への信号を設定し、この設
定された信号に基づいて補間演算を行い、メモリーに記
憶する全データを作成するようにしたことを特徴として
いる。
は、請求項４の発明に加えて、特定の電子銃の加速電圧
と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサレン
ズの励磁量に応じた制御手段への信号を設定し、この設
定された信号に基づいて補間演算を行い、メモリーに記
憶する全データを作成するようにしたことを特徴として
いる。
【００１４】請求項５の発明では、特定の電子銃の加速
電圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサ
レンズの励磁量に応じた制御手段への信号を設定し、こ
の設定された信号に基づいて補間演算を行い、メモリー
に記憶する全データを作成する。
電圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサ
レンズの励磁量に応じた制御手段への信号を設定し、こ
の設定された信号に基づいて補間演算を行い、メモリー
に記憶する全データを作成する。
【００１５】請求項６の発明に基づく走査電子顕微鏡
は、請求項５の発明に加えて、メモリーに記憶されたデ
ータを読み出して表示し、読み出されたデータを補正編
集する手段を備えたことを特徴としている。
は、請求項５の発明に加えて、メモリーに記憶されたデ
ータを読み出して表示し、読み出されたデータを補正編
集する手段を備えたことを特徴としている。
【００１６】請求項６の発明では、メモリーに記憶され
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集する。
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集する。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の一例を示しており、１はエミッタ２、引出
電極３、加速電極４より成る電界放射型電子銃である。
エミッタ２と接地電位である加速電極４との間には、加
速電源５から加速電圧が印加される。なお、図示してい
ないが、エミッタ２と引出電極３との間には、引出電源
から引出電圧が印加される。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の一例を示しており、１はエミッタ２、引出
電極３、加速電極４より成る電界放射型電子銃である。
エミッタ２と接地電位である加速電極４との間には、加
速電源５から加速電圧が印加される。なお、図示してい
ないが、エミッタ２と引出電極３との間には、引出電源
から引出電圧が印加される。
【００１８】電界放射型電子銃１から発生し加速された
電子ビームＥＢは、コンデンサレンズ６と対物レンズ７
とによって集束され、試料８に照射される。また、電子
ビームＥＢは走査コイル９に供給される走査信号に応じ
て試料８上で２次元的に走査される。更に、電子ビーム
の光軸に沿ってコンデンサレンズ６に対するビームのア
ライメント補正のアライメントコイル１１と、対物レン
ズ７に対するビームのアライメント補正のアライメント
コイル１１’が配置されている。
電子ビームＥＢは、コンデンサレンズ６と対物レンズ７
とによって集束され、試料８に照射される。また、電子
ビームＥＢは走査コイル９に供給される走査信号に応じ
て試料８上で２次元的に走査される。更に、電子ビーム
の光軸に沿ってコンデンサレンズ６に対するビームのア
ライメント補正のアライメントコイル１１と、対物レン
ズ７に対するビームのアライメント補正のアライメント
コイル１１’が配置されている。
【００１９】試料８は移動ステージ１２上に配置されて
おり、移動ステージ１２は駆動回路１３により光軸方向
に移動可能とされている。試料８への電子ビームＥＢの
照射によって発生した２次電子は、２次電子検出器１４
によって検出される。検出器１４の検出信号は、増幅器
１５を介して電子ビームＥＢの２次元走査と同期してい
る陰極線管１６に供給される。
おり、移動ステージ１２は駆動回路１３により光軸方向
に移動可能とされている。試料８への電子ビームＥＢの
照射によって発生した２次電子は、２次電子検出器１４
によって検出される。検出器１４の検出信号は、増幅器
１５を介して電子ビームＥＢの２次元走査と同期してい
る陰極線管１６に供給される。
【００２０】１７はアライメントコイル１１の粗調整手
段であり、スイッチ１８を介してのこの粗調整手段１７
からのアライメント信号の供給に基づきアライメントコ
イルは電子ビームを偏向し、電子ビームのアライメント
を行う。粗調整手段１７からの調整信号は補正計算ユニ
ット１９にも供給される。
段であり、スイッチ１８を介してのこの粗調整手段１７
からのアライメント信号の供給に基づきアライメントコ
イルは電子ビームを偏向し、電子ビームのアライメント
を行う。粗調整手段１７からの調整信号は補正計算ユニ
ット１９にも供給される。
【００２１】補正計算ユニット１９は、粗調整手段１７
からの信号と、加速電源５からの加速電圧に応じた信号
と、駆動回路１３から供給される対物レンズ７と試料と
の間の距離（ワーキングディスタンス）に応じた信号と
によって、全ての加速電圧とワーキングディスタンスに
応じたデータを作成し、このデータをデータメモリー２
０に送って記憶させる。
からの信号と、加速電源５からの加速電圧に応じた信号
と、駆動回路１３から供給される対物レンズ７と試料と
の間の距離（ワーキングディスタンス）に応じた信号と
によって、全ての加速電圧とワーキングディスタンスに
応じたデータを作成し、このデータをデータメモリー２
０に送って記憶させる。
【００２２】２１はマイクロプロセッサのごとき制御手
段であり、制御手段２１は、加速電源５からの加速電圧
に応じた信号と、駆動回路１３から供給される対物レン
ズ７と試料との間の距離に応じた信号とによって、デー
タメモリー２０から該当のデータを読み出し、加算回路
２２に供給する。加算回路２２は微調整入力手段２３か
らの微調整信号とデータメモリー２０からの信号との加
算を行い、加算出力をスイッチ１８を介してアライメン
トコイル１１に送る。
段であり、制御手段２１は、加速電源５からの加速電圧
に応じた信号と、駆動回路１３から供給される対物レン
ズ７と試料との間の距離に応じた信号とによって、デー
タメモリー２０から該当のデータを読み出し、加算回路
２２に供給する。加算回路２２は微調整入力手段２３か
らの微調整信号とデータメモリー２０からの信号との加
算を行い、加算出力をスイッチ１８を介してアライメン
トコイル１１に送る。
【００２３】２４は補正編集手段であり、補正編集手段
２４はデータメモリー２０内に記憶されているデータを
読み出し、そのデータを陰極線管１６上にグラフィック
表示すると共に、データの補正を行い、補正したデータ
をデータメモリー２０に送ってメモリー２０内の記憶デ
ータの補正編集を行う機能を有している。このような構
成の動作を次に説明する。
２４はデータメモリー２０内に記憶されているデータを
読み出し、そのデータを陰極線管１６上にグラフィック
表示すると共に、データの補正を行い、補正したデータ
をデータメモリー２０に送ってメモリー２０内の記憶デ
ータの補正編集を行う機能を有している。このような構
成の動作を次に説明する。
【００２４】２次電子像を観察する場合、電子銃１から
の電子ビームＥＢをコンデンサレンズ６と対物レンズ７
によって試料８上に細く絞って照射すると共に、走査コ
イル９により試料８上で電子ビームを２次元的に走査す
る。試料８への電子ビームの照射によって発生した２次
電子は、２次電子検出器１４によって検出され、検出器
１４の検出信号は増幅器１５によって増幅された後、陰
極線管１６に供給されることから、陰極線管１６上に試
料の２次電子像が表示される。
の電子ビームＥＢをコンデンサレンズ６と対物レンズ７
によって試料８上に細く絞って照射すると共に、走査コ
イル９により試料８上で電子ビームを２次元的に走査す
る。試料８への電子ビームの照射によって発生した２次
電子は、２次電子検出器１４によって検出され、検出器
１４の検出信号は増幅器１５によって増幅された後、陰
極線管１６に供給されることから、陰極線管１６上に試
料の２次電子像が表示される。
【００２５】ここで、試料８に照射される電子ビームＥ
Ｂの開き角を調整するために対物レンズアパーチャ１０
が設けられているが、このアパーチャ１０は、詳細に図
示していないが、開き角に応じた径のものが複数設けら
れており、特定の径のアパーチャが任意に選択できるよ
うに構成されている。
Ｂの開き角を調整するために対物レンズアパーチャ１０
が設けられているが、このアパーチャ１０は、詳細に図
示していないが、開き角に応じた径のものが複数設けら
れており、特定の径のアパーチャが任意に選択できるよ
うに構成されている。
【００２６】アライメントコイル１１による電子ビーム
の光軸合わせは、各加速電圧とワーキングディスタンス
に応じて最適な状態で行う必要がある。各加速電圧とワ
ーキングディスタンスに応じたアライメント信号は、デ
ータメモリー２０内に記憶されている。制御回路２１に
は、加速電源５から加速電圧に応じた信号が供給され、
また、駆動回路１３からワーキングディスタンスに応じ
た信号が供給される。制御回路２１はこれらの信号に基
づき、データメモリー２０から所定のアライメント信号
を読み出し加算回路２２に供給する。
の光軸合わせは、各加速電圧とワーキングディスタンス
に応じて最適な状態で行う必要がある。各加速電圧とワ
ーキングディスタンスに応じたアライメント信号は、デ
ータメモリー２０内に記憶されている。制御回路２１に
は、加速電源５から加速電圧に応じた信号が供給され、
また、駆動回路１３からワーキングディスタンスに応じ
た信号が供給される。制御回路２１はこれらの信号に基
づき、データメモリー２０から所定のアライメント信号
を読み出し加算回路２２に供給する。
【００２７】加算回路２２からのアライメント信号はス
イッチ１８を介してアライメントコイル１１に供給さ
れ、電子ビームＥＢの光軸合わせが行われる。この光軸
合わせを行った状態で、陰極線管１６には試料の２次電
子像が表示される。オペレータはこの表示画面を観察
し、微調整入力手段２３を操作する。微調整入力手段２
３から発生した信号は加算回路２２に供給され、データ
メモリー２０からのアライメント信号と加算される。
イッチ１８を介してアライメントコイル１１に供給さ
れ、電子ビームＥＢの光軸合わせが行われる。この光軸
合わせを行った状態で、陰極線管１６には試料の２次電
子像が表示される。オペレータはこの表示画面を観察
し、微調整入力手段２３を操作する。微調整入力手段２
３から発生した信号は加算回路２２に供給され、データ
メモリー２０からのアライメント信号と加算される。
【００２８】オペレータは陰極線管１６上の像を観察し
ながら微調整入力手段を操作し、最適な像が得られるよ
うにアライメントコイル１１に供給されるアライメント
信号の微調整を行う。このような動作により、簡単に加
速電圧とワーキングディスタンスに応じた、コンデンサ
レンズ６に対する電子ビームの最適なアライメント調整
を行うことができる。
ながら微調整入力手段を操作し、最適な像が得られるよ
うにアライメントコイル１１に供給されるアライメント
信号の微調整を行う。このような動作により、簡単に加
速電圧とワーキングディスタンスに応じた、コンデンサ
レンズ６に対する電子ビームの最適なアライメント調整
を行うことができる。
【００２９】次に、データメモリー２０に格納するデー
タの作成動作について説明するが、このデータの作成
は、装置製造時に行われ、データの作成動作の前には、
走査電子顕微鏡の鏡筒の機械的な調整動作を行う必要が
ある。機械的な調整が終了した後、まず粗調整手段１７
からの信号がアライメントコイル１１に供給されるよう
にスイッチ１８を切り換え、粗調整手段１７を操作して
基準となる加速電圧とワーキングディスタンスにおける
アライメント信号の作成を行う。
タの作成動作について説明するが、このデータの作成
は、装置製造時に行われ、データの作成動作の前には、
走査電子顕微鏡の鏡筒の機械的な調整動作を行う必要が
ある。機械的な調整が終了した後、まず粗調整手段１７
からの信号がアライメントコイル１１に供給されるよう
にスイッチ１８を切り換え、粗調整手段１７を操作して
基準となる加速電圧とワーキングディスタンスにおける
アライメント信号の作成を行う。
【００３０】例えば、加速電源５を操作して加速電圧を
Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ3 と変化させ、また、移動ステージ１２
の駆動回路１３を操作してワーキングディタンスをＷＤ
1 ，ＷＤ2 と変化させる。各加速電圧とワーキングディ
スタンスの組み合わせに対して、それぞれ粗調整手段１
７を操作し、陰極線管１６の表示画面を観察しながら、
最適な像の状態とし、そのときのアライメント信号値を
粗調整手段１７から補正計算ユニット１９に送る。
Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ3 と変化させ、また、移動ステージ１２
の駆動回路１３を操作してワーキングディタンスをＷＤ
1 ，ＷＤ2 と変化させる。各加速電圧とワーキングディ
スタンスの組み合わせに対して、それぞれ粗調整手段１
７を操作し、陰極線管１６の表示画面を観察しながら、
最適な像の状態とし、そのときのアライメント信号値を
粗調整手段１７から補正計算ユニット１９に送る。
【００３１】上記加速電圧としては、Ｖ1 が１５ｋＶ、
Ｖ2 が５ｋＶ、Ｖ3 が１ｋＶとされ、ワーキングディス
タンスとしては、ＷＤ1 が６ｍｍ、ＷＤ2 が２ｍｍとさ
れる。そして、次の４つの組み合わせでアライメント値
の設定が行われる。
Ｖ2 が５ｋＶ、Ｖ3 が１ｋＶとされ、ワーキングディス
タンスとしては、ＷＤ1 が６ｍｍ、ＷＤ2 が２ｍｍとさ
れる。そして、次の４つの組み合わせでアライメント値
の設定が行われる。
【００３２】加速電圧…１５ｋＶ，ワーキングディス
タンス…６ｍｍ 加速電圧…５ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…２ｍｍ 補正計算ユニット１９は粗調整手段１７から送られたア
ライメント値を、加速電源５からの加速電圧に応じた信
号と駆動回路１３からのワーキングディスタンスに応じ
た信号に関連させて一時的に記憶する。補正計算ユニッ
ト１９は記憶された基準の４つの加速電圧とワーキング
ディスタンスのアライメント値に基づき、他の加速電圧
とワーキングディスタンスにおけるアライメント値を補
間演算（関数近似計算）により求める。なおこの関数近
似はｌｏｇ演算が好ましいが、他の近似曲線あるいは曲
面を用いて演算を行っても良い。
タンス…６ｍｍ 加速電圧…５ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…２ｍｍ 補正計算ユニット１９は粗調整手段１７から送られたア
ライメント値を、加速電源５からの加速電圧に応じた信
号と駆動回路１３からのワーキングディスタンスに応じ
た信号に関連させて一時的に記憶する。補正計算ユニッ
ト１９は記憶された基準の４つの加速電圧とワーキング
ディスタンスのアライメント値に基づき、他の加速電圧
とワーキングディスタンスにおけるアライメント値を補
間演算（関数近似計算）により求める。なおこの関数近
似はｌｏｇ演算が好ましいが、他の近似曲線あるいは曲
面を用いて演算を行っても良い。
【００３３】この結果、全ての加速電圧とワーキングデ
ィスタンスの組み合わせにおけるアライメント値が演算
により求められ、その演算結果はデータメモリー２０に
供給されて記憶される。図２は演算により求められた、
各加速電圧とワーキングディスタンスに対するアライメ
ント値の関係を示す図であり、アライメント値は曲面Ｃ
で表される。
ィスタンスの組み合わせにおけるアライメント値が演算
により求められ、その演算結果はデータメモリー２０に
供給されて記憶される。図２は演算により求められた、
各加速電圧とワーキングディスタンスに対するアライメ
ント値の関係を示す図であり、アライメント値は曲面Ｃ
で表される。
【００３４】次に、データメモリー２０に記憶されたア
ライメント値の補正，編集動作について説明する。デー
タメモリー２０に記憶されたアライメント値は読み出さ
れて補正編集手段（補正編集ユニット）２４に供給され
る。補正編集手段２４は読み出されたアライメント値を
陰極線管１６に供給して加速電圧かワーキングディスタ
ンスに応じたアライメント値カーブを表示する。
ライメント値の補正，編集動作について説明する。デー
タメモリー２０に記憶されたアライメント値は読み出さ
れて補正編集手段（補正編集ユニット）２４に供給され
る。補正編集手段２４は読み出されたアライメント値を
陰極線管１６に供給して加速電圧かワーキングディスタ
ンスに応じたアライメント値カーブを表示する。
【００３５】図３は特定のワーキングディスタンスにお
ける加速電圧に応じたアライメント値変化カーブＢを示
しており、このカーブのＡ点は滑らかなカーブ上から外
れており、補正計算のミスであり、補正が必要な部分で
ある。この場合、Ａ部分が滑らかなカーブ上に位置する
ように、補正編集手段により補正数値を入力し、全体が
滑らかなカーブとした上で、補正された値に基づいてデ
ータメモリー２０に記憶されたアライメント値の補正編
集を行う。
ける加速電圧に応じたアライメント値変化カーブＢを示
しており、このカーブのＡ点は滑らかなカーブ上から外
れており、補正計算のミスであり、補正が必要な部分で
ある。この場合、Ａ部分が滑らかなカーブ上に位置する
ように、補正編集手段により補正数値を入力し、全体が
滑らかなカーブとした上で、補正された値に基づいてデ
ータメモリー２０に記憶されたアライメント値の補正編
集を行う。
【００３６】このような補正編集動作を所定の加速電圧
ごとに実行し、データメモリー２０に記憶されたアライ
メント値を正しいものとする。以上のデータ作成動作
は、各走査電子顕微鏡の製造時点で行われ、装置の使用
時には、微調整手段のみを操作して像観察が実行され
る。
ごとに実行し、データメモリー２０に記憶されたアライ
メント値を正しいものとする。以上のデータ作成動作
は、各走査電子顕微鏡の製造時点で行われ、装置の使用
時には、微調整手段のみを操作して像観察が実行され
る。
【００３７】上述の実施の形態例では、アライメントコ
イル１１の制御動作を行なう場合を例にとって説明した
が、対物レンズ７側のアライメントコイル１１’の制御
動作もアライメントコイル１１の制御動作を行なう場合
と全く同様に行われる。即ち、アライメントコイル１
１’用の加算回路と、微調整入力手段と、スイッチと、
制御回路と、データメモリーと、粗調整手段と、補正計
算ユニットが設けられており、これらの構成要素により
アライメントコイル１１’を制御する。この場合におい
て、制御回路と、データメモリーと、補正計算ユニット
とは、図１に示すものを共用することができる。
イル１１の制御動作を行なう場合を例にとって説明した
が、対物レンズ７側のアライメントコイル１１’の制御
動作もアライメントコイル１１の制御動作を行なう場合
と全く同様に行われる。即ち、アライメントコイル１
１’用の加算回路と、微調整入力手段と、スイッチと、
制御回路と、データメモリーと、粗調整手段と、補正計
算ユニットが設けられており、これらの構成要素により
アライメントコイル１１’を制御する。この場合におい
て、制御回路と、データメモリーと、補正計算ユニット
とは、図１に示すものを共用することができる。
【００３８】図４は本発明に基づく走査電子顕微鏡の他
の例を示す図である。図１と同一のものは、同一の符合
を付して示す。この実施の形態例は、アライメントコイ
ル１１を駆動するアライメント信号を、加速電圧と、ワ
ーキングディスタンスと、コンデンサレンズの励磁量か
ら求めるものである。コンデンサレンズ６の励磁量を変
化させた場合に、一般的にはビームが左右に動くため、
コンデンサレンズ６の励磁量に対しても、変化時の最適
アライメント値を粗調整手段１７により求め、図１の場
合と同様にして補正編集を行なうものである。
の例を示す図である。図１と同一のものは、同一の符合
を付して示す。この実施の形態例は、アライメントコイ
ル１１を駆動するアライメント信号を、加速電圧と、ワ
ーキングディスタンスと、コンデンサレンズの励磁量か
ら求めるものである。コンデンサレンズ６の励磁量を変
化させた場合に、一般的にはビームが左右に動くため、
コンデンサレンズ６の励磁量に対しても、変化時の最適
アライメント値を粗調整手段１７により求め、図１の場
合と同様にして補正編集を行なうものである。
【００３９】図において、３０はコンデンサレンズ６を
制御するコンデンサレンズ制御回路である。該コンデン
サレンズ制御回路３０は、補正計算ユニット１９と接続
されている。
制御するコンデンサレンズ制御回路である。該コンデン
サレンズ制御回路３０は、補正計算ユニット１９と接続
されている。
【００４０】この場合に、各加速電圧と、ワーキングデ
ィスタンスと、コンデンサレンズの励磁量に応じたアラ
イメント信号データがデータメモリー２０内に記憶され
ている。このデータメモリー２０内に記憶されるアライ
メント信号データは、図１に示す実施の形態例の場合と
同様に、装置製造時に行われる。加速電圧をＶ1 ，
Ｖ 2 ，Ｖ3 、ワーキングディスタンスをＷＤ1 ，Ｗ
Ｄ2 、コンデンサ励磁量をコンデンサレンズのコイルの
電流値を単位としてＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 とし、これらパラ
メータの組み合わせに対して粗調整手段１７を操作し、
陰極線管１６の表示画面を観察しながら、最適な像の状
態とし、その時のアライメント信号値を補正計算ユニッ
ト１９に送る。
ィスタンスと、コンデンサレンズの励磁量に応じたアラ
イメント信号データがデータメモリー２０内に記憶され
ている。このデータメモリー２０内に記憶されるアライ
メント信号データは、図１に示す実施の形態例の場合と
同様に、装置製造時に行われる。加速電圧をＶ1 ，
Ｖ 2 ，Ｖ3 、ワーキングディスタンスをＷＤ1 ，Ｗ
Ｄ2 、コンデンサ励磁量をコンデンサレンズのコイルの
電流値を単位としてＬ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 とし、これらパラ
メータの組み合わせに対して粗調整手段１７を操作し、
陰極線管１６の表示画面を観察しながら、最適な像の状
態とし、その時のアライメント信号値を補正計算ユニッ
ト１９に送る。
【００４１】例えば、Ｖ1 が１５ｋＶ、Ｖ2 が５ｋＶ、
Ｖ3 が１ｋＶ、ＷＤ1 が６ｍｍ、ＷＤ2 が２ｍｍ、Ｌ1
が０．２Ａ、Ｌ2 が０．５Ａ、Ｌ3 が１．０Ａとする
と、これらの値に基づく１２個の組み合わせによりアラ
イメント値の設定が行われる。即ち、前述の 加速電圧…１５ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍ
ｍ 加速電圧…５ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…２ｍｍ を、コンデンサレンズの励磁量０．２Ａ、０．５Ａ、
１．０Ａのそれぞれについて設定すると、合計で１２個
の組み合わせとなる。
Ｖ3 が１ｋＶ、ＷＤ1 が６ｍｍ、ＷＤ2 が２ｍｍ、Ｌ1
が０．２Ａ、Ｌ2 が０．５Ａ、Ｌ3 が１．０Ａとする
と、これらの値に基づく１２個の組み合わせによりアラ
イメント値の設定が行われる。即ち、前述の 加速電圧…１５ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍ
ｍ 加速電圧…５ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…６ｍｍ 加速電圧…１ｋＶ，ワーキングディスタンス…２ｍｍ を、コンデンサレンズの励磁量０．２Ａ、０．５Ａ、
１．０Ａのそれぞれについて設定すると、合計で１２個
の組み合わせとなる。
【００４２】補正計算ユニット１９は、粗調整手段１７
から送られてきたアライメント値を、加速電源５からの
加速電圧に応じた信号と、駆動回路１３からのワーキン
グディスタンスに応じた信号と、コンデンサレンズ制御
回路３０からの信号に関連させて一時的に記憶する。そ
して、該補正計算ユニット１９は、記憶されている加速
電圧と、ワーキングディスタンスと、コンデンサレンズ
の励磁量のアライメント値に基づき、他の加速電圧と、
ワーキングディスタンスと、コンデンサレンズの励磁量
におけるアライメント値を補間演算により求める。そし
て、全ての加速電圧と、ワーキングディスタンスと、コ
ンデンサレンズの励磁量の組み合わせに基づくアライメ
ント値が演算により求められ、データメモリー２０に記
憶される。 この後、電子ビームのアライメント調整時
には、微調整入力手段２３のみを操作して像観察が実行
され、アライメントコイル１１による電子ビームＥＢの
光軸合わせを行なう。即ち、加算回路２２でデータメモ
リー２０に記憶されているアライメント値に微調整入力
手段２３からの信号を加算したものをアライメントコイ
ル１１に供給し、電子ビームの光軸合わせを行なう。以
上の動作は、対物レンズ側のアライメントコイル１１’
についても同様である。
から送られてきたアライメント値を、加速電源５からの
加速電圧に応じた信号と、駆動回路１３からのワーキン
グディスタンスに応じた信号と、コンデンサレンズ制御
回路３０からの信号に関連させて一時的に記憶する。そ
して、該補正計算ユニット１９は、記憶されている加速
電圧と、ワーキングディスタンスと、コンデンサレンズ
の励磁量のアライメント値に基づき、他の加速電圧と、
ワーキングディスタンスと、コンデンサレンズの励磁量
におけるアライメント値を補間演算により求める。そし
て、全ての加速電圧と、ワーキングディスタンスと、コ
ンデンサレンズの励磁量の組み合わせに基づくアライメ
ント値が演算により求められ、データメモリー２０に記
憶される。 この後、電子ビームのアライメント調整時
には、微調整入力手段２３のみを操作して像観察が実行
され、アライメントコイル１１による電子ビームＥＢの
光軸合わせを行なう。即ち、加算回路２２でデータメモ
リー２０に記憶されているアライメント値に微調整入力
手段２３からの信号を加算したものをアライメントコイ
ル１１に供給し、電子ビームの光軸合わせを行なう。以
上の動作は、対物レンズ側のアライメントコイル１１’
についても同様である。
【００４３】以上本発明の実施の形態を詳述したが、本
発明はこの形態に限定されない。例えば、コンデンサレ
ンズ６に対する電子ビームのアライメント動作を例に説
明したが、加速電圧とワーキングディスタンス、又は加
速電圧とワーキングディスタンスとコンデンサレンズの
励磁量に応じて信号を変化させる必要のあるコンデンサ
レンズや対物レンズのスティグマコイルのセンタリング
補正や、対物レンズに対するビームのアライメント補正
等の全てのアライメント補正に本発明を用いることがで
きる。
発明はこの形態に限定されない。例えば、コンデンサレ
ンズ６に対する電子ビームのアライメント動作を例に説
明したが、加速電圧とワーキングディスタンス、又は加
速電圧とワーキングディスタンスとコンデンサレンズの
励磁量に応じて信号を変化させる必要のあるコンデンサ
レンズや対物レンズのスティグマコイルのセンタリング
補正や、対物レンズに対するビームのアライメント補正
等の全てのアライメント補正に本発明を用いることがで
きる。
【００４４】
【発明の効果】請求項１の発明では、電子銃の加速電圧
と対物レンズと試料との間の距離に応じてメモリーから
読み出されたデータと微調整入力手段からの信号とを加
算し、加算した信号により電子ビームを偏向する偏向手
段を偏向するように構成したので、装置起動時の段階か
らほぼ調整が終了した状態となり、また、加速電圧やワ
ーキングディスタンスを変えても直ちにほぼ適正な偏向
信号が偏向手段に供給され、オペレータは微調整入力手
段による微調整動作により簡単に正確な電子ビームのア
ライメント動作等を行うことができる。
と対物レンズと試料との間の距離に応じてメモリーから
読み出されたデータと微調整入力手段からの信号とを加
算し、加算した信号により電子ビームを偏向する偏向手
段を偏向するように構成したので、装置起動時の段階か
らほぼ調整が終了した状態となり、また、加速電圧やワ
ーキングディスタンスを変えても直ちにほぼ適正な偏向
信号が偏向手段に供給され、オペレータは微調整入力手
段による微調整動作により簡単に正確な電子ビームのア
ライメント動作等を行うことができる。
【００４５】特に、セミインレンズ形の走査電子顕微鏡
のように、偏向系が多段に存在する系においては、電子
ビームのアライメント操作を著しく少なくすることがで
きる。また、製造する走査電子顕微鏡の固体差を吸収で
き、出荷時の走査電子顕微鏡の品質の均等性も向上させ
ることができる。
のように、偏向系が多段に存在する系においては、電子
ビームのアライメント操作を著しく少なくすることがで
きる。また、製造する走査電子顕微鏡の固体差を吸収で
き、出荷時の走査電子顕微鏡の品質の均等性も向上させ
ることができる。
【００４６】請求項２の発明では、特定の電子銃の加速
電圧と対物レンズと試料との間の距離に応じた偏向手段
への信号を設定し、この設定された信号に基づいて補間
演算を行い、メモリーに記憶する全データを作成するよ
うに構成したので、偏向手段への膨大な信号データを短
時間に作成することができる。
電圧と対物レンズと試料との間の距離に応じた偏向手段
への信号を設定し、この設定された信号に基づいて補間
演算を行い、メモリーに記憶する全データを作成するよ
うに構成したので、偏向手段への膨大な信号データを短
時間に作成することができる。
【００４７】請求項３の発明では、メモリーに記憶され
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集するように構成したので、補間演算による部分的
なデータの間違いを簡単に補正処理することができる。
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集するように構成したので、補間演算による部分的
なデータの間違いを簡単に補正処理することができる。
【００４８】請求項４の発明では、電子銃の加速電圧
と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサレン
ズの励磁量に応じてメモリーから読み出されたデータと
微調整入力手段からの信号とを加算し、加算した信号に
より電子ビームを偏向する偏向手段を偏向するように構
成したので、装置起動時の段階からほぼ調整が終了した
状態となり、また、加速電圧やワーキングディスタンス
やコンデンサレンズの励磁量を変えても直ちにほぼ適正
な偏向信号が偏向手段に供給され、オペレータは微調整
入力手段による微調整動作により簡単に正確な電子ビー
ムのアライメント動作等を行うことができる。
と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサレン
ズの励磁量に応じてメモリーから読み出されたデータと
微調整入力手段からの信号とを加算し、加算した信号に
より電子ビームを偏向する偏向手段を偏向するように構
成したので、装置起動時の段階からほぼ調整が終了した
状態となり、また、加速電圧やワーキングディスタンス
やコンデンサレンズの励磁量を変えても直ちにほぼ適正
な偏向信号が偏向手段に供給され、オペレータは微調整
入力手段による微調整動作により簡単に正確な電子ビー
ムのアライメント動作等を行うことができる。
【００４９】特に、セミインレンズ形の走査電子顕微鏡
のように、偏向系が多段に存在する系においては、電子
ビームのアライメント操作を著しく少なくすることがで
きる。また、製造する走査電子顕微鏡の固体差を吸収で
き、出荷時の走査電子顕微鏡の品質の均等性も向上させ
ることができる。
のように、偏向系が多段に存在する系においては、電子
ビームのアライメント操作を著しく少なくすることがで
きる。また、製造する走査電子顕微鏡の固体差を吸収で
き、出荷時の走査電子顕微鏡の品質の均等性も向上させ
ることができる。
【００５０】請求項５の発明では、特定の電子銃の加速
電圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサ
レンズの励磁量に応じた偏向手段への信号を設定し、こ
の設定された信号に基づいて補間演算を行い、メモリー
に記憶する全データを作成するように構成したので、偏
向手段への膨大な信号データを短時間に作成することが
できる。
電圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コンデンサ
レンズの励磁量に応じた偏向手段への信号を設定し、こ
の設定された信号に基づいて補間演算を行い、メモリー
に記憶する全データを作成するように構成したので、偏
向手段への膨大な信号データを短時間に作成することが
できる。
【００５１】請求項６の発明では、メモリーに記憶され
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集するように構成したので、補間演算による部分的
なデータの間違いを簡単に補正処理することができる。
たデータを読み出して表示し、読み出されたデータを補
正編集するように構成したので、補間演算による部分的
なデータの間違いを簡単に補正処理することができる。
【図１】本発明に基づく走査電子顕微鏡の一例を示す図
である。
である。
【図２】加速電圧とワーキングディスタンスに応じたア
ライメント値を示す図である。
ライメント値を示す図である。
【図３】アライメント値変化曲線を示す図である。
【図４】本発明に基づく操作電子顕微鏡の他の例を示す
図である。
図である。
１ 電子銃 ５ 加速電源 ６ コンデンサレンズ ７ 対物レンズ ８ 試料 ９ 走査コイル １０ アパーチャ １１ アライメントコイル １１’アライメントコイル １２ 移動ステージ １３ 駆動回路 １４ ２次電子検出器 １５ 増幅器 １６ 陰極線管 １７ 粗調整手段 １８ スイッチ １９ 補正計算ユニット ２０ データメモリー ２１ 制御回路 ２２ 加算回路 ２３ 微調整入力手段
Claims (6)
- 【請求項１】 電子銃から発生し加速された電子ビーム
をコンデンサレンズと対物レンズとによって試料上に集
束し、更に、試料上で電子ビームを２次元的に走査し、
試料への電子ビームの照射に基づいて発生した信号を検
出し、検出信号に基づいて試料の走査像を表示するよう
にした走査電子顕微鏡において、電子銃から発生し加速
された電子ビームを偏向するための偏向手段と、電子銃
の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離の２種類の
パラメータに応じたデータを記憶するメモリーと、微調
整入力手段と、全体の動作を制御する制御手段と、電子
銃の加速電圧と対物レンズと試料との間の距離に応じて
メモリーから読み出されたデータと微調整入力手段から
の信号とを加算する加算回路とを具備し、該加算回路か
らの出力に基づき前記偏向手段に偏向信号を供給するよ
うに構成した走査電子顕微鏡。 - 【請求項２】 特定の電子銃の加速電圧と対物レンズと
試料との間の距離に応じた制御手段への信号を設定し、
この設定された信号に基づいて補間演算を行い、メモリ
ーに記憶する全データを作成するようにした請求項１記
載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】 メモリーに記憶されたデータを読み出し
て表示し、読み出されたデータを補正編集する手段を備
えた請求項２記載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項４】 電子銃から発生し加速された電子ビーム
をコンデンサレンズと対物レンズとによって試料上に集
束し、更に、試料上で電子ビームを２次元的に走査し、
試料への電子ビームの照射に基づいて発生した信号を検
出し、検出信号に基づいて試料の走査像を表示するよう
にした走査電子顕微鏡において、電子銃から発生し加速
された電子ビームを偏向するための偏向手段と、電子銃
の加速電圧と、対物レンズと試料との間の距離と、コン
デンサレンズの励磁量の３種類のパラメータに応じたデ
ータを記憶するメモリーと、微調整入力手段と、全体の
動作を制御する制御手段と、電子銃の加速電圧と、対物
レンズと試料との間の距離と、コンデンサレンズの励磁
量に応じてメモリーから読み出されたデータと微調整入
力手段からの信号とを加算する加算回路とを具備し、該
加算回路からの出力に基づき前記偏向手段に偏向信号を
供給するように構成した走査電子顕微鏡。 - 【請求項５】 特定の電子銃の加速電圧と、対物レンズ
と試料との間の距離と、コンデンサレンズの励磁量に応
じた制御手段への信号を設定し、この設定された信号に
基づいて補間演算を行い、メモリーに記憶する全データ
を作成するようにした請求項４記載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項６】 メモリーに記憶されたデータを読み出し
て表示し、読み出されたデータを補正編集する手段を備
えた請求項５記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8180738A JPH1027563A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 走査電子顕微鏡 |
| US08/890,149 US5831265A (en) | 1996-07-10 | 1997-07-09 | Scanning electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8180738A JPH1027563A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1027563A true JPH1027563A (ja) | 1998-01-27 |
Family
ID=16088456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8180738A Pending JPH1027563A (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5831265A (ja) |
| JP (1) | JPH1027563A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101195486B1 (ko) | 2011-11-14 | 2012-10-30 | 한국기계연구원 | 전자빔 피니싱 가공 또는 전자 현미경을 위한 일체형 전자 렌즈 구조물을 갖는 전자빔 주사장치 |
| WO2013129124A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6864493B2 (en) * | 2001-05-30 | 2005-03-08 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam alignment method and charged particle beam apparatus |
| GB2393571B (en) * | 2002-09-26 | 2007-03-21 | Leo Electron Microscopy Ltd | Improvements in and relating to the control of instruments |
| KR100507460B1 (ko) * | 2002-12-30 | 2005-08-08 | 전자빔기술센터 주식회사 | 마이크로컬럼의 엑스트렉터 및 엑스트렉터 구경과 전자방출원의 정렬방법 |
| WO2004059690A1 (en) * | 2002-12-30 | 2004-07-15 | Cebt Co., Ltd. | An extractor for an microcoloum, an alignment method for an extractor aperture to an electon emitter, and a measuring method and an alignment method using thereof |
| JP3979945B2 (ja) * | 2003-01-23 | 2007-09-19 | 日本電子株式会社 | 電子分光系を有した電子線装置 |
| JP5280174B2 (ja) * | 2008-12-10 | 2013-09-04 | 日本電子株式会社 | 電子線装置及び電子線装置の動作方法 |
| JP6901518B2 (ja) * | 2019-04-25 | 2021-07-14 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の光学系の制御方法 |
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