JPH10340947A - スピン処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は半導体ウエハのロック状態を簡単
な機構で解除できるようにしたスピン処理装置を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 回転体１２に周方向に所定間隔で回転自
在に立設され半導体ウエハＵを支持する支持ピン２１お
よび半導体ウエハの周辺部を保持するロックピン２２が
設けられた複数の保持部材１７と、回転体の下面側に回
転自在に設けられた親歯車２５と、各保持部材の下端部
にそれぞれ親歯車と噛合して設けられた子歯車２３と、
ロックピンが半導体ウエハを保持する回転方向に保持部
材を親歯車および子歯車を介して付勢した捩じりコイル
ばね２６と、親歯車の回転を阻止した状態でパルス制御
モ−タ９により回転体を保持部材に与えられた捩じりコ
イルばねによる付勢力に抗して回転させることでロック
ピンによる半導体ウエハの保持状態を解除する解除機構
３１とを具備したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はワ−クを回転させ
ながら洗浄処理したり乾燥処理するためのスピン処理装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、半導体装置や液晶表示装置の
製造過程においては、ワ−クとしての半導体ウエハや液
晶用ガラス基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プ
ロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスで
は、上記ワ−クの処理と洗浄とが繰り返し行われる。

【０００３】上記ワ−クの洗浄や乾燥を行うためにはス
ピン処理装置が用いられる。このスピン処理装置は、回
転モ−タによって回転駆動される回転体を有し、この回
転体の上面の周辺部には周方向に所定間隔で保持部材が
回転自在に突設されている。この保持部材の上端にはワ
−クの下面周辺部を支持する支持ピンと、上記保持部材
の回転によって偏心回転して上記支持ピンに支持された
ワ−クの周辺部に係合し、そのワ−クを保持するロック
ピンとが突設されている。

【０００４】上記保持部材は、ばねによって上記ロック
ピンがワ−クの外周面に係合する回転方向に付勢されて
いて、ワ−クを着脱するときには上記保持部材をばねの
付勢力に抗して回転させることで、ロックピンによるロ
ック状態が解除されるようになっている。

【０００５】上記ロックピンによるワ−クの保持状態を
解除するためには、上記保持部材を上記回転体と一体的
に設けられたリンク機構によって回転できるようにする
とともに、上記回転体の周辺部に上記リンク機構を作動
させてロックピンによるロック状態を解除するための解
除機構を配置する。

【０００６】そして、ワ−クの洗浄や乾燥などの処理が
終了して上記回転体の回転が停止したときに、上記解除
機構によって上記リンク機構を作動させることで、上記
ロックピンによるワ−クのロック状態を解除し、そのワ
−クを搬出して未処理のワ−クを供給するということが
行われる。

【０００７】上記リンク機構を作動させる場合、そのた
めのアクチュエ−タをまずリンク機構に係合させ、つい
で解除方向へ駆動しなければならない。したがって、上
記アクチュエ−タをリンク機構に係合させる方向へ駆動
するための駆動源と、解除方向へ駆動するための駆動源
とを必要とする。

【０００８】つまり、従来の構成によると、ロックピン
によるワ−クのロック状態を解除するためには、リンク
機構を作動させるための専用の２つの駆動源が必要とな
るから、部品点数の増大によるコストの上昇や構成の複
雑化を招くということがあった。しかも、上記解除機構
を回転体の周囲に配置しなければならないから、装置全
体が大型化するということもあった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のス
ピン処理装置においては、ワ−クのロック状態を解除す
るために、それ専用の２つの駆動源を用いなければなら
なかったので、部品点数の増大によるコストアップや構
成の複雑化、さらには装置の大型化を招くなどのことが
あった。

【００１０】この発明は、回転体を駆動する駆動手段を
利用してワ−クのロック状態を解除できるようにするこ
とで、構成の簡略化を計ることができるようにしたスピ
ン処理装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ワ−
クを保持して回転させることで処理するスピン処理装置
において、カップ体と、このカップ体内に配設された回
転体と、この回転体を回転駆動する駆動手段と、上記回
転体の径方向周辺部に周方向に所定間隔で回転自在に立
設され上端に上記ワ−クの下面周辺部を支持する支持ピ
ンおよび偏心回転して上記ワ−クの周辺部を保持するロ
ックピンが設けられた複数の保持部材と、上記回転体の
下面側にこの回転体に対して回転自在に設けられた親歯
車と、各保持部材の下端部にそれぞれ上記親歯車と噛合
して設けられた子歯車と、上記ロックピンが上記ワ−ク
の周辺部を保持する回転方向に上記保持部材を上記親歯
車および子歯車を介して弾性的に付勢した付勢手段と、
上記親歯車と係合しこの親歯車が上記回転体と一緒に回
転するのを阻止するとともに親歯車の回転を阻止した状
態で上記駆動手段により上記回転体を上記保持部材に与
えられた上記付勢手段による付勢力に抗して回転させる
ことで上記ロックピンによる上記ワ−クの保持状態を解
除する解除手段とを具備したことを特徴とする。

【００１２】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記ロックピンによるワ−クの保持状態が解除され
ているときに、上記回転体が上記付勢手段の復元力で回
転するのを阻止するブレ−キ手段が設けられていること
を特徴とする。

【００１３】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、上記駆動手段は、中空状の固定子と、この固定子の
内部に回転自在に設けられた中空軸状の回転子とからな
り、上記回転体は上記回転子の上端に取付けれていると
ともに中心部に通孔が形成されていて、この通孔には上
記回転体の保持部材に保持されたワ−クの下面に向けて
洗浄液を噴出する洗浄ノズルが配置されていることを特
徴とする。

【００１４】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、上記回転体の上面側であって、上記保持部材に保持
されるワ−クの下面側には、上記回転体の上面側を覆う
乱流防止カバ−が設けられていることを特徴とする。

【００１５】請求項１の発明によれば、解除手段を親歯
車に係合させたなら、回転体を回転駆動するための駆動
手段を作動させて回転体を所定角度回転させることで、
上記保持手段を上記付勢手段の付勢力に抗して回転させ
ることができるから、上記保持手段に設けられたロック
ピンによるワ−クのロック状態を解除することができ
る。

【００１６】請求項２の発明によれば、駆動手段を作動
させて回転体を所定角度回転させ、ロックピンによるワ
−クの保持状態を解除しているときに、上記駆動手段の
駆動力が消失しても、上記回転体が付勢手段の復元力に
よって回転してロックピンがワ−クを保持する方向に偏
心に回転するのが阻止される。

【００１７】請求項３の発明によれば、駆動手段の回転
子を中空軸状とし、その上端に中心部に通孔が形成され
た回転体を取付けるようにしたから、上記通孔に洗浄ノ
ズルを配置し、上記回転体に保持されたワ−クの下面を
洗浄処理することができるばかりか、回転体と駆動手段
とが同軸に設けられるから、これらをコンパクトに配置
して装置の小型化が計れる。

【００１８】請求項４の発明によれば、回転体の上面側
で、ワ−クの下面側に、回転体の上面の形状によって乱
流が発生するのを防止する乱流防止カバ−を設けたこと
で、たとえば洗浄時に発生するミスト状となった洗浄液
が舞い上がってワ−クの上面や下面に付着するのを防止
できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面を参照して説明する。図２に示すこの発明のスピン
処理装置はカップ体１を有する。このカップ体１は載置
板２上に設けられた下カップ３と、この下カップ３の上
側に図示しない上下駆動機構によって上下駆動自在に設
けられた上カップ４とからなる。

【００２０】上記下カップ３の底壁の中心部と載置板２
とにはこれらを貫通する通孔５が形成されており、また
上記下カップ３の周壁３ａは上記上カップ４の二重構造
の周壁４ａにスライド自在に嵌挿し、これら周壁によっ
てラビリンス構造をなしている。

【００２１】上記上カップ４の上面は開口していて、こ
の上カップ４が下降方向に駆動されることで、後述する
ようにカップ体１内で処理されたワ−クとしてのたとえ
ば半導体ウエハＵを取り出したり、未処理の半導体ウエ
ハＵを供給できるようになっている。さらに、上記下カ
ップ３の底壁には周方向に所定間隔で複数の排出管６の
一端が接続され、他端は図示しない吸引ポンプに連通し
ている。それによって、上記半導体ウエハＵを洗浄処理
したり、乾燥処理することで上記カップ体１内で飛散す
る洗浄液が排出されるようになっている。

【００２２】上記カップ体１の下面側にはベ−ス７が配
置されている。このベ−ス７には上記カップ体１の通孔
５と対応する位置に取付孔８が形成されていて、この取
付孔８には駆動手段を構成するパルス制御モ−タ９の固
定子９ａの上端部が嵌入固定されている。

【００２３】上記固定子９ａは筒状をなしていて、その
内部には同じく筒状の回転子９ｂが回転自在に嵌挿され
ている。この回転子９ｂの上端面には筒状の連結体１１
が下端面を接合させて一体的に固定されている。この連
結体１１の下端面には上記固定子９ａの内径寸法よりも
大径な鍔部１１ａが形成されている。この鍔部１１ａは
上記固定子９ａの上端面に摺動自在に接合しており、そ
れによって回転子９ｂの回転を阻止することなくこの回
転子９ａが固定子９ｂから抜けおちるのを規制してい
る。

【００２４】上記連結体１１は上記カップ体１の通孔５
からその内部に突出し、上端面には円板状の回転体１２
が取付け固定されている。この回転体１２は図１に示す
ように下板１３ａと上板１３ｂとを接合させた二重板構
造をなしていて、その中心部には通孔１４が形成されて
いる。

【００２５】上記下カップ３の通孔５の周辺部には環状
壁３ｂが突設され、上記回転体１２の外周面には上記環
状壁３ｂの外周面に内周面を対向させた環状壁１２ａが
垂設され、これら環状壁３ｂ、１２ａに洗浄液が回転体
１２の下面側に回り込むのを防止するラビリンス構造を
なしている。

【００２６】上記回転体１２の上面には周方向に所定間
隔、この実施の形態では６０度間隔で６つのボス部１５
が突設されている。このボス部１５には滑り軸受１６が
嵌挿されていて、この滑り軸受１６には保持部材１７が
回転自在に挿入支持されている。

【００２７】上記保持部材１７は図１に示すように上部
が上記ボス部１５の外径寸法とほぼ同径の大径部１８に
形成され、この大径部１８の下面に上記滑り軸受１６に
支持される軸部１９が一体形成されてなる。上記大径部
１８の上面には中心部に円錐状の支持ピン２１が突設さ
れ、径方向周辺部である偏心位置には逆テ−パ状のロッ
クピン２２が突設されている。

【００２８】上記６本の保持部材１７の支持ピン２１上
には上記半導体ウエハＵが下面を支持されて載置され
る。その状態で図３に示すように上記ロックピン２２が
半導体ウエハＵの外周面に当接することで、その半導体
ウエハＵは回転体１２と一体的に保持されるようになっ
ている。後述するように、回転体１２が回転（公転）す
ることで、上記保持部材１７が同図にＸで示す状態から
鎖線で示すＹの状態へ回転（自転）すると、上記ロック
ピン２２が保持部材１７の回転中心に対して偏心回転す
るから、上記ロックピン２２による上記半導体ウエハＵ
の保持状態が解除されるようになっている。

【００２９】図１に示すように上記保持部材１７の各軸
部１９の下端部は回転体１２の下面から突出し、その下
端部にはセクタギヤからなる子歯車２３が嵌合固定され
ている。各子歯車２３は上記連結体１１の外周面に軸受
２４によって回転自在に設けられた平歯車からなる親歯
車２５に噛合している。この親歯車２５は図３に示すよ
うに、６つの子歯車２３と対応する間隔で６つの凸部２
５ａが周方向に所定間隔で形成されてなり、各凸部２５
ａの先端外周面には上記子歯車２３に噛合する歯が形成
されている。

【００３０】上記連結体１１の外周面には付勢手段とし
ての捩じりコイルばね２６が装着されている。この捩じ
りコイルばね２６は一端を上記連結体１１に係合させ、
他端を上記親歯車２５に係合させることで、上記親歯車
２５を図３に矢印Ａで示す回転方向（反時計方向）に付
勢している。それによって、上記子歯車２３は同図に矢
印Ｂで示す時計方向に付勢されるから、この子歯車２３
の回転に保持部材１７が連動し、上記ロックピン２２が
回転体１２の中心方向へ偏心回転して半導体ウエハＵの
外周面に当接するようになっている。

【００３１】上記ロックピン２２による半導体ウエハＵ
のロック状態は図２に示す解除機構３１によって解除さ
れるようになっている。この解除機構３１はガイド付き
の解除シリンダ３２を有する。この解除シリンダ３２は
上記固定子９ａの下端面に一端を固定したほぼＬ字状の
ブラケット３３の他端に軸線を垂直にして取付けられて
いる。

【００３２】上記解除シリンダ３２の駆動軸３４にはア
−ム３５の下端が連結されている。このア−ム３５の上
端部は上記ベ−ス７に形成された挿通孔７ａを通されて
上記親歯車２５の下面側近傍まで延出され、その上端に
は解除ピン３６が垂直に立設されている。

【００３３】図３に示すように上記保持部材１７のロッ
クピン２２が半導体ウエハＵの外周面に当接してこの半
導体ウエハＵが保持された状態において、上記解除シリ
ンダ３２が作動してその駆動軸３４が突出方向に駆動さ
れ、その動きにア−ム３５が連動すると、このア−ム３
５の上端に設けられた解除ピン３６は上記親歯車２５の
１つの凸部２５ａの側面に係合し、上記親歯車２５が矢
印Ａ方向に回転するのを阻止するようになっている。

【００３４】上記解除ピン３６によって親歯車２５の矢
印Ａ方向の回転が阻止された状態で、パルス制御モ−タ
９を駆動してその回転子９ｂを図３に示す矢印Ｃ方向へ
回転させると、上記回転体１２が捩じりコイルばね２６
の付勢力に抗して連結体１１とともに回転する。

【００３５】上記回転体１２を矢印Ｃ方向へ角度θ回転
させると、親歯車２５は回転体１２と一体的に回転せ
ず、回転体１２だけが回転子９ｂとともに角度θ回転す
る。それによって、上記親歯車２５に噛合した上記子歯
車２３は回転体１２とともに公転しながら自転するか
ら、この子歯車２３と一体的に設けられた保持部材１７
は矢印Ｂ方向と逆方向である反時計方向に回転する。そ
の結果、保持部材１７は図３にＸで示す状態からＹで示
す状態になり、ロックピン２２は半導体ウエハＵの外周
面から離れる方向へ偏心回転するから、このロックピン
２２による半導体ウエハＵの保持状態が解除されること
になる。

【００３６】なお、上記回転子９ｂの下端面には図２に
示すようにゲ−ジ３７が設けられ、このゲ−ジ３７は上
記固定子９ａの下端面に設けられたセンサ３８によって
検出される。センサ３８がゲ−ジ３７を検出した位置が
上記回転子９ｂの回転角度の原点として認識され、その
認識に基づいて上記回転子９ｂの回転角度が制御される
ようになっている。

【００３７】上記回転子９ｂの内部には中空状の固定軸
４１が挿通されている。この固定軸４１の下端部は上記
パルス制御モ−タ９の下方に配置された支持部材４２の
取付孔４２ａに嵌入固定されている。上記支持部材４２
にはブレ−キシリンダ４３が軸線を垂直にして取付けら
れている。このブレ−キシリンダ４３の駆動軸４４には
ブレ−キシュ−４５ａが取付けられている。

【００３８】上記ブレ−キシリンダ４３が作動してその
駆動軸４４が上昇方向に駆動されると、ブレ−キシュ−
４５ａは上記回転子９ｂの下端面に設けられたブレ−キ
ディスク４５ｂに圧接してこの回転子９ｂの回転を阻止
するようになっている。

【００３９】すなわち、回転子９ｂに上記捩じりコイル
ばね２６の復元力が加わっているとき、つまり回転体１
２を捩じりコイルばね２６の付勢力に抗してパルス制御
モ−タ９により矢印Ｃ方向に角度θだけ回転させ、ロッ
クピン２２による半導体ウエハＵのロック状態を解除し
ているときに、たとえば停電などでパルス制御モ−タ９
の駆動力が消失しても、上記回転体１２が捩じりコイル
ばね２６の復元力によって矢印Ｃ方向と逆方向へ戻るの
を阻止している。

【００４０】上記ロックピン２２による半導体ウエハＵ
のロック状態を解除した状態において、図示しないロボ
ットにより、上記回転体１２から処理された半導体ウエ
ハＵが搬出されたり、未処理の半導体ウエハＵが供給さ
れる。

【００４１】そのため、ロボットによる半導体ウエハＵ
の搬出、供給時に停電などが生じても、回転体１２が捩
じりコイルばね２６の復元力によって矢印Ｃ方向と逆方
向へ回転して戻ることがないから、回転体１２に立設さ
れた保持部材１７の位置が変化することもない。

【００４２】したがって、上記ブレ−キシリンダ４３に
より、停電時などに、保持部材１７の間から半導体ウエ
ハＵの下面側に導入されるロボットのア−ムが保持部材
１７にぶつかり、半導体ウエハＵの搬出、供給作業が不
能になるのを防止できるようになっている。

【００４３】上記固定軸４１の上端部は上記回転体１２
の通孔１４に通されている。この固定軸４１の上端には
ノズルヘッド４６が嵌入固定されている。このノズルヘ
ッド４６は回転体１２の上面側に突出していて、その外
周部には上記通孔１４の周辺部に突設された環状壁４７
を内部に収容した環状溝４８が下面に開放して形成され
ている。つまり、環状壁４７と環状溝４８とでラビリン
ス構造を形成しており、回転体１２の上面側で飛散する
洗浄液などが通孔１４を通り、固定軸４１に沿ってカッ
プ体１の外部へ流出するのを阻止している。

【００４４】上記ノズルヘッド４６には中心部に第１の
ノズル孔５１が穿設され、この第１のノズル孔５１の周
囲には３つの第２のノズル孔５２が穿設されている。第
１のノズル孔５１の下端には窒素などの乾燥用の気体を
供給するための第１の供給チュ−ブ５３が接続され、上
記第２のノズル孔５２には洗浄液を供給するための第２
の供給チュ−ブ５４が接続されている。これらチュ−ブ
５３、５４は上記固定軸４１の内部を通されて外部に導
出され、それぞれ図示しない供給源に接続されている。

【００４５】上記第２のノズル孔５２の上端には洗浄液
の噴射方向や広がり角度を設定するための下部洗浄ノズ
ル５５が取付けられている。上記第１、第２のノズル孔
５１、５１からは気体や液体が上記保持部材１７に保持
された半導体ウエハＵの下面に向かって噴射される。そ
れによって、半導体ウエハＵの下面を洗浄したり、乾燥
させることこができるようになっている。

【００４６】なお、半導体ウエハＵの上面側には、図示
しないがこの上面を乾燥したり、洗浄するための上部乾
燥ノズルと上部洗浄ノズルとが配置されている。さら
に、上記回転体１２の上面側には乱流防止カバ−５６が
設けられている。この乱流防止カバ−５６は上記保持部
材１７に保持された半導体ウエハＵの下面側に位置し、
周辺部には上記保持部材１７の上部を露出させる第１の
開口５７が形成され、中心部には上記ノズルヘッド４６
の各ノズル孔５１、５２を露出させる第２の開口５８が
形成されている。

【００４７】上記乱流防止カバ−５６によって回転体１
２の凹凸状の上面が覆われている。それによって、回転
体１２の回転に伴う乱流の発生が抑制されるから、半導
体ウエハＵを洗浄した塵埃を含む洗浄液がカップ体１内
であらゆる方向に飛散し、たとえば半導体ウエハＵの下
面側に舞い込んで付着するのを防止できるようになって
いる。とくに、上記乱流防止カバ−５６の上面と半導体
ウエハＵの下面との間隔を所定の間隔に設定すると、乱
流の抑制効果が高くなる。

【００４８】つぎに、上記構成のスピン処理装置によっ
て半導体ウエハＵを洗浄処理する場合について図１乃至
図３を参照して説明する。半導体ウエハＵを回転体１２
に供給する前には、保持部材１７のロックピン２２はア
ンロック状態になっている。つまり、解除シリンダ３２
が作動して解除ピン３６が親歯車２５の凸部２５ａの側
面に係合した状態で回転体１２がパルス制御モ−タ９に
よって図３に矢印Ｃで示す方向に捩じりコイルばね２６
の付勢力に抗して角度θ回転させられている。それによ
って、保持部材１７が回転するから、ロックピン２２が
偏心回転し、このロックピン２２は支持ピン２１に支持
される半導体ウエハＵの外周面よりも所定寸法径方向外
方の離れた位置にある。

【００４９】ロックピン２２がアンロック状態にあると
き、上記回転体１２上に未処理の半導体ウエハＵが図示
しないロボットによってそのア−ムを保持部材１７の間
を通して供給される。つまり、半導体ウエハＵを保持し
たア−ムは回転体１２の上面へ進入してから下降し、半
導体ウエハＵをア−ムから支持ピン２１に受け渡し、つ
いで後退することで上記半導体ウエハＵの供給が完了す
る。

【００５０】半導体ウエハＵの供給時にはブレ−キシリ
ンダ４３が作動してブレ−キシュ−４５ａがブレ−キデ
ィスク４５ｂに圧接し、回転子９ｂの回転を阻止してい
る。そのため、半導体ウエハＵの供給時に停電などが生
じても、上記回転子９ｂが捩じりコイルばね２６の復元
力によって矢印Ｃ方向と逆方向に回転するのが防止され
る。

【００５１】したがって、上記ブレ−キシリンダ４３に
よって回転体１２の回転角度が一定に維持されるから、
停電等が生じてパルス制御モ−タ９の駆動力が消失して
も、回転体１２が回転してロボットのア−ムが保持部材
１７にぶつかり、半導体ウエハＵの供給ができなくなる
ということがない。

【００５２】回転体１２に半導体ウエハＵが供給された
なら、解除シリンダ３２の駆動を解除し、解除ピン３６
を親歯車２５の凸部２５ａから外す。それによって、親
歯車２５は捩じりコイルばね２６の付勢力によって矢印
Ａ方向へ回転するから、この親歯車２５により子歯車２
３が保持部材１７とともに矢印Ｂ方向に回転させられ
る。

【００５３】保持部材１７が矢印Ｂ方向に回転すれば、
この保持部材１７に設けられたロックピン２２が半導体
ウエハＵの外周面に当接する方向へ偏心回転するから、
上記半導体ウエハＵがロックピン２２によって保持され
ることになる。

【００５４】半導体ウエハＵをロックピン２２によって
保持したならば、ブレ−キシリンダ４３の駆動を解除し
てブレ−キシュ−４５ａによる回転子９ｂの回転阻止状
態も解除する。ついで、パルス制御モ−タ９を作動させ
て回転体１２を高速回転させるとともに、半導体ウエハ
Ｕの上面および必要に応じて下面とにそれぞれ洗浄液を
供給することで、この半導体ウエハＵの上下面を洗浄す
ることができる。

【００５５】上記半導体ウエハＵの下面側には乱流防止
カバ−５６が設けられ、回転体１２が高速回転しても、
その上面の凹凸形状によって乱流が発生するのを防止す
る。そのため、半導体ウエハＵを洗浄して塵埃を含んだ
洗浄液は、排出管６から円滑に排出されるから、カップ
体１内で舞い上がって半導体ウエハＵに再付着するのが
防止される。

【００５６】半導体ウエハＵの洗浄が終了したならば、
その上下面に乾燥用の気体を供給しながら高速回転させ
ることで乾燥処理する。乾燥処理が終了したならば、回
転体１２の回転を停止し、ついでセンサ３８がゲ−ジ３
７を検出する原点位置まで上記回転体１２をパルス駆動
する。回転体１２を原点位置まで回転させたなら、解除
シリンダ３２を作動させて解除ピン３６を親歯車２５の
凸部２５ａの側面に係合させる。

【００５７】ついで、パルス制御モ−タ９の回転子９ｂ
を所定のパルス数だけ回転させ、回転体１２を捩じりコ
イルばね２６の付勢力に抗して矢印Ｃ方向へ角度θ回転
させる。つまり、親歯車２５の回転を解除ピン３６で阻
止して回転体１２だけを回転させることで、この回転体
１２を捩じりコイルばね２６の付勢力に抗して回転させ
ることができる。

【００５８】それによって、上記親歯車２５に噛合した
子歯車２３が回転体１２とともに公転しながら自転し、
その自転に保持部材１７が連動して矢印Ｂと逆方向に回
転するから、ロックピン２２による半導体ウエハＵのロ
ック状態が解除される。

【００５９】半導体ウエハＵのロック状態が解除された
ならば、ブレ−キシリンダ４３を作動させて回転子９ｂ
を固定し、回転体１２が捩じりコイルばね２６の復元力
で矢印Ｃ方向と逆方向に回転するのを阻止したならば、
図示しないロボットによってカップ体１内の処理された
半導体ウエハＵを回転体１２から取り出す。

【００６０】処理された半導体ウエハＵを回転体１２か
ら取り出したならば、未処理の半導体ウエハＵを供給
し、上述した工程を繰り返すことで、その半導体ウエハ
Ｕの洗浄処理および乾燥処理を行うことができる。

【００６１】上記構成のスピン処理装置によれば、回転
体１２に供給されてロックピン２２により保持された半
導体ウエハＵのロック状態の解除は、解除ピン３６を解
除シリンダ３２によって駆動して親歯車２５に係合させ
たならば、回転体１２を回転駆動するパルス制御モ−タ
９によって上記回転体１２を捩じりコイルばね２６の付
勢力に抗して回転させることで行える。

【００６２】つまり、回転体１２を回転駆動するパルス
制御モ−タ９を利用して半導体ウエハＵのロック状態を
解除できるようにしたから、その分、部品点数を少なく
することができ、それによって装置全体の小型化やコス
トダウンが計れる。

【００６３】上記パルス制御モ−タ９は固定子９ａと回
転子９ｂとが筒状に形成されているものを用いたので、
回転体１２と同軸に設けることができる。そのため、パ
ルス制御モ−タ９を回転体１２の径方向外方に突出させ
ることなく配置できるから、そのことによっても装置の
小型化を計ることができる。

【００６４】しかも、固定子９ａと回転子９ｂとが筒状
であることにより、回転子９ｂの内部に固定軸４１を通
し、その上端に回転体１２の通孔１４からその上面側に
突出したノズルヘッド４６を取付けることができる。こ
のノズルヘッド４６は半導体ウエハＵの下面に対向す
る。

【００６５】そのため、上記ノズルヘッド４６に下部洗
浄ノズル５５を設けたり、乾燥用気体を供給するための
第１のノズル孔５１を形成することで、半導体ウエハＵ
の下面に洗浄液や乾燥用の気体を噴射させることができ
る。

【００６６】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、解除手段を親
歯車に係合させ、この親歯車の回転を阻止したならば、
回転体を回転駆動するための駆動手段を作動させて回転
体を所定角度回転させることで、ワ−クを保持した保持
手段を、ワ−クを保持する方向に付勢した付勢手段の付
勢力に抗して回転させることができるようにした。

【００６７】そのため、上記保持手段に設けられたロッ
クピンによるワ−クのロック状態を回転体を回転駆動す
るための駆動手段を利用して解除できるから、従来に比
べて部品点数の減少や構成の簡略化を計ることができ
る。

【００６８】請求項２の発明によれば、ロックピンによ
るワ−クのロック状態を解除し、上記回転体に対してロ
ボットなどにより未処理のワ−クを供給したり、処理さ
れたワ−クを取り出しているときに、停電などが生じて
駆動手段の駆動力が消失しても、ブレ−キ手段によって
回転体が付勢手段の復元力で回転するのを阻止できるよ
うにしたから、ロボットが回転体に設けられた保持部材
にぶつかってこのロボットによるワ−クの供給や取り出
し作業ができなくなるのを防止できる。

【００６９】請求項３の発明によれば、駆動手段の回転
子を中空軸状とし、その上端に中心部に通孔が形成され
た回転体を取付けることで、上記通孔に洗浄ノズルを配
置することが可能となるから、上記回転体に保持された
ワ−クの下面を洗浄処理することができる。

【００７０】しかも、回転体と駆動手段とを同軸に設け
ることができるから、駆動手段を回転体の径方向外方に
配置する場合に比べて装置全体を小型化することが可能
となる。

【００７１】請求項４の発明によれば、回転体の上面側
であって、しかもワ−クの下面側には、回転体の上面を
覆う乱流防止カバ−を設けたから、この乱流防止カバ−
によって回転体の上面が凹凸形状であっても、その形状
により回転体が高速回転したときに乱流が発生するのを
防止することができる。

【００７２】そのため、たとえば上記ワ−クの洗浄時
に、塵埃を含む洗浄液がカップ体内であらゆる方向に不
規則に飛散してワ−クの上面や裏面に再付着するのを防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態を示す回転体の部分の
拡大断面図。

【図２】同じく全体構成を示す縦断面図。

【図３】同じく乱流防止カバ−を除去した回転体の平面
図。

【符号の説明】

１…カップ体 ９…パルス制御モ−タ（駆動手段、解除手段） ９ａ…固定子 ９ｂ…回転子 １２…回転体 １４…通孔 １７…保持部材 ２１…支持ピン ２２…ロックピン ２３…子歯車 ２５…親歯車 ２６…捩じりコイルばね（付勢手段） ３１…解除機構（解除手段） ４３…ブレ−キシリンダ（ブレ−キ手段） ４５ａ…ブレ−キシュ−（ブレ−キ手段） ４５ｂ…ブレ−キディスク（ブレ−キ手段） ５６…乱流防止カバ−

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワ−クを保持して回転させることで処理
   するスピン処理装置において、 カップ体と、 このカップ体内に配設された回転体と、 この回転体を回転駆動する駆動手段と、 上記回転体の径方向周辺部に周方向に所定間隔で回転自
   在に立設され上端に上記ワ−クの下面周辺部を支持する
   支持ピンおよび偏心回転して上記ワ−クの周辺部を保持
   するロックピンが設けられた複数の保持部材と、 上記回転体の下面側にこの回転体に対して回転自在に設
   けられた親歯車と、 各保持部材の下端部にそれぞれ上記親歯車と噛合して設
   けられた子歯車と、 上記ロックピンが上記ワ−クの周辺部を保持する回転方
   向に上記保持部材を上記親歯車および子歯車を介して弾
   性的に付勢した付勢手段と、 上記親歯車と係合しこの親歯車が上記回転体と一緒に回
   転するのを阻止するとともに親歯車の回転を阻止した状
   態で上記駆動手段により上記回転体を上記保持部材に与
   えられた上記付勢手段による付勢力に抗して回転させる
   ことで上記ロックピンによる上記ワ−クの保持状態を解
   除する解除手段とを具備したことを特徴とするスピン処
   理装置。
2. 【請求項２】 上記ロックピンによるワ−クの保持状態
   が解除されているときに、上記回転体が上記付勢手段の
   復元力で回転するのを阻止するブレ−キ手段が設けられ
   ていることを特徴とする請求項１記載のスピン処理装
   置。
3. 【請求項３】 上記駆動手段は、中空状の固定子と、こ
   の固定子の内部に回転自在に設けられた中空軸状の回転
   子とからなり、 上記回転体は上記回転子の上端に取付けれているととも
   に中心部に通孔が形成されていて、 この通孔には上記回転体の保持部材に保持されたワ−ク
   の下面に向けて洗浄液を噴出する洗浄ノズルが配置され
   ていることを特徴とする請求項１記載のスピン処理装
   置。
4. 【請求項４】 上記回転体の上面側であって、上記保持
   部材に保持されるワ−クの下面側には、上記回転体の上
   面側を覆う乱流防止カバ−が設けられていることを特徴
   とする請求項１記載のスピン処理装置。