JPH1034794A - 被覆済み物品 - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 323
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 323
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 100
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 60
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 60
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 60
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 17
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 231
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 115
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 108
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 107
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 107
- BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N zinc;dioxido(oxo)tin Chemical compound [Zn+2].[O-][Sn]([O-])=O BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 75
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 63
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 52
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 50
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 48
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 33
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 27
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 26
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000005496 tempering Methods 0.000 claims description 23
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 17
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 7
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- GZCWPZJOEIAXRU-UHFFFAOYSA-N tin zinc Chemical compound [Zn].[Sn] GZCWPZJOEIAXRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 451
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 107
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 24
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 22
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 20
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 17
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 16
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 11
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000001341 grazing-angle X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N aluminum zinc oxygen(2-) Chemical group [O-2].[Al+3].[Zn+2] JYMITAMFTJDTAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000000611 regression analysis Methods 0.000 description 3
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006384 Airco Polymers 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000002447 crystallographic data Methods 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 2
- 239000005344 low-emissivity glass Substances 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N oxotin;zinc Chemical compound [Zn].[Sn]=O KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 2
- 238000004826 seaming Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000238557 Decapoda Species 0.000 description 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910000611 Zinc aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N [O].[Ar] Chemical compound [O].[Ar] VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N alumane;zinc Chemical compound [AlH3].[Zn] HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005347 annealed glass Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003251 chemically resistant material Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dizinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].[Zn+2].[Zn+2] JAONJTDQXUSBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- WSUTUEIGSOWBJO-UHFFFAOYSA-N dizinc oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zn+2].[Zn+2] WSUTUEIGSOWBJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001803 electron scattering Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 1
- -1 for example Chemical class 0.000 description 1
- 239000005349 heatable glass Substances 0.000 description 1
- 238000002173 high-resolution transmission electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical group [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 239000002362 mulch Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940063746 oxygen 20 % Drugs 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 1
- OGFYIDCVDSATDC-UHFFFAOYSA-N silver silver Chemical compound [Ag].[Ag] OGFYIDCVDSATDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N tin(ii) oxide Chemical class [Sn]=O QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
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-
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被覆済み物品を提供すること。
【解決手段】 高い透過率、低い放射率の被覆済み物品
であって、透明な非金属性基体と；１つのレベルが他の
レベルよりも低い、２つのレベルの電気抵抗を有し、２
つのレベルの中の低い方のレベル状態にある赤外線反射
性の金属フィルムと；基体と金属フィルムとの間の誘電
性非反射性のベースフィルムとを含み、該ベースフィル
ムが、金属フィルムと接触する第１物質の結晶質金属接
触フィルム部分であって、金属フィルムと調和する結晶
質フィルム部分と、第１物質以外の第２物質を含むサポ
ートフィルム部分とを含む被覆済み物品。
であって、透明な非金属性基体と；１つのレベルが他の
レベルよりも低い、２つのレベルの電気抵抗を有し、２
つのレベルの中の低い方のレベル状態にある赤外線反射
性の金属フィルムと；基体と金属フィルムとの間の誘電
性非反射性のベースフィルムとを含み、該ベースフィル
ムが、金属フィルムと接触する第１物質の結晶質金属接
触フィルム部分であって、金属フィルムと調和する結晶
質フィルム部分と、第１物質以外の第２物質を含むサポ
ートフィルム部分とを含む被覆済み物品。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は一般に、高い透過率
と低い放射率とを有する多層フィルム又は被膜の技術分
野と、このようなフィルム又は被膜で被覆された物品と
に関し、より詳しくは、金属及び金属酸化物から形成さ
れ、透明な基体上に付着されたこのような被膜又はフィ
ルムに関する。
と低い放射率とを有する多層フィルム又は被膜の技術分
野と、このようなフィルム又は被膜で被覆された物品と
に関し、より詳しくは、金属及び金属酸化物から形成さ
れ、透明な基体上に付着されたこのような被膜又はフィ
ルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】高透過率、低放射率のフィルム又は被膜
は一般に、可視光線反射率を減ずるために誘電性非反射
性フィルム又は被膜の間に挿入された、赤外線反射率と
低い放射率とを生じる反射性金属フィルム又は層を包含
する。これらの多層被膜は典型的に、カソードスパッタ
ーリング、特にマグネトロンスパッターリングによって
製造される。
は一般に、可視光線反射率を減ずるために誘電性非反射
性フィルム又は被膜の間に挿入された、赤外線反射率と
低い放射率とを生じる反射性金属フィルム又は層を包含
する。これらの多層被膜は典型的に、カソードスパッタ
ーリング、特にマグネトロンスパッターリングによって
製造される。
【０００３】Ｇｉｌｌｅｒｙへの米国特許第４，６１
０，７７１号は、亜鉛−スズ合金の酸化物のフィルム組
成物と、高透過率、低放射率の被膜として用いるための
銀層と亜鉛−スズ酸化物層との多層フィルムとを提供す
る。この酸化物フィルムはスズ酸亜鉛（Ｚｎ2 Ｓｎ
Ｏ4 ）の組成を有すると考えられるが、この正確な組成
から変動する可能性がある。Ｆｉｎｌｅｙへの米国特許
第４，８０６，２２０号は、高温加工に適した多層フィ
ルム被膜を開示する。この被膜の種類は、５０Å厚さま
での通常より大きい厚さの反射性金属層の上下の両方に
金属プライマー層（例えば、チタンプライマー層）を用
いる。
０，７７１号は、亜鉛−スズ合金の酸化物のフィルム組
成物と、高透過率、低放射率の被膜として用いるための
銀層と亜鉛−スズ酸化物層との多層フィルムとを提供す
る。この酸化物フィルムはスズ酸亜鉛（Ｚｎ2 Ｓｎ
Ｏ4 ）の組成を有すると考えられるが、この正確な組成
から変動する可能性がある。Ｆｉｎｌｅｙへの米国特許
第４，８０６，２２０号は、高温加工に適した多層フィ
ルム被膜を開示する。この被膜の種類は、５０Å厚さま
での通常より大きい厚さの反射性金属層の上下の両方に
金属プライマー層（例えば、チタンプライマー層）を用
いる。
【０００４】高透過率フィルムと、最小の放射率と低い
電気抵抗と改良された剪断抵抗とを有し、改良された耐
候性を示し、高温加工に耐えることができ、反射性金属
層の下のチタンプライマー層の使用を回避することがで
きるようなフィルムで被覆された物品とを得ることが望
ましい。代替的に、１つの層より多い反射性金属層が存
在する場合には、いずれの反射性金属層の基体近位側に
隣接するチタンプライマーの使用も回避することが望ま
しい。
電気抵抗と改良された剪断抵抗とを有し、改良された耐
候性を示し、高温加工に耐えることができ、反射性金属
層の下のチタンプライマー層の使用を回避することがで
きるようなフィルムで被覆された物品とを得ることが望
ましい。代替的に、１つの層より多い反射性金属層が存
在する場合には、いずれの反射性金属層の基体近位側に
隣接するチタンプライマーの使用も回避することが望ま
しい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、金属反射性
フィルムの基体近位側、即ち、基体と平行に面する関係
にある金属反射性フィルムの側の上の少なくとも２つの
部分から成る非反射性ベースフィルムを特徴とする、透
明な基体上の高透過率、低放射性の多層被膜に関する。
２つの部分の中の第１部分は金属フィルムと接触する。
この第１フィルム部分は金属フィルムを低い抵抗構造と
して付着させるために結晶性を有する。２つのフィルム
部分の第２部分は第１部分を支持し、化学的かつ熱的に
より耐久性であり、好ましくは非晶質物質である。本発
明は単一金属反射性フィルムを有する被膜と多重金属反
射性フィルムを有する被膜の両方を包含し、後者の場合
には本発明の新規なベースフィルムは多重金属フィルム
の１つのみに又は幾つかに又は全てに適用することがで
きる。
フィルムの基体近位側、即ち、基体と平行に面する関係
にある金属反射性フィルムの側の上の少なくとも２つの
部分から成る非反射性ベースフィルムを特徴とする、透
明な基体上の高透過率、低放射性の多層被膜に関する。
２つの部分の中の第１部分は金属フィルムと接触する。
この第１フィルム部分は金属フィルムを低い抵抗構造と
して付着させるために結晶性を有する。２つのフィルム
部分の第２部分は第１部分を支持し、化学的かつ熱的に
より耐久性であり、好ましくは非晶質物質である。本発
明は単一金属反射性フィルムを有する被膜と多重金属反
射性フィルムを有する被膜の両方を包含し、後者の場合
には本発明の新規なベースフィルムは多重金属フィルム
の１つのみに又は幾つかに又は全てに適用することがで
きる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】より詳しくは、本発明
は、高透過率、低放射率の被覆済み物品であって、透明
な非金属性基体と；該基体上に付着した誘電性非反射性
ベースフィルムであって、結晶質金属接触フィルム部分
とサポートフィルム部分とを包含し、該サポートフィル
ム部分が基体上にあって、基体と接触する可能性があ
り、該サポートフィルム部分が結晶質金属接触フィルム
部分以外の物質を含む誘電性非反射性ベースフィルム
と；該ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分上
に付着した金属反射性フィルムと；該金属反射性フィル
ム上に付着したプライマーフィルムと；該プライマーフ
ィルム上に付着した誘電性非反射性フィルムとを有する
物品に関する。
は、高透過率、低放射率の被覆済み物品であって、透明
な非金属性基体と；該基体上に付着した誘電性非反射性
ベースフィルムであって、結晶質金属接触フィルム部分
とサポートフィルム部分とを包含し、該サポートフィル
ム部分が基体上にあって、基体と接触する可能性があ
り、該サポートフィルム部分が結晶質金属接触フィルム
部分以外の物質を含む誘電性非反射性ベースフィルム
と；該ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分上
に付着した金属反射性フィルムと；該金属反射性フィル
ム上に付着したプライマーフィルムと；該プライマーフ
ィルム上に付着した誘電性非反射性フィルムとを有する
物品に関する。
【０００７】本発明の代替実施態様では、誘電性非反射
性フィルム上に外部保護オーバーコート層を付着させ
る。本発明の好ましい実施態様では、透明な非金属性基
体がガラスであり、サポートフィルム部分がスズ酸亜鉛
フィルムであり、結晶質金属接触フィルム部分が酸化亜
鉛フィルムであり、金属反射性フィルムが銀フィルムで
あり、プライマーフィルムがチタン金属として付着さ
れ、誘電性非反射性フィルムがスズ酸亜鉛フィルムであ
り、外部保護オーバーコート層が酸化チタンフィルムで
ある。
性フィルム上に外部保護オーバーコート層を付着させ
る。本発明の好ましい実施態様では、透明な非金属性基
体がガラスであり、サポートフィルム部分がスズ酸亜鉛
フィルムであり、結晶質金属接触フィルム部分が酸化亜
鉛フィルムであり、金属反射性フィルムが銀フィルムで
あり、プライマーフィルムがチタン金属として付着さ
れ、誘電性非反射性フィルムがスズ酸亜鉛フィルムであ
り、外部保護オーバーコート層が酸化チタンフィルムで
ある。
【０００８】本発明の被覆済み物品は上記ベースフィル
ムと組合せて又はこれとは独立的に、Ｆｉｎｌｅｙへの
上記米国特許第４，８０６，２２０号の厚いプライマー
層又はフィルムの新たに開示された、特に有利な部分範
囲をも特徴とする。
ムと組合せて又はこれとは独立的に、Ｆｉｎｌｅｙへの
上記米国特許第４，８０６，２２０号の厚いプライマー
層又はフィルムの新たに開示された、特に有利な部分範
囲をも特徴とする。
【０００９】専門用語と測定方法 本明細書で結晶面に言及する場合には、中括弧、即ち
｛ ｝内の平面指標(planar indices)の表示はその形態
のあらゆる面の基準である。この規則は、例えばＣｕｌ
ｌｉｔｙの“Ｅｌｅｍｅｎｔｓ ｏｆ Ｘ−Ｒａｙ Ｄ
ｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ”Ａｄｄｉｓｏｎ−Ｗｅｓｌｅ
ｙ，１９５６，３７〜４２頁に説明される。ガス％は流
量(flow)（体積／単位時間、ＳＣＣＭ）基準である。本
明細書における本発明の多層被膜の種々な層の開示され
た厚さは、層が誘電性層であるか又は金属層であるかに
依存して、２種類の方法で測定される。
｛ ｝内の平面指標(planar indices)の表示はその形態
のあらゆる面の基準である。この規則は、例えばＣｕｌ
ｌｉｔｙの“Ｅｌｅｍｅｎｔｓ ｏｆ Ｘ−Ｒａｙ Ｄ
ｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ”Ａｄｄｉｓｏｎ−Ｗｅｓｌｅ
ｙ，１９５６，３７〜４２頁に説明される。ガス％は流
量(flow)（体積／単位時間、ＳＣＣＭ）基準である。本
明細書における本発明の多層被膜の種々な層の開示され
た厚さは、層が誘電性層であるか又は金属層であるかに
依存して、２種類の方法で測定される。
【００１０】誘電性層又はフィルムの厚さは商業的なス
チルスプロファイラー(stylus profiler) を用いて、次
のように、測定される（以下では、「スチラス法」と呼
ぶ）。各層を付着させる前に、アセトン溶解性インキを
用いてガラス基体上に細いラインを描く。被膜の付着後
に、このラインとその上に付着した被膜部分とをアセト
ンで表面を濡らして、実験用ティッシュ(laboratory ti
ssue）で穏やかに拭うことによって除去する。これはガ
ラスの表面上に明確な段階を生じ、この段階の高さは層
の厚さに等しく、プロファイラーによって測定すること
ができる。
チルスプロファイラー(stylus profiler) を用いて、次
のように、測定される（以下では、「スチラス法」と呼
ぶ）。各層を付着させる前に、アセトン溶解性インキを
用いてガラス基体上に細いラインを描く。被膜の付着後
に、このラインとその上に付着した被膜部分とをアセト
ンで表面を濡らして、実験用ティッシュ(laboratory ti
ssue）で穏やかに拭うことによって除去する。これはガ
ラスの表面上に明確な段階を生じ、この段階の高さは層
の厚さに等しく、プロファイラーによって測定すること
ができる。
【００１１】考えられる複雑さが誘電性層の厚さの測定
に用いたスチラス方法を薄い金属フィルムの測定のため
に好ましくないものにしている。第一に、例えばチタン
及び銀のような金属は拭われるときに摩耗しやすい。第
二に、金属は真空室から取り出したときに周囲雰囲気と
容易に反応する。これらの現象の両方が、スチラス方法
によって厚さ測定を行う場合に、有意な誤差を生じる可
能性がある。
に用いたスチラス方法を薄い金属フィルムの測定のため
に好ましくないものにしている。第一に、例えばチタン
及び銀のような金属は拭われるときに摩耗しやすい。第
二に、金属は真空室から取り出したときに周囲雰囲気と
容易に反応する。これらの現象の両方が、スチラス方法
によって厚さ測定を行う場合に、有意な誤差を生じる可
能性がある。
【００１２】代替手段として、本明細書で「ＸＲＦ方
法」と呼ぶ方法が金属層の厚さの測定に用いられる。Ｘ
ＲＦ方法は較正されたＸ線蛍光分析機器を用いて、被膜
の単位面積当たりの金属重量を測定する（即ち、μｇ／
ｃｍ2 ）。ＸＲＦ方法は金属フィルムが金属塊形と同様
に緻密であると仮定する。この仮定によって、金属フィ
ルムの測定された単位面積当たりの重量を次に、そのか
さ密度を用いて、Åでの厚さに転化させる。
法」と呼ぶ方法が金属層の厚さの測定に用いられる。Ｘ
ＲＦ方法は較正されたＸ線蛍光分析機器を用いて、被膜
の単位面積当たりの金属重量を測定する（即ち、μｇ／
ｃｍ2 ）。ＸＲＦ方法は金属フィルムが金属塊形と同様
に緻密であると仮定する。この仮定によって、金属フィ
ルムの測定された単位面積当たりの重量を次に、そのか
さ密度を用いて、Åでの厚さに転化させる。
【００１３】念のために、スパッターされた金属フィル
ムがしばしばそれらの対応塊状金属よりも緻密ではない
ので、上記仮定は必ずしも常に正確とは限らず、ＸＲＦ
方法は或る場合にはこの密度の変化のために金属フィル
ムの厚さを実際よりも小さく見積もる可能性がある。従
って、薄い金属フィルムに関しては、単位面積当たりの
重量（μｇ／ｃｍ2 ）の初期測定がかさ密度に基づく厚
さへの対応する換算よりも正確である。それにも拘わら
ず、ＸＲＦ方法は被膜中の層の相対的厚さを比較するた
めに有用な概算方法を提供する。本明細書に記載した厚
さの公差は測定値の標準偏差の２倍を表す。
ムがしばしばそれらの対応塊状金属よりも緻密ではない
ので、上記仮定は必ずしも常に正確とは限らず、ＸＲＦ
方法は或る場合にはこの密度の変化のために金属フィル
ムの厚さを実際よりも小さく見積もる可能性がある。従
って、薄い金属フィルムに関しては、単位面積当たりの
重量（μｇ／ｃｍ2 ）の初期測定がかさ密度に基づく厚
さへの対応する換算よりも正確である。それにも拘わら
ず、ＸＲＦ方法は被膜中の層の相対的厚さを比較するた
めに有用な概算方法を提供する。本明細書に記載した厚
さの公差は測定値の標準偏差の２倍を表す。
【００１４】二部分ベースフィルム 本発明のベースフィルムは或る種の特別な特徴を有す
る。ベースフィルムは例えば、それらの頂部に低い抵抗
性の金属反射フィルムを付着させるための電子配置を有
する。更に、これらベースフィルムは化学的及び熱的な
安定性を有する。本発明によると、この望ましい組合せ
の特徴は少なくとも２つの部分、即ち、結晶化指向性を
有する金属接触フィルム部分とこの金属接触フィルム部
分のための安定な基礎を与えるサポートフィルム部分と
を有するベースフィルムによって達成される。
る。ベースフィルムは例えば、それらの頂部に低い抵抗
性の金属反射フィルムを付着させるための電子配置を有
する。更に、これらベースフィルムは化学的及び熱的な
安定性を有する。本発明によると、この望ましい組合せ
の特徴は少なくとも２つの部分、即ち、結晶化指向性を
有する金属接触フィルム部分とこの金属接触フィルム部
分のための安定な基礎を与えるサポートフィルム部分と
を有するベースフィルムによって達成される。
【００１５】本発明の被覆済み物品は金属反射性フィル
ムの基体近位側に形成された二部分非反射性ベースフィ
ルムを包含する。２つのフィルム部分の「金属接触フィ
ルム部分」と呼ばれる第１部分は金属フィルムに接触す
る。この第１部分の物質は、金属フィルムに低い電気抵
抗レベルを形成しやすいように金属フィルム形成原子を
付着させるための結晶性を有する。２つの部分の「サポ
ート部分」と呼ばれる第２部分は、第１部分を支持す
る。第２部分は第１部分に比べて、第１部分よりも化学
的により耐久性であり、好ましくは非晶質物質である。
本発明は単一金属反射性フィルムを有する被膜と、多重
金属反射性フィルムを有する被膜との両方に適用可能で
あり、後者の場合には本発明のベースフィルムは多重金
属フィルムの１つのみに又は幾つかに又は全てに適用す
ることができる。
ムの基体近位側に形成された二部分非反射性ベースフィ
ルムを包含する。２つのフィルム部分の「金属接触フィ
ルム部分」と呼ばれる第１部分は金属フィルムに接触す
る。この第１部分の物質は、金属フィルムに低い電気抵
抗レベルを形成しやすいように金属フィルム形成原子を
付着させるための結晶性を有する。２つの部分の「サポ
ート部分」と呼ばれる第２部分は、第１部分を支持す
る。第２部分は第１部分に比べて、第１部分よりも化学
的により耐久性であり、好ましくは非晶質物質である。
本発明は単一金属反射性フィルムを有する被膜と、多重
金属反射性フィルムを有する被膜との両方に適用可能で
あり、後者の場合には本発明のベースフィルムは多重金
属フィルムの１つのみに又は幾つかに又は全てに適用す
ることができる。
【００１６】金属接触フィルム部分 金属接触フィルム部分は、金属反射性フィルムの原子を
低い抵抗レベルを特徴とする形で付着させる能力に基づ
いて選択される。金属反射性フィルムと金属接触フィル
ム部分とは相互に調和し、このことは金属反射性フィル
ムの低い抵抗レベルが金属接触フィルム部分の特定の構
造特徴と関連することを意味する。金属反射性フィルム
の結晶構造は、例えば、金属接触フィルム部分との配向
関係を有する。これは次に、フィルム内に大きい粒子を
生じる、換言すると、小さい粒界部分を生じる、又は他
の電子散乱欠陥を減少させる。
低い抵抗レベルを特徴とする形で付着させる能力に基づ
いて選択される。金属反射性フィルムと金属接触フィル
ム部分とは相互に調和し、このことは金属反射性フィル
ムの低い抵抗レベルが金属接触フィルム部分の特定の構
造特徴と関連することを意味する。金属反射性フィルム
の結晶構造は、例えば、金属接触フィルム部分との配向
関係を有する。これは次に、フィルム内に大きい粒子を
生じる、換言すると、小さい粒界部分を生じる、又は他
の電子散乱欠陥を減少させる。
【００１７】一般に、金属接触フィルム部分のために選
択される物質は、金属反射性フィルムの正体（identit
y) に、金属反射性フィルムが例えば金、銅又は銀であ
るかどうかに依存する。金属反射性フィルムが銀である
場合、ベースフィルムの金属接触部分に適した物質の例
は酸化亜鉛である。酸化亜鉛を付着させる場合、酸化亜
鉛に銀原子の付着に有利に影響するために適した結晶性
又は選択的な結晶成長配向を与えるプロセスパラメータ
を選択するように注意しなければならない。これをする
ための１つの方法は鋳造亜鉛金属標的(target)のスパッ
ターリング中にアルゴンに対して酸素を優勢にすること
である。ベースフィルムの金属接触部分に適した物質の
別の例は、適当な組成のセラミックタイルからスパッタ
ーされる酸化アルミニウム亜鉛である。ベースフィルム
の金属接触部分に適した物質のさらに他の例は、酸化ス
ズインジウムである。
択される物質は、金属反射性フィルムの正体（identit
y) に、金属反射性フィルムが例えば金、銅又は銀であ
るかどうかに依存する。金属反射性フィルムが銀である
場合、ベースフィルムの金属接触部分に適した物質の例
は酸化亜鉛である。酸化亜鉛を付着させる場合、酸化亜
鉛に銀原子の付着に有利に影響するために適した結晶性
又は選択的な結晶成長配向を与えるプロセスパラメータ
を選択するように注意しなければならない。これをする
ための１つの方法は鋳造亜鉛金属標的(target)のスパッ
ターリング中にアルゴンに対して酸素を優勢にすること
である。ベースフィルムの金属接触部分に適した物質の
別の例は、適当な組成のセラミックタイルからスパッタ
ーされる酸化アルミニウム亜鉛である。ベースフィルム
の金属接触部分に適した物質のさらに他の例は、酸化ス
ズインジウムである。
【００１８】サポートフィルム部分 下位部分に分割されることができるサポートフィルム部
分は、好ましくは、化学的かつ熱的に耐性な、好ましく
は誘電性の物質としての少なくとも１つの部分を有す
る。適当な物質は例えば、上記で参照した米国特許第
４，６１０，７７１号（この特許の開示は本明細書に援
用される）に記載されるような、亜鉛及びスズの非晶質
スパッター済み酸化物である。
分は、好ましくは、化学的かつ熱的に耐性な、好ましく
は誘電性の物質としての少なくとも１つの部分を有す
る。適当な物質は例えば、上記で参照した米国特許第
４，６１０，７７１号（この特許の開示は本明細書に援
用される）に記載されるような、亜鉛及びスズの非晶質
スパッター済み酸化物である。
【００１９】スズ又はビスマスの非晶質酸化物等の、他
の誘電性フィルムを付着させることも可能である。高透
過率かつ低放射率用途のために、このような誘電性フィ
ルムはスペクトルの可視部及び赤外部において非吸収性
であることが好ましい。上記３種類の中では、亜鉛とス
ズの酸化物（本明細書では「スズ酸亜鉛」とも呼ぶ）
が、基体へのその強い結合と、その大きい化学的かつ熱
的耐久性とのために好ましい。
の誘電性フィルムを付着させることも可能である。高透
過率かつ低放射率用途のために、このような誘電性フィ
ルムはスペクトルの可視部及び赤外部において非吸収性
であることが好ましい。上記３種類の中では、亜鉛とス
ズの酸化物（本明細書では「スズ酸亜鉛」とも呼ぶ）
が、基体へのその強い結合と、その大きい化学的かつ熱
的耐久性とのために好ましい。
【００２０】金属接触部分とサポートフィルム部分との
組合せ 上述した好ましい結晶質性と非晶質性とを有するベース
フィルム部分を選択することができることに加えて、こ
れらを適当な厚さと屈折率で付着させることができるこ
とが必要である。例えば、ベースフィルム部分はそれら
の隣接物質に、その後の輸送、製造操作及び例えば多数
の窓ガラスからなる(multipane) 窓への取り付け及びこ
のような窓での使用のような用途に耐えるために充分な
強度で接着しなければならない。厚さと屈折率とは、技
術上周知であるように、フィルムの非反射性に影響す
る。
組合せ 上述した好ましい結晶質性と非晶質性とを有するベース
フィルム部分を選択することができることに加えて、こ
れらを適当な厚さと屈折率で付着させることができるこ
とが必要である。例えば、ベースフィルム部分はそれら
の隣接物質に、その後の輸送、製造操作及び例えば多数
の窓ガラスからなる(multipane) 窓への取り付け及びこ
のような窓での使用のような用途に耐えるために充分な
強度で接着しなければならない。厚さと屈折率とは、技
術上周知であるように、フィルムの非反射性に影響す
る。
【００２１】スズ酸亜鉛の化学的耐久性は酸化亜鉛と酸
化スズの両方よりも優れている。このことはＦ．Ｈ．Ｇ
ｉｌｌｅｒｙの論文で立証されている。スズ酸亜鉛の性
質の研究はＴ．Ｍｉｎａｍｉ等によって、「高周波マグ
ネトロンスパッターリングによって製造された透明なス
ズ酸亜鉛導電性フィルムの性質」、Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ
Ｖａｃｃｕｍ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎ
ｏｌｏｇｙ Ａ、１３巻、３号、（１９９５）１０９５
〜９９頁に報告されている。それ故、ベースフィルムの
サポートフィルム部分がスズ酸亜鉛であり、ベースフィ
ルムの金属接触フィルム部分が酸化亜鉛である場合に
は、スズ酸亜鉛の化学的耐久性が大きい理由から、ベー
スフィルムの化学的耐久性を最大にするためにスズ酸亜
鉛層の厚さを最大にし、酸化亜鉛層の厚さが、上述した
ように、その上に付着した金属反射性フィルムにその低
い抵抗レベルを形成させるそれの能力を保持するために
充分な厚さを留めるかぎり、酸化亜鉛層の厚さを最小に
することが望ましい。
化スズの両方よりも優れている。このことはＦ．Ｈ．Ｇ
ｉｌｌｅｒｙの論文で立証されている。スズ酸亜鉛の性
質の研究はＴ．Ｍｉｎａｍｉ等によって、「高周波マグ
ネトロンスパッターリングによって製造された透明なス
ズ酸亜鉛導電性フィルムの性質」、Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ
Ｖａｃｃｕｍ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎ
ｏｌｏｇｙ Ａ、１３巻、３号、（１９９５）１０９５
〜９９頁に報告されている。それ故、ベースフィルムの
サポートフィルム部分がスズ酸亜鉛であり、ベースフィ
ルムの金属接触フィルム部分が酸化亜鉛である場合に
は、スズ酸亜鉛の化学的耐久性が大きい理由から、ベー
スフィルムの化学的耐久性を最大にするためにスズ酸亜
鉛層の厚さを最大にし、酸化亜鉛層の厚さが、上述した
ように、その上に付着した金属反射性フィルムにその低
い抵抗レベルを形成させるそれの能力を保持するために
充分な厚さを留めるかぎり、酸化亜鉛層の厚さを最小に
することが望ましい。
【００２２】基体上の本発明のベースフィルムの好まし
い実施態様は、次のフィルム部分シーケンス：基体／亜
鉛とスズの酸化物／亜鉛酸化物によって与えられ、この
場合に亜鉛酸化物は金属接触フィルム部分であり、亜鉛
とスズの酸化物はサポートフィルム部分である。金属接
触フィルムの表面に近接する原子のみが金属反射性フィ
ルムの付着原子に影響を与えるので、金属接触フィルム
部の厚さは一般原則として、より化学的にかつ熱的に耐
久性のサポートフィルム部分が最大にされうるように、
金属フィルムの電気抵抗を上述したように望ましく降下
させるために必要である厚さまで最小にすべきである。
しかし、結晶質金属接触フィルム部分自体が充分に耐久
性であるか、又は代替的に、前記フィルム部分の上の層
（例えば、基体から遠く離れた非反射性層、若しくは後
述される保護膜）によって十分に保護されるならば、ベ
ースコート全体又はその大部分は、実施例３で実証され
る通り、かかる材料で構成することができると理解され
る。
い実施態様は、次のフィルム部分シーケンス：基体／亜
鉛とスズの酸化物／亜鉛酸化物によって与えられ、この
場合に亜鉛酸化物は金属接触フィルム部分であり、亜鉛
とスズの酸化物はサポートフィルム部分である。金属接
触フィルムの表面に近接する原子のみが金属反射性フィ
ルムの付着原子に影響を与えるので、金属接触フィルム
部の厚さは一般原則として、より化学的にかつ熱的に耐
久性のサポートフィルム部分が最大にされうるように、
金属フィルムの電気抵抗を上述したように望ましく降下
させるために必要である厚さまで最小にすべきである。
しかし、結晶質金属接触フィルム部分自体が充分に耐久
性であるか、又は代替的に、前記フィルム部分の上の層
（例えば、基体から遠く離れた非反射性層、若しくは後
述される保護膜）によって十分に保護されるならば、ベ
ースコート全体又はその大部分は、実施例３で実証され
る通り、かかる材料で構成することができると理解され
る。
【００２３】例えば、金属接触フィルム部分は２０〜３
０Å範囲又はそれ以下の最小厚さを有することができ
る。他方では、サポートフィルム部分の大きい厚さはこ
の部分が拡散と化学的作用とに耐えることを容易にする
ので、サポート部分の厚さは最大にすべきである。ベー
スフィルムの全体厚さは、技術上知られているように、
製品の最終外観（例えば、色）に適当な非反射性効果を
与えるように選択される。本発明の金属接触フィルム部
分は、反射性金属層の抵抗に対するその有利な効果の他
に、熱処理中の反射性金属フィルムの構造に安定化影響
を及ぼし、その結果曇りを減ずることが判明した。この
ことは以下の実施例と図３、４Ａ及び４Ｂとによって実
証される。
０Å範囲又はそれ以下の最小厚さを有することができ
る。他方では、サポートフィルム部分の大きい厚さはこ
の部分が拡散と化学的作用とに耐えることを容易にする
ので、サポート部分の厚さは最大にすべきである。ベー
スフィルムの全体厚さは、技術上知られているように、
製品の最終外観（例えば、色）に適当な非反射性効果を
与えるように選択される。本発明の金属接触フィルム部
分は、反射性金属層の抵抗に対するその有利な効果の他
に、熱処理中の反射性金属フィルムの構造に安定化影響
を及ぼし、その結果曇りを減ずることが判明した。この
ことは以下の実施例と図３、４Ａ及び４Ｂとによって実
証される。
【００２４】上述したように、本発明のベースフィルム
は例えば透明な基体と、被膜の第１金属反射性フィルム
との間に配置される。被膜が１つの層より多い金属反射
性フィルムを含有する場合には、被膜の金属反射性フィ
ルムの各々に対して１つずつ、複数のベースフィルムを
用いることができる。
は例えば透明な基体と、被膜の第１金属反射性フィルム
との間に配置される。被膜が１つの層より多い金属反射
性フィルムを含有する場合には、被膜の金属反射性フィ
ルムの各々に対して１つずつ、複数のベースフィルムを
用いることができる。
【００２５】基体 焼き戻し可能な窓ガラス等の、本発明の幾つかの態様で
は、例えばソーダ石灰ガラスのようなガラスが透明な基
体として選択すべき物質であるが、例えば種々なプラス
チックのような、ガラス以外の非金属性基体も使用可能
である。
は、例えばソーダ石灰ガラスのようなガラスが透明な基
体として選択すべき物質であるが、例えば種々なプラス
チックのような、ガラス以外の非金属性基体も使用可能
である。
【００２６】金属反射性フィルム 上述したように、本発明の物品に金属反射性フィルムを
形成するための適当な物質の例は、金、銅及び銀であ
り、技術上周知であるように、大抵の目的のために銀が
好ましい。一般に、適当な金属は電気の良好な導体であ
る金属、即ち、低い電気抵抗を有する金属である、この
理由は、この特徴が冬季には熱せられた家からの熱の漏
出又は夏季には暑い環境からの熱の流入を阻止する能力
と良好に相関するからである。その被膜中に金属フィル
ムを有する窓に達する熱の長波長赤外線はそれが入射し
た場所から反射される。この能力は典型的に、室温（例
えば、約２１℃（約７０゜Ｆ）において被覆済み面の放
射率として測定され、低い放射率が最も望ましい。太陽
光線の範囲内、例えば近赤外領域において有意に反射性
でない被膜によっても、低い放射率が得られる。
形成するための適当な物質の例は、金、銅及び銀であ
り、技術上周知であるように、大抵の目的のために銀が
好ましい。一般に、適当な金属は電気の良好な導体であ
る金属、即ち、低い電気抵抗を有する金属である、この
理由は、この特徴が冬季には熱せられた家からの熱の漏
出又は夏季には暑い環境からの熱の流入を阻止する能力
と良好に相関するからである。その被膜中に金属フィル
ムを有する窓に達する熱の長波長赤外線はそれが入射し
た場所から反射される。この能力は典型的に、室温（例
えば、約２１℃（約７０゜Ｆ）において被覆済み面の放
射率として測定され、低い放射率が最も望ましい。太陽
光線の範囲内、例えば近赤外領域において有意に反射性
でない被膜によっても、低い放射率が得られる。
【００２７】プライマー層 金属反射性フィルムの基体遠位側には、例えばチタンの
ような、酸素捕捉金属のプライマーフィルムが典型的に
存在する。チタンは金属反射性フィルムの基体遠位側に
非反射性酸化物フィルムを後に付着させる間に金属反射
性フィルムを保護するための防食用(sacrificial，犠牲
的）層として作用する。プライマーフィルムは例えばジ
ルコニウムのような他の金属を含むことができる。
ような、酸素捕捉金属のプライマーフィルムが典型的に
存在する。チタンは金属反射性フィルムの基体遠位側に
非反射性酸化物フィルムを後に付着させる間に金属反射
性フィルムを保護するための防食用(sacrificial，犠牲
的）層として作用する。プライマーフィルムは例えばジ
ルコニウムのような他の金属を含むことができる。
【００２８】チタン層の最適厚さは、本発明の被覆済み
物品がその製造中に熱処理に暴露されるか否かに依存し
て変化する。プライマー層の基本的機能は金属反射性フ
ィルムを、金属反射性フィルムの基体遠位側の非反射性
酸化物フィルムの付着中の酸化から保護することである
ので、本発明の被覆済み物品がその製造中に熱処理を受
けない場合にはプライマー層を薄くすることができる。
この場合の“薄い”とは８〜１２Åのオーダーのプライ
マーフィルム厚さを意味する。この理由は熱処理が典型
的に強度に酸化性であるからである。熱処理が無い場合
には、本発明の被覆済み物品の製造中に金属反射性フィ
ルムを酸化から保護するために、薄いプライマー層で充
分である。以下でより詳細に述べる本発明の代替実施態
様では、本発明の被覆済み物品の貯蔵寿命を高めるため
に、この薄いプライマー層を酸化亜鉛層でオーバーコー
トすることができる。
物品がその製造中に熱処理に暴露されるか否かに依存し
て変化する。プライマー層の基本的機能は金属反射性フ
ィルムを、金属反射性フィルムの基体遠位側の非反射性
酸化物フィルムの付着中の酸化から保護することである
ので、本発明の被覆済み物品がその製造中に熱処理を受
けない場合にはプライマー層を薄くすることができる。
この場合の“薄い”とは８〜１２Åのオーダーのプライ
マーフィルム厚さを意味する。この理由は熱処理が典型
的に強度に酸化性であるからである。熱処理が無い場合
には、本発明の被覆済み物品の製造中に金属反射性フィ
ルムを酸化から保護するために、薄いプライマー層で充
分である。以下でより詳細に述べる本発明の代替実施態
様では、本発明の被覆済み物品の貯蔵寿命を高めるため
に、この薄いプライマー層を酸化亜鉛層でオーバーコー
トすることができる。
【００２９】被覆済み物品が加工中に熱処理を受ける予
定である場合には、上記で参照した米国特許第４，８０
６，２２０号に開示されるように、より厚いプライマー
層を用いることができ、この特許の開示は本明細書に援
用される。この特許に述べられているように、反射性金
属フィルム上に単一プライマー層を付着させる場合に
は、プライマー厚さは２０Åより大きく、５０Å厚さま
でであることが好ましい。この厚いプライマー層は熱処
理の強度な酸化性条件に耐える。被覆済み物品がその製
造中に熱処理に暴露される場合には、プライマー層を厚
過ぎる又は薄過ぎるのいずれかにさせるポイントが存在
することが、本発明によって判明している。あまりに薄
いと、プライマー層は高温における酸化から反射性金属
フィルムを保護することができず、従って、被覆済み物
品を熱処理を受けることができないものにし、また低い
剪断抵抗を生じて、物品を後の熱加工のための長距離輸
送に適さないものにする。あまりに厚いと、プライマー
層は熱処理後の被覆済み物品に好ましくない曇りを発生
させ、このことも物品を熱処理を受けることができない
ものにする。
定である場合には、上記で参照した米国特許第４，８０
６，２２０号に開示されるように、より厚いプライマー
層を用いることができ、この特許の開示は本明細書に援
用される。この特許に述べられているように、反射性金
属フィルム上に単一プライマー層を付着させる場合に
は、プライマー厚さは２０Åより大きく、５０Å厚さま
でであることが好ましい。この厚いプライマー層は熱処
理の強度な酸化性条件に耐える。被覆済み物品がその製
造中に熱処理に暴露される場合には、プライマー層を厚
過ぎる又は薄過ぎるのいずれかにさせるポイントが存在
することが、本発明によって判明している。あまりに薄
いと、プライマー層は高温における酸化から反射性金属
フィルムを保護することができず、従って、被覆済み物
品を熱処理を受けることができないものにし、また低い
剪断抵抗を生じて、物品を後の熱加工のための長距離輸
送に適さないものにする。あまりに厚いと、プライマー
層は熱処理後の被覆済み物品に好ましくない曇りを発生
させ、このことも物品を熱処理を受けることができない
ものにする。
【００３０】好ましくない曇りを発生させずに充分な保
護を与えるチタン厚さの最適範囲は図３に示される。特
に酸化亜鉛金属接触フィルム部分に関連して、その製造
中の熱処理に適した被覆済み物品を提供するプライマー
層の厚さの好ましいサブ範囲(subrange)は、プライマー
層が２０Å厚さ付近である場合であることが判明してい
る。この範囲未満では、被膜は不良な剪断抵抗を有する
ことになり、この範囲を超えると、熱処理後に被膜は曇
りを許容され難いレベルまで発生させることになる。チ
タン金属プライマーの場合には、充分な剪断強度と許容
される低い曇りとを与える、経験的に決定された被膜厚
さは約２２Å〜約３０Åの範囲内である。好ましい範囲
は下限の約２４Åから上限の約２８Åまでである。
護を与えるチタン厚さの最適範囲は図３に示される。特
に酸化亜鉛金属接触フィルム部分に関連して、その製造
中の熱処理に適した被覆済み物品を提供するプライマー
層の厚さの好ましいサブ範囲(subrange)は、プライマー
層が２０Å厚さ付近である場合であることが判明してい
る。この範囲未満では、被膜は不良な剪断抵抗を有する
ことになり、この範囲を超えると、熱処理後に被膜は曇
りを許容され難いレベルまで発生させることになる。チ
タン金属プライマーの場合には、充分な剪断強度と許容
される低い曇りとを与える、経験的に決定された被膜厚
さは約２２Å〜約３０Åの範囲内である。好ましい範囲
は下限の約２４Åから上限の約２８Åまでである。
【００３１】非反射性フィルム 金属反射性フィルムの基体遠位側の非反射性フィルム
は、上記と同様に、屈折率、接着性及び化学的耐久性に
基づいて選択される。適当な物質の例は亜鉛とスズの酸
化物である。２個の金属反射性フィルムを有する被膜の
場合には、第１金属反射性フィルムの基体遠位側の非反
射性フィルムは第２金属反射性フィルムのための本発明
のベースフィルムとして役立つことができる。
は、上記と同様に、屈折率、接着性及び化学的耐久性に
基づいて選択される。適当な物質の例は亜鉛とスズの酸
化物である。２個の金属反射性フィルムを有する被膜の
場合には、第１金属反射性フィルムの基体遠位側の非反
射性フィルムは第２金属反射性フィルムのための本発明
のベースフィルムとして役立つことができる。
【００３２】保護オーバーコート 典型的に、本発明の被膜は例えば酸化チタンの硬質層の
ような外部保護オーバーコートによってキャップされる
(capped)。かかることはＦ．Ｈ．Ｇｉｌｌｅｒｙ等によ
って米国特許第４，７１６，０８６号に開示されてお
り、この特許の開示は本明細書に援用される。
ような外部保護オーバーコートによってキャップされる
(capped)。かかることはＦ．Ｈ．Ｇｉｌｌｅｒｙ等によ
って米国特許第４，７１６，０８６号に開示されてお
り、この特許の開示は本明細書に援用される。
【００３３】本発明の層状スタック配置 熱処理に適した単一スタック 本発明の１つの実施態様では、単一スタックとしても知
られた、単一金属反射性層を有する熱処理に適した高透
過率、低放射率の被覆済み物品を提供する、これは下記
要素：透過性非金属性基体と；基体上に付着した誘電性
非反射性ベースフィルムであって、結晶質金属接触フィ
ルム部分とサポートフィルム部分とを包含し、該サポー
トフィルム部分が基体と接触し、該サポートフィルム部
分が該結晶質金属接触フィルム部分以外の物質から構成
されるベースフィルムと；ベースフィルムの結晶質金属
接触フィルム部分上に付着した金属反射性フィルムと；
該金属反射性フィルム上に付着したプライマーフィルム
と；該プライマーフィルム上に付着した誘電性非反射性
フィルムとを含む。
られた、単一金属反射性層を有する熱処理に適した高透
過率、低放射率の被覆済み物品を提供する、これは下記
要素：透過性非金属性基体と；基体上に付着した誘電性
非反射性ベースフィルムであって、結晶質金属接触フィ
ルム部分とサポートフィルム部分とを包含し、該サポー
トフィルム部分が基体と接触し、該サポートフィルム部
分が該結晶質金属接触フィルム部分以外の物質から構成
されるベースフィルムと；ベースフィルムの結晶質金属
接触フィルム部分上に付着した金属反射性フィルムと；
該金属反射性フィルム上に付着したプライマーフィルム
と；該プライマーフィルム上に付着した誘電性非反射性
フィルムとを含む。
【００３４】本発明の代替実施態様では、外部保護オー
バーコート層を誘電性非反射性フィルム上に付着させ
る。本発明の好ましい実施態様では、透明な非金属性基
体はガラスであり、サポートフィルム部分はスズ酸亜鉛
フィルムであり、結晶質金属接触フィルム部分は酸化亜
鉛フィルムであり、金属反射性フィルムは銀フィルムで
あり、プライマーフィルムはチタン金属として付着さ
れ、誘電性非反射性フィルムはスズ酸亜鉛フィルムであ
り、外部保護オーバーコート層は酸化チタンフィルムで
ある。
バーコート層を誘電性非反射性フィルム上に付着させ
る。本発明の好ましい実施態様では、透明な非金属性基
体はガラスであり、サポートフィルム部分はスズ酸亜鉛
フィルムであり、結晶質金属接触フィルム部分は酸化亜
鉛フィルムであり、金属反射性フィルムは銀フィルムで
あり、プライマーフィルムはチタン金属として付着さ
れ、誘電性非反射性フィルムはスズ酸亜鉛フィルムであ
り、外部保護オーバーコート層は酸化チタンフィルムで
ある。
【００３５】熱処理に適した二重スタック 本発明の代替実施態様では、二重スタックとしても知ら
れる、２個の金属反射性フィルムを有する、熱処理に適
した、高透過率、低放射率の被覆済み物品を提供する、
これは下記要素：透明な非金属性基体と；該基体上に付
着した第１誘電性非反射性ベースフィルムであって、結
晶質金属接触フィルム部分とサポートフィルム部分とを
包含し、該サポートフィルム部分が基体と接触し、該サ
ポートフィルム部分が結晶質金属接触フィルム部分以外
の物質から成る第１ベースフィルムと；ベースフィルム
の結晶質金属接触フィルム部分上に付着した第１金属反
射性フィルムと；金属反射性フィルム上に付着した第１
プライマーフィルムと；プライマーフィルム上に付着し
た第２誘電性非反射性ベースフィルムであって、結晶質
金属接触フィルム部分とサポートフィルム部分とを包含
し、該サポートフィルム部分が第１プライマーフィルム
と接触し、該サポートフィルム部分が第２ベースフィル
ムの結晶質金属接触フィルム部分以外の物質から成る第
２ベースフィルムと；第２ベースフィルムの結晶質金属
接触フィルム部分上に付着した第２金属反射性フィルム
と；第２金属反射性フィルム上に付着した第２プライマ
ーフィルムと；第２プライマーフィルム上に付着した誘
電性非反射性フィルムとを含む。
れる、２個の金属反射性フィルムを有する、熱処理に適
した、高透過率、低放射率の被覆済み物品を提供する、
これは下記要素：透明な非金属性基体と；該基体上に付
着した第１誘電性非反射性ベースフィルムであって、結
晶質金属接触フィルム部分とサポートフィルム部分とを
包含し、該サポートフィルム部分が基体と接触し、該サ
ポートフィルム部分が結晶質金属接触フィルム部分以外
の物質から成る第１ベースフィルムと；ベースフィルム
の結晶質金属接触フィルム部分上に付着した第１金属反
射性フィルムと；金属反射性フィルム上に付着した第１
プライマーフィルムと；プライマーフィルム上に付着し
た第２誘電性非反射性ベースフィルムであって、結晶質
金属接触フィルム部分とサポートフィルム部分とを包含
し、該サポートフィルム部分が第１プライマーフィルム
と接触し、該サポートフィルム部分が第２ベースフィル
ムの結晶質金属接触フィルム部分以外の物質から成る第
２ベースフィルムと；第２ベースフィルムの結晶質金属
接触フィルム部分上に付着した第２金属反射性フィルム
と；第２金属反射性フィルム上に付着した第２プライマ
ーフィルムと；第２プライマーフィルム上に付着した誘
電性非反射性フィルムとを含む。
【００３６】本発明の上記実施態様の好ましい実施態様
では、外部保護オーバーコート層を誘電性非反射性フィ
ルム上に付着させる。本発明の上記代替実施態様の好ま
しい実施態様では、透明な非金属性基体がガラスであ
り、第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がスズ
酸亜鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質金
属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１金
属反射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマー
フィルムがチタン金属として付着され、第２ベースフィ
ルムの結晶質金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルム
であり、第２金属反射性フィルムが銀フィルムであり、
第２プライマーフィルムがチタン金属として付着され、
誘電性非反射性フィルムがスズ酸亜鉛フィルムであり、
外部保護オーバーコート層が酸化チタンフィルムであ
る。
では、外部保護オーバーコート層を誘電性非反射性フィ
ルム上に付着させる。本発明の上記代替実施態様の好ま
しい実施態様では、透明な非金属性基体がガラスであ
り、第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がスズ
酸亜鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質金
属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１金
属反射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマー
フィルムがチタン金属として付着され、第２ベースフィ
ルムの結晶質金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルム
であり、第２金属反射性フィルムが銀フィルムであり、
第２プライマーフィルムがチタン金属として付着され、
誘電性非反射性フィルムがスズ酸亜鉛フィルムであり、
外部保護オーバーコート層が酸化チタンフィルムであ
る。
【００３７】焼き戻し不能な二重スタック 高い透過率、低い放射率の被覆済み物品が２個の反射性
金属フィルムを含み、その製造中に熱処理を受けること
を意図されない、本発明のさらに他の実施態様では、改
良された貯蔵寿命を有する物品を次のように得ることが
できる。上記二部分ベースフィルムを基体と第１金属反
射性フィルムとの間に付着させ、２個の金属反射性フィ
ルムの間に挿入された三部分ベースフィルムを付着さ
せ、付加的な酸化亜鉛層を誘電性非反射性フィルムの一
部として第２プライマーフィルムとスズ酸亜鉛誘電性非
反射性フィルムとの間に挿入することによって、物品が
形成される。この実施態様では、被覆済み物品は下記要
素：透明な非金属性基体と；該基体上に付着した第１誘
電性非反射性ベースフィルムであって、結晶質金属接触
フィルム部分とサポートフィルム部分とを包含し、該サ
ポートフィルム部分が基体と接触し、該サポートフィル
ム部分が結晶質金属接触フィルム部分以外の物質から成
る第１ベースフィルムと；ベースフィルムの結晶質金属
接触フィルム部分上に付着した第１金属反射性フィルム
と；金属反射性フィルム上に付着した第１プライマーフ
ィルムと；第１プライマーフィルム上に付着した第２誘
電性非反射性ベースフィルムであって、酸化亜鉛フィル
ムである結晶質金属接触フィルム部分と、サポートフィ
ルム部分とを包含し、該サポートフィルム部分が第１プ
ライマーフィルムと接触する酸化亜鉛フィルムの第１層
と、結晶質金属接触フィルム部分と接触するスズ酸亜鉛
フィルムの第２層とからさらに構成される第２ベースフ
ィルムと；第２ベースフィルムの結晶質金属接触フィル
ム部分上に付着した第２金属反射性フィルムと；第２金
属反射性フィルム上に付着した第２プライマーフィルム
と；第２プライマーフィルム上に付着した誘電性非反射
性フィルムであって、プライマーフィルム上に付着した
酸化亜鉛フィルムの第１層と誘電性非反射性フィルムの
第１酸化亜鉛層上に付着したスズ酸亜鉛フィルムの第２
層とを包含する誘電性非反射性フィルムとを含む。
金属フィルムを含み、その製造中に熱処理を受けること
を意図されない、本発明のさらに他の実施態様では、改
良された貯蔵寿命を有する物品を次のように得ることが
できる。上記二部分ベースフィルムを基体と第１金属反
射性フィルムとの間に付着させ、２個の金属反射性フィ
ルムの間に挿入された三部分ベースフィルムを付着さ
せ、付加的な酸化亜鉛層を誘電性非反射性フィルムの一
部として第２プライマーフィルムとスズ酸亜鉛誘電性非
反射性フィルムとの間に挿入することによって、物品が
形成される。この実施態様では、被覆済み物品は下記要
素：透明な非金属性基体と；該基体上に付着した第１誘
電性非反射性ベースフィルムであって、結晶質金属接触
フィルム部分とサポートフィルム部分とを包含し、該サ
ポートフィルム部分が基体と接触し、該サポートフィル
ム部分が結晶質金属接触フィルム部分以外の物質から成
る第１ベースフィルムと；ベースフィルムの結晶質金属
接触フィルム部分上に付着した第１金属反射性フィルム
と；金属反射性フィルム上に付着した第１プライマーフ
ィルムと；第１プライマーフィルム上に付着した第２誘
電性非反射性ベースフィルムであって、酸化亜鉛フィル
ムである結晶質金属接触フィルム部分と、サポートフィ
ルム部分とを包含し、該サポートフィルム部分が第１プ
ライマーフィルムと接触する酸化亜鉛フィルムの第１層
と、結晶質金属接触フィルム部分と接触するスズ酸亜鉛
フィルムの第２層とからさらに構成される第２ベースフ
ィルムと；第２ベースフィルムの結晶質金属接触フィル
ム部分上に付着した第２金属反射性フィルムと；第２金
属反射性フィルム上に付着した第２プライマーフィルム
と；第２プライマーフィルム上に付着した誘電性非反射
性フィルムであって、プライマーフィルム上に付着した
酸化亜鉛フィルムの第１層と誘電性非反射性フィルムの
第１酸化亜鉛層上に付着したスズ酸亜鉛フィルムの第２
層とを包含する誘電性非反射性フィルムとを含む。
【００３８】本発明の上記代替実施態様の好ましい実施
態様では、外部保護オーバーコート層を誘電性非反射性
フィルム上に付着させる。本発明の上記代替実施態様の
好ましい実施態様では、透明な非金属性基体がガラスで
あり、第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がス
ズ酸亜鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質
金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１
金属反射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマ
ーフィルムがチタン金属として付着され、第２金属反射
性フィルムが銀フィルムであり、第２プライマーフィル
ムがチタン金属として付着され、外部保護オーバーコー
ト層が酸化チタンフィルムである。
態様では、外部保護オーバーコート層を誘電性非反射性
フィルム上に付着させる。本発明の上記代替実施態様の
好ましい実施態様では、透明な非金属性基体がガラスで
あり、第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がス
ズ酸亜鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質
金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１
金属反射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマ
ーフィルムがチタン金属として付着され、第２金属反射
性フィルムが銀フィルムであり、第２プライマーフィル
ムがチタン金属として付着され、外部保護オーバーコー
ト層が酸化チタンフィルムである。
【００３９】上記実施態様では、三部分ベースフィルム
の酸化亜鉛／スズ酸亜鉛部分がサポートフィルム部分を
形成し、酸化亜鉛フィルムが金属接触フィルム部分を形
成する。この実施態様のプライマー層は、上記理由か
ら、熱処理を受ける実施態様よりも薄く、約８〜１２Å
である。上記実施態様の誘電性非反射性フィルムの付加
的な酸化亜鉛フィルムは本発明の被覆済み物品の貯蔵寿
命を延長させる。
の酸化亜鉛／スズ酸亜鉛部分がサポートフィルム部分を
形成し、酸化亜鉛フィルムが金属接触フィルム部分を形
成する。この実施態様のプライマー層は、上記理由か
ら、熱処理を受ける実施態様よりも薄く、約８〜１２Å
である。上記実施態様の誘電性非反射性フィルムの付加
的な酸化亜鉛フィルムは本発明の被覆済み物品の貯蔵寿
命を延長させる。
【００４０】熱処理可能な物品と熱処理不能な物品の製
造と物理的性質 典型的に、窓製造業者は板ガラス製造業者から受容した
窓ガラスを用いており、この板ガラスを窓製造業者は完
成窓製品に組み入れる。或る種の窓用途は焼き戻したガ
ラスを必要とする。ガラスの焼き戻しは物品を或る一定
温度に加熱した後に、加熱された物品を急冷することに
よって達成される。焼き戻し済みガラスは典型的に、焼
きなましたガラスよりも丈夫である。さらに、焼き戻し
済みガラス窓はそれらを破壊するほどの力で衝撃を受け
たときに小片に粉砕されるが、これとは対照的に、焼き
戻されないガラスは大きなガラス片に破壊される。
造と物理的性質 典型的に、窓製造業者は板ガラス製造業者から受容した
窓ガラスを用いており、この板ガラスを窓製造業者は完
成窓製品に組み入れる。或る種の窓用途は焼き戻したガ
ラスを必要とする。ガラスの焼き戻しは物品を或る一定
温度に加熱した後に、加熱された物品を急冷することに
よって達成される。焼き戻し済みガラスは典型的に、焼
きなましたガラスよりも丈夫である。さらに、焼き戻し
済みガラス窓はそれらを破壊するほどの力で衝撃を受け
たときに小片に粉砕されるが、これとは対照的に、焼き
戻されないガラスは大きなガラス片に破壊される。
【００４１】焼き戻し済みガラスの１つの限界は、サイ
ズに合わせて切断することができないことである。それ
故、焼き戻し済みガラス窓の１つの製法では、板ガラス
製造業者が切断可能な標準サイズの焼き戻し可能な、焼
きなまし済み板ガラスを窓製造業者に輸送する。窓製造
業者は大きい標準サイズから注文を受けた窓のためにブ
ランクを切り取り、このように切断したブランクを焼き
戻す。
ズに合わせて切断することができないことである。それ
故、焼き戻し済みガラス窓の１つの製法では、板ガラス
製造業者が切断可能な標準サイズの焼き戻し可能な、焼
きなまし済み板ガラスを窓製造業者に輸送する。窓製造
業者は大きい標準サイズから注文を受けた窓のためにブ
ランクを切り取り、このように切断したブランクを焼き
戻す。
【００４２】焼き戻し済みガラス窓を製造する代替え手
段は、窓製造業者ではなく、板ガラス製造業者が焼き戻
し可能な被覆済み板ガラスの焼き戻しを行うか又は被覆
されない板ガラスの焼き戻しを行い、その後に被覆する
ことである。しかし、いずれの場合にも、これは板ガラ
ス製造業者が非常に多様な非標準サイズを板ガラス製造
業者の作業及び在庫目録に維持するという面倒さを持ち
込むか、又は板ガラス製造業者が板ガラスを製造して、
それを窓製造業者に輸送するためにかなりのリードタイ
ムを必要とすることになる。
段は、窓製造業者ではなく、板ガラス製造業者が焼き戻
し可能な被覆済み板ガラスの焼き戻しを行うか又は被覆
されない板ガラスの焼き戻しを行い、その後に被覆する
ことである。しかし、いずれの場合にも、これは板ガラ
ス製造業者が非常に多様な非標準サイズを板ガラス製造
業者の作業及び在庫目録に維持するという面倒さを持ち
込むか、又は板ガラス製造業者が板ガラスを製造して、
それを窓製造業者に輸送するためにかなりのリードタイ
ムを必要とすることになる。
【００４３】ガラスが被覆されている場合、焼き戻し範
囲内での加熱は被覆層を焼きなまし、薄いフィルムスタ
ックをさらに安定化する。最も注目すべきは、銀層（単
数又は複数）の抵抗が低下し、チタンプライマー層が酸
化され、スペクトルの可視領域でさらに透明になること
である。他方では、加熱の結果として、ナトリウム又は
他の不純物が被膜の層全体に拡散し、被覆済みガラスの
過度加熱、或いは高温への長期間暴露が被膜の分解（例
えば、銀の凝塊化による粒子形成によって）と過度の曇
りを生じることもある。
囲内での加熱は被覆層を焼きなまし、薄いフィルムスタ
ックをさらに安定化する。最も注目すべきは、銀層（単
数又は複数）の抵抗が低下し、チタンプライマー層が酸
化され、スペクトルの可視領域でさらに透明になること
である。他方では、加熱の結果として、ナトリウム又は
他の不純物が被膜の層全体に拡散し、被覆済みガラスの
過度加熱、或いは高温への長期間暴露が被膜の分解（例
えば、銀の凝塊化による粒子形成によって）と過度の曇
りを生じることもある。
【００４４】被覆されない透明なガラスに比べて、被覆
済み低放射率ガラスの温度を高めることはさらに困難で
ある。低放射率ガラスの金属反射性金属フィルムは炉内
の熱源から発せられるエネルギーの殆どを効果的に反射
する。それ故、被覆済みガラス中に望ましい最終温度を
得るためには、加熱要素の温度、そのデューティサイク
ル(duty cycle)、ライン速度（炉内の滞留時間）又はこ
れらの全てを調整しなければならない。強制対流熱伝達
に基づくレア(lehr ，徐冷がま）がこれに関して有利で
ある。
済み低放射率ガラスの温度を高めることはさらに困難で
ある。低放射率ガラスの金属反射性金属フィルムは炉内
の熱源から発せられるエネルギーの殆どを効果的に反射
する。それ故、被覆済みガラス中に望ましい最終温度を
得るためには、加熱要素の温度、そのデューティサイク
ル(duty cycle)、ライン速度（炉内の滞留時間）又はこ
れらの全てを調整しなければならない。強制対流熱伝達
に基づくレア(lehr ，徐冷がま）がこれに関して有利で
ある。
【００４５】好ましくは、ガラス温度を必要な範囲内
（６２７℃（１１６０゜Ｆ）〜６７７℃（１２５０゜
Ｆ）、好ましくは６３２℃（１１７０゜Ｆ）〜６４９℃
（１２００゜Ｆ）に迅速に高めることができるレア内で
焼き戻しを実施する。迅速な温度上昇は高温暴露時間を
最小にするので、その結果、被膜はその最適な性質を得
て、保持することになる。高いライン速度又は短いサイ
クル時間も製造の観点から有利であると考えられる。
（６２７℃（１１６０゜Ｆ）〜６７７℃（１２５０゜
Ｆ）、好ましくは６３２℃（１１７０゜Ｆ）〜６４９℃
（１２００゜Ｆ）に迅速に高めることができるレア内で
焼き戻しを実施する。迅速な温度上昇は高温暴露時間を
最小にするので、その結果、被膜はその最適な性質を得
て、保持することになる。高いライン速度又は短いサイ
クル時間も製造の観点から有利であると考えられる。
【００４６】レアは電気炉又はガス炉のいずれでもよ
い。レアは連続式であって、ガラスが一定速度で炉を通
って移動することも、又はバッチ式であって、ガラスが
炉に入ってから一定時間静置して又は振動して維持され
ることもできる。レアを出ると、焼き戻しを与えるため
に、ガラスは直ちに空冷される。本発明を下記実施例に
よってさらに説明する。
い。レアは連続式であって、ガラスが一定速度で炉を通
って移動することも、又はバッチ式であって、ガラスが
炉に入ってから一定時間静置して又は振動して維持され
ることもできる。レアを出ると、焼き戻しを与えるため
に、ガラスは直ちに空冷される。本発明を下記実施例に
よってさらに説明する。
【００４７】
【実施例】実施例１ 熱処理可能な単一スタック スズ酸亜鉛フィルム／酸化亜鉛フィルム／銀／チタン／
スズ酸亜鉛／二酸化チタンから構成された多層被膜を、
後に焼き入れすることができる被覆済みガラス板(glass
pane)を提供する目的で、次のように基体上に付着させ
た。基体は透明なアニーリング済みソーダ石灰ガラスの
３．３ｍｍ（０．１３インチ）厚さの板であった。
スズ酸亜鉛／二酸化チタンから構成された多層被膜を、
後に焼き入れすることができる被覆済みガラス板(glass
pane)を提供する目的で、次のように基体上に付着させ
た。基体は透明なアニーリング済みソーダ石灰ガラスの
３．３ｍｍ（０．１３インチ）厚さの板であった。
【００４８】この実施例の被膜はカリフォルニア州，フ
ェアフィールドのＡｉｒｃｏ Ｃｏａｔｉｎｇ Ｔｅｃ
ｈｎｏｌｏｇｙによって製造されたマルチチャンバー，
インライン，マグネトロンスパッターリング(mulch cha
mber,in-line,magnetron sputtering)８４インチ（２１
３ｃｍ）コーターにおいて付着させた。コーター内の異
なるチャンバー(chamber) が金属層又は誘電性層のいず
れかの付着のために供され、常に電圧を加えられた鋳造
金属カソード標的下をガラスは一定速度で移動した。酸
化物チャンバー内の気体組成は４ミリトールの全圧にお
いて８０％酸素−２０％アルゴンに設定した。金属付着
チャンバーでは、５ミリトールの圧力における純粋なア
ルゴンを用いた。
ェアフィールドのＡｉｒｃｏ Ｃｏａｔｉｎｇ Ｔｅｃ
ｈｎｏｌｏｇｙによって製造されたマルチチャンバー，
インライン，マグネトロンスパッターリング(mulch cha
mber,in-line,magnetron sputtering)８４インチ（２１
３ｃｍ）コーターにおいて付着させた。コーター内の異
なるチャンバー(chamber) が金属層又は誘電性層のいず
れかの付着のために供され、常に電圧を加えられた鋳造
金属カソード標的下をガラスは一定速度で移動した。酸
化物チャンバー内の気体組成は４ミリトールの全圧にお
いて８０％酸素−２０％アルゴンに設定した。金属付着
チャンバーでは、５ミリトールの圧力における純粋なア
ルゴンを用いた。
【００４９】ガラス基体に隣接する非晶質スズ酸亜鉛の
２５７±１３Å厚さのフィルムの第１サポート部分と、
このスズ酸亜鉛フィルム上に付着した５８±７Å厚さの
結晶質酸化亜鉛フィルムの第２金属接触フィルム部分と
から成る二部非反射性誘電性ベースフィルムを最初に付
着させることによって、被膜を形成した。酸化亜鉛は単
結晶ではなく多結晶状(multigrained)であった。厚さは
スチルスプロファイラー(stylus profiler) によって測
定した。これらの光学的指数(optical index)が近接し
ているために、上記２部分は共に、約８２％の透過率を
有する単一光学的フィルムとして作用する。
２５７±１３Å厚さのフィルムの第１サポート部分と、
このスズ酸亜鉛フィルム上に付着した５８±７Å厚さの
結晶質酸化亜鉛フィルムの第２金属接触フィルム部分と
から成る二部非反射性誘電性ベースフィルムを最初に付
着させることによって、被膜を形成した。酸化亜鉛は単
結晶ではなく多結晶状(multigrained)であった。厚さは
スチルスプロファイラー(stylus profiler) によって測
定した。これらの光学的指数(optical index)が近接し
ているために、上記２部分は共に、約８２％の透過率を
有する単一光学的フィルムとして作用する。
【００５０】バルク形で、スズ酸亜鉛の式はＺｎ2 Ｓｎ
Ｏ4 であり、これのスパッターされた組成はＺｎx Ｓｎ
Ｏy として変化しうる。金属フィルムの厚さを測定する
ための好ましい方法としてＸＲＦ法を上述したが、これ
を誘電性フィルムに関しても用いて、このような誘電性
フィルムの厚さに対立するものとして誘電性フィルムの
組成を測定することができる。スズ酸亜鉛フィルムの組
成をＸＲＦ方法によって次のように測定した。スズ酸亜
鉛フィルムの亜鉛とスズ金属のμｇ／ｃｍ2 をＸＲＦ法
によって測定した。次に、酸化物がそれらの金属対応物
に関して化学量論的である、即ち、Ｚｎ＝ＺｎＯ及びＳ
ｎ＝ＳｎＯ2 であると仮定することによって、これは代
替的に、０．９３±０．１２のＺｎ：Ｓｎ重量比；１．
７±０．２のＺｎ：Ｓｎ原子比；又は約Ｚｎ1.7xＳｎx
Ｏ3.7xの化合物式として表現されることができる組成を
生じる。
Ｏ4 であり、これのスパッターされた組成はＺｎx Ｓｎ
Ｏy として変化しうる。金属フィルムの厚さを測定する
ための好ましい方法としてＸＲＦ法を上述したが、これ
を誘電性フィルムに関しても用いて、このような誘電性
フィルムの厚さに対立するものとして誘電性フィルムの
組成を測定することができる。スズ酸亜鉛フィルムの組
成をＸＲＦ方法によって次のように測定した。スズ酸亜
鉛フィルムの亜鉛とスズ金属のμｇ／ｃｍ2 をＸＲＦ法
によって測定した。次に、酸化物がそれらの金属対応物
に関して化学量論的である、即ち、Ｚｎ＝ＺｎＯ及びＳ
ｎ＝ＳｎＯ2 であると仮定することによって、これは代
替的に、０．９３±０．１２のＺｎ：Ｓｎ重量比；１．
７±０．２のＺｎ：Ｓｎ原子比；又は約Ｚｎ1.7xＳｎx
Ｏ3.7xの化合物式として表現されることができる組成を
生じる。
【００５１】基体を酸化物付着チャンバーから金属付着
チャンバーに移して、多結晶銀の約１１５Å厚さフィル
ムをベースフィルムの結晶質酸化亜鉛上部の上に付着さ
せた。ベースフィルム＋銀フィルムの測定された厚さは
合計で４３４±９Åであり、インライン透過モニターに
よって測定された、被覆済みガラスの透過率は反射性銀
フィルムのために６３．５％に減少した。銀フィルムの
厚さはＸ線蛍光分析によって測定して、ｃｍ2 当りのこ
の金属約１０．０μｇに相当した。
チャンバーに移して、多結晶銀の約１１５Å厚さフィル
ムをベースフィルムの結晶質酸化亜鉛上部の上に付着さ
せた。ベースフィルム＋銀フィルムの測定された厚さは
合計で４３４±９Åであり、インライン透過モニターに
よって測定された、被覆済みガラスの透過率は反射性銀
フィルムのために６３．５％に減少した。銀フィルムの
厚さはＸ線蛍光分析によって測定して、ｃｍ2 当りのこ
の金属約１０．０μｇに相当した。
【００５２】次に、１．１μｇ／ｃｍ2 （約２４Åの厚
さに相当）に等しい厚さを有する防食用(sacrificial)
チタンプライマーフィルムを銀の上部に付着させた。チ
タンプライマーフィルムの付着後に、２３０±７Åの厚
さを有するスズ酸亜鉛の非反射性トップコートフィルム
と３６±６Åの厚さを有する最終二酸化チタンオーバー
コートフィルムとを付着させた。上記多層状被膜は剪断
抵抗試験（次の段落において説明）を６０の等級(ratin
g)を受け入れてパスした。これは７．１Ω／平方の剪断
抵抗値（Ω／平方での剪断抵抗値をμΩ・ｃｍでの抵抗
に換算するためには、Ω／平方での値にｃｍでの銀フィ
ルム厚さ（１Å＝１０-8ｃｍ）を乗じて、１０-6によっ
て除する）とε＝０．１２の放射率とを有した。本明細
書で述べる被膜の放射率は、テキサス州，ダラスのＤｅ
ｖｉｃｅｓ ａｎｄ Ｓｅｒｖｉｃｅｓ社によって製造
されたモデルＡＥ Ｅｍｉｓｓｏｍｅｔｅｒによって測
定されたものである。ＣｓＩ光学によるＭａｔｔｓｏｎ
Ｇａｌａｘｉ Ｍｏｄｅｌ ５２００ ＦＴＩＲ機器
を用いたＡＳＴＭ Ｅ １５８５−９３に従った測定は
一般に、この場合に関係する範囲内である２０％以下ま
での放射率値を生じた。このサンプルの可視光線透過率
は７６％（ＶＬＴ（Ｄ６５），この場合にＤ６５は標準
光源の基準である）に等しく、その可視光線反射率はそ
の被覆済み側でＹ（Ｄ６５）＝５．６６％に等しかっ
た。このサンプルの被覆済み側ＣＩＥ２゜オブサーバ・
色座標(observercolor coordinate) はｘ＝０．３３５
０とｙ＝０．３２３９であった。
さに相当）に等しい厚さを有する防食用(sacrificial)
チタンプライマーフィルムを銀の上部に付着させた。チ
タンプライマーフィルムの付着後に、２３０±７Åの厚
さを有するスズ酸亜鉛の非反射性トップコートフィルム
と３６±６Åの厚さを有する最終二酸化チタンオーバー
コートフィルムとを付着させた。上記多層状被膜は剪断
抵抗試験（次の段落において説明）を６０の等級(ratin
g)を受け入れてパスした。これは７．１Ω／平方の剪断
抵抗値（Ω／平方での剪断抵抗値をμΩ・ｃｍでの抵抗
に換算するためには、Ω／平方での値にｃｍでの銀フィ
ルム厚さ（１Å＝１０-8ｃｍ）を乗じて、１０-6によっ
て除する）とε＝０．１２の放射率とを有した。本明細
書で述べる被膜の放射率は、テキサス州，ダラスのＤｅ
ｖｉｃｅｓ ａｎｄ Ｓｅｒｖｉｃｅｓ社によって製造
されたモデルＡＥ Ｅｍｉｓｓｏｍｅｔｅｒによって測
定されたものである。ＣｓＩ光学によるＭａｔｔｓｏｎ
Ｇａｌａｘｉ Ｍｏｄｅｌ ５２００ ＦＴＩＲ機器
を用いたＡＳＴＭ Ｅ １５８５−９３に従った測定は
一般に、この場合に関係する範囲内である２０％以下ま
での放射率値を生じた。このサンプルの可視光線透過率
は７６％（ＶＬＴ（Ｄ６５），この場合にＤ６５は標準
光源の基準である）に等しく、その可視光線反射率はそ
の被覆済み側でＹ（Ｄ６５）＝５．６６％に等しかっ
た。このサンプルの被覆済み側ＣＩＥ２゜オブサーバ・
色座標(observercolor coordinate) はｘ＝０．３３５
０とｙ＝０．３２３９であった。
【００５３】剪断抵抗試験はガラスの被覆済み面に対し
て脱イオン水で湿らせたクロス(cloth) の２０連続スト
ロークを与えた後に、試験を受けた面積を目視検査する
ことから成る。試験を受けた面積の外観に依存して、Ｄ
−、Ｄ、Ｄ＋、・・・・、Ａ、Ａ＋の文字等級が被膜に
割り当てられる；次に、数値分析に関して、Ｄ−に対す
る５、Ｄに対する５、・・・・、Ａに対する５５、及び
Ａ＋に対する６０の割り当てがなされる。被膜が剪断の
徴候を示さず、辛うじて目視可能なかき傷さえ示さない
ならば、被膜は６０の最大の等級を受ける。試験面積内
の多層被膜のあらゆる界面における均一な剪断と剥離を
示す被膜はゼロの崩壊等級(falling rating)を受ける。
他のレベルの性能は中間のスコアを受ける。被膜耐久性
を特徴付けるこの方法は被膜の実地性能と良好に相関す
ることが判明している。
て脱イオン水で湿らせたクロス(cloth) の２０連続スト
ロークを与えた後に、試験を受けた面積を目視検査する
ことから成る。試験を受けた面積の外観に依存して、Ｄ
−、Ｄ、Ｄ＋、・・・・、Ａ、Ａ＋の文字等級が被膜に
割り当てられる；次に、数値分析に関して、Ｄ−に対す
る５、Ｄに対する５、・・・・、Ａに対する５５、及び
Ａ＋に対する６０の割り当てがなされる。被膜が剪断の
徴候を示さず、辛うじて目視可能なかき傷さえ示さない
ならば、被膜は６０の最大の等級を受ける。試験面積内
の多層被膜のあらゆる界面における均一な剪断と剥離を
示す被膜はゼロの崩壊等級(falling rating)を受ける。
他のレベルの性能は中間のスコアを受ける。被膜耐久性
を特徴付けるこの方法は被膜の実地性能と良好に相関す
ることが判明している。
【００５４】上記サンプルの５．０８ｃｍ ｘ ２０．
３２ｃｍ（２インチｘ８インチ）切片を６４０℃（１１
８４゜Ｆ）の最大温度に加熱して、焼き戻しプロセスの
熱サイクルを模倣した。これによって、剪断試験では６
０の等級を保持し（この被膜は焼き戻し後に一層硬質に
なる）、曇り計（ＨＡＺＥＧＡＲＤ モデルＮＯ．ＸＬ
−２１１、Ｐａｃｉｆｉｃ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｃ
ｏｍｐａｎｙ、メリーランド州、シルバースプリングの
製品）によって測定して、測定可能な曇りを有さず、下
記パラグラフで説明するように、暗室、フラッドライト
曇り試験を用いて検査したときには非常に低レベルの被
膜曇りを有する被膜が生じた。加熱されたサンプルの抵
抗と放射率とはそれぞれ４．５Ω／平方と０．０７に改
良されたが、その可視光線透過率は８８．０％に増加し
た。サンプルの被覆済み側の反射色座標は加熱後にＹ
（Ｄ６５）＝５．２、ｘ＝０．２８１２、Ｙ＝０．２８
６０に移動した。
３２ｃｍ（２インチｘ８インチ）切片を６４０℃（１１
８４゜Ｆ）の最大温度に加熱して、焼き戻しプロセスの
熱サイクルを模倣した。これによって、剪断試験では６
０の等級を保持し（この被膜は焼き戻し後に一層硬質に
なる）、曇り計（ＨＡＺＥＧＡＲＤ モデルＮＯ．ＸＬ
−２１１、Ｐａｃｉｆｉｃ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｃ
ｏｍｐａｎｙ、メリーランド州、シルバースプリングの
製品）によって測定して、測定可能な曇りを有さず、下
記パラグラフで説明するように、暗室、フラッドライト
曇り試験を用いて検査したときには非常に低レベルの被
膜曇りを有する被膜が生じた。加熱されたサンプルの抵
抗と放射率とはそれぞれ４．５Ω／平方と０．０７に改
良されたが、その可視光線透過率は８８．０％に増加し
た。サンプルの被覆済み側の反射色座標は加熱後にＹ
（Ｄ６５）＝５．２、ｘ＝０．２８１２、Ｙ＝０．２８
６０に移動した。
【００５５】暗室、フラッドライト曇り試験では、被膜
から可能な光の最大散乱（換言すると、曇り）を生じる
ジオメトリーを見いだすために、被覆済み標本を暗室内
でスポットライトを基準にして種々な視角で反射に関し
て調べる。観察可能な曇りを生じうるジオメトリーが存
在しない場合には、サンプルにＡ＋等級を割り当てる。
非常に不良なサンプルはＤ−を受ける。数値分析のため
に、剪断試験に関して上述したように、文字等級に５〜
６０の値を与える。低い度合いの曇りは高い数値に相当
する。この実施例に用いる特定のフィルム又は層の厚さ
は最終製品の色及び放射率に影響を与える。しかし、厚
さの選択は供与品(issues,問題点) を製造することによ
っても影響される。誘電体層と銀との厚さは、大きいパ
レット(pallet)の色を与えるように修正し得る。チタン
プライマーの厚さは、後述のプライマー厚さの効果に関
する例で明らかになるように、付着プロセス中の銀層の
保護、被膜硬度（剪断抵抗）及び曇りに対するその効果
によって限定される。二酸化チタンオーバーコートの厚
さはスタックに望ましい化学的耐久性を与えるための最
低限を越えるべきであるが、その低い付着度及び製造の
経済性(economics) によって上限は限定される。
から可能な光の最大散乱（換言すると、曇り）を生じる
ジオメトリーを見いだすために、被覆済み標本を暗室内
でスポットライトを基準にして種々な視角で反射に関し
て調べる。観察可能な曇りを生じうるジオメトリーが存
在しない場合には、サンプルにＡ＋等級を割り当てる。
非常に不良なサンプルはＤ−を受ける。数値分析のため
に、剪断試験に関して上述したように、文字等級に５〜
６０の値を与える。低い度合いの曇りは高い数値に相当
する。この実施例に用いる特定のフィルム又は層の厚さ
は最終製品の色及び放射率に影響を与える。しかし、厚
さの選択は供与品(issues,問題点) を製造することによ
っても影響される。誘電体層と銀との厚さは、大きいパ
レット(pallet)の色を与えるように修正し得る。チタン
プライマーの厚さは、後述のプライマー厚さの効果に関
する例で明らかになるように、付着プロセス中の銀層の
保護、被膜硬度（剪断抵抗）及び曇りに対するその効果
によって限定される。二酸化チタンオーバーコートの厚
さはスタックに望ましい化学的耐久性を与えるための最
低限を越えるべきであるが、その低い付着度及び製造の
経済性(economics) によって上限は限定される。
【００５６】この実施例は銀の単層のみを用いるが、こ
の原理を発展させて、多重の銀フィルムを加熱可能なガ
ラス被膜に与えることができる。この実施例は下記順
序：ガラスシート基体／亜鉛−スズ合金の酸化物／亜鉛
酸化物／銀／チタン／亜鉛−スズ合金の酸化物／亜鉛酸
化物／銀／チタン／亜鉛−スズ合金の酸化物／チタンの
酸化物の外部保護フィルムの被覆済み物品である。
の原理を発展させて、多重の銀フィルムを加熱可能なガ
ラス被膜に与えることができる。この実施例は下記順
序：ガラスシート基体／亜鉛−スズ合金の酸化物／亜鉛
酸化物／銀／チタン／亜鉛−スズ合金の酸化物／亜鉛酸
化物／銀／チタン／亜鉛−スズ合金の酸化物／チタンの
酸化物の外部保護フィルムの被覆済み物品である。
【００５７】実施例２ 実施例１と同様な被覆済みガラスの大きいプレートを、
他の低放射率被覆済みガラス製品に対して用いられるの
と同じ包装及び輸送方法を用いて、他の州の焼き戻しプ
ラントに上首尾に輸送して、連続電気焼き戻しラインで
焼き戻した。この焼き戻しプラントにおいて、ガラスを
一定サイズに切断し、自動シーマー(automatic seamer)
によってシーミングし、脱イオン水を用いて板ガラス洗
浄機によって洗浄し、清潔な圧縮空気によって乾燥させ
た。「シーミング(seaming) 」とは焼き戻しプロセス中
に広がると考えられる微細亀裂を除去するためにガラス
の縁を研磨することである。ガラスを次にラインのレア
(lehr)に一定速度で通して、レアを出るときに空冷し
た。このガラスを、絶縁ガラス窓ユニットに取り付ける
ために備えて、再度洗浄した。上記処理後の被覆済みガ
ラスの性質は、加熱された被覆ガラス標本に関して実施
例１に記載した性質に匹敵した。この被覆は他の州へ輸
送するためにかつ焼き戻しプロセス前の切断、シーミン
グ及び洗浄工程のために充分に耐久性であった。
他の低放射率被覆済みガラス製品に対して用いられるの
と同じ包装及び輸送方法を用いて、他の州の焼き戻しプ
ラントに上首尾に輸送して、連続電気焼き戻しラインで
焼き戻した。この焼き戻しプラントにおいて、ガラスを
一定サイズに切断し、自動シーマー(automatic seamer)
によってシーミングし、脱イオン水を用いて板ガラス洗
浄機によって洗浄し、清潔な圧縮空気によって乾燥させ
た。「シーミング(seaming) 」とは焼き戻しプロセス中
に広がると考えられる微細亀裂を除去するためにガラス
の縁を研磨することである。ガラスを次にラインのレア
(lehr)に一定速度で通して、レアを出るときに空冷し
た。このガラスを、絶縁ガラス窓ユニットに取り付ける
ために備えて、再度洗浄した。上記処理後の被覆済みガ
ラスの性質は、加熱された被覆ガラス標本に関して実施
例１に記載した性質に匹敵した。この被覆は他の州へ輸
送するためにかつ焼き戻しプロセス前の切断、シーミン
グ及び洗浄工程のために充分に耐久性であった。
【００５８】プライマー厚さの影響に関する例 剪断抵抗、可視光線透過率（ＶＬＴ）及びシート電気抵
抗に対するチタンプライマーフィルムの厚さの影響を知
るために、一連のサンプルを用意し、実験的に試験し
た。これらのサンプルは、下記を例外として、上述した
実施例１のサンプルと同様に製造した。第一に、銀層の
厚さは実施例１の１１５Å厚さ層とは対照的に９０Å
（測定された９．５μｇ／ｃｍ2 から算出）に設定し
た。第二に、全てのサンプルはスズ酸亜鉛フィルムを基
体上に受容し、サンプルの一部のみが銀層の付着前にス
ズ酸亜鉛フィルム上の酸化亜鉛フィルムを受容し、それ
によってスズ酸亜鉛金属接触フィルム部分サンプルのセ
ットと酸化亜鉛金属接触フィルム部分サンプルのセット
とを生じた。次に、これらの２つのセットの各々でチタ
ンプライマー層厚さを変えて、残りの層を実施例１に述
べたように付着させた。他の点では、試験パラメータは
実施例１に述べた通りであった。
抗に対するチタンプライマーフィルムの厚さの影響を知
るために、一連のサンプルを用意し、実験的に試験し
た。これらのサンプルは、下記を例外として、上述した
実施例１のサンプルと同様に製造した。第一に、銀層の
厚さは実施例１の１１５Å厚さ層とは対照的に９０Å
（測定された９．５μｇ／ｃｍ2 から算出）に設定し
た。第二に、全てのサンプルはスズ酸亜鉛フィルムを基
体上に受容し、サンプルの一部のみが銀層の付着前にス
ズ酸亜鉛フィルム上の酸化亜鉛フィルムを受容し、それ
によってスズ酸亜鉛金属接触フィルム部分サンプルのセ
ットと酸化亜鉛金属接触フィルム部分サンプルのセット
とを生じた。次に、これらの２つのセットの各々でチタ
ンプライマー層厚さを変えて、残りの層を実施例１に述
べたように付着させた。他の点では、試験パラメータは
実施例１に述べた通りであった。
【００５９】図１Ａと２Ａは、非晶質スズ酸亜鉛金属接
触フィルム部分サンプルの剪断抵抗、可視光線透過率及
び電気抵抗に対するチタン厚さの変化の影響のプロット
である。図１Ｂと２Ｂは、結晶質酸化亜鉛金属接触フィ
ルム部分サンプルを用いた点以外は同じ試験の結果を示
す。可視光線透過率と電気抵抗とに関するデータは全て
のサンプルについて焼き戻し温度に加熱する前と後の両
方に関して記載する。焼き戻し温度に加熱した後に剪断
抵抗が増加することが判明したが、このことは図に示さ
れない。図１Ａから図２Ｂまでの全ては、被覆硬度とも
呼ばれる剪断抵抗が約１７Åのチタンプライマー厚さに
おいて最低値を経験することを示す。
触フィルム部分サンプルの剪断抵抗、可視光線透過率及
び電気抵抗に対するチタン厚さの変化の影響のプロット
である。図１Ｂと２Ｂは、結晶質酸化亜鉛金属接触フィ
ルム部分サンプルを用いた点以外は同じ試験の結果を示
す。可視光線透過率と電気抵抗とに関するデータは全て
のサンプルについて焼き戻し温度に加熱する前と後の両
方に関して記載する。焼き戻し温度に加熱した後に剪断
抵抗が増加することが判明したが、このことは図に示さ
れない。図１Ａから図２Ｂまでの全ては、被覆硬度とも
呼ばれる剪断抵抗が約１７Åのチタンプライマー厚さに
おいて最低値を経験することを示す。
【００６０】透過率は焼き戻し温度に加熱した後に、プ
ライマーフィルムの酸化のために及び恐らくは反射性金
属フィルム、銀のアニーリングのために増加する。特
に、厚いチタンフィルムの場合の焼き戻し後に、電気抵
抗に対する酸化亜鉛の有益な効果は低い抵抗値が得られ
たことで明らかである。酸化亜鉛金属接触フィルム部分
とスズ酸亜鉛金属接触フィルム部分の両方の加熱後サン
プル(after-heat sample) を曇りに関して試験した。図
３は暗室、フラッドライト曇り試験によって測定した、
曇り等級付け試験の結果を示す。酸化亜鉛金属接触フィ
ルム部分を含むサンプルは、図３に示したチタンプライ
マー層の約２４〜２８Å厚さにおいて低い曇りに相当す
る望ましい曇り等級の顕著なピークを経験する。
ライマーフィルムの酸化のために及び恐らくは反射性金
属フィルム、銀のアニーリングのために増加する。特
に、厚いチタンフィルムの場合の焼き戻し後に、電気抵
抗に対する酸化亜鉛の有益な効果は低い抵抗値が得られ
たことで明らかである。酸化亜鉛金属接触フィルム部分
とスズ酸亜鉛金属接触フィルム部分の両方の加熱後サン
プル(after-heat sample) を曇りに関して試験した。図
３は暗室、フラッドライト曇り試験によって測定した、
曇り等級付け試験の結果を示す。酸化亜鉛金属接触フィ
ルム部分を含むサンプルは、図３に示したチタンプライ
マー層の約２４〜２８Å厚さにおいて低い曇りに相当す
る望ましい曇り等級の顕著なピークを経験する。
【００６１】金属接触フィルム部分厚さの影響に関する
例 曇りに対するチタンプライマーフィルム厚さの影響の発
見に補助して、一連の実施例を実施して、これらの実施
例ではスズ酸亜鉛サポートフィルム部分上の酸化亜鉛金
属接触フィルム部分の厚さを０Å〜６８Åに変化させ、
チタンプライマー厚さを２８Åに一定に維持したサンプ
ルＡ〜Ｆを製造した。他の点では、サンプルと試験パラ
メータとは実施例１に述べた通りであった。サンプルを
曇りに関して試験し、データを表１に記載し、表１では
酸化亜鉛金属接触フィルム部分の厚さを加熱後曇り等級
に相関させる。
例 曇りに対するチタンプライマーフィルム厚さの影響の発
見に補助して、一連の実施例を実施して、これらの実施
例ではスズ酸亜鉛サポートフィルム部分上の酸化亜鉛金
属接触フィルム部分の厚さを０Å〜６８Åに変化させ、
チタンプライマー厚さを２８Åに一定に維持したサンプ
ルＡ〜Ｆを製造した。他の点では、サンプルと試験パラ
メータとは実施例１に述べた通りであった。サンプルを
曇りに関して試験し、データを表１に記載し、表１では
酸化亜鉛金属接触フィルム部分の厚さを加熱後曇り等級
に相関させる。
【００６２】 表１ 酸化亜鉛厚さ（Å） 曇り等級 サンプル Ａ ６８ Ａ＋（６０） サンプル Ｂ ５６ Ａ （５５） サンプル Ｃ ４５ Ａ （５５） サンプル Ｄ ２２ Ａ （５５） サンプル Ｅ ０ Ｄ− （５） サンプル Ｆ ５６ Ａ−（５０）
【００６３】表に記載したこれらの結果は図３のデータ
と一致し、最低曇り等級（従って、最も悪い曇り値）は
酸化亜鉛が付着せず、スズ酸亜鉛金属接触フィルム部分
を生じたサンプルＥに相当する。他のサンプルＡ〜Ｄ及
びＦは一致して高い曇り等級（低い曇りレベル）を生じ
るが、これは表１のデータから酸化亜鉛厚さとは関係が
ないように思われる。金属接触フィルム部分の厚さの平
面指標に対する効果をサンプルの回折スペクトルを得る
ことにより表１のサンプルＥとＦに関し試験した。図４
Ａと４Ｂは、表１のサンプルＥとＦの加熱前及び加熱後
回折スペクトルにそれぞれ相当する。
と一致し、最低曇り等級（従って、最も悪い曇り値）は
酸化亜鉛が付着せず、スズ酸亜鉛金属接触フィルム部分
を生じたサンプルＥに相当する。他のサンプルＡ〜Ｄ及
びＦは一致して高い曇り等級（低い曇りレベル）を生じ
るが、これは表１のデータから酸化亜鉛厚さとは関係が
ないように思われる。金属接触フィルム部分の厚さの平
面指標に対する効果をサンプルの回折スペクトルを得る
ことにより表１のサンプルＥとＦに関し試験した。図４
Ａと４Ｂは、表１のサンプルＥとＦの加熱前及び加熱後
回折スペクトルにそれぞれ相当する。
【００６４】本明細書に述べるスペクトルに関して用い
たＸ線回折方法は視射角(grazing angle) 方法である。
この形態では、薄フィルム被膜からのシグナルを最大に
するために、Ｘ線源を一定の小さい角度（≦１．０度）
でサンプルに向ける。回折したＸ線ピークの強度を測定
するために、サンプル面に対して直角をなす垂直面内に
Ｘ線回折計を走らせる。Ｘ線源に対するサンプル角度は
一定に維持するが、サンプルはそれ自体の面内でその表
面法線を中心として回転する。この方法に関するさらな
る情報に関しては、Ｔ．Ｃ．Ｈｕａｎｇの“Ａｄｖａｎ
ｃｅｓ ｉｎＸ−Ｒａｙ Ａｎａｌｙｓｉｓ”、３５
巻、Ｃ．Ｂ．Ｂａｒｎｅｔｔ等編集、Ｐｌｅｎｕｍ Ｐ
ｒｅｓｓ、ニューヨーク、１９９２、１４３頁を参照の
こと。
たＸ線回折方法は視射角(grazing angle) 方法である。
この形態では、薄フィルム被膜からのシグナルを最大に
するために、Ｘ線源を一定の小さい角度（≦１．０度）
でサンプルに向ける。回折したＸ線ピークの強度を測定
するために、サンプル面に対して直角をなす垂直面内に
Ｘ線回折計を走らせる。Ｘ線源に対するサンプル角度は
一定に維持するが、サンプルはそれ自体の面内でその表
面法線を中心として回転する。この方法に関するさらな
る情報に関しては、Ｔ．Ｃ．Ｈｕａｎｇの“Ａｄｖａｎ
ｃｅｓ ｉｎＸ−Ｒａｙ Ａｎａｌｙｓｉｓ”、３５
巻、Ｃ．Ｂ．Ｂａｒｎｅｔｔ等編集、Ｐｌｅｎｕｍ Ｐ
ｒｅｓｓ、ニューヨーク、１９９２、１４３頁を参照の
こと。
【００６５】ランダム配向した、多結晶性(multigraine
d or polycrystalline) フィルムに関しては、銀の回折
パターン又はスペクトルは｛１１１｝ピークが最も顕著
である粉末サンプルの回折パターンと同様である。表２
はＪＣＰＤＳ−ＩＣＤＤ粉末回折データベースから引用
した、銀粉末の回折パターンを示す。
d or polycrystalline) フィルムに関しては、銀の回折
パターン又はスペクトルは｛１１１｝ピークが最も顕著
である粉末サンプルの回折パターンと同様である。表２
はＪＣＰＤＳ−ＩＣＤＤ粉末回折データベースから引用
した、銀粉末の回折パターンを示す。
【００６６】 表２ 銀のＪＣＰＤＳ−ＩＣＤＤ粉末回折データ 銀面* ２θ 相対強度 １１１ ３８．１１７ １００ ２００ ４４．２７９ ４０ ２２０ ６４．４２８ ２５ ３１１ ７７．４７５ ２６ ２２２ ８１．５３９ １２ * ８５度の２θ値までの面のみをここに示す。
【００６７】図４Ｂの、予熱又は加熱前のスペクトル
は、サンプルＦに相当し、これはサンプルＡ〜Ｄの回折
スペクトルについても典型的であるが、図４Ａのスペク
トルとはかなり異なる。予熱４Ｂを予熱４Ａに比較する
と、図４Ｂの酸化亜鉛金属接触フィルム部分の存在は銀
最密充填｛１１１｝面のピークの強度を減ずるが、｛２
２０｝面のピークを促進する。最密充填を有さない、
｛２２０｝面と同様な面は本明細書では「低密度充填(l
ess-packed) 」面と呼ぶ。
は、サンプルＦに相当し、これはサンプルＡ〜Ｄの回折
スペクトルについても典型的であるが、図４Ａのスペク
トルとはかなり異なる。予熱４Ｂを予熱４Ａに比較する
と、図４Ｂの酸化亜鉛金属接触フィルム部分の存在は銀
最密充填｛１１１｝面のピークの強度を減ずるが、｛２
２０｝面のピークを促進する。最密充填を有さない、
｛２２０｝面と同様な面は本明細書では「低密度充填(l
ess-packed) 」面と呼ぶ。
【００６８】図４Ａに比べて図４Ｂにおいて｛１１１｝
ピークを越えて｛２２０｝ピークが上昇することは、図
４Ｂの薄い銀フィルムが粉末サンプルから得られると考
えられるスペクトルに類似した、図４Ａの粒子配向のよ
りランダムな分布に比べて、基体に関し選択的な(prefe
rencial)結晶組織学的配向を有する。しかし、これは
｛２２０｝面が基体に平行であることを示唆しない。実
際、上述した非対称的なＸ線回折ジオメトリーのため、
｛２２０｝面は基体面に関しある角度をなす。
ピークを越えて｛２２０｝ピークが上昇することは、図
４Ｂの薄い銀フィルムが粉末サンプルから得られると考
えられるスペクトルに類似した、図４Ａの粒子配向のよ
りランダムな分布に比べて、基体に関し選択的な(prefe
rencial)結晶組織学的配向を有する。しかし、これは
｛２２０｝面が基体に平行であることを示唆しない。実
際、上述した非対称的なＸ線回折ジオメトリーのため、
｛２２０｝面は基体面に関しある角度をなす。
【００６９】加熱後スペクトルを比べると、酸化亜鉛金
属接触フィルム部分を有する図４Ｂサンプルは｛２２
０｝ピークを示し続け、｛１１１｝ピークを本質的に示
さないことが認められる。従って、加熱前酸化亜鉛サン
プルの選択的配向は加熱後も保持されている。酸化亜鉛
金属接触フィルム部分を有さない図４Ａサンプルでは、
｛２２０｝ピークは加熱後に発達するが、｛１１１｝ピ
ークはそれを越えて高くそびえ、このことは本質的にラ
ンダムな粒子配向の保持を実証する。これらのスペクト
ルの形状は上記回折ジオメトリーに固有である。他の回
折ジオメトリーは、外観において異なるが、酸化亜鉛サ
ンプルの好ましい粒子配向を示すスペクトルを生じる。
属接触フィルム部分を有する図４Ｂサンプルは｛２２
０｝ピークを示し続け、｛１１１｝ピークを本質的に示
さないことが認められる。従って、加熱前酸化亜鉛サン
プルの選択的配向は加熱後も保持されている。酸化亜鉛
金属接触フィルム部分を有さない図４Ａサンプルでは、
｛２２０｝ピークは加熱後に発達するが、｛１１１｝ピ
ークはそれを越えて高くそびえ、このことは本質的にラ
ンダムな粒子配向の保持を実証する。これらのスペクト
ルの形状は上記回折ジオメトリーに固有である。他の回
折ジオメトリーは、外観において異なるが、酸化亜鉛サ
ンプルの好ましい粒子配向を示すスペクトルを生じる。
【００７０】２変数の影響に関する例 熱処理前及び後の被膜抵抗に及ぼす酸化亜鉛金属接触フ
ィルム部分とチタンプライマーフィルムとの厚さを変え
ることの影響を示すために、２変数計画実験を実施し
た。設計された実験の試行のランダム化セットを与える
ために、酸化亜鉛金属接触フィルム部分とチタンプライ
マー層との厚さを変えた以外は、実施例１に述べたと同
様に、２２サンプルのセットを形成した。他の全ての実
験条件は実施例１に述べた通りであったが、銀フィルム
厚さは実施例１の１１５Å厚さの銀層とは対照的に９．
９５±０．２２μｇ／ｃｍ2 ＝９５±２Å（密度計算に
基づく）に一定に保持した。実験結果は商業的に入手可
能な統計的コンピュータプログラムで処理して、図５Ａ
と図５Ｂのプロットされた面を得た。
ィルム部分とチタンプライマーフィルムとの厚さを変え
ることの影響を示すために、２変数計画実験を実施し
た。設計された実験の試行のランダム化セットを与える
ために、酸化亜鉛金属接触フィルム部分とチタンプライ
マー層との厚さを変えた以外は、実施例１に述べたと同
様に、２２サンプルのセットを形成した。他の全ての実
験条件は実施例１に述べた通りであったが、銀フィルム
厚さは実施例１の１１５Å厚さの銀層とは対照的に９．
９５±０．２２μｇ／ｃｍ2 ＝９５±２Å（密度計算に
基づく）に一定に保持した。実験結果は商業的に入手可
能な統計的コンピュータプログラムで処理して、図５Ａ
と図５Ｂのプロットされた面を得た。
【００７１】平面指数形成、抵抗及び放射率に対する金
属接触フィルム部分の組成と付着酸素濃度との影響に関
する例 （１）酸化亜鉛金属接触フィルム部分の付着中の酸素濃
度の影響を実証するためと；（２）金属接触フィルム部
分の組成−特にこれが強度に好ましい配向を有する結晶
質酸化亜鉛から若しくは強度に好ましい配向を有さない
結晶質酸化亜鉛から構成されているか、又は非晶質スズ
酸亜鉛から構成されているか−の影響を実証するため
に、４つのサンプルを調製して、試験した。サンプルＧ
〜Ｊを図９に述べた通りに調製した。鋳造金属カソード
標的を用いた。サンプルＧ〜Ｊの視射角回折スペクトル
をそれぞれ図６Ａ〜６Ｄに示す。これらのスペクトルは
例えば焼き戻しのような熱処理前の図９の被膜に関す
る。抵抗と放射率も測定し、図９に示す。図９が分離サ
ポート部分フィルムを用いない金属接触フィルム部分を
直接比較するために基体／酸化亜鉛／銀組成物を包含す
る多層フィルム（サンプルＧ、Ｈ及びＪ）を基体／スズ
酸亜鉛／銀組成物を包含する多層フィルム（サンプル
Ｉ）と直接比較することを認めるべきである。サンプル
Ｊが、サンプルＨが実際に同じ状況下で製造されたもの
であることを実証することも認めるべきである。
属接触フィルム部分の組成と付着酸素濃度との影響に関
する例 （１）酸化亜鉛金属接触フィルム部分の付着中の酸素濃
度の影響を実証するためと；（２）金属接触フィルム部
分の組成−特にこれが強度に好ましい配向を有する結晶
質酸化亜鉛から若しくは強度に好ましい配向を有さない
結晶質酸化亜鉛から構成されているか、又は非晶質スズ
酸亜鉛から構成されているか−の影響を実証するため
に、４つのサンプルを調製して、試験した。サンプルＧ
〜Ｊを図９に述べた通りに調製した。鋳造金属カソード
標的を用いた。サンプルＧ〜Ｊの視射角回折スペクトル
をそれぞれ図６Ａ〜６Ｄに示す。これらのスペクトルは
例えば焼き戻しのような熱処理前の図９の被膜に関す
る。抵抗と放射率も測定し、図９に示す。図９が分離サ
ポート部分フィルムを用いない金属接触フィルム部分を
直接比較するために基体／酸化亜鉛／銀組成物を包含す
る多層フィルム（サンプルＧ、Ｈ及びＪ）を基体／スズ
酸亜鉛／銀組成物を包含する多層フィルム（サンプル
Ｉ）と直接比較することを認めるべきである。サンプル
Ｊが、サンプルＨが実際に同じ状況下で製造されたもの
であることを実証することも認めるべきである。
【００７２】サンプルＨとＪは低レベルの電気フィルム
抵抗を示し、サンプルＧとＩは高レベルの電気フィルム
抵抗を示し、このことは銀が２種の異なる電気抵抗レベ
ルを有することに相当する。サンプルＨとＪは低い抵抗
を示し、高い８０％酸素濃度における酸化亜鉛付着に相
当し、これらのサンプルのスペクトルを図６Ｂと６Ｄに
示す。
抵抗を示し、サンプルＧとＩは高レベルの電気フィルム
抵抗を示し、このことは銀が２種の異なる電気抵抗レベ
ルを有することに相当する。サンプルＨとＪは低い抵抗
を示し、高い８０％酸素濃度における酸化亜鉛付着に相
当し、これらのサンプルのスペクトルを図６Ｂと６Ｄに
示す。
【００７３】最初に、図９に示した結果は、サンプルＩ
におけるように金属接触フィルム部分が非晶質スズ酸亜
鉛である場合には、電気抵抗がサンプルＨとＪにおける
よりも明らかに高いことを実証する。金属接触フィルム
部分は結晶形成性又は結晶指向性(crystalline-directi
ng property)を有さないので、スズ酸亜鉛金属接触フィ
ルム部分の付着中の雰囲気の酸素含量の変化が抵抗の低
下に影響を有さないことを、発明者は発見している。従
って、金属接触フィルム部分の組成（スズ酸亜鉛）もそ
の付着中の酸素濃度の変化も本発明の望ましい結果を与
えない。
におけるように金属接触フィルム部分が非晶質スズ酸亜
鉛である場合には、電気抵抗がサンプルＨとＪにおける
よりも明らかに高いことを実証する。金属接触フィルム
部分は結晶形成性又は結晶指向性(crystalline-directi
ng property)を有さないので、スズ酸亜鉛金属接触フィ
ルム部分の付着中の雰囲気の酸素含量の変化が抵抗の低
下に影響を有さないことを、発明者は発見している。従
って、金属接触フィルム部分の組成（スズ酸亜鉛）もそ
の付着中の酸素濃度の変化も本発明の望ましい結果を与
えない。
【００７４】これとは対照的に、酸化亜鉛金属接触フィ
ルム部分が用いられるサンプルＨとＪは有意に低い抵抗
を示す。これらの２つのサンプルは酸化亜鉛金属接触フ
ィルム部分の付着中の８０％の酸素濃度に相当する。酸
化亜鉛金属接触フィルム部分の付着中の酸素濃度の変化
が抵抗に有意に影響を与えること、従って、銀が２種の
異なる電気抵抗レベルを有し、これらのレベルの選択が
金属接触フィルム部分の付着中の酸素濃度を制御するこ
とによって得られることをも、発明者は発見している。
上記はサンプルＧ（酸化亜鉛金属接触フィルム部分、５
０％Ｏ2 ／５０％アルゴン、抵抗３．５２Ω／平方）を
サンプルＨとＪ（酸化亜鉛金属接触フィルム部分、８０
％Ｏ2 −２０％Ａｒ、抵抗、それぞれ２．９２と２．８
５Ω／平方）と比較することによって実証される。この
ように、金属接触フィルム部分の組成（酸化亜鉛対スズ
酸亜鉛）と付着中のその酸素濃度の両方は、形成される
多層フィルムの抵抗に有意な影響を及ぼす。
ルム部分が用いられるサンプルＨとＪは有意に低い抵抗
を示す。これらの２つのサンプルは酸化亜鉛金属接触フ
ィルム部分の付着中の８０％の酸素濃度に相当する。酸
化亜鉛金属接触フィルム部分の付着中の酸素濃度の変化
が抵抗に有意に影響を与えること、従って、銀が２種の
異なる電気抵抗レベルを有し、これらのレベルの選択が
金属接触フィルム部分の付着中の酸素濃度を制御するこ
とによって得られることをも、発明者は発見している。
上記はサンプルＧ（酸化亜鉛金属接触フィルム部分、５
０％Ｏ2 ／５０％アルゴン、抵抗３．５２Ω／平方）を
サンプルＨとＪ（酸化亜鉛金属接触フィルム部分、８０
％Ｏ2 −２０％Ａｒ、抵抗、それぞれ２．９２と２．８
５Ω／平方）と比較することによって実証される。この
ように、金属接触フィルム部分の組成（酸化亜鉛対スズ
酸亜鉛）と付着中のその酸素濃度の両方は、形成される
多層フィルムの抵抗に有意な影響を及ぼす。
【００７５】サンプルＧ〜Ｊの回折スペクトルの試験
は、サンプルＧとＩに比べて、サンプルＨとＪでは銀
｛２２０｝面のピークが｛１１１｝面よりも高いことを
確証する。図６Ａ（サンプルＧ）と図６Ｃ（サンプル
Ｉ）のパターンに比べて、図６Ｂ（サンプルＨ）と図６
Ｄ（サンプルＪ）の｛２２０｝銀面のピークは｛１１
１｝面のピークよりも高い。図６Ａのパターンに比べる
と、図６Ｂと６Ｄにおける｛１０３｝酸化亜鉛面のピー
クは図６Ａにおけるよりも高い。高い８０％酸素濃度で
付着した酸化亜鉛金属接触フィルム部分は、続いて付着
される銀フィルムの粒子を低い電気抵抗レベルを有する
形に選択的に配向させるような、異なる結晶特徴を有す
るように思われる。
は、サンプルＧとＩに比べて、サンプルＨとＪでは銀
｛２２０｝面のピークが｛１１１｝面よりも高いことを
確証する。図６Ａ（サンプルＧ）と図６Ｃ（サンプル
Ｉ）のパターンに比べて、図６Ｂ（サンプルＨ）と図６
Ｄ（サンプルＪ）の｛２２０｝銀面のピークは｛１１
１｝面のピークよりも高い。図６Ａのパターンに比べる
と、図６Ｂと６Ｄにおける｛１０３｝酸化亜鉛面のピー
クは図６Ａにおけるよりも高い。高い８０％酸素濃度で
付着した酸化亜鉛金属接触フィルム部分は、続いて付着
される銀フィルムの粒子を低い電気抵抗レベルを有する
形に選択的に配向させるような、異なる結晶特徴を有す
るように思われる。
【００７６】図６Ｂと６Ｄにおいて酸化亜鉛の｛１０
３｝ピークがそれの他の低い指標(index) ピークを越え
て上昇することは以下の表３に示すような、酸化亜鉛の
粉末回折パターンとは対照的である。この挙動は上述し
た銀の場合と同様であり、基体面に準ずる傾向での｛１
０３｝面を有する酸化亜鉛フィルムの優先的な成長を実
証する。酸化亜鉛フィルムのこの優先的成長はそれの上
方の銀を優先的に成長させ、これは次に金属フィルム内
の良好な導電率を生じる。これらの観察は高分解能の透
過電子顕微鏡分析によって支持されている。上述したよ
うに、これらのスペクトルの形状はこれらの実験で用い
られた特定の回折ジオメトリーに固有である。
３｝ピークがそれの他の低い指標(index) ピークを越え
て上昇することは以下の表３に示すような、酸化亜鉛の
粉末回折パターンとは対照的である。この挙動は上述し
た銀の場合と同様であり、基体面に準ずる傾向での｛１
０３｝面を有する酸化亜鉛フィルムの優先的な成長を実
証する。酸化亜鉛フィルムのこの優先的成長はそれの上
方の銀を優先的に成長させ、これは次に金属フィルム内
の良好な導電率を生じる。これらの観察は高分解能の透
過電子顕微鏡分析によって支持されている。上述したよ
うに、これらのスペクトルの形状はこれらの実験で用い
られた特定の回折ジオメトリーに固有である。
【００７７】 表３ 酸化亜鉛のＪＣＰＤＳ−ＩＣＤＤ粉末回折データ 酸化亜鉛面* ２θ 相対的強度 １００ ３１．７７０ ５７ ００２ ３４．４４２ ４４ １０１ ３６．２５３ １００ １０２ ４７．５３９ ２３ １１０ ５６．６０３ ３２ １０３ ６２．８６４ ２９ ２００ ６６．３８０ ４ １１２ ６７．９６３ ２３ ２０１ ６９．１００ １１ ００４ ７２．５６２ ２ ２０２ ７６．９９５ ４ １０４ ８１．３７０ １ * ８５度の２θまでの面のみをここに示す。
【００７８】Ｘ線スペクトルを用いた他の例 非晶質スズ酸亜鉛金属接触フィルム部分に比べた本発明
の酸化亜鉛金属接触フィルム部分の銀｛１１１｝と｛２
２０｝面の強度が異なる厚さの銀層に関しては逆転する
ことをさらに実証するために、一連のサンプルを調製し
て、試験した。これらの比較は上述したような、分離サ
ポートフィルム部分を用いずに実施した。上述したよう
に、銀の｛２２０｝面の優先的成長を生じる２０％−８
０％アルゴン−酸素雰囲気中で基体上に酸化亜鉛を付着
させることによって、酸化亜鉛金属接触フィルム部分サ
ンプルを調製した。上述したように、銀の｛２２０｝面
の優先的成長を生じない６５％Ｏ2 ／３５％Ａｒ雰囲気
中で基体上にスズ酸亜鉛を付着させることによって、ス
ズ酸亜鉛金属接触フィルム部分サンプルを調製した。両
方のセットのサンプルを次に厚さの異なる銀層によって
被覆して、Ｘ線回折によってピーク強度を測定した。結
果は図７Ａと７Ｂに示す。回帰分析を用いると、二次多
項をデータに適用して、これらの対応曲線も図７Ａと７
Ｂに示す。図７Ａと７Ｂに示した結果は、酸化亜鉛金属
接触フィルム部分を有さないサンプル（図７Ａ）では、
銀｛１１１｝面が回折パターンを特徴付けるが、存在す
る酸化亜鉛金属接触フィルム部分（図７Ｂ）では、｛２
２０｝面が主要ピークに成ることを実証する。この挙動
は５００Å以上の銀フィルム厚さまで続く。即ち、銀の
初期核形成層はそれが有意に厚い層に発達するので、銀
フィルムの成長に顕著な影響を及ぼす。
の酸化亜鉛金属接触フィルム部分の銀｛１１１｝と｛２
２０｝面の強度が異なる厚さの銀層に関しては逆転する
ことをさらに実証するために、一連のサンプルを調製し
て、試験した。これらの比較は上述したような、分離サ
ポートフィルム部分を用いずに実施した。上述したよう
に、銀の｛２２０｝面の優先的成長を生じる２０％−８
０％アルゴン−酸素雰囲気中で基体上に酸化亜鉛を付着
させることによって、酸化亜鉛金属接触フィルム部分サ
ンプルを調製した。上述したように、銀の｛２２０｝面
の優先的成長を生じない６５％Ｏ2 ／３５％Ａｒ雰囲気
中で基体上にスズ酸亜鉛を付着させることによって、ス
ズ酸亜鉛金属接触フィルム部分サンプルを調製した。両
方のセットのサンプルを次に厚さの異なる銀層によって
被覆して、Ｘ線回折によってピーク強度を測定した。結
果は図７Ａと７Ｂに示す。回帰分析を用いると、二次多
項をデータに適用して、これらの対応曲線も図７Ａと７
Ｂに示す。図７Ａと７Ｂに示した結果は、酸化亜鉛金属
接触フィルム部分を有さないサンプル（図７Ａ）では、
銀｛１１１｝面が回折パターンを特徴付けるが、存在す
る酸化亜鉛金属接触フィルム部分（図７Ｂ）では、｛２
２０｝面が主要ピークに成ることを実証する。この挙動
は５００Å以上の銀フィルム厚さまで続く。即ち、銀の
初期核形成層はそれが有意に厚い層に発達するので、銀
フィルムの成長に顕著な影響を及ぼす。
【００７９】抵抗対銀厚さに関する例 本発明の金属接触フィルム部分が銀を高透過率、低放射
率の被覆済みガラスのために重要な銀フィルム厚さでの
低い抵抗形にすることを実証するために、一連のサンプ
ルを調製して、試験した。これらのサンプルは酸化亜鉛
金属接触フィルム部分サンプルのセットとスズ酸亜鉛金
属接触フィルム部分サンプルのセットとを提供するため
の図７Ａと７Ｂのサンプルと同じ方法でかつ同じ付着雰
囲気中で調製したが、この場合には、酸化亜鉛金属接触
フィルム部分サンプルを３．８ｃｍ（１．５インチ）の
カソード〜基体間隔で調製された第１サブセットと１
３．９７ｃｍ（５．５インチ）のカソード〜表面間隔で
調製された第２サブセットとにさらに分割して、このよ
うな間隔が抵抗に影響するかどうかをも試験した。次に
全てのサンプルを異なる厚さの銀層によってオーバーコ
ートして、抵抗を測定した。フィルム抵抗対銀厚さとし
て表現した結果は、図８に示す。
率の被覆済みガラスのために重要な銀フィルム厚さでの
低い抵抗形にすることを実証するために、一連のサンプ
ルを調製して、試験した。これらのサンプルは酸化亜鉛
金属接触フィルム部分サンプルのセットとスズ酸亜鉛金
属接触フィルム部分サンプルのセットとを提供するため
の図７Ａと７Ｂのサンプルと同じ方法でかつ同じ付着雰
囲気中で調製したが、この場合には、酸化亜鉛金属接触
フィルム部分サンプルを３．８ｃｍ（１．５インチ）の
カソード〜基体間隔で調製された第１サブセットと１
３．９７ｃｍ（５．５インチ）のカソード〜表面間隔で
調製された第２サブセットとにさらに分割して、このよ
うな間隔が抵抗に影響するかどうかをも試験した。次に
全てのサンプルを異なる厚さの銀層によってオーバーコ
ートして、抵抗を測定した。フィルム抵抗対銀厚さとし
て表現した結果は、図８に示す。
【００８０】大きい物質の抵抗はサンプルサイズに無関
係である。しかし、薄い銀フィルムを有するサンプルで
は、厚さが５０Å以上を越えるまでフィルム抵抗は非常
に高い。これより薄い厚さでは、フィルムは不連続であ
り、単離した島又は非常に疎らな構造の形状であるの
で、抵抗は大きい。銀厚さが増大するにつれて、全ての
曲線は降下して、厚いフィルムの抵抗値に近づくように
思われる。これは銀のバルク特性の影響が増大すること
による。本発明によると、両方の酸化亜鉛金属接触フィ
ルム部分サンプルの抵抗曲線は、スズ酸亜鉛金属接触フ
ィルム部分サンプルよりも低いレベルにシフトする。最
大の差異は８０〜２００Åの銀厚さに相当し、この厚さ
は高透過率、低放射率の被覆済みガラスの分野のために
最も重要である。
係である。しかし、薄い銀フィルムを有するサンプルで
は、厚さが５０Å以上を越えるまでフィルム抵抗は非常
に高い。これより薄い厚さでは、フィルムは不連続であ
り、単離した島又は非常に疎らな構造の形状であるの
で、抵抗は大きい。銀厚さが増大するにつれて、全ての
曲線は降下して、厚いフィルムの抵抗値に近づくように
思われる。これは銀のバルク特性の影響が増大すること
による。本発明によると、両方の酸化亜鉛金属接触フィ
ルム部分サンプルの抵抗曲線は、スズ酸亜鉛金属接触フ
ィルム部分サンプルよりも低いレベルにシフトする。最
大の差異は８０〜２００Åの銀厚さに相当し、この厚さ
は高透過率、低放射率の被覆済みガラスの分野のために
最も重要である。
【００８１】実施例３−非焼き戻し二重スタック 透明な焼き入れ済みソーダ石灰ガラスの２．５ｍｍ
（０．０９８インチ）厚さ板の形状の基体上に、多層被
膜を付着させた。コーターとその操作は実施例１で既に
述べた。この実施例の被膜は、ガラス基体に隣接する非
晶質スズ酸亜鉛のサポートフィルム部分と、このスズ酸
亜鉛上の結晶質酸化亜鉛層の金属接触フィルム部分とか
ら成る３２０Å誘電性ベースフィルムを最初に付着させ
ることによって、形成された。このベースフィルムの２
つのフィルム部分の相対的厚さは実施例１における通り
であった。
（０．０９８インチ）厚さ板の形状の基体上に、多層被
膜を付着させた。コーターとその操作は実施例１で既に
述べた。この実施例の被膜は、ガラス基体に隣接する非
晶質スズ酸亜鉛のサポートフィルム部分と、このスズ酸
亜鉛上の結晶質酸化亜鉛層の金属接触フィルム部分とか
ら成る３２０Å誘電性ベースフィルムを最初に付着させ
ることによって、形成された。このベースフィルムの２
つのフィルム部分の相対的厚さは実施例１における通り
であった。
【００８２】次に、銀フィルムの層を結晶質酸化亜鉛上
に付着させた。銀フィルムの厚さは銀（ＸＲＦ）の９．
５μｇ／ｃｍ2 と同等であり、これは銀のかさ密度を有
するフィルムの約９０Åに相当する。次に、０．４μｇ
／ｃｍ2 （チタンのかさ密度を有するフィルムの約９Å
に相当する）と同等な厚さを有する防食用チタンプライ
マーフィルムを銀の頂部に付着させた。
に付着させた。銀フィルムの厚さは銀（ＸＲＦ）の９．
５μｇ／ｃｍ2 と同等であり、これは銀のかさ密度を有
するフィルムの約９０Åに相当する。次に、０．４μｇ
／ｃｍ2 （チタンのかさ密度を有するフィルムの約９Å
に相当する）と同等な厚さを有する防食用チタンプライ
マーフィルムを銀の頂部に付着させた。
【００８３】これらの金属フィルムの付着後に、約８０
５Åの三部分非反射性誘電性ベースフィルムを付着させ
た。この三部分ベースフィルムは約２６％／３５％／３
９％の厚さ比での酸化亜鉛／スズ酸亜鉛／酸化亜鉛フィ
ルム部分シーケンス(sequence)から成るものであった。
この場合に、酸化亜鉛／スズ酸亜鉛シーケンスはサポー
トフィルム部分であり、厚さの３９％を表す頂部の酸化
亜鉛は、以下で説明するように被膜の第２銀フィルムを
受容するための金属接触フィルム部分である。
５Åの三部分非反射性誘電性ベースフィルムを付着させ
た。この三部分ベースフィルムは約２６％／３５％／３
９％の厚さ比での酸化亜鉛／スズ酸亜鉛／酸化亜鉛フィ
ルム部分シーケンス(sequence)から成るものであった。
この場合に、酸化亜鉛／スズ酸亜鉛シーケンスはサポー
トフィルム部分であり、厚さの３９％を表す頂部の酸化
亜鉛は、以下で説明するように被膜の第２銀フィルムを
受容するための金属接触フィルム部分である。
【００８４】この実施例では、フィルムの付着に用いる
装置の製造限界のみのために、サポートフィルム部分中
の酸化亜鉛フィルム（２６％）よりも金属接触フィルム
部分中では酸化亜鉛フィルムが厚い（３９％）ことを注
目すべきである。得られた被膜は熱的に耐久性では無い
としても、まだ充分に化学的に耐久性である。しかし、
上述したように、金属接触フィルム部分中の酸化亜鉛フ
ィルムの厚さを最小にすることが、低い抵抗性で反射性
の金属フィルムを上述のようにまだ形成させるならば、
依然として有利である。
装置の製造限界のみのために、サポートフィルム部分中
の酸化亜鉛フィルム（２６％）よりも金属接触フィルム
部分中では酸化亜鉛フィルムが厚い（３９％）ことを注
目すべきである。得られた被膜は熱的に耐久性では無い
としても、まだ充分に化学的に耐久性である。しかし、
上述したように、金属接触フィルム部分中の酸化亜鉛フ
ィルムの厚さを最小にすることが、低い抵抗性で反射性
の金属フィルムを上述のようにまだ形成させるならば、
依然として有利である。
【００８５】次に、第２反射性銀フィルムを誘電性複合
フィルムの頂部に付着させた。この第２層は別の実験で
の１３．４μｇ／ｃｍ2 の銀の測定された値に基づくも
のと同等な１３０Åの厚さを有した。次に、０．４５μ
ｇ／ｃｍ2 （チタンのかさ密度を有するフィルムの約１
０Åの厚さに相当する）と同等な厚さを有する防食用チ
タンプライマーフィルムを第２銀フィルムの頂部に付着
させた。
フィルムの頂部に付着させた。この第２層は別の実験で
の１３．４μｇ／ｃｍ2 の銀の測定された値に基づくも
のと同等な１３０Åの厚さを有した。次に、０．４５μ
ｇ／ｃｍ2 （チタンのかさ密度を有するフィルムの約１
０Åの厚さに相当する）と同等な厚さを有する防食用チ
タンプライマーフィルムを第２銀フィルムの頂部に付着
させた。
【００８６】次に、４０％／６０％厚さ比での、プライ
マー層上に付着した第１酸化亜鉛フィルム部分と、この
第１酸化亜鉛フィルム部分上に付着した第２スズ酸亜鉛
フィルム部分とから成る２７０Åの非反射性フィルムを
付着させた。この非反射性層に続いて、約３０Å厚さの
最終二酸化チタンオーバーコートを付着させた。この実
施例３の被膜は、剪断抵抗試験を６０の等級を受け入れ
てパスした。これは２．２３Ω／平方の剪断抵抗値と、
０．０５以下の放射率とを有した。このサンプルの可視
光線透過率は８１．６％であり、その可視光線反射率は
その被覆済み側でＹ（Ｄ６５）＝４．７５％に等しかっ
た。このサンプルの被覆済み側ＣＩＥ２゜オブサーバ・
色座標はｘ＝０．３０８８とｙ＝０．３４６１であっ
た。
マー層上に付着した第１酸化亜鉛フィルム部分と、この
第１酸化亜鉛フィルム部分上に付着した第２スズ酸亜鉛
フィルム部分とから成る２７０Åの非反射性フィルムを
付着させた。この非反射性層に続いて、約３０Å厚さの
最終二酸化チタンオーバーコートを付着させた。この実
施例３の被膜は、剪断抵抗試験を６０の等級を受け入れ
てパスした。これは２．２３Ω／平方の剪断抵抗値と、
０．０５以下の放射率とを有した。このサンプルの可視
光線透過率は８１．６％であり、その可視光線反射率は
その被覆済み側でＹ（Ｄ６５）＝４．７５％に等しかっ
た。このサンプルの被覆済み側ＣＩＥ２゜オブサーバ・
色座標はｘ＝０．３０８８とｙ＝０．３４６１であっ
た。
【００８７】実施例１と同様に、上記銀と誘電性層との
厚さの選択は製品の所望の色と放射率と製造関連問題点
とに基づく。これらの三つの誘電性層と二つの銀層との
厚さを調節することによって、全パレットの色を得るこ
とが可能である。この実施例の目的は相対的に中性に見
える色を得ることであった。チタンプライマーの最大厚
さは、他の箇所で述べるように、被膜硬度と光学とに及
ぼす影響によって制限され、その最小厚さは多層付着プ
ロセス中の銀の保護におけるその有効度によって決定さ
れる。この実施例の被覆済み製品は焼き戻しをするよう
に意図されないので、実施例１におけるよりも薄い厚さ
が必要である。実施例１に述べた、二酸化チタンオーバ
ーコートの厚さに対する制限がこの実施例にも該当す
る。
厚さの選択は製品の所望の色と放射率と製造関連問題点
とに基づく。これらの三つの誘電性層と二つの銀層との
厚さを調節することによって、全パレットの色を得るこ
とが可能である。この実施例の目的は相対的に中性に見
える色を得ることであった。チタンプライマーの最大厚
さは、他の箇所で述べるように、被膜硬度と光学とに及
ぼす影響によって制限され、その最小厚さは多層付着プ
ロセス中の銀の保護におけるその有効度によって決定さ
れる。この実施例の被覆済み製品は焼き戻しをするよう
に意図されないので、実施例１におけるよりも薄い厚さ
が必要である。実施例１に述べた、二酸化チタンオーバ
ーコートの厚さに対する制限がこの実施例にも該当す
る。
【００８８】実施例４：酸化アルミニウム亜鉛金属接触
フィルム部分 この実施例の被膜はＡｉｒｃｏ ＩＬＳ１６００コータ
ーを用いて３０．４８ｃｍｘ３０．４８ｃｍ（１２イン
チｘ１２インチ）透明フロートガラス上に付着させた。
この被膜は次の層シーケンス：ガラス／亜鉛−スズ酸化
物／亜鉛−アルミニウム亜酸化物／銀／チタン／亜鉛−
スズの酸化物／チタン酸化物を有した。この被膜の全て
の層の付着中に圧力を４ミリトールに維持した。ガラス
基体に隣接するサポートフィルム部分は、６５％Ｏ2 −
３５％Ａｒ雰囲気内で２ｋＷの電力においてスズー亜鉛
合金標的下に基体を多数回通すことによってスパッター
した。得られたスズ酸亜鉛の全体厚さは約３９０Åであ
った。
フィルム部分 この実施例の被膜はＡｉｒｃｏ ＩＬＳ１６００コータ
ーを用いて３０．４８ｃｍｘ３０．４８ｃｍ（１２イン
チｘ１２インチ）透明フロートガラス上に付着させた。
この被膜は次の層シーケンス：ガラス／亜鉛−スズ酸化
物／亜鉛−アルミニウム亜酸化物／銀／チタン／亜鉛−
スズの酸化物／チタン酸化物を有した。この被膜の全て
の層の付着中に圧力を４ミリトールに維持した。ガラス
基体に隣接するサポートフィルム部分は、６５％Ｏ2 −
３５％Ａｒ雰囲気内で２ｋＷの電力においてスズー亜鉛
合金標的下に基体を多数回通すことによってスパッター
した。得られたスズ酸亜鉛の全体厚さは約３９０Åであ
った。
【００８９】金属接触フィルム部分は純粋なＡｒ雰囲気
内で０．２ｋＷの電力において亜鉛−アルミニウム酸化
物セラミック標的からスパッターした。このスパッター
リング方法は同じ厚さの完全酸化層よりも低い透明性で
ある亜鉛−アルミニウム酸化物の部分的還元層を生じ
る。この層の厚さは約７５Åであるが、他の厚さを用い
ても同じ結果が得られた（例えば、１５〜１００Å）。
銀フィルムとチタンフィルムも純粋なアルゴン雰囲気中
でスパッターし、これらはそれぞれ、約１３０Åと２１
Åの厚さであった。
内で０．２ｋＷの電力において亜鉛−アルミニウム酸化
物セラミック標的からスパッターした。このスパッター
リング方法は同じ厚さの完全酸化層よりも低い透明性で
ある亜鉛−アルミニウム酸化物の部分的還元層を生じ
る。この層の厚さは約７５Åであるが、他の厚さを用い
ても同じ結果が得られた（例えば、１５〜１００Å）。
銀フィルムとチタンフィルムも純粋なアルゴン雰囲気中
でスパッターし、これらはそれぞれ、約１３０Åと２１
Åの厚さであった。
【００９０】チタンプライマー上にスズ酸亜鉛は第１ス
ズ酸亜鉛層と同じやり方で付着され、同様な厚さを有し
た。最後に、酸化チタンオーバーコートを６５％Ｏ2 −
３５％Ａｒ雰囲気内で６．５ｋＷの電力においてチタン
標的下に基体を多数回通すことによって反応的にスパッ
ターした。この層の厚さは約４５Åであった。この被膜
に剪断抵抗試験を実施し、低い焼き戻し後の曇りを有し
た。焼き戻しの結果として、その透過率は７６．６％か
ら８４％に増加し、その抵抗は５．３Ω／平方から３．
８Ω／平方になり、その放射率は０．０９の初期値から
０．０７に減少した。
ズ酸亜鉛層と同じやり方で付着され、同様な厚さを有し
た。最後に、酸化チタンオーバーコートを６５％Ｏ2 −
３５％Ａｒ雰囲気内で６．５ｋＷの電力においてチタン
標的下に基体を多数回通すことによって反応的にスパッ
ターした。この層の厚さは約４５Åであった。この被膜
に剪断抵抗試験を実施し、低い焼き戻し後の曇りを有し
た。焼き戻しの結果として、その透過率は７６．６％か
ら８４％に増加し、その抵抗は５．３Ω／平方から３．
８Ω／平方になり、その放射率は０．０９の初期値から
０．０７に減少した。
【００９１】上記実施例は本発明を説明するために提供
する。種々な変更が包含される。例えば、他の被覆組成
物も本発明の範囲内である。亜鉛／スズ合金をスパッタ
ーしたときの亜鉛とスズの割合に依存して、スズ酸亜鉛
の正確な化学量論から逸脱して（即ち、２：１のＺｎ：
Ｓｎ原子比から逸脱）、亜鉛とスズの酸化物が形成され
ることができる。プライマー層は、チタン金属として付
着されるが、付着後に種々な酸化状態のチタン金属を含
む。請求の範囲では、酸化度が異なるための厚さの変化
を考慮に入れるために、記載したチタン厚さは上述した
ＸＲＦ法によるものである。例えばジルコニウムとクロ
ムのような他の金属も本発明によるとプライマーとして
有用である。
する。種々な変更が包含される。例えば、他の被覆組成
物も本発明の範囲内である。亜鉛／スズ合金をスパッタ
ーしたときの亜鉛とスズの割合に依存して、スズ酸亜鉛
の正確な化学量論から逸脱して（即ち、２：１のＺｎ：
Ｓｎ原子比から逸脱）、亜鉛とスズの酸化物が形成され
ることができる。プライマー層は、チタン金属として付
着されるが、付着後に種々な酸化状態のチタン金属を含
む。請求の範囲では、酸化度が異なるための厚さの変化
を考慮に入れるために、記載したチタン厚さは上述した
ＸＲＦ法によるものである。例えばジルコニウムとクロ
ムのような他の金属も本発明によるとプライマーとして
有用である。
【００９２】種々な層の厚さは主として例えば透過率、
放射率又は色のような、所望の光学的性質によって制限
される。ガスの圧力及び濃度のようなプロセスパラメー
タは、この明細書の本文に述べたような、各層の意図さ
れた構造が実現される限り、広範囲にわたって変化する
ことができる。他の化学的に耐性な物質の保護被膜も金
属又は酸化物として付着させることができる。他の金属
接触フィルム、即ち、銀フィルム内の結晶粒子の選択的
に（ランダムとは対照的に）配向した成長を促進させる
他の物質又は他の形態の同じ物質も使用可能である。
放射率又は色のような、所望の光学的性質によって制限
される。ガスの圧力及び濃度のようなプロセスパラメー
タは、この明細書の本文に述べたような、各層の意図さ
れた構造が実現される限り、広範囲にわたって変化する
ことができる。他の化学的に耐性な物質の保護被膜も金
属又は酸化物として付着させることができる。他の金属
接触フィルム、即ち、銀フィルム内の結晶粒子の選択的
に（ランダムとは対照的に）配向した成長を促進させる
他の物質又は他の形態の同じ物質も使用可能である。
【００９３】上記が本発明の好ましい実施態様であり、
種々な変化及び変更が、特許請求の範囲によって及び法
律によって同等と見なされる範囲によって定義される本
発明の要旨及びより広い態様から逸脱せずになされうる
ことを理解すべきである。
種々な変化及び変更が、特許請求の範囲によって及び法
律によって同等と見なされる範囲によって定義される本
発明の要旨及びより広い態様から逸脱せずになされうる
ことを理解すべきである。
【図１Ａ】熱処理前後の、銀の基体近位側に接触する非
晶質スズ酸亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗と可視光
線透過率に及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロッ
ト。
晶質スズ酸亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗と可視光
線透過率に及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロッ
ト。
【図１Ｂ】熱処理前後の、銀の基体近位側に接触する結
晶質酸化亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗と可視光線
透過率に及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロット。
晶質酸化亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗と可視光線
透過率に及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロット。
【図２Ａ】熱処理前後の、銀の基体近位側に接触する非
晶質スズ酸亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗とシート
電気抵抗とに及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロッ
ト。
晶質スズ酸亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗とシート
電気抵抗とに及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロッ
ト。
【図２Ｂ】熱処理前後の、銀の基体近位側に接触する結
晶質酸化亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗とシート電
気抵抗とに及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロッ
ト。
晶質酸化亜鉛を含む多層フィルムの剪断抵抗とシート電
気抵抗とに及ぼすプライマー厚さの影響を示すプロッ
ト。
【図３】銀の基体近位側に接触する結晶質酸化亜鉛を含
む多層状フィルムと、銀の基体近位側に接触する非晶質
スズ酸亜鉛を含む多層状フィルムとの曇り等級対プライ
マー厚さを比較するプロット。
む多層状フィルムと、銀の基体近位側に接触する非晶質
スズ酸亜鉛を含む多層状フィルムとの曇り等級対プライ
マー厚さを比較するプロット。
【図４Ａ】酸化亜鉛金属接触フィルム部分が存在せず、
スズ酸亜鉛が銀と接触する表１のサンプルＥの加熱前と
加熱後の視射角Ｘ線回折スペクトルを示すプロット。
スズ酸亜鉛が銀と接触する表１のサンプルＥの加熱前と
加熱後の視射角Ｘ線回折スペクトルを示すプロット。
【図４Ｂ】酸化亜鉛金属接触フィルム部分が存在して、
銀と接触する表１のサンプルＦの加熱前と加熱後の視射
角Ｘ線回折スペクトルを示すプロットである。図４Ｂの
スペクトルは表１のサンプルＡからＤまでのスペクトル
の特徴でもある。
銀と接触する表１のサンプルＦの加熱前と加熱後の視射
角Ｘ線回折スペクトルを示すプロットである。図４Ｂの
スペクトルは表１のサンプルＡからＤまでのスペクトル
の特徴でもある。
【図５Ａ】酸化亜鉛金属接触フィルム部分の厚さの変化
とチタンプライマーフィルムの厚さの変化との被膜電気
抵抗に対する影響を示す加熱前２変数計画実験の結果の
表面プロット。
とチタンプライマーフィルムの厚さの変化との被膜電気
抵抗に対する影響を示す加熱前２変数計画実験の結果の
表面プロット。
【図５Ｂ】加熱後の結果を示す、図５Ａの２変数実験の
表面プロット。
表面プロット。
【図６Ａ】５０％アルゴンと５０％酸素の雰囲気中で付
着させた酸化亜鉛金属接触フィルム部分の平面指数形成
に対する酸素濃度の影響を示す、図９のサンプルＧの加
熱前の視射角Ｘ線回折スペクトルのプロット。
着させた酸化亜鉛金属接触フィルム部分の平面指数形成
に対する酸素濃度の影響を示す、図９のサンプルＧの加
熱前の視射角Ｘ線回折スペクトルのプロット。
【図６Ｂ】８０％酸素と２０％アルゴンの雰囲気中で付
着させた酸化亜鉛金属接触フィルム部分の平面指数形成
に対する酸素濃度の影響を示す、図９のサンプルＨの加
熱前の視射角Ｘ線回折スペクトルのプロット。
着させた酸化亜鉛金属接触フィルム部分の平面指数形成
に対する酸素濃度の影響を示す、図９のサンプルＨの加
熱前の視射角Ｘ線回折スペクトルのプロット。
【図６Ｃ】６５％酸素と３５％アルゴンの雰囲気中で付
着したスズ酸亜鉛金属接触フィルム部分の平面指数形成
に対する非晶質金属接触フィルム部分の影響を示す、図
９のサンプルＩの加熱前の視射角Ｘ線回折スペクトルの
プロット。
着したスズ酸亜鉛金属接触フィルム部分の平面指数形成
に対する非晶質金属接触フィルム部分の影響を示す、図
９のサンプルＩの加熱前の視射角Ｘ線回折スペクトルの
プロット。
【図６Ｄ】図６Ｂのプロットと実際に同じ条件下で形成
された図９のサンプルＪの加熱前の視射角Ｘ線回折スペ
クトルのプロットであり、図６Ｂのプロットの結果を実
証する。
された図９のサンプルＪの加熱前の視射角Ｘ線回折スペ
クトルのプロットであり、図６Ｂのプロットの結果を実
証する。
【図７Ａ】回帰分析を用いて測定されたデータに対する
二次多項適合を包含する、非晶質スズ酸亜鉛金属接触フ
ィルム部分の銀｛１１１｝、｛２００｝及び｛２２０｝
面のピーク強度対銀層厚さのプロット。
二次多項適合を包含する、非晶質スズ酸亜鉛金属接触フ
ィルム部分の銀｛１１１｝、｛２００｝及び｛２２０｝
面のピーク強度対銀層厚さのプロット。
【図７Ｂ】回帰分析を用いて測定されたデータに対する
二次多項適合を包含する、酸化亜鉛金属接触フィルム部
分の銀｛１１１｝、｛２００｝及び｛２２０｝面のピー
ク強度対銀層厚さのプロット。
二次多項適合を包含する、酸化亜鉛金属接触フィルム部
分の銀｛１１１｝、｛２００｝及び｛２２０｝面のピー
ク強度対銀層厚さのプロット。
【図８】スズ酸亜鉛金属接触フィルム部分と、１対の酸
化亜鉛金属接触フィルム部分との抵抗対銀層厚さのプロ
ット。
化亜鉛金属接触フィルム部分との抵抗対銀層厚さのプロ
ット。
【図９】フィルム構造、付着条件、抵抗及び放射率パラ
メータを示すサンプルＧ〜Ｊの表。
メータを示すサンプルＧ〜Ｊの表。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ラッセル シー．クリス アメリカ合衆国ペンシルバニア州ピッツバ ーグ，コーンウォール ドライブ 105 (72)発明者 ラリー エイ．ミラー アメリカ合衆国ペンシルバニア州サーバ ー，エッジウッド ドライブ 116
Claims (41)
- 【請求項１】 高透過率、低放射率の被覆済み物品であ
って、 ａ．透明な非金属性基体と； ｂ．１つのレベルが他のレベルよりも低い、２つのレベ
ルの電気抵抗を有し、２つのレベルの中の低い方のレベ
ル状態にある赤外線反射性の金属フィルムと； ｃ．前記基体と前記金属フィルムとの間の誘電性非反射
性のベースフィルムとを含み、該ベースフィルムが、 ｄ．前記金属フィルムと接触する第１物質の結晶質金属
接触フィルム部分であって、前記金属フィルムと調和す
る結晶質フィルム部分と、 ｅ．第１物質以外の第２物質を含むサポートフィルム部
分とを含む被覆済み物品。 - 【請求項２】 金属接触フィルム部分が酸化亜鉛であ
る、請求項１記載の被覆済み物品。 - 【請求項３】 金属フィルムが銀を含む、請求項２記載
の被覆済み物品。 - 【請求項４】 サポートフィルム部分が第１物質よりも
化学的かつ熱的に耐性な物質を含む、請求項１記載の被
覆済み物品。 - 【請求項５】 サポートフィルム部分が非晶質物質を含
む、請求項１記載の被覆済み物品。 - 【請求項６】 サポートフィルム部分が亜鉛及びスズの
酸化物のフィルムを含む、請求項５記載の被覆済み物
品。 - 【請求項７】 金属フィルムに接触するプライマーフィ
ルムと、プライマーフィルムに接触する誘電性非反射性
フィルムとをさらに含む、請求項１記載の被覆済み物
品。 - 【請求項８】 基体がガラスを含み、プライマーフィル
ムが部分的に酸化され、かつ金属フィルムをガラスの高
温熱処理による酸化から保護するために有効な厚さと組
成とを有する、請求項７記載の被覆済み物品。 - 【請求項９】 プライマーフィルムがチタンを含む、請
求項８記載の被覆済み物品。 - 【請求項１０】 請求項８記載の被覆済み物品の使用方
法であって、焼き戻しのために物品を加熱し、続いて急
冷するか、又はガラスの熱強化若しくは曲げのために物
品を加熱することを含む方法。 - 【請求項１１】 高透過率、低放射率の被覆済み物品で
あって、 ａ．透明な非金属性基体と； ｂ．選択的に配向した粒子成長を有する金属フィルム
と； ｃ．基体と金属フィルムとの間の誘電性非反射性のベー
スフィルムとを含み、該ベースフィルムが、 ｄ．金属フィルムと接触する第１物質の結晶質金属接触
フィルム部分と、 ｅ．第１物質以外の第２物質を含むサポートフィルム部
分とを含む被覆済み物品。 - 【請求項１２】 ａ．基体がガラスを含み、 ｂ．金属フィルムが視射角方法によって測定して、｛２
２０｝ピークが｛１１１｝ピークよりも上昇するＸ線回
折スペクトルを有する銀を含み、 ｃ．金属接触フィルム部分が結晶質酸化亜鉛を含み、 ｅ．サポートフィルム部分が非晶質物質を含む、請求項
１１記載の物品。 - 【請求項１３】 非晶質サポートフィルム部分が酸化亜
鉛フィルム部分に接触する、亜鉛とスズの酸化物を含
む、請求項１２記載の被覆済み物品。 - 【請求項１４】 高い透過率、低い放射率の被覆済み物
品であって、 ａ．透明なガラス基体と； ｂ．１つのレベルが他のレベルよりも低い、２つのレベ
ルの電気抵抗を有し、２つのレベルの中の低い方のレベ
ル状態にある赤外線反射性の金属フィルムと； ｃ．基体と金属フィルムとの間に位置し、金属フィルム
と接触する結晶質金属接触フィルムであって、該金属フ
ィルムと調和する結晶質フィルムと； ｄ．金属フィルムと接触するプライマーフィルムであっ
て、ガラスの焼き戻し中に金属フィルムを保護するため
に有効な厚さと組成とを有するプライマーフィルムとを
含む物品。 - 【請求項１５】 プライマーフィルムがチタンを含む、
請求項１４記載の物品。 - 【請求項１６】 チタンプライマーフィルムが２０Åよ
り大きい厚さ（ＸＲＦ方法）を有する、請求項１５記載
の物品。 - 【請求項１７】 高透過率、低放射率の被覆済み物品で
あって、 ａ．透明なガラス基体と； ｂ．選択的に配向した粒子成長を特徴とする低い抵抗形
である銀フィルムと； ｃ．基体と銀フィルムとの間に位置し、銀と接触する結
晶質酸化亜鉛フィルムと； ｄ．銀フィルムと接触するプライマーフィルムであっ
て、ガラスの焼き戻し中に銀フィルムを保護するために
有効な厚さを有するプライマーフィルムとを含む物品。 - 【請求項１８】 プライマーフィルムがチタンを含む、
請求項１７記載の物品。 - 【請求項１９】 チタンプライマーフィルムが２０Åよ
り大きい厚さ（ＸＲＦ方法）を有する、請求項１８記載
の物品。 - 【請求項２０】 高透過率、低放射率の被覆済み物品で
あって、 ａ．透明な非金属性基体と； ｂ．該基体上の誘電性非反射性フィルムと； ｃ．非反射性フィルム上の赤外線反射性金属フィルム
と； ｄ．該金属フィルム上のチタンを含むプライマーフィル
ムであって、下側の約２２Å（ＸＲＦ方法）から上側の
約３０Å（ＸＲＦ方法）までの範囲内の厚さを有するプ
ライマーフィルムとを含む物品。 - 【請求項２１】 プライマーフィルムが下側の約２４Å
（ＸＲＦ方法）から上側の約２８Å（ＸＲＦ方法）まで
の範囲内の厚さを有する、請求項２０記載の被覆済み物
品。 - 【請求項２２】 非反射性フィルムが金属フィルムと接
触する結晶質酸化亜鉛のフィルムを包含する、請求項２
０記載の被覆済み物品。 - 【請求項２３】 非反射性フィルムが亜鉛−スズ合金の
酸化物のフィルムと酸化亜鉛のフィルムとを包含する、
請求項２２記載の被覆済み物品。 - 【請求項２４】 高透過率、低放射率の被覆済み物品で
あって、 ａ．透明な非金属性基体と； ｂ．該基体上に付着した誘電性非反射性ベースフィルム
であって、結晶質金属接触フィルム部分とサポートフィ
ルム部分とを包含し、該サポートフィルム部分が基体と
接触し、該サポートフィルム部分が結晶質金属接触フィ
ルム部分以外の物質から成るベースフィルムと； ｃ．ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分上に
付着した金属反射性フィルムと； ｄ．金属反射性フィルム上に付着したプライマーフィル
ムと； ｅ．プライマーフィルム上に付着した誘電性非反射性フ
ィルムとを含む物品。 - 【請求項２５】 誘電性非反射性フィルム上に付着した
外部保護オーバーコート層をさらに含む、請求項２４記
載の被覆済み物品。 - 【請求項２６】 透明な非金属性基体がガラスであり、
サポートフィルム部分がスズ酸亜鉛フィルムであり、結
晶質金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、
金属反射性フィルムが銀フィルムであり、プライマーフ
ィルムが約２２〜３０Åの範囲内の厚さを有するチタン
金属として付着され、誘電性非反射性フィルムがスズ酸
亜鉛フィルムであり、外部保護オーバーコート層が酸化
チタンフィルムである、請求項２５記載の被覆済み物
品。 - 【請求項２７】 高透過率、低放射率の被覆済み物品で
あって、 ａ．透明な非金属性基体と； ｂ．該基体上に付着した第１誘電性非反射性ベースフィ
ルムであって、結晶質金属接触フィルム部分とサポート
フィルム部分とを包含し、サポートフィルム部分が基体
と接触し、サポートフィルム部分が結晶質金属接触フィ
ルム部分以外の物質から成る第１ベースフィルムと； ｃ．第１ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に付着した第１金属反射性フィルムと； ｄ．第１金属反射性フィルム上に付着した第１プライマ
ーフィルムと； ｅ．第１プライマーフィルム上に付着した第２誘電性非
反射性ベースフィルムであって、結晶質金属接触フィル
ム部分とサポートフィルム部分とを包含し、該サポート
フィルム部分が第１プライマーフィルムと接触し、該サ
ポートフィルム部分が第２ベースフィルムの結晶質金属
接触フィルム部分以外の物質から成る第２ベースフィル
ムと； ｆ．第２ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に付着した第２金属反射性フィルムと； ｇ．第２金属反射性フィルム上に付着した第２プライマ
ーフィルムと； ｈ．第２プライマーフィルム上に付着した誘電性非反射
性フィルムとを含む物品。 - 【請求項２８】 誘電性非反射性フィルム上に付着した
外部保護オーバーコート層をさらに含む、請求項２７記
載の被覆済み物品。 - 【請求項２９】 透明な非金属性基体がガラスであり、
第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がスズ酸亜
鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質金属接
触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１金属反
射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマーフィ
ルムが２２〜３０Åの厚さを有するチタン金属として付
着され、第２ベースフィルムのサポートフィルム部分が
スズ酸亜鉛フィルムであり、第２ベースフィルムの結晶
質金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第
２金属反射性フィルムが銀フィルムであり、第２プライ
マーフィルムが２２〜３０Åの厚さを有するチタン金属
として付着され、第２プライマーフィルム上に付着した
誘電性非反射性フィルムがスズ酸亜鉛フィルムであり、
外部保護オーバーコート層が酸化チタンフィルムであ
る、請求項２８記載の被覆済み物品。 - 【請求項３０】 高透過率、低放射率の被覆済み物品で
あって、 ａ．透明な非金属性基体と； ｂ．該基体上に付着した第１誘電性非反射性ベースフィ
ルムであって、結晶質金属接触フィルム部分とサポート
フィルム部分とを包含し、該サポートフィルム部分が基
体と接触し、該サポートフィルム部分が結晶質金属接触
フィルム部分以外の物質から成る第１ベースフィルム
と； ｃ．第１ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に付着した第１金属反射性フィルムと； ｄ．第１金属反射性フィルム上に付着した第１プライマ
ーフィルムと； ｅ．第１プライマーフィルム上に付着した第２誘電性非
反射性ベースフィルムであって、酸化亜鉛フィルムであ
る結晶質金属接触フィルム部分と、サポートフィルム部
分とを包含し、該サポートフィルム部分が第１プライマ
ーフィルムと接触する酸化亜鉛フィルムの第１層と、結
晶質金属接触フィルム部分と接触するスズ酸亜鉛フィル
ムの第２層とからさらに構成される第２ベースフィルム
と； ｆ．第２ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に付着した第２金属反射性フィルムと； ｇ．第２金属反射性フィルム上に付着した第２プライマ
ーフィルムと； ｈ．第２プライマーフィルム上に付着した誘電性非反射
性フィルムであって、プライマーフィルム上に付着した
酸化亜鉛フィルムの第１層と誘電性非反射性フィルムの
第１酸化亜鉛層上に付着したスズ酸亜鉛フィルムの第２
層とを包含する誘電性非反射性フィルムとを含む物品。 - 【請求項３１】 誘電性非反射性フィルム上に付着した
外部保護オーバーコート層をさらに含む、請求項３０記
載の被覆済み物品。 - 【請求項３２】 透明な非金属性基体がガラスであり、
第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がスズ酸亜
鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質金属接
触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１金属反
射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマーフィ
ルムが８〜１２Åの厚さを有するチタン金属として付着
され、第２金属反射性フィルムが銀フィルムであり、第
２プライマーフィルムが８〜１２Åの厚さを有するチタ
ン金属として付着され、外部保護オーバーコート層が酸
化チタンフィルムである、請求項３１記載の被覆済み物
品。 - 【請求項３３】 高透過率、低放射率の多層被覆済み物
品の製法であって、 ａ．透明な非金属性基体を選択する工程と； ｂ．該基体上に、結晶質金属接触フィルム部分とサポー
トフィルム部分とを包含し、該サポートフィルム部分が
基体と接触し、該サポートフィルム部分が結晶質金属接
触フィルム部分以外の物質から成る誘電性非反射性ベー
スフィルムを付着させる工程と； ｃ．ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分上に
金属反射性フィルムを付着させる工程と； ｄ．金属反射性フィルム上にプライマーフィルムを付着
させる工程と； ｅ．プライマーフィルム上に誘電性非反射性フィルムを
付着させる工程とを含む方法。 - 【請求項３４】 誘電性非反射性フィルム上に外部保護
オーバーコート層を付着させる工程をさらに含む、請求
項３３記載の方法。 - 【請求項３５】 透明な非金属性基体がガラスであり、
結晶質金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであ
り、金属反射性フィルムが銀フィルムであり、プライマ
ーフィルムが２２〜３０Åの厚さを有するチタン金属と
して付着され、誘電性非反射性フィルムがスズ酸亜鉛フ
ィルムであり、外部保護オーバーコート層が酸化チタン
フィルムである、請求項３４記載の方法。 - 【請求項３６】 高透過率、低放射率の多層被覆済み物
品の製法であって、 ａ．透明な非金属性基体を選択する工程と； ｂ．該基体上に、結晶質金属接触フィルム部分とサポー
トフィルム部分とを包含し、該サポートフィルム部分が
基体と接触し、該サポートフィルム部分が結晶質金属接
触フィルム部分以外の物質から成る第１誘電性非反射性
ベースフィルムを付着させる工程と； ｃ．第１ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に第１金属反射性フィルムを付着させる工程と； ｄ．第１金属反射性フィルム上に第１プライマーフィル
ムを付着する工程と； ｅ．第１プライマーフィルム上に、結晶質金属接触フィ
ルム部分とサポートフィルム部分とを包含し、該サポー
トフィルム部分が第１プライマーフィルムと接触し、該
サポートフィルム部分が第２ベースフィルムの結晶質金
属接触フィルム部分以外の物質から構成される第２誘電
性非反射性ベースフィルムを付着させる工程と； ｆ．第２ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に第２金属反射性フィルムを付着させる工程と； ｇ．第２金属反射性フィルム上に第２プライマーフィル
ムを付着する工程と； ｈ．第２プライマーフィルム上に誘電性非反射性フィル
ムを付着させる工程とを含む方法。 - 【請求項３７】 誘電性非反射性フィルム上に外部保護
オーバーコート層を付着させる工程をさらに含む、請求
項３６記載の方法。 - 【請求項３８】 透明な非金属性基体がガラスであり、
第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がスズ酸亜
鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質金属接
触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１金属反
射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマーフィ
ルムが２２〜３０Åの厚さを有するチタン金属として付
着され、第２ベースフィルムのサポートフィルム部分が
スズ酸亜鉛フィルムであり、第２ベースフィルムの結晶
質金属接触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第
２金属反射性フィルムが銀フィルムであり、第２プライ
マーフィルムが２２〜３０Åの厚さを有するチタン金属
として付着され、第２プライマーフィルム上に付着した
誘電性非反射性フィルムがスズ酸亜鉛フィルムであり、
外部保護オーバーコート層が酸化チタンフィルムであ
る、請求項３７記載の方法。 - 【請求項３９】 高透過率、低放射率の多層被覆済み物
品の製法であって、 ａ．透明な非金属性基体を選択する工程と； ｂ．該基体上に、結晶質金属接触フィルム部分とサポー
トフィルム部分とを包含し、該サポートフィルム部分が
基体と接触し、該サポートフィルム部分が結晶質金属接
触フィルム部分以外の物質から構成される第１誘電性非
反射性ベースフィルムを付着させる工程と； ｃ．第１ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に、第１金属反射性フィルムを付着させる工程と； ｄ．第１金属反射性フィルム上に第１プライマーフィル
ムを付着する工程と； ｅ．第１プライマーフィルム上に、酸化亜鉛フィルムで
ある結晶質金属接触フィルム部分と、サポートフィルム
部分とを包含し、該サポートフィルム部分が第１プライ
マーフィルムと接触する酸化亜鉛フィルムの第１層と、
結晶質金属接触フィルム部分と接触するスズ酸亜鉛フィ
ルムの第２層とからさらに構成される第２誘電性非反射
性ベースフィルムを付着させる工程と； ｆ．第２ベースフィルムの結晶質金属接触フィルム部分
上に、第２金属反射性フィルムを付着させる工程と； ｇ．第２金属反射性フィルム上に第２プライマーフィル
ムを付着する工程と； ｈ．第２プライマーフィルム上に、プライマーフィルム
上に付着した酸化亜鉛フィルムの第１層と誘電性非反射
性フィルムの第１酸化亜鉛層上に付着したスズ酸亜鉛フ
ィルムの第２層とを包含する誘電性非反射性フィルムを
付着する工程とを含む方法。 - 【請求項４０】 誘電性非反射性フィルム上に外部保護
オーバーコート層を付着させる工程をさらに含む、請求
項３９記載の方法。 - 【請求項４１】 透明な非金属性基体がガラスであり、
第１ベースフィルムのサポートフィルム部分がスズ酸亜
鉛フィルムであり、第１ベースフィルムの結晶質金属接
触フィルム部分が酸化亜鉛フィルムであり、第１金属反
射性フィルムが銀フィルムであり、第１プライマーフィ
ルムが８〜１２Åの厚さを有するチタン金属として付着
され、第２金属反射性フィルムが銀フィルムであり、第
２プライマーフィルムが８〜１２Åの厚さを有するチタ
ン金属として付着され、外部保護オーバーコート層が酸
化チタンフィルムである、請求項４０記載の方法。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US1571896P | 1996-04-25 | 1996-04-25 | |
| US08/807,352 US5821001A (en) | 1996-04-25 | 1997-02-27 | Coated articles |
| US807352 | 1997-02-27 | ||
| US015718 | 1997-02-27 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009169837A Division JP5255530B2 (ja) | 1996-04-25 | 2009-07-21 | 被覆済み物品 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1034794A true JPH1034794A (ja) | 1998-02-10 |
| JPH1034794A5 JPH1034794A5 (ja) | 2004-09-02 |
| JP4372849B2 JP4372849B2 (ja) | 2009-11-25 |
Family
ID=26687721
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10743997A Expired - Lifetime JP4372849B2 (ja) | 1996-04-25 | 1997-04-24 | 被覆済み物品 |
| JP2009169837A Expired - Lifetime JP5255530B2 (ja) | 1996-04-25 | 2009-07-21 | 被覆済み物品 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009169837A Expired - Lifetime JP5255530B2 (ja) | 1996-04-25 | 2009-07-21 | 被覆済み物品 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5821001A (ja) |
| EP (1) | EP0803481B1 (ja) |
| JP (2) | JP4372849B2 (ja) |
| KR (1) | KR100215380B1 (ja) |
| CN (1) | CN1111140C (ja) |
| CA (1) | CA2200093C (ja) |
| DE (1) | DE69713673T2 (ja) |
| ES (1) | ES2179979T3 (ja) |
| TW (1) | TW436529B (ja) |
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| KR100215380B1 (ko) | 1999-08-16 |
| KR19980069748A (ko) | 1998-10-26 |
| DE69713673D1 (de) | 2002-08-08 |
| MX9702887A (es) | 1998-06-30 |
| EP0803481A2 (en) | 1997-10-29 |
| JP2009234913A (ja) | 2009-10-15 |
| ES2179979T3 (es) | 2003-02-01 |
| TW436529B (en) | 2001-05-28 |
| CN1111140C (zh) | 2003-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060607 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070831 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20071128 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20071204 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20071227 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080108 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080130 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080205 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080225 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080729 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081029 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081105 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081201 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081205 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081225 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090420 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090424 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090520 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090527 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090622 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090630 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090721 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090807 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090903 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130911 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |