JPH1038551A - 寸法測定方法および寸法測定装置 - Google Patents
寸法測定方法および寸法測定装置Info
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- JPH1038551A JPH1038551A JP20885296A JP20885296A JPH1038551A JP H1038551 A JPH1038551 A JP H1038551A JP 20885296 A JP20885296 A JP 20885296A JP 20885296 A JP20885296 A JP 20885296A JP H1038551 A JPH1038551 A JP H1038551A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定装置の大型化を招来させることなく、し
かも雰囲気温度が変化した場合にも、精度よく厚さや幅
などの寸法測定がなし得る寸法測定方法および寸法測定
装置を提供する。 【解決手段】 変位センサ１１，１２の接触子１１ａ，
１２ａ外周に配設されたインバー材からなる所定長さの
円筒状の後退位置決定治具１６，１７と、該後退位置決
定治具１６，１７の先端に当接する接触子１１ａ，１２
ａ先端部に配設されたストッパー１４，１５とからなる
変位センサ１１，１２の後退位置を規制する後退位置規
制手段を備えるとともに、変位センサ１１，１２をイン
バー材からなる保持部材１３に対向保持させて測定部１
０Ａが構成されてなるものである。
かも雰囲気温度が変化した場合にも、精度よく厚さや幅
などの寸法測定がなし得る寸法測定方法および寸法測定
装置を提供する。 【解決手段】 変位センサ１１，１２の接触子１１ａ，
１２ａ外周に配設されたインバー材からなる所定長さの
円筒状の後退位置決定治具１６，１７と、該後退位置決
定治具１６，１７の先端に当接する接触子１１ａ，１２
ａ先端部に配設されたストッパー１４，１５とからなる
変位センサ１１，１２の後退位置を規制する後退位置規
制手段を備えるとともに、変位センサ１１，１２をイン
バー材からなる保持部材１３に対向保持させて測定部１
０Ａが構成されてなるものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は厚さや幅などの寸法
を測定する寸法測定方法および寸法測定装置に関する。
さらに詳しくは、雰囲気温度が変化しても精度よく寸法
測定がなし得る、複数の変位センサを用いた寸法測定方
法および寸法測定装置に関する。
を測定する寸法測定方法および寸法測定装置に関する。
さらに詳しくは、雰囲気温度が変化しても精度よく寸法
測定がなし得る、複数の変位センサを用いた寸法測定方
法および寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、鋼板等の厚さ測定において
は、図１３に示すように、変位センサａ，ａを変位セン
サ保持部材ｂに対向保持させるとともにその間に鋼板ｃ
を配置し、そして各変位センサａ，ａからの鋼板ｃ表面
までの距離を測定し、ついでその測定量を演算処理して
鋼板ｃの板厚を測定する方法および装置が知られてい
る。あるいは、図１４に示すように、放射線源ｄと放射
線検出器ｅとを対向配置させるとともにその間に鋼板ｃ
を配置し、そして放射線検出器ｅにより鋼板ｃを透過し
てくる放射線量を検出して鋼板ｃの板厚を測定する方法
および装置が知られている。
は、図１３に示すように、変位センサａ，ａを変位セン
サ保持部材ｂに対向保持させるとともにその間に鋼板ｃ
を配置し、そして各変位センサａ，ａからの鋼板ｃ表面
までの距離を測定し、ついでその測定量を演算処理して
鋼板ｃの板厚を測定する方法および装置が知られてい
る。あるいは、図１４に示すように、放射線源ｄと放射
線検出器ｅとを対向配置させるとともにその間に鋼板ｃ
を配置し、そして放射線検出器ｅにより鋼板ｃを透過し
てくる放射線量を検出して鋼板ｃの板厚を測定する方法
および装置が知られている。
【０００３】しかして、この図１３に示す方法および装
置において用いられる変位センサａとしては、レーザ変
位センサ、渦電流変位センサ、差動トランス式接触変位
センサ、パルスカウント式接触変位センサなどがある。
そして、高い測定精度が要求される場合、パルスカウン
ト式接触変位センサがよく用いられる。
置において用いられる変位センサａとしては、レーザ変
位センサ、渦電流変位センサ、差動トランス式接触変位
センサ、パルスカウント式接触変位センサなどがある。
そして、高い測定精度が要求される場合、パルスカウン
ト式接触変位センサがよく用いられる。
【０００４】しかしながら、パルスカウント式接触変位
センサを用いた場合においても、雰囲気温度が変化した
場合、保持部材ｂや変位センサａの接触子が伸縮するた
めに測定値にバラツキが生ずるという問題がある。すな
わち、雰囲気温度が変化する場合には、精度よく寸法測
定がなし得ないという問題がある。
センサを用いた場合においても、雰囲気温度が変化した
場合、保持部材ｂや変位センサａの接触子が伸縮するた
めに測定値にバラツキが生ずるという問題がある。すな
わち、雰囲気温度が変化する場合には、精度よく寸法測
定がなし得ないという問題がある。
【０００５】かかる雰囲気温度変化に伴う問題に対処す
べく、特開平５ー２２３５２６号公報には、図１５に示
すように、変位センサａ，ａを保持している保持部材ｂ
の適宜個所に温度センサｆ，ｆ，ｆ，ｆ，…を取付け、
それにより測定された温度により保持部材ｂの熱膨張量
を算出し、その算出された熱膨張量により測定値を補正
する測定装置が提案されている。
べく、特開平５ー２２３５２６号公報には、図１５に示
すように、変位センサａ，ａを保持している保持部材ｂ
の適宜個所に温度センサｆ，ｆ，ｆ，ｆ，…を取付け、
それにより測定された温度により保持部材ｂの熱膨張量
を算出し、その算出された熱膨張量により測定値を補正
する測定装置が提案されている。
【０００６】しかしながら、特開平５ー２２３５２６号
の提案にかかわる測定装置にあっては、装置が大がかり
になり装置の高コスト化を招来するという問題の他に、
接触子の熱膨張による測定誤差が依然として解消されて
いないという問題もある。
の提案にかかわる測定装置にあっては、装置が大がかり
になり装置の高コスト化を招来するという問題の他に、
接触子の熱膨張による測定誤差が依然として解消されて
いないという問題もある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、測定装置の大型
化を招来させることなく、しかも雰囲気温度が変化した
場合にも、精度よく厚さや幅などの寸法測定がなし得る
寸法測定方法および寸法測定装置を提供することを目的
としている。
術の課題に鑑みなされたものであって、測定装置の大型
化を招来させることなく、しかも雰囲気温度が変化した
場合にも、精度よく厚さや幅などの寸法測定がなし得る
寸法測定方法および寸法測定装置を提供することを目的
としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の寸法測定方法
は、複数の変位センサを用いる寸法測定方法において、
前記変位センサを温度変化率の小さい素材からなる保持
部材により保持させて寸法測定を行うことを特徴とす
る。
は、複数の変位センサを用いる寸法測定方法において、
前記変位センサを温度変化率の小さい素材からなる保持
部材により保持させて寸法測定を行うことを特徴とす
る。
【０００９】本発明の寸法測定方法においては、変位セ
ンサとして接触式変位センサを用いるとともに、変位の
測定を複数の変位センサを測定時期を同期させながら周
期的に行うのが好ましい。
ンサとして接触式変位センサを用いるとともに、変位の
測定を複数の変位センサを測定時期を同期させながら周
期的に行うのが好ましい。
【００１０】一方、本発明の寸法測定装置は、複数の変
位センサを用いる寸法測定装置において、前記変位セン
サを温度変化率の小さい素材からなる保持部材により保
持させて寸法測定を行うことを特徴とする。
位センサを用いる寸法測定装置において、前記変位セン
サを温度変化率の小さい素材からなる保持部材により保
持させて寸法測定を行うことを特徴とする。
【００１１】本発明の寸法測定装置においては、例えば
変位センサの接触子外周に配設された温度変化率の小さ
い素材からなる所定長さの円筒状の後退位置決定治具
と、該後退位置決定治具の先端に当接する接触子先端部
に配設されたストッパーとからなる変位センサの後退位
置を規制する後退位置規制手段を備えていたり、変位セ
ンサの接触子に付着した塵芥を除去するための清掃手段
を備えていたり、例えば押さえローラーと支えローラー
とを対向させることなく相互の位置をずらしたローラー
機構からなる被測定材の振動を抑制する振動抑制手段を
備えていたり、前記複数の測定時期を一致させる同期手
段を備えていたりするのが好ましい。
変位センサの接触子外周に配設された温度変化率の小さ
い素材からなる所定長さの円筒状の後退位置決定治具
と、該後退位置決定治具の先端に当接する接触子先端部
に配設されたストッパーとからなる変位センサの後退位
置を規制する後退位置規制手段を備えていたり、変位セ
ンサの接触子に付着した塵芥を除去するための清掃手段
を備えていたり、例えば押さえローラーと支えローラー
とを対向させることなく相互の位置をずらしたローラー
機構からなる被測定材の振動を抑制する振動抑制手段を
備えていたり、前記複数の測定時期を一致させる同期手
段を備えていたりするのが好ましい。
【００１２】ここで、前記温度変化率の小さい素材は、
例えばインバー材とされる。
例えばインバー材とされる。
【００１３】
【作用】本発明は前記のごとく構成されているので、雰
囲気温度が変化してもそれに影響されることなく、精度
よく鋼板の板厚などの測定がなし得る。
囲気温度が変化してもそれに影響されることなく、精度
よく鋼板の板厚などの測定がなし得る。
【００１４】例えば、変位センサの接触子外周に配設さ
れた温度変化率の小さい素材からなる所定長さの円筒状
の後退位置決定治具と、該後退位置決定治具の先端に当
接する接触子先端部に配設されたストッパーとからなる
変位センサの後退位置を規制する後退位置規制手段を備
えた本発明の好ましい形態にあっては、雰囲気温度によ
る影響が著しく低減されるので、測定精度のより一層の
向上が図られる。
れた温度変化率の小さい素材からなる所定長さの円筒状
の後退位置決定治具と、該後退位置決定治具の先端に当
接する接触子先端部に配設されたストッパーとからなる
変位センサの後退位置を規制する後退位置規制手段を備
えた本発明の好ましい形態にあっては、雰囲気温度によ
る影響が著しく低減されるので、測定精度のより一層の
向上が図られる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施の形態に基づいて説明するが、本発明はかか
る実施の形態のみに限定されるものではない。なお、以
下の各実施の形態において鋼板の板厚を測定する場合を
例に採り説明する。
発明を実施の形態に基づいて説明するが、本発明はかか
る実施の形態のみに限定されるものではない。なお、以
下の各実施の形態において鋼板の板厚を測定する場合を
例に採り説明する。
【００１６】実施の形態１ 本発明の実施の形態１の板厚測定方法に適用される板厚
測定装置の測定部１０を図１に示し、この測定部１０
は、鋼板Ｓの板厚を測定するために対向配置されている
一対の変位センサ１１，１２を、熱膨張率の小さな素
材、例えばインバー材（６４Ｆｅ，３６Ｎｉ）からなる
コの字状の保持部材１３により保持させて構成されてな
るものである。なお、この板厚測定装置のその余の構成
は、従来よりかかる板厚測定に用いられている板厚測定
装置と同様とされている。
測定装置の測定部１０を図１に示し、この測定部１０
は、鋼板Ｓの板厚を測定するために対向配置されている
一対の変位センサ１１，１２を、熱膨張率の小さな素
材、例えばインバー材（６４Ｆｅ，３６Ｎｉ）からなる
コの字状の保持部材１３により保持させて構成されてな
るものである。なお、この板厚測定装置のその余の構成
は、従来よりかかる板厚測定に用いられている板厚測定
装置と同様とされている。
【００１７】このように、この実施の形態１の測定装置
によれば、変位センサ１１，１２が熱膨張率の小さな素
材よりなる保持部材１３に保持されているので、雰囲気
温度が変化しても精度よく鋼板Ｓの板厚を測定できる。
によれば、変位センサ１１，１２が熱膨張率の小さな素
材よりなる保持部材１３に保持されているので、雰囲気
温度が変化しても精度よく鋼板Ｓの板厚を測定できる。
【００１８】実施の形態２ 本発明の実施の形態２の板厚測定方法に適用される板厚
測定装置の測定部１０Ａを図２〜図４に示し、この実施
の形態２は実施の形態１を改変したものであって、変位
センサ１１，１２の接触子１１ａ，１２ａの接触端近傍
に鍔（ストッパー）１４，１５を設けるとともに、接触
子１１ａ，１２ａの外周にこの鍔１４，１５の後退を規
制する、熱膨張率の小さな素材、例えばインバー材から
なる所定長さでかつ所定肉厚の円筒状部材（退避位置決
定治具）１６，１７を、その基端部を変位センサ１１，
１２を保持しているコの字状の保持部材１３の水平部内
側１３ａ，１３ａに固着して配設してなるものである。
そのため、接触子１１ａ，１２ａが後退する際、その先
端に後退してきた鍔１４，１５が当接してその退避位置
が決定される。すなわち、このストッパー１４，１５お
よび退避位置決定治具１６，１７により後退位置規制手
段が構成される。
測定装置の測定部１０Ａを図２〜図４に示し、この実施
の形態２は実施の形態１を改変したものであって、変位
センサ１１，１２の接触子１１ａ，１２ａの接触端近傍
に鍔（ストッパー）１４，１５を設けるとともに、接触
子１１ａ，１２ａの外周にこの鍔１４，１５の後退を規
制する、熱膨張率の小さな素材、例えばインバー材から
なる所定長さでかつ所定肉厚の円筒状部材（退避位置決
定治具）１６，１７を、その基端部を変位センサ１１，
１２を保持しているコの字状の保持部材１３の水平部内
側１３ａ，１３ａに固着して配設してなるものである。
そのため、接触子１１ａ，１２ａが後退する際、その先
端に後退してきた鍔１４，１５が当接してその退避位置
が決定される。すなわち、このストッパー１４，１５お
よび退避位置決定治具１６，１７により後退位置規制手
段が構成される。
【００１９】しかして、この実施の形態２による鋼板Ｓ
の板厚の測定では、まず対向している接触子１１ａ，１
２ａを進出させ、その先端同士を当接させた状態におけ
る接触子１１ａ，１２ａの変位ｘ0，ｙ0を測定する（図
２参照）。ついで、ストッパー１４，１５を退避位置決
定治具１６，１７の先端に当接させた状態における接触
子１１ａ，１２ａの変位ｘ1，ｙ1を測定する（図３参
照）。しかる後、接触子１１ａ，１２ａの間に鋼板Ｓを
セットして接触子１１ａ，１２ａを鋼板Ｓ表面に接触さ
せた状態における接触子１１ａ，１２ａの変位ｘ2，ｙ2
を測定する（図４参照）。そして、これらの各測定され
た変位ｘ0，ｙ0，ｘ1，ｙ1，ｘ2，ｙ2を用いて下記式に
より鋼板Ｓの板厚ｔが算出される。つまり、板厚ｔが測
定される。
の板厚の測定では、まず対向している接触子１１ａ，１
２ａを進出させ、その先端同士を当接させた状態におけ
る接触子１１ａ，１２ａの変位ｘ0，ｙ0を測定する（図
２参照）。ついで、ストッパー１４，１５を退避位置決
定治具１６，１７の先端に当接させた状態における接触
子１１ａ，１２ａの変位ｘ1，ｙ1を測定する（図３参
照）。しかる後、接触子１１ａ，１２ａの間に鋼板Ｓを
セットして接触子１１ａ，１２ａを鋼板Ｓ表面に接触さ
せた状態における接触子１１ａ，１２ａの変位ｘ2，ｙ2
を測定する（図４参照）。そして、これらの各測定され
た変位ｘ0，ｙ0，ｘ1，ｙ1，ｘ2，ｙ2を用いて下記式に
より鋼板Ｓの板厚ｔが算出される。つまり、板厚ｔが測
定される。
【００２０】
【数１】
【００２１】この実施の形態２においては、前述のよう
に接触子１１ａ，１２ａの接触端の近傍にストッパー１
４，１５を設けるとともに、熱膨張係数の小さな素材か
らなる退避位置決定治具１６，１７により接触子１１
ａ，１２ａの後退位置を決定し、ついでその位置から接
触子１１ａ，１２ａを変位させて鋼板Ｓの板厚ｔを測定
するようにしているので、接触子１１ａ，１２ａの雰囲
気温度に影響される部分はストッパー１４，１５から先
のごくわずかな部分となるため、雰囲気温度の変化にほ
とんど影響されずに鋼板Ｓの板厚ｔを測定できる。
に接触子１１ａ，１２ａの接触端の近傍にストッパー１
４，１５を設けるとともに、熱膨張係数の小さな素材か
らなる退避位置決定治具１６，１７により接触子１１
ａ，１２ａの後退位置を決定し、ついでその位置から接
触子１１ａ，１２ａを変位させて鋼板Ｓの板厚ｔを測定
するようにしているので、接触子１１ａ，１２ａの雰囲
気温度に影響される部分はストッパー１４，１５から先
のごくわずかな部分となるため、雰囲気温度の変化にほ
とんど影響されずに鋼板Ｓの板厚ｔを測定できる。
【００２２】実施の形態３ 本発明の実施の形態３の板厚測定方法に適用される板厚
測定装置の測定部１０Ｂを図５〜図７に示し、この実施
の形態３は実施の形態２を改変したものであって、接触
子１１ａ，１２ａの近傍に清掃手段２０、例えばエアブ
ローノズル２１，２１を接触子１１ａ，１２ａの接触端
に臨ませて配置してなるものである。かかる構成とする
ことにより、測定中に接触子１１ａ，１２ａの接触端に
埃などが付着することによる測定誤差を回避できる。
測定装置の測定部１０Ｂを図５〜図７に示し、この実施
の形態３は実施の形態２を改変したものであって、接触
子１１ａ，１２ａの近傍に清掃手段２０、例えばエアブ
ローノズル２１，２１を接触子１１ａ，１２ａの接触端
に臨ませて配置してなるものである。かかる構成とする
ことにより、測定中に接触子１１ａ，１２ａの接触端に
埃などが付着することによる測定誤差を回避できる。
【００２３】次に、かかる構成とされている実施の形態
３による鋼板Ｓの板厚測定について説明する。
３による鋼板Ｓの板厚測定について説明する。
【００２４】（１）対向している接触子１１ａ，１２ａ
を進出させ、その先端同士を当接させた状態における接
触子の変位を測定する（図５参照）。
を進出させ、その先端同士を当接させた状態における接
触子の変位を測定する（図５参照）。
【００２５】（２）接触子１１ａ，１２ａを後退させて
ストッパー１４，１５を退避位置決定治具１６，１７の
先端に当接させる。
ストッパー１４，１５を退避位置決定治具１６，１７の
先端に当接させる。
【００２６】（３）エアブローにより接触子１１ａ，１
２ａの接触端およびその近傍を清掃する（図６参照）。
２ａの接触端およびその近傍を清掃する（図６参照）。
【００２７】（４）ストッパー１４，１５を退避位置決
定治具１６，１７の先端に当接させた状態における接触
子１１ａ，１２ａの変位を測定する（図６参照）。
定治具１６，１７の先端に当接させた状態における接触
子１１ａ，１２ａの変位を測定する（図６参照）。
【００２８】（５）接触子１１ａ，１２ａの間に鋼板Ｓ
をセットする。
をセットする。
【００２９】（６）接触子１１ａ，１２ａを進出させて
接触子１１ａ，１２ａを鋼板Ｓ表面に接触させる（図７
参照）。
接触子１１ａ，１２ａを鋼板Ｓ表面に接触させる（図７
参照）。
【００３０】（７）接触子１１ａ，１２ａを鋼板Ｓ表面
に接触させた状態における接触子１１ａ，１２ａの変位
を測定する（図７参照）。
に接触させた状態における接触子１１ａ，１２ａの変位
を測定する（図７参照）。
【００３１】（８）これら測定された接触子１１ａ，１
２ａの変位を用いて前記式により鋼板Ｓの板厚を算出す
る。つまり、鋼板Ｓの板厚を測定する。
２ａの変位を用いて前記式により鋼板Ｓの板厚を算出す
る。つまり、鋼板Ｓの板厚を測定する。
【００３２】このようにして鋼板Ｓの板厚が測定される
と鋼板Ｓが所定量移動させられ、前記（２）〜（８）が
繰り返されて次の個所の板厚が測定される。
と鋼板Ｓが所定量移動させられ、前記（２）〜（８）が
繰り返されて次の個所の板厚が測定される。
【００３３】このように、この実施の形態３によれば、
接触子１１ａ，１２ａの接触端に付着した塵芥が測定ご
とに除去されるので、塵芥が多い雰囲気中においても精
度よく鋼板Ｓの板厚が測定できる。
接触子１１ａ，１２ａの接触端に付着した塵芥が測定ご
とに除去されるので、塵芥が多い雰囲気中においても精
度よく鋼板Ｓの板厚が測定できる。
【００３４】実施の形態４ 本発明の実施の形態４の板厚測定方法に適用される板厚
測定装置の測定部１０Ｃを図８および図９に示し、この
実施の形態４は実施の形態２を改変してなるものであっ
て、移動している鋼板Ｓの上下振動を抑えて鋼板Ｓの板
厚を測定できるようにしてなるものである。具体的に
は、この実施の形態４の測定部１０Ｃは、変位センサ１
１，１２の前後に押さえローラー３１，３１，と支えロ
ーラー３２，３２とを有するローラー機構３０を備えて
なるものとされる。このローラー機構３０の押さえロー
ラー３１と支えローラー３２とは、通常のローラー機構
とは異なり押さえローラー３１と支えローラー３２とは
対向配置されておらず、図８に示すように、押さえロー
ラー３１が支えローラー３２の外側上方に位置させて設
けられている。押さえローラー３１と支えローラー３２
とをかかる位置関係に配置することにより、ローラー機
構３０により押さえられている鋼板Ｓに、曲げモーメン
トが作用し、その曲げモーメントにより鋼板Ｓ内面に発
生する曲げ応力により鋼板Ｓの上下振動が抑えられて精
度よく測定がなし得る。すなわち、このローラー機構３
０により振動抑制手段が構成される。
測定装置の測定部１０Ｃを図８および図９に示し、この
実施の形態４は実施の形態２を改変してなるものであっ
て、移動している鋼板Ｓの上下振動を抑えて鋼板Ｓの板
厚を測定できるようにしてなるものである。具体的に
は、この実施の形態４の測定部１０Ｃは、変位センサ１
１，１２の前後に押さえローラー３１，３１，と支えロ
ーラー３２，３２とを有するローラー機構３０を備えて
なるものとされる。このローラー機構３０の押さえロー
ラー３１と支えローラー３２とは、通常のローラー機構
とは異なり押さえローラー３１と支えローラー３２とは
対向配置されておらず、図８に示すように、押さえロー
ラー３１が支えローラー３２の外側上方に位置させて設
けられている。押さえローラー３１と支えローラー３２
とをかかる位置関係に配置することにより、ローラー機
構３０により押さえられている鋼板Ｓに、曲げモーメン
トが作用し、その曲げモーメントにより鋼板Ｓ内面に発
生する曲げ応力により鋼板Ｓの上下振動が抑えられて精
度よく測定がなし得る。すなわち、このローラー機構３
０により振動抑制手段が構成される。
【００３５】この場合、図１０および図１１に示すよう
に、同期手段４０、例えば同期回路４１を設け、それか
ら生成される同期パルスにより上側の第１変位センサ１
１と下側の第２変位センサ１２の測定タイミングを一致
させれば、測定定精度のより一層の向上が図られる。な
お、図１０においては、作図の簡略化のためにローラー
機構３０の図示は省略されている。
に、同期手段４０、例えば同期回路４１を設け、それか
ら生成される同期パルスにより上側の第１変位センサ１
１と下側の第２変位センサ１２の測定タイミングを一致
させれば、測定定精度のより一層の向上が図られる。な
お、図１０においては、作図の簡略化のためにローラー
機構３０の図示は省略されている。
【００３６】
【実施例】以下、より具体的な実施例により本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００３７】実施例および比較例 図２〜図４に示す本発明の実施の形態２により測定部１
０Ｂが構成された板厚測定装置により雰囲気温度を変化
させながら鋼板の板厚を測定し、その測定値の温度変化
を計測した。その結果を図１２に実線で示す（実施
例）。図１３に示す従来技術により測定部が構成された
板厚測定装置により実施例と同様に雰囲気温度を変化さ
せながら測定し、その測定値の温度変化を計測した。そ
の結果を図１２に点線で示す（比較例）。
０Ｂが構成された板厚測定装置により雰囲気温度を変化
させながら鋼板の板厚を測定し、その測定値の温度変化
を計測した。その結果を図１２に実線で示す（実施
例）。図１３に示す従来技術により測定部が構成された
板厚測定装置により実施例と同様に雰囲気温度を変化さ
せながら測定し、その測定値の温度変化を計測した。そ
の結果を図１２に点線で示す（比較例）。
【００３８】図１２より、実施例における測定において
は雰囲気温度が変化しても測定値のバラツキがほとんど
認められないのに対し、比較例における測定値は雰囲気
温度変化にほぼ比例して増減しているのがわかる。この
ことにより、実施の形態２においては雰囲気温度が変化
しても安定して測定がなし得るのが確認された。すなわ
ち、雰囲気温度が変化しても精度よく寸法測定がなし得
るのが確認された。
は雰囲気温度が変化しても測定値のバラツキがほとんど
認められないのに対し、比較例における測定値は雰囲気
温度変化にほぼ比例して増減しているのがわかる。この
ことにより、実施の形態２においては雰囲気温度が変化
しても安定して測定がなし得るのが確認された。すなわ
ち、雰囲気温度が変化しても精度よく寸法測定がなし得
るのが確認された。
【００３９】以上、本発明を実施の形態および実施例に
基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施の形態お
よび実施例に限定されるものではなく、種々改変が可能
である。例えば、実施の形態および実施例においては測
定対象が鋼板とされたが、測定対象は鋼板に限定される
ものではなく、種々のものとすることができる。また、
後退位置規制手段を構成する後退位置決定治具は、円筒
状のものに限定されるものではなく、適宜形状とでき、
例えば棒状体や板状体とされてもよい。さらに、測定に
おける初期値決定は、必ずしも接触子同士を接触させて
決定する必要はなく、基準厚さとされている基準材を接
触子の間挿入し、ついでこの基準材に接触子を接触させ
て初期値を決定してもよい。
基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施の形態お
よび実施例に限定されるものではなく、種々改変が可能
である。例えば、実施の形態および実施例においては測
定対象が鋼板とされたが、測定対象は鋼板に限定される
ものではなく、種々のものとすることができる。また、
後退位置規制手段を構成する後退位置決定治具は、円筒
状のものに限定されるものではなく、適宜形状とでき、
例えば棒状体や板状体とされてもよい。さらに、測定に
おける初期値決定は、必ずしも接触子同士を接触させて
決定する必要はなく、基準厚さとされている基準材を接
触子の間挿入し、ついでこの基準材に接触子を接触させ
て初期値を決定してもよい。
【００４０】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
雰囲気温度がかなり変化する環境にあっても精度よく鋼
板の板厚などの測定がなし得るという優れた効果が得ら
れる。
雰囲気温度がかなり変化する環境にあっても精度よく鋼
板の板厚などの測定がなし得るという優れた効果が得ら
れる。
【００４１】また、本発明の好ましい形態にあっては、
鋼板などの測定対象の上下振動が抑制され、測定対象が
移動している状態にあっても精度よく板厚などの測定が
なし得たり、あるいは塵芥が多い雰囲気にあってもその
塵芥に影響されることなく鋼板などの板厚などの測定が
精度よくなし得るという優れた効果が得られる。
鋼板などの測定対象の上下振動が抑制され、測定対象が
移動している状態にあっても精度よく板厚などの測定が
なし得たり、あるいは塵芥が多い雰囲気にあってもその
塵芥に影響されることなく鋼板などの板厚などの測定が
精度よくなし得るという優れた効果が得られる。
【図１】本発明の実施の形態１の板厚測定装置の測定部
の概略図である。
の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態２の板厚測定装置の測定部
の概略図であって、接触子同士を接触させた状態を示
す。
の概略図であって、接触子同士を接触させた状態を示
す。
【図３】本発明の実施の形態２の板厚測定装置の測定部
の概略図であって、接触子のストッパーを後退位置決定
治具に当接させた状態を示す。
の概略図であって、接触子のストッパーを後退位置決定
治具に当接させた状態を示す。
【図４】本発明の実施の形態２の板厚測定装置の測定部
の概略図であって、接触子を鋼板表面に接触させた状態
を示す。
の概略図であって、接触子を鋼板表面に接触させた状態
を示す。
【図５】本発明の実施の形態３の板厚測定装置の測定部
の概略図であって、接触子同士を接触させた状態を示
す。
の概略図であって、接触子同士を接触させた状態を示
す。
【図６】本発明の実施の形態３の板厚測定装置の測定部
の概略図であって、接触子のストッパーを後退位置決定
治具に当接させてエアブローにより清掃している状態を
示す。
の概略図であって、接触子のストッパーを後退位置決定
治具に当接させてエアブローにより清掃している状態を
示す。
【図７】本発明の実施の形態３の板厚測定装置の測定部
の概略図であって、接触子を鋼板表面に接触させた状態
を示す。
の概略図であって、接触子を鋼板表面に接触させた状態
を示す。
【図８】本発明の実施の形態３の板厚測定装置の測定部
の概略正面図である。
の概略正面図である。
【図９】同概略側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態３の板厚測定装置の概略
図である。
図である。
【図１１】同測定装置における第１変位センサおよび第
２変位センサの同期信号のタイミングチャートである。
２変位センサの同期信号のタイミングチャートである。
【図１２】実施例および比較例の温度ドリフトを示すグ
ラフである。
ラフである。
【図１３】従来の板厚測定装置の測定部の一例の概略図
である。
である。
【図１４】従来の板厚測定装置の測定部の他の例の概略
図である。
図である。
【図１５】特開平５ー２２３５２６号の提案にかかわる
板厚測定装置の概略図である。
板厚測定装置の概略図である。
１０ 測定部 １１ 変位センサ（第１変位センサ） １２ 変位センサ（第２変位センサ） １１ａ，１２ａ 接触子 １３ 保持部材 １４，１５ 鍔（ストッパー） １６，１７ 円筒状部材（退避位置決定治具） ２０ 清掃手段 ２１ エアブローノズル ３０ ローラー機構 ３１ 押さえローラー ３２ 支えローラー ４０ 同期手段 ４１ 同期回路 Ｓ 鋼板
Claims (11)
- 【請求項１】 複数の変位センサを用いる寸法測定方法
において、前記変位センサを温度変化率の小さい素材か
らなる保持部材により保持させて寸法測定を行うことを
特徴とする寸法測定方法。 - 【請求項２】 変位センサとして接触式変位センサを用
いるとともに、変位の測定を複数の変位センサを測定時
期を同期させながら周期的に行うことを特徴とする請求
項１記載の寸法測定方法。 - 【請求項３】 前記温度変化率の小さい素材がインバー
材とされてなることを特徴とする請求項１記載の寸法測
定装置。 - 【請求項４】 複数の変位センサを用いる寸法測定装置
において、前記変位センサを温度変化率の小さい素材か
らなる保持部材により保持させて寸法測定を行うことを
特徴とする寸法測定装置。 - 【請求項５】 変位センサの後退位置を規制する後退位
置規制手段を備えてなることを特徴とする請求項４記載
の寸法測定装置。 - 【請求項６】 前記後退位置規制手段が、変位センサの
接触子外周に配設された温度変化率の小さい素材からな
る所定長さの円筒状の後退位置決定治具と、該後退位置
決定治具の先端に当接する接触子先端部に配設されたス
トッパーとからなることを特徴とする請求項５記載の寸
法測定装置。 - 【請求項７】 変位センサの接触子に付着した塵芥を除
去するための清掃手段を備えてなることを特徴とする請
求項４記載の寸法測定装置。 - 【請求項８】 被測定材の振動を抑制する振動抑制手段
を備えてなることを特徴とする請求項４記載の寸法測定
装置。 - 【請求項９】 前記振動抑制手段が、押さえローラーと
支えローラーとを対向させることなく相互の位置をずら
したローラー機構とされてなることを特徴とする請求項
８記載の寸法測定装置。 - 【請求項１０】 前記複数の測定時期を一致させる同期
手段を備えてなることを特徴とする請求項４記載の寸法
測定装置。 - 【請求項１１】 前記温度変化率の小さい素材がインバ
ー材とされてなることを特徴とする請求項４または６記
載の寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20885296A JPH1038551A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 寸法測定方法および寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20885296A JPH1038551A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 寸法測定方法および寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038551A true JPH1038551A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16563187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20885296A Withdrawn JPH1038551A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 寸法測定方法および寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1038551A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4817232B2 (ja) * | 2003-08-22 | 2011-11-16 | 学校法人日本大学 | 板状不規則形状体の３次元形状の測定方法及び装置 |
| CN102798366A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-11-28 | 济南开思科技有限公司 | 一种测量和绕线分开的拉线位移传感器 |
| CN105203063A (zh) * | 2015-10-23 | 2015-12-30 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学距离调整环厚度测量装置及其测量方法 |
| CN108351205A (zh) * | 2016-03-03 | 2018-07-31 | 株式会社东芝 | 测量装置 |
| CN109238090A (zh) * | 2018-08-28 | 2019-01-18 | 郑州云海信息技术有限公司 | 一种检验pcb来料数量的治具 |
| JP2021019160A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | 株式会社ディスコ | 加工方法及び樹脂貼り機 |
-
1996
- 1996-07-19 JP JP20885296A patent/JPH1038551A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4817232B2 (ja) * | 2003-08-22 | 2011-11-16 | 学校法人日本大学 | 板状不規則形状体の３次元形状の測定方法及び装置 |
| CN102798366A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-11-28 | 济南开思科技有限公司 | 一种测量和绕线分开的拉线位移传感器 |
| CN105203063A (zh) * | 2015-10-23 | 2015-12-30 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学距离调整环厚度测量装置及其测量方法 |
| CN108351205A (zh) * | 2016-03-03 | 2018-07-31 | 株式会社东芝 | 测量装置 |
| CN109238090A (zh) * | 2018-08-28 | 2019-01-18 | 郑州云海信息技术有限公司 | 一种检验pcb来料数量的治具 |
| JP2021019160A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | 株式会社ディスコ | 加工方法及び樹脂貼り機 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |