JPH1038735A - 圧力センサ・パッケージ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧力センサ・ダイアフラムを圧力センサ・ベ
ースに、構成要素が金属製であることに限定されずに固
定する方法を提供すること 【解決手段】 本発明の圧力センサのダイアフラム（１
４）をベース（１２）に固定する方法は、ダイアフラム
をベースの上に位置決めするステップと、キャップをダ
イアフラムに上に配置するステップと、引っ張り力をキ
ャップの少なくとも１つの部分に加えるステップと、キ
ャップの一部分をベースの一部分の周囲に変形させるス
テップと、を含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサ・パッ
ケージの分野に関し、更に詳しくは、ダイアフラムによ
って空洞の内部に密封された圧力チップを有する圧力セ
ンサ・パッケージに関する。

【０００２】

【従来の技術】圧力センサは、自動車や産業上の応用例
などの種々の分野で用いられ、測定された流体圧力に対
応する電気信号を出力する。例えば、圧力センサは、自
動車の油圧及び作業液圧を測定するのに用いることがで
きる。

【０００３】あるタイプの圧力センサには、ソリッドス
テート圧力感知ブリッジすなわちチップが含まれ、その
チップに加わる流体圧力に対応する電気信号を発生す
る。典型的には、チップは、ベースの空洞の内部に設置
され、流体の媒体（例えば、シリコンのゲル）が空洞の
内部に入れられて、チップを覆う。ダイアフラムが、空
洞上でベースに固定され、空洞の内部のゲルを固定し
て、密封された圧力センサ・パッケージが得られる。ま
た、ゲルは、ダイアフラムがベースに固定された後で、
別個のポートを通じて空洞の内部に注入することもでき
る。動作においては、ダイアフラムに加えられた圧力
が、ダイアフラムを偏向させ、媒体によって伝えられ
て、その結果、チップへの加圧（pressurization）が生
じる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ダイアフラムは、通常
は、溶接（ウェルディング）によってベースに固定され
る。溶接は適切な密封を与えるが、ベースとダイアフラ
ムとが共に互換性のある金属性材料から作られている場
合にだけしか、実行できない。更に、溶接作業には費用
がかさみ、更に、構成要素の熱による歪みも生じる可能
性がある。また、溶接は、一般には、空洞内に流体媒体
のないときに行わなければならないので、空洞の内部に
流体の媒体を注入するという余分な作業が必要になる
し、その後で空洞を密封する際にも、空洞内にオフセッ
ト圧力が加わることを回避しなければならない。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の１つの特徴は、
圧力センサ・ダイアフラムを圧力センサ・ベースに固定
する方法を提供することである。この方法は、圧力セン
サ・ダイアフラムを圧力センサ・ベースの上に位置決め
ステップと、圧力センサ・キャップを圧力センサ・ダイ
アフラムに上に配置するステップと、引っ張り力（tens
ile force）を圧力センサ・キャップの少なくとも一部
に加えるステップと、圧力センサ・キャップの一部を、
圧力センサ・ベースの一部の周囲に変形させるステップ
と、を含む。この際に、力を加えるステップは、変形さ
せるステップよりも前に、圧力センサ・キャップの一部
を係合し、ベースをキャップの方向に前進させ、圧力セ
ンサ・キャップの一部分に張力を生じさせることによっ
て、行われる。これによって、キャップにおける引っ張
り予荷重（tensile preload）が生じる。また、力を加
えるステップは、変形させるステップの間に、キャップ
の第１の部分を係合し、キャップの第２の部分をキャッ
プの第１の部分の方向に向かってベースの周囲に前進さ
せることによって、行うこともできる。これにより、変
形作業が行われているときに、圧力センサ・キャップの
一部分に張力を生じさせることができる。

【０００６】上述の係合するステップは、好ましくは、
ダイアフラムから離間したキャップの一部を係合するス
テップを含む。例えば、この係合するステップは、ダイ
アフラムによりも変形された部分に近接した圧力センサ
・キャップの部分を係合するステップを含むことがあり
得る。この方法は、更に、圧力センサ・キャップを圧力
センサ・ベースの方向に移動させるステップと、圧力セ
ンサ・キャップと圧力センサ・ベースとの間にある圧力
センサ・ダイアフラムの一部分を変形させるステップと
を含むことがあり得る。例えば、この変形させるステッ
プは、変形線（line of deformation）に沿って圧力セ
ンサ・ダイアフラムを変形させるステップを含むことが
ある。

【０００７】別の特徴においては、本発明は、空洞を有
する圧力センサ・ベースと、空洞の上に位置決めされた
圧力センサ・ダイアフラムと、圧力センサ・ベースの上
に位置決めされそれに固定された圧力センサ・キャップ
と、を含む圧力センサ・パッケージを提供する。この圧
力センサ・キャップは、キャップ自体をベースに固定す
る変形された部分と、変形された部分がベースの周囲に
変形されているときにキャップの係合が可能であるよう
に構成される係合部分と、この係合部分とダイアフラム
との間の上側部分と、係合部分と変形された部分との間
にあり上側部分よりも短い下側部分と、を含む。ある実
施例では、係合部分は、キャップから半径方向に外向き
に、環状のレッジ（ledge）の形状に、延長する。

【０００８】圧力センサ・ダイアフラムは、好ましく
は、キャップとは別個に形成されるが、一体的に形成す
ることもできる。この点で、圧力センサ・ダイアフラム
の一部を、圧力センサ・キャップと圧力センサ・ベース
との間に、変形線に沿って変形させることが可能であ
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１から図３は、本発明の実施例
である圧力センサ・パッケージ１０を図解している。パ
ッケージ１０は、圧力センサ・ベース１２、圧力センサ
・ダイアフラム１４、及びダイアフラム１４の上に位置
決めされベース１２に固定された圧力センサ・キャップ
１６を含む。ベース１２は、キャップ１６をベース１２
に固定するための外部ねじ山（スレッド）１８を含む。
ベース１２は、更に、空洞２２を定義する円柱状の側壁
２０と、上側の環状の面２３とを含む。パッケージ１０
は、また、空洞２２の内部に位置決めされた圧力感知チ
ップ２４を含む。複数のワイヤ２６が、チップ２４と動
作的に相互接続され、ベース１２の底部から外へ延長し
ている。

【００１０】ベース１２は、好ましくは、ステンレス鋼
や冷間圧延鋼などの、金属性の材料から作られる。圧力
感知チップ２４は、流体の圧力を感知するのに適した任
意のチップであり、その選択は、部分的には、感知され
る圧力に依存する。例えば、圧力感知チップ２４は、米
国特許出願第０８／２９１８７１号、米国特許第４７４
４８６３号、第４８５３６６９号、第４９９６０８２号
などに記載されている種々の圧力トランスデューサの中
の任意のものでよい。これらの特許文献は、この出願で
援用する。ワイヤ２６は、ガラスなどの適切な密封材料
２８によって、従来の態様で、ベース内部で密封され
る。

【００１１】ダイアフラム１４は、空洞２２の上に置か
れ、空洞１４の中への汚染物質の侵入に対するバリアと
なる。ダイアフラム１４は、従来型の設計のようにベー
ス１２に溶接されるのではなく、キャップ１６によっ
て、固定される。これについては、後に更に詳細に説明
する。ダイアフラム１４は、ベースに溶接されないの
で、エラストマ（elastomers）、ゴム、プラスチックな
どの非金属材料から作ることができ、又は、ステンレス
鋼やメッキされた冷間圧延鋼などの金属材料から作るこ
ともできる。図解されている実施例では、ダイアフラム
１４は、ステンレス鋼から作られている。

【００１２】図２を参照すると、パッケージ１０は、ま
た、一定量の圧力伝達媒体３０を含み、この媒体３０
が、空洞２２を実質的に充填し、チップ２４を覆ってい
る。圧力伝達媒体３０は、ダイアフラム１４とチップ２
４との間の空洞２２を占有し、それによって、空洞２２
には空気がほとんど又は全く存在しないようになってい
る。圧力伝達媒体３０は、（例えば、ダイアフラムに加
えられる圧力による）ダイアフラム１４の偏向に起因す
る圧力を、チップ２４に伝達する。この観点からは、圧
力伝達媒体３０には、一般に、多くの流体及びゲルなど
のような非圧縮性の材料を選択することが望ましい。図
解されている実施例では、圧力伝達媒体３０は、シリコ
ン・ゲルである。

【００１３】キャップ１６は、キャップ１６をベース１
２に固定するための内部ねじ山３２と、ポートの内部の
流体圧力を感知するためにパッケージ１０をねじ切りさ
れたポート（図示せず）の中に固定するための外部ねじ
山３４とを含む。キャップ１６は、ダイアフラム１４の
上に位置決めされ、ダイアフラム１４をその位置に固定
し、密封して、外部の物質が空洞２２の中に侵入するの
を防止する。密封は、ダイアフラムが図３において参照
番号３３を用いて識別されている領域によって変形線に
沿って接触されるように、キャップ１６とベース１２と
の間にインターフェースを提供することによって達成さ
れる。この接触の結果として、キャップ１６がベース１
２上にねじ止めされるときに、ダイアフラム１４の変形
が生じる。この線接触は、ダイアフラム１４が金属性材
料から作られているときに特に重要であり、それによっ
て、キャップ１６のクランプ力（clamping force）を狭
く定義された局所的な領域に集中させ、従って、ダイア
フラム１４の変形を、及び、好ましくは塑性変形が促進
される。この点で、図解されているダイアフラムはステ
ンレス鋼で作られているので、図解されているキャップ
もまた、ステンレス鋼などの金属性の材料で作られる。

【００１４】変形線又は変形の局所的な領域に沿った接
触は、内部表面３５と外部表面３７とが変形線から離れ
る方向に移動する際に相互に対して離間するように、ダ
イアフラム１４をキャップ１６の内部表面３５とベース
１２の外部表面３７との間に接触させることによって、
促進される（図３を参照）。図解された実施例では、こ
のような接触は、ダイアフラム１４をキャップ１６の凹
状の内部半径１６とベース１２の凸状の外部半径３８と
の間に接触させることによって、達成されている。ただ
し、ここで、図３に示すように、内部半径３６は、外部
半径３８よりも大きい。

【００１５】図４は、パッケージ１０に類似した圧力セ
ンサ・アセンブリ３９を図解しており、これは、本発明
の別の実施例である。アセンブリ３９では、オプション
でベース４８を超えて半径方向に延長しているダイアフ
ラム４０は、キャップ４４の勾配付きの面４２とベース
４８の先鋭な角すなわちより高い側の半径４６との間で
圧縮される。図解した構成では、キャップ４４とベース
４８との間の接触線は、それらの間の力が集中して、ベ
ース４８を超えるダイアフラムの外側の周辺部分が勾配
付きの面４２によって偏向されるように構成されてい
る。この力の集中の結果として、ダイアフラム４０の変
形が、好ましくは塑性変形が生じる。

【００１６】ねじ切りされたインターフェースを用いて
ベースに対してキャップを固定し圧縮するのではなく、
それ以外の構成を用いることもできる。例えば、図５
は、アセンブリ１０及び３９に類似したアセンブリ４９
を図解しており、これは、キャップ５０がベース５４の
底部５２を超えて延長している場合の、別の実施例であ
る。この実施例では、キャップ５０の底部５６は、ベー
ス５４の底部５２の周囲に塑性変形されており、適切な
レッジすなわち溝（グルーブ）（図示せず）がベース５
４に形成される。この構成では、ベース上にスレッド
を、キャップ上に内部スレッドを、共に設ける必要がな
い。むしろ、キャップ５０は、ベース５４に、ベース５
４の周囲のキャップ５０の単純な塑性変形又は圧印加工
（コイニング）によって、固定される。

【００１７】上述の圧力センサ・パッケージの組み立て
は、空洞２２を流体で充填し、ダイアフラムをベース上
に位置決めし、キャップをダイアフラムに配置し、キャ
ップをベースの方向にダイアフラムがそれらの間で変形
されるまで移動させることによって、実行することがで
きる。図１から図３に図解されたパッケージにおいて
は、移動のステップは、キャップ１６上のねじ山３２を
ベース１２上のねじ山１８に係合させ、ベース１２に対
してキャップ１６を回転させるステップを含む。図１か
ら図５に示したそれぞれの実施例のダイアフラムは、圧
力センサ・ダイアフラムの周辺部に隣接する閉じた経路
を形成する変形線に沿って、変形される。この閉じた経
路が、空洞２２の中への汚染物質の侵入に対する所望の
バリアを形成する。図５に図解されているパッケージ４
９に対しては、本発明の方法は、更に、キャップ５０の
一部分をベース５４の一部分の周囲に変形させそれによ
ってベース５４に対する位置を固定するステップを更に
含む。

【００１８】図６は、本発明の更に別の実施例でありキ
ャップとベースとの間のリーク（漏れ）経路を除去する
圧力センサ・パッケージ６０を図解している。更に詳し
くは、上述の図解されているパッケージ１０、３９及び
４９（図１から図５）は、一般的に、キャップとダイア
フラムとの間の、及び、キャップとベースとの間の潜在
的なリーク経路を有する。これと対照的に、図６に図解
されているパッケージ６０では、リーク経路は、キャッ
プ６２とベース６４との間にだけ存在し得る。これは、
キャップ６２を一体の材料から形成し、中央のダイアフ
ラム部分６６と、このダイアフラム部分６６よりも厚い
一体性の周辺のキャップ部分とを提供することによっ
て、達成される。例えば、キャップ部分６８とダイアフ
ラム部分６６とは、一体の構造として成型することがで
きる。ダイアフラム部分６６の空洞７０に面する側は、
ダイアフラム部分６６がベース６４の上側の表面よりも
下に延長するように、オプションではあるが、弓（アー
ク）状に凸状になっている。このような設計によって、
キャップ６２がベース６４に対して固定される際に、任
意のエアポケットが空洞７０の外に移動することを容易
にする。すなわち、キャップ６２がベース６４の方向に
移動するときに、ダイアフラム部分６６の中心が、ダイ
アフラム部分６６の他のどの部分よりも先に空洞７０の
中の流体に接触する。ベース６４の方向へキャップ６２
が更に移動することの結果として、流体への接触点が、
ダイアフラム部分６６の上を半径方向に外側へ徐々に移
動するので、エアポケットは空洞７０の更に外側の周辺
部へと強制され、最終的には、ねじ山７４の外に至る。
組み立ての前に空洞７０の中に入れられる流体の量は、
最終的な組み立てられたパッケージ６０に必要になる量
よりも僅かに多いだけである。過剰な流体は、ねじ山７
４の中に漏れることが可能である。

【００１９】本発明の第５の実施例が、図７及び図８に
図解されている。この図に図解されているパッケージ
は、ベース８４の底部８２を超えて延長するキャップ８
０を含む点では、図５に示したパッケージと類似してい
る。ダイアフラム８５は、キャップ８０とベース８４と
の間で圧縮される。更に、ちょうど図５の実施例のよう
に、キャップ８０の底部８６は、ベース８４の底部８２
の周囲で、又は、ベース８４の中に形成される適切なレ
ッジ又は溝（図示せず）の周囲で、塑性変形される。こ
の構成においては、ベース上のねじ山や、キャップ８０
上の内部のねじ山は不要である。むしろ、キャップ８０
は、ベース８４の周囲へのキャップ８０の単純な塑性変
形又は圧印加工（コイニング）によって、固定される。

【００２０】図５の実施例が組み立てられるときには、
パンチが、キャップを変形させ、キャップの側壁に圧力
が加えられる。キャップがベースの周囲に変形された後
で、パンチは除去され、側壁は、典型的には、弾性変形
によって弾性的に元に戻る。このはね返りの結果とし
て、キャップとベースとの間にゆるやかな結合（遊合）
が生じる。このはね返りに対応するために、過剰圧力行
程（over-pressure stroke）が、通常は、用いられる。
しかし、過剰圧力行程がはね返りを補償するキャップの
長さには、最大値がある。

【００２１】過剰圧力行程の必要性を除くために、図７
の実施例は、キャップ８０の外側の面に沿った係合部分
を含み、キャップ８０が変形作業の間に支持されること
を可能にしている。図解されている実施例では、係合部
分は、環状のレッジ８８を含む。変形作業の間に、環状
のレッジ８８は、上部ポンチ（upper punch）９０によ
って係合され、ベース８４は、内部サポート９２によっ
て係合される。内部サポート９２は、コンプライアンス
によるバイアス力Ｆによって上部ポンチ９０の方向へ上
向きにバイアスされ、キャップ８０の上方部分９６にお
いて引っ張り弾性による予荷重を生じさせる。しかし、
キャップ８０の下方部分には、予荷重は生じない。キャ
ップ８０の上方部分９４は、環状のサポート８８とダイ
アフラム８５との間にあり、下方部分９６は、環状のサ
ポート８８とキャップ８０の環状の変形部分９７との間
にある。

【００２２】図７及び図８の圧力センサ・パッケージ
は、圧力センサ・ダイアフラムを圧力センサ・ベースの
上に位置決めし、圧力センサ・キャップを圧力センサ・
ダイアフラムの上に配置することによって、組み立てら
れる。次に、引っ張り力が、キャップの少なくとも一部
に加えられ、キャップの一部が、ベースの一部の周囲に
変形される。図解されている実施例では、変形作業は、
上部ポンチ９０を下部ポンチ９８の方向に前進させるこ
とによって行われる。パッケージのこのような移動は、
内部サポート９２を支持するバイアス力Ｆのコンプライ
アンス性によって担保される。上部ポンチ９０がその下
方向への移動を続けるにつれて、下方ポンチ９８は、最
終的には、キャップ８０の底部を係合し、その結果とし
て、ベース８４の底部８２の周囲にキャップ８０の底部
８６を変形させ、変形部分９７を生じる（図８）。変形
部分９７によって、ベース８４が、上側部分９４の内部
に固定される。底部８６のこの変形の間に、キャップ８
０の上側部分９４において、更なる応力が生じ、ベース
８４において圧縮が生じる。

【００２３】変形がいったん完了し、上部ポンチ９０が
戻されると、ベース８４は、除去された圧縮力に起因し
て、僅かに弾性的に伸長する傾向があり、キャップ８０
の上側部分９４は、除去された引っ張り力に起因して僅
かに弾性的に収縮する。このベース８４の伸長とキャッ
プ８０の収縮とは、相互に反する方向に作用し、結果的
に、キャップ８０は非常に僅かなはね返りしか生じず、
それによって、キャップ８０とベース６４とは確実に係
合する。

【００２４】キャップ８０の下側部分９６には、変形プ
ロセスの間は、圧力を受ける。しかし、上側部分９４が
下側部分９６よりも長く、上側部分９４には予荷重が加
わっているので、下側部分９６の拡張的なはね返りは、
すべてが、上側部分９４の収縮によって、補償される。
この点で、上側部分９４と下側部分９６との間のはね返
りの相対的な量は、環状レッジ８８の位置を調整するこ
とによって、調整できる。更に詳しくは、環状レッジ８
８がキャップ８０の底部８６に近接すればするほど、上
側部分９４は、変形作業の後でより多く収縮し、一般的
に、ベース８４はより確実にキャップ８０の内部に保持
されることになる。他方で、下側部分９６が上側部分９
４よりも長くなるほど環状レッジ８８がキャップ８０の
底部８６から離れている場合には、下側部分９６の圧縮
は、上側部分９４では扱えないほど多くなってしまう可
能性がある。上側部分９４に加えられている予荷重の大
きさに応じて、キャップ８０とベース８４との間の係合
が不十分となることもあり得る。一般的には、環状レッ
ジ８８をキャップ８０の半分よりも下に配置し、上側部
分９４が下側部分よりも長くなるようにすることが推奨
される。

【００２５】本発明に関する以上の議論は、例示と説明
を与えるためのものである。更に、ここでの説明は、本
発明を、ここで開示された形式に限定することを意図し
たものではない。従って、ここでの説明や本発明の属す
る技術範囲に適合する改変や修正は、本発明の範囲に含
まれるものとする。例えば、ベース、ダイアフラム、及
びキャップのために用いられる材料は、温度、圧力、環
境などの設計上の制約条件に応じて、この出願で述べた
ものと相違することがあり得る。更に、レッジの代わり
に、係合部分は、溝（リセス）、ねじ山、スプラインな
どの任意の適切な構成にすることができる。ここで説明
した実施例は、本発明を実現する上での最良の態様（ベ
スト・モード）を説明しており、本発明の特定の応用例
や使用例によっては必要となる種々の修正も含めた態様
で、当業者が本発明を用いることを可能にするように意
図されている。従って、冒頭の特許請求の範囲は、従来
技術によって可能となる限度までの別の実施例を含むよ
うに解釈されるべきものとする。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例である圧力センサ・パッケージ
の組立分解図である。

【図２】組み立てた後の図１のパッケージの断面図であ
る。

【図３】図２のパッケージの一部分の拡大図である。

【図４】本発明の第２の実施例の部分的な断面図であ
る。

【図５】本発明の第３の実施例の部分的な断面図であ
る。

【図６】本発明の第４の実施例の全体図である。

【図７】本発明の第５の実施例の、キャップがベースの
周囲に変形される前の断面図である。

【図８】図７のパッケージの、キャップがベースの周囲
に変形される前の断面図である。

フロントページの続き (71)出願人 595108147 3200 Ｐａｌｍｅｒ Ｄｒｉｖｅ，Ｊａｎ ｅｓｖｉｌｌｅ，Ｗｉｓｃｏｎｓｉｎ 53546，Ｕｎｉｔｅｄ Ｓｔａｔｅｓ ｏ ｆ Ａｍｅｒｉｃａ

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力センサ・ダイアフラムを圧力センサ
   ・ベースに固定する方法であって、 前記圧力センサ・ダイアフラムを前記圧力センサ・ベー
   スの上に位置決めするステップと、 圧力センサ・キャップを前記圧力センサ・ダイアフラム
   に上に配置するステップと、 引っ張り力を前記キャップの少なくとも１つの部分に加
   えるステップと、 前記キャップの一部分を、前記ベースの一部分の周囲に
   変形させるステップと、 を含むことを特徴とする方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の方法において、前記力を
   加えるステップは、前記変形させるステップの前に生じ
   ることを特徴とする方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載の方法において、前記力を
   加えるステップは、 前記キャップの一部分を係合するステップと、 前記ベースを前記キャップの方向に前進させ、前記キャ
   ップの一部分に張力を生じさせるステップと、 を含むことを特徴とする方法。
4. 【請求項４】 請求項３記載の方法において、前記係合
   するステップは、前記ダイアフラムから離間した前記キ
   ャップの一部分を係合するステップを含むことを特徴と
   する方法。
5. 【請求項５】 請求項４記載の方法において、前記キャ
   ップは、そのキャップの変形された部分において変形さ
   れ、前記係合するステップは、前記ダイアフラムにより
   も前記変形した部分に近接したキャップの部分を係合す
   るステップを含むことを特徴とする方法。
6. 【請求項６】 請求項１記載の方法において、前記力を
   加えるステップは、前記変形させるステップの間に生じ
   ることを特徴とする方法。
7. 【請求項７】 請求項６記載の方法において、前記力を
   加えるステップと変形させるステップとは、 前記キャップの第１の部分を係合するステップと、 前記キャップの第２の部分を、前記キャップの第１の部
   分の方向と前記ベースの一部分の周囲とに前進させるス
   テップと、 を含むことを特徴とする方法。
8. 【請求項８】 請求項７記載の方法において、前記係合
   するステップは、前記ダイアフラムから離間した前記キ
   ャップの部分を係合するステップを含むことを特徴とす
   る方法。
9. 【請求項９】 請求項８記載の方法において、前記キャ
   ップは、そのキャップの変形された部分において変形さ
   れ、前記係合するステップは、前記ダイアフラムにより
   も前記変形した部分に近接したキャップの部分を係合す
   るステップを含むことを特徴とする方法。
10. 【請求項１０】 請求項１記載の方法において、 前記圧力センサ・キャップを、前記圧力センサ・ベース
    の方向に移動させるステップと、 前記圧力センサ・キャップと前記圧力センサ・ベースと
    の間にある前記圧力センサ・ダイアフラムの一部分を変
    形させるステップと、 を含むことを特徴とする方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０記載の方法において、前記
    変形させるステップは、変形線に沿って前記圧力センサ
    ・ダイアフラムを変形させるステップを含むことを特徴
    とする方法。
12. 【請求項１２】 請求項１記載の方法において、前記キ
    ャップの一部分を前記ベースの一部分の周囲に変形させ
    るステップの前に、圧縮力を前記圧力センサ・ベースに
    加えるステップを更に含むことを特徴とする方法。
13. 【請求項１３】 圧力センサ・パッケージであって、 空洞を有する圧力センサ・ベースと、 前記空洞の上に位置決めされた圧力センサ・ダイアフラ
    ムと、 前記圧力センサ・ベースの上に位置決めされ、それに固
    定された圧力センサ・キャップであって、 前記キャップを前記ベースに固定する変形された部分
    と、 前記変形された部分が前記ベースの周囲に変形されると
    きに前記キャップの係合が可能であるように構成される
    係合部分と、 前記係合部分と前記ダイアフラムとの間の上側部分と、 前記係合部分と前記変形された部分との間にあり、前記
    上方部分よりも短い下方部分と、 を含む圧力センサ・キャップと、 を備えることを特徴とする圧力センサ・パッケージ。
14. 【請求項１４】 請求項１３記載の圧力センサ・パッケ
    ージにおいて、前記係合部分は、前記キャップから半径
    方向に外向きに延長することを特徴とする圧力センサ・
    パッケージ。
15. 【請求項１５】 請求項１４記載の圧力センサ・パッケ
    ージにおいて、前記係合部分は、環状のレッジを含むこ
    とを特徴とする圧力センサ・パッケージ。
16. 【請求項１６】 請求項１３記載の圧力センサ・パッケ
    ージにおいて、前記圧力センサ・ダイアフラムは前記チ
    ップとは別個に形成されることを特徴とする圧力センサ
    ・パッケージ。
17. 【請求項１７】 請求項１６記載の圧力センサ・パッケ
    ージにおいて、前記圧力センサ・ダイアフラムの一部分
    は、前記圧力センサ・キャップと前記圧力センサ・ベー
    スとの間で変形されることを特徴とする圧力センサ・パ
    ッケージ。
18. 【請求項１８】 請求項１７記載の圧力センサ・パッケ
    ージにおいて、前記圧力センサ・ダイアフラムは、変形
    線に沿って変形されることを特徴とする圧力センサ・パ
    ッケージ。
19. 【請求項１９】 請求項１８記載の圧力センサ・パッケ
    ージにおいて、前記変形線は、前記圧力センサ・ダイア
    フラムの周辺部分に隣接する閉じた経路を形成すること
    を特徴とする圧力センサ・パッケージ。
20. 【請求項２０】 請求項１３記載の圧力センサ・パッケ
    ージにおいて、前記空洞は、流体で充填されていること
    を特徴とする圧力センサ・パッケージ。