JPH1040815A - ストライプパターン検査装置 - Google Patents
ストライプパターン検査装置Info
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- JPH1040815A JPH1040815A JP8196824A JP19682496A JPH1040815A JP H1040815 A JPH1040815 A JP H1040815A JP 8196824 A JP8196824 A JP 8196824A JP 19682496 A JP19682496 A JP 19682496A JP H1040815 A JPH1040815 A JP H1040815A
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- stripe
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- pattern inspection
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/18—Luminescent screens
- H01J29/30—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines
- H01J29/32—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines with adjacent dots or lines of different luminescent material, e.g. for colour television
- H01J29/325—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines with adjacent dots or lines of different luminescent material, e.g. for colour television with adjacent lines
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パネルのＢＭストライプパターンの検査にお
いて、検査系の検査精度は、作業者が定期校正をしてい
る。さらに、ＢＭストライプパターンを形成する露光台
の補正、調整作業は作業者が手作業によって行なってい
る。 【解決手段】 ストライプパターン検査装置の検査系に
内蔵した標準ストライプパターンパネルＳを定期的に検
査し、検査装置の検査系精度を自動診断する機能を持た
せる。さらに、実際に検査したストライプパターンの検
査値を傾向管理して得られた情報をＢＭストライプパタ
ーンを形成する露光台２０へフィードバックする機能を
持たせて、露光台２０の調光フィルタ６のＸ、Ｙ座標軸
方向および（または）露光用光源４の照度を自動制御す
る機能を持たせたストライプパターン検査装置を提供す
る。
いて、検査系の検査精度は、作業者が定期校正をしてい
る。さらに、ＢＭストライプパターンを形成する露光台
の補正、調整作業は作業者が手作業によって行なってい
る。 【解決手段】 ストライプパターン検査装置の検査系に
内蔵した標準ストライプパターンパネルＳを定期的に検
査し、検査装置の検査系精度を自動診断する機能を持た
せる。さらに、実際に検査したストライプパターンの検
査値を傾向管理して得られた情報をＢＭストライプパタ
ーンを形成する露光台２０へフィードバックする機能を
持たせて、露光台２０の調光フィルタ６のＸ、Ｙ座標軸
方向および（または）露光用光源４の照度を自動制御す
る機能を持たせたストライプパターン検査装置を提供す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー陰極線管の
蛍光面形成におけるブラックマトリクス膜の開口部であ
るＲＧＢストライプ（以下ＢＭストライプ）のパターン
幅やピッチを検査するストライプパターン検査装置に関
し、特に高精細化されたカラー陰極線管のパネルの露光
工程におけるインライン検査装置として好適する自動診
断機能付きストライプパターン検査装置に関する。
蛍光面形成におけるブラックマトリクス膜の開口部であ
るＲＧＢストライプ（以下ＢＭストライプ）のパターン
幅やピッチを検査するストライプパターン検査装置に関
し、特に高精細化されたカラー陰極線管のパネルの露光
工程におけるインライン検査装置として好適する自動診
断機能付きストライプパターン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、シャドウマスク型カラー陰極線
管では、パネルの内側に配設されたシャドウマスクに対
向して、パネルの内面に吸光性物質層からなるブラック
マトリクス膜（以下ＢＭ膜と記す）が形成され、ＢＭス
トライプに赤、緑、青の各色に発光するストライプ状の
蛍光体膜が形成されている。このような蛍光体膜は、感
光性物質を用いた精密写真露光法によって形成されてお
り、露光台を用いてパネル内面に塗布されたレジストを
介して露光している
管では、パネルの内側に配設されたシャドウマスクに対
向して、パネルの内面に吸光性物質層からなるブラック
マトリクス膜（以下ＢＭ膜と記す）が形成され、ＢＭス
トライプに赤、緑、青の各色に発光するストライプ状の
蛍光体膜が形成されている。このような蛍光体膜は、感
光性物質を用いた精密写真露光法によって形成されてお
り、露光台を用いてパネル内面に塗布されたレジストを
介して露光している
【０００３】図７は、一般的なカラー陰極線管用露光台
の構成図である。図７に示すように、このカラー陰極線
管用の露光台は、パネル１とシャドウマスク２とを位置
決めして載置するテーブル３、テーブル３の下方に配置
される露光用光源４、テーブル３と光源４との間に配置
される補正レンズ５および調光フィルタ６とで構成さ
れ、パネル内面全域にＢＭストライプを有するＢＭ膜を
形成する。
の構成図である。図７に示すように、このカラー陰極線
管用の露光台は、パネル１とシャドウマスク２とを位置
決めして載置するテーブル３、テーブル３の下方に配置
される露光用光源４、テーブル３と光源４との間に配置
される補正レンズ５および調光フィルタ６とで構成さ
れ、パネル内面全域にＢＭストライプを有するＢＭ膜を
形成する。
【０００４】ところが、偏向量の大きな大型や短管長の
カラー陰極線管においては、電子ビームの収束度が偏向
量により多少異なるため、パネルの中央部と周辺部との
ＢＭストライプ面積を等しくすると蛍光体の発光輝度が
不均一となるという問題があり、パネル中央部と周辺部
のＢＭストライプ面積比を最適な値にコントロールする
必要がある。
カラー陰極線管においては、電子ビームの収束度が偏向
量により多少異なるため、パネルの中央部と周辺部との
ＢＭストライプ面積を等しくすると蛍光体の発光輝度が
不均一となるという問題があり、パネル中央部と周辺部
のＢＭストライプ面積比を最適な値にコントロールする
必要がある。
【０００５】同種の検査装置として、ドットタイプでは
あるが、透過光量を利用したホール径検査装置として、
特開昭６３−１３８６２８号公報に開示されているよう
なホール径検査装置が使用されている。図８は、このホ
ール径検査装置の構成図である。図８に示しているよう
に、このホール径検査装置は、テーブル１３に載置した
パネル１の中央部１ａと周辺部１ｂの所定面積におい
て、テーブル１３内に配置した光源（図示しない）から
パネル１の内面に形成したＢＭホールを介して透過して
くる光量のみを外光遮蔽板７を有する照度センサ８で検
査し、その透過光量によりＢＭホールの面積を求めてい
る。
あるが、透過光量を利用したホール径検査装置として、
特開昭６３−１３８６２８号公報に開示されているよう
なホール径検査装置が使用されている。図８は、このホ
ール径検査装置の構成図である。図８に示しているよう
に、このホール径検査装置は、テーブル１３に載置した
パネル１の中央部１ａと周辺部１ｂの所定面積におい
て、テーブル１３内に配置した光源（図示しない）から
パネル１の内面に形成したＢＭホールを介して透過して
くる光量のみを外光遮蔽板７を有する照度センサ８で検
査し、その透過光量によりＢＭホールの面積を求めてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パネル
の中央部１ａと周辺部１ｂのＢＭホール径は、ＢＭ膜の
塗布状態がシャドウマスクのドット分布、例えば光源で
ある水銀灯の発光状態により異なって形成されるため、
上述した透過光量からＢＭホールの面積を求める方法で
は個々のＢＭホール径の正確な検査ができず、高精細化
に対応するＢＭホール径の検査には対応できないという
課題がある。
の中央部１ａと周辺部１ｂのＢＭホール径は、ＢＭ膜の
塗布状態がシャドウマスクのドット分布、例えば光源で
ある水銀灯の発光状態により異なって形成されるため、
上述した透過光量からＢＭホールの面積を求める方法で
は個々のＢＭホール径の正確な検査ができず、高精細化
に対応するＢＭホール径の検査には対応できないという
課題がある。
【０００７】この課題は、ストライプタイプでも同様で
あり、透過光量を利用する方法以外の手段で、高精細で
ファインピッチなストライプの幅が検査でき、かつスト
ライプタイプで特に問題となるＲ、Ｇ、Ｂで特定の色間
のピッチが偏るというグルーピングをも検査しうるスロ
ットタイプのストライプパターンを検査するのに最適な
ストライプパターン検査装置を開発することが急務とな
る。また、パネルのＢＭストライプパターンの検査にお
いて、検査系の検査精度は、作業者が定期校正をしてい
る。さらに、ＢＭストライプパターンを形成する露光台
の補正、調整作業は作業者が手作業によって行なってい
る。
あり、透過光量を利用する方法以外の手段で、高精細で
ファインピッチなストライプの幅が検査でき、かつスト
ライプタイプで特に問題となるＲ、Ｇ、Ｂで特定の色間
のピッチが偏るというグルーピングをも検査しうるスロ
ットタイプのストライプパターンを検査するのに最適な
ストライプパターン検査装置を開発することが急務とな
る。また、パネルのＢＭストライプパターンの検査にお
いて、検査系の検査精度は、作業者が定期校正をしてい
る。さらに、ＢＭストライプパターンを形成する露光台
の補正、調整作業は作業者が手作業によって行なってい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、カラー陰極線
管のフェースパネル内面に形成したブラックマトリクス
膜のＲＧＢストライプパターンを検査するストライプパ
ターン検査装置において、自動焦点機構付ＣＣＤカメラ
と、このＣＣＤカメラを保持・移動させる水平移動機構
部と、この水平移動機構部を回転させる旋回機構部と、
ＣＣＤカメラで撮影した拡大画像から個別のストライプ
パターンを処理検査する画像処理部と、透過用光源とを
具備することをストライプパターン検査装置を提供す
る。
管のフェースパネル内面に形成したブラックマトリクス
膜のＲＧＢストライプパターンを検査するストライプパ
ターン検査装置において、自動焦点機構付ＣＣＤカメラ
と、このＣＣＤカメラを保持・移動させる水平移動機構
部と、この水平移動機構部を回転させる旋回機構部と、
ＣＣＤカメラで撮影した拡大画像から個別のストライプ
パターンを処理検査する画像処理部と、透過用光源とを
具備することをストライプパターン検査装置を提供す
る。
【０００９】また、画像処理部が拡大画像からＲＧＢ３
色のうち同色ストライプを複数点サンプリングし、個別
のストライプ幅を検査するストライプパターン検査装置
を提供する。
色のうち同色ストライプを複数点サンプリングし、個別
のストライプ幅を検査するストライプパターン検査装置
を提供する。
【００１０】また、画像処理部が前記拡大画像からＲＧ
Ｂ３色のストライプを１組として複数点サンプリング
し、この各色間のストライプピッチを検査するストライ
プパターン検査装置を提供する。
Ｂ３色のストライプを１組として複数点サンプリング
し、この各色間のストライプピッチを検査するストライ
プパターン検査装置を提供する。
【００１１】また、パネル面の中央部および周辺部複数
箇所のストライプパターンを検査するストライプパター
ン検査装置を提供する。
箇所のストライプパターンを検査するストライプパター
ン検査装置を提供する。
【００１２】また、画像処理部がストライプパターンの
検査データを傾向管理処理するストライプパターン検査
装置を提供する。
検査データを傾向管理処理するストライプパターン検査
装置を提供する。
【００１３】さらに、ストライプパターン検査装置に、
露光台とを制御部を付加接続して標準ＢＭストライプパ
ターンを検査することにより、この検査装置の検査系精
度を自動診断する自己診断処理機能を具備しストライプ
パターン検査装置を提供する。
露光台とを制御部を付加接続して標準ＢＭストライプパ
ターンを検査することにより、この検査装置の検査系精
度を自動診断する自己診断処理機能を具備しストライプ
パターン検査装置を提供する。
【００１４】また、標準ＢＭストライプパターンをスト
ライプパターン検査装置の検査系に内蔵したストライプ
パターン検査装置を提供する。
ライプパターン検査装置の検査系に内蔵したストライプ
パターン検査装置を提供する。
【００１５】また、画像処理部によって傾向管理された
データ情報により、ＢＭストライプを形成する露光台の
設定条件を制御するストライプパターン検査装置を提供
する。
データ情報により、ＢＭストライプを形成する露光台の
設定条件を制御するストライプパターン検査装置を提供
する。
【００１６】また、露光台を制御する設定条件が調光フ
ィルタのＸ、Ｙ座標を設定する調光フィルタ移動機構お
よび（または）露光用光源の照度を設定する光源出力可
変機構であるストライプパターン検査装置を提供する。
ィルタのＸ、Ｙ座標を設定する調光フィルタ移動機構お
よび（または）露光用光源の照度を設定する光源出力可
変機構であるストライプパターン検査装置を提供する。
【００１７】そして、自己診断処理部が異常を検出した
場合、アラームを発し、ストライプパターン検査装置を
自動停止させるストライプパターン検査装置を提供す
る。
場合、アラームを発し、ストライプパターン検査装置を
自動停止させるストライプパターン検査装置を提供す
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
面を参照しながら説明する。従来例と同一部分には同一
参照符号を付し説明を省略する。この実施の形態１のス
トライプパターン検査装置について説明する。図１は、
本発明による実施の形態１のストライプパターン検査装
置の構成図である。図１に示すように、パネル１を位置
決めして載置するテーブル３、テーブル３の下方に配置
される透過用光源１４、パネル１の中央部１ａおよび周
辺部１ｂのＢＭストライプパターンを検査する自動焦点
機能付ＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃの３台が、水平移
動機構部１０のそれそれぞれ所定位置に保持されてい
る。
面を参照しながら説明する。従来例と同一部分には同一
参照符号を付し説明を省略する。この実施の形態１のス
トライプパターン検査装置について説明する。図１は、
本発明による実施の形態１のストライプパターン検査装
置の構成図である。図１に示すように、パネル１を位置
決めして載置するテーブル３、テーブル３の下方に配置
される透過用光源１４、パネル１の中央部１ａおよび周
辺部１ｂのＢＭストライプパターンを検査する自動焦点
機能付ＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃの３台が、水平移
動機構部１０のそれそれぞれ所定位置に保持されてい
る。
【００１９】この水平移動機構部１０は旋回機構部１１
に固定され、ＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃを規定位置
に移動できるようになっている。そして、それぞれのＣ
ＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃで撮影した拡大画像を処理
して個別のＢＭストライプパターンを検査する画像処理
部１２とで構成されている。なお、画像処理部１２に
は、水平移動機構部１０および旋回機構部１１を制御す
る測定条件設定部１２ａを備えている。
に固定され、ＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃを規定位置
に移動できるようになっている。そして、それぞれのＣ
ＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃで撮影した拡大画像を処理
して個別のＢＭストライプパターンを検査する画像処理
部１２とで構成されている。なお、画像処理部１２に
は、水平移動機構部１０および旋回機構部１１を制御す
る測定条件設定部１２ａを備えている。
【００２０】図２は、パネルのＢＭストライプパターン
の検査箇所を示す斜視図を示す。図２に示すように、テ
ーブル３の所定位置に搭載したパネル１は、検査点の中
央部１ａおよび周辺部の１ｂ、１ｃにおけるストライプ
パターンを、それぞれ３台のＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、
９ｃで撮影し、その後ＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃを
旋回機構部１１と水平移動機構部１０とを測定条件設定
部１２ａにより制御して、図１中に示す矢印方向に移動
させ、残りの周辺部の検査点１ｄ〜１ｉにおけるストラ
イプパターンを撮影する。
の検査箇所を示す斜視図を示す。図２に示すように、テ
ーブル３の所定位置に搭載したパネル１は、検査点の中
央部１ａおよび周辺部の１ｂ、１ｃにおけるストライプ
パターンを、それぞれ３台のＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、
９ｃで撮影し、その後ＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃを
旋回機構部１１と水平移動機構部１０とを測定条件設定
部１２ａにより制御して、図１中に示す矢印方向に移動
させ、残りの周辺部の検査点１ｄ〜１ｉにおけるストラ
イプパターンを撮影する。
【００２１】ここで、検査方法の詳細について説明す
る。検査方法１として、画像処理部１２が拡大画像から
ＲＧＢ３色のうち同色ストライプを指定の複数点をサン
プリングして、個別のストライプ幅を検査する。また、
検査方法２として、画像処理部１２が拡大画像からＲＧ
Ｂ３色のストライプを１組として複数点サンプリング
し、この各色間のＢＭストライプピッチを検査（グルー
ピング検査）する場合とがある。
る。検査方法１として、画像処理部１２が拡大画像から
ＲＧＢ３色のうち同色ストライプを指定の複数点をサン
プリングして、個別のストライプ幅を検査する。また、
検査方法２として、画像処理部１２が拡大画像からＲＧ
Ｂ３色のストライプを１組として複数点サンプリング
し、この各色間のＢＭストライプピッチを検査（グルー
ピング検査）する場合とがある。
【００２２】なお、このグルーピングという現象につい
て、図３の概要説明図により補足説明する。通常、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色は、規定のストライプピッチを有する。こ
こでは、説明を簡単にするために、図３（ａ）に示すよ
うに、各ストライプの中心線間のストライプピッチａ
は、通常での良品は、Ｐrg＝Ｐgb＝Ｐbr＝ａであると仮
定する。ところが露光工程での露光用光源や補正レンズ
設定等の諸条件精度の兼ね合いで、図３（ｂ）に示すよ
うに、必ずしもＰrg＝Ｐgb＝Ｐbrとならないで各ストラ
イプピッチにズレが生じる場合がでてくる。
て、図３の概要説明図により補足説明する。通常、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色は、規定のストライプピッチを有する。こ
こでは、説明を簡単にするために、図３（ａ）に示すよ
うに、各ストライプの中心線間のストライプピッチａ
は、通常での良品は、Ｐrg＝Ｐgb＝Ｐbr＝ａであると仮
定する。ところが露光工程での露光用光源や補正レンズ
設定等の諸条件精度の兼ね合いで、図３（ｂ）に示すよ
うに、必ずしもＰrg＝Ｐgb＝Ｐbrとならないで各ストラ
イプピッチにズレが生じる場合がでてくる。
【００２３】ストライプピッチＰrg、Ｐgb、Ｐbrのう
ち、例えば、Ｒ−Ｇ間（Ｐrg）で、微小寸法αだけ＋側
にズレたと仮定する。しかしながら、水平方向のピッチ
ＰH ＝３ａが一定であることから、一つのストライプピ
ッチが崩れると他のピッチも崩れることになり、この場
合には、Ｐrg＝ａ＋α、Ｐgb＝ａ−α、Ｐbr＝ａとな
り、Ｇ−Ｂ間（Ｐgb）が狭くなり、いわゆるグルーピン
グが発生する。このように、各色間のストライプピッチ
が規定値と異なると画質上、色ズレが目立ち易くなる。
従って、検査の能率および精度向上の面からこのグルー
ピングの検査が不可欠になってきた。
ち、例えば、Ｒ−Ｇ間（Ｐrg）で、微小寸法αだけ＋側
にズレたと仮定する。しかしながら、水平方向のピッチ
ＰH ＝３ａが一定であることから、一つのストライプピ
ッチが崩れると他のピッチも崩れることになり、この場
合には、Ｐrg＝ａ＋α、Ｐgb＝ａ−α、Ｐbr＝ａとな
り、Ｇ−Ｂ間（Ｐgb）が狭くなり、いわゆるグルーピン
グが発生する。このように、各色間のストライプピッチ
が規定値と異なると画質上、色ズレが目立ち易くなる。
従って、検査の能率および精度向上の面からこのグルー
ピングの検査が不可欠になってきた。
【００２４】図４の写真に示すように、撮影したこれら
の画像を画像処理部１２で、例えば、それぞれを画像処
理して輪郭を鮮明にした後、同色ストライプ幅をサンプ
リングして等価平均幅を求めるように演算処理する。こ
のことは、処理速度を高度化するとともに正確なＢＭス
トライプ幅を検査することができる。また、水平移動機
構部１０とＣＣＤカメラ９ａ〜９ｃに自動焦点機構を具
備しているため、パネル１のサイズが変わっても所定位
置でのＢＭストライプ画像を鮮明に捕らえることがで
き、多管種のパネル１のストライプ幅検査に対応可能と
なる。同様にしてグルーピングはＲＧＢ各色間のＢＭス
トライプピッチを演算処理しながら検査している。
の画像を画像処理部１２で、例えば、それぞれを画像処
理して輪郭を鮮明にした後、同色ストライプ幅をサンプ
リングして等価平均幅を求めるように演算処理する。こ
のことは、処理速度を高度化するとともに正確なＢＭス
トライプ幅を検査することができる。また、水平移動機
構部１０とＣＣＤカメラ９ａ〜９ｃに自動焦点機構を具
備しているため、パネル１のサイズが変わっても所定位
置でのＢＭストライプ画像を鮮明に捕らえることがで
き、多管種のパネル１のストライプ幅検査に対応可能と
なる。同様にしてグルーピングはＲＧＢ各色間のＢＭス
トライプピッチを演算処理しながら検査している。
【００２５】また、図５は、請求項５の本発明によるデ
ータ処理機能付画像処理部の構成図である。図５に示す
ように、前述した画像処理部１２に、ＢＭストライプパ
ターンの検査データを保存検索できるようにデータベー
ス１５化してデータの処機能向上を図ったデータ処理機
能付画像処理部１６である。こうすることによって、ス
トライプパターンの実測値推移や、不良パネルの抽出、
検査装置エラーの異常履歴検索、バーコード検索等の工
程管理データが直ちに引き出せるため、装置の管理や製
造品質管理が容易になる。
ータ処理機能付画像処理部の構成図である。図５に示す
ように、前述した画像処理部１２に、ＢＭストライプパ
ターンの検査データを保存検索できるようにデータベー
ス１５化してデータの処機能向上を図ったデータ処理機
能付画像処理部１６である。こうすることによって、ス
トライプパターンの実測値推移や、不良パネルの抽出、
検査装置エラーの異常履歴検索、バーコード検索等の工
程管理データが直ちに引き出せるため、装置の管理や製
造品質管理が容易になる。
【００２６】さらに、請求項６以降の本発明の実施の形
態について説明する。図６は、本発明の実施の形態２に
よるストライプパターン検査装置の構成図である。この
ストライプパターン検査装置の特徴は、前述した実施の
形態１のストライプパターン検査装置に自己診断機能を
持たせ、且つ検査蓄積したデータベース１５から露光台
２０へフィードバックするなど機能向上を図った装置で
ある。図６に示すように、図１のストライプパターン検
査装置と、データ処理機能付画像処理部１６と、露光台
２０とを連動して制御部３０によって集中管理できるよ
うにしたストライプパターン検査装置である。
態について説明する。図６は、本発明の実施の形態２に
よるストライプパターン検査装置の構成図である。この
ストライプパターン検査装置の特徴は、前述した実施の
形態１のストライプパターン検査装置に自己診断機能を
持たせ、且つ検査蓄積したデータベース１５から露光台
２０へフィードバックするなど機能向上を図った装置で
ある。図６に示すように、図１のストライプパターン検
査装置と、データ処理機能付画像処理部１６と、露光台
２０とを連動して制御部３０によって集中管理できるよ
うにしたストライプパターン検査装置である。
【００２７】この発明によれば、ストライプパターン検
査装置の検査系に具備した標準ストライプパターンを有
するパネルを定期的に検査することによって、このスト
ライプパターン検査装置の検査系精度を自動診断する機
能を持たせている。さらに、データ処理機能付画像処理
部１６で、実際に検査した検査値を傾向管理して得られ
る情報によってＢＭストライプパターンを形成する露光
台２０の調光フィルタ６をＸ、Ｙ座標軸方向へ移動およ
び（または）光源４の照度を自動制御し、所望のＢＭス
トライプ幅となるよう品質の向上を可能にしている。な
お、グルーピングの検査のために行なわれるＢＭストラ
イプピッチの検査値も同様に傾向管理して、ＲＧＢ露光
時の露光用光源４の移動設定距離を自動制御する。
査装置の検査系に具備した標準ストライプパターンを有
するパネルを定期的に検査することによって、このスト
ライプパターン検査装置の検査系精度を自動診断する機
能を持たせている。さらに、データ処理機能付画像処理
部１６で、実際に検査した検査値を傾向管理して得られ
る情報によってＢＭストライプパターンを形成する露光
台２０の調光フィルタ６をＸ、Ｙ座標軸方向へ移動およ
び（または）光源４の照度を自動制御し、所望のＢＭス
トライプ幅となるよう品質の向上を可能にしている。な
お、グルーピングの検査のために行なわれるＢＭストラ
イプピッチの検査値も同様に傾向管理して、ＲＧＢ露光
時の露光用光源４の移動設定距離を自動制御する。
【００２８】前述したように、図２に示した検査点とな
るパネル１の中央部のＢＭストライプ１ａおよび周辺部
の各検査点のＢＭストライプ１ｂ〜１ｉの計５〜９箇所
を、３台のＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃを水平移動機
構部１０と旋回機構部１１とを併用して、ＢＭストライ
プ１ａ〜１ｉを検査する。この発明による実施の形態２
では、標準ストライプパターンパネル１７（図示しな
い）を検査系の中の、例えばパネル１と並設する位置に
配置して、定期的に標準ストライプパターンを検査し
て、ストライプパターン検査装置の検査系精度を自動診
断する機能を持たせたことを特徴としいてる。
るパネル１の中央部のＢＭストライプ１ａおよび周辺部
の各検査点のＢＭストライプ１ｂ〜１ｉの計５〜９箇所
を、３台のＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、９ｃを水平移動機
構部１０と旋回機構部１１とを併用して、ＢＭストライ
プ１ａ〜１ｉを検査する。この発明による実施の形態２
では、標準ストライプパターンパネル１７（図示しな
い）を検査系の中の、例えばパネル１と並設する位置に
配置して、定期的に標準ストライプパターンを検査し
て、ストライプパターン検査装置の検査系精度を自動診
断する機能を持たせたことを特徴としいてる。
【００２９】すなわち、この標準ストライプパターンパ
ネル１７を検査した実測値が、標準ストライプパターン
の基準値と比較して規定外になったときは、アラームを
発してストライプパターン検査装置を停止させるように
している。なお、この実施例では、３台のＣＣＤカメラ
で構成しているが、１台以上であれば設置台数は自由に
選ぶことができる。
ネル１７を検査した実測値が、標準ストライプパターン
の基準値と比較して規定外になったときは、アラームを
発してストライプパターン検査装置を停止させるように
している。なお、この実施例では、３台のＣＣＤカメラ
で構成しているが、１台以上であれば設置台数は自由に
選ぶことができる。
【００３０】一方、パネル１の中央部のＢＭストライプ
１ａおよび周辺部の各検査点のＢＭストライプ１ｂ〜１
ｉの計５〜９箇所を、３台のＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、
９ｃと水平移動機構１０と旋回機構１１とを併用して撮
影検査したＢＭストライプ１ａ〜１ｉの検査値は、デー
タ処理機能付画像処理部１６によって、目的別にデータ
を処理している。例えば、実際に検査した検査値を傾向
管理して利用活用する場合が多い。
１ａおよび周辺部の各検査点のＢＭストライプ１ｂ〜１
ｉの計５〜９箇所を、３台のＣＣＤカメラ９ａ、９ｂ、
９ｃと水平移動機構１０と旋回機構１１とを併用して撮
影検査したＢＭストライプ１ａ〜１ｉの検査値は、デー
タ処理機能付画像処理部１６によって、目的別にデータ
を処理している。例えば、実際に検査した検査値を傾向
管理して利用活用する場合が多い。
【００３１】３台のＣＣＤカメラを有し、同色ストライ
プまたはＲＧＢ３色ストライプを１組として複数サンプ
リングして等価平均幅やピッチを求める演算処理を行な
う画像処理部を有するストライプパターン検査装置の例
について説明したが、本発明はこの例に限定されず、例
えば、例えば１台のＣＣＤカメラをパネル面に沿って移
動させる機能を有するものや、さらに多くのＣＣＤカメ
ラを所定位置に取り付けた面上のＣＣＤ群を有するもの
でもよく、また、画像処理のアルゴリズムも上記例に限
定されないのは言うまでもない。
プまたはＲＧＢ３色ストライプを１組として複数サンプ
リングして等価平均幅やピッチを求める演算処理を行な
う画像処理部を有するストライプパターン検査装置の例
について説明したが、本発明はこの例に限定されず、例
えば、例えば１台のＣＣＤカメラをパネル面に沿って移
動させる機能を有するものや、さらに多くのＣＣＤカメ
ラを所定位置に取り付けた面上のＣＣＤ群を有するもの
でもよく、また、画像処理のアルゴリズムも上記例に限
定されないのは言うまでもない。
【００３２】そこで、本発明の他の主眼点は、このデー
タ処理機能付画像処理部１６によって、実際に検査した
検査値を傾向管理して得られた情報を露光台２０にフイ
ードバックし、ＢＭストライプを形成する露光台２０の
調光フィルタ６のＸ、Ｙ座標軸を設定する調光フィルタ
移動機構部６ａおよび（または）露光用光源４の照度を
設定する光源出力可変機構部６ａを自動制御する機能を
持たせたことである。すなわち、ＢＭストライプ１ａ〜
１ｉの検査値を露光台２０にフイードバックすることに
よって、品質のよいＢＭストライプを形成することが可
能となる。
タ処理機能付画像処理部１６によって、実際に検査した
検査値を傾向管理して得られた情報を露光台２０にフイ
ードバックし、ＢＭストライプを形成する露光台２０の
調光フィルタ６のＸ、Ｙ座標軸を設定する調光フィルタ
移動機構部６ａおよび（または）露光用光源４の照度を
設定する光源出力可変機構部６ａを自動制御する機能を
持たせたことである。すなわち、ＢＭストライプ１ａ〜
１ｉの検査値を露光台２０にフイードバックすることに
よって、品質のよいＢＭストライプを形成することが可
能となる。
【００３３】
【発明の効果】上述したように、本発明のストライプパ
ターン検査装置によれば、ＣＣＤカメラにより取り込ん
だＢＭストライプの拡大パターンを画像処理して個別の
ＢＭストライプ幅またはＲＧＢ各色間のＢＭストライプ
ピッチを検査するため、平均的なＢＭストライプの幅や
ピッチだけでなく、バラツキを含めた寸法やピッチも検
査でき、そのため正確なＢＭストライプパターンが検査
できる。また、自動焦点機構付ＣＣＤカメラが水平移動
機構部と旋回機構部とを並設していることによって、工
程のインラインでの自動検査が容易となる。なお、デー
タベースを画像処理部に組み込むことにより、露光台へ
のフィードバックが可能になると同時に、ストライプパ
ターンの検査値推移等の製造品質の維持管理が容易にな
る。
ターン検査装置によれば、ＣＣＤカメラにより取り込ん
だＢＭストライプの拡大パターンを画像処理して個別の
ＢＭストライプ幅またはＲＧＢ各色間のＢＭストライプ
ピッチを検査するため、平均的なＢＭストライプの幅や
ピッチだけでなく、バラツキを含めた寸法やピッチも検
査でき、そのため正確なＢＭストライプパターンが検査
できる。また、自動焦点機構付ＣＣＤカメラが水平移動
機構部と旋回機構部とを並設していることによって、工
程のインラインでの自動検査が容易となる。なお、デー
タベースを画像処理部に組み込むことにより、露光台へ
のフィードバックが可能になると同時に、ストライプパ
ターンの検査値推移等の製造品質の維持管理が容易にな
る。
【００３４】さらに、検査系に具備した標準ストライプ
パターンを定期的に検査することによって、検査装置の
検査系精度を自動診断することが可能となり、作業者に
よる定期校正が不要となる。一方、ＢＭストライプパタ
ーンの検査値を傾向管理して得られた情報を露光台にフ
ィードバックすることによって、ＢＭストライプを形成
する露光台の調光フィルタＸ、Ｙ座標を設定する調光フ
ィルタ移動機構および（または）露光用光源の照度を設
定する光源出力可変機構を自動制御することが可能とな
り、作業者による補正、調整作業が不要となる。
パターンを定期的に検査することによって、検査装置の
検査系精度を自動診断することが可能となり、作業者に
よる定期校正が不要となる。一方、ＢＭストライプパタ
ーンの検査値を傾向管理して得られた情報を露光台にフ
ィードバックすることによって、ＢＭストライプを形成
する露光台の調光フィルタＸ、Ｙ座標を設定する調光フ
ィルタ移動機構および（または）露光用光源の照度を設
定する光源出力可変機構を自動制御することが可能とな
り、作業者による補正、調整作業が不要となる。
【図１】 本発明による実施の形態１のストライプパタ
ーン検査装置の構成図
ーン検査装置の構成図
【図２】 本発明によるパネルのＢＭストライプパター
ンの検査箇所を示す斜視図
ンの検査箇所を示す斜視図
【図３】 本発明によるグルーピングの概要説明図
【図４】 ストライプパターン検査装置による画像処理
の実施写真
の実施写真
【図５】 本発明によるデータ処理機能付画像処理部の
構成図
構成図
【図６】 本発明による実施の形態２のストライプパタ
ーン検査装置の構成図
ーン検査装置の構成図
【図７】 従来の一般的なカラー陰極線管用露光台の構
成図
成図
【図８】 従来のホール径検査装置の構成図
１ パネル １ａ〜１ｉ ＢＭストライプ（ＢＭ膜のＲＧＢストライ
プ） ２ シャドウマスク ３、１３ テーブル ４ 露光用光源 ５ 補正レンズ ６ 調光フィルタ ６ａ 調光フィルタ移動機構部 ９ａ、９ｂ、９ｃ ＣＣＤカメラ １０ 水平移動機構部 １１ 旋回機構部 １２ 画像処理部 １２ａ 測定条件設定部 １４ 透過用光源 １５ データベース １６ データ処理機能付画像処理部 １７ 標準ストライプパターンパネル ２０ 露光台 ２１ 光源出力可変機構部 ２２ 調光フィルタ移動機構部 ３０ 制御部 Ｓ 標準ストライプパターンパネル
プ） ２ シャドウマスク ３、１３ テーブル ４ 露光用光源 ５ 補正レンズ ６ 調光フィルタ ６ａ 調光フィルタ移動機構部 ９ａ、９ｂ、９ｃ ＣＣＤカメラ １０ 水平移動機構部 １１ 旋回機構部 １２ 画像処理部 １２ａ 測定条件設定部 １４ 透過用光源 １５ データベース １６ データ処理機能付画像処理部 １７ 標準ストライプパターンパネル ２０ 露光台 ２１ 光源出力可変機構部 ２２ 調光フィルタ移動機構部 ３０ 制御部 Ｓ 標準ストライプパターンパネル
Claims (10)
- 【請求項１】カラー陰極線管のフェースパネル内面に形
成したブラックマトリクス膜のＲＧＢストライプパター
ンを検査するストライプパターン検査装置において、自
動焦点機構付ＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラを保持
・移動させる水平移動機構部と、この水平移動機構部を
回転させる旋回機構部と、前記ＣＣＤカメラで撮影した
拡大画像から個別の前記ストライプパターンを処理検査
する画像処理部と、透過用光源とを具備することを特徴
とするストライプパターン検査装置。 - 【請求項２】前記画像処理部が前記拡大画像からＲＧＢ
３色のうち同色ストライプを複数点サンプリングし、個
別のストライプ幅を検査することを特徴とする請求項１
記載のストライプパターン検査装置。 - 【請求項３】前記画像処理部が前記拡大画像からＲＧＢ
３色のストライプを１組として複数点サンプリングし、
この各色間のストライプピッチを検査することを特徴と
する請求項１記載のストライプパターン検査装置。 - 【請求項４】前記パネル面の中央部および周辺部複数箇
所の前記ストライプパターンを検査することを特徴とす
る請求項１〜３記載のストライプパターン検査装置。 - 【請求項５】前記画像処理部が前記ストライプパターン
の検査データを傾向管理処理することを特徴とする請求
項１〜４記載のストライプパターン検査装置。 - 【請求項６】請求項５記載のストライプパターン検査装
置に、露光台とを制御部を付加接続して標準ストライプ
パターンを検査することにより、前記検査装置の検査系
精度を自動診断する自己診断処理機能を具備したことを
特徴とするストライプパターン検査装置。 - 【請求項７】前記標準ストライプパターンを前記ストラ
イプパターン検査装置の検査系に内蔵したことを特徴と
する請求項６記載のストライプパターン検査装置。 - 【請求項８】前記画像処理部によって傾向管理された前
記データ情報により、前記スストライプを形成する前記
露光台の設定条件を制御する制御部を具備したことを特
徴とする請求項６記載のストライプパターン検査装置。 - 【請求項９】前記露光台を制御する設定条件が調光フィ
ルタのＸ、Ｙ座標を設定する調光フィルタ移動機構部お
よび（または）露光用光源の照度を設定する光源出力可
変機構部であることを特徴とする請求項８記載のストラ
イプパターン検査装置。 - 【請求項１０】前記自己診断処理部が異常を検出した場
合、アラームを発し、前記ストライプパターン検査装置
を自動停止させることを特徴とする請求項６記載のスト
ライプパターン検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8196824A JPH1040815A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | ストライプパターン検査装置 |
| TW086110438A TW347548B (en) | 1996-07-26 | 1997-07-22 | Inspection instrument for stripe pattern |
| KR1019970034740A KR980011598A (ko) | 1996-07-26 | 1997-07-24 | 스트라이프 패턴 검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8196824A JPH1040815A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | ストライプパターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1040815A true JPH1040815A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16364281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8196824A Pending JPH1040815A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | ストライプパターン検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1040815A (ja) |
| KR (1) | KR980011598A (ja) |
| TW (1) | TW347548B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000026180A (ko) * | 1998-10-19 | 2000-05-15 | 박영구 | 음극선관용 판넬의 측정시스템 |
| US6713953B1 (en) | 1999-06-21 | 2004-03-30 | Boe-Hydis Technology Co., Ltd. | Field emission display device with minimal color cross-talk between two adjacent phosphor elements |
| JP2010078644A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの検査方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020092573A (ko) * | 2001-06-04 | 2002-12-12 | 노현범 | 염소제거 및 살균력을 갖는 동섬유 세탁볼 |
-
1996
- 1996-07-26 JP JP8196824A patent/JPH1040815A/ja active Pending
-
1997
- 1997-07-22 TW TW086110438A patent/TW347548B/zh active
- 1997-07-24 KR KR1019970034740A patent/KR980011598A/ko not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000026180A (ko) * | 1998-10-19 | 2000-05-15 | 박영구 | 음극선관용 판넬의 측정시스템 |
| US6713953B1 (en) | 1999-06-21 | 2004-03-30 | Boe-Hydis Technology Co., Ltd. | Field emission display device with minimal color cross-talk between two adjacent phosphor elements |
| JP2010078644A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR980011598A (ko) | 1998-04-30 |
| TW347548B (en) | 1998-12-11 |
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