JPS6366020B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6366020B2 JPS6366020B2 JP54067079A JP6707979A JPS6366020B2 JP S6366020 B2 JPS6366020 B2 JP S6366020B2 JP 54067079 A JP54067079 A JP 54067079A JP 6707979 A JP6707979 A JP 6707979A JP S6366020 B2 JPS6366020 B2 JP S6366020B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- image
- optical sensor
- exposure table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は陰極線管の螢光面形成工程で使用され
る露光台の光源位置を調整するための露光台光源
位置測定方法及びその装置に関する。
る露光台の光源位置を調整するための露光台光源
位置測定方法及びその装置に関する。
一般に、陰極線管の螢光面形成工程で使用され
る露光台は、筐体よりなる露光台本体１と、この
露光台本体１内に設けられた光源２及びレンズ３
より構成される。この種の露光台は、生産数と露
光時間の関係から複数台設けられているのが普通
であり、高精度の螢光面を製作するに当つては、
各露光台の露光条件を同一の最適条件にしておく
必要がある。
る露光台は、筐体よりなる露光台本体１と、この
露光台本体１内に設けられた光源２及びレンズ３
より構成される。この種の露光台は、生産数と露
光時間の関係から複数台設けられているのが普通
であり、高精度の螢光面を製作するに当つては、
各露光台の露光条件を同一の最適条件にしておく
必要がある。
従来、この露光台の光源位置の調整にあたつて
は、光源２、レンズ３及び露光台本体１のパネル
取付位置が最適に設定されている露光台を基準と
し、この基準露光台上に、シヤドウマスク４の取
り付けられたパネル５を取付け、このパネル５の
内面にあたるシヤドウマスク４通過後の光の像の
位置を顕微鏡６で測定する。
は、光源２、レンズ３及び露光台本体１のパネル
取付位置が最適に設定されている露光台を基準と
し、この基準露光台上に、シヤドウマスク４の取
り付けられたパネル５を取付け、このパネル５の
内面にあたるシヤドウマスク４通過後の光の像の
位置を顕微鏡６で測定する。
次に、前記パネル５を他の調整すべき露光台に
移し、同様な方法で光の像の位置を測定し、この
位置が基準露光台と一致するように光源とレンズ
の位置調整を行なう。このようにして、パネルの
すべての点で基準露光台と同一の像が出来るよう
に調整する必要があるため、パネル上の数点で同
様の測定を行ないながら調整する。このため、多
くの時間を要し、また調整後の再測定や、ずれ量
が無視できない場合の再度の調整など数回もこの
手順を繰り返さなくてはならなかつた。また、こ
のような光学的な測定方法では、パネル面上での
測定の誤差が10μｍ以上であり、しかも前述のよ
うに測定時間が長くなるために、作業の途中でシ
ヤドウマスクの熱変形が起き、調整誤差が生じや
すい。更に、調整用パネル及びシヤドウマスクの
経時変化もあるため、調整用パネル及びシヤドウ
マスクの管理や更新が必要である。
移し、同様な方法で光の像の位置を測定し、この
位置が基準露光台と一致するように光源とレンズ
の位置調整を行なう。このようにして、パネルの
すべての点で基準露光台と同一の像が出来るよう
に調整する必要があるため、パネル上の数点で同
様の測定を行ないながら調整する。このため、多
くの時間を要し、また調整後の再測定や、ずれ量
が無視できない場合の再度の調整など数回もこの
手順を繰り返さなくてはならなかつた。また、こ
のような光学的な測定方法では、パネル面上での
測定の誤差が10μｍ以上であり、しかも前述のよ
うに測定時間が長くなるために、作業の途中でシ
ヤドウマスクの熱変形が起き、調整誤差が生じや
すい。更に、調整用パネル及びシヤドウマスクの
経時変化もあるため、調整用パネル及びシヤドウ
マスクの管理や更新が必要である。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、
光学センサを有する受光器を用いて露光台の光源
位置を検出することにより、自動的に短時間で数
点での光源の像の位置を高精度で測定し得る露光
台光源位置測定方法及びその装置を提供すること
を目的とする。
光学センサを有する受光器を用いて露光台の光源
位置を検出することにより、自動的に短時間で数
点での光源の像の位置を高精度で測定し得る露光
台光源位置測定方法及びその装置を提供すること
を目的とする。
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説
明する。第２図は本実施例の原理を示すもので、
光源１１及びレンズ１２が内蔵された露光台本体
１３上のパネル取付面上には受光器１４が取付け
られる。この受光器１４は光源１１と対向して小
孔１５が設けられ、この小孔１５と対向した受光
器１４内部には光学センサ例えば半導体ラインセ
ンサ１６が設けられる。この半導体ラインセンサ
１６の出力端はデイジタル表示部１７に接続され
る。前記半導体ラインセンサ１６は例えば25μｍ
のピツチでフオトダイオードが並んだもので、各
素子毎の出力をみることができるものである。
明する。第２図は本実施例の原理を示すもので、
光源１１及びレンズ１２が内蔵された露光台本体
１３上のパネル取付面上には受光器１４が取付け
られる。この受光器１４は光源１１と対向して小
孔１５が設けられ、この小孔１５と対向した受光
器１４内部には光学センサ例えば半導体ラインセ
ンサ１６が設けられる。この半導体ラインセンサ
１６の出力端はデイジタル表示部１７に接続され
る。前記半導体ラインセンサ１６は例えば25μｍ
のピツチでフオトダイオードが並んだもので、各
素子毎の出力をみることができるものである。
即ち、光源１１から発する光は、レンズで屈折
されて進み、受光器１４に備えられている小孔１
５を通過し、ピンホールカメラの原理で反対側の
半導体ラインセンサ１６上に光源１１の像を結
ぶ。半導体ラインセンサ１６の各半導体素子は光
量に応じて出力を発生するので、この出力をデイ
ジタル表示部１７のマイクロコンピユータで処理
して半導体ラインセンサ１６上のどの半導体素子
上に光源１１の像が存在するかを演算し、その位
置をデイジタル表示部１７に表示する。
されて進み、受光器１４に備えられている小孔１
５を通過し、ピンホールカメラの原理で反対側の
半導体ラインセンサ１６上に光源１１の像を結
ぶ。半導体ラインセンサ１６の各半導体素子は光
量に応じて出力を発生するので、この出力をデイ
ジタル表示部１７のマイクロコンピユータで処理
して半導体ラインセンサ１６上のどの半導体素子
上に光源１１の像が存在するかを演算し、その位
置をデイジタル表示部１７に表示する。
次に、露光台光源位置の調整方法について第３
図ａ，ｂを参照して述べる。即ち、一般に、レン
ズ１２の精度が悪い為、９箇所で測定し、そのす
べての位置で測定位置がある範囲内になるように
光源１１の位置を調整する。したがつて、９個の
受光器１４１，１４２…１４８，１４９が用意さ
れ、それぞれ外形が陰極線管パネルと同じ形状の
固定枠１５の所定位置に配設される。その後、前
記固定枠１５をパネルの場合と同じようにストツ
パ１６により位置決めして基準露光台本体１３上
に取付け、各受光器１４１，１４２…１４８，１
４９で、光源１１の像の位置を測定しデイジタル
表示部に電気的に記憶する。次に、９個の受光器
１４１，１４２…１４８，１４９が取付けられた
固定枠１５を調整すべき露光台本体上にストツパ
により位置決めして取付け、各受光器１４１，１
４２…１４８，１４９で、光源の像の位置を測定
しデイジタル表示部に入力する。デイジタル表示
部では記憶されていた基準露光台１３の光源１１
の像の位置との正逆のずれ量を表示する。作業者
は、このずれ量が小さくなるように光源、レンズ
の位置を調整する。
図ａ，ｂを参照して述べる。即ち、一般に、レン
ズ１２の精度が悪い為、９箇所で測定し、そのす
べての位置で測定位置がある範囲内になるように
光源１１の位置を調整する。したがつて、９個の
受光器１４１，１４２…１４８，１４９が用意さ
れ、それぞれ外形が陰極線管パネルと同じ形状の
固定枠１５の所定位置に配設される。その後、前
記固定枠１５をパネルの場合と同じようにストツ
パ１６により位置決めして基準露光台本体１３上
に取付け、各受光器１４１，１４２…１４８，１
４９で、光源１１の像の位置を測定しデイジタル
表示部に電気的に記憶する。次に、９個の受光器
１４１，１４２…１４８，１４９が取付けられた
固定枠１５を調整すべき露光台本体上にストツパ
により位置決めして取付け、各受光器１４１，１
４２…１４８，１４９で、光源の像の位置を測定
しデイジタル表示部に入力する。デイジタル表示
部では記憶されていた基準露光台１３の光源１１
の像の位置との正逆のずれ量を表示する。作業者
は、このずれ量が小さくなるように光源、レンズ
の位置を調整する。
次に、信号処理方法及び調整方法について説明
する。即ち、第５図に示すように、ラインセンサ
１６には複数個の画素がのつており、例えば５１
２の画素のあるラインセンサ１６を使用した場
合、タイミング発生回路３１よりタイミングクロ
ツクを与えると、第６図に示すような出力が得ら
れる。この出力図で山になつている部分はその画
素に光が強く照射された事を示している。
する。即ち、第５図に示すように、ラインセンサ
１６には複数個の画素がのつており、例えば５１
２の画素のあるラインセンサ１６を使用した場
合、タイミング発生回路３１よりタイミングクロ
ツクを与えると、第６図に示すような出力が得ら
れる。この出力図で山になつている部分はその画
素に光が強く照射された事を示している。
この信号はＡ／Ｄ変換器３２を用いてメモリ３
３に数値データとして書込まれる。
３に数値データとして書込まれる。
メモリ３３上のデータを演算器３４を用い演算
し、山の中心位置“ａ”（第６図上）を求める。
求められた値ａを各センサ毎に表示する。
し、山の中心位置“ａ”（第６図上）を求める。
求められた値ａを各センサ毎に表示する。
第７図は、光源１１が正規の位置Ａにある時と
下方Ｂにある時の光線の軌道の違いを示し、第８
図は、光源１１が正規の位置A′にある時と右方
B′にずれている時の差を表示している。この時、
ラインセンサ１６上に出来る光源の像は、正規の
時ａ及びa′、ずれている時ｂ及びb′で示してある
が、下方Ｂにずれている時の像位置ｂは、ａより
内側にできるのに対し右方B′にずれている時は
像位置b′はa′よりいずれも左へずれる事となる。
下方Ｂにある時の光線の軌道の違いを示し、第８
図は、光源１１が正規の位置A′にある時と右方
B′にずれている時の差を表示している。この時、
ラインセンサ１６上に出来る光源の像は、正規の
時ａ及びa′、ずれている時ｂ及びb′で示してある
が、下方Ｂにずれている時の像位置ｂは、ａより
内側にできるのに対し右方B′にずれている時は
像位置b′はa′よりいずれも左へずれる事となる。
従つて２つのセンサ１６の出力値が、正規の値
からどれだけどちらの方向へずれているかわかれ
ば、上下方向，左右方向に合わせる事が可能とな
る。実際には、光源１１の上に曲面レンズ１２が
あり、その設計誤差のため、各所での光線軌道が
レンズ精度の影響を受けて各露光台毎に異なるた
め、測定はなるべく多くの箇所に対して行なう方
がよい。
からどれだけどちらの方向へずれているかわかれ
ば、上下方向，左右方向に合わせる事が可能とな
る。実際には、光源１１の上に曲面レンズ１２が
あり、その設計誤差のため、各所での光線軌道が
レンズ精度の影響を受けて各露光台毎に異なるた
め、測定はなるべく多くの箇所に対して行なう方
がよい。
次に、カラー陰極線管の螢光面形成工程で使用
される露光台光源位置測定装置の原理を第４図を
参照して説明する。露光台本体２１内の光源２２
は赤、緑、青３色の螢光面を形成するため、５mm
程度の間隔で３位置に移動する。一方、受光器２
３には３色に対応して2.5mmの間隔で３箇所に小
孔２４１，２４２，２４３を設ける。而して、あ
る位置にある光源２２を観測する場合には、１つ
の小孔２４２を用い、他の２つの小孔２４１，２
４３を遮光板２５を用いて塞ぐ。このようにすれ
ば、半導体ラインセンサ２６のほぼ中央に光源２
２の像を結ばせることができ、長い半導体ライン
センサを使用したり、受光器２３を傾けたりせず
に、かなりの範囲に渡り測定を行うことができ
る。２７はレンズであり、２８はデイジタル表示
部である。
される露光台光源位置測定装置の原理を第４図を
参照して説明する。露光台本体２１内の光源２２
は赤、緑、青３色の螢光面を形成するため、５mm
程度の間隔で３位置に移動する。一方、受光器２
３には３色に対応して2.5mmの間隔で３箇所に小
孔２４１，２４２，２４３を設ける。而して、あ
る位置にある光源２２を観測する場合には、１つ
の小孔２４２を用い、他の２つの小孔２４１，２
４３を遮光板２５を用いて塞ぐ。このようにすれ
ば、半導体ラインセンサ２６のほぼ中央に光源２
２の像を結ばせることができ、長い半導体ライン
センサを使用したり、受光器２３を傾けたりせず
に、かなりの範囲に渡り測定を行うことができ
る。２７はレンズであり、２８はデイジタル表示
部である。
このようにすれば、数個所における光源の像の
測定は、数秒で行えるため、調整時間はきわめて
短く、ずれ量がたえず表示されているため、調整
は極めて容易である。
測定は、数秒で行えるため、調整時間はきわめて
短く、ずれ量がたえず表示されているため、調整
は極めて容易である。
以上述べたように本発明によれば、自動的に短
時間で数点での露光台光源の像の位置を検出する
ことができ、また、光源の位置測定装置精度は±
1μｍと極めて高精度であり、陰極線管パネルや
シヤドウマスクを使用しないため、熱変形や経年
変化の防止の効果がある。
時間で数点での露光台光源の像の位置を検出する
ことができ、また、光源の位置測定装置精度は±
1μｍと極めて高精度であり、陰極線管パネルや
シヤドウマスクを使用しないため、熱変形や経年
変化の防止の効果がある。
また、上記実施例では長方形小孔を有するシヤ
ドウマスクを想定し、半導体ラインセンサを光学
センサとして使用した例について説明したが、円
形小孔を有するシヤドウマスク用露光台の光源位
置測定は２次元で行う必要があり、この場合はい
わゆるマトリツクス型センサ等を用いる必要があ
る。
ドウマスクを想定し、半導体ラインセンサを光学
センサとして使用した例について説明したが、円
形小孔を有するシヤドウマスク用露光台の光源位
置測定は２次元で行う必要があり、この場合はい
わゆるマトリツクス型センサ等を用いる必要があ
る。
第１図は従来の露光台光源位置測定器を示す断
面図、第２図は本発明の一実施例の原理を示す断
面図、第３図ａ，ｂは本発明の一実施例を示す平
面図及び断面図、第４図は本発明の他の実施例の
原理を示す断面図、第５〜第８図は本発明に係る
信号処理方法及び調整方法の一例を説明するため
の説明図である。 １１……光源、１２……レンズ、１３……露光
台本体、１４……受光器、１５……小孔、１６…
…半導体ラインセンサ、１７……デイジタル表示
部。
面図、第２図は本発明の一実施例の原理を示す断
面図、第３図ａ，ｂは本発明の一実施例を示す平
面図及び断面図、第４図は本発明の他の実施例の
原理を示す断面図、第５〜第８図は本発明に係る
信号処理方法及び調整方法の一例を説明するため
の説明図である。 １１……光源、１２……レンズ、１３……露光
台本体、１４……受光器、１５……小孔、１６…
…半導体ラインセンサ、１７……デイジタル表示
部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 上部に陰極線管パネル取付部が設けられ内部
に光源及びレンズが収容された露光台本体と、前
記陰極線管パネル取付部に取り付けられ前記光源
に対して小孔が設けられる受光器と、この受光器
に設けられ前記光源の位置移動に対応した小孔以
外の小孔を遮光する遮光板と、前記受光器内に設
けられ前記小孔によつて結ばれる前記光源の像を
検出する光学センサと、この光学センサからの出
力を処理してこの光学センサのどの位置に光源の
像が存在するかを演算しその位置を表示する表示
部とを有する露光台光源位置測定装置を用い、数
ケ所にて、前記光源の像の位置を測定し、あらか
じめ決定されている理想的な場合の光源の像の位
置との差より前記光源及び前記レンズの位置を調
整することを特徴とする露光台光源位置測定方
法。 ２ 上部に陰極線パネル取付部が設けられ内部に
光源及びレンズが収容された露光台本体と、前記
陰極線管パネル取付部に取り付けられ前記光源に
対して小孔が設けられる受光器と、この受光器に
設けられ前記光源の位置移動に対応した小孔以外
の小孔を遮光する遮光板と、前記受光器内に設け
られ前記小孔によつて結ばれる前記光源の像を検
出する光学センサと、この光学センサからの出力
を処理してこの光学センサのどの位置に光源の像
が存在するかを演算しその位置を表示する表示部
とを具備することを特徴とする露光台光源位置測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6707979A JPS55159539A (en) | 1979-05-30 | 1979-05-30 | Source position meter for exposure base |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6707979A JPS55159539A (en) | 1979-05-30 | 1979-05-30 | Source position meter for exposure base |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55159539A JPS55159539A (en) | 1980-12-11 |
| JPS6366020B2 true JPS6366020B2 (ja) | 1988-12-19 |
Family
ID=13334498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6707979A Granted JPS55159539A (en) | 1979-05-30 | 1979-05-30 | Source position meter for exposure base |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55159539A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5778126A (en) * | 1980-10-31 | 1982-05-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Metallized film condenser |
| JPS58223701A (ja) * | 1982-06-23 | 1983-12-26 | Toshiba Corp | 光源位置測定装置 |
| JPS5911047U (ja) * | 1982-07-14 | 1984-01-24 | 河西工業株式会社 | 電話機設置台付サイドトリム |
| JP2602206B2 (ja) * | 1986-01-14 | 1997-04-23 | 松下電工株式会社 | 配線用遮断器 |
| JP2782668B2 (ja) * | 1994-05-18 | 1998-08-06 | 関西日本電気株式会社 | 露光装置 |
| JPH08264122A (ja) * | 1995-03-28 | 1996-10-11 | Nec Kansai Ltd | アライメント測定装置及びその使用方法 |
-
1979
- 1979-05-30 JP JP6707979A patent/JPS55159539A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55159539A (en) | 1980-12-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5153916A (en) | Method and apparatus for detecting focal plane | |
| EP0231382B1 (en) | Apparatus and method of adjusting registration of solid-state image pickup elements | |
| JP2002116013A (ja) | 非接触型外形測定装置 | |
| JPH02174492A (ja) | カラーｃｒｔのコンバーゼンス測定装置 | |
| US6219442B1 (en) | Apparatus and method for measuring distortion of a visible pattern on a substrate by viewing predetermined portions thereof | |
| KR880010457A (ko) | 콘버젼스 측정 및 보정 판정 방법과 장치 | |
| JPS6366020B2 (ja) | ||
| US3678192A (en) | Method and apparatus for digital measurement with an industrial television | |
| GB2064102A (en) | Improvements in electro- optical dimension measurement | |
| US10944944B2 (en) | Automatically producing an optical blend mask individually adapted to a projector and its position to a projection surface of the projection system | |
| US4917488A (en) | Photocell distance measurement | |
| US6853438B2 (en) | Test apparatus and method to check the exposure quality of exposed film | |
| JPH07229736A (ja) | 三次元計測器校正装置 | |
| US5434429A (en) | Image sensing device with circuit layout alignment pattern | |
| JPH1040815A (ja) | ストライプパターン検査装置 | |
| JP2615659B2 (ja) | ラスター位置測定装置 | |
| JP2008256455A (ja) | 光測定方法及び光測定装置 | |
| JPS60228904A (ja) | 露光装置内の光源位置測定装置 | |
| RU2079923C1 (ru) | Устройство для измерения положения источника света в установках фотоэкспонирования | |
| JPS61250923A (ja) | テレビ画面歪測定装置 | |
| JPS5918651B2 (ja) | 硬さ計測表示方法およびその装置 | |
| JPS60165503A (ja) | 画像処理方法 | |
| JPS61194993A (ja) | 受像管の表示位置調整装置 | |
| EP0276909B1 (en) | Photocell distance measurement method and apparatus | |
| KR0167772B1 (ko) | 콘버전스측정장치 |