JPH1041330A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents
ワイヤボンデイング方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤボンデイングする半導体チップの表面
とリード部表面とが同一平面にない時にも、最適荷重で
ワイヤボンデイングができるワイヤボンデイング方法を
提供する。 【解決手段】 ワイヤボンデイング実作業前に、半導体
チップのワイヤボンデイング位置におけるキャピラリへ
の荷重Ｍとトルクモータへの印加電圧Ｖとの相関グラフ
である図１（ａ）を用いて、半導体チップとリード部へ
の最適荷重Ｍ1 、Ｍ2 に対応した印加電圧Ｖ1 、印加電
圧Ｖ2Sを求め、次に２箇所のワイヤボンデイング位置の
差ΔＬによるトルクモータへの印加電圧増加分ΔＶとの
相関グラフである図１（ｂ）を用いて、ΔＬ＝ΔＬ12の
時の印加電圧増加分ΔＶ12を求め、リード部４ｂに対す
る印加電圧Ｖ2 をＶ2 ＝Ｖ2S＋ΔＶ12とし、Ｖ1 、Ｖ2
を制御装置に入力した後、ワイヤボンデイングの実作業
に入る。
とリード部表面とが同一平面にない時にも、最適荷重で
ワイヤボンデイングができるワイヤボンデイング方法を
提供する。 【解決手段】 ワイヤボンデイング実作業前に、半導体
チップのワイヤボンデイング位置におけるキャピラリへ
の荷重Ｍとトルクモータへの印加電圧Ｖとの相関グラフ
である図１（ａ）を用いて、半導体チップとリード部へ
の最適荷重Ｍ1 、Ｍ2 に対応した印加電圧Ｖ1 、印加電
圧Ｖ2Sを求め、次に２箇所のワイヤボンデイング位置の
差ΔＬによるトルクモータへの印加電圧増加分ΔＶとの
相関グラフである図１（ｂ）を用いて、ΔＬ＝ΔＬ12の
時の印加電圧増加分ΔＶ12を求め、リード部４ｂに対す
る印加電圧Ｖ2 をＶ2 ＝Ｖ2S＋ΔＶ12とし、Ｖ1 、Ｖ2
を制御装置に入力した後、ワイヤボンデイングの実作業
に入る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤボンデイング
方法に関し、さらに詳しくは、ワイヤボンデイング装置
における荷重方法に特徴を有するワイヤボンデイング方
法である。
方法に関し、さらに詳しくは、ワイヤボンデイング装置
における荷重方法に特徴を有するワイヤボンデイング方
法である。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造においては、リードフ
レームに搭載された半導体チップの電極パッドとリード
フレームのリード部とをＡｕ線やＡｌ線等を用いて接続
するワイヤボンデイングがワイヤボンデイング装置を用
いて行われている。このワイヤボンデイング装置を用い
たワイヤボンデイング方法を、ワイヤボンデイング装置
の主要部を示す図２〜図４を参照して説明する。
レームに搭載された半導体チップの電極パッドとリード
フレームのリード部とをＡｕ線やＡｌ線等を用いて接続
するワイヤボンデイングがワイヤボンデイング装置を用
いて行われている。このワイヤボンデイング装置を用い
たワイヤボンデイング方法を、ワイヤボンデイング装置
の主要部を示す図２〜図４を参照して説明する。
【０００３】まず、図２に示すワイヤボンデイング装置
の主要部の構成は、Ｘ−Ｙステージ上に設けられている
水平方向の移動および垂直方法の移動が可能なボンデイ
ングアーム部１を支持する支持台２と、支持台２上に設
置された、ワイヤボンデイング時の荷重を与える電磁駆
動手段としてのトルクモータ３と、半導体チップ５を搭
載したリードフレーム４を載置し、加熱ヒータ（図示省
略）を内蔵し、リードフレームを加熱するリードフレー
ム載置台６により概略構成されている。
の主要部の構成は、Ｘ−Ｙステージ上に設けられている
水平方向の移動および垂直方法の移動が可能なボンデイ
ングアーム部１を支持する支持台２と、支持台２上に設
置された、ワイヤボンデイング時の荷重を与える電磁駆
動手段としてのトルクモータ３と、半導体チップ５を搭
載したリードフレーム４を載置し、加熱ヒータ（図示省
略）を内蔵し、リードフレームを加熱するリードフレー
ム載置台６により概略構成されている。
【０００４】ボンデイングアーム部１は、超音波発振子
１１が内蔵されたホーン支持ブロック１２と、ホーン支
持ブロック１２に支持された超音波発振ホーン１３と、
超音波発振ホーン１３の先端に取り付けられた、ボンデ
イングツールであるキャピラリ１４等で構成されてい
る。このボンデイングアーム部１は、付勢手段としての
板バネ２０により支持台２に支持されていて、電磁駆動
手段、例えばトルクモータ３のトルク力により、支持台
２に固定された板バネ２０部を支点とし回転方向の動き
をする。
１１が内蔵されたホーン支持ブロック１２と、ホーン支
持ブロック１２に支持された超音波発振ホーン１３と、
超音波発振ホーン１３の先端に取り付けられた、ボンデ
イングツールであるキャピラリ１４等で構成されてい
る。このボンデイングアーム部１は、付勢手段としての
板バネ２０により支持台２に支持されていて、電磁駆動
手段、例えばトルクモータ３のトルク力により、支持台
２に固定された板バネ２０部を支点とし回転方向の動き
をする。
【０００５】上述したワイヤボンデイング装置によるワ
イヤボンデイング方法は、まず始めにワイヤボンデイン
グの荷重設定作業、即ち半導体チップ５の電極パッドへ
のワイヤボンデイング時の荷重や、リードフレーム４の
リード部へのワイヤボンデイング時の荷重を予め求めて
ある最適荷重に設定するための作業を行う。この作業
は、第１のワイヤボンデイング位置、例えばリードフレ
ーム４に搭載した半導体チップ５表面がくる位置に荷重
測定器を置き、トルクモータ３への駆動電力としての印
加電圧を変化させてトルク力を加減し、荷重測定器が電
極パッドやリード部に対する最適荷重を表示するトルク
モータ３への印加電圧を求め、これらの印加電圧値をト
ルクモータ３を制御する制御装置（図示省略）に入力す
るものである。この作業により、ワイヤボンデイング装
置は実稼働可能な状態となる。
イヤボンデイング方法は、まず始めにワイヤボンデイン
グの荷重設定作業、即ち半導体チップ５の電極パッドへ
のワイヤボンデイング時の荷重や、リードフレーム４の
リード部へのワイヤボンデイング時の荷重を予め求めて
ある最適荷重に設定するための作業を行う。この作業
は、第１のワイヤボンデイング位置、例えばリードフレ
ーム４に搭載した半導体チップ５表面がくる位置に荷重
測定器を置き、トルクモータ３への駆動電力としての印
加電圧を変化させてトルク力を加減し、荷重測定器が電
極パッドやリード部に対する最適荷重を表示するトルク
モータ３への印加電圧を求め、これらの印加電圧値をト
ルクモータ３を制御する制御装置（図示省略）に入力す
るものである。この作業により、ワイヤボンデイング装
置は実稼働可能な状態となる。
【０００６】次に、ワイヤボンデイング装置によるワイ
ヤボンデイングの実作業は、まずリードフレーム載置台
６にリードフレーム４を載置する。リードフレーム載置
台６に載置されたリードフレーム４は短い所定時間経過
後、加熱ヒータを内蔵したリードフレーム載置台６で加
熱され、所定の温度に達する。その後、支持台２が移動
して、キャピラリ１４を第１のワイヤボンデイング部で
ある半導体チップ５の電極パッドの上方の所定位置に移
動させ、その後キャピラリ１４先端部と電極パッドとの
間隔を所定間隔とする移動をして、支持台２は停止す
る。この所定間隔とは、キャピラリ１４の軸心の孔を通
ったＡｕ線１５先端に高電圧スパークで形成された、後
述するボール１５ａ底部が半導体チップ５の電極パッド
の僅か上方に位置する程度の距離である。
ヤボンデイングの実作業は、まずリードフレーム載置台
６にリードフレーム４を載置する。リードフレーム載置
台６に載置されたリードフレーム４は短い所定時間経過
後、加熱ヒータを内蔵したリードフレーム載置台６で加
熱され、所定の温度に達する。その後、支持台２が移動
して、キャピラリ１４を第１のワイヤボンデイング部で
ある半導体チップ５の電極パッドの上方の所定位置に移
動させ、その後キャピラリ１４先端部と電極パッドとの
間隔を所定間隔とする移動をして、支持台２は停止す
る。この所定間隔とは、キャピラリ１４の軸心の孔を通
ったＡｕ線１５先端に高電圧スパークで形成された、後
述するボール１５ａ底部が半導体チップ５の電極パッド
の僅か上方に位置する程度の距離である。
【０００７】次に、トルクモータ３の駆動により、キャ
ピラリ１４が下方に移動し、Ａｕ線のボール１５ａが電
極パッドに押し付けられて荷重が加えらると共に、超音
波発振子１１に超音波発振器（図示省略）からの電圧が
印加され、超音波振動エネルギーが超音波発振ホーン１
３を介してキャピラリ１４先端によりＡｕ線のボール１
５ａに伝達される。この様にして、Ａｕ線１５先端のボ
ール１５ａが、リードフレーム載置台６により加熱され
たリードフレーム４の温度と、上述の荷重および超音波
振動とによる、所謂超音波兼熱圧着で、半導体チップ５
の電極パッドにボンデイングされる。
ピラリ１４が下方に移動し、Ａｕ線のボール１５ａが電
極パッドに押し付けられて荷重が加えらると共に、超音
波発振子１１に超音波発振器（図示省略）からの電圧が
印加され、超音波振動エネルギーが超音波発振ホーン１
３を介してキャピラリ１４先端によりＡｕ線のボール１
５ａに伝達される。この様にして、Ａｕ線１５先端のボ
ール１５ａが、リードフレーム載置台６により加熱され
たリードフレーム４の温度と、上述の荷重および超音波
振動とによる、所謂超音波兼熱圧着で、半導体チップ５
の電極パッドにボンデイングされる。
【０００８】その後、制御装置よりトルクモータ３への
印加電圧がＯＦＦし、板バネ２０の力によりキャピラリ
１４は上方へ移動する。更にその後支持台２の水平方向
移動により、キャピラリ１４が第２のワイヤボンデイン
グ部である、リードフレーム４の前記電極パッドに対応
したリード部に移動し、制御装置よりトルクモータ３
へ、リード部のボンデイング時の印加電圧が与えられ、
電極パッドの場合と同様に超音波兼熱圧着でリード部の
ボンデイングが行われる。その後Ａｕ線１５に引っ張り
力が加えられ、Ａｕ線１５は切断される。
印加電圧がＯＦＦし、板バネ２０の力によりキャピラリ
１４は上方へ移動する。更にその後支持台２の水平方向
移動により、キャピラリ１４が第２のワイヤボンデイン
グ部である、リードフレーム４の前記電極パッドに対応
したリード部に移動し、制御装置よりトルクモータ３
へ、リード部のボンデイング時の印加電圧が与えられ、
電極パッドの場合と同様に超音波兼熱圧着でリード部の
ボンデイングが行われる。その後Ａｕ線１５に引っ張り
力が加えられ、Ａｕ線１５は切断される。
【０００９】上述したワイヤボンデイングにおけるリー
ドフレーム４のワイヤボンデイング部の詳細を図３によ
り説明する。リードフレーム４の半導体チップ載置台４
ａ上にダイボンドされた半導体チップ５の電極パッド５
ａ上方にキャピラリ１４が移動し、トルクモータ３のト
ルク力により、キャピラリ１４が下方に移動して、Ａｕ
線１５先端に高電圧スパークで形成されたボール１５ａ
がキャピラリ１４先端で電極パッド５ａに押さえ付けら
れ、上述した超音波兼熱圧着により半導体チップ５の電
極パッド５ａにボンデイングされる。
ドフレーム４のワイヤボンデイング部の詳細を図３によ
り説明する。リードフレーム４の半導体チップ載置台４
ａ上にダイボンドされた半導体チップ５の電極パッド５
ａ上方にキャピラリ１４が移動し、トルクモータ３のト
ルク力により、キャピラリ１４が下方に移動して、Ａｕ
線１５先端に高電圧スパークで形成されたボール１５ａ
がキャピラリ１４先端で電極パッド５ａに押さえ付けら
れ、上述した超音波兼熱圧着により半導体チップ５の電
極パッド５ａにボンデイングされる。
【００１０】その後、トルクモータ３への印加電圧がＯ
ＦＦしてキャピラリ１４が上方に移動し、続いて電極パ
ッド５ａに対応するリードフレーム４のリード部４ｂ上
方にキャピラリ１４が移動する。その後トルクモータ３
に電圧が印加されてキャピラリ１４が下方に移動し、Ａ
ｕ線１５がリード部４ｂに押さえ付けられ、上述した超
音波兼熱圧着により半導体チップ５のリード部４ｂにボ
ンデイングされる。その後、Ａｕ線１５は上方に引っ張
り力が加えられ、Ａｕ線１５はＡ部で切断される。続い
てトルクモータ３への印加電圧がＯＦＦされ、キャピラ
リ１４が上方に移動する。上記のような動作により、ボ
ンデイングワイヤ１５ｂが形成される。
ＦＦしてキャピラリ１４が上方に移動し、続いて電極パ
ッド５ａに対応するリードフレーム４のリード部４ｂ上
方にキャピラリ１４が移動する。その後トルクモータ３
に電圧が印加されてキャピラリ１４が下方に移動し、Ａ
ｕ線１５がリード部４ｂに押さえ付けられ、上述した超
音波兼熱圧着により半導体チップ５のリード部４ｂにボ
ンデイングされる。その後、Ａｕ線１５は上方に引っ張
り力が加えられ、Ａｕ線１５はＡ部で切断される。続い
てトルクモータ３への印加電圧がＯＦＦされ、キャピラ
リ１４が上方に移動する。上記のような動作により、ボ
ンデイングワイヤ１５ｂが形成される。
【００１１】しかしながら、上述したワイヤボンデイン
グ装置におけるワイヤボンデイング方法では、電極パッ
ド５ａとリード部４ｂとに対する最適荷重設定を第１の
ボンデイング位置による荷重測定結果を基にした設定で
行って、ワイヤボンデイングの実作業に入っているため
に、電極パッド５ａとリード部４ｂのワイヤボンデイン
グ位置が異なる時は、下記のような理由でリード部４ｂ
に対して最適荷重が掛けられない状態となる。
グ装置におけるワイヤボンデイング方法では、電極パッ
ド５ａとリード部４ｂとに対する最適荷重設定を第１の
ボンデイング位置による荷重測定結果を基にした設定で
行って、ワイヤボンデイングの実作業に入っているため
に、電極パッド５ａとリード部４ｂのワイヤボンデイン
グ位置が異なる時は、下記のような理由でリード部４ｂ
に対して最適荷重が掛けられない状態となる。
【００１２】上述したリードフレーム４に搭載された半
導体チップ５のワイヤボンデイングにおいては、図３に
示すように、半導体チップ５の厚みｄにほぼ等しい、第
１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 と第２のワイヤボンデ
イング位置Ｈ2 とにワイヤボンデイング位置差ΔＬ12が
ある。これにより、電極パッド５ａ部とリード部４ｂと
でのキャピラリ１４先端の上下方向の移動には、ワイヤ
ボンデイング位置差ΔＬ12にほぼ等しい移動距離差ΔＬ
0 が生じる。このキャピラリ１４先端の移動距離差ΔＬ
0 は、図４に示すように、ボンデイング部１を支持して
いる板バネ２０先端部で見ると、板バネ２０先端部の移
動距離差はΔＬ1 となる。
導体チップ５のワイヤボンデイングにおいては、図３に
示すように、半導体チップ５の厚みｄにほぼ等しい、第
１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 と第２のワイヤボンデ
イング位置Ｈ2 とにワイヤボンデイング位置差ΔＬ12が
ある。これにより、電極パッド５ａ部とリード部４ｂと
でのキャピラリ１４先端の上下方向の移動には、ワイヤ
ボンデイング位置差ΔＬ12にほぼ等しい移動距離差ΔＬ
0 が生じる。このキャピラリ１４先端の移動距離差ΔＬ
0 は、図４に示すように、ボンデイング部１を支持して
いる板バネ２０先端部で見ると、板バネ２０先端部の移
動距離差はΔＬ1 となる。
【００１３】ワイヤボンデイング実作業前の荷重設定作
業時においては、同一のワイヤボンデイング位置で荷重
設定を行うため、電極パッド５ａやリード部４ｂへのワ
イヤボンデイングの最適荷重Ｍ1 、Ｍ2 と、これら荷重
を与えるトルクモータ３のトルク力Ｔ1 、Ｔ2 との関係
は、次式のようになる。 ｐＴ1 ＝ｑＭ1 ＋ｒＦ （１） ｐＴ2 ＝ｑＭ2 ＋ｒＦ （２） ここで、ｐ、ｑ、ｒはそれぞれ板バネの支点からボンデ
イングアーム部１上におけるトルクモータ３のトルク力
の作用点までの距離、キャピラリ１４の荷重の作用点ま
での距離、板バネの先端までの距離で、Ｆは板バネ２０
の力がｒ点に加わるとした時の力であり、キャピラリ１
４先端の移動での板バネ２０先端部の変位量に比例した
板バネ２０の力である。
業時においては、同一のワイヤボンデイング位置で荷重
設定を行うため、電極パッド５ａやリード部４ｂへのワ
イヤボンデイングの最適荷重Ｍ1 、Ｍ2 と、これら荷重
を与えるトルクモータ３のトルク力Ｔ1 、Ｔ2 との関係
は、次式のようになる。 ｐＴ1 ＝ｑＭ1 ＋ｒＦ （１） ｐＴ2 ＝ｑＭ2 ＋ｒＦ （２） ここで、ｐ、ｑ、ｒはそれぞれ板バネの支点からボンデ
イングアーム部１上におけるトルクモータ３のトルク力
の作用点までの距離、キャピラリ１４の荷重の作用点ま
での距離、板バネの先端までの距離で、Ｆは板バネ２０
の力がｒ点に加わるとした時の力であり、キャピラリ１
４先端の移動での板バネ２０先端部の変位量に比例した
板バネ２０の力である。
【００１４】一方、電極パッドとリード部４ｂとでワイ
ヤボンデイング位置が異なり、板バネ２０先端部の移動
距離差ΔＬ1 （ΔＬ1 ＝ΔＬ0 ×ｒ／ｑ）が生じる場合
は、上記のトルクモータ３のトルク力Ｔ2 とキャピラリ
１４先端の荷重Ｍとの関係は次式になる。 ｐＴ2 ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋΔＬ1 ） ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋΔＬ0 ×ｒ／ｑ） （３） また、（２）、（３）式より、 Ｍ＝Ｍ2 −ｋΔＬ0 （ｒ／ｑ）2 （４） となる。ここで、ｋは板バネ２０の先端を単位距離変位
させるに必要な力である。
ヤボンデイング位置が異なり、板バネ２０先端部の移動
距離差ΔＬ1 （ΔＬ1 ＝ΔＬ0 ×ｒ／ｑ）が生じる場合
は、上記のトルクモータ３のトルク力Ｔ2 とキャピラリ
１４先端の荷重Ｍとの関係は次式になる。 ｐＴ2 ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋΔＬ1 ） ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋΔＬ0 ×ｒ／ｑ） （３） また、（２）、（３）式より、 Ｍ＝Ｍ2 −ｋΔＬ0 （ｒ／ｑ）2 （４） となる。ここで、ｋは板バネ２０の先端を単位距離変位
させるに必要な力である。
【００１５】上記の（４）より明らかなように、電極パ
ッド５ａ部とリード部４ｂにおけるキャピラリ１４先端
の下方への移動距離にΔＬ0 の差がある時、同一ワイヤ
ボンデイング位置で設定したトルクモータ３のトルク力
Ｔ2 では、リード部４ｂにおけるワイヤボンデイング時
の荷重Ｍは最適荷重Ｍ2 より少なくなる。この様な電極
パッド５ａ部とリード部４ｂにおけるキャピラリ１４先
端の下方への移動距離差ΔＬ0 は、リードフレーム４に
搭載する半導体チップ５の厚みや、ＤＩＰ（Ｄｕａｌ
Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）等での半導体チップ
５の載置部とリード部との段差等で変化する。この移動
距離差があると、上記の付勢手段の付勢力の効果を無視
した通常のワイヤボンデイング方法では、ワイヤボンデ
イング時に最適荷重が掛けられず、ボンデイング不良や
ボンデイング部の信頼性不良の問題を発生する虞があ
る。
ッド５ａ部とリード部４ｂにおけるキャピラリ１４先端
の下方への移動距離にΔＬ0 の差がある時、同一ワイヤ
ボンデイング位置で設定したトルクモータ３のトルク力
Ｔ2 では、リード部４ｂにおけるワイヤボンデイング時
の荷重Ｍは最適荷重Ｍ2 より少なくなる。この様な電極
パッド５ａ部とリード部４ｂにおけるキャピラリ１４先
端の下方への移動距離差ΔＬ0 は、リードフレーム４に
搭載する半導体チップ５の厚みや、ＤＩＰ（Ｄｕａｌ
Ｉｎ−ｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）等での半導体チップ
５の載置部とリード部との段差等で変化する。この移動
距離差があると、上記の付勢手段の付勢力の効果を無視
した通常のワイヤボンデイング方法では、ワイヤボンデ
イング時に最適荷重が掛けられず、ボンデイング不良や
ボンデイング部の信頼性不良の問題を発生する虞があ
る。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したワ
イヤボンデイング装置における問題点を解決することを
その目的とする。即ち本発明の課題は、ワイヤボンデイ
ングする半導体チップの表面とリード部表面とが同一平
面にない時にも、最適荷重でワイヤボンデイングができ
るワイヤボンデイング方法を提供することを目的とす
る。
イヤボンデイング装置における問題点を解決することを
その目的とする。即ち本発明の課題は、ワイヤボンデイ
ングする半導体チップの表面とリード部表面とが同一平
面にない時にも、最適荷重でワイヤボンデイングができ
るワイヤボンデイング方法を提供することを目的とす
る。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤボンデイ
ング方法は、上述の課題を解決するために提案するもの
であり、ボンデイングアームの付勢手段とボンデイング
アームの電磁駆動手段とによるボンデイングアーム駆動
機構を有するワイヤボンデイング装置を用いたワイヤボ
ンデイング方法において、第１のワイヤボンデイング位
置に荷重測定器を置き、ボンデイングアームに取り付け
られたキャピラリによるワイヤボンデイングの荷重Ｍと
電磁駆動手段の駆動電力ＶとのＶ−Ｍ相関を求める工程
と、第１のワイヤボンデイング位置に荷重測定器を置
き、第１のワイヤボンデイング位置とキャピラリとの所
定間隔をΔＬだけ変化させた時の距離ΔＬとワイヤボン
デイングの荷重を同一とした時の電磁駆動手段の駆動電
力増加分ΔＶとのΔＶ−ΔＬ相関を求める工程と、第１
のワイヤボンデイング位置と第２のワイヤボンデイング
位置との上下方向の距離ΔＬ12を求める工程と、第１の
ワイヤボンデイング位置におけるワイヤボンデイングの
最適荷重Ｍ1 を与える電磁駆動手段の駆動電力Ｖ1 を、
Ｖ−Ｍ相関より求める工程と、第１のワイヤボンデイン
グ位置と上下方向に距離ΔＬ12だけワイヤボンデイング
位置が異なる第２のワイヤボンデイング位置で、ワイヤ
ボンデイングの最適荷重Ｍ2 を与える電磁駆動手段の駆
動電力Ｖ2 を、Ｖ−Ｍ相関とΔＶ−ΔＬ相関とにより求
める工程と、駆動電力Ｖ1 と駆動電力Ｖ2 とを電磁駆動
手段を制御する制御装置に入力する工程とによるワイヤ
ボンデイング装置のワイヤボンデイング実作業前の準備
をした後、ワイヤボンデイング実作業を行うことを特徴
とするものである。
ング方法は、上述の課題を解決するために提案するもの
であり、ボンデイングアームの付勢手段とボンデイング
アームの電磁駆動手段とによるボンデイングアーム駆動
機構を有するワイヤボンデイング装置を用いたワイヤボ
ンデイング方法において、第１のワイヤボンデイング位
置に荷重測定器を置き、ボンデイングアームに取り付け
られたキャピラリによるワイヤボンデイングの荷重Ｍと
電磁駆動手段の駆動電力ＶとのＶ−Ｍ相関を求める工程
と、第１のワイヤボンデイング位置に荷重測定器を置
き、第１のワイヤボンデイング位置とキャピラリとの所
定間隔をΔＬだけ変化させた時の距離ΔＬとワイヤボン
デイングの荷重を同一とした時の電磁駆動手段の駆動電
力増加分ΔＶとのΔＶ−ΔＬ相関を求める工程と、第１
のワイヤボンデイング位置と第２のワイヤボンデイング
位置との上下方向の距離ΔＬ12を求める工程と、第１の
ワイヤボンデイング位置におけるワイヤボンデイングの
最適荷重Ｍ1 を与える電磁駆動手段の駆動電力Ｖ1 を、
Ｖ−Ｍ相関より求める工程と、第１のワイヤボンデイン
グ位置と上下方向に距離ΔＬ12だけワイヤボンデイング
位置が異なる第２のワイヤボンデイング位置で、ワイヤ
ボンデイングの最適荷重Ｍ2 を与える電磁駆動手段の駆
動電力Ｖ2 を、Ｖ−Ｍ相関とΔＶ−ΔＬ相関とにより求
める工程と、駆動電力Ｖ1 と駆動電力Ｖ2 とを電磁駆動
手段を制御する制御装置に入力する工程とによるワイヤ
ボンデイング装置のワイヤボンデイング実作業前の準備
をした後、ワイヤボンデイング実作業を行うことを特徴
とするものである。
【００１８】本発明によれば、第１のワイヤボンデイン
グ位置と第２のワイヤボンデイング位置とが同一平面内
にない時、ボンデイングアームの付勢手段による付勢力
が変化するので、この付勢力の変化に対応したボンデイ
ングアームの電磁駆動手段の駆動力を変化させ、ワイヤ
ボンデイング時の最適荷重をキャピラリに与える電磁駆
動手段の補正駆動力を求めて電磁駆動手段を制御する制
御装置に入力し、その後ワイヤボンデイング実作業を行
うものである。この様にすることで、ワイヤボンデイン
グ時のキャピラリ先端部へ最適荷重が正確に与えられ、
ワイヤボンデイング不良やワイヤボンデイング部の信頼
性不良の発生を大幅に抑えることができる。
グ位置と第２のワイヤボンデイング位置とが同一平面内
にない時、ボンデイングアームの付勢手段による付勢力
が変化するので、この付勢力の変化に対応したボンデイ
ングアームの電磁駆動手段の駆動力を変化させ、ワイヤ
ボンデイング時の最適荷重をキャピラリに与える電磁駆
動手段の補正駆動力を求めて電磁駆動手段を制御する制
御装置に入力し、その後ワイヤボンデイング実作業を行
うものである。この様にすることで、ワイヤボンデイン
グ時のキャピラリ先端部へ最適荷重が正確に与えられ、
ワイヤボンデイング不良やワイヤボンデイング部の信頼
性不良の発生を大幅に抑えることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的実施の形態
例につき、従来のワイヤボンデイング装置によるワイヤ
ボンデイング方法の説明に用いた図２〜図４と、図１を
参照して説明する。
例につき、従来のワイヤボンデイング装置によるワイヤ
ボンデイング方法の説明に用いた図２〜図４と、図１を
参照して説明する。
【００２０】まず、図２に示すワイヤボンデイング装置
の主要部を持つワイヤボンデイング装置を用い、第１の
ワイヤボンデイング位置Ｈ1 （図３参照）、例えばリー
ドフレーム４に搭載した半導体チップ５表面がくる位置
に荷重測定器を置き、電磁駆動手段、例えばトルクモー
タ３への駆動電力としての印加電圧を変化されてトルク
力を変え、その時のキャピラリ１４先端の荷重を測定
し、トルクモータ３への印加電圧と荷重の関係を求め
る。この関係は、キャピラリ１４先端での荷重、即ち荷
重測定器で計測された重量をＭ、トルクモータ３のトル
ク力をＴ、板バネ２０端部に掛かる力をＦとすると、次
式の関係がある。 ｐＴ＝ｑＭ＋ｒＦ （５） ここで、ｐ、ｑ、ｒはそれぞれ板バネの支点からボンデ
イングアーム部１上におけるトルクモータ３のトルク力
の作用点までの距離、キャピラリ１４の荷重の作用点ま
での距離、板バネの先端までの距離で、Ｆは板バネ２０
の力がｒ点に加わるとした時の力であり、キャピラリ１
４先端の移動での板バネ２０先端部の変位量に比例した
板バネ２０の力である。
の主要部を持つワイヤボンデイング装置を用い、第１の
ワイヤボンデイング位置Ｈ1 （図３参照）、例えばリー
ドフレーム４に搭載した半導体チップ５表面がくる位置
に荷重測定器を置き、電磁駆動手段、例えばトルクモー
タ３への駆動電力としての印加電圧を変化されてトルク
力を変え、その時のキャピラリ１４先端の荷重を測定
し、トルクモータ３への印加電圧と荷重の関係を求め
る。この関係は、キャピラリ１４先端での荷重、即ち荷
重測定器で計測された重量をＭ、トルクモータ３のトル
ク力をＴ、板バネ２０端部に掛かる力をＦとすると、次
式の関係がある。 ｐＴ＝ｑＭ＋ｒＦ （５） ここで、ｐ、ｑ、ｒはそれぞれ板バネの支点からボンデ
イングアーム部１上におけるトルクモータ３のトルク力
の作用点までの距離、キャピラリ１４の荷重の作用点ま
での距離、板バネの先端までの距離で、Ｆは板バネ２０
の力がｒ点に加わるとした時の力であり、キャピラリ１
４先端の移動での板バネ２０先端部の変位量に比例した
板バネ２０の力である。
【００２１】また、トルクモータ３のトルク力Ｔと印加
電圧Ｖとには次式の関係がある。 Ｔ＝ｓＶ （６） ここでｓは比例定数である。（５）、（６）式より、キ
ャピラリ１４先端に荷重Ｍとトルクモータ３の印加電圧
Ｖとの関係は、 Ｖ＝（ｑＭ＋ｒＦ）／ｐｓ＝Ｋ1 Ｍ＋Ｋ2 （７） ここで、Ｋ1 ＝ｑ／ｐｓ、Ｋ2 ＝ｒＦ／ｐｓである。 従って、第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 におけるキ
ャピラリ１４先端での荷重Ｍとトルクモータ３の印加電
圧Ｖとはリニアな関係となっているので、上述の測定に
より得られる荷重Ｍと印加電圧Ｖとの関係は、図１
（ａ）に示すようなＶ−Ｍ相関グラフになる。この測定
されたＶ−Ｍ相関グラフにおける直線の傾きよりＫ
1 を、Ｙ軸との交点よりＫ2 を求めることができる。
電圧Ｖとには次式の関係がある。 Ｔ＝ｓＶ （６） ここでｓは比例定数である。（５）、（６）式より、キ
ャピラリ１４先端に荷重Ｍとトルクモータ３の印加電圧
Ｖとの関係は、 Ｖ＝（ｑＭ＋ｒＦ）／ｐｓ＝Ｋ1 Ｍ＋Ｋ2 （７） ここで、Ｋ1 ＝ｑ／ｐｓ、Ｋ2 ＝ｒＦ／ｐｓである。 従って、第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 におけるキ
ャピラリ１４先端での荷重Ｍとトルクモータ３の印加電
圧Ｖとはリニアな関係となっているので、上述の測定に
より得られる荷重Ｍと印加電圧Ｖとの関係は、図１
（ａ）に示すようなＶ−Ｍ相関グラフになる。この測定
されたＶ−Ｍ相関グラフにおける直線の傾きよりＫ
1 を、Ｙ軸との交点よりＫ2 を求めることができる。
【００２２】次に、ワイヤボンデイング位置を変化させ
た時のキャピラリ１４先端の荷重Ｍの関係を求める。こ
の関係は、従来例と同様に、第１のワイヤボンデイング
位置Ｈ1 （図３参照）、即ち半導体チップ５表面がくる
位置に荷重測定器を置き、その後キャピラリ１４先端か
ら第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 にある荷重測定器
までの距離を、ボンデイングアーム部１の上下位置を変
える支持台２の上下移動機構により変え、この支持台２
の上下方向の移動距離ΔＬ、即ちキャピラリ１４先端か
ら荷重測定器までの通常距離からの増加分ΔＬとキャピ
ラリ１４先端の荷重Ｍとの関係を調べるものである。こ
こで、ワイヤボンデイングの位置を変化させた時の距離
ΔＬ、キャピラリ１４先端の荷重Ｍ、トルクモータ３の
トルク力Ｔ、板バネ２０端部に掛かる力Ｆとの間には、
次のような関係がある。 ｐＴ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋΔＬ′） ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋｒΔＬ／ｑ） （８） ここで、ΔＬ′は板バネ２０先端部における変位距離
（図４参照）で図４に示すΔＬ1 に相当するもので、Δ
Ｌ′＝ｒΔＬ／ｑの関係があり、ｋは板バネ２０の先端
を単位距離変位させるに必要な力である。
た時のキャピラリ１４先端の荷重Ｍの関係を求める。こ
の関係は、従来例と同様に、第１のワイヤボンデイング
位置Ｈ1 （図３参照）、即ち半導体チップ５表面がくる
位置に荷重測定器を置き、その後キャピラリ１４先端か
ら第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 にある荷重測定器
までの距離を、ボンデイングアーム部１の上下位置を変
える支持台２の上下移動機構により変え、この支持台２
の上下方向の移動距離ΔＬ、即ちキャピラリ１４先端か
ら荷重測定器までの通常距離からの増加分ΔＬとキャピ
ラリ１４先端の荷重Ｍとの関係を調べるものである。こ
こで、ワイヤボンデイングの位置を変化させた時の距離
ΔＬ、キャピラリ１４先端の荷重Ｍ、トルクモータ３の
トルク力Ｔ、板バネ２０端部に掛かる力Ｆとの間には、
次のような関係がある。 ｐＴ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋΔＬ′） ＝ｑＭ＋ｒ（Ｆ＋ｋｒΔＬ／ｑ） （８） ここで、ΔＬ′は板バネ２０先端部における変位距離
（図４参照）で図４に示すΔＬ1 に相当するもので、Δ
Ｌ′＝ｒΔＬ／ｑの関係があり、ｋは板バネ２０の先端
を単位距離変位させるに必要な力である。
【００２３】今、第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 に
おいて、荷重Ｍａを与えるトルク力をＴａとし、ワイヤ
ボンデイングの位置をΔＬだけ変化させた時に、同じ荷
重Ｍａを与えるトルク力をＴｂとすると、（５）、
（８）式より次式の関係が得られる。 Ｔｂ＝Ｔａ＋ｒ2 ｋΔＬ／ｐｑ （９） 更に、トルクモータ３のトルク力Ｔと印加電圧Ｖとの関
係である（６）式より、Ｔａ＝ｓＶａ、Ｔｂ＝ｓＶｂと
して、（９）式を用いると、 Ｖｂ＝Ｖａ＋ＫΔＬ （１０） となる。ここで、Ｋ＝ｒ2 ｋ／ｓｐｑである。また、ワ
イヤボンデイングの位置をΔＬだけ変化させた時のトル
クモータ３への印加電圧増加分をΔＶとすると、 ΔＶ＝Ｖｂ−Ｖａ＝ＫΔＬ （１１） となる。
おいて、荷重Ｍａを与えるトルク力をＴａとし、ワイヤ
ボンデイングの位置をΔＬだけ変化させた時に、同じ荷
重Ｍａを与えるトルク力をＴｂとすると、（５）、
（８）式より次式の関係が得られる。 Ｔｂ＝Ｔａ＋ｒ2 ｋΔＬ／ｐｑ （９） 更に、トルクモータ３のトルク力Ｔと印加電圧Ｖとの関
係である（６）式より、Ｔａ＝ｓＶａ、Ｔｂ＝ｓＶｂと
して、（９）式を用いると、 Ｖｂ＝Ｖａ＋ＫΔＬ （１０） となる。ここで、Ｋ＝ｒ2 ｋ／ｓｐｑである。また、ワ
イヤボンデイングの位置をΔＬだけ変化させた時のトル
クモータ３への印加電圧増加分をΔＶとすると、 ΔＶ＝Ｖｂ−Ｖａ＝ＫΔＬ （１１） となる。
【００２４】上記（１１）式の関係があるので、ワイヤ
ボンデイングの位置をΔＬだけ変化させた時に、荷重測
定器の荷重が一定となるトルクモータ３への印加電圧増
加分ΔＶを調べると、図１（ｂ）に示すようなΔＶがΔ
Ｌとがリニアな関係を持つ、ΔＶ−ΔＬ相関グラフが得
られる。このΔＶ−ΔＬ相関グラフの直線の傾きθより
比例定数であるＫの値が、Ｋ＝ｔａｎθとして求められ
る。なお、このΔＶ−ΔＬ相関はワイヤボンデイング装
置のボンデイングアーム部１の構造と板バネ２０による
ワイヤボンデイング装置特有な関係であり、一度だけΔ
Ｖ−ΔＬ相関を取れば、その後のワイヤボンデイングの
荷重設定作業時には、この測定作業は不要となる。
ボンデイングの位置をΔＬだけ変化させた時に、荷重測
定器の荷重が一定となるトルクモータ３への印加電圧増
加分ΔＶを調べると、図１（ｂ）に示すようなΔＶがΔ
Ｌとがリニアな関係を持つ、ΔＶ−ΔＬ相関グラフが得
られる。このΔＶ−ΔＬ相関グラフの直線の傾きθより
比例定数であるＫの値が、Ｋ＝ｔａｎθとして求められ
る。なお、このΔＶ−ΔＬ相関はワイヤボンデイング装
置のボンデイングアーム部１の構造と板バネ２０による
ワイヤボンデイング装置特有な関係であり、一度だけΔ
Ｖ−ΔＬ相関を取れば、その後のワイヤボンデイングの
荷重設定作業時には、この測定作業は不要となる。
【００２５】次に、第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1
（図３参照）、即ち半導体チップ５の電極パッド５ａへ
のワイヤボンデイングにおける最適荷重Ｍ1 と、第２の
ワイヤボンデイング位置Ｈ2 （図３参照）、即ちリード
部４ｂへのワイヤボンデイングにおける最適荷重Ｍ
2 と、半導体チップ５の電極パッド５ａ表面とリード部
４ｂ表面との上下方向の差ΔＬとを基にして、図１
（ａ）のＶ−Ｍ相関グラフと図１（ｂ）のΔＶ−ΔＬ相
関グラフとを用いて、トルクモータ３への印加電圧を求
める。なお、電極パッド５ａの最適荷重Ｍ1 とリード部
４ｂの最適荷重Ｍ2 とは同じ値であってもよい。
（図３参照）、即ち半導体チップ５の電極パッド５ａへ
のワイヤボンデイングにおける最適荷重Ｍ1 と、第２の
ワイヤボンデイング位置Ｈ2 （図３参照）、即ちリード
部４ｂへのワイヤボンデイングにおける最適荷重Ｍ
2 と、半導体チップ５の電極パッド５ａ表面とリード部
４ｂ表面との上下方向の差ΔＬとを基にして、図１
（ａ）のＶ−Ｍ相関グラフと図１（ｂ）のΔＶ−ΔＬ相
関グラフとを用いて、トルクモータ３への印加電圧を求
める。なお、電極パッド５ａの最適荷重Ｍ1 とリード部
４ｂの最適荷重Ｍ2 とは同じ値であってもよい。
【００２６】このトルクモータ３への印加電圧の求める
方法は、まず、図１（ａ）のＶ−Ｍ相関グラフを用い
て、第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 、即ち半導体チ
ップ５の電極パッド５ａ表面位置における最適荷重Ｍ1
に対応したトルクモータ３への印加電圧Ｖ1 と、最適荷
重Ｍ2 に対応したトルクモータ３への印加電圧Ｖ2Sを求
める。次に図１（ｂ）のΔＶ−ΔＬ相関グラフを用い
て、半導体チップ５の電極パッド５ａ表面とリード部４
ｂ表面との上下方向の差ΔＬ12を半導体チップ５の厚み
やリードフレーム４形状より調べ、このワイヤボンデイ
ング位置の差ΔＬ12に対応するトルクモータ３への印加
電圧増加分ΔＶ12を求め、リード部４ｂ表面位置におけ
る最適荷重Ｍ2 に対応するトルクモータ３への印加電圧
Ｖ2 をＶ2 ＝Ｖ2S＋ΔＶ12として求める。
方法は、まず、図１（ａ）のＶ−Ｍ相関グラフを用い
て、第１のワイヤボンデイング位置Ｈ1 、即ち半導体チ
ップ５の電極パッド５ａ表面位置における最適荷重Ｍ1
に対応したトルクモータ３への印加電圧Ｖ1 と、最適荷
重Ｍ2 に対応したトルクモータ３への印加電圧Ｖ2Sを求
める。次に図１（ｂ）のΔＶ−ΔＬ相関グラフを用い
て、半導体チップ５の電極パッド５ａ表面とリード部４
ｂ表面との上下方向の差ΔＬ12を半導体チップ５の厚み
やリードフレーム４形状より調べ、このワイヤボンデイ
ング位置の差ΔＬ12に対応するトルクモータ３への印加
電圧増加分ΔＶ12を求め、リード部４ｂ表面位置におけ
る最適荷重Ｍ2 に対応するトルクモータ３への印加電圧
Ｖ2 をＶ2 ＝Ｖ2S＋ΔＶ12として求める。
【００２７】その後、上記の方法で求めたトルクモータ
３への印加電圧Ｖ1 、Ｖ2 をトルクモータ３を制御する
制御装置に入力する。以上によりワイヤボンデイング実
作業前の準備作業が完了する。
３への印加電圧Ｖ1 、Ｖ2 をトルクモータ３を制御する
制御装置に入力する。以上によりワイヤボンデイング実
作業前の準備作業が完了する。
【００２８】その後のワイヤボンデイング装置の動作
は、従来例と同様なので説明を省略する。
は、従来例と同様なので説明を省略する。
【００２９】以上、本発明を実施の形態例により説明し
たが、本発明はこの実施の形態例に何ら限定されるもの
ではない。例えば、図１（ａ）のＶ−Ｍ相関グラフと図
１（ｂ）のΔＶ−ΔＬ相関グラフからワイヤボンデイン
グ時の最適荷重Ｍ1 、Ｍ2 を与えるトルクモータへの印
加電圧Ｖ1 、Ｖ2 を求めたが、Ｖ−Ｍ相関とΔＶ−ΔＬ
相関の測定でＫ1 、Ｋ2 およびＫを求めておけば、最適
荷重Ｍ1 、Ｍ2 および第１、第２のワイヤボンデイング
位置の差ΔＬ12を基に、図１（ａ）、図１（ｂ）のグラ
フを使わず、計算によりトルクモータへの印加電圧
Ｖ1 、Ｖ2 を求めることができる。また、ボンデイング
アームの付勢手段として板バネを用いたワイヤボンデイ
ング装置で説明したが、ボンデイングアームが支持台に
設けた回転軸に支持され、回転方向の移動が可能な機構
のワイヤボンデイング装置であれば、ボンデイングアー
ムの付勢手段としてコイルバネを用いたものでもよい。
更に、ボンデイングアームの電磁駆動手段としてトルク
モータを用いて説明したが、ソレノイドを用いてもよ
く、このソレノイドへの電流を変化させることでキャピ
ラリ先端への荷重を与えてもよい。
たが、本発明はこの実施の形態例に何ら限定されるもの
ではない。例えば、図１（ａ）のＶ−Ｍ相関グラフと図
１（ｂ）のΔＶ−ΔＬ相関グラフからワイヤボンデイン
グ時の最適荷重Ｍ1 、Ｍ2 を与えるトルクモータへの印
加電圧Ｖ1 、Ｖ2 を求めたが、Ｖ−Ｍ相関とΔＶ−ΔＬ
相関の測定でＫ1 、Ｋ2 およびＫを求めておけば、最適
荷重Ｍ1 、Ｍ2 および第１、第２のワイヤボンデイング
位置の差ΔＬ12を基に、図１（ａ）、図１（ｂ）のグラ
フを使わず、計算によりトルクモータへの印加電圧
Ｖ1 、Ｖ2 を求めることができる。また、ボンデイング
アームの付勢手段として板バネを用いたワイヤボンデイ
ング装置で説明したが、ボンデイングアームが支持台に
設けた回転軸に支持され、回転方向の移動が可能な機構
のワイヤボンデイング装置であれば、ボンデイングアー
ムの付勢手段としてコイルバネを用いたものでもよい。
更に、ボンデイングアームの電磁駆動手段としてトルク
モータを用いて説明したが、ソレノイドを用いてもよ
く、このソレノイドへの電流を変化させることでキャピ
ラリ先端への荷重を与えてもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のワイヤボンデイング装置によるワイヤボンデイング方
法は、ワイヤボンデイングする半導体チップの表面とリ
ード部表面とが同一平面にない時にも、ボンデイングア
ームの付勢手段による付勢力の効果を入れたワイヤボン
デイング時の荷重設定ができ、正確な最適荷重によるワ
イヤボンデイングが可能となる。従って、ワイヤボンデ
イング不良やワイヤボンデイング部の信頼性不良の発生
を大幅に抑えることができる。
のワイヤボンデイング装置によるワイヤボンデイング方
法は、ワイヤボンデイングする半導体チップの表面とリ
ード部表面とが同一平面にない時にも、ボンデイングア
ームの付勢手段による付勢力の効果を入れたワイヤボン
デイング時の荷重設定ができ、正確な最適荷重によるワ
イヤボンデイングが可能となる。従って、ワイヤボンデ
イング不良やワイヤボンデイング部の信頼性不良の発生
を大幅に抑えることができる。
【図１】本発明を適用した実施の形態例を説明するため
の図で、（ａ）はワイヤボンデイング時の荷重とその荷
重を与えるトルクモータへの印加電圧の相関グラフで、
（ｂ）は第１と第２のワイヤボンデイング位置の差とワ
イヤボンデイング時の荷重を与えるトルクモータへの印
加電圧増加分の相関グラフである。
の図で、（ａ）はワイヤボンデイング時の荷重とその荷
重を与えるトルクモータへの印加電圧の相関グラフで、
（ｂ）は第１と第２のワイヤボンデイング位置の差とワ
イヤボンデイング時の荷重を与えるトルクモータへの印
加電圧増加分の相関グラフである。
【図２】従来のワイヤボンデイング装置の主要部の概略
図である。
図である。
【図３】従来のワイヤボンデイング装置のワイヤボンデ
イング部の概略図である。
イング部の概略図である。
【図４】従来のワイヤボンデイング装置のボンデイング
アームの付勢手段である板バネ部付近の概略図である。
アームの付勢手段である板バネ部付近の概略図である。
１…ボンデイングアーム部、２…支持台、３…トルクモ
ータ、４…リードフレーム、４ａ…半導体チップ載置
台、４ｂ…リード部、５…半導体チップ、５ａ…電極パ
ッド、６…リードフレーム載置台、１１…超音波発振
子、１２…ホーン支持ブロック、１３…超音波発振ホー
ン、１４…キャピラリ、１５…Ａｕ線、１５ａ…ボー
ル、１５ｂ…ボンデイングワイヤ、２０…板バネ
ータ、４…リードフレーム、４ａ…半導体チップ載置
台、４ｂ…リード部、５…半導体チップ、５ａ…電極パ
ッド、６…リードフレーム載置台、１１…超音波発振
子、１２…ホーン支持ブロック、１３…超音波発振ホー
ン、１４…キャピラリ、１５…Ａｕ線、１５ａ…ボー
ル、１５ｂ…ボンデイングワイヤ、２０…板バネ
Claims (1)
- 【請求項１】 ボンデイングアームの付勢手段とボンデ
イングアームの電磁駆動手段とによるボンデイングアー
ム駆動機構を有するワイヤボンデイング装置を用いたワ
イヤボンデイング方法において、 第１のワイヤボンデイング位置に荷重測定器を置き、前
記ボンデイングアームに取り付けられたキャピラリによ
るワイヤボンデイングの荷重Ｍと電磁駆動手段の駆動電
力ＶとのＶ−Ｍ相関を求める工程と、 前記第１のワイヤボンデイング位置に荷重測定器を置
き、前記第１のワイヤボンデイング位置と前記キャピラ
リとの所定間隔をΔＬだけ変化させた時の距離ΔＬとワ
イヤボンデイングの荷重を同一とした時の前記電磁駆動
手段の駆動電力増加分ΔＶとのΔＶ−ΔＬ相関を求める
工程と、 前記第１のワイヤボンデイング位置と第２のワイヤボン
デイング位置との上下方向の距離ΔＬ12を求める工程
と、 前記第１のワイヤボンデイング位置におけるワイヤボン
デイングの最適荷重Ｍ1 を与える前記電磁駆動手段の駆
動電力Ｖ1 を、前記Ｖ−Ｍ相関より求める工程と、 前記第１のワイヤボンデイング位置と上下方向に距離Δ
Ｌ12だけワイヤボンデイング位置が異なる前記第２のワ
イヤボンデイング位置で、ワイヤボンデイングの最適荷
重Ｍ2 を与える前記電磁駆動手段の駆動電力Ｖ2 を、前
記Ｖ−Ｍ相関と前記ΔＶ−ΔＬ相関とにより求める工程
と、 前記駆動電力Ｖ1 と前記駆動電力Ｖ2 とを前記電磁駆動
手段を制御する制御装置に入力する工程とによる前記ワ
イヤボンデイング装置のワイヤボンデイング実作業前の
準備をした後、ワイヤボンデイング実作業を行うことを
特徴とするワイヤボンデイング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19231996A JPH1041330A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19231996A JPH1041330A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1041330A true JPH1041330A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16289313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19231996A Pending JPH1041330A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1041330A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014103286A (ja) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | New Japan Radio Co Ltd | ワイヤボンディング装置 |
| US20230166348A1 (en) * | 2020-11-05 | 2023-06-01 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Methods of operating a wire bonding machine, including methods of monitoring an accuracy of bond force on a wire bonding machine, and related methods |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP19231996A patent/JPH1041330A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014103286A (ja) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | New Japan Radio Co Ltd | ワイヤボンディング装置 |
| US20230166348A1 (en) * | 2020-11-05 | 2023-06-01 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Methods of operating a wire bonding machine, including methods of monitoring an accuracy of bond force on a wire bonding machine, and related methods |
| US11865633B2 (en) * | 2020-11-05 | 2024-01-09 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Methods of operating a wire bonding machine, including methods of monitoring an accuracy of bond force on a wire bonding machine, and related methods |
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