JPH1048135A - 赤外線ガス分析装置 - Google Patents
赤外線ガス分析装置Info
- Publication number
- JPH1048135A JPH1048135A JP21923396A JP21923396A JPH1048135A JP H1048135 A JPH1048135 A JP H1048135A JP 21923396 A JP21923396 A JP 21923396A JP 21923396 A JP21923396 A JP 21923396A JP H1048135 A JPH1048135 A JP H1048135A
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- JP
- Japan
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- gas
- sample cell
- gas filter
- optical path
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スパンガスを不要にし、校正のために測定が
中断されるのを防ぐ。 【解決手段】 光源１０と試料セル２の間には赤外線を
吸収しない不活性ガスが充填されたガスフィルタａ，ｃ
と測定成分ガスが充填されたガスフィルタｂを備えたガ
スフィルタホイール２０が設けられている。ガスフィル
タａ，ｂが光路に入るときは試料セル２にはゼロガスが
流され、ガスフィルタｃが光路に入るときは試料セル２
には試料ガスが流される。その結果、検出器１６からの
信号として、ガスフィルタａが光路に入った場合はゼロ
点の信号、ガスフィルタｂが光路に入った場合はスパン
点の信号、ガスフィルタｃが光路に入った場合は測定信
号がそれぞれ得られ、それらの信号がガスフィルタホイ
ル２０の１回転ごとに得られる。
中断されるのを防ぐ。 【解決手段】 光源１０と試料セル２の間には赤外線を
吸収しない不活性ガスが充填されたガスフィルタａ，ｃ
と測定成分ガスが充填されたガスフィルタｂを備えたガ
スフィルタホイール２０が設けられている。ガスフィル
タａ，ｂが光路に入るときは試料セル２にはゼロガスが
流され、ガスフィルタｃが光路に入るときは試料セル２
には試料ガスが流される。その結果、検出器１６からの
信号として、ガスフィルタａが光路に入った場合はゼロ
点の信号、ガスフィルタｂが光路に入った場合はスパン
点の信号、ガスフィルタｃが光路に入った場合は測定信
号がそれぞれ得られ、それらの信号がガスフィルタホイ
ル２０の１回転ごとに得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は化学工場や製鉄所の
環境のガス濃度に関するプロセスコントロール、ボイラ
や燃焼炉の煙道ガス分析、大気汚染の監視、自動車の排
ガス測定などに使用され、ガス分子固有の赤外線吸収効
果を利用してガス中や蒸気中にある特定成分の濃度を連
続的に測定する赤外線ガス分析計に関するものである。
環境のガス濃度に関するプロセスコントロール、ボイラ
や燃焼炉の煙道ガス分析、大気汚染の監視、自動車の排
ガス測定などに使用され、ガス分子固有の赤外線吸収効
果を利用してガス中や蒸気中にある特定成分の濃度を連
続的に測定する赤外線ガス分析計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１に従来の赤外線ガス分析装置を概略
的に示す。（Ａ）は構成図、（Ｂ）はそのうちのセクタ
部分を示す平面図である。赤外光が透過する試料セル２
はガス入口４から試料ガスと赤外線に対し吸収をもたな
い基準ガスとが三方弁８により切り換えて供給され、ガ
ス出口６から排気される。１０は赤外線の光源であり、
光源１０と試料セル２の間には試料セルに入射する赤外
光を断続させるセクタ１２が設けられている。セクタ１
２は（Ｂ）に示されるように切欠きを有し、モータ１４
により回転させられることにより試料セル２に入射する
赤外光を断続する。１６は赤外検出器であり、試料セル
２を透過した赤外線を検出する。
的に示す。（Ａ）は構成図、（Ｂ）はそのうちのセクタ
部分を示す平面図である。赤外光が透過する試料セル２
はガス入口４から試料ガスと赤外線に対し吸収をもたな
い基準ガスとが三方弁８により切り換えて供給され、ガ
ス出口６から排気される。１０は赤外線の光源であり、
光源１０と試料セル２の間には試料セルに入射する赤外
光を断続させるセクタ１２が設けられている。セクタ１
２は（Ｂ）に示されるように切欠きを有し、モータ１４
により回転させられることにより試料セル２に入射する
赤外光を断続する。１６は赤外検出器であり、試料セル
２を透過した赤外線を検出する。
【０００３】このガス分析装置では、基準ガス（ゼロガ
ス）と試料ガスを交互に試料セル２に流すことによって
ゼロ点の補償を行なっている。しかし、スパン点（感
度）の補償は行なっていないため、定期的にスパンガス
（標準ガス）を流し、感度を校正する必要がある。
ス）と試料ガスを交互に試料セル２に流すことによって
ゼロ点の補償を行なっている。しかし、スパン点（感
度）の補償は行なっていないため、定期的にスパンガス
（標準ガス）を流し、感度を校正する必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置のように定
期的にスパンガスを流して感度を校正する場合は、高価
なスパンガスが必要となる。また校正中は欠測（測定を
行なえないこと）になる問題がある。本発明はスパンガ
スを不要にし、校正のために測定が中断されるのを防ぐ
ことを目的とするものである。
期的にスパンガスを流して感度を校正する場合は、高価
なスパンガスが必要となる。また校正中は欠測（測定を
行なえないこと）になる問題がある。本発明はスパンガ
スを不要にし、校正のために測定が中断されるのを防ぐ
ことを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、所定濃度の
測定成分ガスを充填したガスフィルタからなる第１の透
過部、赤外線に対する吸収をもたない第２、第３の透過
部をもち、回転して各透過部が順次光源と試料セルの間
の光路を横切ることにより試料セルに入射する赤外光を
断続するガスフィルタホイールを設け、基準ガスが試料
セルに供給された状態でガスフィルタホイールの第１、
第２の透過部が試料セルに入射する赤外光の光路を横切
り、試料ガスが試料セルに供給された状態でガスフィル
タホイールの第３の透過部が試料セルに入射する赤外光
の光路を横切るように切換え弁の切換えとガスフィルタ
ホイールの回転との同期をとり、ガスフィルタホイール
の各透過部を透過した赤外光による赤外検出器の検出値
から試料ガス中の成分濃度を算出する。
測定成分ガスを充填したガスフィルタからなる第１の透
過部、赤外線に対する吸収をもたない第２、第３の透過
部をもち、回転して各透過部が順次光源と試料セルの間
の光路を横切ることにより試料セルに入射する赤外光を
断続するガスフィルタホイールを設け、基準ガスが試料
セルに供給された状態でガスフィルタホイールの第１、
第２の透過部が試料セルに入射する赤外光の光路を横切
り、試料ガスが試料セルに供給された状態でガスフィル
タホイールの第３の透過部が試料セルに入射する赤外光
の光路を横切るように切換え弁の切換えとガスフィルタ
ホイールの回転との同期をとり、ガスフィルタホイール
の各透過部を透過した赤外光による赤外検出器の検出値
から試料ガス中の成分濃度を算出する。
【０００６】第１の透過部が光路に入るときは試料セル
には基準ガスが流されており、第１の透過部のガスフィ
ルタに充填された所定濃度の測定成分ガスによるスパン
点を模擬した出力が得られる。第２の透過部が光路に入
るときも試料セルには基準ガスが流されており、ゼロ点
の出力が得られる。第３の透過部が光路に入るときは試
料セルには試料ガスが流されており、試料ガスによる出
力が得られる。これらの出力を演算することによって、
ゼロ点のみならず、スパン点も常時補償された測定がで
きる。そのため、定期的に標準ガスを用いた感度校正を
行なわなくても精度の高い測定が可能となる。
には基準ガスが流されており、第１の透過部のガスフィ
ルタに充填された所定濃度の測定成分ガスによるスパン
点を模擬した出力が得られる。第２の透過部が光路に入
るときも試料セルには基準ガスが流されており、ゼロ点
の出力が得られる。第３の透過部が光路に入るときは試
料セルには試料ガスが流されており、試料ガスによる出
力が得られる。これらの出力を演算することによって、
ゼロ点のみならず、スパン点も常時補償された測定がで
きる。そのため、定期的に標準ガスを用いた感度校正を
行なわなくても精度の高い測定が可能となる。
【０００７】
【実施例】図２は一実施例を概略的に表わしたものであ
る。図３はそのうちのガスフィルタホイールを表わした
ものであり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−
Ｘ’線位置での断面図である。図１と同一部分には同一
の符号を用いる。赤外光が透過する試料セル２にはガス
入口４から試料ガスと基準ガス（ゼロガス）とが三方弁
８により切り換えて供給され、ガス出口６から排気され
る。赤外線の光源１０と試料セル２の間には試料セルに
入射する赤外光を断続するために、図１でのセクタ１２
に代ってガスフィルタホイール２０が設けられている。
る。図３はそのうちのガスフィルタホイールを表わした
ものであり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−
Ｘ’線位置での断面図である。図１と同一部分には同一
の符号を用いる。赤外光が透過する試料セル２にはガス
入口４から試料ガスと基準ガス（ゼロガス）とが三方弁
８により切り換えて供給され、ガス出口６から排気され
る。赤外線の光源１０と試料セル２の間には試料セルに
入射する赤外光を断続するために、図１でのセクタ１２
に代ってガスフィルタホイール２０が設けられている。
【０００８】ガスフィルタホイール２０は、図３に示さ
れるように、両面がＣａＦ2などの赤外透過窓２２でシ
ールされた透過部として３つのガスフィルタａ，ｂ，ｃ
を備えており、ガスフィルタホイール２０の回転によっ
てそれらのガスフィルタａ，ｂ，ｃが順次、光源１０と
試料セル２の間の光路を横切るように配置されている。
ガスフィルタａとｃには窒素など赤外線を吸収しない不
活性ガスが充填され、ガスフィルタｂには測定成分ガス
が窒素など赤外線を吸収しない不活性ガスで希釈されて
充填されている。ガスフィルタｂの測定成分ガス濃度
は、試料セル２に測定レンジのフルスケールの濃度の測
定成分ガスが流れたときの赤外吸収量と同一吸収量がそ
のガスフィルタｂでなされるように決められている。ガ
スフィルタａ，ｂ，ｃは第２、第１、第３の透過部にそ
れぞれ対応する。図には示されていないが、三方弁８の
切換えとガスフィルタホイール２０の回転を同期させる
ためにコントローラが設けられている。
れるように、両面がＣａＦ2などの赤外透過窓２２でシ
ールされた透過部として３つのガスフィルタａ，ｂ，ｃ
を備えており、ガスフィルタホイール２０の回転によっ
てそれらのガスフィルタａ，ｂ，ｃが順次、光源１０と
試料セル２の間の光路を横切るように配置されている。
ガスフィルタａとｃには窒素など赤外線を吸収しない不
活性ガスが充填され、ガスフィルタｂには測定成分ガス
が窒素など赤外線を吸収しない不活性ガスで希釈されて
充填されている。ガスフィルタｂの測定成分ガス濃度
は、試料セル２に測定レンジのフルスケールの濃度の測
定成分ガスが流れたときの赤外吸収量と同一吸収量がそ
のガスフィルタｂでなされるように決められている。ガ
スフィルタａ，ｂ，ｃは第２、第１、第３の透過部にそ
れぞれ対応する。図には示されていないが、三方弁８の
切換えとガスフィルタホイール２０の回転を同期させる
ためにコントローラが設けられている。
【０００９】次に、この実施例の動作について説明す
る。三方弁８を介して試料ガス又は基準ガスが試料セル
２に供給される。図４に示されるように、不活性ガスが
充填されたガスフィルタａ又は測定成分を含むガスが充
填されたガスフィルタｂが光路に入るときは、試料セル
２には基準ガスであるゼロガスが流され、ガスフィルタ
ｃが光路に入るときは試料セル２には試料ガスが流され
るように、三方弁８とガスフィルタホイール２０の回転
が同期して制御される。その結果、検出器１６からの信
号として、光路にあるガスフィルタの種類ａ，ｂ，ｃに
応じて、図５（Ａ）に示されるような検出信号が得られ
る。
る。三方弁８を介して試料ガス又は基準ガスが試料セル
２に供給される。図４に示されるように、不活性ガスが
充填されたガスフィルタａ又は測定成分を含むガスが充
填されたガスフィルタｂが光路に入るときは、試料セル
２には基準ガスであるゼロガスが流され、ガスフィルタ
ｃが光路に入るときは試料セル２には試料ガスが流され
るように、三方弁８とガスフィルタホイール２０の回転
が同期して制御される。その結果、検出器１６からの信
号として、光路にあるガスフィルタの種類ａ，ｂ，ｃに
応じて、図５（Ａ）に示されるような検出信号が得られ
る。
【００１０】図５（Ｂ）はガスフィルタａ，ｂ，ｃと、
試料セル２を流れるガスの種類とに対し、得られる検出
信号の種類を表わしたものである。すなわち、ガスフィ
ルタａが光路に入った場合はゼロ点の信号、ガスフィル
タｂが光路に入った場合はスパン点の信号、ガスフィル
タｃが光路に入った場合は測定信号がそれぞれ得られ、
それらの信号がガスフィルタホイル２０の１回転ごとに
得られる。
試料セル２を流れるガスの種類とに対し、得られる検出
信号の種類を表わしたものである。すなわち、ガスフィ
ルタａが光路に入った場合はゼロ点の信号、ガスフィル
タｂが光路に入った場合はスパン点の信号、ガスフィル
タｃが光路に入った場合は測定信号がそれぞれ得られ、
それらの信号がガスフィルタホイル２０の１回転ごとに
得られる。
【００１１】ゼロ点の信号をＲＺ、スパン点の信号をＲ
Ｓ、測定信号をＭとすると、試料ガスの濃度Ｃは Ｃ＝ｆ((RZ-M)／(RZ-RS))・ＣR と表わされる。ここで、ｆ(ｘ）は赤外吸収信号を直線
化する関数、ＣRはレンジの濃度である。
Ｓ、測定信号をＭとすると、試料ガスの濃度Ｃは Ｃ＝ｆ((RZ-M)／(RZ-RS))・ＣR と表わされる。ここで、ｆ(ｘ）は赤外吸収信号を直線
化する関数、ＣRはレンジの濃度である。
【００１２】このように、ガスフィルタホイール２０が
１回転するごとにゼロ点とスパン点の補償された精度の
高い測定が行なわれる。実際にはガスフィルタｂの初期
校正として、標準ガスを試料セル２に流してガスフィル
タｂの校正（理論値からのずれの補正）をし、その補正
係数を記憶させておいて、測定値の補正に利用するのが
望ましい。
１回転するごとにゼロ点とスパン点の補償された精度の
高い測定が行なわれる。実際にはガスフィルタｂの初期
校正として、標準ガスを試料セル２に流してガスフィル
タｂの校正（理論値からのずれの補正）をし、その補正
係数を記憶させておいて、測定値の補正に利用するのが
望ましい。
【００１３】
【発明の効果】本発明では所定濃度の測定成分ガスを充
填したガスフィルタからなる第１の透過部、赤外線に対
する吸収をもたない第２、第３の透過部をもち、回転し
て各透過部が順次光源と試料セルの間の光路を横切るこ
とにより試料セルに入射する赤外光を断続するガスフィ
ルタホイールを設け、基準ガスが試料セルに供給された
状態でガスフィルタホイールの第１、第２の透過部が試
料セルに入射する赤外光の光路を横切り、試料ガスが試
料セルに供給された状態でガスフィルタホイールの第３
の透過部が試料セルに入射する赤外光の光路を横切るよ
うに切換え弁の切換えとガスフィルタホイールの回転と
の同期をとり、ガスフィルタホイールの各透過部を透過
した赤外光による赤外検出器の検出値から試料ガス中の
成分濃度を算出するようにしたので、標準ガスによる定
期的な校正が不要になり、欠測もなくなって精度の高い
測定を行なうことができるようになる。
填したガスフィルタからなる第１の透過部、赤外線に対
する吸収をもたない第２、第３の透過部をもち、回転し
て各透過部が順次光源と試料セルの間の光路を横切るこ
とにより試料セルに入射する赤外光を断続するガスフィ
ルタホイールを設け、基準ガスが試料セルに供給された
状態でガスフィルタホイールの第１、第２の透過部が試
料セルに入射する赤外光の光路を横切り、試料ガスが試
料セルに供給された状態でガスフィルタホイールの第３
の透過部が試料セルに入射する赤外光の光路を横切るよ
うに切換え弁の切換えとガスフィルタホイールの回転と
の同期をとり、ガスフィルタホイールの各透過部を透過
した赤外光による赤外検出器の検出値から試料ガス中の
成分濃度を算出するようにしたので、標準ガスによる定
期的な校正が不要になり、欠測もなくなって精度の高い
測定を行なうことができるようになる。
【図１】従来の赤外線ガス分析装置を示す図であり、
（Ａ）は全体構成図、（Ｂ）はそのうちのセクタ部分を
示す平面図である。
（Ａ）は全体構成図、（Ｂ）はそのうちのセクタ部分を
示す平面図である。
【図２】一実施例を概略的に示す構成図である。
【図３】同実施例におけるガスフィルタホイールを示す
図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はそのＸ−Ｘ’線位
置での断面図である。
図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はそのＸ−Ｘ’線位
置での断面図である。
【図４】同実施例の動作における試料セル内のガスの種
類（Ａ）とガスフィルタの開口度（Ｂ）を示すタイミン
グ図である。
類（Ａ）とガスフィルタの開口度（Ｂ）を示すタイミン
グ図である。
【図５】検出器により得られる信号を示す図であり、
（Ａ）はその波形図、（Ｂ）は対応を示す図表である。
（Ａ）はその波形図、（Ｂ）は対応を示す図表である。
２ 試料セル ４ 試料セルのガス入口 ６ ガス出口 ８ 切換え弁の三方弁 １０ 光源 １６ 検出器 ２０ ガスフィルタホイール ａ，ｂ，ｃ， ガスフィルタ
Claims (1)
- 【請求項１】 ガス入口とガス出口をもち、赤外線が透
過する試料セルと、 試料セルのガス入口に設けられ、試料ガスと赤外線に対
する吸収をもたない基準ガスとを切り換えて試料セルに
供給する切換え弁と、 試料セルに赤外光を照射する光源と、 所定濃度の測定成分ガスを充填したガスフィルタからな
る第１の透過部、赤外線に対する吸収をもたない第２、
第３の透過部をもち、回転して各透過部が順次光源と試
料セルの間の光路を横切ることにより試料セルに入射す
る赤外光を断続するガスフィルタホイールと、 試料セルを透過した赤外光を検出する赤外検出器と、 基準ガスが試料セルに供給された状態でガスフィルタホ
イールの第１、第２の透過部が試料セルに入射する赤外
光の光路を横切り、試料ガスが試料セルに供給された状
態でガスフィルタホイールの第３の透過部が試料セルに
入射する赤外光の光路を横切るように切換え弁の切換え
とガスフィルタホイールの回転との同期をとるコントロ
ーラと、 ガスフィルタホイールの各透過部を透過した赤外光によ
る赤外検出器の検出値から試料ガス中の成分濃度を算出
する演算手段と、を備えたことを特徴とする赤外線ガス
分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21923396A JPH1048135A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 赤外線ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21923396A JPH1048135A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 赤外線ガス分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048135A true JPH1048135A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16732299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21923396A Pending JPH1048135A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 赤外線ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048135A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005315587A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Yokogawa Electric Corp | 赤外線ガス分析計およびその校正方法 |
| JP2007256242A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-04 | Riken Keiki Co Ltd | 赤外線式ガス検知器 |
| KR100871909B1 (ko) | 2007-06-15 | 2008-12-05 | 한국표준과학연구원 | 선택적 검출기 모듈을 구비한 적외선 가스 검출장치 |
| JP2009042184A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Kimoto Denshi Kogyo Kk | ガス計測器 |
| JP2010286349A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Yokogawa Electric Corp | レーザ式ガス分析装置及びこの装置を用いたガス分析方法 |
| JP2022076765A (ja) * | 2020-11-10 | 2022-05-20 | 富士電機株式会社 | 赤外線ガス分析装置及びその校正方法 |
| CN116818698A (zh) * | 2023-05-26 | 2023-09-29 | 北京泓泰天诚科技有限公司 | 一种用于加热炉的在线烟气检测仪 |
| CN117647489A (zh) * | 2024-01-30 | 2024-03-05 | 埃睿迪信息技术（北京）有限公司 | 一种水质检测方法、装置及设备 |
| WO2024181535A1 (ja) * | 2023-03-02 | 2024-09-06 | 富士電機株式会社 | ガス分析装置 |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP21923396A patent/JPH1048135A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005315587A (ja) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Yokogawa Electric Corp | 赤外線ガス分析計およびその校正方法 |
| JP2007256242A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-04 | Riken Keiki Co Ltd | 赤外線式ガス検知器 |
| KR100871909B1 (ko) | 2007-06-15 | 2008-12-05 | 한국표준과학연구원 | 선택적 검출기 모듈을 구비한 적외선 가스 검출장치 |
| JP2009042184A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Kimoto Denshi Kogyo Kk | ガス計測器 |
| JP2010286349A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Yokogawa Electric Corp | レーザ式ガス分析装置及びこの装置を用いたガス分析方法 |
| JP2022076765A (ja) * | 2020-11-10 | 2022-05-20 | 富士電機株式会社 | 赤外線ガス分析装置及びその校正方法 |
| WO2024181535A1 (ja) * | 2023-03-02 | 2024-09-06 | 富士電機株式会社 | ガス分析装置 |
| CN116818698A (zh) * | 2023-05-26 | 2023-09-29 | 北京泓泰天诚科技有限公司 | 一种用于加热炉的在线烟气检测仪 |
| CN117647489A (zh) * | 2024-01-30 | 2024-03-05 | 埃睿迪信息技术（北京）有限公司 | 一种水质检测方法、装置及设备 |
| CN117647489B (zh) * | 2024-01-30 | 2024-04-16 | 埃睿迪信息技术（北京）有限公司 | 一种水质检测方法、装置及设备 |
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