JPH1048148A - Article inspection equipment - Google Patents
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- JPH1048148A JPH1048148A JP20583496A JP20583496A JPH1048148A JP H1048148 A JPH1048148 A JP H1048148A JP 20583496 A JP20583496 A JP 20583496A JP 20583496 A JP20583496 A JP 20583496A JP H1048148 A JPH1048148 A JP H1048148A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する分野】本発明は、製造工程中の物品を検
査する検出機の検査機差を検出する物品検査装置に関す
る。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an article inspection apparatus for detecting an inspection machine difference between a detector for inspecting an article in a manufacturing process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】物品の製造工程においては、製造工程中
の中間物品について検査をする検査機を備えることによ
って、良否の中間検査を検査する。この物品の検査を行
う検査工程は、特に大量生産される物品において必要不
可欠な工程である。また、この検査工程は、物品製造工
程において、生産された物品の歩留まりを減少させると
ともに、信頼性の高い物品を製造するという観点から重
要である。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of an article, an intermediate inspection for quality is inspected by providing an inspection machine for inspecting an intermediate article in the manufacturing process. The inspection process for inspecting the articles is an indispensable step, especially for mass-produced articles. Further, this inspection step is important from the viewpoint of reducing the yield of the produced article and producing a highly reliable article in the article production step.
【０００３】例えば光磁気ディスク製造工程において
は、合成樹脂等により成形された基板上に、磁性膜をス
パッタ法により形成後、紫外線硬化樹脂を塗布すること
により紫外線硬化樹脂膜を形成した状態の光磁気ディス
クの表面の紫外線硬化樹脂膜厚、塗りムラ等を検査する
検査機が配置されている。For example, in the process of manufacturing a magneto-optical disk, a magnetic film is formed on a substrate formed of a synthetic resin or the like by a sputtering method, and then an ultraviolet-curable resin is applied by applying an ultraviolet-curable resin. An inspection machine for inspecting the ultraviolet curing resin film thickness, coating unevenness, and the like on the surface of the magnetic disk is provided.
【０００４】この検査機は、検査が行われる際に光磁気
ディスク基板を回転駆動させるディスク駆動部と、この
光磁気ディスクにレーザ光を照射するレーザーダイオー
ドと、光磁気ディスクからの反射回折光を検出するフォ
トディテクタとを備える。この検査機は、このフォトデ
ィテクタの検出した反射回折光を解析して、検査合格信
号及び検査不合格信号を出力する。この検査合格信号及
び検査不合格信号が入力された搬送部は、検査機により
検査が行われた光磁気ディスクを振り分けて、検査合格
光磁気ディスクを後の工程に搬送して、検査不合格光磁
気ディスクを廃棄物処理箱に搬送する。[0004] This inspection machine comprises a disk drive for rotating a magneto-optical disk substrate when an inspection is performed, a laser diode for irradiating the magneto-optical disk with laser light, and a diffracted light reflected from the magneto-optical disk. A photodetector for detection. The inspection machine analyzes the reflected diffraction light detected by the photodetector and outputs an inspection pass signal and an inspection reject signal. The transport unit to which the inspection pass signal and the inspection reject signal are input sorts the magneto-optical disk that has been inspected by the inspection machine, transports the inspection-passed magneto-optical disk to a subsequent process, and outputs the inspection failure light. The magnetic disk is transported to a waste disposal box.
【０００５】このように構成された検査機は、定期的に
基準となる光磁気ディスクを検査させて検査機自体の検
査能力を判定し、基準ディスクと検査ディスクとを比較
することによって検査対象となるディスクの検査を行う
ことから、検査基準値の範囲外のディスクを判別するこ
とが可能となる。[0005] The inspection apparatus thus configured is configured to periodically inspect a reference magneto-optical disk to determine the inspection capability of the inspection apparatus itself, and compare the reference disk with the inspection disk to determine the inspection target. Since the inspection of the disk is performed, it is possible to determine a disk outside the range of the inspection reference value.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述のような物品検査
装置においては、経時変化によるレーザダイオードやフ
ォトディテクタの劣化或いは電子回路等の調整状態が次
第にずれを生じ、制御回路等から出力される光量信号が
次第にずれを生じ、検査機の検査能力に影響が生じ、誤
判定の原因となることがあった。また、この物品検査装
置は、上述した構成各部材の経時変化による誤判定の状
態の識別が遅れるという不都合があった。In the above-described article inspection apparatus, the deterioration of the laser diode or the photodetector or the adjustment state of the electronic circuit or the like due to aging changes gradually, and the light amount signal output from the control circuit or the like. Has gradually shifted, affecting the inspection capability of the inspection machine, which may cause erroneous determination. In addition, this article inspection apparatus has a disadvantage that the identification of the erroneous determination state due to the aging of the components described above is delayed.
【０００７】従来の光磁気ディスク製造工程は、上述し
た１台の検査機を備えている。したがって、この検査機
は、上述のような問題に対処するために、頻繁に製造要
員により、検査基準の光磁気ディスクを用いて、構成各
部材の再点検及び調整が行われていた。[0007] The conventional magneto-optical disk manufacturing process includes one inspection machine as described above. Therefore, in order to cope with the above-mentioned problems, the inspection equipment has been frequently re-inspected and adjusted by the production staff using the magneto-optical disk as the inspection reference.
【０００８】また、この従来の物品検査装置では、検査
機の調整ずれにより、光磁気ディスクを誤判定している
か否かを客観的に判断する手段がなかった。そのため、
この物品検査装置は、長期間にわたって調整が不安定な
状態で光磁気ディスクの検査が行われるという問題があ
った。すなわち、光磁気ディスク製造工程における問題
か検査機自体の問題かを客観的に判断する手段が存在し
なかった。Further, in this conventional article inspection apparatus, there is no means for objectively determining whether or not an erroneous determination is made on the magneto-optical disk due to an adjustment deviation of the inspection machine. for that reason,
This article inspection apparatus has a problem that the inspection of the magneto-optical disk is performed in a state where the adjustment is unstable for a long time. That is, there is no means for objectively determining whether the problem is in the manufacturing process of the magneto-optical disk or the problem of the inspection machine itself.
【０００９】さらに、このような物品検査装置では、良
品ディスクを不良品ディスクと誤判定して廃棄処分して
しまうとともに、不良ディスクを良品ディスクと誤判定
して後の工程に流出するという問題点がある。Further, such an article inspection apparatus has a problem that a good disk is erroneously determined to be a defective disk and discarded, and the defective disk is erroneously determined to be a good disk and flows out to a subsequent process. There is.
【００１０】そこで、本発明は、このような問題点を解
決すべく、検査機内部の調整ずれ等を早急に検出し、正
確かつ信頼性の高い物品検査装置を提供することを目的
とする。[0010] Therefore, an object of the present invention is to provide an accurate and highly reliable article inspection apparatus that detects an adjustment deviation or the like inside an inspection machine as soon as possible in order to solve such a problem.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記のような課題を解決
する本発明にかかる物品検査装置は、物品について不良
物品と良物品とを検査する複数の検査機と、各検査手段
の検査結果が入力される判別手段と、複数の判別手段に
よる判別結果を表示する表示手段と、物品を搬送して振
り分ける搬送手段とを備えて構成される。An article inspection apparatus according to the present invention for solving the above-mentioned problems includes a plurality of inspection machines for inspecting an article for a defective article and a good article, and an inspection result of each inspection means. It is provided with a discriminating means to be input, a display means for displaying the discrimination results by the plurality of discriminating means, and a transporting means for transporting and sorting the articles.
【００１２】以上のように構成された物品検査装置は、
判別手段が複数の各検査機による検査結果を比較するこ
とにより検査機の検査値差を検出し、各検査機の検査能
力を判断する。したがって、このように構成された物品
検査装置は、各検査装置内部の調整ずれを早急に検出す
る仕組みをを構築することが可能であることから、正確
かつ信頼性の高い物品の判断を行わせることが可能とな
り、誤検査による歩留まりを減少させる。The article inspection apparatus configured as described above
The judging means detects a difference between the inspection values of the inspection machines by comparing the inspection results of the plurality of inspection machines, and judges the inspection capability of each inspection machine. Therefore, the article inspection device configured as described above can construct a mechanism for quickly detecting an adjustment deviation inside each inspection device, and thus allows accurate and highly reliable article determination. And reduce the yield due to erroneous tests.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態にかかる
物品検査装置について、図面を参照しながら詳細に説明
する。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適
な具体例であるから、技術的に数々の限定がなされてい
るが本発明の要旨を逸脱しない範囲において変更が可能
である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An article inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Note that the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and are technically limited, but can be modified without departing from the gist of the present invention.
【００１４】ここで、本発明にかかる物品検査装置を光
磁気ディスク製造工程に適用した一例について説明す
る。Here, an example in which the article inspection apparatus according to the present invention is applied to a magneto-optical disk manufacturing process will be described.
【００１５】光磁気ディスクの製造工程は、図１に示す
ように、光磁気ディスク成形工程Ｓ１と、金属膜成膜工
程Ｓ２と、保護膜塗布工程Ｓ３と、検査工程Ｓ４と、組
立／包装工程Ｓ５とからなる。As shown in FIG. 1, the manufacturing process of the magneto-optical disk includes a magneto-optical disk forming process S1, a metal film forming process S2, a protective film applying process S3, an inspection process S4, an assembling / packaging process. S5.
【００１６】光磁気ディスク成形工程Ｓ１は、成形金型
装置により溶液化した透明な合成樹脂材料を成形金型に
充填してディスク基板を成形する工程である。この合成
樹脂材料は、固体化した状態にて成形金型装置に備えら
れたホッパーから供給されて、装置内で溶融されスタン
パを組み込んだ成形金型内に充填させることによって一
方主面に微細な凹凸パターンが転写される。The magneto-optical disk molding step S1 is a step of filling a molding die with a transparent synthetic resin material solutionized by a molding die apparatus to form a disk substrate. This synthetic resin material is supplied in a solidified state from a hopper provided in a molding die apparatus, and is melted in the apparatus and filled in a molding die incorporating a stamper, thereby forming a fine particle on one main surface. The concavo-convex pattern is transferred.
【００１７】金属膜成膜工程Ｓ２は、光磁気ディスク成
形工程Ｓ１から搬送された光磁気ディスク基板２上に金
属膜を形成する工程である。この光磁気ディスク基板２
は、光磁気ディスク成形工程Ｓ１から搬送されて、真空
チャンバーに装填される。この光磁気ディスク基板２
は、真空チャンバー内にて電子線を金属ターゲットに照
射する方法で、一方主面に金属膜が形成される。The metal film forming step S2 is a step of forming a metal film on the magneto-optical disk substrate 2 transported from the magneto-optical disk forming step S1. This magneto-optical disk substrate 2
Is transported from the magneto-optical disk forming step S1 and loaded into the vacuum chamber. This magneto-optical disk substrate 2
Is a method of irradiating a metal target with an electron beam in a vacuum chamber, and a metal film is formed on one main surface.
【００１８】光磁気ディスク保護膜塗布工程Ｓ３は、保
護膜として紫外線硬化樹脂膜を光磁気ディスク基板２の
一方主面に塗布して形成する工程である。金属膜成膜工
程Ｓ２にて金属膜が形成された光磁気ディスク基板２
は、真空チャンバーから取出されて、金属膜形成面に紫
外線硬化樹脂が塗布される。このとき、光磁気ディスク
基板２は、高速モータにて回転駆動されて、ノズル部か
ら滴化された紫外線硬化樹脂を振り飛ばして一様に紫外
線硬化樹脂膜が塗布される。さらに、この光磁気ディス
ク基板２には、紫外線光が照射されて一方主面に塗布さ
れた紫外線硬化樹脂膜が硬化されて保護膜が形成され
る。The magneto-optical disk protective film coating step S3 is a step of forming an ultraviolet-curing resin film as a protective film on one main surface of the magneto-optical disk substrate 2 to form the protective film. Magneto-optical disk substrate 2 having a metal film formed in metal film forming step S2
Is taken out of the vacuum chamber, and an ultraviolet curable resin is applied to the metal film forming surface. At this time, the magneto-optical disk substrate 2 is driven to rotate by a high-speed motor, and the ultraviolet curable resin droplets are shaken off from the nozzle portion to uniformly coat the ultraviolet curable resin film. Further, the magneto-optical disk substrate 2 is irradiated with ultraviolet light to cure the ultraviolet curable resin film applied on one main surface to form a protective film.
【００１９】光磁気ディスク検査工程Ｓ４は、一方主面
に金属膜及び保護膜が形成された光磁気ディスク基板２
が搬送され、詳細を後述する検査機４にて光磁気ディス
ク基板２の一方主面の表面状態を検査する工程である。
この光磁気ディスク検査工程Ｓ４は、光磁気ディスク基
板２を回転駆動させた状態において、光磁気ディスク基
板２の一方主面にレーザ光を照射し、その反射光量を検
出して解析することによって行われる。また、この光磁
気ディスク検査工程Ｓ４では、各検査機の検査機差を判
断することによって、各検査機が検査される。In the magneto-optical disk inspection step S4, the magneto-optical disk substrate 2 having a metal film and a protective film formed on one main surface is formed.
This is a step of inspecting the surface condition of one main surface of the magneto-optical disk substrate 2 by the inspection machine 4 described in detail later.
The magneto-optical disk inspection step S4 is performed by irradiating one main surface of the magneto-optical disk substrate 2 with laser light while the magneto-optical disk substrate 2 is rotationally driven, and detecting and analyzing the amount of reflected light. Will be In the magneto-optical disk inspection step S4, each inspection machine is inspected by judging the difference between the inspection machines.
【００２０】この光磁気ディスク検査工程Ｓ４において
良品と判断された光磁気ディスクは、最終組立工程とし
て組立／包装工程Ｓ５が行われる。また、この光磁気デ
ィスク検査工程Ｓ４において不良品と判断された光磁気
ディスクは、廃棄物として廃棄物収納箱１９に収納され
る。The magneto-optical disk determined to be non-defective in the magneto-optical disk inspection step S4 is subjected to an assembling / packaging step S5 as a final assembling step. The magneto-optical disk determined as defective in the magneto-optical disk inspection step S4 is stored in the waste storage box 19 as waste.
【００２１】このように構成された光磁気ディスク製造
工程は、光磁気ディスクの一方主面に金属膜及び保護層
が形成された状態にて光磁気ディスク検査工程Ｓ４が行
われることから、信頼性の高い光磁気ディスクを提供す
ることを可能とする。In the manufacturing process of the magneto-optical disk configured as described above, the magneto-optical disk inspection process S4 is performed in a state where the metal film and the protective layer are formed on one main surface of the magneto-optical disk. It is possible to provide a magneto-optical disk having a high density.
【００２２】上述の光磁気ディスク検査工程Ｓ４にて使
用される物品検査装置１は、図２に示すように、光磁気
ディスク基板２を供給する取出／供給装置３と、この供
給された光磁気ディスク基板２をＡ方向に検査機４及び
取出／収納装置５へと搬送する搬送機構６と、この搬送
機構６により搬送された光磁気ディスク基板２の表面状
態を検査する第１の検査機４ａ及び第２の検査機４ｂ
（以下総称する場合は検査機４とする。）と、この検査
機４により検査された光磁気ディスク基板２を取出し及
び収納する取出／収納機構５と、検査機４に検査スター
ト信号を出力するとともに、検査機４からの検査結果の
解析し物品検査装置１全体の制御を行う制御シーケンサ
ー７と、この制御シーケンサー７による解析結果を表示
する表示器８からなる。As shown in FIG. 2, the article inspection apparatus 1 used in the above-mentioned magneto-optical disk inspection step S4 includes an unloading / supplying apparatus 3 for supplying a magneto-optical disk substrate 2, A transport mechanism 6 for transporting the disk substrate 2 in the direction A to the inspection device 4 and the take-out / storage device 5, and a first inspection device 4a for inspecting the surface condition of the magneto-optical disk substrate 2 transported by the transport mechanism 6. And the second inspection machine 4b
(Hereinafter, it is referred to as an inspection machine 4 when collectively referred to.), An unloading / storing mechanism 5 for unloading and storing the magneto-optical disk substrate 2 inspected by the inspection machine 4, and an inspection start signal to the inspection machine 4. The control sequencer 7 analyzes the inspection result from the inspection machine 4 and controls the entire article inspection apparatus 1, and the display 8 displays the analysis result by the control sequencer 7.
【００２３】取出／供給装置３には、上述の光磁気ディ
スク製造工程において一方主面に金属膜及び保護層が形
成された光磁気ディスク基板２が搬送されて、装填され
る。取出／供給装置３は、この装填された未検査の光磁
気ディスク基板２を取出してステージ９に載置し、この
ステージ９を支持して回動駆動させるアーム１０によっ
て搬送機構６上にあるステージ９ａ、９ｂの２箇所に振
り分けて、供給する。また、この取出／供給装置３は、
２台の検査機４が搭載されているために、２ピッチ単位
にて搬送ライン６ａに供給する。In the take-out / supply device 3, the magneto-optical disk substrate 2 having a metal film and a protective layer formed on one main surface in the above-described magneto-optical disk manufacturing process is transported and loaded. The take-out / supply device 3 takes out the loaded uninspection magneto-optical disk substrate 2, places it on the stage 9, and supports the stage 9 on the transport mechanism 6 by an arm 10 that supports and rotates the stage 9. 9a and 9b are distributed and supplied. Also, this take-out / supply device 3
Since the two inspection machines 4 are mounted, they are supplied to the transport line 6a in units of two pitches.
【００２４】搬送部６は、搬送ライン６ａと、この搬送
ライン６ａを駆動させる駆動部６ｂと、光磁気ディスク
が載置されるステージ９とからなる。この搬送部６は、
搬送ライン６ａ及びステージ９を図２中に示すＡ方向に
駆動させるとともに、制御シーケンサー７からの停止信
号により搬送ライン６ａ及びステージ９を停止させる駆
動部６ｂと、この駆動部６ｂにより一定速度にて光磁気
ディスク基板２を移動させる搬送ライン６ａと、光磁気
ディスク基板２が載置されるステージ９からなる。この
搬送部６は、上述の取出／収納装置３によりステージ９
に載置された光磁気ディスク基板２を２ピッチ単位搬送
にて検出機４及び取出／収納装置５に搬送する。The transport section 6 includes a transport line 6a, a drive section 6b for driving the transport line 6a, and a stage 9 on which a magneto-optical disk is mounted. This transport unit 6
A drive unit 6b for driving the transport line 6a and the stage 9 in the direction A shown in FIG. 2 and stopping the transport line 6a and the stage 9 by a stop signal from the control sequencer 7, and at a constant speed by the drive unit 6b. It comprises a transport line 6a for moving the magneto-optical disk substrate 2 and a stage 9 on which the magneto-optical disk substrate 2 is mounted. The transport unit 6 is moved to the stage 9 by the take-out / storage device 3 described above.
Is transported to the detector 4 and the take-out / storage device 5 in two-pitch unit transport.
【００２５】検査機４は、同一搬送部６ａ上に第１の検
査機４ａ及び第２の検査機４ｂが配設される。各検査機
４には、同一ロットの光磁気ディスク基板２が搬送さ
れ、各検査機４からの検査結果を制御シーケンサー７に
入力する。In the inspection machine 4, a first inspection machine 4a and a second inspection machine 4b are arranged on the same transport section 6a. The magneto-optical disk substrates 2 of the same lot are conveyed to each inspection machine 4, and the inspection results from each inspection machine 4 are input to the control sequencer 7.
【００２６】各検査機４は、図３に示すように、検査が
行われる際に光磁気ディスク基板２を回転駆動させる光
磁気ディスク基板駆動部１２と、検査レーザ光を出射す
るレーザーダイオード１３と、光磁気ディスク基板２か
らの反射回折光を検出するフォトディテクタ１４と、反
射回折光信号が入力されて光量信号を出力する電子回路
処理部１５と、基準ディスクの基準値信号を出力する基
準判定レベル設定回路１６と、光量信号及び基準値信号
が入力されて、検査結果を出力する演算処理装置１７か
ら構成される。As shown in FIG. 3, each of the inspection machines 4 includes a magneto-optical disk drive 12 for rotating the magneto-optical disk substrate 2 when an inspection is performed, a laser diode 13 for emitting an inspection laser beam, and A photodetector 14 for detecting the reflected and diffracted light from the magneto-optical disc substrate 2, an electronic circuit processing unit 15 for receiving the reflected and diffracted light signal and outputting a light amount signal, and a reference determination level for outputting a reference value signal of the reference disk It comprises a setting circuit 16 and an arithmetic processing unit 17 which receives a light amount signal and a reference value signal and outputs an inspection result.
【００２７】この検査機４は、検査対象である光磁気デ
ィスク基板２が光磁気ディスク基板駆動部１２に装填さ
れると、演算処理装置１７に入力された検査スタート信
号の入力により検査レーザー光を光磁気ディスク基板２
の一方主面に照射する。また、検査機４は、光磁気ディ
スク基板２からの反射回折光をフォトディテクタ１４に
より検出する。なお、この光磁気ディスク基板２は、光
磁気ディスク駆動部１２であるスピンドルモータによっ
て回転駆動されることにより、光磁気ディスク基板２の
一方主面の全面に順次スキャンされる。When the magneto-optical disk substrate 2 to be inspected is loaded into the magneto-optical disk substrate drive section 12, the inspection machine 4 emits an inspection laser beam in response to the input of the inspection start signal input to the arithmetic processing unit 17. Magneto-optical disk substrate 2
Irradiation on one principal surface of. Further, the inspection device 4 detects the reflected and diffracted light from the magneto-optical disk substrate 2 with the photodetector 14. The magneto-optical disk substrate 2 is sequentially rotated over the entire one main surface of the magneto-optical disk substrate 2 by being rotationally driven by a spindle motor as the magneto-optical disk drive unit 12.
【００２８】フォトディテクタ１４は、光磁気ディスク
基板２から反射回折光を検出し電気的な信号に変換させ
て検出信号として出力する。この検出信号は、電子回路
処理部１５に入力される。The photodetector 14 detects the diffracted light reflected from the magneto-optical disk substrate 2, converts it into an electric signal, and outputs it as a detection signal. This detection signal is input to the electronic circuit processing unit 15.
【００２９】この電子回路処理部１５に入力された検出
信号は、光量信号に変換されて演算処理装置１７に入力
される。また、この電子回路処理部１５は、この検出信
号に基づいて、レーザーダイオード１３を制御する。The detection signal input to the electronic circuit processing unit 15 is converted into a light amount signal and input to the arithmetic processing unit 17. Further, the electronic circuit processing unit 15 controls the laser diode 13 based on the detection signal.
【００３０】一方、基準判定レベル設定回路１６には、
基準ディスク信号として良品ディスクの反射回折光検出
データ信号等が入力されている。この基準ディスク信号
は、検査機４が良品ディスクとして判別する基準値信号
を示す信号である。基準レベル設定回路１６は、この基
準値信号を演算処理装置１７に出力する。On the other hand, the reference judgment level setting circuit 16
As a reference disk signal, a reflected diffraction light detection data signal of a good disk is input. This reference disk signal is a signal indicating a reference value signal that the inspection machine 4 determines as a good disk. The reference level setting circuit 16 outputs this reference value signal to the arithmetic processing unit 17.
【００３１】演算処理装置１７は、制御シーケンサー７
からの検査スタート信号が入力されるとともに、基準値
信号が調整設定されている判断基準の上限値から下限値
の範囲内にその光量信号の演算結果が入力されることに
よって、検査合格信号及び検査不合格信号を制御シーケ
ンサー７に出力する。The arithmetic processing unit 17 includes the control sequencer 7
From the upper limit value to the lower limit value of the criterion for which the reference value signal is adjusted and set, the inspection pass signal and the inspection A reject signal is output to the control sequencer 7.
【００３２】制御シーケンサー７は、検査機４に検査ス
タート信号を出力するとともに、検査機４からの検査合
格信号及び検査不合格信号が入力される。この制御シー
ケンサー７は、予め設定されている検査機差判定基準値
Ｋと、｜Ｍ１〜Ｍ２｜（第１の検査機４ａの歩留まり率
Ｍ1及び第２検査機の歩留まり率Ｍ2としたときのＭ1と
Ｍ2との差の絶対値）とを比較することによって各検査
機４の検出信号差を解析した判別信号を算出する。な
お、この判別信号は、後述する図４に示すように解析
し、判別結果を駆動部６、検査機４、取出／収納装置５
及び表示器８に出力する。The control sequencer 7 outputs an inspection start signal to the inspection machine 4 and receives an inspection pass signal and an inspection reject signal from the inspection machine 4. The control sequencer 7, the inspector difference judgment reference value K which is set in advance, | M1 and M2 | (when the yield ratio M 2 of the yield rate M 1 and the second inspection machine of the first inspection machine 4a calculating a discrimination signal obtained by analyzing the detection signal difference of each inspection machine 4 by comparing the absolute value) and the difference between M 1 and M 2. The discrimination signal is analyzed as shown in FIG. 4, which will be described later, and the discrimination result is transmitted to the driving unit 6, the inspection machine 4,
And the display 8.
【００３３】取出／収納装置５は、制御シーケンサー７
からの判別結果に基づいてステージ９から光磁気ディス
ク基板２を取出／収納する。この取出／収納装置５は、
検査機４からの検査合格信号及び検査不合格信号が入力
されて、搬入される光磁気ディスク基板２を選別回路１
８により選別する。この取出／収納装置５により取出さ
れた良品光磁気ディスク基板は、最終工程として組立／
包装工程Ｓ５に搬送され、不良品光磁気ディスク基板
は、廃棄物収納箱１９に収納される。The take-out / storage device 5 includes a control sequencer 7
Then, the magneto-optical disk substrate 2 is taken out of the stage 9 and stored therein based on the result of the determination. This removal / storage device 5
The inspection pass signal and the inspection rejection signal from the inspection machine 4 are input, and the sorting circuit 1 selects the magneto-optical disk substrate 2 to be carried in.
Sort by 8. The non-defective magneto-optical disk substrate taken out by the take-out / storage device 5 is assembled / processed as a final step.
In the packaging step S5, the defective magneto-optical disk substrate is stored in the waste storage box 19.
【００３４】表示器８は、制御シーケンサー７からの判
別信号が入力されて、各検査機４の検出信号差による判
別結果、検査機４の光磁気ディスク検査数、不良物品数
を表示し、いずれかの検査機４に異常状態が発生したと
き、検査機４の異常状態及び／又は指示表示を表示す
る。The display 8 receives the discrimination signal from the control sequencer 7 and displays the discrimination result based on the difference between the detection signals of the respective inspection machines 4, the number of inspected magneto-optical disks of the inspection machine 4, and the number of defective articles. When an abnormal state occurs in any of the inspection machines 4, an abnormal state of the inspection machine 4 and / or an instruction display is displayed.
【００３５】このように構成された物品検査装置１は、
複数の検査機４が同一搬送ライン６ａ上に配設され、各
検査機４の検査結果が制御シーケンサー７に入力される
ことにより、各検査機４の検出信号差が算出され、検査
機４の異常が判別されることから、各検査機４の各部の
調整ずれの防止が可能であるとともに、正確かつ信頼性
の高い光磁気ディスク基板２の検査を可能とさせる。The article inspection apparatus 1 configured as above is
A plurality of inspection machines 4 are arranged on the same transport line 6a, and the inspection result of each inspection machine 4 is input to the control sequencer 7, whereby the detection signal difference of each inspection machine 4 is calculated. Since the abnormality is discriminated, it is possible to prevent the misalignment of each part of each inspection machine 4 and to inspect the magneto-optical disk substrate 2 accurately and with high reliability.
【００３６】上述の物品検査装置１に搭載された制御シ
ーケンサー７は、光磁気ディスク基板２を図４に示すよ
うな検査機４の検出信号差判別ステップに従って検査す
る。この判別ステップは、制御シーケンサー７から検出
機４に検出スタート信号を出力するステップ１と、各検
査機４から出力された検査合格信号Ａ及び検査不合格信
号Ｂが入力されるステップ２と、図５に示すように検査
スタート回数Ａ、検査合格回数Ｂ及び検査不合格回数Ｃ
を検出するステップ３と、図６のように、このステップ
３における検出結果に基づいて各検査機４の歩留まり率
Ｍ1，Ｍ2を算出するステップ４と、ステップ４において
算出された各検査機４の歩留まり率Ｍ1，Ｍ2との差分の
絶対値｜Ｍ1〜Ｍ2｜と検査機差判定標準値Ｋとを比較し
て判別結果を算出するステップ５と、このステップ５の
判別結果により警告表示及び／又は物品検査装置１の全
体を自動停止させるステップ６及び継続して検査を行う
ステップ７からなる。The control sequencer 7 mounted on the article inspection apparatus 1 inspects the magneto-optical disk substrate 2 in accordance with a detection signal difference determination step of the inspection machine 4 as shown in FIG. This determination step includes a step 1 in which a detection start signal is output from the control sequencer 7 to the detector 4 and a step 2 in which an inspection pass signal A and an inspection rejection signal B output from each inspection machine 4 are input. As shown in FIG. 5, the number of inspection starts A, the number of inspection passes B, and the number of inspection failures C
, Calculating the yield rates M 1 , M 2 of the respective inspection machines 4 based on the detection results in the step 3, as shown in FIG. Step 5 of comparing the absolute value | M 1 -M 2 | of the difference between the yield rates M 1 and M 2 with the inspection machine difference determination standard value K and calculating the determination result, and the determination result of Step 5 Step 6 for automatically displaying the warning and / or automatically stopping the entire article inspection apparatus 1 and Step 7 for continuously performing the inspection.
【００３７】ステップ１においては、制御シーケンサー
７により検査スタート信号が検査機４に出力されること
によって、検査機４に装填された光磁気ディスク基板２
の検査を行わせてステップ２に進む。In step 1, the control sequencer 7 outputs an inspection start signal to the inspection machine 4, whereby the magneto-optical disk substrate 2 loaded in the inspection machine 4 is
And the process proceeds to step 2.
【００３８】ステップ２においては、第１の検査機４ａ
による検査結果及び第２の検査機４ｂによる検査結果が
制御シーケンサー７に入力される。この検査結果には、
検査合格信号Ｂ及び検査不合格信号Ｃが含まれる。In step 2, the first inspection machine 4a
And the inspection result by the second inspection machine 4b are input to the control sequencer 7. The test results include:
An inspection pass signal B and an inspection reject signal C are included.
【００３９】ステップ３においては、図５に示すよう
に、各検査機４の検査スタート回数Ａ1，Ａ2、検査合格
回数Ｂ1，Ｂ2及び検査不合格回数Ｃ1，Ｃ2とが制御シー
ケンサーによってカウントされてステップ４に進む。In step 3, as shown in FIG. 5, the number of inspection starts A 1 and A 2 , the number of passing inspections B 1 and B 2, and the number of unsuccessful inspections C 1 and C 2 of each inspection machine 4 are controlled. It is counted by the sequencer and proceeds to step 4.
【００４０】ステップ４においては、図６に示すよう
に、第１の検査機４ａの歩留まり率Ｍ1及び第２の検査
機４ｂの歩留まり率Ｍ2をそれぞれ算出してステップ５
に進む。[0040] In step 4, as shown in FIG. 6, Step 5 yield rate of yield rate M 1 and the second inspection station 4b of the first inspection device 4a M 2 were respectively calculated
Proceed to.
【００４１】ステップ５においては、ステップ４におい
て算出された歩留まり率Ｍ1，Ｍ2の差分の絶対値｜Ｍ1
〜Ｍ2｜を算出して、この｜Ｍ1〜Ｍ2｜が予め制御シー
ケンサー７に入力されている検査機差判定基準値Ｋとの
比較され、判別信号が生成される。ここで、ステップ５
において、この｜Ｍ1〜Ｍ2｜が検査機差判定基準値Ｋの
範囲内に該当しない場合はステップ６に進み、該当する
場合はステップ７に進む。In step 5, the absolute value | M 1 of the difference between the yield rates M 1 and M 2 calculated in step 4
ＭM 2算出 is calculated, and | M 1 -M 2比較 is compared with an inspection machine difference determination reference value K previously input to the control sequencer 7 to generate a determination signal. Here, step 5
In this case, if | M 1 -M 2 | does not fall within the range of the inspection machine difference determination reference value K, the flow proceeds to step 6, and if it does, the flow proceeds to step 7.
【００４２】ステップ６においては、ステップ５におい
て生成された判別信号が制御シーケンサー７から出力さ
れて表示器８に入力される。この表示器８は、判別信号
が入力されて警報表示する。また、ステップ５において
生成された判別信号に基づき物品検査装置１の取出／供
給装置３、駆動部６、検査機４、取出／収納装置５及び
表示器８の自動停止が行われる。一方、ステップ７にお
いては、検査機４には異常がないことから継続して光磁
気ディスク基板２が検査される。In step 6, the discrimination signal generated in step 5 is output from the control sequencer 7 and input to the display 8. The display 8 receives a discrimination signal and displays an alarm. Further, based on the determination signal generated in step 5, the take-out / supply device 3, drive unit 6, inspection machine 4, take-out / storage device 5, and display 8 of the article inspection device 1 are automatically stopped. On the other hand, in step 7, since there is no abnormality in the inspection machine 4, the magneto-optical disk substrate 2 is continuously inspected.
【００４３】このような検査機差判別ステップによれ
ば、制御シーケンサー７によって各検査機４の歩留まり
率Ｍ1、Ｍ2を計算して各検査機４による検査信号差を検
出可能であることから、検査機内部の調整ずれを相対的
に検査することが可能なり、検査機４の信頼性が向上し
て誤検査による歩留まりを減少させることが可能である
とともに、不良の光磁気ディスクを確実に判断すること
が可能となる。また、検査機４は、光磁気ディスクの製
造工程において、検査機４の検査が行われることから、
正常に動作することにより、信頼性の高い検査工程を行
う。According to such an inspection machine difference determination step, the control sequencer 7 can calculate the yield rates M 1 and M 2 of the inspection machines 4 and detect the inspection signal difference between the inspection machines 4. In addition, it is possible to relatively inspect the adjustment deviation inside the inspection machine, to improve the reliability of the inspection machine 4 and reduce the yield due to erroneous inspection, and to reliably detect the defective magneto-optical disk. It is possible to make a judgment. In addition, since the inspection machine 4 performs the inspection of the inspection machine 4 in the manufacturing process of the magneto-optical disk,
By operating normally, a highly reliable inspection process is performed.
【００４４】このように構成された物品検査装置１は、
同一ロットの光磁気ディスク基板２を同時に２台の検査
機４ａ、４ｂにて検査し、各検査機４について歩留まり
を計算することから、各検査機４の歩留まり差を検査機
４の機差として判別することが可能となる。The article inspection apparatus 1 configured as described above is
Since the magneto-optical disk substrates 2 of the same lot are simultaneously inspected by the two inspection machines 4a and 4b, and the yield is calculated for each of the inspection machines 4, the difference in yield between the inspection machines 4 is regarded as the machine difference between the inspection machines 4. It is possible to determine.
【００４５】なお、本発明にかかる物品検査装置１は、
２台の検査機４に限らず、複数の検査機４を搭載させて
各検査機４の検出信号差を検出しても良い。The article inspection apparatus 1 according to the present invention
The present invention is not limited to the two inspection machines 4, but a plurality of inspection machines 4 may be mounted to detect a detection signal difference between the inspection machines 4.
【００４６】また、このように構成された物品検査装置
１は、光磁気ディスク保護膜形成工程Ｓ３より搬送され
た光磁気ディスクのロットが異なると、搬送部６を別に
して検査工程Ｓ４が行われる。In the article inspection apparatus 1 configured as described above, if the lot of the magneto-optical disk transported in the magneto-optical disk protective film forming step S3 is different, the inspection step S4 is performed separately from the transport unit 6. Will be
【００４７】なお、本発明にかかる物品検査装置１は、
光磁気ディスク製造工程に限らず、大量生産が行が行わ
れる物品について適用可能であるのは勿論である。The article inspection apparatus 1 according to the present invention
It is needless to say that the present invention is applicable not only to the manufacturing process of the magneto-optical disk but also to an article to be mass-produced.
【００４８】[0048]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる物品検査装置は、物品の表面状態を検査する複数の
検査機と、各検査機の検査結果が入力される解析手段
と、解析手段による判別結果を表示する表示手段と、物
品を複数ピッチにより搬送して振り分ける搬送手段とを
備え、解析手段は、複数の検査機による検査結果を比較
することにより検査機差を検出し、各検査機の検査能力
を判断する。As described above in detail, the article inspecting apparatus according to the present invention comprises a plurality of inspecting machines for inspecting the surface condition of an article, an analyzing means to which the inspection result of each inspecting machine is inputted, and an analyzing means. Display means for displaying the determination result by the means, and transport means for transporting and sorting the articles at a plurality of pitches, the analysis means detects inspection machine differences by comparing inspection results by a plurality of inspection machines, Judge the inspection capability of the inspection machine.
【００４９】このように構成された物品検査装置は、複
数の検査機を備えるとともに、各検査機の検査結果が解
析手段によって解析され各検査機の検査機差による検査
能力を表示することから、信頼性の高い検査が行われ、
物品の信頼性が向上し、検査機による歩留まりを防止す
ることが可能となる。The article inspection apparatus thus configured is provided with a plurality of inspection machines, and the inspection result of each inspection machine is analyzed by the analyzing means, and the inspection capability according to the inspection machine difference of each inspection machine is displayed. Highly reliable inspection,
The reliability of the article is improved, and the yield by the inspection machine can be prevented.
【図１】光磁気ディスクの製造工程を示す工程概略図で
ある。FIG. 1 is a process schematic diagram showing a manufacturing process of a magneto-optical disk.
【図２】本発明にかかる物品検査装置を示す構成概略図
である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating an article inspection apparatus according to the present invention.
【図３】同物品検査装置に搭載される検査機を示す構成
図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing an inspection machine mounted on the article inspection apparatus.
【図４】同物品検査装置に搭載される制御シーケンサー
の検査機差判別ステップを示す概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing an inspection machine difference determination step of a control sequencer mounted on the article inspection apparatus.
【図５】同物品検査装置に搭載される制御シーケンサー
による第１の算出工程を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a first calculation step by a control sequencer mounted on the article inspection apparatus.
【図６】同物品検査装置に搭載される制御シーケンサー
による歩留まり率の算出を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing calculation of a yield rate by a control sequencer mounted on the article inspection apparatus.
１ 物品検査装置、２ 光磁気ディスク基板、３ 取出
／供給装置、４ 検査機、５ 取出／収納装置、６ 搬
送機構、７ 制御シーケンサー、８ 表示器DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Article inspection device, 2 magneto-optical disk substrate, 3 take-out / supply device, 4 inspection machine, 5 take-out / storage device, 6 transport mechanism, 7 control sequencer, 8 display
Claims (4)
表面状態を検査する物品検査装置において、 物品の表面状態を検査する複数の検査機と、 上記各検査機の検査結果が入力される解析手段と、 上記解析手段による判別結果を表示する表示手段と、 上記物品を搬送して、異なるピッチに振り分ける搬送手
段とを備え、 上記解析手段は、複数の検査機による検査結果を比較す
ることにより個々の検査機の検出差を検出し、上記各検
査機の検査能力を判断することを特徴とする物品検査装
置。1. An article inspection apparatus for inspecting the surface state of an article in a non-contact manner using an optical detection means, comprising: a plurality of inspection machines for inspecting the surface state of the article; Analysis means, display means for displaying the results of the determination by the analysis means, and transport means for transporting the articles and distributing them at different pitches, wherein the analysis means compares the inspection results by a plurality of inspection machines. An article inspection apparatus characterized in that a detection difference between individual inspection machines is detected thereby to determine an inspection capability of each inspection machine.
を検査することを特徴とする請求項１に記載の物品検査
装置。2. The article inspection apparatus according to claim 1, wherein said plurality of inspection machines inspect articles of the same lot.
を検査することを特徴とする請求項１に記載の物品検査
装置。3. The article inspection apparatus according to claim 1, wherein said plurality of inspection machines inspect articles of a plurality of lots.
果、上記検査機の検査数、上記不良物品数を表示し、上
記検査機に異常状態が発生したとき、上記検査機の異常
状態及び／又は指示表示を表示することを特徴とする請
求項１に記載の物品検査装置。4. The display means displays the determination result of the determination means, the number of inspections of the inspection machine, and the number of defective articles. When an abnormal state occurs in the inspection machine, The article inspection apparatus according to claim 1, wherein an instruction display is displayed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20583496A JPH1048148A (en) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | Article inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20583496A JPH1048148A (en) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | Article inspection equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048148A true JPH1048148A (en) | 1998-02-20 |
Family
ID=16513491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20583496A Withdrawn JPH1048148A (en) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | Article inspection equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048148A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007088497A (en) * | 2002-12-06 | 2007-04-05 | Tokyo Electron Ltd | Process control system, process control method, and process processing apparatus |
| WO2010113386A1 (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 東レエンジニアリング株式会社 | Inspection condition data generation method and inspection system of semiconductor wafer appearance inspection apparatus |
| CN119341474A (en) * | 2024-10-25 | 2025-01-21 | 山东冠县光大复合材料有限公司 | Photovoltaic panel defect detection device |
-
1996
- 1996-08-05 JP JP20583496A patent/JPH1048148A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007088497A (en) * | 2002-12-06 | 2007-04-05 | Tokyo Electron Ltd | Process control system, process control method, and process processing apparatus |
| WO2010113386A1 (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 東レエンジニアリング株式会社 | Inspection condition data generation method and inspection system of semiconductor wafer appearance inspection apparatus |
| JP2010239041A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Toray Eng Co Ltd | Inspection condition data generation method and inspection system for semiconductor wafer appearance inspection apparatus |
| CN102349142A (en) * | 2009-03-31 | 2012-02-08 | 东丽工程株式会社 | Inspection condition data generation method and inspection system of semiconductor wafer appearance inspection apparatus |
| CN119341474A (en) * | 2024-10-25 | 2025-01-21 | 山东冠县光大复合材料有限公司 | Photovoltaic panel defect detection device |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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