JPH1048148A

JPH1048148A - 物品検査装置

Info

Publication number: JPH1048148A
Application number: JP20583496A
Authority: JP
Inventors: Katsuyuki Itami; 克幸伊丹
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-08-05
Filing date: 1996-08-05
Publication date: 1998-02-20

Abstract

(57)【要約】【課題】物品検査装置の信頼性の向上を図る。【解決手段】光学検出手段を用いて非接触にて物品の
表面状態を検査する物品検査装置１において、物品の表
面状態を検査する複数の検査機４ａ、４ｂと、各検査機
４の検査結果が入力される解析手段７と、この解析手段
７による判別結果を表示する表示手段８と、物品を複数
ピッチにより搬送する搬送手段６とを備える。この解析
手段６は、複数の検査機４による検査結果を比較するこ
とにより検査機差を検出し、各検査機４の検査能力を判
断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、製造工程中の物品を検
査する検出機の検査機差を検出する物品検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】物品の製造工程においては、製造工程中
の中間物品について検査をする検査機を備えることによ
って、良否の中間検査を検査する。この物品の検査を行
う検査工程は、特に大量生産される物品において必要不
可欠な工程である。また、この検査工程は、物品製造工
程において、生産された物品の歩留まりを減少させると
ともに、信頼性の高い物品を製造するという観点から重
要である。

【０００３】例えば光磁気ディスク製造工程において
は、合成樹脂等により成形された基板上に、磁性膜をス
パッタ法により形成後、紫外線硬化樹脂を塗布すること
により紫外線硬化樹脂膜を形成した状態の光磁気ディス
クの表面の紫外線硬化樹脂膜厚、塗りムラ等を検査する
検査機が配置されている。

【０００４】この検査機は、検査が行われる際に光磁気
ディスク基板を回転駆動させるディスク駆動部と、この
光磁気ディスクにレーザ光を照射するレーザーダイオー
ドと、光磁気ディスクからの反射回折光を検出するフォ
トディテクタとを備える。この検査機は、このフォトデ
ィテクタの検出した反射回折光を解析して、検査合格信
号及び検査不合格信号を出力する。この検査合格信号及
び検査不合格信号が入力された搬送部は、検査機により
検査が行われた光磁気ディスクを振り分けて、検査合格
光磁気ディスクを後の工程に搬送して、検査不合格光磁
気ディスクを廃棄物処理箱に搬送する。

【０００５】このように構成された検査機は、定期的に
基準となる光磁気ディスクを検査させて検査機自体の検
査能力を判定し、基準ディスクと検査ディスクとを比較
することによって検査対象となるディスクの検査を行う
ことから、検査基準値の範囲外のディスクを判別するこ
とが可能となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のような物品検査
装置においては、経時変化によるレーザダイオードやフ
ォトディテクタの劣化或いは電子回路等の調整状態が次
第にずれを生じ、制御回路等から出力される光量信号が
次第にずれを生じ、検査機の検査能力に影響が生じ、誤
判定の原因となることがあった。また、この物品検査装
置は、上述した構成各部材の経時変化による誤判定の状
態の識別が遅れるという不都合があった。

【０００７】従来の光磁気ディスク製造工程は、上述し
た１台の検査機を備えている。したがって、この検査機
は、上述のような問題に対処するために、頻繁に製造要
員により、検査基準の光磁気ディスクを用いて、構成各
部材の再点検及び調整が行われていた。

【０００８】また、この従来の物品検査装置では、検査
機の調整ずれにより、光磁気ディスクを誤判定している
か否かを客観的に判断する手段がなかった。そのため、
この物品検査装置は、長期間にわたって調整が不安定な
状態で光磁気ディスクの検査が行われるという問題があ
った。すなわち、光磁気ディスク製造工程における問題
か検査機自体の問題かを客観的に判断する手段が存在し
なかった。

【０００９】さらに、このような物品検査装置では、良
品ディスクを不良品ディスクと誤判定して廃棄処分して
しまうとともに、不良ディスクを良品ディスクと誤判定
して後の工程に流出するという問題点がある。

【００１０】そこで、本発明は、このような問題点を解
決すべく、検査機内部の調整ずれ等を早急に検出し、正
確かつ信頼性の高い物品検査装置を提供することを目的
とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記のような課題を解決
する本発明にかかる物品検査装置は、物品について不良
物品と良物品とを検査する複数の検査機と、各検査手段
の検査結果が入力される判別手段と、複数の判別手段に
よる判別結果を表示する表示手段と、物品を搬送して振
り分ける搬送手段とを備えて構成される。

【００１２】以上のように構成された物品検査装置は、
判別手段が複数の各検査機による検査結果を比較するこ
とにより検査機の検査値差を検出し、各検査機の検査能
力を判断する。したがって、このように構成された物品
検査装置は、各検査装置内部の調整ずれを早急に検出す
る仕組みをを構築することが可能であることから、正確
かつ信頼性の高い物品の判断を行わせることが可能とな
り、誤検査による歩留まりを減少させる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態にかかる
物品検査装置について、図面を参照しながら詳細に説明
する。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適
な具体例であるから、技術的に数々の限定がなされてい
るが本発明の要旨を逸脱しない範囲において変更が可能
である。

【００１４】ここで、本発明にかかる物品検査装置を光
磁気ディスク製造工程に適用した一例について説明す
る。

【００１５】光磁気ディスクの製造工程は、図１に示す
ように、光磁気ディスク成形工程Ｓ１と、金属膜成膜工
程Ｓ２と、保護膜塗布工程Ｓ３と、検査工程Ｓ４と、組
立／包装工程Ｓ５とからなる。

【００１６】光磁気ディスク成形工程Ｓ１は、成形金型
装置により溶液化した透明な合成樹脂材料を成形金型に
充填してディスク基板を成形する工程である。この合成
樹脂材料は、固体化した状態にて成形金型装置に備えら
れたホッパーから供給されて、装置内で溶融されスタン
パを組み込んだ成形金型内に充填させることによって一
方主面に微細な凹凸パターンが転写される。

【００１７】金属膜成膜工程Ｓ２は、光磁気ディスク成
形工程Ｓ１から搬送された光磁気ディスク基板２上に金
属膜を形成する工程である。この光磁気ディスク基板２
は、光磁気ディスク成形工程Ｓ１から搬送されて、真空
チャンバーに装填される。この光磁気ディスク基板２
は、真空チャンバー内にて電子線を金属ターゲットに照
射する方法で、一方主面に金属膜が形成される。

【００１８】光磁気ディスク保護膜塗布工程Ｓ３は、保
護膜として紫外線硬化樹脂膜を光磁気ディスク基板２の
一方主面に塗布して形成する工程である。金属膜成膜工
程Ｓ２にて金属膜が形成された光磁気ディスク基板２
は、真空チャンバーから取出されて、金属膜形成面に紫
外線硬化樹脂が塗布される。このとき、光磁気ディスク
基板２は、高速モータにて回転駆動されて、ノズル部か
ら滴化された紫外線硬化樹脂を振り飛ばして一様に紫外
線硬化樹脂膜が塗布される。さらに、この光磁気ディス
ク基板２には、紫外線光が照射されて一方主面に塗布さ
れた紫外線硬化樹脂膜が硬化されて保護膜が形成され
る。

【００１９】光磁気ディスク検査工程Ｓ４は、一方主面
に金属膜及び保護膜が形成された光磁気ディスク基板２
が搬送され、詳細を後述する検査機４にて光磁気ディス
ク基板２の一方主面の表面状態を検査する工程である。
この光磁気ディスク検査工程Ｓ４は、光磁気ディスク基
板２を回転駆動させた状態において、光磁気ディスク基
板２の一方主面にレーザ光を照射し、その反射光量を検
出して解析することによって行われる。また、この光磁
気ディスク検査工程Ｓ４では、各検査機の検査機差を判
断することによって、各検査機が検査される。

【００２０】この光磁気ディスク検査工程Ｓ４において
良品と判断された光磁気ディスクは、最終組立工程とし
て組立／包装工程Ｓ５が行われる。また、この光磁気デ
ィスク検査工程Ｓ４において不良品と判断された光磁気
ディスクは、廃棄物として廃棄物収納箱１９に収納され
る。

【００２１】このように構成された光磁気ディスク製造
工程は、光磁気ディスクの一方主面に金属膜及び保護層
が形成された状態にて光磁気ディスク検査工程Ｓ４が行
われることから、信頼性の高い光磁気ディスクを提供す
ることを可能とする。

【００２２】上述の光磁気ディスク検査工程Ｓ４にて使
用される物品検査装置１は、図２に示すように、光磁気
ディスク基板２を供給する取出／供給装置３と、この供
給された光磁気ディスク基板２をＡ方向に検査機４及び
取出／収納装置５へと搬送する搬送機構６と、この搬送
機構６により搬送された光磁気ディスク基板２の表面状
態を検査する第１の検査機４ａ及び第２の検査機４ｂ
（以下総称する場合は検査機４とする。）と、この検査
機４により検査された光磁気ディスク基板２を取出し及
び収納する取出／収納機構５と、検査機４に検査スター
ト信号を出力するとともに、検査機４からの検査結果の
解析し物品検査装置１全体の制御を行う制御シーケンサ
ー７と、この制御シーケンサー７による解析結果を表示
する表示器８からなる。

【００２３】取出／供給装置３には、上述の光磁気ディ
スク製造工程において一方主面に金属膜及び保護層が形
成された光磁気ディスク基板２が搬送されて、装填され
る。取出／供給装置３は、この装填された未検査の光磁
気ディスク基板２を取出してステージ９に載置し、この
ステージ９を支持して回動駆動させるアーム１０によっ
て搬送機構６上にあるステージ９ａ、９ｂの２箇所に振
り分けて、供給する。また、この取出／供給装置３は、
２台の検査機４が搭載されているために、２ピッチ単位
にて搬送ライン６ａに供給する。

【００２４】搬送部６は、搬送ライン６ａと、この搬送
ライン６ａを駆動させる駆動部６ｂと、光磁気ディスク
が載置されるステージ９とからなる。この搬送部６は、
搬送ライン６ａ及びステージ９を図２中に示すＡ方向に
駆動させるとともに、制御シーケンサー７からの停止信
号により搬送ライン６ａ及びステージ９を停止させる駆
動部６ｂと、この駆動部６ｂにより一定速度にて光磁気
ディスク基板２を移動させる搬送ライン６ａと、光磁気
ディスク基板２が載置されるステージ９からなる。この
搬送部６は、上述の取出／収納装置３によりステージ９
に載置された光磁気ディスク基板２を２ピッチ単位搬送
にて検出機４及び取出／収納装置５に搬送する。

【００２５】検査機４は、同一搬送部６ａ上に第１の検
査機４ａ及び第２の検査機４ｂが配設される。各検査機
４には、同一ロットの光磁気ディスク基板２が搬送さ
れ、各検査機４からの検査結果を制御シーケンサー７に
入力する。

【００２６】各検査機４は、図３に示すように、検査が
行われる際に光磁気ディスク基板２を回転駆動させる光
磁気ディスク基板駆動部１２と、検査レーザ光を出射す
るレーザーダイオード１３と、光磁気ディスク基板２か
らの反射回折光を検出するフォトディテクタ１４と、反
射回折光信号が入力されて光量信号を出力する電子回路
処理部１５と、基準ディスクの基準値信号を出力する基
準判定レベル設定回路１６と、光量信号及び基準値信号
が入力されて、検査結果を出力する演算処理装置１７か
ら構成される。

【００２７】この検査機４は、検査対象である光磁気デ
ィスク基板２が光磁気ディスク基板駆動部１２に装填さ
れると、演算処理装置１７に入力された検査スタート信
号の入力により検査レーザー光を光磁気ディスク基板２
の一方主面に照射する。また、検査機４は、光磁気ディ
スク基板２からの反射回折光をフォトディテクタ１４に
より検出する。なお、この光磁気ディスク基板２は、光
磁気ディスク駆動部１２であるスピンドルモータによっ
て回転駆動されることにより、光磁気ディスク基板２の
一方主面の全面に順次スキャンされる。

【００２８】フォトディテクタ１４は、光磁気ディスク
基板２から反射回折光を検出し電気的な信号に変換させ
て検出信号として出力する。この検出信号は、電子回路
処理部１５に入力される。

【００２９】この電子回路処理部１５に入力された検出
信号は、光量信号に変換されて演算処理装置１７に入力
される。また、この電子回路処理部１５は、この検出信
号に基づいて、レーザーダイオード１３を制御する。

【００３０】一方、基準判定レベル設定回路１６には、
基準ディスク信号として良品ディスクの反射回折光検出
データ信号等が入力されている。この基準ディスク信号
は、検査機４が良品ディスクとして判別する基準値信号
を示す信号である。基準レベル設定回路１６は、この基
準値信号を演算処理装置１７に出力する。

【００３１】演算処理装置１７は、制御シーケンサー７
からの検査スタート信号が入力されるとともに、基準値
信号が調整設定されている判断基準の上限値から下限値
の範囲内にその光量信号の演算結果が入力されることに
よって、検査合格信号及び検査不合格信号を制御シーケ
ンサー７に出力する。

【００３２】制御シーケンサー７は、検査機４に検査ス
タート信号を出力するとともに、検査機４からの検査合
格信号及び検査不合格信号が入力される。この制御シー
ケンサー７は、予め設定されている検査機差判定基準値
Ｋと、｜Ｍ１〜Ｍ２｜（第１の検査機４ａの歩留まり率
Ｍ₁及び第２検査機の歩留まり率Ｍ₂としたときのＭ₁と
Ｍ₂との差の絶対値）とを比較することによって各検査
機４の検出信号差を解析した判別信号を算出する。な
お、この判別信号は、後述する図４に示すように解析
し、判別結果を駆動部６、検査機４、取出／収納装置５
及び表示器８に出力する。

【００３３】取出／収納装置５は、制御シーケンサー７
からの判別結果に基づいてステージ９から光磁気ディス
ク基板２を取出／収納する。この取出／収納装置５は、
検査機４からの検査合格信号及び検査不合格信号が入力
されて、搬入される光磁気ディスク基板２を選別回路１
８により選別する。この取出／収納装置５により取出さ
れた良品光磁気ディスク基板は、最終工程として組立／
包装工程Ｓ５に搬送され、不良品光磁気ディスク基板
は、廃棄物収納箱１９に収納される。

【００３４】表示器８は、制御シーケンサー７からの判
別信号が入力されて、各検査機４の検出信号差による判
別結果、検査機４の光磁気ディスク検査数、不良物品数
を表示し、いずれかの検査機４に異常状態が発生したと
き、検査機４の異常状態及び／又は指示表示を表示す
る。

【００３５】このように構成された物品検査装置１は、
複数の検査機４が同一搬送ライン６ａ上に配設され、各
検査機４の検査結果が制御シーケンサー７に入力される
ことにより、各検査機４の検出信号差が算出され、検査
機４の異常が判別されることから、各検査機４の各部の
調整ずれの防止が可能であるとともに、正確かつ信頼性
の高い光磁気ディスク基板２の検査を可能とさせる。

【００３６】上述の物品検査装置１に搭載された制御シ
ーケンサー７は、光磁気ディスク基板２を図４に示すよ
うな検査機４の検出信号差判別ステップに従って検査す
る。この判別ステップは、制御シーケンサー７から検出
機４に検出スタート信号を出力するステップ１と、各検
査機４から出力された検査合格信号Ａ及び検査不合格信
号Ｂが入力されるステップ２と、図５に示すように検査
スタート回数Ａ、検査合格回数Ｂ及び検査不合格回数Ｃ
を検出するステップ３と、図６のように、このステップ
３における検出結果に基づいて各検査機４の歩留まり率
Ｍ₁，Ｍ₂を算出するステップ４と、ステップ４において
算出された各検査機４の歩留まり率Ｍ₁，Ｍ₂との差分の
絶対値｜Ｍ₁〜Ｍ₂｜と検査機差判定標準値Ｋとを比較し
て判別結果を算出するステップ５と、このステップ５の
判別結果により警告表示及び／又は物品検査装置１の全
体を自動停止させるステップ６及び継続して検査を行う
ステップ７からなる。

【００３７】ステップ１においては、制御シーケンサー
７により検査スタート信号が検査機４に出力されること
によって、検査機４に装填された光磁気ディスク基板２
の検査を行わせてステップ２に進む。

【００３８】ステップ２においては、第１の検査機４ａ
による検査結果及び第２の検査機４ｂによる検査結果が
制御シーケンサー７に入力される。この検査結果には、
検査合格信号Ｂ及び検査不合格信号Ｃが含まれる。

【００３９】ステップ３においては、図５に示すよう
に、各検査機４の検査スタート回数Ａ₁，Ａ₂、検査合格
回数Ｂ₁，Ｂ₂及び検査不合格回数Ｃ₁，Ｃ₂とが制御シー
ケンサーによってカウントされてステップ４に進む。

【００４０】ステップ４においては、図６に示すよう
に、第１の検査機４ａの歩留まり率Ｍ₁及び第２の検査
機４ｂの歩留まり率Ｍ₂をそれぞれ算出してステップ５
に進む。

【００４１】ステップ５においては、ステップ４におい
て算出された歩留まり率Ｍ₁，Ｍ₂の差分の絶対値｜Ｍ₁
〜Ｍ₂｜を算出して、この｜Ｍ₁〜Ｍ₂｜が予め制御シー
ケンサー７に入力されている検査機差判定基準値Ｋとの
比較され、判別信号が生成される。ここで、ステップ５
において、この｜Ｍ₁〜Ｍ₂｜が検査機差判定基準値Ｋの
範囲内に該当しない場合はステップ６に進み、該当する
場合はステップ７に進む。

【００４２】ステップ６においては、ステップ５におい
て生成された判別信号が制御シーケンサー７から出力さ
れて表示器８に入力される。この表示器８は、判別信号
が入力されて警報表示する。また、ステップ５において
生成された判別信号に基づき物品検査装置１の取出／供
給装置３、駆動部６、検査機４、取出／収納装置５及び
表示器８の自動停止が行われる。一方、ステップ７にお
いては、検査機４には異常がないことから継続して光磁
気ディスク基板２が検査される。

【００４３】このような検査機差判別ステップによれ
ば、制御シーケンサー７によって各検査機４の歩留まり
率Ｍ₁、Ｍ₂を計算して各検査機４による検査信号差を検
出可能であることから、検査機内部の調整ずれを相対的
に検査することが可能なり、検査機４の信頼性が向上し
て誤検査による歩留まりを減少させることが可能である
とともに、不良の光磁気ディスクを確実に判断すること
が可能となる。また、検査機４は、光磁気ディスクの製
造工程において、検査機４の検査が行われることから、
正常に動作することにより、信頼性の高い検査工程を行
う。

【００４４】このように構成された物品検査装置１は、
同一ロットの光磁気ディスク基板２を同時に２台の検査
機４ａ、４ｂにて検査し、各検査機４について歩留まり
を計算することから、各検査機４の歩留まり差を検査機
４の機差として判別することが可能となる。

【００４５】なお、本発明にかかる物品検査装置１は、
２台の検査機４に限らず、複数の検査機４を搭載させて
各検査機４の検出信号差を検出しても良い。

【００４６】また、このように構成された物品検査装置
１は、光磁気ディスク保護膜形成工程Ｓ３より搬送され
た光磁気ディスクのロットが異なると、搬送部６を別に
して検査工程Ｓ４が行われる。

【００４７】なお、本発明にかかる物品検査装置１は、
光磁気ディスク製造工程に限らず、大量生産が行が行わ
れる物品について適用可能であるのは勿論である。

【００４８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる物品検査装置は、物品の表面状態を検査する複数の
検査機と、各検査機の検査結果が入力される解析手段
と、解析手段による判別結果を表示する表示手段と、物
品を複数ピッチにより搬送して振り分ける搬送手段とを
備え、解析手段は、複数の検査機による検査結果を比較
することにより検査機差を検出し、各検査機の検査能力
を判断する。

【００４９】このように構成された物品検査装置は、複
数の検査機を備えるとともに、各検査機の検査結果が解
析手段によって解析され各検査機の検査機差による検査
能力を表示することから、信頼性の高い検査が行われ、
物品の信頼性が向上し、検査機による歩留まりを防止す
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】光磁気ディスクの製造工程を示す工程概略図で
ある。

【図２】本発明にかかる物品検査装置を示す構成概略図
である。

【図３】同物品検査装置に搭載される検査機を示す構成
図である。

【図４】同物品検査装置に搭載される制御シーケンサー
の検査機差判別ステップを示す概略図である。

【図５】同物品検査装置に搭載される制御シーケンサー
による第１の算出工程を示す図である。

【図６】同物品検査装置に搭載される制御シーケンサー
による歩留まり率の算出を示す図である。

【符号の説明】

１物品検査装置、２光磁気ディスク基板、３取出
／供給装置、４検査機、５取出／収納装置、６搬
送機構、７制御シーケンサー、８表示器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学検出手段を用いて非接触にて物品の
表面状態を検査する物品検査装置において、物品の表面状態を検査する複数の検査機と、上記各検査機の検査結果が入力される解析手段と、上記解析手段による判別結果を表示する表示手段と、上記物品を搬送して、異なるピッチに振り分ける搬送手
段とを備え、上記解析手段は、複数の検査機による検査結果を比較す
ることにより個々の検査機の検出差を検出し、上記各検
査機の検査能力を判断することを特徴とする物品検査装
置。
【請求項２】上記複数の検査機は、同一ロットの物品
を検査することを特徴とする請求項１に記載の物品検査
装置。
【請求項３】上記複数の検査機は、複数ロットの物品
を検査することを特徴とする請求項１に記載の物品検査
装置。
【請求項４】上記表示手段は、上記判別手段の判別結
果、上記検査機の検査数、上記不良物品数を表示し、上
記検査機に異常状態が発生したとき、上記検査機の異常
状態及び／又は指示表示を表示することを特徴とする請
求項１に記載の物品検査装置。