JPH1048288A - テストヘッドとプローバの接続装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストヘッドを回転中心Ｏを中心に回動させ
てプローバ側に対向させる構造であって、位置出しピン
と位置出しピン受けとの間隙は小さくて済むテストヘッ
ドとプローバの接続装置を提供すること。 【解決手段】 テストヘッド１０が回転中心Ｏを中心と
して回動してパフォーマンスボード２０に当接し、テス
トヘッド側に設けられた位置出しピン受け１６と、プロ
ーバに収容された信号中継部３４のパフォーマンスボー
ド側に突出した位置出しピン２４とを係合させて、テス
ト信号を被検査物体に供給するテストヘッドとプローバ
の接続装置において、位置出しピン受けを上下移動させ
る位置出しピン受け駆動手段５０，５２を設け、テスト
ヘッドがパフォーマンスボードに当接した後に、位置出
しピン受け駆動手段によって位置出しピン受けをテスト
ヘッドに収容された状態から位置出しピンと係合する位
置に移動させると共に、この位置出しピン受けと位置出
しピンとの係合に随伴して、テストヘッドとパフォーマ
ンスボードとの位置決めがなされることを特徴としてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等の高集積
度電子素子の検査装置に用いられるテストヘッドとプロ
ーバの接続装置に関し、特に位置出し精度の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】本出願人の提案にかかる実開平４−１１
３０８３号公報に開示されているように、ＬＳＩテスト
装置ではテストヘッドが用いられている。このテストヘ
ッドはウェハーを搬送するプローバや、ウェハーから各
チップを切り離して端子を付設してパッケージした半導
体部品を搬送するハンドラに対向して載せられる。

【０００３】図３は、従来のテストベッドとプローバの
装着状態を説明する正面図である。尚、図において、プ
ローバ３０のＡ−Ａ線を境に、一方は断面図であり、他
方は一部断面図であり、テストヘッド１０もＣ−Ｃ線の
ブラケット側は断面図となっている。図において、中心
Ｏはテストヘッド１０の回動中心で、図示しないリフト
ホルダ等のテストヘッド１０の軸支部材により定まる。
テストヘッド１０は、外部に設けられたテスト装置本体
で定められたテスト信号を、プローバ３０に収容された
ウェハーに供給する機能を有する筐体で、内部には多数
のプリント基板が収容されている。ブラケット１２は、
テストヘッド１０のプローバ３０対向面に設けられた中
空の円盤状のもので、さらにパフォーマンスボード２０
に当接するコンタクトピン１４が設けられている。位置
出しピン受け１６は、ブラケット１２の中空部近傍に設
けられたもので、テストヘッド１０とプローバ３０との
位置決めを行う。

【０００４】パフォーマンスボード２０は、コンタクト
ピン１４と接続されるテストヘッド側パッド端子２６
と、信号中継部３４に設けられた端子３４ａと接続され
るプローバ側パッド端子２８と、これらパッド端子２
６，２８を接続する配線パターン並びに需要者が必要に
応じて指定する部品が設けられたものである。パフォー
マンスボードカバー２２は、パフォーマンスボード２０
の周囲を囲う壁体で、合わせてテストヘッド１０とも当
接して、コンタクトピン１４がパフォーマンスボード２
０と当接するに際して過大に応力が加わるのを防止して
いる。位置出しピン２４は信号中継部３４のパフォーマ
ンスボード２０側に突出して設けられたもので、パフォ
ーマンスボード２０に設けられたテストヘッド側パッド
端子２６とコンタクトピン１４とが正確な位置で接続さ
れるように、位置出しピン受け１６と係合する。

【０００５】プローバ３０は、ウェハーを搬送してチャ
ックトップ４０に置き、プローブ３８をウェハーに接触
させてウェハーを検査する装置である。プローバ信号中
継部受け３２は、チャックトップ４０に比較して大きな
開口部で、プローバ３０筐体の一部をなす。信号中継部
３４は、プローバ信号中継部受け３２に置かれると共
に、信号中継部端子３４ａ，３４ｂ相互を接続する配線
を内部に有している。信号中継部端子３４ａはパフォー
マンスボード２０のプローバ側パッド端子２８と接続さ
れ、信号中継部端子３４ｂはプローブ３８と接続されて
いる。プローブガード３６は、信号中継部３４のチャッ
クトップ４０側に取り付けられたもので、プローブ３８
を所定の姿勢に保持する。チャックトップ４０は、上下
方向Ｖに移動して載置されたウェハーをプローブ３８に
接触させている。

【０００６】図４は、図３のテストヘッドとプローバを
密着させた状態の正面図で、Ｂ−Ｂ線を境として一部を
破断した断面図となっている。ここでは、位置出しピン
２４と位置出しピン受け１６との間隙を充分にとること
で、回転中心Ｏを中心としてテストヘッド１０が時計方
向ＣＷに回転して、パフォーマンスボード２０とコンタ
クトピン１４との接続を可能ならしめている。テストヘ
ッド１０の内部では、ブロック１８にブラケット１２が
固定されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、位置出
しピン２４と位置出しピン受け１６との間隙が大きい
と、テストヘッド側のコンタクトピン１４とパフォーマ
ンスボード２０側のテストヘッド側パッド端子２６との
接続が旨く行われない場合があり、接触不良の原因にな
るという課題があった。そこで、テストヘッド１０を回
転中心Ｏを中心に回動させる構造に代えて、テストヘッ
ド１０の移動方向を上下方向のみに限ると、位置出しピ
ン２４と位置出しピン受け１６との間隙は小さくて済む
が、保守作業が困難になったり製造コストが高額になる
という課題を生ずる。本発明はこのような課題を解決し
たもので、テストヘッドを回転中心Ｏを中心に回動させ
てプローバ側に対向させる構造であって、位置出しピン
と位置出しピン受けとの間隙は小さくて済むテストヘッ
ドとプローバの接続装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明は、テストヘッド１０が回転中心Ｏを中心として回
動してパフォーマンスボード２０に当接し、当該テスト
ヘッド側に設けられた位置出しピン受け１６と、プロー
バに収容された信号中継部３４の当該パフォーマンスボ
ード側に突出した位置出しピン２４とを係合させて、テ
スト信号を、当該テストヘッドに設けられたコンタクト
ピン１４から当該パフォーマンスボード並びに信号中継
部を介して被検査物体に供給するテストヘッドとプロー
バの接続装置において、前記位置出しピン受けを前記テ
ストヘッドに収容された状態と、前記位置出しピンと係
合する状態との間で上下移動させる位置出しピン受け駆
動手段５０，５２を設け、前記テストヘッドがパフォー
マンスボードに当接した後に、当該位置出しピン受け駆
動手段によって前記位置出しピン受けを前記テストヘッ
ドに収容された状態から前記位置出しピンと係合する位
置に移動させると共に、この位置出しピン受けと位置出
しピンとの係合に随伴して、当該テストヘッドとパフォ
ーマンスボードとの位置決めがなされることを特徴とし
ている。

【０００９】本発明の構成によれば、テストヘッドがパ
フォーマンスボードに当接した後に、位置出しピン受け
駆動手段によって位置出しピン受けをテストヘッドに収
容された状態から位置出しピンと係合する位置に移動さ
せている。すると、この位置出しピン受けと位置出しピ
ンとの係合に随伴して、テストヘッドとパフォーマンス
ボードとの位置決めが成され、コンタクトピン１４とパ
フォーマンスボードのテストヘッド側パッド端子２６と
の接触不良がなくなる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて、本発明を説明
する。図１は本発明の一実施例を示すテストヘッドとプ
ローバを密着させた状態の正面図である。尚、図１にお
いて前記図３と同一作用をするものには同一符号を付し
て、説明を省略する。ここでは、位置出しピン受け１６
をテストヘッド１０に収容された状態と、位置出しピン
２４と係合する状態との間で上下移動させるＡＣモータ
５０と、ボールスプライン５２を有している。ＡＣモー
タ５０の回転により、ボールスプライン５２に軸支され
た位置出しピン受け１６は上下方向Ｖ₁で上下移動す
る。

【００１１】図２は、位置出しピン受け駆動部の動作説
明図で、（Ａ）は位置出しピン受け１６と位置出しピン
２４が離れた状態、（Ｂ）は一部接触した状態、（Ｃ）
は係合した状態を表している。位置出しピン受け１６
は、内径Ｄ16の管状体で、軸Ｚ16はボールスプライン５
２の回転軸と一致している。位置出しピン２４は、先端
が円錐状に尖っている外径Ｄ24の円柱体で、軸Ｚ24が中
心軸となっている。

【００１２】位置出しピン受け１６と位置出しピン２４
が離れた状態にあるときは、軸Ｚ16と軸Ｚ24が離れてい
るが、この乖離は回転中心Ｏを中心としてテストヘッド
１０が回動してパフォーマンスボード２０に当接した場
合に、通常生じるガタ程度のものである。ここで、この
乖離が内径Ｄ16の半分以下であるように設計すること
で、ＡＣモータ５０により位置出しピン受け１６が位置
出しピン２４方向に移動した場合に、位置出しピン２４
の突端は位置出しピン受け１６の内側に入り、両者は一
部接触する。更に、ＡＣモータ５０により位置出しピン
受け１６が位置出しピン２４方向に移動すると、位置出
しピン２４と位置出しピン受け１６は係合し、軸Ｚ16と
軸Ｚ24が一致する。この移動は、位置出しピン２４を有
するパフォーマンスボード２０が矢印Ｈ24方向に変位し
て生じが、位置出しピン受け１６を有するテストヘッド
１０側で生じてもよい。

【００１３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、テ
ストヘッド１０がパフォーマンスボード２０に当接した
後に、位置出しピン受け駆動部５０，５２によって位置
出しピン受け１６をテストヘッド１０に収容された状態
から位置出しピン２４と係合する位置に移動させている
ので、この位置出しピン受け１６と位置出しピン２４と
の係合に随伴して、テストヘッド１０とパフォーマンス
ボード２０との位置決めが成され、コンタクトピン１４
とパフォーマンスボード２０のテストヘッド側パッド端
子２６との接触不良がなくなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すテストヘッドとプロー
バを密着させた状態の正面図である。

【図２】位置出しピン受け駆動部の動作説明図である。

【図３】従来のテストベッドとプローバの装着状態を説
明する正面図である。

【図４】従来のテストヘッドとプローバを密着させた状
態の正面図である。

【符号の説明】

１０ テストヘッド ２０ パフォーマンスボード ３０ プローバ ４０ チャックトップ ５０ 位置出しピン受け駆動部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】テストヘッド（１０）が回転中心（Ｏ）を
   中心として回動してパフォーマンスボード（２０）に当
   接し、 当該テストヘッド側に設けられた位置出しピン受け（１
   ６）と、プローバに収容された信号中継部（３４）の当
   該パフォーマンスボード側に突出した位置出しピン（２
   ４）とを係合させて、 テスト信号を、当該テストヘッドに設けられたコンタク
   トピン（１４）から当該パフォーマンスボード並びに信
   号中継部を介して被検査物体に供給するテストヘッドと
   プローバの接続装置において、 前記位置出しピン受けを前記テストヘッドに収容された
   状態と、前記位置出しピンと係合する状態との間で上下
   移動させる位置出しピン受け駆動手段（５０，５２）を
   設け、 前記テストヘッドがパフォーマンスボードに当接した後
   に、当該位置出しピン受け駆動手段によって前記位置出
   しピン受けを前記テストヘッドに収容された状態から前
   記位置出しピンと係合する位置に移動させると共に、 この位置出しピン受けと位置出しピンとの係合に随伴し
   て、当該テストヘッドとパフォーマンスボードとの位置
   決めがなされることを特徴とするテストヘッドとプロー
   バの接続装置。