JPH1048414A - カラーフィルター用着色パターンの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶ディスプレイ用カラーフィルターのため
の着色パターン形成方法の提供。 【解決手段】 （Ｉ）透明基板の一方の面の全面または
一部に感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥することに
より、感光性樹脂被膜を形成する工程、（II）所望の着
色層部位に対応したパターンを有するマスクを介して、
感光性樹脂被膜を露光し、次いで現像することにより、
感光性樹脂被膜に所望のパターンに対応した開口部を設
けて前記透明基板の一部を露出させる工程、（III）透
明基板の感光性樹脂被膜を設けた面の全面または一部に
所望の着色塗料組成物を塗布し、乾燥することにより、
着色塗料被膜を形成する工程、および（IＶ）透明基板
上の不要の感光性樹脂被膜と不要の着色塗料被膜を共に
剥離または現像することにより、前記感光性樹脂被膜の
開口部にのみ所望の着色塗料被膜を残す工程からなり、
前記（Ｉ）〜（IＶ）の工程を必要回数繰り返すことに
よるカラーフィルター用着色パターンの形成方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子など
の各種表示装置を多色化するために用いられるカラーフ
ィルターの着色パターンを形成する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）はあ
らゆるフラットパネルディスプレイの中でも、最も注目
されているものであり、ブラウン管（ＣＲＴ）に対抗す
る高精細のカラーディスプレイとして期待されている。

【０００３】液晶ディスプレイにおいて、多色化（カラ
ー化）に最も重要な部材は、カラーフィルターである。
現在、一般に使用されているカラーフィルターの製造法
には、染色法、印刷法、顔料分散法、電着法等があり、
いずれも優れた方法ではあるが、大画面化や高精細化、
さらに低コスト化の製造技術の点で解決すべき課題が残
されている。例えば、染色法の場合、染料が熱や光によ
って劣化するため、形成されたカラーフィルターの着色
層の耐熱性および／または耐候性に問題がある。印刷法
の場合、パターンの微細化に限界があり、寸法精度にも
問題がある。また、電着法は、透明導電層を有する基板
上に着色塗料を電着する方法であるが、透明導電層を形
成するための生産コストがかかり、かつ該導電層により
基板全体の光透過性が低下するという欠点がある。顔料
分散法の場合には、着色レジストをパターニングするの
に適度の光透過性が必要であることから、該レジスト中
に分散する顔料の濃度が高くできず、そのため、ブラッ
クマトリックス（ＢＭ）を含むカラーフィルターにおい
て、光学濃度（ＯＤ値）が十分に得られないという問題
が生じる。そこで、この問題を解決するために、一般
に、基板上に遮光膜として金属クロムや酸化クロムによ
る２層メッキ層を形成する方法が取られているが、生産
工程が複雑化するとともに、製造コストも高くなるとい
う不利益が生ずる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、感光性樹脂
および着色塗料の機能性が高くかつ選択自由度が広いこ
とから、上記のような不利益のない、高精細な液晶ディ
スプレイ用カラーフィルターを提供することができる。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、（Ｉ）透明基
板の一方の面の全面または一部に感光性樹脂組成物溶液
を塗布し、乾燥することにより、感光性樹脂被膜を形成
する工程、（II）所望の着色層部位に対応したパターン
を有するマスクを介して、感光性樹脂被膜を露光し、次
いで現像することにより、感光性樹脂被膜に所望のパタ
ーンに対応した開口部を設けて前記透明基板の一部を露
出させる工程、（III）透明基板の感光性樹脂被膜を設
けた面の全面または一部に所望の着色塗料組成物を塗布
し、乾燥することにより、着色塗料被膜を形成する工
程、および（IＶ）透明基板上の不要の感光性樹脂被膜
と不要の着色塗料被膜を共に剥離または現像することに
より、前記感光性樹脂被膜の開口部にのみ所望の着色塗
料被膜を残す工程からなり、前記（Ｉ）〜（IＶ）の工
程を必要回数繰り返すことによるカラーフィルター用着
色パターンの形成方法を提供する。さらに、本発明は、
感光性樹脂溶液にポジ型感光性樹脂溶液を用い、かつ前
記工程（IＶ）の前に透明基板の着色塗料被膜を設けた
面からおよび／または透明基板の着色塗料被膜を設けた
面とその反対の面の両面から全面露光するカラーフィル
ター用着色パターンの形成方法を提供するものである。
本発明の方法によれば、高感度の感光性樹脂と高い顔料
濃度の着色塗料を用いて、高解像度、高精細、高コント
ラスト、および高輝度のカラーフィルターを提供するこ
とができる。

【０００６】本発明以外にも、感光性樹脂を用いたフォ
トリソグラフィー法によってカラーフィルターを製造す
る方法が従来行われている。これは、基板上に感光性樹
脂被膜を形成し、着色層を形成するためにパターニング
（露光および現像）して、基板の一部を露出させ、そこ
へ着色塗料を適当な方法で塗布し、不要な感光性樹脂被
膜を剥離（現像）することで所望の着色層を所定の位置
に形成する方法である。しかしながら、この従来の製法
は、製造工程数が多いために生産面において不利であ
り、また、プロセス面でも、感光性樹脂被膜の剥離（現
像）工程において、露光不足または着色塗料被膜との接
触混和によって生じる剥離（現像）不良、並びにそれに
よるパターン精度の不良および白ヌケ（必要部における
着色塗料被膜の剥がれ）等の問題点があった。これらの
問題点は、露光量を増やしたり、感光性樹脂被膜の剥離
液および剥離条件を強化することで対処し得るが、それ
によって、更に、所望の着色パターン層の溶解および／
または剥離並びにパターンの直線性不良が発生すること
があった。

【０００７】本発明は、上記のような従来のフォトリソ
グラフィー法における問題点を克服し、更に高性能のカ
ラーフィルターを提供するものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明において使用される感光性
樹脂組成物溶液は、当業者に既知のポジ型またはネガ型
のいずれかの感光性樹脂組成物溶液であってよく、好ま
しくは、ポジ型感光性樹脂組成物である。着色パターン
層を形成するために、感光性樹脂が塗布されるが、該樹
脂は、その後の工程において剥離されるため、管理マー
ジン（具体的には、塗布条件、露光条件等の工程管理お
よび液管理）を幅広く設定することができる。本発明の
方法で使用する感光性樹脂組成物は、ポジ型の場合、逐
次露光性は、必ずしも必要ではないが、逐次露光性があ
ってもよい。

【０００９】本発明の方法では、好ましくは、現像およ
び／または剥離条件における作業性に優れかつ解像度の
高いナフトキノンジアジド系感光性樹脂組成物が用いら
れる。

【００１０】本発明では、感光性樹脂被膜上で着色塗料
組成物をはじかせて、不均一な着色塗料被膜を形成する
ことによって、光透過性を高めたり、感光性樹脂用剥離
液の浸透を促進したりすることができる。このような不
均一な着色塗料被膜の形成は、感光性樹脂溶液への表面
調整剤の添加、および／または表面調整剤による感光性
樹脂組成物の化学変性等の表面改質によって達成でき
る。表面調整剤としては、シリコーン樹脂系添加剤、フ
ッ素樹脂系添加剤、および一般に市販されている界面活
性剤が挙げられる。

【００１１】本発明で使用する着色塗料組成物は、熱硬
化性または光硬化性であり、熱硬化性の場合はバインダ
ー樹脂および熱硬化剤を含み、また光硬化性の場合はバ
インダー樹脂、光重合開始剤、および重合可能な不飽和
結合を有するモノマーを含み得る。バインダー樹脂とし
ては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエス
テル樹脂、ウレタン樹脂、およびアミノ樹脂等の従来公
知の樹脂のいずれであってもよい。熱硬化剤としては、
例えば、メラミン、エポキシ、ブロックイソシアナート
化合物等、従来公知のものが挙げられ、それらを単独で
あるいは混合して使用してよい。光重合開始剤として
は、例えば、ベンゾインエーテル系、ベンジルケタール
系、アセトフェノン系、ホスフィンオキサイド系、ベン
ゾフェノン系、およびチオキサントン系の各化合物、並
びに必要に応じて有機アミン系光重合促進剤等の従来公
知のものが挙げられ、それらを単独であるいは混合して
使用してよい。重合可能な不飽和結合を有するモノマー
としては、上記の化合物と同様に従来公知の化合物、具
体的には、多官能（メタ）アクリレート［例えば、ポリ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリ
トールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリト
ールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ（メタ）アクリレート、トリス（２−アクリ
ロイルオキシエチル）イソシアヌレート等］が例示さ
れ、それらを単独であるいは混合して使用してよい。本
発明に使用される着色塗料組成物において、熱硬化性の
場合には、バインダー樹脂配合量は固形分で２〜１５重
量％、熱硬化剤は１〜５重量％であり、光硬化性の場合
には、バインダー樹脂量は、固形分で１〜１５重量％、
光重合開始剤は０.０１〜５重量％、重合可能なモノマ
ーは１〜１５重量％である。また、必要に応じて光硬化
性組成物中に熱硬化剤を０〜５重量％の範囲内で加える
ことにより、熱硬化性を付与してもよい。

【００１２】着色塗料組成物は、上記配合物以外に、顔
料、溶媒（例えば、有機溶剤、水）、および通常使用さ
れる従来公知の添加剤を適宜配合して調製される。着色
塗料組成物中の顔料濃度は、いずれの色（黒、赤、青、
緑等）の顔料においても、３〜３０重量％の範囲が好ま
しい。その他の添加剤の配合量は合わせて、着色塗料組
成物中０.０１〜５重量％であり得る。

【００１３】本発明で使用する着色塗料組成物は、好ま
しくは、塗料の安定性、耐光性、および耐薬品性等の塗
膜性能が得られ易いため、水性アクリル樹脂系塗料組成
物が用いられる。

【００１４】本発明の方法では、感光性樹脂組成物と着
色塗料組成物を、随意に組み合わせることができ、着色
塗料組成物は、顔料濃度および不揮発分などの組成を、
目的に応じて変えることができる。そのため、本発明
は、幅広い用途および目的に対応し得るカラーフィルタ
ーの製造方法であると考えられる。

【００１５】さらに、本発明の方法を、添付した図面を
参照しながらより詳細に説明する。

【００１６】図１および２は、本発明の方法によるカラ
ーフィルターの製造工程図を表している。

【００１７】図１の（Ａ）は、透明基板１上にポジ型感
光性樹脂被膜２を形成する本発明の工程（Ｉ）を図示し
ている。

【００１８】本発明の方法において用いられる透明基板
１としては、ガラス、プラスチック等のカラーフィルタ
ー用として従来公知の透明な基板が挙げられる。

【００１９】通常の方法において、上記基板を洗浄剤で
洗浄し、水洗、乾燥した後、基板の全面または一部に、
感光性樹脂被膜の乾燥膜厚が所望の着色パターン層の膜
厚になるように調製でき、好ましくは５μｍ以下、特に
０.５〜３.０μｍになるようにポジ型感光性樹脂組成物
を塗布する。基板に感光性樹脂組成物を塗布する方法
は、スピンコート法、スプレー法、フローコート法等の
いずれの方法であってもよく、適当な乾燥条件下（例え
ば、７０〜１２０℃で５〜２０分間）において、含まれ
る溶剤を蒸発させることにより、感光性樹脂被膜を形成
する。

【００２０】図１の（Ｂ）〜（Ｃ）は、第１着色パター
ン層部位に対応したパターンを有するマスク３を介し
て、感光性樹脂被膜２を露光し、次いで現像することに
より、所望のパターンに対応したポジ型感光性樹脂開口
部を設けて前記透明基板の一部を露出させる本発明の工
程（II）を示している。露光および現像条件は、使用す
る感光性樹脂組成物によって変化できる。好ましい露光
条件は、感光性樹脂組成物の感光波長域を有する光源
（例えば、超高圧水銀ランプ）を用いて露光量：５０〜
１０００ｍＪ／ｃｍ²の範囲で、従来公知の方法を適用
して行ってよい。また、好ましい現像条件は、現像液：
０.１〜３.０％有機アミン水溶液を用いて、現像条件：
１０〜４０℃、３０〜１５０秒間で、従来公知の方法
（例えば、スプレー法および／または浸漬法）により行
ってよい。

【００２１】好ましくは、現像後、２０〜１２０℃で５
〜６０分間乾燥する。

【００２２】図１の（Ｄ）は、透明基板の全面または一
部に第１着色塗料組成物を塗布し、乾燥することによ
り、第１着色塗料被膜４を形成する本発明の工程（II
I）を示している。基板に着色塗料組成物を塗布する方
法は、スピンコート法、フローコート法、ロールコート
法等のいずれの方法であってもよく、適当な乾燥条件下
（例えば、５０〜１５０℃で５〜２０分間）において、
含まれる溶剤を蒸発させることにより、着色塗料被膜を
形成する。感光性被膜上の着色塗料被膜の乾燥膜厚は、
光透過性および剥離液の浸透性の点で薄い程良く、でき
るだけ薄膜になるように塗布され、平均３μｍ以下が好
ましい。その膜厚は、塗布方法の限界塗布膜厚および膜
厚分布に左右されるため、塗料組成物の調製段階におい
て、適宜調整できる。

【００２３】図１の（Ｅ）〜（Ｆ）は、透明基板の第１
着色塗料被膜４を設けた面および／またはその反対の面
から全面露光した後、現像することにより、前記感光性
樹脂開口部にのみ所望の着色塗料被膜を残した第１着色
パターン層５を形成する本発明の工程（IＶ）を図示し
ている。この着色パターン層５は、例えば、着色塗料が
黒色の場合には、ブラックマトリックス（ＢＭ）層を表
す。ここで用いられる全面露光用光源としては、ＵＶ領
域の光を発生する光源（例えば、高圧水銀灯）が用いら
れ、基板の感光性樹脂被膜を有する面用の光源と、その
反対の面用の光源は、同一のものでなくてもよい。この
場合の全面露光量は、基板の感光性樹脂被膜を有する面
およびそれとは反対の面の両側からの露光量を合わせ
て、２００〜１０００ｍＪ／ｃｍ²の範囲が好ましい。
あるいは、全面露光は、基板の感光性樹脂被膜を有する
面のみから、２００〜１０００ｍＪ／ｃｍ²の範囲の露
光量で行ってよい。

【００２４】図１の（Ｇ）〜（Ｋ）は、上記図１の
（Ａ）〜（Ｆ）を繰り返すことによる第２着色パターン
層７の形成工程を示している。第２着色塗料被膜６およ
び第２着色パターン層７の形成条件およびその乾燥膜厚
については、上記第１着色塗料被膜４および第１着色パ
ターン層５と同様であってよい。その後、所望の着色パ
ターンが得られるまで、上記（Ａ）〜（Ｆ）の方法を必
要回数繰り返すことにより、着色パターン層８および９
それぞれを形成し、高品質の着色画素パターンを有する
カラーフィルター１０を作製する（図１（Ｌ））。各着
色パターン層の厚さはそれぞれ、第１着色パターン５と
同様に、光透過性等の観点から、３μｍ以下が好まし
い。

【００２５】この着色パターンを、最後に、従来公知の
方法で２５０℃で１時間焼成することにより、液晶表示
用カラーフィルター１０が提供される。

【００２６】図２には、本発明のもう一つの方法による
着色パターンの形成手順を示している。図２の（ａ）〜
（ｃ）は、上記図１の（Ａ）〜（Ｃ）と同様に、第１着
色パターン層部位に対応したパターンを有するマスク２
３を介して、ポジ型の感光性樹脂被膜２２を露光し、次
いで現像することにより、所望のパターンに対応した感
光性樹脂開口部を設けて前記透明基板の一部を露出させ
る本発明の工程（Ｉ）〜（II）を表している。感光性樹
脂被膜の乾燥膜厚は、好ましくは５μｍ以下、特に０.
５〜３.０μｍの範囲であってよい。

【００２７】次に、図２の（ｄ）は、第１着色塗料２４
を塗布する前に、基板２１をポジ型の感光性樹脂被膜２
２を設けた面およびそれと反対の面の両側から全面露光
する本発明の任意の工程を示している。ここで用いる全
面露光用光源としては、前記図１の（Ｅ）〜（Ｆ）にお
いて挙げたものがいずれも用ることができる。着色塗料
を塗布する前に基板を全面露光することにより、露光不
良の減少、露光時間の短縮、およびそれによるランプの
交換回数の低減等の利点が生じる。この場合の全面露光
量は、基板の感光性樹脂被膜を有する面およびそれとは
反対の面の両側からの露光量を合わせて、１００〜６０
０ｍＪ／ｃｍ²の範囲が好ましい。あるいは、全面露光
は、基板の感光性樹脂被膜を有する面のみから、１００
〜６００ｍＪ／ｃｍ²の範囲の露光量で行ってよい。

【００２８】その後、図２の（ｅ）〜（ｆ）で示される
ように、透明基板の全面または一部に第１着色塗料組成
物を塗布し、乾燥することにより、第１着色塗料被膜２
４を形成した後、現像することにより、前記感光性樹脂
開口部にのみ第１着色塗料被膜を残した第１着色パター
ン層２５を形成することができる（本発明の工程（ii
i）〜（iｖ））。この場合の着色塗料被膜の形成条件お
よび乾燥膜厚は、上記図１と同様であってよい。

【００２９】次に、図２の（ｇ）〜（ｋ）は、上記図２
の（ａ）〜（ｆ）を繰り返すことによる第２着色パター
ン層２７の形成工程を示している。第２着色塗料被膜２
６および第２着色パターン層２７の形成条件およびその
乾燥膜厚については、上記第１着色塗料被膜２４および
第１着色パターン層２５と同様であってよい。その後、
所望の着色パターンが得られるまで、上記（ａ）〜
（ｆ）の方法を必要回数繰り返すことにより、着色パタ
ーン層２８および２９それぞれを形成し、高品質の着色
画素パターンを有するカラーフィルター３０を作製する
（図２の（ｌ））。各着色パターン層の厚さはそれぞ
れ、上記図１において述べたように、３μｍ以下が好ま
しい。

【００３０】これを、最後に、図１について記載したの
と同様に、２５０℃で１時間焼成することにより、液晶
表示用カラーフィルターが提供される。

【００３１】本発明においてネガ型感光性樹脂組成物を
使用する場合には、図１の（Ｅ）および（Ｊ）、並びに
図２の（ｄ）および（ｉ）で表した全面露光を行わず、
かつ図１の（Ｆ）および（Ｋ）、並びに図２の（ｆ）お
よび（ｋ）において、透明基板上の不要の感光性樹脂被
膜と不要の着色塗料被膜を、現像する代わりに剥離剤を
用いて剥離する。その際に使用する剥離剤としては、無
機アルカリ水溶液、有機アミン水溶液、および水溶性溶
剤の混合液が挙げられる。

【００３２】

【実施例】以下に実施例を用いて本発明を説明するが、
本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

【００３３】実施例１ 本発明の方法に従って、カラーフィルターを製造した。手順（１） 洗浄したガラス基板（寸法：４００×５００×０.７ｍ
ｍ）にポジ型感光性樹脂溶液（フォトＥＤ−Ｐ−２００
０：日本ペイント製）をスピンコーターを用いて塗布
し、１００℃で１０分間乾燥してポジ型感光性樹脂被膜
を得た。接触式膜厚測定機（ＤＥＫＴＡＫ−３０３０Ｓ
Ｔ：日本真空技術製）を用いて、基板の所定の位置（１
０カ所）の該被膜の乾燥膜厚を測定した。結果は、１.
８±０.３μｍであった。

【００３４】この基板を、画素部が遮光されたマスクを
介して、露光機（ＭＡＰ−１２００Ｌ：大日本スクリー
ン製）を用い、露光量１５０ｍＪ／ｃｍ²で露光した
後、相対湿度５５％において５分間放置した。次いで、
１.０％ジメチルエタノールアミン水溶液中、２０℃で
１分間現像処理した後、洗浄し、次に１００℃で１０分
間乾燥して、所定のパターン形状に対応した開口部を設
けて基板の一部を露出させた。

【００３５】手順（２） 次に、黒色の水性樹脂塗料（エクセリードＢＫ−１３０
０：日本ペイント製）を、感光性樹脂被膜の上にスピン
コーターで塗布した後、１１０℃で１０分間乾燥して、
乾燥膜厚１.６±０.３μｍ（ただし、基板露出部の着色
塗料被膜の乾燥膜厚２.０±０.３μｍ）の被膜を得た。

【００３６】これを、上記と同様にして、基板の着色塗
料被膜を有する面およびその反対の面から合わせて露光
量４００ｍＪ／ｃｍ²で全面露光した後、１.０％ジメチ
ルエタノールアミン水溶液中、３０℃で２分間剥離処理
して、不要な感光性樹脂被膜と不要な黒色塗膜を一緒
に、完全に剥離した。水洗後、黒色パターン層を形成し
た基板を１６０℃で１０分間乾燥し、黒色の遮光パター
ン層（ブラックマトリックス層）を得た。

【００３７】手順（３） 次に、この黒色の遮光パターン層を形成した基板上に、
手順（１）と同様の感光性樹脂溶液を、手順（１）と同
様の方法で塗布、露光、および現像して、上記の黒色と
は異なる色の画素部分に対応する開口部を設けて基板の
一部を露出させた。次いで、手順（２）と同様にして、
赤色の水性樹脂塗料（エクセリードＲ−１３００：日本
ペイント製）を、基板露出部の乾燥膜厚が黒色の遮光パ
ターン層とほぼ等しくなるように、塗布し、露光および
現像した後、乾燥させて、赤色の画素パターン層を得
た。

【００３８】手順（４） その後、緑色の水性塗料（エクセリードＧ−１２００：
日本ペイント製）、次いで青色の水性塗料（エクセリー
ドＢ−１３００：日本ペイント製）を用い、手順（３）
を繰り返すことで、緑色および青色の画素パターン層を
形成した。

【００３９】手順（５） 上記で形成された黒色遮光パターン層と３色（赤色、緑
色、および青色）の画素パターン層を有する基材を、最
後に、２５０℃で１時間焼成した。

【００４０】最終的に、赤色、緑色、青色の画素パター
ン層の膜厚はそれぞれ、赤：１.２±０.２μｍ、緑：
１.３±０.１μｍ、青：１.３±０.１μｍであった。画
素周辺の黒色の遮光パターン層の膜厚は、１.１±０.１
μｍであった。この製造されたブラックマトリックス層
の光学濃度（ＯＤ値）は４.３であった。

【００４１】実施例２ 実施例１で用いた感光性樹脂組成物、並びに黒色、赤
色、緑色、および青色の着色塗料組成物を用いて、以下
の手順に従って、カラーフィルターを作製した。手順（１） 実施例１の手順（１）と同様にして、ガラス基板（寸
法：４００×５００×０.７ｍｍ）上に、所定のパター
ン形状で基板の一部に開口部を設けて基板を露出させた
ポジ型感光性樹脂被膜（乾燥膜厚１.５±０.２μｍ）を
形成した。

【００４２】手順（２） 次に、実施例１の手順（２）と同様にして、基板の表面
および裏面から合わせて露光量２５０ｍＪ／ｃｍ²で全
面露光した後、黒色の水性樹脂塗料を感光性樹脂被膜の
上にスピンコーターで塗布し、１１０℃で１０分間乾燥
することで、乾燥膜厚１.５±０.５μｍ（ただし、基板
露出部の着色塗料被膜の乾燥膜厚１.８±０.２μｍ）の
被膜を得た。

【００４３】これを、０.５％ジメチルエタノールアミ
ン水溶液中、３０℃で２分間剥離処理して、不要な感光
性樹脂被膜と不要な黒色塗膜を一緒に、完全に剥離し
た。水洗後、黒色パターン層を形成した基板を１６０℃
で１０分間乾燥し、黒色の遮光パターン層（ブラックマ
トリックス層）を得た。

【００４４】手順（３） 次に、この黒色の遮光パターン層を形成した基板上に、
上記手順（Ｉ）〜（II）を繰り返すことで、赤色、緑
色、および青色の着色塗料被膜を形成した。

【００４５】手順（４） 上記で形成された黒色遮光パターン層と３色（赤色、緑
色、および青色）の画素パターン層を有する基材を、最
後に、２５０℃で１時間焼成した。

【００４６】最終的に、赤色、緑色、青色の画素パター
ン層の膜厚はそれぞれ、赤：１.２５±０.２μｍ、緑：
１.３±０.１μｍ、青：１.２±０.２μｍであった。画
素周辺の黒色の遮光パターン層の膜厚は、１.０±０.１
μｍであった。この製造されたブラックマトリックス層
の光学濃度（ＯＤ値）は３.９であった。

【００４７】

【発明の効果】本発明の方法によれば、高感度の感光性
樹脂と顔料濃度の高い着色塗料を用いて、高精細、並び
に画素の色特性およびコントラストに優れたカラーフィ
ルターが再現性良く製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の方法においてポジ型感光性樹脂組成
物を用いた場合のカラーフィルター用着色パターン層の
製造工程図を表す断面図である。

【図２】 本発明の方法においてポジ型感光性樹脂組成
物を用いた場合のカラーフィルター用着色パターン層の
製造工程図を表す断面図である。

【符号の説明】

１…透明基板、２…感光性樹脂被膜、３…フォトマス
ク、４…第１着色塗料被膜、５…第１着色パターン層、
６…第２着色塗料被膜、７…第２着色パターン層、８…
第３着色パターン層、９…第ｘ着色パターン層、１０…
カラーフィルター、２１…基板、２２…感光性樹脂被
膜、２３…フォトマスク、２４…第１着色塗料被膜、２
５…第１着色パターン層、２６…第２着色塗料被膜、２
７…第２着色パターン層、２８…第３着色パターン層、
２９…第ｘ着色パターン層、３０…カラーフィルター。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ｉ）透明基板の一方の面の全面または
   一部に感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥することに
   より、感光性樹脂被膜を形成する工程、（II）所望の着
   色層部位に対応したパターンを有するマスクを介して、
   感光性樹脂被膜を露光し、次いで現像することにより、
   感光性樹脂被膜に所望のパターンに対応した開口部を設
   けて前記透明基板の一部を露出させる工程、（III）透
   明基板の感光性樹脂被膜を設けた面の全面または一部に
   所望の着色塗料組成物を塗布し、乾燥することにより、
   着色塗料被膜を形成する工程、および（IＶ）透明基板
   上の不要の感光性樹脂被膜と不要の着色塗料被膜を共に
   剥離または現像することにより、前記感光性樹脂被膜の
   開口部にのみ所望の着色塗料被膜を残す工程からなり、
   前記（Ｉ）〜（IＶ）の工程を必要回数繰り返すことに
   よるカラーフィルター用着色パターンの形成方法。
2. 【請求項２】 感光性樹脂溶液がポジ型感光性樹脂溶液
   である請求項１に記載のカラーフィルター用着色パター
   ンの形成方法。
3. 【請求項３】 前記工程（IＶ）の前に透明基板の着色
   塗料被膜を設けた面からおよび／または透明基板の着色
   塗料被膜を設けた面とその反対の面の両面から全面露光
   する請求項２に記載のカラーフィルター用着色パターン
   の形成方法。
4. 【請求項４】 前記工程（III）の前に透明基板の着色
   塗料被膜を設けた面からおよび／または透明基板の着色
   塗料被膜を設けた面とその反対の面の両面から全面露光
   する請求項２に記載のカラーフィルター用着色パターン
   の形成方法。