JPH1049871A

JPH1049871A - 光ディスク原盤露光装置

Info

Publication number: JPH1049871A
Application number: JP35545696A
Authority: JP
Inventors: Hideyasu Endo; 英康遠藤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1996-05-31
Filing date: 1996-12-24
Publication date: 1998-02-20

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス基板全面にわたって安定したピット位
置に精度良く情報潜像ピットを形成すること。【解決手段】本発明に係る光ディスク原盤露光装置
は、光ディスク原盤１０５上にフォトレジスト膜を形成
後、光ディスク原盤１０５を回転・横送りさせつつフォ
トレジスト膜に情報信号によって変調された露光レーザ
光を照射し、光ディスク原盤１０５上に情報潜像ピット
を形成するものであって、システムクロックを入力し、
光ディスク原盤１０５の１回転に要する時間に応じてシ
ステムクロックを分周する分周値を演算し、演算した分
周値でシステムクロックを分周して光ディスク原盤１０
５の回転を制御するＴＰＧ，光ディスク原盤１０５の横
送りを制御するＳＰＧ及び情報信号の出力を制御するＦ
ＰＧを出力するパルスジェネレータ１０１を備えてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光ディスク原盤露光
装置に関し、より詳細には、ガラス基板の回転・横送り
の駆動信号及びガラス基板上に潜像ピットとして記録さ
れる情報の出力タイミングを制御する信号を同一のシス
テムクロックを分周することによって得ることにより、
ガラス基板全面にわたり安定したピット位置で潜像ピッ
トを形成することができる光ディスク原盤露光装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の光ディスク原盤露光装置として
は、特開平３−１１３８２９号『原盤記録装置』に開示
されたものがある。この原盤記録装置は、光ディスク原
盤を回転させるモータのエンコーダ信号から回転変動信
号を検出し、記録情報信号の基準クロックを変化させる
ことにより回転変動による情報信号潜像ピットの位置ズ
レを防止するというものである。

【０００３】また、従来の光ディスク原盤露光装置とし
て、特開平２−１５６４４０号公報『光ディスク原盤記
録装置』に開示されたものがある。この光ディスク原盤
記録装置は、光ディスク原盤を回転させるモータのエン
コーダ信号を分周し、原盤１回転毎の回転同期信号を得
ることにより、情報記録信号の記録開始位置を光ディス
ク原盤の半径方向に合致させるというものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】特開平３−１１３８２
９号公報に開示された原盤記録装置においては、ある程
度の情報潜像ピットの位置ズレを防止することができ
る。しかしながら、原盤記録装置においては、一般にモ
ータの回転変動をかなり小さく抑える制御が行われてい
るため、実用上回転変動による情報信号の補正は必要で
はない。逆に、記録情報信号の基準クロックを変化させ
ることにより、回転変動による情報信号潜像ピットの位
置ズレを防止するという構成を採用することによる副作
用、即ち回転変動に追従してしまうこと及びＦ−Ｖ、Ｖ
−Ｆ変換定数の調整が困難となる等の問題が発生する虞
がある。

【０００５】また、ＭＣＡＶ（ＭｏｄｉｆｉｅｄＣｏ
ｎｓｔａｎｔＡｎｇｌｅＶｅｌｏｃｉｔｙ：準角速
度一定）、ＭＣＬＶ（ＭｏｄｉｆｉｅｄＣｏｎｓｔａ
ｎｔＬｉｎｅａｒＶｅｌｏｃｉｔｙ：準線速度一定）
方式による原盤記録においては、複数のゾーン毎に情報
信号発生器の基準クロックを変えることで情報の記録が
行われる。ところが、特開平３−１１３８２９号公報に
開示された原盤記録装置では、基準クロックを可変にし
て情報潜像ピットの位置ズレを防止する構成であるた
め、上記ＭＣＡＶ及びＭＣＬＶ方式を用いて原盤露光を
行うことは困難である。

【０００６】一方、特開平２−１５６４４０号公報に開
示された光ディスク原盤記録装置においては、光ディス
ク原盤の半径方向に情報記録信号の記録開始位置を合致
させることは可能であるが、光ディスク原盤の回転変動
はいずれかのセクタによって吸収されることになるた
め、１トラック中でセクタ長の変動が発生するという問
題がある。また、光ディスク原盤を回転させるモータの
エンコーダ信号を分周して原盤１回転毎の回転同期信号
を得ることにより、情報記録信号の記録開始位置を光デ
ィスク原盤の半径方向に合致させることは可能である
が、原盤記録装置においては、一般にモータの回転変動
をかなり小さく抑える制御が行われているため、実用上
回転変動による情報信号の補正は必要ではない。逆に、
前記特開平３−１１３８２９号公報の原盤記録装置と同
様に特開平２−１５６４４０号公報に開示された構成を
採用することによる副作用、即ち回転変動に追従してし
まうこと及びＦ−Ｖ、Ｖ−Ｆ変換定数の調整が困難とな
る等の問題が発生する虞がある。

【０００７】本発明は上記に鑑みてなされたものであっ
て、ガラス基板全面にわたって安定したピット位置に精
度良く情報潜像ピットを形成することを可能とすること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の光ディスク原盤露光装置は、ガラス基板
上にフォトレジスト膜を形成後、前記ガラス基板を回転
・横送りさせつつ前記フォトレジスト膜に情報信号によ
って変調された露光レーザ光を照射し、前記ガラス基板
上に情報潜像ピットを形成する光ディスク原盤露光装置
において、システムクロックを入力し、前記ガラス基板
Ｎ回転（Ｎは整数）に応じて前記システムクロックを分
周する分周値を演算し、演算した分周値で前記システム
クロックを分周して、前記ガラス基板の回転を制御する
第１のパルス，前記ガラス基板の横送りを制御する第２
のパルス及び前記情報信号の出力を制御する第３のパル
スを出力するパルス発生手段と、前記第１のパルスに基
づいて、前記ガラス基板を回転させる回転手段と、前記
第２のパルスに基づいて、前記ガラス基板を横送りさせ
る横送り手段と、前記第３のパルスに基づいて、前記情
報潜像ピットとしてガラス基板上に記録される前記情報
信号を出力する情報信号発生手段と、前記ガラス基板上
に照射する前記露光レーザ光を出力するレーザ光出力手
段と、前記情報信号に基づいて前記露光レーザ光を変調
し、変調した前記露光レーザ光を前記ガラス基板上に照
射する情報潜像ピット形成手段と、を備えるものであ
る。

【０００９】また、請求項２の光ディスク原盤露光装置
は、ガラス基板上にフォトレジスト膜を形成後、前記ガ
ラス基板を回転・横送りさせつつ前記フォトレジスト膜
に情報信号によって変調された露光レーザ光を照射し、
前記ガラス基板上に情報潜像ピットを形成する光ディス
ク原盤露光装置において、システムクロックを入力し、
前記ガラス基板の１／Ｎ回転（Ｎは整数）に応じて前記
システムクロックを分周する分周値を演算し、演算した
分周値で前記システムクロックを分周して、前記ガラス
基板の回転を制御する第１のパルス，前記ガラス基板の
横送りを制御する第２のパルス及び前記情報信号の出力
を制御する第３のパルスを出力するパルス発生手段と、
前記第１のパルスに基づいて、前記ガラス基板を回転さ
せる回転手段と、前記第２のパルスに基づいて、前記ガ
ラス基板を横送りさせる横送り手段と、前記第３のパル
スに基づいて、前記情報潜像ピットとしてガラス基板上
に記録される前記情報信号を出力する情報信号発生手段
と、前記ガラス基板上に照射する前記露光レーザ光を出
力するレーザ光出力手段と、前記情報信号に基づいて前
記露光レーザ光を変調し、変調した前記露光レーザ光を
前記ガラス基板上に照射する情報潜像ピット形成手段
と、を備えるものである。

【００１０】また、請求項３の光ディスク原盤露光装置
は、ガラス基板上にフォトレジスト膜を形成後、前記ガ
ラス基板を回転・横送りさせつつ前記フォトレジスト膜
に情報信号によって変調された露光レーザ光を照射し、
前記ガラス基板上に情報潜像ピットを形成する光ディス
ク原盤露光装置において、システムクロックを入力し、
前記ガラス基板の１回転に要する時間に応じて前記シス
テムクロックを分周する分周値を演算し、演算した分周
値で前記システムクロックを分周して、前記ガラス基板
の回転を制御する第１のパルス，前記ガラス基板の横送
りを制御する第２のパルス及び前記情報信号の出力を制
御する第３のパルスを出力するパルス発生手段と、前記
第１のパルスに基づいて、前記ガラス基板を回転させる
回転手段と、前記第２のパルスに基づいて、前記ガラス
基板を横送りさせる横送り手段と、前記第３のパルスに
基づいて、前記情報潜像ピットとしてガラス基板上に記
録される前記情報信号を出力する情報信号発生手段と、
前記ガラス基板上に照射する前記露光レーザ光を出力す
るレーザ光出力手段と、前記情報信号に基づいて前記露
光レーザ光を変調し、変調した前記露光レーザ光を前記
ガラス基板上に照射する情報潜像ピット形成手段と、を
備えるものである。

【００１１】また、請求項４の光ディスク原盤露光装置
は、請求項１〜３のいずれか一つに記載の光ディスク原
盤露光装置において、前記パルス発生手段が、前記第１
〜第３のパルスを得るための分周値をそれぞれ演算する
演算制御手段と、前記分周値に基づいて前記システムク
ロックを分周し、前記第１のパルスを出力する第１の分
周手段と、前記分周値に基づいて前記システムクロック
を分周し、前記第２のパルスを出力する第２の分周手段
と、前記分周値に基づいて前記システムクロックを分周
し、前記第３のパルスを出力する第３の分周手段と、を
備えるものである。

【００１２】また、請求項５の光ディスク原盤露光装置
は、請求項４記載の光ディスク原盤露光装置において、
前記演算制御手段が、前記第１のパルスが出力される毎
に、前記第１のパルスを得るための分周値に含まれる小
数部を加算し、加算値が１を超えた場合に桁上がり信号
を出力すると共に、前記桁上がり信号と前記分周値の整
数部とを加算して、前記第１のパルスを得るための分周
値として出力するものである。

【００１３】また、請求項６の光ディスク原盤露光装置
は、請求項４記載の光ディスク原盤露光装置において、
前記演算制御手段が、前記第２のパルスが出力される毎
に、前記第２のパルスを得るための分周値に含まれる小
数部を加算し、加算値が１を超えた場合に桁上がり信号
を出力すると共に、前記桁上がり信号と前記分周値の整
数部とを加算して、前記第２のパルスを得るための分周
値として出力するものである。

【００１４】また、請求項７の光ディスク原盤露光装置
は、請求項４記載の光ディスク原盤露光装置において、
前記演算制御手段が、前記第３のパルスが出力される毎
に、前記第３のパルスを得るための分周値に含まれる小
数部を加算し、加算値が１を超えた場合に桁上がり信号
を出力すると共に、前記桁上がり信号と前記分周値の整
数部とを加算して、前記第３のパルスを得るための分周
値として出力するものである。

【００１５】また、請求項８の光ディスク原盤露光装置
は、請求項４記載の光ディスク原盤露光装置において、
前記演算制御手段が、前記第３のパルスを入力し、分周
値として前記ガラス基板の１トラックに記録される情報
量を用いて、前記第３のパルスを分周することにより、
前記第３のパルスが１トラック分出力されたことを検知
するものである。

【００１６】また、請求項９の光ディスク原盤露光装置
は、請求項１〜３のいずれか一つに記載の光ディスク原
盤露光装置において、前記パルス発生手段が、前記ガラ
ス基板の１回転に要する時間を前記ガラス基板の半径に
比例させて数段階に変化させる場合に、前記ガラス基板
の１回転に要する時間の変化に応じて前記ガラス基板の
回転を制御する第１のパルスの周波数と前記ガラス基板
の横送りを制御する第２のパルスの周波数とを変化させ
るものである。

【００１７】また、請求項１０の光ディスク原盤露光装
置は、請求項１〜３のいずれか一つに記載の光ディスク
原盤露光装置において、前記パルス発生手段が、前記ガ
ラス基板の１回転に要する時間を前記ガラス基板の１回
転毎の半径位置に比例させて変化させる場合に、前記第
１のパルス及び前記第２のパルスの周波数を変化させて
前記ガラス基板の１回転に要する時間内に出力される前
記第１及び第２のパルス数を一定数とし、かつ前記第３
のパルスの周波数を変化させて前記ガラス基板の１回転
に要する時間内に出力される前記第３のパルス数を一定
数とするものである。

【００１８】また、請求項１１の光ディスク原盤露光装
置は、請求項１０記載の光ディスク原盤露光装置におい
て、前記パルス発生手段が、前記第３のパルスの周波数
を変化させ、前記ガラス基板の１回転当たりに出力され
る第３のパルス数を数段階に分けて増加させるものであ
る。

【００１９】また、請求項１２の光ディスク原盤露光装
置は、請求項１１記載の光ディスク原盤露光装置におい
て、前記回転制御手段が、前記第１のパルスに同期して
前記ガラス基板を回転させ、前記横送り手段が、前記第
２のパルスに同期して前記ガラス基板を横送りさせるも
のである。

【００２０】また、請求項１３の光ディスク原盤露光装
置は、請求項１２記載の光ディスク原盤露光装置におい
て、前記情報潜像ピット形成手段で前記ガラス基板上に
照射される露光レーザ光の光量が、前記ガラス基板上の
露光領域全面にわたって一定であるものである。

【００２１】さらに、請求項１４の光ディスク原盤露光
装置は、請求項１１記載の光ディスク原盤露光装置にお
いて、前記パルス発生手段が、前記第３のパルス数を増
加させる際に、２４段階に分けて前記第３のパルス数を
増加させると共に、各段階で４３１５２パルスづつ増加
させるものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の光ディスク原盤露
光装置の実施の形態について、〔実施の形態１〕，〔実
施の形態２〕，〔実施の形態３〕，〔実施の形態４〕，
〔実施の形態５〕，〔実施の形態６〕の順で図面を参照
しつつ詳細に説明する。

【００２３】〔実施の形態１〕図１は、実施の形態１の
光ディスク原盤露光装置のブロック構成図である。図１
に示す光ディスク原盤露光装置は、光ディスク原盤１０
５上にフォトレジスト膜を形成後、光ディスク原盤１０
５を回転・横送りさせつつフォトレジスト膜に情報信号
によって変調された露光レーザ光を照射し、光ディスク
原盤１０５上に情報潜像ピットを形成するものであっ
て、ホストコンピュータ１００の制御の下、システムク
ロックを入力し、光ディスク原盤１０５のＮ回転または
１／Ｎ回転（Ｎは整数）に応じてシステムクロックを分
周する分周値を演算し、演算した分周値でシステムクロ
ックを分周して光ディスク原盤１０５の回転を制御する
回転指令パルス（ＴＰＧ：請求項１および２記載の第１
のパルスに該当する）、光ディスク原盤１０５の横送り
を制御する横送り指令パルス（ＳＰＧ：請求項１および
２記載の第２のパルスに該当する）及び情報信号の出力
を制御する基準パルス（ＦＰＧ：請求項１および２記載
の第３のパルスに該当する）を出力するパルスジェネレ
ータ（ＰＧ）１０１（請求項１および２記載のパルス発
生手段に該当する）と、ＴＰＧに基づいて、光ディスク
原盤１０５を回転させるスピンドルモータコントローラ
１０２，スピンドルモータ（Ｍ１）１０３及びターンテ
ーブル１０４（請求項１および２記載の回転手段に該当
する）と、ＳＰＧに基づいて、光ディスク原盤１０５を
横送りさせる横送りモータコントローラ１０６，横送り
モータ（Ｍ２）１０７及び横送りステージ１０８（請求
項１および２記載の横送り手段に該当する）と、ＦＰＧ
に基づいて、情報潜像ピットとして光ディスク原盤１０
５上に記録される情報信号を出力する情報信号発生器
（フォーマットジェネレータ：ＦＧ）１０９（請求項１
および２記載の情報信号発生手段に該当する）と、光デ
ィスク原盤１０５上に照射する露光レーザ光を出力する
Ａｒレーザ１１２（請求項１および２記載のレーザ光出
力手段に該当する）と、ホストコンピュータ１００の制
御に基づいて露光レーザ光の光量を制御する光量用光変
調器１１５および光量用変調器ドライバ１１６，情報信
号に基づいて露光レーザ光を変調し、変調した露光レー
ザ光を光ディスク原盤１０５上に照射する信号用光変調
器１１１および信号用変調器ドライバ１１０並びに変調
された露光レーザ光を集光する対物レンズ１１４（請求
項１および２記載の情報潜像ピット形成手段に該当す
る）と、を有している。なお、図１において、１１３は
露光レーザ光を反射し、光路を変更するためのミラーを
示している。

【００２４】次に、上記光ディスク原盤露光装置を構成
する各部の構成および動作を詳細に説明する。

【００２５】光ディスク原盤１０５は、ガラス板上に光
感光性フォトレジストが塗布されて形成される。そし
て、この光ディスク原盤１０５は、真空吸着によってタ
ーンテーブル１０４上に確実に固定される。

【００２６】スピンドルモータコントローラ１０２は、
回転指令パルス（ＴＰＧ）に同期したＰＬＬ制御に基づ
き、スピンドルモータ（Ｍ１）１０３を駆動して光ディ
スク原盤１０５が載置されたターンテーブル１０４を回
転させる。スピンドルモータ（Ｍ１）１０３には、エン
コーダ（Ｅ：ロータリーエンコーダ）１１７が設けられ
ており、エンコーダ１１７の出力信号をスピンドルモー
タコントローラ１０２にフィードバックすることによ
り、上記ＰＬＬ制御を実現することができる。

【００２７】ターンテーブル１０４およびスピンドルモ
ータ１０３は、横送りステージ１０８上に載置されてい
る。横送りモータコントローラ１０６は、横送り指令パ
ルス（ＳＰＧ）に同期したＰＬＬ制御に基づき、横送り
モータ（Ｍ２）１０７を駆動して横送りステージ１０８
を横送りする。その結果、スピンドルモータ１０３で回
転駆動されているターンテーブル１０４を横送りするこ
とができる。なお、横送りモータ１０７には、エンコー
ダ（Ｅ：ロータリーエンコーダ）１１８が設けられてお
り、エンコーダ１１８の出力信号を横送りモータコント
ローラ１０６にフィードバックすることにより、上記Ｐ
ＬＬ制御を実現することができる。また、エンコーダ１
１８を横送りモータ１０７に設けるのではなく、横送り
ステージ１０８にリニアエンコーダ（図示せず）を設
け、このリニアエンコーダの出力信号を横送りモータコ
ントローラ１０６にフィードバックすることによって
も、上記ＰＬＬ制御を実現することができる。

【００２８】パルスジェネレータ（ＰＧ）１０１は、ホ
ストコンピュータ１００の制御の下、上述したターンテ
ーブル１０４の回転および横送りを制御する回転指令パ
ルス（ＴＰＧ）及び横送り指令パルス（ＳＰＧ）を発生
する。このパルスジェネレータ１０１は、任意の周波数
の信号を同期させて発生させることができる。

【００２９】例えばＣＡＶ（ＣｏｎｓｔａｎｔＡｎｇ
ｌｅＶｅｌｏｃｉｔｙ：ターンテーブル１０４の回転
角速度一定及び横送り一定）方式でターンテーブル１０
４を駆動する場合、ターンテーブル１０４の角速度及び
横送り速度に応じて一定の周波数となるＴＰＧとＳＰＧ
とを同期させて発生することができる。

【００３０】また、ＣＬＶ（ＣｏｎｓｔａｎｔＬｉｎ
ｅａｒＶｅｌｏｃｉｔｙ：ターンテーブル１０４の回
転角速度可変及び横送り可変）方式でターンテーブル１
０４を駆動する場合、レーザスポットが光ディスク原盤
１０５上に当たる点の線速が一定になるように、可変な
周波数のＴＰＧとＳＰＧとを同期して発生することがで
きる。

【００３１】Ａｒレーザ１１２は、露光レーザ光を出力
し、出力されたレーザ光は対物レンズ１１４で極微少に
絞られ、そのレーザスポットが光ディスク原盤１０５上
に照射される。そして、光ディスク原盤１０５上には、
レーザスポットの照射の有無によって潜像ピットが形成
される。

【００３２】上記光ディスク原盤１０５上の潜像ピット
は、光量用光変調器１１５と信号用光変調器１１１と
で、露光レーザ光の照射を制御することによって形成さ
れる。光量用光変調器１１５は、光ディスク原盤１０５
に照射される露光レーザ光の光量を制御するものであ
る。光量用変調器ドライバ１１６は、ホストコンピュー
タ１００から出力された指令信号を入力し、光量用光変
調器１１５を制御して、指令信号の電圧に比例した光量
の露光レーザ光を出力させる。例えば、レーザスポット
が光ディスク原盤１０５上に当たる点の線速が一定にな
るように、ターンテーブル１０４をＣＬＶ駆動した場
合、光ディスク原盤１０５上に照射される露光レーザ光
の光量は、光ディスク原盤１０５全面にわたって一定と
なる。すなわち、ホストコンピュータ１００が、一定電
圧の指令信号を出力することにより、光ディスク原盤１
０５上に照射される露光レーザ光の光量は、光ディスク
原盤１０５全面にわたって一定のレベルとすることがで
きる。

【００３３】一方、信号用光変調器１１１は、Ａｒレー
ザ１１２から出力されたレーザ光をオン・オフさせるも
のである。情報信号発生器１０９は、パルスジェネレー
タ１０１から出力された基準パルス（ＦＰＧ）を入力
し、ＦＰＧに同期して信号用変調器ドライバ１１０を制
御し、信号用光変調器１１１に露光レーザ光をオン・オ
フさせる。

【００３４】上述したようにして潜像ピットが形成され
た光ディスク原盤１０５は、現像され、電鋳工程を経
て、光ディスク原盤１０５から成形により光ディスクを
作る金型（スタンパ）が作られる。光ディスク原盤１０
５上に形成される潜像ピットは、スタンパから成形され
る光ディスク上のピットやグルーブに相当する。

【００３５】次に、回転指令パルス（ＴＰＧ）・横送り
指令パルス（ＳＰＧ）・基準パルス（ＦＰＧ）を出力す
るパルスジェネレータ１０１について、さらに詳細に説
明する。

【００３６】対物レンズ１１４で絞られたレーザスポッ
トの位置を基準にして、光ディスク原盤１０５をトラッ
クピッチＴＰでスパイラル状に例えばＮ回転（１／Ｎ回
転）させるために必要なＴＰＧのパルス数はＫ１×Ｎ、
ＳＰＧのパルス数はＫ２×Ｎとされる。

【００３７】光ディスクのＮトラック当たりに記録され
る情報量は予めわかっている。この情報量はチャンネル
ビット（ｃｂ）数（Ｎトラック当たりに出力されるＦＰ
Ｇのクロック数と考えても良い）といい、Ｋ３×Ｎと表
される。

【００３８】必要なＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧの周波数
は、それぞれＫ１×ＲＯＴ（ｒｐｓ），Ｋ２×ＲＯＴ
（ｒｐｓ）およびＫ３×ＲＯＴ（ｒｐｓ）となる。これ
らは全て同一のシステムクロックを分周することで得る
ことができる。なお、ＲＯＴは、ターンテーブル１０４
の回転数である。

【００３９】ここで、パルスジェネレータ１０１でシス
テムクロックを分周し、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧを得る
方法を説明する。

【００４０】図２は、実施の形態１の光ディスク原盤露
光装置に使用されるパルスジェネレータ１０１の概略構
成を示すブロック構成図である。パルスジェネレータ１
０１は、外部のシステムクロック発生器２０３から出力
されたシステムクロックを入力し、システムクロックを
分周してＦＰＧを出力する第１の分周器２００と、シス
テムクロックを分周してＴＰＧを出力する第２の分周器
２０１と、システムクロックを分周してＳＰＧを出力す
る第３の分周器２０２とから構成されている。

【００４１】パルスジェネレータ１０１において使用す
るシステムクロックを２００ＭＨｚとし、ＴＰＧの分周
値をＮｔ，ＳＰＧの分周値をＮｓ，ＦＰＧの分周値をＮ
ｆとすると、Ｎｔ＝ＲＯＴ×２００００００００／Ｋ１Ｎｓ＝ＲＯＴ×２００００００００／Ｋ２Ｎｆ＝ＲＯＴ×２００００００００／Ｋ３となる。

【００４２】図２に示す各分周器２００〜２０２は、上
記のようにして求めた分周値を用いてシステムクロック
を分周し、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧを出力する。

【００４３】また、分周値に小数部が含まれる場合の処
理を説明する。図３は、パルスジェネレータ１０１にお
いて、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧのそれぞれの分周値に小
数部が含まれる場合の処理を説明するための説明図であ
る。ただし、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧのそれぞれにおい
て、分周値に小数部が含まれる場合の処理は同様である
ため、説明の便宜上、図３ではＦＰＧの場合を例として
説明することにする。

【００４４】分周値（ＦＰＧ）の整数部をＮ０，小数部
をＮ１とする。Ｎ０でシステムクロックの分周を繰り返
し行うと、真の分周値（Ｎｆ）との差が累積することに
なる。そこで、分周器２００で分周した後のパルスＰｎ
をＭＰＵ２００（請求項４記載の演算制御手段に該当す
る）に帰還し、パルスＰｎが発生する毎にＮ１を加算す
る。Ｎ１を加算した値をＳＮ１とする。ＭＰＵ３００
は、Ｎ１を順次加算していった結果、ＳＮ１が”１”を
超えた場合に、桁上がり信号としてのＰ１信号を出力す
る。すなわち、Ｐ１信号は通常”０”であるが、ＳＮ１
が”１”を超えた場合に”１”となる。続いてＰ１信号
はＮ０と加算器３０１で加算され、分周器２００におい
て、分周値Ｎ０＋１でシステムクロックの分周が行われ
る。このときＭＰＵ３００では、ＳＮ１にＮ０−１を加
えて差の累積を減じておく。なお、ＳＮ１が１以下であ
る場合には、分周値は整数部であるＮ０である。この処
理を繰り返し行うことで真の分周値による分周に近い分
周処理を行うことができる。

【００４５】なお、図３においてＤＴＰは、分周器２０
０によって分周された後のパルスＰｎを分周器３０２で
分周し、トラックパルスＴＰを得るためのデータであ
る。ＦＰＧの場合、ＤＴＰとしてｃｂをセットする。Ｔ
Ｐを監視することで１トラック分のパルスが出力された
ことを検知することができる。

【００４６】前述した処理は、ターンテーブル１０４が
Ｎ回転（１／Ｎ回転）に要する時間で完結する。ＣＡＶ
方式の場合であって、次にターンテーブル１０４がＮ回
転に要する時間に変化のない場合には、現在行われてい
る処理を継続する。一方、ＣＬＶ方式の場合、ＣＬＶ駆
動データである線速Ｖ（ｍ／ｓ）、駆動開始位置Ｒ０
（ｍｍ）、トラックピッチＰＴ（μｍ）を与えると、タ
ーンテーブル１０４がＮ回転するために要する時間Ｔ
は、Ｔ＝２×π×Ｒ０×１０００×Ｎ／（Ｖ×１０００００
０）となる。Ｒ０にはＮ回転毎にトラックピッチＰＴ×Ｎが
加算されるため、ターンテーブル１０４がＮ回転するに
要する時間Ｔが変化する。ＣＬＶ方式のようにターンテ
ーブル１０４の１回転に要する時間がトラック毎に変化
する場合には、その都度分周値を更新する。

【００４７】このように、実施の形態１の光ディスク原
盤露光装置によれば、光ディスク原盤１０５の回転・横
送りの駆動信号（ＴＰＧ・ＳＰＧ）および情報信号発生
器１０９の基準パルス（ＦＰＧ）を同一のシステムクロ
ックを分周することによって得て、かつ光ディスク原盤
１０５Ｎ回転（１／Ｎ回転）当たりの時間を基準にそれ
ぞれの分周値を求め、分周誤差が累積しないように分周
値を適宜変えてＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧを発生させる
（分周値に含まれる小数部の処理）ため、光ディスク原
盤１０５全面にわたり、安定したピット位置精度を得る
ことができる。

【００４８】〔実施の形態２〕図４は、本発明の実施の
形態２に係る光ディスク原盤露光装置のブロック構成図
である。図２に示す光ディスク原盤露光装置は、光ディ
スク原盤１０５上にフォトレジスト膜を形成後、光ディ
スク原盤１０５を回転・横送りさせつつフォトレジスト
膜に情報信号によって変調された露光レーザ光を照射
し、情報潜像ピットを形成するものであって、システム
クロックを入力し、光ディスク原盤１０５の１回転に要
する時間に応じてシステムクロックを分周する分周値を
演算し、演算した分周値でシステムクロックを分周して
光ディスク原盤１０５の回転を制御する回転指令パルス
（ＴＰＧ：請求項３記載の第１のパルスに該当する）、
光ディスク原盤１０５の横送りを制御する横送り指令パ
ルス（ＳＰＧ：請求項３記載の第２のパルスに該当す
る）及び情報信号の出力を制御する基準パルス（ＦＰ
Ｇ：請求項３記載の第３のパルスに該当する）を出力す
るパルスジェネレータ（ＰＧ）１０１（請求項３記載の
パルス発生手段に該当する）と、ＴＰＧに基づいて光デ
ィスク原盤１０５を回転させるスピンドルモータコント
ローラ１０２（請求項３記載の回転手段に該当する）、
スピンドルモータコントローラ１０２によって駆動され
るスピンドルモータ１０３及びスピンドルモータ１０３
によって駆動されるターンテーブル１０４（請求項３記
載の回転手段に該当する）と、ＳＰＧに基づいて光ディ
スク原盤１０５を横送りさせる横送りモータコントロー
ラ１０６、横送りモータコントローラ１０６によって駆
動される横送りモータ１０７及び横送りモータ１０７に
よって駆動され光ディスク原盤１０５を横送りさせる横
送りステージ１０８（請求項３記載の横送り手段に該当
する）と、ＦＰＧに基づいて、情報潜像ピットとして光
ディスク原盤１０５上に記録される情報信号を出力する
情報信号発生器（フォーマットジェネレータ：ＦＧ）１
０９（請求項３記載の情報信号発生手段に該当する）
と、光ディスク原盤１０５上に照射する露光レーザ光を
出力するＡｒレーザ１１２（請求項３記載のレーザ光出
力手段に該当する）と、情報信号に基づいて露光レーザ
光を変調し、変調した露光レーザ光を光ディスク原盤１
０５上に照射する光変調器４０１，光変調器４０１を駆
動する変調器ドライバ４００及び変調された露光レーザ
光を集光する対物レンズ１１４（請求項３記載の情報潜
像ピット形成手段に該当する）と、を備えている。な
お、図４において、１１３は露光レーザ光を反射し、光
路を変更するためのミラーである。

【００４９】次に、上記光ディスク原盤露光装置を構成
する各部の構成および動作を詳細に説明する。

【００５０】光ディスク原盤１０５は、ガラス板上に光
感光性フォトレジストが塗布されて形成される。そし
て、この光ディスク原盤１０５は、真空吸着によってタ
ーンテーブル１０４上に確実に固定される。

【００５１】スピンドルモータコントローラ１０２は、
回転指令パルス（ＴＰＧ）に同期したＰＬＬ制御に基づ
き、スピンドルモータ（Ｍ１）１０３を駆動して光ディ
スク原盤１０５が載置されたターンテーブル１０４を回
転させる。また、ターンテーブル１０４およびスピンド
ルモータ１０３は、横送りステージ１０８上に載置され
ている。横送りモータコントローラ１０６は、横送り指
令パルス（ＳＰＧ）に同期したＰＬＬ制御に基づき、横
送りモータ（Ｍ２）１０７を駆動して横送りステージ１
０８を横送りする。その結果、スピンドルモータ１０３
で回転駆動されているターンテーブル１０４を横送りす
ることができる。

【００５２】パルスジェネレータ（ＰＧ）１０１は、ホ
ストコンピュータ１００の制御の下、上述したターンテ
ーブル１０４の回転および横送りを制御する回転指令パ
ルス（ＴＰＧ）及び横送り指令パルス（ＳＰＧ）を発生
する。このパルスジェネレータ１０１は、任意の周波数
の信号を同期させて発生させることができる。

【００５３】例えばＣＡＶ（ＣｏｎｓｔａｎｔＡｎｇ
ｌｅＶｅｌｏｃｉｔｙ：ターンテーブル１０４の回転
角速度一定及び横送り一定）方式でターンテーブル１０
４を駆動する場合、ターンテーブル１０４の角速度及び
横送り速度に応じて一定の周波数となるＴＰＧとＳＰＧ
とを同期させて発生することができる。

【００５４】また、ＣＬＶ（ＣｏｎｓｔａｎｔＬｉｎ
ｅａｒＶｅｌｏｃｉｔｙ：ターンテーブル１０４の回
転角速度可変及び横送り可変）方式でターンテーブル１
０４を駆動する場合、レーザスポットが光ディスク原盤
１０５上に当たる点の線速が一定になるように、可変な
周波数のＴＰＧとＳＰＧとを同期して発生することがで
きる。

【００５５】Ａｒレーザ１１２は、露光レーザ光を出力
し、出力されたレーザ光は対物レンズ１１４で極微少に
絞られ、そのレーザスポットが光ディスク原盤１０５上
に照射される。そして、光ディスク原盤１０５上には、
レーザスポットの照射の有無によって潜像ピットが形成
される。

【００５６】光変調器１１１は、潜像ピットを形成する
ため、Ａｒレーザ１１２と対物レンズ１１４との間に設
けられている。この光変調器１１１は、Ａｒレーザ１１
２から出力されたレーザ光をオン・オフさせる機能を有
し、情報信号発生器（ＦＧ）１０９からのパルス信号と
変調器ドライバ１１０とによって制御される。情報信号
発生器１０９は、前述したパルスジェネレータ１０１か
ら出力される基準信号（ＦＰＧ）に同期して動作する。

【００５７】上述したようにして潜像ピットが形成され
た光ディスク原盤１０５は、現像され、電鋳工程を経
て、光ディスク原盤１０５から成形により光ディスクを
作る金型（スタンパ）が作られる。光ディスク原盤１０
５上に形成される潜像ピットは、スタンパから成形され
る光ディスク上のピットやグルーブに相当する。

【００５８】次に、回転指令パルス（ＴＰＧ）・横送り
指令パルス（ＳＰＧ）・基準パルス（ＦＰＧ）を出力す
るパルスジェネレータ１０１について、さらに詳細に説
明する。

【００５９】対物レンズ１１４で絞られたレーザスポッ
トの位置を基準にしてトラックピッチ１．６μｍでスパ
イラル状に光ディスク原盤１０５を１回転させるために
必要なＴＰＧのパルス数は４０００、ＳＰＧのパルス数
は２００とされる。

【００６０】ターンテーブル１０４をＣＡＶ方式によっ
て駆動する場合において、回転数をＲＯＴ（ｒｐｍ），
トラックピッチ１．６μｍとすると、ターンテーブル１
０４の１回転の時間Ｔ，ＴＰＧの周波数ＴＰ，ＳＰＧの
周波数ＳＰはそれぞれ、Ｔ＝６０／ＲＯＴＴＰ＝４０００／Ｔ＝４０００×ＲＯＴ／６０ＳＰ＝２００×ＲＯＴ／６０となる。

【００６１】例えば回転数ＲＯＴを３００ｒｐｍ（５ｒ
ｐｓ：ターンテーブル１０４の１回転に要する時間は
０．２ｓｅｃ），トラックピッチ１．６μｍとすると、
ＴＰＧの周波数ＴＰは２００００Ｈｚ，ＳＰＧの周波数
ＳＰは１０００Ｈｚとなる。このような周波数を持つＴ
ＰＧ・ＳＰＧによって、光ディスク原盤１０５の回転・
横送りが制御される。

【００６２】ＴＰＧ・ＳＰＧに基づいて光ディスク原盤
１０５を回転・横送りさせた状態で、情報信号発生器１
０９からの出力信号により、光ディスク原盤１０５上に
潜像ピットが形成される。光ディスクの１トラック当た
りに記録可能な情報量は予めわかっている。情報量はチ
ャンネルビット（ｃｂ）数で表され、例えば３．５イン
チ光ディスクのｃｂ数は２９００００ｃｂである。な
お、ｃｂ数は１トラック当たりにパルスジェネレータ１
０１から出力される基準パルス（ＦＰＧ）のクロック数
と等価である。したがって、ＦＰＧの周波数ＦＰは、Ｆ
Ｐ＝２９００００・ＲＯＴ／６０であり、上記例と同様
に、回転数ＲＯＴを３００ｒｐｍとした場合、ＦＰＧの
周波数は１４５００００Ｈｚとなる。このようにパルス
ジェネレータ１０１からは１４５００００Ｈｚの一定の
周波数のＦＰＧが出力される。

【００６３】前述したＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧは、パル
スジェネレータ１０１において全て同一のシステムクロ
ックを分周することによって得ることができる。ただ
し、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧを得るためのパルスジェネ
レータ１０１の構成は、図２に示す通りであるため、こ
こではその構成の説明を省略する。

【００６４】パルスジェネレータ１０１において使用す
るシステムクロックを２００ＭＨｚとし、ＦＰＧの分周
値をＮｆ，ＴＰＧの分周値をＮｔ，ＳＰＧの分周値をＮ
ｓとすると、Ｎｆ＝２００００００００／ＦＰＮｔ＝２００００００００／ＴＰＮｓ＝２００００００００／ＳＰとなる。

【００６５】上記例の場合は、ＴＰ＝２００００Ｈｚ，
ＳＰ＝１０００Ｈｚ，ＦＰ＝１４５００００Ｈｚである
ため、Ｎｆ＝１３７．９３１０・・・Ｎｔ＝１００００Ｎｓ＝２０００００となる。

【００６６】図２に示す各分周器２００〜２０２は、上
記のようにして求めた分周値を用いてシステムクロック
を分周し、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧを出力する。

【００６７】ここで、分周値に小数部が含まれる場合に
ついて説明する。図５は、パルスジェネレータ１０１に
おいて、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧのそれぞれの分周値に
小数部が含まれる場合の処理を説明するための説明図で
ある。ただし、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧのそれぞれにお
いて、分周値に小数部が含まれる場合の処理は同様であ
るため、説明の便宜上、図５ではＦＰＧの場合を例とし
て説明することにする。

【００６８】例えばＦＰＧの分周値が１６．１０２２９
８・・・のときの整数部をＮｆ、小数部をＥＮｆとす
る。分周器２００において、Ｎｆでシステムクロックの
分周を繰り返してＦＰＧを出力すると、真の分周値との
差が累積することになる。そこで分周器２００で分周さ
れた後のパルスＰｎをＭＰＵ３００（請求項４記載の演
算制御手段に該当する）に帰還し、パルスＰｎが発生す
る毎にＥＮｆを加算し、それをＳＥＮｆとする。そして
ＳＥＮｆが”１”を超えた場合に、ＭＰＵ３００から桁
上がり信号としてのＰ１信号が出力される。すなわち、
Ｐ１信号は通常”０”であるが、ＳＥＮｆが”１”を超
えた場合に”１”となる。続いてＰ１信号は、加算器５
０１でＮｆと加算され、分周器２００において、分周値
Ｎｆ＋１でシステムクロックの分周が行われる。このと
きＭＰＵ３００では、ＳＥＮｆにＥＮｆ−１を加えて差
の累積を減じておく。なお、ＳＥＮｆが”１”以下であ
る場合には分周値は整数部であるＮｆである。この処理
を繰り返し行うことで真の分周値による分周に近い分周
処理を行うことができる。

【００６９】なお、図５においてＤＴＰは、分周器２０
０によって分周された後のパルスＰｎを分周器５０２で
分周し、トラックパルスＴＰを得るためのデータであ
る。ＦＰＧの場合、ＤＴＰとしてｃｂをセットする。Ｔ
Ｐを監視することで１トラック分のパルスが出力された
こと検知することができる。

【００７０】前述した処理は、ターンテーブル１０４が
１回転するために要する時間で完結する。ＣＡＶ方式の
場合、次のトラックのターンテーブル１０４の１回転に
要する時間に変化がないため、現在行われている処理を
継続する。一方、ＣＬＶ方式の場合、ＣＬＶ駆動データ
である線速Ｖ（ｍ／ｓ）、駆動開始位置Ｒ０（ｍｍ）、
トラックピッチＰＴ（μｍ）を与えると、ターンテーブ
ル１０４の１回転の時間Ｔは、Ｔ＝２×π×Ｒ０×１０
００／（Ｖ×１００００００）となる。Ｒ０には１回転
毎にトラックピッチＰＴが加算されるため、ターンテー
ブル１０４の１回転の時間Ｔが変化する。ＣＬＶ方式の
ようにターンテーブル１０４の１回転に要する時間がト
ラック毎に変化する場合はその都度分周値を更新する。

【００７１】このように、実施の形態２の光ディスク原
盤露光装置によれば、光ディスク原盤１０５の回転・横
送りの駆動信号（ＴＰＧ・ＳＰＧ）および情報信号発生
器１０９の基準パルス（ＦＰＧ）を同一のシステムクロ
ックを分周することによって得て、かつ光ディスク原盤
１０５１回転当たりの時間を基準にそれぞれの分周値を
求め、分周誤差が累積しないように分周値を適宜変えて
ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧを発生させる（分周値に含まれ
る小数部の処理）ため、光ディスク原盤１０５全面にわ
たり、安定したピット位置精度を得ることができる。

【００７２】〔実施の形態３〕実施の形態３の光ディス
ク原盤露光装置は、一定領域毎段階的に光ディスク原盤
１回転の時間が増加するように制御し、光ディスク原盤
全面にわたり安定したＭＣＡＶ又はＭＣＬＶフォーマッ
トのピット位置で精度よく情報を記録することができる
ようにするものである。

【００７３】実施の形態１および２で説明した装置構成
において、ターンテーブル１０４の回転数を例えば１０
００トラック毎に２８０ｒｍｐ、２６０ｒｐｍ、２４０
ｒｍｐ、・と変化させる場合、実施の形態１および２で
説明したように、ターンテーブル１０４の回転数に応じ
てＴＰＧ・ＳＰＧのそれぞれの分周値を求め、ＴＰＧ・
ＳＰＧの分周値をトラック毎に段階的に変化させる。こ
のときＦＰＧの分周値は固定しておく。したがって、タ
ーンテーブル１０４の１回転の時間に比例して１トラッ
ク当たりのｃｂ数が増加する。つまり、１トラック当た
りに記録される情報量が増大する。この例では、１００
０トラック毎に１トラック当たりに記録される情報量が
増大した光ディスク原盤１０５を得ることができる。こ
のような形式で光ディスク原盤の潜像ピットを記録して
いく方式は、ＭＣＡＶ又はＭＣＬＶ記録フォーマットと
呼ばれる。

【００７４】このように、実施の形態３の光ディスク原
盤露光装置によれば、一定領域毎に段階的に光ディスク
原盤１０５の１回転の時間が増加するように制御するた
め、光ディスク原盤１０５全面にわたり、安定したピッ
ト位置精度を得ることができる。

【００７５】〔実施の形態４〕実施の形態４の光ディス
ク原盤露光装置は、光ディスク原盤１回転毎に必要な時
間の見直しを行いつつ、光ディスク原盤の回転・横送り
駆動信号（ＴＰＧ、ＳＰＧ）によるＣＬＶ方式の駆動を
行い、情報信号発生器の基準クロック（ＦＰＧ）を光デ
ィスク原盤１回転当たりのチャンネルビット（ｃｂ）を
一定にする分周値で発生させ、光ディスク原盤全面にわ
たり安定したＣＡＶフォーマットのピット位置で精度よ
く情報を記録することができるようにしたものである。
すなわち、実施の形態４では、ターンテーブル１０４の
１回転の時間変化に合わせてＦＰＧ・ＴＰＧ・ＳＰＧの
分周値を変化させ、これらに同期させて光ディスク原盤
１０５の回転・横送り、さらには情報信号の発生を制御
する。

【００７６】実施の形態１および２において説明した構
成の光ディスク原盤露光装置において、ＣＬＶ駆動デー
タである線速Ｖ（ｍ／ｓ）、駆動開始位置Ｒ０（ｍ
ｍ）、トラックピッチＰＴ（μｍ）を与えると、ターン
テーブル１０４の１回転の時間Ｔを求めることができ
る。ＣＬＶ方式においても、ターンテーブル１０４の１
回転当たりの時間を求めることができれば、実施の形態
１および２で説明した方法を適用することができる。Ｃ
ＡＶ方式では、ターンテーブル１０４の１回転毎に時間
の変化はないが、ＣＬＶ方式ではターンテーブル１０４
の１回転毎に回転時間を変化させる。

【００７７】上記のＣＬＶデータからターンテーブル１
０４の回転の時間Ｔは、Ｔ＝２×π×Ｒ０×１０００／（Ｖ×１００００００）＝π×Ｒ０／（Ｖ×５００）で、周波数ＦＰは、ＦＰ＝２９００００／Ｔとなる。ＴＰ・ＳＰも同様に求めることができる。この
システムで使用するシステムクロックを２００ＭＨｚと
すると、分周データは２００００００００／ＦＰとな
る。Ｖ＝１．２ｍ／ｓ，Ｒ０＝２３ｍｍ，ＰＴ＝１．４
８μｍとすると、Ｔは０．１２０３６６・・・（ｓｅ
ｃ）で分周データは１６．６０２２９８・・・となる。

【００７８】実施の形態２において、図５を用いて説明
したように、分周データの整数部をＮｆ、小数部をＥＮ
ｆとする。Ｎｆでシステムクロックの分周を繰り返すと
真の分周値との差が累積するため、図５で説明した処理
を実行し真の分周値に近づける。ＦＰＧの場合、ＤＴＰ
としてｃｂをセットする。ＴＰを監視することで１トラ
ック分のパルスが出力されたことがわかる。次のトラッ
クでの分周値（ＣＡＶ方式では固定、ＣＬＶ方式ではタ
ーンテーブル１０４の１回転毎の時間を変化させるため
分周値も変化する）から同様の処理を繰り返せば所望の
ＦＰＧを得ることができる。

【００７９】１トラック先（Ｒ０＋ＰＴ）でのターンテ
ーブル１０４の１回転に要する時間Ｔは、Ｔ＝２×π×（Ｒ０＋ＰＴ）×１０００／（Ｖ×１００００００）＝π×（Ｒ０＋ＰＴ）／（Ｖ×５００）である。時間の増分ＤＴは、ＤＴ＝π×ＰＴ／（Ｖ×５００）であり、分周増分ＤＮは、ＤＮ＝ＤＴ×２００００００００／２９００００＝ＤＴ×２００００／２９となる。ＴＰ信号の度に初期分周値に分周増分ＤＮを加
算し、ＮｆとＥＮｆとを求め、上記と同様の処理を繰り
返すことでＣＬＶ方式によるターンテーブル１０４の駆
動においても、１トラック当たりのｃｂ数を一定にした
光ディスク原盤を得ることができる。この結果得られる
光ディスクはＣＡＶフォーマットとなる。

【００８０】このように、実施の形態４の光ディスク原
盤露光装置によれば、光ディスク原盤１０５の１回転毎
に必要な時間の見直しを行いつつ、光ディスク原盤１０
５の回転・横送り駆動信号（ＴＰＧ・ＳＰＧ）によるＣ
ＬＶ駆動を行い、情報信号発生器１０９の基準パルス
（ＦＰＧ）を、光ディスク原盤１０５の１回転当たりの
チャンネルビット（ｃｂ）数を一定にする分周で発生さ
せるため、光ディスク原盤１０５全面にわたり、安定し
たＣＡＶフォーマットのピット位置精度を得ることがで
きる。

【００８１】なお、特に、実施の形態１で説明した光デ
ィスク原盤露光装置にあっては、光量用光変調器１１５
と光量用変調器ドライバ１１６とによって、光ディスク
原盤１０５に照射される露光レーザ光の光量が一定にな
るように制御することができるため、光ディスク原盤１
０５全面にわたり、安定したピット形状を得ることがで
きる。

【００８２】〔実施の形態５〕実施の形態５の光ディス
ク原盤露光装置は、光ディスク原盤をＣＬＶ駆動しても
情報信号発生器の１トラック当たりのチャンネルビット
（ｃｂ）数が変化しないように制御し、かつ一定領域毎
段階的にチャンネルビット（ｃｂ）数が増加するよう制
御し、ガラス原盤全面にわたり安定したＭＣＡＶ又はＭ
ＣＬＶフォーマットのピット位置に精度よく情報を記録
することができるようにしたものである。

【００８３】実施の形態４で説明した光ディスク原盤記
録装置において、チャンネルビット（ｃｂ）数を、例え
ば１０００トラック毎に２９００００，３１００００，
３３００００，・・・と変化させる場合に、前述したよ
うに１０００トラック毎にＦＰＧの分周値を求め、段階
的にＦＰＧの分周値を変化させる。つまり、ターンテー
ブル１０４の１回転の時間変化に対しては、１トラック
（ターンテーブル１０４の１回転と同じ）当たりのｃｂ
数が変化しないようにＦＰＧを出力させ、１０００トラ
ック毎にはｃｂ数を増加させ、その１０００トラックは
増加したｃｂ数を維持するようにＦＰＧを出力させる。
その結果、１０００トラック毎に１トラック当たりの情
報量が増大した光ディスク原盤を得ることができる。こ
れはＭＣＡＶ又はＭＣＬＶ記録フォーマットと呼ばれ
る。

【００８４】このように、実施の形態５の光ディスク原
盤露光装置によれば、光ディスク原盤１０５をＣＬＶ駆
動しても、情報信号発生器１０９の１トラック当たりの
チャンネルビット（ｃｂ）数が変化しないように制御
し、かつ一定領域毎に段階的にチャンネルビット（ｃ
ｂ）が増加するように制御するため、光ディスク原盤１
０５全面にわたり、安定したＭＣＡＶ（ＭＣＬＶ）フォ
ーマットのピット位置精度を得ることができる。

【００８５】〔実施の形態６〕実施の形態６の光ディス
ク原盤露光装置は、ＤＶＤ−ＲＡＭ規格に合致したフォ
ーマットの光ディスク原盤を得るためのものである。す
なわち、実施の形態６の光ディスク原盤露光装置では、
実施の形態５の光ディスク原盤露光装置において、パル
スジェネレータ１０１が、ＦＰＧのパルス数を増加させ
る際に、２４段階に分けてＦＰＧのパルス数を増加させ
ると共に、各段階で４３１５２パルスづつ増加させると
いうものである。

【００８６】チャンネルビット（ｃｂ）数（ＦＰＧの１
トラック当たりに出力されるクロック数）はＫ３であ
り、段階的にｃｂをＫ３＋４３１５２，Ｋ３＋４３１５
２×２，・・・と増加させる。ターンテーブル１０４が
１回転するために要する時間は、Ｔ＝２×π×Ｒ×１０００／（Ｖ×１００００００）＝２×π×Ｒ／（Ｖ×１０００）である。ＦＰＧの周波数は、Ｋ３／Ｔで与えられるた
め、ｃｂをＫ３とするときの半径をＲ１，ｃｂをＫ３＋
４３１５２とするときの半径をＲ２，以下Ｒ３，Ｒ４，
・・・とすると、Ｔ１＝２×π×Ｒ１／（Ｖ×１０００）Ｔ２＝２×π×Ｒ２／（Ｖ×１０００）Ｔ３＝２×π×Ｒ３／（Ｖ×１０００）・・・・・・・・・・・・・・・・・・となる。したがって、ＦＰＧは、Ｋ３／Ｔ１（Ｋ３＋４３１５２）／Ｔ２（Ｋ３＋４３１５２）／Ｔ３・・・・・・・・・・・・・と、段階的に増加させることができる。

【００８７】このように、実施の形態６の光ディスク原
盤露光装置によれば、ＦＰＧのパルス数を増加させる際
に、２４段階に分けてＦＰＧのパルス数を増加させると
共に、各段階で４３１５２パルスづつ増加させるため、
ＤＶＤ−ＲＡＭ規格で決められたＭＣＬＶフォーマット
を安定して実現することができる。

【００８８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光ディス
ク原盤露光装置（請求項１）によれば、システムクロッ
クを入力し、ガラス基板Ｎ回転（Ｎは整数）に応じてシ
ステムクロックを分周する分周値を演算し、演算した分
周値で前記システムクロックを分周して、ガラス基板の
回転を制御する第１のパルス，ガラス基板の横送りを制
御する第２のパルス及び情報信号の出力を制御する第３
のパルスを出力するパルス発生手段と、第１のパルスに
基づいて、ガラス基板を回転させる回転手段と、第２の
パルスに基づいて、ガラス基板を横送りさせる横送り手
段と、第３のパルスに基づいて、情報潜像ピットとして
ガラス基板上に記録される情報信号を出力する情報信号
発生手段と、ガラス基板上に照射する露光レーザ光を出
力するレーザ光出力手段と、情報信号に基づいて露光レ
ーザ光を変調し、変調した露光レーザ光をガラス基板上
に照射する情報潜像ピット形成手段と、を備えるため、
分周値を求めるための演算時間を任意に設定でき、ガラ
ス基板全面のピット位置精度の要求品質に応じて対応す
ることができる。なお、ＣＡＶ精度はＮに無関係である
が、Ｎを大きくするとＣＬＶ精度は低下する。

【００８９】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項２）によれば、システムクロックを入力し、ガ
ラス基板の１／Ｎ回転（Ｎは整数）に応じてシステムク
ロックを分周する分周値を演算し、演算した分周値で前
記システムクロックを分周して、ガラス基板の回転を制
御する第１のパルス，ガラス基板の横送りを制御する第
２のパルス及び情報信号の出力を制御する第３のパルス
を出力するパルス発生手段と、第１のパルスに基づい
て、ガラス基板を回転させる回転手段と、第２のパルス
に基づいて、ガラス基板を横送りさせる横送り手段と、
第３のパルスに基づいて、情報潜像ピットとしてガラス
基板上に記録される情報信号を出力する情報信号発生手
段と、ガラス基板上に照射する露光レーザ光を出力する
レーザ光出力手段と、情報信号に基づいて露光レーザ光
を変調し、変調した露光レーザ光をガラス基板上に照射
する情報潜像ピット形成手段と、を備えるため、分周値
を求めるための演算時間を任意に設定でき、ガラス基板
全面のピット位置精度の要求品質に応じて対応すること
ができる。なお、ＣＡＶ精度はＮに無関係であるが、Ｎ
を大きくするとＣＬＶ精度は向上する。

【００９０】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項３）によれば、システムクロックを入力し、ガ
ラス基板の１回転に要する時間に応じてシステムクロッ
クを分周する分周値を演算し、演算した分周値でシステ
ムクロックを分周して、ガラス基板の回転を制御する第
１のパルス，ガラス基板の横送りを制御する第２のパル
ス及び情報信号の出力を制御する第３のパルスを出力す
るパルス発生手段と、第１のパルスに基づいて、ガラス
基板を回転させる回転手段と、第２のパルスに基づい
て、ガラス基板を横送りさせる横送り手段と、第３のパ
ルスに基づいて、情報潜像ピットとしてガラス基板上に
記録される情報信号を出力する情報信号発生手段と、ガ
ラス基板上に照射する露光レーザ光を出力するレーザ光
出力手段と、情報信号に基づいて露光レーザ光を変調
し、変調した露光レーザ光をガラス基板上に照射する情
報潜像ピット形成手段と、を備えるため、ガラス基板全
面にわたり、安定したピット位置に精度よく情報を記録
することができる。

【００９１】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項４）によれば、請求項１〜３のいずれか一つに
記載の光ディスク原盤露光装置において、パルス発生手
段が、第１〜第３のパルスを得るための分周値をそれぞ
れ演算する演算制御手段と、分周値に基づいてシステム
クロックを分周し第１のパルスを出力する第１の分周手
段と、分周値に基づいてシステムクロックを分周し、第
２のパルスを出力する第２の分周手段と、分周値に基づ
いてシステムクロックを分周し、第３のパルスを出力す
る第３の分周手段と、を備えるため、ガラス基板全面に
わたり、安定したピット位置に精度よく情報を記録する
ことができる。

【００９２】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項５）によれば、請求項４記載の光ディスク原盤
露光装置において、演算制御手段が、第１のパルスが出
力される毎に、第１のパルスを得るための分周値に含ま
れる小数部を加算し、加算値が１を超えた場合に桁上が
り信号を出力すると共に、桁上がり信号と分周値の整数
部とを加算して、第１のパルスを得るための分周値とし
て出力するため、分周値に小数部が含まれる場合におい
ても精度良く第１のパルスを出力することができる。す
なわち、分周誤差が生じないように分周値を適宜変化さ
せ、第１のパルスを発生させているため、ガラス基板全
面にわたり、安定したピット位置に精度良く情報を記録
することができる。

【００９３】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項６）によれば、請求項４記載の光ディスク原盤
露光装置において、演算制御手段が、第２のパルスが出
力される毎に、第２のパルスを得るための分周値に含ま
れる小数部を加算し、加算値が１を超えた場合に桁上が
り信号を出力すると共に、桁上がり信号と分周値の整数
部とを加算して、第２のパルスを得るための分周値とし
て出力するため、分周値に小数部が含まれる場合におい
ても精度良く第２のパルスを出力することができる。す
なわち、分周誤差が生じないように分周値を適宜変化さ
せ、第２のパルスを発生させているため、ガラス基板全
面にわたり、安定したピット位置に精度良く情報を記録
することができる。

【００９４】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項７）によれば、請求項４記載の光ディスク原盤
露光装置において、演算制御手段が、第３のパルスが出
力される毎に、第３のパルスを得るための分周値に含ま
れる小数部を加算し、加算値が１を超えた場合に桁上が
り信号を出力すると共に、桁上がり信号と分周値の整数
部とを加算して、第３のパルスを得るための分周値とし
て出力するため、分周値に小数部が含まれる場合におい
ても精度良く第３のパルスを出力することができる。す
なわち、分周誤差が生じないように分周値を適宜変化さ
せ、第３のパルスを発生させているため、ガラス基板全
面にわたり、安定したピット位置に精度良く情報を記録
することができる。

【００９５】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項８）によれば、請求項４記載の光ディスク原盤
露光装置において、演算制御手段が、第３のパルスを入
力し、分周値としてガラス基板の１トラックに記録され
る情報量を用いて、第３のパルスを分周することによ
り、第３のパルスが１トラック分出力されたことを検知
するため、１トラック毎にガラス基板の１回転に要する
時間を変化させる場合にも十分対応することができる。

【００９６】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項９）によれば、請求項１〜３のいずれか一つに
記載の光ディスク原盤露光装置において、パルス発生手
段が、ガラス基板の１回転に要する時間をガラス基板の
半径に比例させて数段階に変化させる場合に、ガラス基
板の１回転に要する時間の変化に応じてガラス基板の回
転を制御する第１のパルスの周波数とガラス基板の横送
りを制御する第２のパルスの周波数とを変化させるた
め、光ディスク原盤全面にわたり、安定したＭＣＡＶ又
はＭＣＬＶフォーマットのピット位置に精度よく情報を
記録することができる。

【００９７】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項１０）によれば、請求項１〜３のいずれか一つ
に記載の光ディスク原盤露光装置において、パルス発生
手段が、ガラス基板の１回転に要する時間をガラス基板
の１回転毎の半径位置に比例させて変化させる場合に、
第１のパルス及び第２のパルスの周波数を変化させてガ
ラス基板の１回転に要する時間内に出力される第１及び
第２のパルス数を一定数とし、かつ第３のパルスの周波
数を変化させてガラス基板の１回転に要する時間内に出
力される第３のパルス数を一定数とするため、ガラス基
板全面にわたり安定したＣＡＶフォーマットのピット位
置に精度良く情報を記録することができる。すなわち、
ガラス基板をＣＬＶ駆動したとしても、１トラック当た
りのチャンネルビット（ｃｂ）数が変化しないように制
御しているため、ガラス基板全面にわたり、露光レーザ
光量が一定で、安定したＣＡＶフォーマットの露光が可
能となる。

【００９８】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項１１）によれば、請求項１０記載の光ディスク
原盤露光装置において、パルス発生手段が、第３のパル
スの周波数を変化させ、ガラス基板の１回転当たりに出
力される第３のパルス数を数段階に分けて増加させるた
め、ガラス基板全面にわたり、安定したＭＣＡＶ又はＭ
ＣＬＶフォーマットのピット位置に精度良く情報を記録
することができる。

【００９９】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項１２）によれば、請求項１１記載の光ディスク
原盤露光装置において、回転制御手段が、第１のパルス
に同期してガラス基板を回転させ、横送り手段が、第２
のパルスに同期してガラス基板を横送りさせるため、ガ
ラス基板全面にわたり、安定したピット位置に精度良く
情報を記録することができる。

【０１００】また、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項１３）によれば、請求項１２記載の光ディスク
原盤露光装置において、情報潜像ピット形成手段でガラ
ス基板上に照射される露光レーザ光の光量が、ガラス基
板上の露光領域全面にわたって一定であるため、ガラス
基板全面にわたり、一定光量の露光レーザ光を照射する
のみで良く、安定したピット形状を持つガラス基板を生
成することができる。

【０１０１】さらに、本発明の光ディスク原盤露光装置
（請求項１４）によれば、請求項１１記載の光ディスク
原盤露光装置において、パルス発生手段が、第３のパル
ス数を増加させる際に、２４段階に分けて第３のパルス
数を増加させると共に、各段階で４３１５２パルスづつ
増加させるため、ＤＶＤ−ＲＡＭ規格に準拠したフォー
マットのガラス基板を生成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１の光ディスク原盤露光装置のブロ
ック構成図である。

【図２】実施の形態１の光ディスク原盤露光装置に使用
されるパルスジェネレータのブロック構成図である。

【図３】実施の形態１の光ディスク原盤露光装置におい
て、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧのそれぞれの分周値に小数
部が含まれる場合の処理を説明するための説明図であ
る。

【図４】本発明の実施の形態２に係る光ディスク原盤露
光装置のブロック構成図である。

【図５】実施の形態２の光ディスク原盤露光装置におい
て、ＴＰＧ・ＳＰＧ・ＦＰＧのそれぞれの分周値に小数
部が含まれる場合の処理を説明するための説明図であ
る。

【符号の説明】

１００ホストコンピュータ１０１パルスジェネレータ（ＰＧ）１０２スピンドルモータコントローラ１０３スピンドルモータ（Ｍ１）１０４ターンテーブル１０５光ディスク原盤１０６横送りモータコントローラ１０７横送りモータ（Ｍ２）１０８横送りステージ１０９情報信号発生器（ＦＧ）１１０信号用変調器ドライバ１１１信号用光変調器１１２Ａｒレーザ１１４対物レンズ１１５光量用光変調器１１６光量用変調器ドライバ１１７，１１８エンコーダ２００第１の分周器２０１第２の分周器２０２第３の分周器２０３システムクロック発生器３００，５００ＭＰＵ３０１，５０１加算器３０２，５０２分周器４００変調器ドライバ４０１光変調器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラス基板上にフォトレジスト膜を形成
後、前記ガラス基板を回転・横送りさせつつ前記フォト
レジスト膜に情報信号によって変調された露光レーザ光
を照射し、前記ガラス基板上に情報潜像ピットを形成す
る光ディスク原盤露光装置において、システムクロックを入力し、前記ガラス基板Ｎ回転（Ｎ
は整数）に応じて前記システムクロックを分周する分周
値を演算し、演算した分周値で前記システムクロックを
分周して、前記ガラス基板の回転を制御する第１のパル
ス，前記ガラス基板の横送りを制御する第２のパルス及
び前記情報信号の出力を制御する第３のパルスを出力す
るパルス発生手段と、前記第１のパルスに基づいて、前記ガラス基板を回転さ
せる回転手段と、前記第２のパルスに基づいて、前記ガラス基板を横送り
させる横送り手段と、前記第３のパルスに基づいて、前記情報潜像ピットとし
てガラス基板上に記録される前記情報信号を出力する情
報信号発生手段と、前記ガラス基板上に照射する前記露光レーザ光を出力す
るレーザ光出力手段と、前記情報信号に基づいて前記露光レーザ光を変調し、変
調した前記露光レーザ光を前記ガラス基板上に照射する
情報潜像ピット形成手段と、を備えることを特徴とする
光ディスク原盤露光装置。
【請求項２】ガラス基板上にフォトレジスト膜を形成
後、前記ガラス基板を回転・横送りさせつつ前記フォト
レジスト膜に情報信号によって変調された露光レーザ光
を照射し、前記ガラス基板上に情報潜像ピットを形成す
る光ディスク原盤露光装置において、システムクロックを入力し、前記ガラス基板の１／Ｎ回
転（Ｎは整数）に応じて前記システムクロックを分周す
る分周値を演算し、演算した分周値で前記システムクロ
ックを分周して、前記ガラス基板の回転を制御する第１
のパルス，前記ガラス基板の横送りを制御する第２のパ
ルス及び前記情報信号の出力を制御する第３のパルスを
出力するパルス発生手段と、前記第１のパルスに基づいて、前記ガラス基板を回転さ
せる回転手段と、前記第２のパルスに基づいて、前記ガラス基板を横送り
させる横送り手段と、前記第３のパルスに基づいて、前記情報潜像ピットとし
てガラス基板上に記録される前記情報信号を出力する情
報信号発生手段と、前記ガラス基板上に照射する前記露光レーザ光を出力す
るレーザ光出力手段と、前記情報信号に基づいて前記露光レーザ光を変調し、変
調した前記露光レーザ光を前記ガラス基板上に照射する
情報潜像ピット形成手段と、を備えることを特徴とする
光ディスク原盤露光装置。
【請求項３】ガラス基板上にフォトレジスト膜を形成
後、前記ガラス基板を回転・横送りさせつつ前記フォト
レジスト膜に情報信号によって変調された露光レーザ光
を照射し、前記ガラス基板上に情報潜像ピットを形成す
る光ディスク原盤露光装置において、システムクロックを入力し、前記ガラス基板の１回転に
要する時間に応じて前記システムクロックを分周する分
周値を演算し、演算した分周値で前記システムクロック
を分周して、前記ガラス基板の回転を制御する第１のパ
ルス，前記ガラス基板の横送りを制御する第２のパルス
及び前記情報信号の出力を制御する第３のパルスを出力
するパルス発生手段と、前記第１のパルスに基づいて、前記ガラス基板を回転さ
せる回転手段と、前記第２のパルスに基づいて、前記ガラス基板を横送り
させる横送り手段と、前記第３のパルスに基づいて、前記情報潜像ピットとし
てガラス基板上に記録される前記情報信号を出力する情
報信号発生手段と、前記ガラス基板上に照射する前記露光レーザ光を出力す
るレーザ光出力手段と、前記情報信号に基づいて前記露光レーザ光を変調し、変
調した前記露光レーザ光を前記ガラス基板上に照射する
情報潜像ピット形成手段と、を備えることを特徴とする
光ディスク原盤露光装置。
【請求項４】前記パルス発生手段が、前記第１〜第３
のパルスを得るための分周値をそれぞれ演算する演算制
御手段と、前記分周値に基づいて前記システムクロック
を分周し前記第１のパルスを出力する第１の分周手段
と、前記分周値に基づいて前記システムクロックを分周
し、前記第２のパルスを出力する第２の分周手段と、前
記分周値に基づいて前記システムクロックを分周し、前
記第３のパルスを出力する第３の分周手段と、を備える
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の
光ディスク原盤露光装置。
【請求項５】前記演算制御手段が、前記第１のパルス
が出力される毎に、前記第１のパルスを得るための分周
値に含まれる小数部を加算し、加算値が１を超えた場合
に桁上がり信号を出力すると共に、前記桁上がり信号と
前記分周値の整数部とを加算して、前記第１のパルスを
得るための分周値として出力することを特徴とする請求
項４記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項６】前記演算制御手段が、前記第２のパルス
が出力される毎に、前記第２のパルスを得るための分周
値に含まれる小数部を加算し、加算値が１を超えた場合
に桁上がり信号を出力すると共に、前記桁上がり信号と
前記分周値の整数部とを加算して、前記第２のパルスを
得るための分周値として出力することを特徴とする請求
項４記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項７】前記演算制御手段が、前記第３のパルス
が出力される毎に、前記第３のパルスを得るための分周
値に含まれる小数部を加算し、加算値が１を超えた場合
に桁上がり信号を出力すると共に、前記桁上がり信号と
前記分周値の整数部とを加算して、前記第３のパルスを
得るための分周値として出力することを特徴とする請求
項４記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項８】前記演算制御手段が、前記第３のパルス
を入力し、分周値として前記ガラス基板の１トラックに
記録される情報量を用いて、前記第３のパルスを分周す
ることにより、前記第３のパルスが１トラック分出力さ
れたことを検知することを特徴とする請求項４記載の光
ディスク原盤露光装置。
【請求項９】前記パルス発生手段が、前記ガラス基板
の１回転に要する時間を前記ガラス基板の半径に比例さ
せて数段階に変化させる場合に、前記ガラス基板の１回
転に要する時間の変化に応じて前記ガラス基板の回転を
制御する第１のパルスの周波数と前記ガラス基板の横送
りを制御する第２のパルスの周波数とを変化させること
を特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の光デ
ィスク原盤露光装置。
【請求項１０】前記パルス発生手段が、前記ガラス基
板の１回転に要する時間を前記ガラス基板の１回転毎の
半径位置に比例させて変化させる場合に、前記第１のパ
ルス及び前記第２のパルスの周波数を変化させて前記ガ
ラス基板の１回転に要する時間内に出力される前記第１
及び第２のパルス数を一定数とし、かつ前記第３のパル
スの周波数を変化させて前記ガラス基板の１回転に要す
る時間内に出力される前記第３のパルス数を一定数とす
ることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載
の光ディスク原盤露光装置。
【請求項１１】前記パルス発生手段が、前記第３のパ
ルスの周波数を変化させ、前記ガラス基板の１回転当た
りに出力される第３のパルス数を数段階に分けて増加さ
せることを特徴とする請求項１０記載の光ディスク原盤
露光装置。
【請求項１２】前記回転制御手段が、前記第１のパル
スに同期して前記ガラス基板を回転させ、前記横送り手段が、前記第２のパルスに同期して前記ガ
ラス基板を横送りさせることを特徴とする請求項１１記
載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項１３】前記情報潜像ピット形成手段で前記ガ
ラス基板上に照射される露光レーザ光の光量が、前記ガ
ラス基板上の露光領域全面にわたって一定であることを
特徴とする請求項１２記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項１４】前記パルス発生手段が、前記第３のパ
ルス数を増加させる際に、２４段階に分けて前記第３の
パルス数を増加させると共に、各段階で４３１５２パル
スづつ増加させることを特徴とする請求項１１記載の光
ディスク原盤露光装置。