JPH1050093A - 救済判定処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】メモリを構成する集積回路中の不良ビットを効
率よく救済判定する。 【解決手段】半導体メモリの検査用テスタ１０２，検査
結果として出力されるメモリの各ビット毎の良／不良を
表したＦＢデータ１０３を格納する外部記憶装置，ＦＢ
データ１０３と設計データ１０１を入力し、救済可能領
域，回路本数の情報を求め、その情報に従ってメモリ縮
退処理１０７、そのメモリに対して、不良ビットのある
アドレスに救済回路割当処理を行う救済判定装置１０
４，救済処理の結果を格納する外部記憶装置，救済判定
結果から不良な回路を切断するレーザリペア装置１０６
からなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はメモリの設計情報か
ら、救済回路情報に従ってメモリ情報を縮退し、メモリ
の不良ビットのアドレスを救済回路に割り当てることに
よる救済判定処理方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】メモリの大容量化に伴いプロセスの微少
化が進んでおり、完全な良品の製造率が低くなってきて
いる。そこで、設計時にメモリにあらかじめ救済回路を
設け、不良ビットの存在するアドレスに救済回路を割り
当てることで、不良品メモリを良品メモリにすること
で、歩留りの向上を図ることが進められている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】歩留りを高く維持する
ために救済回路数をたくさん設けるとチップ面積が大き
くなり、１ウェハ内のチップ数が少なくなる。そこで、
有限の救済回路に効率よく不良ビットアドレスを割り当
てることが重要な課題である。

【０００４】本発明の目的は、有限の救済回路を有効に
割り当てる手段を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、設計情報から
救済回路による救済可能領域や本数を求め、それに従っ
てメモリの縮退処理を行うことで、有限な救済回路を効
率良く不良ビットに割り当てる。本発明の装置は、半導
体メモリを検査するためのテスタと、それによって検査
結果として出力されるメモリの各ビット毎の良／不良を
表したフェイルビット（以下ＦＢと略記する）データを
外部記憶装置に格納する手段と、その外部記憶装置から
処理対象となるＦＢデータを取り込む手段と、対象メモ
リの設計データから救済回路による救済可能領域・救済
回路本数等の情報を取り込む手段と、取り込んだデータ
に従ってメモリを縮退する手段と、その縮退したメモリ
に対して不良ビットのあるアドレスに救済回路を割り当
てる処理を行う手段，救済判定結果を外部記憶装置に格
納する手段と、救済結果をレーザリペア装置へ転送する
手段からなる。

【０００６】

【発明の実施の形態】本実施例では、全ての組み合わせ
を求めてその中から救済回路の使用数を最小にすること
を目的にしているのではなく、早く一つの救済解を求め
ることを目的にしたものである。

【０００７】図１は、本発明を実現するための装置構成
を示すブロック図である。まず最初にテスタ１０２によ
ってメモリの検査結果としてメモリの各ビット毎の良／
不良を表した不良データを出力し、このデータを外部記
憶装置１０３にＦＢデータとして格納する。次に救済判
定装置１０４では、まず設計データ１０１とＦＢデータ
１０３を入力データとし、救済回路による救済可能領域
・救済回路本数等の情報を求め、その情報に従ってメモ
リ縮退処理１０７を行う。その縮退したメモリに対し
て、救済判定処理１０８で不良ビットのあるアドレスに
救済回路を割り当てる。救済処理の結果、救済回路を割
り当てるアドレスを救済判定結果１０５へ格納する。最
後に、レーザリペア装置にその結果を送り、各メモリチ
ップに対して救済結果通りに不良な回路を切断し、救済
回路を生かす処理をする。

【０００８】次に設計情報に基づくメモリ縮退処理につ
いて、図２で説明する。同図（ａ）では一つのチップが
四つのメモリマット２０１，２０２，２０３，２０４に
分割されており、このメモリマット一つについて行救済
回路２０６と列救済回路205が用意されている様子を示
している。この救済回路は、救済回路をＭ１のあるアド
レスに割り当てると、残りの三つのＭ２，Ｍ３，Ｍ４の
マットに対しても同じアドレスが自動的に救済される仕
様となっている。従って、救済回路を割り当てる時に
は、四つのマット上の不良ビット情報全てを把握する必
要がある。また同図（ｂ）のように、四つのマットの同
じアドレスである２１０，２１１，２１２，２１３の情
報を一つの情報として縮退する必要がある。

【０００９】この時、不良ビットを１、良ビットを０で
表すことにより、四つのデータの和（ＯＲ）を取り、そ
の値を縮退メモリ上の２１４のアドレスの縮退値とす
る。この場合、（０or１or１or０）を計算し、値は１と
なる。各縮退メモリ上のアドレスに対して縮退値を求め
たものが同図（ｃ）である。この縮退メモリに対して、
救済判定処理を行う。

【００１０】図３に縮退メモリ３０１を示す。格子内の
“１”は不良ビット３０２を表し、括弧付き番号３０３
は不良ビットに通し番号を付けた不良ビット番号であ
り、各行／列とも救済回路の本数は３本（３０４，３０
５）とする。このデータに対しての救済判定処理を説明
する。

【００１１】処理１として縮退メモリの行／列毎に不良
ビット数の合計を行／列不良カウンタとして３０６，３
０７に格納する。

【００１２】処理２で、この行／列不良カウンタの値が
それぞれ行／列救済回路数以内かどうかをチェックし、
不良カウンタ値が救済回路数を越えている場合、そのア
ドレスを救済回路に割り当て、さらに使用可能救済回路
数を割り当てた数分減らす。

【００１３】図３の例では、カウンタ３０６の列アドレ
ス６でのカウント値は５であり、列救済回路の数３より
大きいので、この列アドレス６を列救済回路に割り当
て、列救済回路の数を２にする処理を行う。

【００１４】処理３では、処理２で救済回路を割り当て
て救済可能となった不良ビットを図４のように縮退メモ
リから削除する。

【００１５】以下の説明では残りの不良ビットに対し
て、救済回路を効率良く割り当てる処理について述べ
る。

【００１６】まず処理４では図５に示すように、各不良
ビットに対してその不良ビットを救済するために救済回
路に割り当てるアドレスを行／列毎に求める。たとえ
ば、不良ビット番号（０）５０１の不良ビットを救済す
るために、行救済回路で救済するには行アドレス０（５
０２）を救済回路に割り当てれば良い、また列救済回路
で救済するためには、列アドレス２（５０３）を割り当
てれば良い。このように、不良ビットを救済できる行／
列アドレスを全ての不良ビットに対して求め、救済割り
当て可能アドレステーブルに格納する。

【００１７】処理５では、救済割り当て可能アドレステ
ーブルから列／行毎に一つの救済回路をあるアドレスに
割り当てた場合、一つの不良ビットしか救済できないも
のを選択する。図５の例では図６に示すように、６０
１，６０２，６０３，６０４，６０５が選択される。

【００１８】処理６で、処理５で選択した中から行／列
共に同じ救済ビット番号のアドレスが存在した場合、即
ち６０４，６０５は同じ救済ビット番号（８）であるこ
とより、その救済ビット番号は行／列のどちらで救済し
てもその不良ビットのみしか救済できないことを示して
おり、次に行う救済判定処理対象から削除し、最終的に
残った救済回路にそのアドレスを割り当ることとする。

【００１９】次に処理７では、処理６で削除して残った
６０１、６０２、６０３に対して、評価関数を使用して
その中から一つを選ぶ。その評価関数は、例えば列救済
候補アドレスの場合には、そのときの行救済候補アドレ
スを選択した場合の救済可能不良ビット数を選択し、そ
の値を評価値とし、大きいものを救済回路を割り当てる
アドレスとして決定する。６０１の場合には、行で選択
されたことから、列の救済候補アドレス“０”を割り当
てることで評価値となる救済可能な不良ビット数が３、
６０２の場合には評価値は２、６０３の場合は３とな
る。従って、評価値の大きいものを選択することから６
０１となり、列救済回路をアドレス０に割り当てる。処
理２から処理６を繰り返して、救済回路を割り当てる。
最後に、処理５で選択した不良ビット番号に残った救済
回路を割り当てる。

【００２０】また、救済回路を全て使用して割り当て不
可能になった場合には、処理７まで戻り、複数存在した
候補の中から次の候補を選択して処理を続ける、最終的
に求めた解を図７に示す。

【００２１】

【発明の効果】本発明によりメモリの検査結果である不
良ビットのアドレスを、限られた救済回路に効率良く割
り当てることで、不良品メモリを良品メモリにすること
ができ、その結果メモリの歩留りを向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の装置構成を示すブロック
図。

【図２】メモリの縮退方法を示した説明図。

【図３】不良ビット情報の一例を示した説明図。

【図４】本発明の一実施例における救済処理の説明図。

【図５】本発明の一実施例における救済処理の説明図。

【図６】本発明の一実施例における救済処理の説明図。

【図７】本発明の一実施例における救済処理の説明図。

【符号の説明】

１０７…メモリの縮退処理を行う手段、１０８…救済判
定処理を行う手段、２０５，２０６…行／列救済回路、
２１１…メモリ上の不良ビット。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体メモリを検査するためのテスタと、
   それによって検査結果として出力されるメモリの各ビッ
   ト毎の良／不良を表したフェイルビットデータを外部記
   憶装置へ格納する手段と、上記外部記憶装置から処理対
   象となるフェイルビットデータを取り込む手段と、対象
   メモリの設計データから救済回路による救済可能領域・
   救済回路本数等の情報を取り込む手段と、取り込んだデ
   ータに従ってメモリを縮退する手段と、その縮退したメ
   モリに対して不良ビットのあるアドレスに救済回路を割
   り当てる処理を行う手段と、救済判定結果を外部記憶装
   置に格納する手段と、救済結果をレーザリペア装置へ転
   送する手段を持つことを特徴とする救済判定処理装置。
2. 【請求項２】半導体メモリの設計情報から個々の救済回
   路による救済可能領域と本数を取り込む手段と、前記救
   済回路による救済可能領域からメモリの情報を縮退する
   手段１と、縮退したメモリの行アドレス，列アドレス毎
   に不良ビット数を求める手段２と、その不良ビット数が
   救済回路の本数より大きいアドレスに救済回路を割り当
   てる手段３と、救済回路を割り当てることにより救済で
   きたメモリを不良ビットから削除する手段４と、各不良
   ビットを救済するために救済回路を割り当てることので
   きる行／列救済候補アドレスを求める手段５と、ある不
   良ビットを救済するための行／列救済アドレスともその
   不良ビットのみを救済可能な場合にはその不良ビットを
   救済対象ビットの割り当て処理対象外とする手段６と、
   各不良ビット毎の行救済候補アドレスが１回のみ現れて
   いる時の列救済候補アドレス出現数の多いものを求める
   手段７と、その求めた救済候補アドレスに救済回路を割
   り当てる手段８と、前記手段４から前記手段８を繰り返
   す手段９と、前記手段６で割り当て処理対象外とした不
   良ビットに残りの救済アドレスを割り当てる手段１０か
   らなることを特徴とする救済判定処理装置。