JPH1050213A - 陰極線管のブラックマトリキシングとその形成方法及び形成物 - Google Patents
陰極線管のブラックマトリキシングとその形成方法及び形成物Info
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- JPH1050213A JPH1050213A JP8200094A JP20009496A JPH1050213A JP H1050213 A JPH1050213 A JP H1050213A JP 8200094 A JP8200094 A JP 8200094A JP 20009496 A JP20009496 A JP 20009496A JP H1050213 A JPH1050213 A JP H1050213A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ディスプレイパネルのビデオイメージカラー
コントラストを高めるためにコーティングを活性化さ
せ、硬化させるためにフォトレジストコーティングに照
射する紫外線の感光性を改良したフォトレジストコーテ
ィングの感光材料を提供する。 【解決手段】 フォトレジストコーティング２４は、Ｃ
ＲＴ１０のグラスディスプレイパネル１４の内面に適用
される。グラスディスプレイパネル１４の上に形成した
後、感光性フォトレジストコーティングは所定波長にお
いて、最強強度を有する紫外線を照射されて硬化され
る。フォトレジストコーティング２４の感光性組成物
は、ビデオイメージカラーコントラストを向上させる高
品質ブラックマトリックスにするために、紫外線源の最
強強度の波長において最強感光度を有するように選ばれ
ている。感光性組成物はケトン基を有することを特徴と
している。
コントラストを高めるためにコーティングを活性化さ
せ、硬化させるためにフォトレジストコーティングに照
射する紫外線の感光性を改良したフォトレジストコーテ
ィングの感光材料を提供する。 【解決手段】 フォトレジストコーティング２４は、Ｃ
ＲＴ１０のグラスディスプレイパネル１４の内面に適用
される。グラスディスプレイパネル１４の上に形成した
後、感光性フォトレジストコーティングは所定波長にお
いて、最強強度を有する紫外線を照射されて硬化され
る。フォトレジストコーティング２４の感光性組成物
は、ビデオイメージカラーコントラストを向上させる高
品質ブラックマトリックスにするために、紫外線源の最
強強度の波長において最強感光度を有するように選ばれ
ている。感光性組成物はケトン基を有することを特徴と
している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、陰極線管（ＣＲ
Ｔ）型のビデオディスプレイに関し、特にビデオイメー
ジカラーコントラストを向上させるＣＲＴのグラスディ
スプレイパネルの内面にコーティングするフォトレジス
トに関する。
Ｔ）型のビデオディスプレイに関し、特にビデオイメー
ジカラーコントラストを向上させるＣＲＴのグラスディ
スプレイパネルの内面にコーティングするフォトレジス
トに関する。
【０００２】
【従来の技術】フォトリソグラフィーは、グラスディス
プレイパネル、フェイスプレートあるいは赤、緑、青の
原色の燐光体を生み出すＣＲＴを覆う方法として広く用
いられている。この基本的なスクリーンの印刷技術は、
光に敏感なコロイドの露出であり、形成後に露出部分は
不溶性で、残存する。カラーコントラストを向上させる
ため、リソグラフの方法は、燐光体のスクリーニングが
ブラックマトリキシング(black matrixing) として知ら
れるグラファイトの超微粒子の層でコートされるカラー
燐光体で専有されないディスプレイスクリーンのパター
ンに適用される前に用いられる。燐光体のスクリーニン
グ過程は、ディスプレイスクリーンの内面に適用される
フォトレジストの適用に関係する。フォトレジストは、
通常ポリビニルピロリドン（ＰＶＤ）、４，４”−ジア
ジドスチルベン−２，２”ジスルホン酸(4,4"-diazidos
tilbene-2,2"disulfonic acid)、ジソジウム塩(disodiu
m salt) 及び水を含む。このフォトレジストのＣＲＴグ
ラスディスプレイスクリーンへの接着は常に製造に起因
する問題を有している。ポリビニルアルコール（ＰＶ
Ａ）をフォトレジスト材料に加えることで、この問題を
抑えることができる。ＰＶＡを加えることにより２つの
利点が得られる。第１に、フォトレジストとグラスディ
スプレイパネルとの接着力は大幅に向上する。第２に、
フォトレジストにＰＶＡを加えることにより、フォトレ
ジストを硬化させるための紫外光露出時間を減らすこと
ができ、酸素レベルを下げることができる。
プレイパネル、フェイスプレートあるいは赤、緑、青の
原色の燐光体を生み出すＣＲＴを覆う方法として広く用
いられている。この基本的なスクリーンの印刷技術は、
光に敏感なコロイドの露出であり、形成後に露出部分は
不溶性で、残存する。カラーコントラストを向上させる
ため、リソグラフの方法は、燐光体のスクリーニングが
ブラックマトリキシング(black matrixing) として知ら
れるグラファイトの超微粒子の層でコートされるカラー
燐光体で専有されないディスプレイスクリーンのパター
ンに適用される前に用いられる。燐光体のスクリーニン
グ過程は、ディスプレイスクリーンの内面に適用される
フォトレジストの適用に関係する。フォトレジストは、
通常ポリビニルピロリドン（ＰＶＤ）、４，４”−ジア
ジドスチルベン−２，２”ジスルホン酸(4,4"-diazidos
tilbene-2,2"disulfonic acid)、ジソジウム塩(disodiu
m salt) 及び水を含む。このフォトレジストのＣＲＴグ
ラスディスプレイスクリーンへの接着は常に製造に起因
する問題を有している。ポリビニルアルコール（ＰＶ
Ａ）をフォトレジスト材料に加えることで、この問題を
抑えることができる。ＰＶＡを加えることにより２つの
利点が得られる。第１に、フォトレジストとグラスディ
スプレイパネルとの接着力は大幅に向上する。第２に、
フォトレジストにＰＶＡを加えることにより、フォトレ
ジストを硬化させるための紫外光露出時間を減らすこと
ができ、酸素レベルを下げることができる。
【０００３】ＣＲＴのグラスディスプレイパネルの内側
表面に適用した後、フォトレジスト層を硬化させるため
に感光性成分が活性化する所定の波長の紫外線（ＵＶ）
を照射する。
表面に適用した後、フォトレジスト層を硬化させるため
に感光性成分が活性化する所定の波長の紫外線（ＵＶ）
を照射する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来技術におけるフォ
トレジスト材料のもう１つの問題は、フォトレジストの
感光成分の特徴とフォトレジストを硬化させるときの紫
外線に起因する。通常３６５nm、４０５nm及び４４０nm
に最も強い強度を持つ水銀を光源とする紫外線がブラッ
クマトリキシング（ＢＬＡＣＫ ＭＡＴＲＩＸＩＮＧ）
に適用される。しかしながら、ジソジウム４，４”−ジ
アジドスチルベン２，２’−ジスルホン酸（disodium4,
4"-diazidostilbene2,2'-disulfonic acid）等のフォト
レジストの感光性材料の最強感光性は３３５nmである。
照射する紫外線の最強強度の波長とフォトレジスト材料
の最高の感光度との違いはビデオイメージカラーコント
ラストが減成するフォトレジストコーティングにおける
不規則性に起因する。
トレジスト材料のもう１つの問題は、フォトレジストの
感光成分の特徴とフォトレジストを硬化させるときの紫
外線に起因する。通常３６５nm、４０５nm及び４４０nm
に最も強い強度を持つ水銀を光源とする紫外線がブラッ
クマトリキシング（ＢＬＡＣＫ ＭＡＴＲＩＸＩＮＧ）
に適用される。しかしながら、ジソジウム４，４”−ジ
アジドスチルベン２，２’−ジスルホン酸（disodium4,
4"-diazidostilbene2,2'-disulfonic acid）等のフォト
レジストの感光性材料の最強感光性は３３５nmである。
照射する紫外線の最強強度の波長とフォトレジスト材料
の最高の感光度との違いはビデオイメージカラーコント
ラストが減成するフォトレジストコーティングにおける
不規則性に起因する。
【０００５】本発明は従来技術の問題を解決するために
なされたものであり、ディスプレイパネルのビデオイメ
ージカラーコントラストを高めるためにコーティングを
活性化させ、硬化させるためにフォトレジストコーティ
ングに照射する紫外線の感光性を改良したフォトレジス
トコーティングの感光材料を提供することに本発明の目
的はある。
なされたものであり、ディスプレイパネルのビデオイメ
ージカラーコントラストを高めるためにコーティングを
活性化させ、硬化させるためにフォトレジストコーティ
ングに照射する紫外線の感光性を改良したフォトレジス
トコーティングの感光材料を提供することに本発明の目
的はある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】フォトレジストコーティ
ングは、断面積を有する透明部分のマトリクスからなる
リソグラフィーに使われる陰極線管（ＣＲＴ）のグラス
ディスプレイパネルの内面に適用される。透明部分は、
ブラックフォトレジストによってそれぞれ囲まれてい
る。赤緑青の三原色を作る燐光体は透明部分に形成さ
れ、ビデオイメージカラーコントラストを向上させるた
めにブラックフォトレジストがその周りを囲んでいる。
グラスディスプレイパネルの上に形成した後、感光性フ
ォトレジストコーティングは所定波長において、最強強
度を有する紫外線（ＵＶ）を照射されて硬化される。フ
ォトレジストコーティングの感光性組成物は、ビデオイ
メージカラーコントラストを向上させる高品質ブラック
マトリックスにするために、紫外線源の最強強度の波長
において最強感光度を有するように選ばれている。感光
性組成物はケトン基を有することを特徴としている。
ングは、断面積を有する透明部分のマトリクスからなる
リソグラフィーに使われる陰極線管（ＣＲＴ）のグラス
ディスプレイパネルの内面に適用される。透明部分は、
ブラックフォトレジストによってそれぞれ囲まれてい
る。赤緑青の三原色を作る燐光体は透明部分に形成さ
れ、ビデオイメージカラーコントラストを向上させるた
めにブラックフォトレジストがその周りを囲んでいる。
グラスディスプレイパネルの上に形成した後、感光性フ
ォトレジストコーティングは所定波長において、最強強
度を有する紫外線（ＵＶ）を照射されて硬化される。フ
ォトレジストコーティングの感光性組成物は、ビデオイ
メージカラーコントラストを向上させる高品質ブラック
マトリックスにするために、紫外線源の最強強度の波長
において最強感光度を有するように選ばれている。感光
性組成物はケトン基を有することを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１を参照すると、図１は、本発
明に基づいた燐光体をベースにしたフォトレジストコー
ティング２４を有するカラーＣＲＴ１０の縦断面図であ
る。ここでディスプレイスクリーン、ディスプレイパネ
ル及びフェースプレートは取り替えることができる。Ｃ
ＲＴ１０は、前を向いたフェースプレートあるいはディ
スプレイパネル１４、後部の首の部分１８及び中央のじ
ょうご状の部分１６を有する。シールされたグラス封止
部１２を含む。フォトレジストコーティング２４は、複
数の燐光体の堆積物あるいは要素、それらは電子ビーム
が投射されたとき、ディスプレイパネルのビデオイメー
ジとして発光する。カラーＣＲＴ１０はＣＲＴのグラス
ディスプレイパネル１４に焦点を合わせて、３つの電子
ビーム２２を含んでいる。ＣＲＴの封止グラス１２の首
の部分１８が設けられ、複数の電子銃２０は整列し、電
子ビーム２２はディスプレイパネル１４の上に向かって
いる。図に示していない磁気屈折ヨークにより燐光体に
基づいたフォトレジストコーティング２４を一斉に横切
って電子ビーム２２は縦及び水平に屈折する。シャドー
マスク２６は、燐光体スクリーン２４から離されて設け
られ、電子ビームパッシング絞り２６ａ及びシャドーマ
スク裾部分２８に複数配置されている。シャドーマスク
裾部分２８は、シャドーマスクの周りの取付け部３０に
安全に取り付けられている。取付け部３０に取り付けた
シャドーマスクはＣＲＴの封止グラス１２の内面に取付
けられ、図に示さないマスク取付け枠及び取付けスプリ
ングといった取付け部品や構造を含んでいる。取付け具
３０に取り付けるシャドーマスクは、ＣＲＴ封止グラス
１２の表面及びシャドーマスク２６に取り付けられ、溶
接あるいはグラスフリットで固定される。ディスプレイ
スクリーン１４の外側には、静電防止／反射防止コーテ
ィング３２が設けられている。
明に基づいた燐光体をベースにしたフォトレジストコー
ティング２４を有するカラーＣＲＴ１０の縦断面図であ
る。ここでディスプレイスクリーン、ディスプレイパネ
ル及びフェースプレートは取り替えることができる。Ｃ
ＲＴ１０は、前を向いたフェースプレートあるいはディ
スプレイパネル１４、後部の首の部分１８及び中央のじ
ょうご状の部分１６を有する。シールされたグラス封止
部１２を含む。フォトレジストコーティング２４は、複
数の燐光体の堆積物あるいは要素、それらは電子ビーム
が投射されたとき、ディスプレイパネルのビデオイメー
ジとして発光する。カラーＣＲＴ１０はＣＲＴのグラス
ディスプレイパネル１４に焦点を合わせて、３つの電子
ビーム２２を含んでいる。ＣＲＴの封止グラス１２の首
の部分１８が設けられ、複数の電子銃２０は整列し、電
子ビーム２２はディスプレイパネル１４の上に向かって
いる。図に示していない磁気屈折ヨークにより燐光体に
基づいたフォトレジストコーティング２４を一斉に横切
って電子ビーム２２は縦及び水平に屈折する。シャドー
マスク２６は、燐光体スクリーン２４から離されて設け
られ、電子ビームパッシング絞り２６ａ及びシャドーマ
スク裾部分２８に複数配置されている。シャドーマスク
裾部分２８は、シャドーマスクの周りの取付け部３０に
安全に取り付けられている。取付け部３０に取り付けた
シャドーマスクはＣＲＴの封止グラス１２の内面に取付
けられ、図に示さないマスク取付け枠及び取付けスプリ
ングといった取付け部品や構造を含んでいる。取付け具
３０に取り付けるシャドーマスクは、ＣＲＴ封止グラス
１２の表面及びシャドーマスク２６に取り付けられ、溶
接あるいはグラスフリットで固定される。ディスプレイ
スクリーン１４の外側には、静電防止／反射防止コーテ
ィング３２が設けられている。
【０００８】従来技術としてのフォトレジスト材料はＰ
ＶＡ、ＰＶＰ及び次に示すジソジウム４，４”−ジアジ
ドスチルベン２，２’−ジスルホン酸（disodium4,4"-d
iazidostilbene2,2'-disulfonic acid）のような感光性
ソジウム塩を含む。
ＶＡ、ＰＶＰ及び次に示すジソジウム４，４”−ジアジ
ドスチルベン２，２’−ジスルホン酸（disodium4,4"-d
iazidostilbene2,2'-disulfonic acid）のような感光性
ソジウム塩を含む。
【０００９】
【化６】
【００１０】このソジウム塩は３３５nmに最強の感光性
をもつ。通常、フォトレジスト材料の硬化に使われる紫
外線の線源は３６５nm、４０５nm及び４４０nmに最強の
強度をもつ水銀が使われる。ジソジウム塩の最強の感光
度は、この紫外線の線源の最強強度の波長ではないの
で、フォトレジストコーティングの硬化は滞り、ディス
プレイパネルにおけるビデオイメージのカラーコントラ
ストは低下する。
をもつ。通常、フォトレジスト材料の硬化に使われる紫
外線の線源は３６５nm、４０５nm及び４４０nmに最強の
強度をもつ水銀が使われる。ジソジウム塩の最強の感光
度は、この紫外線の線源の最強強度の波長ではないの
で、フォトレジストコーティングの硬化は滞り、ディス
プレイパネルにおけるビデオイメージのカラーコントラ
ストは低下する。
【００１１】本発明によると、従来技術のジソジウム
４，４”−ジアジドスチルベン２，２’−ジスルホン酸
のようなジソジウム塩は、感光性を向上させるケトン基
と置き換える。フォトレジスト材料の感光性材料として
用いられるのは、例えば、化１、化２、化３、化４およ
び化５がある。化１〜化５の化合物は、本発明で感光性
を向上させるフォトレジスト材料であり、本発明に基づ
いてフォトレジスト材料として使われるケトンに基づい
た全てのフォト感光性材料を表しているわけではない。
４，４”−ジアジドスチルベン２，２’−ジスルホン酸
のようなジソジウム塩は、感光性を向上させるケトン基
と置き換える。フォトレジスト材料の感光性材料として
用いられるのは、例えば、化１、化２、化３、化４およ
び化５がある。化１〜化５の化合物は、本発明で感光性
を向上させるフォトレジスト材料であり、本発明に基づ
いてフォトレジスト材料として使われるケトンに基づい
た全てのフォト感光性材料を表しているわけではない。
【００１２】ブラックマトリキシングフォトリソグラフ
ィー（ＢＬＡＣＫ ＭＡＴＲＩＸＩＮＧ ＰＨＯＴＯＬ
ＩＴＨＯＧＲＡＰＨＹ）のオプチュウムの波長は３６５
nmであり、従来技術の感光性材料ジソジウム４，４”−
ジアジドスチルベン２，２’−ジスルホン酸は３３５nm
に最強感光度をもち、リソグラフィカリーには好ましく
ない。
ィー（ＢＬＡＣＫ ＭＡＴＲＩＸＩＮＧ ＰＨＯＴＯＬ
ＩＴＨＯＧＲＡＰＨＹ）のオプチュウムの波長は３６５
nmであり、従来技術の感光性材料ジソジウム４，４”−
ジアジドスチルベン２，２’−ジスルホン酸は３３５nm
に最強感光度をもち、リソグラフィカリーには好ましく
ない。
【００１３】本発明はフォトレジスト材料の感光度を長
波長側にシフトするケトン基（−Ｃ＝Ｏ）からなってい
る。フォトレジスト材料の上記挿入された感光性組成物
は、紫外線の照射による最強感光度において特徴的な波
長を有する。上記最強感光度の波長からフォトレジスト
材料に用いられる従来技術の感光性組成物より、上記組
成物は感光度をもっと上げることができる。具体的に
は、感光性組成物はＰＶＡ、ＰＶＰあるいはそれらの混
合物を含むブラックマトリキシング溶液中に１〜３０wt
％含まれる。
波長側にシフトするケトン基（−Ｃ＝Ｏ）からなってい
る。フォトレジスト材料の上記挿入された感光性組成物
は、紫外線の照射による最強感光度において特徴的な波
長を有する。上記最強感光度の波長からフォトレジスト
材料に用いられる従来技術の感光性組成物より、上記組
成物は感光度をもっと上げることができる。具体的に
は、感光性組成物はＰＶＡ、ＰＶＰあるいはそれらの混
合物を含むブラックマトリキシング溶液中に１〜３０wt
％含まれる。
【図１】本発明の実施例のグラスディスプレイパネルの
内面にフォトレジストコーティングを有するＣＲＴの縦
断面図である。
内面にフォトレジストコーティングを有するＣＲＴの縦
断面図である。
１０ ＣＲＴ １２ 封止グラス １４ ディスプレイパネル １６ じょうご状の部分 １８ 首の部分 ２０ 電子銃 ２２ 電子ビーム ２４ フォトレジストコーティング ２６ シャドーマスク
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０９Ｄ 4/00 Ｃ０９Ｄ 4/00 4/06 4/06 Ｃ０９Ｋ 9/02 Ｃ０９Ｋ 9/02 Ｂ Ｇ０２Ｂ 1/12 Ｇ０２Ｂ 1/12
Claims (9)
- 【請求項１】 グラスビデオディスプレイパネルの内面
に形成されたフォトレジストコーティングであって、 前記フォトレジストコーティングは、前記フォトレジス
トコーティングを硬化させるために、紫外線の照射に反
応する感光性組成物を有し、 前記紫外線は、所定波長において最強強度を有し、 感光性組成物は、前記フォトレジストコーティングに加
えられるケトン基を有し、 前記ケトン基を有する前記感光性組成物は、紫外線照射
の最強強度あるいはその近辺において、感度のピークを
有することを特徴とする陰極線管のブラックマトリキシ
ング。 - 【請求項２】 前記感光性組成物は、 【化１】 【化２】 【化３】 【化４】 【化５】 からなるグループより選ばれることを特徴とする請求項
１に記載の陰極線菅のブラックマトリキシング。 - 【請求項３】 前記感光性組成物は、フォトレジストコ
ーティングに１〜３０wt％の範囲で含まれることを特徴
とする請求項２に記載の陰極線菅のブラックマトリキシ
ング。 - 【請求項４】 紫外線光が３６５nmに最強強度をもつと
き、 化１、化２、化３、化４および化５の化合物は、それぞ
れ３６０nm、３５６nm、３５６nm、３８０nm、および３
６０nmにピーク感光度をもつことを特徴とする請求項２
に記載の陰極線菅のブラックマトリキシング。 - 【請求項５】 グラスビデオディスプレイパネルの内面
にフォトレジストコーティングを施す方法であって、 ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）と水とからなるコーテ
ィング溶液を作る工程と、 ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を前記コーティング溶
液に加え、前記コーティング溶液のグラスビデオディス
プレイパネルへの接着性を改良する工程と、 フォトレジストコーティングを硬化させるために、所定
波長において最強強度を有する紫外線（ＵＶ）を照射
し、前記コーティング溶液を反応させるために前記コー
ティング溶液に前記所定波長の紫外線に対してピーク感
光度を有するケトン基を含む感光性ジソジウム塩を加え
る工程とからなることを特徴とする陰極線管のブラック
マトリキシングの形成方法。 - 【請求項６】化１、化２、化３、化４および化５の化合
物からなるグループより選ばれた感光性ジソジウム塩を
加える工程を含むことを特徴とする請求項５に記載の陰
極線管のブラックマトリキシングの形成方法。 - 【請求項７】 陰極線管グラスフェイスプレートの内面
に施されるコーティングであって、 前記コーティングは、水にポリビニルピロリドン（ＰＶ
Ｐ）を含む溶液と、 陰極線管グラスフェイスプレートの内面に前記溶液の付
着力を上げるポリビニルアルコール（ＰＶＡ）と、 コーティングを硬化させるために、前記所定波長におけ
る紫外線に対してピーク感光度を有するケトン基を含
み、前記溶液を紫外線照射に反応させる感光性ジソジウ
ム塩とを有することを特徴とする陰極線管のブラックマ
トリキシングの形成物。 - 【請求項８】 前記ジソジウム塩は、化１、化２、化
３、化４および化５の化合物からなるグループより選ば
れることを特徴とする請求項７に記載の陰極線管のブラ
ックマトリキシングの形成物。 - 【請求項９】 前記感光性ジソジウム塩は、前記溶液に
１〜３０wt％の範囲で含まれることを特徴とする請求項
７に記載の陰極線管のブラックマトリキシングの形成
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200094A JPH1050213A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 陰極線管のブラックマトリキシングとその形成方法及び形成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200094A JPH1050213A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 陰極線管のブラックマトリキシングとその形成方法及び形成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1050213A true JPH1050213A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16418760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8200094A Pending JPH1050213A (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 陰極線管のブラックマトリキシングとその形成方法及び形成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1050213A (ja) |
-
1996
- 1996-07-30 JP JP8200094A patent/JPH1050213A/ja active Pending
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