JPH1050579A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH1050579A5 JPH1050579A5 JP1996207100A JP20710096A JPH1050579A5 JP H1050579 A5 JPH1050579 A5 JP H1050579A5 JP 1996207100 A JP1996207100 A JP 1996207100A JP 20710096 A JP20710096 A JP 20710096A JP H1050579 A5 JPH1050579 A5 JP H1050579A5
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- JP
- Japan
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20710096A JPH1050579A (ja) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | 位置検出装置及び該装置を備えた露光装置 |
| EP19970113575 EP0823667A2 (fr) | 1996-08-06 | 1997-08-06 | Dispositif d'alignement et dispositif d'exposition muni de celui-ci |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20710096A JPH1050579A (ja) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | 位置検出装置及び該装置を備えた露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1050579A JPH1050579A (ja) | 1998-02-20 |
| JPH1050579A5 true JPH1050579A5 (fr) | 2004-11-11 |
Family
ID=16534206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20710096A Withdrawn JPH1050579A (ja) | 1996-08-06 | 1996-08-06 | 位置検出装置及び該装置を備えた露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1050579A (fr) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998057362A1 (fr) | 1997-06-09 | 1998-12-17 | Nikon Corporation | Capteur et procede servant a detecter la position de la surface d'un objet, dispositif d'alignement comportant ce capteur et procede servant a fabriquer ce dispositif d'alignement et procede servant a fabriquer des dispositifs au moyen de ce dispositif d'alignement |
| JP2009094512A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Asml Netherlands Bv | 位置合わせ方法及び装置、リソグラフィ装置、計測装置、及びデバイス製造方法 |
-
1996
- 1996-08-06 JP JP20710096A patent/JPH1050579A/ja not_active Withdrawn
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