JPH1054735A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
- Publication number
- JPH1054735A JPH1054735A JP8210851A JP21085196A JPH1054735A JP H1054735 A JPH1054735 A JP H1054735A JP 8210851 A JP8210851 A JP 8210851A JP 21085196 A JP21085196 A JP 21085196A JP H1054735 A JPH1054735 A JP H1054735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- coating
- light
- grating
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Transform (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のエンコーダのスリット及び窓を形成す
るスリット用コーティング及び窓用コーティングには反
射防止膜が形成されていないため、光の反射によるノイ
ズ成分が出力信号に混入し、精度低下となっていた。 【解決手段】 本発明によるエンコーダは、グレーティ
ング(4)の窓(6)を形成する窓用コーティング(5)と前記
グレーティング(5)との間に窓用反射防止膜(5A)を設
け、外乱光等の反射を防止し、回転検出信号へのノイズ
成分の混入を防止する構成である。
るスリット用コーティング及び窓用コーティングには反
射防止膜が形成されていないため、光の反射によるノイ
ズ成分が出力信号に混入し、精度低下となっていた。 【解決手段】 本発明によるエンコーダは、グレーティ
ング(4)の窓(6)を形成する窓用コーティング(5)と前記
グレーティング(5)との間に窓用反射防止膜(5A)を設
け、外乱光等の反射を防止し、回転検出信号へのノイズ
成分の混入を防止する構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エンコーダに関
し、特に、グレーティング側又はディスク側あるいは両
方に反射防止膜を形成することにより、回転検出信号の
Ｓ／Ｎ比を向上させるための新規な改良に関する。
し、特に、グレーティング側又はディスク側あるいは両
方に反射防止膜を形成することにより、回転検出信号の
Ｓ／Ｎ比を向上させるための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種のエンコー
ダとしては、一般に、図３及び図４で示す構成が採用さ
れていた。すなわち、図３において符号１で示されるも
のはガラス板等よりなる回転ディスクであり、この回転
ディスク１の一面（図３では裏面）１ａには、クロム等
からなるスリット用コーティング２が複数個形成され、
各スリット用コーティング２間には光源３からの光Ａ，
Ｂ，Ｃのうち光Ｂが通過するためのスリット３が形成さ
れている。
ダとしては、一般に、図３及び図４で示す構成が採用さ
れていた。すなわち、図３において符号１で示されるも
のはガラス板等よりなる回転ディスクであり、この回転
ディスク１の一面（図３では裏面）１ａには、クロム等
からなるスリット用コーティング２が複数個形成され、
各スリット用コーティング２間には光源３からの光Ａ，
Ｂ，Ｃのうち光Ｂが通過するためのスリット３が形成さ
れている。
【０００３】前記回転ディスク１の隣接位置（図３では
下方位置）には、ガラス板等よりなるグレーティング４
が固定配置され、このグレーティング４の前記回転ディ
スク１と対向する対向面４ａには、クロム等からなる窓
用コーティング５が形成され、この窓用コーティング５
が形成されない部分に光Ｂが通過するための窓６が形成
されている。前記グレーティング４の外側位置（図３で
は下方位置）には、互いに位相が異なる位置に設けられ
た第１、第２受光素子７，８が配設されている。
下方位置）には、ガラス板等よりなるグレーティング４
が固定配置され、このグレーティング４の前記回転ディ
スク１と対向する対向面４ａには、クロム等からなる窓
用コーティング５が形成され、この窓用コーティング５
が形成されない部分に光Ｂが通過するための窓６が形成
されている。前記グレーティング４の外側位置（図３で
は下方位置）には、互いに位相が異なる位置に設けられ
た第１、第２受光素子７，８が配設されている。
【０００４】次に、動作について説明する。図３の状態
で光源３から光Ｂが入射されると、各受光素子７，８へ
の光の入射状態は周知の図４の（Ａ），（Ｂ）の状態と
なるように前記窓用コーティング５のパターンが実際に
は形成されている。従って、前述の状態において、図４
の（Ａ），（Ｂ）で示すように光が入射すると、各受光
素子７，８からの出力信号は、図４の（Ｃ）及び（Ｄ）
で示すように出力されていた。
で光源３から光Ｂが入射されると、各受光素子７，８へ
の光の入射状態は周知の図４の（Ａ），（Ｂ）の状態と
なるように前記窓用コーティング５のパターンが実際に
は形成されている。従って、前述の状態において、図４
の（Ａ），（Ｂ）で示すように光が入射すると、各受光
素子７，８からの出力信号は、図４の（Ｃ）及び（Ｄ）
で示すように出力されていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のエンコーダは、
以上のように構成されていたため、次のような課題が存
在していた。すなわち、クロムを用いた窓用コーティン
グのみの状態では、第１受光素子で反射した光が窓用コ
ーティング５で反射し、第２受光素子に入射するため、
図４の（Ｃ）及び（Ｄ）で示すように信号成分とは別に
ノイズ成分が出力され、各受光素子からの出力信号はノ
イズ成分を含むＳ／Ｎ比の悪い出力信号となっていた。
以上のように構成されていたため、次のような課題が存
在していた。すなわち、クロムを用いた窓用コーティン
グのみの状態では、第１受光素子で反射した光が窓用コ
ーティング５で反射し、第２受光素子に入射するため、
図４の（Ｃ）及び（Ｄ）で示すように信号成分とは別に
ノイズ成分が出力され、各受光素子からの出力信号はノ
イズ成分を含むＳ／Ｎ比の悪い出力信号となっていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によるエンコーダ
は、光源からの光を、回転ディスクのスリット及びグレ
ーティングの窓を介して受光素子に到達させ、前記回転
ディスクの回転に応じた回転検出信号を前記受光素子か
ら得るようにしたエンコーダにおいて、前記グレーティ
ングの窓を形成する窓用コーティングと前記グレーティ
ングとの間に窓用反射防止膜を設けた構成である。
は、光源からの光を、回転ディスクのスリット及びグレ
ーティングの窓を介して受光素子に到達させ、前記回転
ディスクの回転に応じた回転検出信号を前記受光素子か
ら得るようにしたエンコーダにおいて、前記グレーティ
ングの窓を形成する窓用コーティングと前記グレーティ
ングとの間に窓用反射防止膜を設けた構成である。
【０００７】さらに詳細には、前記回転ディスクのスリ
ットを形成するスリット用コーティングの外面にスリッ
ト用反射防止膜を設けた構成である。
ットを形成するスリット用コーティングの外面にスリッ
ト用反射防止膜を設けた構成である。
【０００８】さらに詳細には、前記窓用コーティングは
クロムよりなり、前記窓用反射防止膜は酸化クロムより
なる構成である。
クロムよりなり、前記窓用反射防止膜は酸化クロムより
なる構成である。
【０００９】さらに詳細には、前記窓用コーティング及
びスリット用コーティングは、クロムよりなり、前記ス
リット用反射防止膜は酸化クロムよりなる構成である。
びスリット用コーティングは、クロムよりなり、前記ス
リット用反射防止膜は酸化クロムよりなる構成である。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるエ
ンコーダの好適な実施の形態について説明する。なお、
従来例と同一又は同等部分については同一符号を用いて
説明する。図１において符号１で示されるものは、ガラ
ス板等よりなる回転ディスクであり、この回転ディスク
１の一面（図１では裏面）１ａには、クロム等からなる
スリット用コーティング２が複数個形成され、各スリッ
ト用コーティング２間には光源３からの光Ａ，Ｂ，Ｃの
うち光Ｂが通過するためのスリット３が形成されてい
る。
ンコーダの好適な実施の形態について説明する。なお、
従来例と同一又は同等部分については同一符号を用いて
説明する。図１において符号１で示されるものは、ガラ
ス板等よりなる回転ディスクであり、この回転ディスク
１の一面（図１では裏面）１ａには、クロム等からなる
スリット用コーティング２が複数個形成され、各スリッ
ト用コーティング２間には光源３からの光Ａ，Ｂ，Ｃの
うち光Ｂが通過するためのスリット３が形成されてい
る。
【００１１】前記回転ディスク１の隣接位置（図３では
下方位置）には、ガラス板等よりなるグレーティング４
が固定配置され、このグレーティング４の前記回転ディ
スク１と対向する対向面４ａには、クロム等からなる窓
用コーティング５が形成され、この窓用コーティング５
は低反射材料である酸化クロム等からなる窓用反射防止
膜５Ａを介してグレーティング４に形成されている。従
って、この窓用コーティング５及び窓用反射防止窓５Ａ
が形成されない部分に、光Ｂが通過するための窓６が形
成されている。前記グレーティング４の外側位置（図１
では下方位置）には、互いに位相が異なる位置に設けら
れた第１、第２受光素子７，８が配設されている。
下方位置）には、ガラス板等よりなるグレーティング４
が固定配置され、このグレーティング４の前記回転ディ
スク１と対向する対向面４ａには、クロム等からなる窓
用コーティング５が形成され、この窓用コーティング５
は低反射材料である酸化クロム等からなる窓用反射防止
膜５Ａを介してグレーティング４に形成されている。従
って、この窓用コーティング５及び窓用反射防止窓５Ａ
が形成されない部分に、光Ｂが通過するための窓６が形
成されている。前記グレーティング４の外側位置（図１
では下方位置）には、互いに位相が異なる位置に設けら
れた第１、第２受光素子７，８が配設されている。
【００１２】次に、動作について説明する。図１の状態
で光源３からの光Ｂが入射されると、各受光素子７，８
への光の入射状態は周知の図２の（Ａ）及び（Ｂ）の状
態となるように前記窓用コーティング５及び窓用反射防
止膜５Ａのパターンが実際には形成されている。従っ
て、前述の状態において、図２の（Ａ），（Ｂ）で示す
ように光Ｂが入射すると、同時に外乱光である光Ａ等も
入射するが、この光Ａは第１受光素子７で反射され窓用
反射防止膜５Ａで吸収されて第２受光素子８への入射が
防止される。従って、図２の（Ａ），（Ｂ）のように光
が各受光素子７，８に入射すると、各受光素子７，８か
らの出力信号は、従来のようなノイズ成分を含むことの
ない正常な状態のパルスよりなる図２の（Ｃ），（Ｄ）
で示すエンコーダの回転検出信号である出力信号を得る
ことができる。なお、前述の図１の構成では、光が入射
する方向を上から下へ向けた場合について述べたが、エ
ンコーダの取付向きを変更することにより、上下方向の
みではなく、これとは逆の下から上の場合、左右すなわ
ち水平方向の場合等何れの方向でも可能である。また、
前述の実施例では、窓用コーティング５のみに窓用反射
防止膜５Ａを設けた場合について述べたが、前記スリッ
ト用コーティング２にスリット用反射防止膜２Ａ（図１
に点線で示す）を形成させ、何れか一方のみの反射防止
膜を用いる場合、あるいは、両方の反射防止膜を用いる
ようにすることもできる。また、前述の反射防止膜は、
酸化クロムを用いた場合について述べたが、酸化クロム
以外の低反射材料を用いることもできる。
で光源３からの光Ｂが入射されると、各受光素子７，８
への光の入射状態は周知の図２の（Ａ）及び（Ｂ）の状
態となるように前記窓用コーティング５及び窓用反射防
止膜５Ａのパターンが実際には形成されている。従っ
て、前述の状態において、図２の（Ａ），（Ｂ）で示す
ように光Ｂが入射すると、同時に外乱光である光Ａ等も
入射するが、この光Ａは第１受光素子７で反射され窓用
反射防止膜５Ａで吸収されて第２受光素子８への入射が
防止される。従って、図２の（Ａ），（Ｂ）のように光
が各受光素子７，８に入射すると、各受光素子７，８か
らの出力信号は、従来のようなノイズ成分を含むことの
ない正常な状態のパルスよりなる図２の（Ｃ），（Ｄ）
で示すエンコーダの回転検出信号である出力信号を得る
ことができる。なお、前述の図１の構成では、光が入射
する方向を上から下へ向けた場合について述べたが、エ
ンコーダの取付向きを変更することにより、上下方向の
みではなく、これとは逆の下から上の場合、左右すなわ
ち水平方向の場合等何れの方向でも可能である。また、
前述の実施例では、窓用コーティング５のみに窓用反射
防止膜５Ａを設けた場合について述べたが、前記スリッ
ト用コーティング２にスリット用反射防止膜２Ａ（図１
に点線で示す）を形成させ、何れか一方のみの反射防止
膜を用いる場合、あるいは、両方の反射防止膜を用いる
ようにすることもできる。また、前述の反射防止膜は、
酸化クロムを用いた場合について述べたが、酸化クロム
以外の低反射材料を用いることもできる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によるエンコーダは、以上のよう
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。すなわち、回転ディスク又はグレーティングの一
方又は両方に反射防止膜を形成し、外乱光の反射を抑え
ているため、各受光素子から出力される出力信号を、ノ
イズ成分を含まない状態で、出力することができ、エン
コーダの出力精度を大幅に向上させることができる。
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。すなわち、回転ディスク又はグレーティングの一
方又は両方に反射防止膜を形成し、外乱光の反射を抑え
ているため、各受光素子から出力される出力信号を、ノ
イズ成分を含まない状態で、出力することができ、エン
コーダの出力精度を大幅に向上させることができる。
【図１】本発明によるエンコーダの概略を示す構成図で
ある。
ある。
【図２】図１の入射光と出力信号を示す波形図である。
【図３】従来のエンコーダの概略を示す構成図である。
【図４】図３の入射光と出力信号を示す波形図である。
１ 回転ディスク ２ スリット用コーティング ２Ａ スリット用反射防止膜 ３ スリット ４ グレーティング ５ 窓用コーティング ６ 窓 ７，８ 受光素子
Claims (4)
- 【請求項１】 光源(3)からの光を、回転ディスク(1)の
スリット(3)及びグレーティング(4)の窓(6)を介して受
光素子(7,8)に到達させ、前記回転ディスク(1)の回転に
応じた回転検出信号を前記受光素子(7,8)から得るよう
にしたエンコーダにおいて、前記グレーティング(4)の
窓(6)を形成する窓用コーティング(5)と前記グレーティ
ング(4)との間に窓用反射防止膜(5A)を設けたことを特
徴とするエンコーダ。 - 【請求項２】 前記回転ディスク(1)のスリット(3)を形
成するスリット用コーティング(2)の外面にスリット用
反射防止膜(2A)を設けたことを特徴とする請求項１記載
のエンコーダ。 - 【請求項３】 前記窓用コーティング(5)はクロムより
なり、前記窓用反射防止膜(5A)は酸化クロムよりなるこ
とを特徴とする請求項１記載のエンコーダ。 - 【請求項４】 前記窓用コーティング(5)及びスリット
用コーティング(2A)は、クロムよりなり、前記スリット
用反射防止膜(2A)は酸化クロムよりなることを特徴とす
る請求項２記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8210851A JPH1054735A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8210851A JPH1054735A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1054735A true JPH1054735A (ja) | 1998-02-24 |
Family
ID=16596163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8210851A Pending JPH1054735A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1054735A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001265201A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 複製用ホログラム原版 |
| JP2011227068A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-11-10 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
| JP2017058239A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | ハイデンハイン株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
| US12038310B2 (en) | 2019-11-15 | 2024-07-16 | Renishaw Plc | Encoder apparatus with readhead having circuit board and a folded sheet-metal structure to support a light emitting element |
| US12072216B2 (en) | 2019-11-15 | 2024-08-27 | Renishaw Plc | Encoder apparatus and readhead |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP8210851A patent/JPH1054735A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001265201A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 複製用ホログラム原版 |
| JP2011227068A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-11-10 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
| JP2017058239A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | ハイデンハイン株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
| US12038310B2 (en) | 2019-11-15 | 2024-07-16 | Renishaw Plc | Encoder apparatus with readhead having circuit board and a folded sheet-metal structure to support a light emitting element |
| US12072216B2 (en) | 2019-11-15 | 2024-08-27 | Renishaw Plc | Encoder apparatus and readhead |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040726 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040907 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041104 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041207 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050531 |