JPH105657A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
- Publication number
- JPH105657A JPH105657A JP18395696A JP18395696A JPH105657A JP H105657 A JPH105657 A JP H105657A JP 18395696 A JP18395696 A JP 18395696A JP 18395696 A JP18395696 A JP 18395696A JP H105657 A JPH105657 A JP H105657A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- syringe
- shaft
- coating apparatus
- piston
- needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安定した精密塗布を実現し、タクトタイムの
短縮、歩留まりの向上など、ＰＺＴ方式のインクジェッ
トヘッド等の生産性の向上を図る。 【解決手段】 垂直シリンジ３は、図示しないディスペ
ンサーに接続され、シリンジ固定用のブランケット６に
より装置に固定されている。垂直ニードル５は垂直シリ
ンジ３に取り付けられており、該垂直ニードル５の先端
は垂直ニードル固定用ブラケット４により固定されてい
る。斜めニードル１０はＣＣＤカメラ１の撮影視野に収
まるように、斜めニードル固定用ブラケット９により固
定されている。センサ１８，１９は、シリンジ固定用ブ
ラケット６にシリンジ３，８を固定する際に、これらシ
リンジの有無を確認するセンサで、垂直シリンジ３用の
センサ１８と斜めシリンジ８用のセンサ１９の２つのセ
ンサを、シリンジ固定用ブラケット６に設置して、シリ
ンジ３，８の取り付け状態を確認をするようにしてい
る。
短縮、歩留まりの向上など、ＰＺＴ方式のインクジェッ
トヘッド等の生産性の向上を図る。 【解決手段】 垂直シリンジ３は、図示しないディスペ
ンサーに接続され、シリンジ固定用のブランケット６に
より装置に固定されている。垂直ニードル５は垂直シリ
ンジ３に取り付けられており、該垂直ニードル５の先端
は垂直ニードル固定用ブラケット４により固定されてい
る。斜めニードル１０はＣＣＤカメラ１の撮影視野に収
まるように、斜めニードル固定用ブラケット９により固
定されている。センサ１８，１９は、シリンジ固定用ブ
ラケット６にシリンジ３，８を固定する際に、これらシ
リンジの有無を確認するセンサで、垂直シリンジ３用の
センサ１８と斜めシリンジ８用のセンサ１９の２つのセ
ンサを、シリンジ固定用ブラケット６に設置して、シリ
ンジ３，８の取り付け状態を確認をするようにしてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、塗布装置、より詳
細には、電極形成や電極導通などに用いる銀ペーストを
精密塗布する銀ペースト塗布装置に関するものである
が、銀ペースト以外の流体や液体、つまり、接着剤やク
リーム半田などの精密塗布、特に、線引き塗布を精密に
行うことのできる塗布装置に関する。
細には、電極形成や電極導通などに用いる銀ペーストを
精密塗布する銀ペースト塗布装置に関するものである
が、銀ペースト以外の流体や液体、つまり、接着剤やク
リーム半田などの精密塗布、特に、線引き塗布を精密に
行うことのできる塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ディスペンサーを用いた塗布装置はいく
つか存在するが、ＰＺＴ方式インクジェットヘッドのよ
うな、微小な部品の電極形成などに用いる塗布装置、す
なわち、ワーク位置を５０〔μｍ〕の位置検出精度で精
密塗布を実現できる精密塗布装置は存在しない。現在、
手作業による塗布を行っており、タクトタイムの長大、
歩留まりの低下などの問題がある。
つか存在するが、ＰＺＴ方式インクジェットヘッドのよ
うな、微小な部品の電極形成などに用いる塗布装置、す
なわち、ワーク位置を５０〔μｍ〕の位置検出精度で精
密塗布を実現できる精密塗布装置は存在しない。現在、
手作業による塗布を行っており、タクトタイムの長大、
歩留まりの低下などの問題がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、ＰＺＴ
方式インクジェットヘッドのような、微小な部品の電極
形成などに用いる塗布装置、具体的には、ワーク位置を
５０〔μｍ〕の位置検出精度で精密塗布を実現できるよ
うな精密塗布装置は存在しない。そのため、現在、手作
業による塗布を行っており、タクトタイムの長大、歩留
まりの低下などの問題がある。
方式インクジェットヘッドのような、微小な部品の電極
形成などに用いる塗布装置、具体的には、ワーク位置を
５０〔μｍ〕の位置検出精度で精密塗布を実現できるよ
うな精密塗布装置は存在しない。そのため、現在、手作
業による塗布を行っており、タクトタイムの長大、歩留
まりの低下などの問題がある。
【０００４】本発明は、塗布装置の上述のごとき問題を
解決すべく、安定した精密塗布を実現し、タクトタイム
の短縮、歩留まりの向上など、ＰＺＴ方式のインクジェ
ットヘッドの生産性の向上を図ることを目的としてなさ
れたものである。
解決すべく、安定した精密塗布を実現し、タクトタイム
の短縮、歩留まりの向上など、ＰＺＴ方式のインクジェ
ットヘッドの生産性の向上を図ることを目的としてなさ
れたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、高精
度位置決め駆動が可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージによ
り構成されたワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持さ
れ、かつ、角度を自由に設定できるブラケットにより支
持され、流体や液体などの被吐出材料の吐出を行うニー
ドル付帯シリンジとからなる塗布装置において、前記シ
リンジの取り付け部に該シリンジの取り付けの有無を検
出するセンサを有することを特徴とし、もって、吐出用
シリンジの取り付け部にセンサを設置することにより、
シリンジ取り付けの有無を確認することを可能とし、取
り付け不備による誤動作などを防ぐようにしたものであ
る。
度位置決め駆動が可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージによ
り構成されたワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持さ
れ、かつ、角度を自由に設定できるブラケットにより支
持され、流体や液体などの被吐出材料の吐出を行うニー
ドル付帯シリンジとからなる塗布装置において、前記シ
リンジの取り付け部に該シリンジの取り付けの有無を検
出するセンサを有することを特徴とし、もって、吐出用
シリンジの取り付け部にセンサを設置することにより、
シリンジ取り付けの有無を確認することを可能とし、取
り付け不備による誤動作などを防ぐようにしたものであ
る。
【０００６】請求項２の発明は、高精度位置決め駆動が
可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成されたワー
ク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を
自由に設定できるブラケットにより支持され、流体や液
体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シリンジ
とからなる塗布装置において、前記シリンジを自動で交
換する機能を具備したことを特徴とし、もって、シリン
ジ内の被吐出材料が残り少なくなったことに対して、人
手によりシリンジの交換を行うという段取りをなくし、
生産性の向上を図ったものである。
可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成されたワー
ク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を
自由に設定できるブラケットにより支持され、流体や液
体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シリンジ
とからなる塗布装置において、前記シリンジを自動で交
換する機能を具備したことを特徴とし、もって、シリン
ジ内の被吐出材料が残り少なくなったことに対して、人
手によりシリンジの交換を行うという段取りをなくし、
生産性の向上を図ったものである。
【０００７】請求項３の発明は、高精度位置決め駆動が
可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成されたワー
ク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を
自由に設定できるブラケットにより支持され、流体や液
体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シリンジ
とからなる塗布装置において、前記シリンジに被吐出材
料を自動充填する機能を具備したことを特徴とし、もっ
て、被吐出材料の減少によるシリンジの交換という作業
をなくし、工程の短縮化、生産性の向上を図ったもので
ある。
可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成されたワー
ク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を
自由に設定できるブラケットにより支持され、流体や液
体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シリンジ
とからなる塗布装置において、前記シリンジに被吐出材
料を自動充填する機能を具備したことを特徴とし、もっ
て、被吐出材料の減少によるシリンジの交換という作業
をなくし、工程の短縮化、生産性の向上を図ったもので
ある。
【０００８】請求項４の発明は、高精度位置決め駆動が
可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成されたワー
ク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を
自由に設定できるブラケットにより支持され、流体や液
体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シリンジ
とからなる塗布装置において、前記シリンジに取り付け
るニードルの先端出口部にシャッターを有することを特
徴とし、もって、該シャッターの開閉の切り替えを制御
するようにし、該シャッターの開閉により、液だれを防
止するようにしたものである。
可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成されたワー
ク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を
自由に設定できるブラケットにより支持され、流体や液
体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シリンジ
とからなる塗布装置において、前記シリンジに取り付け
るニードルの先端出口部にシャッターを有することを特
徴とし、もって、該シャッターの開閉の切り替えを制御
するようにし、該シャッターの開閉により、液だれを防
止するようにしたものである。
【０００９】請求項５の発明は、請求項４の塗布装置に
おいて、前記シリンジ内を一定圧力に保つことを特徴と
し、もって、シリンジ内に一定圧力を加圧することによ
り、シャッターの開閉で吐出量をコントロールできるよ
うにし、この機能により、高精度吐出と高速応答性を実
現する精密塗布を可能にしたものである。
おいて、前記シリンジ内を一定圧力に保つことを特徴と
し、もって、シリンジ内に一定圧力を加圧することによ
り、シャッターの開閉で吐出量をコントロールできるよ
うにし、この機能により、高精度吐出と高速応答性を実
現する精密塗布を可能にしたものである。
【００１０】請求項６〜１２の発明は、高精度位置決め
駆動が可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成され
たワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、
角度を自由に設定できるブラケットにより支持され、流
体や液体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シ
リンジとからなる塗布装置において、請求項６の発明
は、シリンジ内の被吐出材料を押し出するためのピスト
ンを有すること、請求項７の発明は、前記ピストンシャ
フト駆動機構を任意の位置で位置決め可能な回転駆動機
構とボールねじにて構成したこと、請求項８の発明は、
前記ピストンシャフトの駆動機構を、任意の位置で位置
決め可能な回転駆動機構とスライダよりなる摩擦駆動機
構にて構成したこと、請求項９の発明は、前記ピストン
シャフト駆動機構を、任意の位置で位置決め可能な回転
駆動機構にピニオンギア（歯車）を構成した回転軸とラ
ックとによる構成したこと、請求項１０の発明は、前記
回転駆動機構にパルスモータを用いたこと、請求項１１
の発明は、前記回転駆動機構にサーボモータを用いたこ
と、請求項１２の発明は、前記ピストンシャフト駆動装
置の構成をリニアアクチュエータを用いたこと、を特徴
としたものである。ピストン内の被吐出材料を空気圧な
どの方法で吐出させると、安定した吐出を行うことはか
なり困難であり、吐出量を精密にコントロールしなけれ
ば、インクジェットヘッドの組み立てを実現することは
難しいが、空気という不安定な材質を用いたディスペン
サーの吐出方式に、ピストンの構造を利用し、機械的
に、被吐出材料を押し出して吐出するようにすると、体
積変化の分のみが吐出量として吐出され、安定した精度
で吐出を行うことができる。
駆動が可能なＸ，Ｙ，θの３軸ステージにより構成され
たワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、
角度を自由に設定できるブラケットにより支持され、流
体や液体などの被吐出材料の吐出を行うニードル付帯シ
リンジとからなる塗布装置において、請求項６の発明
は、シリンジ内の被吐出材料を押し出するためのピスト
ンを有すること、請求項７の発明は、前記ピストンシャ
フト駆動機構を任意の位置で位置決め可能な回転駆動機
構とボールねじにて構成したこと、請求項８の発明は、
前記ピストンシャフトの駆動機構を、任意の位置で位置
決め可能な回転駆動機構とスライダよりなる摩擦駆動機
構にて構成したこと、請求項９の発明は、前記ピストン
シャフト駆動機構を、任意の位置で位置決め可能な回転
駆動機構にピニオンギア（歯車）を構成した回転軸とラ
ックとによる構成したこと、請求項１０の発明は、前記
回転駆動機構にパルスモータを用いたこと、請求項１１
の発明は、前記回転駆動機構にサーボモータを用いたこ
と、請求項１２の発明は、前記ピストンシャフト駆動装
置の構成をリニアアクチュエータを用いたこと、を特徴
としたものである。ピストン内の被吐出材料を空気圧な
どの方法で吐出させると、安定した吐出を行うことはか
なり困難であり、吐出量を精密にコントロールしなけれ
ば、インクジェットヘッドの組み立てを実現することは
難しいが、空気という不安定な材質を用いたディスペン
サーの吐出方式に、ピストンの構造を利用し、機械的
に、被吐出材料を押し出して吐出するようにすると、体
積変化の分のみが吐出量として吐出され、安定した精度
で吐出を行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明による塗布装置の
基本構成を示す側面図、図２は正面図（図１をII-II線
方向から見た図)で、図示しないディスペンサーに接続
してある垂直シリンジ３がシリンジ固定用のブランケッ
ト６により装置に固定されており、垂直ニードル５は該
垂直シリンジ３に取り付けられており、垂直該ニードル
５の先端は垂直ニードル固定用ブラケット４により固定
されている。また、シリンジ固定用ブラケット６は斜め
シリンジ８を配置できる構成になっており、その角度θ
は２０，３０，４０度の３種類に設定できる。斜めニー
ドル１０はＣＣＤカメラ１の撮影視野に収まるように、
斜めニードル固定用ブラケット９により固定される。
基本構成を示す側面図、図２は正面図（図１をII-II線
方向から見た図)で、図示しないディスペンサーに接続
してある垂直シリンジ３がシリンジ固定用のブランケッ
ト６により装置に固定されており、垂直ニードル５は該
垂直シリンジ３に取り付けられており、垂直該ニードル
５の先端は垂直ニードル固定用ブラケット４により固定
されている。また、シリンジ固定用ブラケット６は斜め
シリンジ８を配置できる構成になっており、その角度θ
は２０，３０，４０度の３種類に設定できる。斜めニー
ドル１０はＣＣＤカメラ１の撮影視野に収まるように、
斜めニードル固定用ブラケット９により固定される。
【００１２】ニードルの上昇、下降の駆動にはＺ軸ステ
ージ７を用いる。Ｚ軸ステージ７の分解能は６〔μ
ｍ〕、位置決め精度は±６〔μｍ〕である。ＣＣＤカメ
ラ１はＣＣＤカメラ固定用ブラケット２によって装置に
固定されている。カメラ用の照明１６は、照明用ブラケ
ット１５により固定されており、画像処理を行うにあた
り必要十分な輝度を得られるように角度、位置が構成さ
れている。
ージ７を用いる。Ｚ軸ステージ７の分解能は６〔μ
ｍ〕、位置決め精度は±６〔μｍ〕である。ＣＣＤカメ
ラ１はＣＣＤカメラ固定用ブラケット２によって装置に
固定されている。カメラ用の照明１６は、照明用ブラケ
ット１５により固定されており、画像処理を行うにあた
り必要十分な輝度を得られるように角度、位置が構成さ
れている。
【００１３】塗布対象ワーク（例えば、ＰＺＴ方式のイ
ンクジェットヘッド）１７はθ軸ステージ１１上に真空
吸着により固定されている。θ軸ステージ１１の下に
は、Ｙ軸ステージ１２を配置し、その下にＸ軸ステージ
１３が配置され、ベース１４に固定されており、Ｘ，
Ｙ，θの方向に駆動できるようになっている。各軸ステ
ージは高分解能、高精度位置決め可能なステージを用い
ている。分解能、位置決め精度はそれぞれθ＝３.６
〔ｓｅｃ〕±５〔ｓｅｃ〕，Ｘ＝０.５〔μｍ〕±０．
５〔μｍ〕，Ｙ＝０.２５〔μｍ〕±０．２５〔μｍ〕
である。以上のステージでワークの移動を精密に行う。
ンクジェットヘッド）１７はθ軸ステージ１１上に真空
吸着により固定されている。θ軸ステージ１１の下に
は、Ｙ軸ステージ１２を配置し、その下にＸ軸ステージ
１３が配置され、ベース１４に固定されており、Ｘ，
Ｙ，θの方向に駆動できるようになっている。各軸ステ
ージは高分解能、高精度位置決め可能なステージを用い
ている。分解能、位置決め精度はそれぞれθ＝３.６
〔ｓｅｃ〕±５〔ｓｅｃ〕，Ｘ＝０.５〔μｍ〕±０．
５〔μｍ〕，Ｙ＝０.２５〔μｍ〕±０．２５〔μｍ〕
である。以上のステージでワークの移動を精密に行う。
【００１４】以上の基本構成を持つ塗布装置につき、以
下、請求項１から請求項１２までについて、実施例とと
もに詳細に説明する。
下、請求項１から請求項１２までについて、実施例とと
もに詳細に説明する。
【００１５】（請求項１のシリンジ設置センサ）図３
は、請求項１の発明におけるシリンジ設定センサの一例
を説明するための図で、図中、１８，１９は、シリンジ
固定用ブラケット６にシリンジを固定する際に、該シリ
ンジの有無を確認することを目的とするセンサで、垂直
シリンジ３用のセンサ１８と斜めシリンジ８用のセンサ
１９の２つのセンサを、図示のように、シリンジ固定用
ブラケット６に設置して、シリンジ３，８の取り付け状
態を確認をするようにしている。
は、請求項１の発明におけるシリンジ設定センサの一例
を説明するための図で、図中、１８，１９は、シリンジ
固定用ブラケット６にシリンジを固定する際に、該シリ
ンジの有無を確認することを目的とするセンサで、垂直
シリンジ３用のセンサ１８と斜めシリンジ８用のセンサ
１９の２つのセンサを、図示のように、シリンジ固定用
ブラケット６に設置して、シリンジ３，８の取り付け状
態を確認をするようにしている。
【００１６】（請求項２のシリンジ自動交換機能）図４
は、請求項２のシリンジ自動交換機能を説明するための
概略構成図で、図示のように、シリンジ３（又は８）を
つかむことが可能なハンド２０ａを有するロボット２０
をシリンジ交換ロボットとして用いて、装置と交換用シ
リンジを搭載してあるパレット２１とを行き来し、シリ
ンジを自動で交換する。
は、請求項２のシリンジ自動交換機能を説明するための
概略構成図で、図示のように、シリンジ３（又は８）を
つかむことが可能なハンド２０ａを有するロボット２０
をシリンジ交換ロボットとして用いて、装置と交換用シ
リンジを搭載してあるパレット２１とを行き来し、シリ
ンジを自動で交換する。
【００１７】（請求項３の自動充填機能）図５は、請求
項３の自動充填機構を説明するための概略構成図で、図
示のように、シリンジ３の上部に被吐出材料を液送チュ
ーブ２３を用いて抽送できるキャップ２２を取り付け、
シリンジ３を被吐出材料を抽出可能な液送タンク２４と
を接続し、この構成をとることにより、シリンジ３に液
送タンク２４内の被吐出材料を自動充填できるようにし
ている。
項３の自動充填機構を説明するための概略構成図で、図
示のように、シリンジ３の上部に被吐出材料を液送チュ
ーブ２３を用いて抽送できるキャップ２２を取り付け、
シリンジ３を被吐出材料を抽出可能な液送タンク２４と
を接続し、この構成をとることにより、シリンジ３に液
送タンク２４内の被吐出材料を自動充填できるようにし
ている。
【００１８】（請求項４のシャッター付きニードル）図
６は、請求項４のシャッター付ニードルの一例を説明す
るための概略構成図で、図６（Ａ）に示した例は、ニー
ドル内部に２枚の扉を有するシャッター２５を設け、該
シャッター２５を開閉するようにしたもので、図６
（Ｂ）に示した例は、ニードル出口部にシャッター２７
を設け、該シャッター２７で蓋をするようにして、開閉
を行うようにしたものである。このようなシャッターの
開閉を制御することにより、吐出制御を行って、液だれ
を防止する。
６は、請求項４のシャッター付ニードルの一例を説明す
るための概略構成図で、図６（Ａ）に示した例は、ニー
ドル内部に２枚の扉を有するシャッター２５を設け、該
シャッター２５を開閉するようにしたもので、図６
（Ｂ）に示した例は、ニードル出口部にシャッター２７
を設け、該シャッター２７で蓋をするようにして、開閉
を行うようにしたものである。このようなシャッターの
開閉を制御することにより、吐出制御を行って、液だれ
を防止する。
【００１９】（請求項５のシリンジ内圧力の一定化）上
述のごとき塗布装置において、シリンジ内を吐出可能な
一定圧力に加圧するシャッターの開閉制御のみで、被吐
出材料の吐出量を高精度に制御でき、また、シャッター
の開閉応答に追従した吐出の応答性を得ることができ
る。
述のごとき塗布装置において、シリンジ内を吐出可能な
一定圧力に加圧するシャッターの開閉制御のみで、被吐
出材料の吐出量を高精度に制御でき、また、シャッター
の開閉応答に追従した吐出の応答性を得ることができ
る。
【００２０】（請求項６のピストン構成）次に、請求項
６以降に示すピストンの構成を利用した吐出装置につい
て説明する。図７に示すように、シリンジ３（又は８）
内の被吐出材料を押し出すために、ピストンシャフト２
７に押し出し用プランジャ２８を取り付け、シリンジ内
の被吐出材料をプランジャ２８により押し出す構成とす
る。押し出しの力を得るために、駆動装置２９とピスト
ンシャフト２７を接続し、ピストンシャフト２７を上
下、もしくは前後に駆動することにより、被吐出材料を
押し出す力を得ることができる。
６以降に示すピストンの構成を利用した吐出装置につい
て説明する。図７に示すように、シリンジ３（又は８）
内の被吐出材料を押し出すために、ピストンシャフト２
７に押し出し用プランジャ２８を取り付け、シリンジ内
の被吐出材料をプランジャ２８により押し出す構成とす
る。押し出しの力を得るために、駆動装置２９とピスト
ンシャフト２７を接続し、ピストンシャフト２７を上
下、もしくは前後に駆動することにより、被吐出材料を
押し出す力を得ることができる。
【００２１】（請求項７のピストンシャフトへの駆動伝
達機構）図８は、請求項７のピストンシャフトへの駆動
伝達機構の一例を説明するための概略構成図で、図８に
示すボールねじの構成により、駆動可能である。ピスト
ンシャフトにボールねじ３０を使用し、回転駆動機構３
１とカップリングを用いて接続することにより、押し出
しプランジャ２８を押し出す推力を得て、被吐出材料の
吐出を行うことができる。
達機構）図８は、請求項７のピストンシャフトへの駆動
伝達機構の一例を説明するための概略構成図で、図８に
示すボールねじの構成により、駆動可能である。ピスト
ンシャフトにボールねじ３０を使用し、回転駆動機構３
１とカップリングを用いて接続することにより、押し出
しプランジャ２８を押し出す推力を得て、被吐出材料の
吐出を行うことができる。
【００２２】（請求項８のピストンシャフトへの駆動伝
達機構）図９は、請求項８のピストンシャフトへの駆動
伝達機構の一例を説明するための概略構成図で、この駆
動伝達機構は、摩擦力伝達シャフト３４を加圧ローラ３
２と回転駆動ローラ３５とで狭み込み、摩擦力によりシ
ャフト３４を駆動させ、吐出のための推力を得るように
したものである。
達機構）図９は、請求項８のピストンシャフトへの駆動
伝達機構の一例を説明するための概略構成図で、この駆
動伝達機構は、摩擦力伝達シャフト３４を加圧ローラ３
２と回転駆動ローラ３５とで狭み込み、摩擦力によりシ
ャフト３４を駆動させ、吐出のための推力を得るように
したものである。
【００２３】（請求項９のピストンシャフトへの駆動伝
達機構）図１０は、請求項９のピストンシャフトへの駆
動伝達機構の一例を説明するための概略構成図で、この
駆動伝達機構は、ピストンシャフトにラックギア３７を
取り付けたラックシャフト３４と回転駆動機構の駆動部
にピニオンギア３６を取り付けたピニオン回転機構とに
より、ラックシャフト３５の駆動を可能とし、吐出可能
としたものである。
達機構）図１０は、請求項９のピストンシャフトへの駆
動伝達機構の一例を説明するための概略構成図で、この
駆動伝達機構は、ピストンシャフトにラックギア３７を
取り付けたラックシャフト３４と回転駆動機構の駆動部
にピニオンギア３６を取り付けたピニオン回転機構とに
より、ラックシャフト３５の駆動を可能とし、吐出可能
としたものである。
【００２４】（請求項１０のパルスモータ）以上の構成
において、吐出制御を行うには、回転駆動機構に多点位
置決めが可能な機構を採用することが必要である。従っ
て、その駆動機構にインダクションモータなどの、位置
決め困難なモータを使うことは有効ではないが、パルス
モータを用いると、任意の位置決めができ、制御も比較
的容易にできる。また、ボールねじのピッチを細かくと
ることにより、微少駆動が可能になる。しかし、パルス
モータは脱調などがおこる可能性がある。
において、吐出制御を行うには、回転駆動機構に多点位
置決めが可能な機構を採用することが必要である。従っ
て、その駆動機構にインダクションモータなどの、位置
決め困難なモータを使うことは有効ではないが、パルス
モータを用いると、任意の位置決めができ、制御も比較
的容易にできる。また、ボールねじのピッチを細かくと
ることにより、微少駆動が可能になる。しかし、パルス
モータは脱調などがおこる可能性がある。
【００２５】（請求項１１のサーボモータ）その点、サ
ーボモータは、常に位置決めを行っており、大きい推力
が必要な時でも、脱調のような不具合点もない。また、
微小駆動の位置決めも可能であり、精密吐出を行えるだ
けの移動量をピストンシャフトに与えることが可能であ
る。
ーボモータは、常に位置決めを行っており、大きい推力
が必要な時でも、脱調のような不具合点もない。また、
微小駆動の位置決めも可能であり、精密吐出を行えるだ
けの移動量をピストンシャフトに与えることが可能であ
る。
【００２６】（請求項１２のリニアアクチュエータ）図
１１は、リニアアクチュエータ３８，３９をピストンシ
ャフト３４に取り付けるもので、このようにすると、ア
クチュエータ３９の移動を、直接、駆動をシャフト３９
に与えることができ、精密吐出のための駆動を行うこと
ができる。
１１は、リニアアクチュエータ３８，３９をピストンシ
ャフト３４に取り付けるもので、このようにすると、ア
クチュエータ３９の移動を、直接、駆動をシャフト３９
に与えることができ、精密吐出のための駆動を行うこと
ができる。
【００２７】
（請求項１の作用効果）請求項１の塗布装置によると、
吐出用シリンジの取り付け部にセンサを設置したので、
シリンジ取り付けの有無を確認することができ、取り付
け不備による誤動作を防ぐことが可能になる。
吐出用シリンジの取り付け部にセンサを設置したので、
シリンジ取り付けの有無を確認することができ、取り付
け不備による誤動作を防ぐことが可能になる。
【００２８】（請求項２の作用効果）請求項２の塗布装
置によると、シリンジを自動交換できる機能を具備した
ので、シリンジ交換を手作業ですることなく、自動でシ
リンジ交換が可能になり、作業の軽減、タクトタイムの
短縮による生産性向上が可能となる。
置によると、シリンジを自動交換できる機能を具備した
ので、シリンジ交換を手作業ですることなく、自動でシ
リンジ交換が可能になり、作業の軽減、タクトタイムの
短縮による生産性向上が可能となる。
【００２９】（請求項３の作用効果）請求項３の塗布装
置によると、シリンジに被吐出材料を自動充填できるよ
うに液送ユニットを搭載したので、シリンジの交換とい
う工程がなくなり、タクトタイムの短縮による生産性の
向上が見込まれる。
置によると、シリンジに被吐出材料を自動充填できるよ
うに液送ユニットを搭載したので、シリンジの交換とい
う工程がなくなり、タクトタイムの短縮による生産性の
向上が見込まれる。
【００３０】（請求項４の作用効果）請求項４の塗布装
置によると、ニードル部にシャッターなどの開閉装置を
設置したので、シャッターのＯＮ／ＯＦＦを制御するこ
とにより、ニードル先端部からの液だれを防止できる。
置によると、ニードル部にシャッターなどの開閉装置を
設置したので、シャッターのＯＮ／ＯＦＦを制御するこ
とにより、ニードル先端部からの液だれを防止できる。
【００３１】（請求項５の作用効果）請求項５の塗布装
置によると、シリンジ内に一定圧力を加圧することによ
り、シャッターの開閉のみで吐出量の高精度制御と、応
答性の高い吐出を実現できる。
置によると、シリンジ内に一定圧力を加圧することによ
り、シャッターの開閉のみで吐出量の高精度制御と、応
答性の高い吐出を実現できる。
【００３２】（請求項６〜１２の作用効果）ピストン内
の被吐出材料を空気圧などの方法で吐出させると、安定
した吐出を行うことはかなり困難であり、吐出量を精密
にコントロールしなければ、インクジェットヘッドの組
み立てを実現することは難しいが、空気という不安定な
材質を用いたディスペンサーの吐出方式に、ピストンの
構造を利用し、機械的に、被吐出材料を押し出して吐出
するようにすると、体積変化の分のみが吐出量として吐
出され、安定した精度で吐出を行うことができる。請求
項６〜１２の塗布装置によると、被吐出材料をピストン
の構造を利用し、ピストンシャッフトの駆動による吐出
するようにしたので、機械的に被吐出材料を押し出すこ
とができ、駆動距離に比例した吐出量をえることが可能
となり、安定した、精密定量塗布を行うことが可能であ
る。
の被吐出材料を空気圧などの方法で吐出させると、安定
した吐出を行うことはかなり困難であり、吐出量を精密
にコントロールしなければ、インクジェットヘッドの組
み立てを実現することは難しいが、空気という不安定な
材質を用いたディスペンサーの吐出方式に、ピストンの
構造を利用し、機械的に、被吐出材料を押し出して吐出
するようにすると、体積変化の分のみが吐出量として吐
出され、安定した精度で吐出を行うことができる。請求
項６〜１２の塗布装置によると、被吐出材料をピストン
の構造を利用し、ピストンシャッフトの駆動による吐出
するようにしたので、機械的に被吐出材料を押し出すこ
とができ、駆動距離に比例した吐出量をえることが可能
となり、安定した、精密定量塗布を行うことが可能であ
る。
【図１】 銀ペースト塗布装置の構成図（側面図）であ
る。
る。
【図２】 銀ペースト塗布装置の構成図（正面図：図１
のII−II線方向から見た図）である。
のII−II線方向から見た図）である。
【図３】 シリンジ設置センサを説明するための図であ
る。
る。
【図４】 シリンジ自動交換機能を説明するための図で
ある。
ある。
【図５】 自動充填を説明するための図である。
【図６】 シャッターニードルを説明するための図であ
る。
る。
【図７】 ピストンシャフトの駆動構成図である。
【図８】 ボールねじによるピストンシャフト駆動構成
図である。
図である。
【図９】 摩擦駆動によるピストンシャフト駆動構成図
である。
である。
【図１０】 ラック・ピニオンによるピストンシャフト
駆動構成図である。
駆動構成図である。
【図１１】 リニアアクチュエータによるピストンシャ
フト駆動構成図である。
フト駆動構成図である。
１…ＣＣＤカメラ、２…ＣＣＤカメラ固定用ブラケッ
ト、３…垂直シリンジ、４…垂直シリンジ固定用ブラケ
ット、５…垂直ニードル、６…シリンジ固定用ブラケッ
ト、７…Ｚ軸ステージ、８…斜めシリンジ、９…斜めシ
リンジ固定用ブラケット、１０…斜めニードル、１１…
θ軸ステージ、１２…Ｙ軸ステージ、１３…Ｘ軸ステー
ジ、１４…ベース、１５…照明固定用ブラケット、１６
…照明灯、１７…ワーク、１８…垂直シリンジ用セン
サ、１９…斜めシリンジ用センサ、２０…シリンジ交換
用ロボット、２１…パレット、２２…キャップ、２３…
液送チューブ、２４…液送タンク、２５，２６…シャッ
ター、２７…ピストンシャフト、２８…押し出し用プラ
ンジャ、２９…駆動装置、３０…ボールねじ、３１…回
転駆動機構、３２…加圧ローラ、３３…回転駆動ロー
ラ、３４…摩擦力伝達シャフト、３５…ラックシャフ
ト、３６…ピニオン回転機構、３７…ラック、３８…リ
ニアアクチュエータ。
ト、３…垂直シリンジ、４…垂直シリンジ固定用ブラケ
ット、５…垂直ニードル、６…シリンジ固定用ブラケッ
ト、７…Ｚ軸ステージ、８…斜めシリンジ、９…斜めシ
リンジ固定用ブラケット、１０…斜めニードル、１１…
θ軸ステージ、１２…Ｙ軸ステージ、１３…Ｘ軸ステー
ジ、１４…ベース、１５…照明固定用ブラケット、１６
…照明灯、１７…ワーク、１８…垂直シリンジ用セン
サ、１９…斜めシリンジ用センサ、２０…シリンジ交換
用ロボット、２１…パレット、２２…キャップ、２３…
液送チューブ、２４…液送タンク、２５，２６…シャッ
ター、２７…ピストンシャフト、２８…押し出し用プラ
ンジャ、２９…駆動装置、３０…ボールねじ、３１…回
転駆動機構、３２…加圧ローラ、３３…回転駆動ロー
ラ、３４…摩擦力伝達シャフト、３５…ラックシャフ
ト、３６…ピニオン回転機構、３７…ラック、３８…リ
ニアアクチュエータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０４ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０４Ｃ
Claims (12)
- 【請求項１】 高精度位置決め駆動が可能なＸ，Ｙ，θ
の３軸ステージにより構成されたワーク支持機構と、Ｚ
軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設定できる
ブラケットにより支持され、流体や液体などの被吐出材
料の吐出を行うニードル付帯シリンジとからなる塗布装
置において、前記シリンジの取り付け部に該シリンジの
取り付けの有無を検出するセンサを有することを特徴と
する塗布装置。 - 【請求項２】 高精度位置決め駆動が可能なＸ，Ｙ，θ
の３軸ステージにより構成されたワーク支持機構と、Ｚ
軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設定できる
ブラケットにより支持され、流体や液体などの被吐出材
料の吐出を行うニードル付帯シリンジとからなる塗布装
置において、前記シリンジを自動で交換する機能を具備
したことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項３】 高精度位置決め駆動が可能なＸ，Ｙ，θ
の３軸ステージにより構成されたワーク支持機構と、Ｚ
軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設定できる
ブラケットにより支持され、流体や液体などの被吐出材
料の吐出を行うニードル付帯シリンジとからなる塗布装
置において、前記シリンジに被吐出材料を自動充填する
機能を具備したことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項４】 高精度位置決め駆動が可能なＸ，Ｙ，θ
の３軸ステージにより構成されたワーク支持機構と、Ｚ
軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設定できる
ブラケットにより支持され、流体や液体などの被吐出材
料の吐出を行うニードル付帯シリンジとからなる塗布装
置において、前記シリンジに取り付けるニードルの先端
出口部にシャッターを有することを特徴とする塗布装
置。 - 【請求項５】 請求項４の塗布装置において、前記シリ
ンジ内を一定圧力に保つことを特徴とした塗布装置。 - 【請求項６】 高精度位置決め駆動が可能なＸ，Ｙ，θ
の３軸ステージにより構成されたワーク支持機構と、Ｚ
軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に設定できる
ブラケットにより支持され、流体や液体などの被吐出材
料の吐出を行うニードル付帯シリンジとからなる塗布装
置において、前記シリンジ内の被吐出材料を押し出する
ためのピストンを有することを特徴とする塗布装置。 - 【請求項７】 請求項６記載の塗布装置において、前記
ピストンのシャフトを駆動するピストンシャフト駆動機
構を有し、該ピストンシャフト駆動機構を、任意の位置
で位置決め可能な回転駆動機構とボールねじにて構成し
たことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項８】 請求項６記載の塗布装置において、前記
ピストンのシャフトを駆動するピストンシャフト駆動機
構を有し、該ピストンシャフトの駆動機構を、任意の位
置で位置決め可能な回転駆動機構とスライダよりなる摩
擦駆動機構にて構成したことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項９】 請求項６記載の塗布装置において、前記
ピストンのシャフトを駆動するピストンシャフト駆動機
構を有し、該ピストンシャフト駆動機構を、任意の位置
で位置決め可能な回転駆動機構にピニオンギアを構成し
た回転軸とラックとによって構成したことを特徴とする
塗布装置。 - 【請求項１０】 請求項７又は８又は９記載の塗布装置
において、前記回転駆動機構にパルスモータを用いたこ
とを特徴とする塗布装置。 - 【請求項１１】 請求項７又は８又は９記載の塗布装置
において、前記回転駆動機構にサーボモータを用いたこ
とを特徴とする塗布装置。 - 【請求項１２】 請求項６記載の塗布装置において、前
記ピストンのシャフトを駆動するピストンシャフト駆動
機構を有し、該ピストンシャフト駆動機構をリニアアク
チュエータにて構成したことを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18395696A JPH105657A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18395696A JPH105657A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH105657A true JPH105657A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=16144766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18395696A Pending JPH105657A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH105657A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003093931A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-02 | Toyota Motor Corp | 多色少量塗装システム |
| JP2006013343A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | V Technology Co Ltd | パターン修正装置 |
| JP2006272202A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Nec Corp | 塗布装置及び塗布エラー検出方法 |
| CN104307699A (zh) * | 2014-11-19 | 2015-01-28 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种全自动定量点胶机构 |
| JPWO2017006382A1 (ja) * | 2015-07-03 | 2018-04-19 | 富士機械製造株式会社 | 供給交換装置及び印刷装置 |
| US11911789B2 (en) | 2019-12-24 | 2024-02-27 | Threebond Co., Ltd. | Material application device and pushing member |
-
1996
- 1996-06-24 JP JP18395696A patent/JPH105657A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003093931A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-02 | Toyota Motor Corp | 多色少量塗装システム |
| JP2006013343A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | V Technology Co Ltd | パターン修正装置 |
| JP2006272202A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Nec Corp | 塗布装置及び塗布エラー検出方法 |
| CN104307699A (zh) * | 2014-11-19 | 2015-01-28 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种全自动定量点胶机构 |
| CN104307699B (zh) * | 2014-11-19 | 2015-12-09 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种全自动定量点胶机构 |
| JPWO2017006382A1 (ja) * | 2015-07-03 | 2018-04-19 | 富士機械製造株式会社 | 供給交換装置及び印刷装置 |
| US11911789B2 (en) | 2019-12-24 | 2024-02-27 | Threebond Co., Ltd. | Material application device and pushing member |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6773826B2 (ja) | 基材上に粘性材料を供給する方法 | |
| KR100506642B1 (ko) | 디스플레이 패널의 패턴 형성방법 및 형성장치 | |
| US4848606A (en) | Apparatus for dispensing a predetermined volume of paste-like fluid | |
| US5558504A (en) | Magnetostrictive pump for applying pastes and adhesives | |
| US20050211166A1 (en) | Pump | |
| US12052828B2 (en) | Dispensing patterns including lines and dots at high speeds | |
| KR20160110550A (ko) | 분배 장치용 마그네틱 드라이브 | |
| EP2117845B1 (en) | Screen printing machine and method | |
| DE112007002141T5 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Abgabe eines viskosen Materials auf ein Substrat | |
| JPH105657A (ja) | 塗布装置 | |
| US6050314A (en) | Adhesive applying apparatus | |
| WO2010018675A1 (ja) | 液状物吐出装置及び方法 | |
| EP1649252B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum dosierten ausbringen eines viskosen mediums | |
| CN115399087A (zh) | 具有应变波齿轮系统的倾斜和旋转分配器 | |
| CN101242958A (zh) | 流体沉积设备 | |
| JP3769261B2 (ja) | ディスプレイパネルのパターン形成方法及び形成装置 | |
| CN211091838U (zh) | 一种内加热式食品3d打印挤料装置 | |
| CN211091700U (zh) | 一种食品加热打印喷头 | |
| DE3725143A1 (de) | Vorrichtung zum abgeben eines vorgegebenen volumens eines pastoesen fluids | |
| DE2742963B2 (de) | Elektrische Antriebsvorrichtung für eine schwenkbare Tintenabweisblende | |
| KR20000073352A (ko) | 반도체장치 | |
| JPH10209632A (ja) | 部品実装システムにおけるディスペンサ | |
| US3249256A (en) | Disposable tube dispensing device | |
| JP2000114283A (ja) | 接着剤吐出装置及びその使用方法 | |
| JP2000237662A (ja) | 接着剤塗布装置 |