JPH105668A - 回転式基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 飛散防止カップの洗浄能力が高く、またカッ
プ洗浄用治具などの着脱操作やその保管の専用スペース
が不要になり、しかも、通常の基板の回転処理時には基
板保持手段のみを低トルクで好適に回転駆動することが
できる。 【解決手段】 回転処理時には、カップ洗浄部材１３は
スピンチャック１の回転軸６と分離され、スピンチャッ
ク１のみ回転駆動される。カップ洗浄時には、スピンチ
ャック１と飛散防止カップ３と相対昇降させることによ
り、カップ洗浄部材１３をカップ洗浄高さに移動させる
とともに、カップ洗浄部材１３を回転伝達部２５を介し
て回転軸６に係合連結する。この状態でカップ洗浄部材
１３を回転させるとともにカップ洗浄部材１３の上方か
ら洗浄液供給ノズル１２を介して、洗浄液案内部１５に
洗浄液を供給する。洗浄液案内部１５に供給された洗浄
液は、遠心力によって噴出して飛散防止カップ３の内面
を洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、フ
ォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基
板、光ディスク用の基板など（以下、単に基板と称す
る）に対してフォトレジスト液、ポリイミド樹脂、SOG
(Spin On Glass,シリカ系被膜形成材とも呼ばれる）液
などの処理液を吐出して回転自在の基板の表面に塗布処
理を施す回転式基板処理装置に係り、特に基板を保持す
る基板保持手段の周囲に配設された飛散防止カップの内
面を洗浄する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の回転式基板処理装置に
は、スピンチャックなどの基板保持手段の周囲を取り囲
むように飛散防止カップが配備されており、基板への処
理液回転塗布の際に飛散した処理液を飛散防止カップで
受け止めて回収するようになっている。ところで、回転
塗布処理に伴って飛散した処理液が飛散防止カップの内
面に付着して、それが乾燥して固化すると、飛散防止カ
ップの内部形状が実質的に変化することになって塗布性
能に影響を与えたり、回転時の振動等によって処理液の
固化物が微粉末状の塵埃となって浮遊して、被処理基板
の表面に付着して基板を汚染することがある。このよう
な不都合を防止するために、飛散防止カップの内面に付
着した処理液を適宜洗浄することが好ましい。このよう
な洗浄を行う手段として、次のようなものが提案実施さ
れている。

【０００３】（１）実公平５−１３４３号公報に開示さ
れた装置では、飛散防止カップの周囲に洗浄液を流通さ
せる送液管を配備し、この送液管から分岐した複数個の
導管を飛散防止カップの内面に開口させ、これらの開口
から洗浄液を吐出して飛散防止カップの内面を流下させ
ることによって、飛散防止カップの内面を洗浄してい
る。

【０００４】（２）特開平５−８２４３５号公報や特開
平７−６６１１６号公報で開示された装置では、通常の
回転塗布処理の際には取り外されている洗浄治具を飛散
防止カップ洗浄時にスピンチャック上に装着して洗浄を
行っている。具体的には、略円盤状を呈したこの洗浄治
具は、洗浄液が供給される内部空間あるいは下部空間を
備え、この内部空間あるいは下部空間が多数の吐出口を
介して洗浄治具の周部に開口している。この洗浄治具を
スピンチャックを介して回転させながら前記内部空間あ
るいは下部空間にノズルを介して洗浄液を供給し、この
洗浄液を前記洗浄治具の周部に形成した吐出口から遠心
力によって噴射させて飛散防止カップの内面を洗浄して
いる。

【０００５】（３）特開平５−１６００１７号公報で開
示された装置では、スピンチャック自体に洗浄液誘導部
を備えて、外部から供給される洗浄液を洗浄液誘導部を
介して周囲に遠心噴射させて飛散防止カップの内面を洗
浄している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
従来例には次のような問題点がある。すなわち、従来例
（１）によると、飛散防止カップ内面の開口から吐出さ
れた洗浄液をカップ内面を流下させることによって洗浄
している関係で、洗浄液を勢い良く噴射してカップ内面
を洗浄するというような機械的な洗浄力が発揮できな
い。そのため洗浄能力が比較的低く、充分な洗浄効果を
得るのに多量の洗浄液が必要になるという問題点があ
る。

【０００７】従来例（２）によれば、洗浄液をカップ内
面に向けて遠心噴射させているので、洗浄液の溶解洗浄
能に機械的な洗浄力が付加される結果、洗浄能力は高め
られるが、洗浄処理の都度、洗浄治具をスピンチャック
に保持装着する必要があるとともに、洗浄処理後は洗浄
治具を取り外して保管しておく必要がある。そのため洗
浄処理のための段取りに時間がかかるとともに、洗浄治
具を保管する専用スペースを要するという難点がある。
また、洗浄治具の装着によってスピンチャック表面が汚
損されやすく、その結果、スピンチャックに載置された
基板の裏面を汚染する恐れもある。

【０００８】従来例（３）によると、スピンチャック自
体に洗浄液誘導部を備えてあるので上記従来例（１）お
よび（２）に見られたような不都合はなく、高い洗浄能
力が得られるが、洗浄液誘導部を飛散防止カップ内面に
近づけるためにスピンチャック自体を大径にする必要が
ある。その結果、スピンチャックが大型になり、それだ
け大きな駆動トルクが必要になるので、スピンチャック
駆動機構を大出力のものにしなければならないという別
異の問題点がある。特に通常の回転処理時にはスピンチ
ャックは高速回転されるので、スピンチャックが大型化
すると、その回転数の制御が困難になる。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、飛散防止カップの洗浄能力が高く、ま
たカップ洗浄用治具などの着脱操作やその保管の専用ス
ペースが不要になり、しかも、通常の基板の回転処理時
には基板保持手段のみを低トルクで好適に回転駆動する
ことができる回転式基板処理装置を提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の回転式基板処理装置は、基板を保
持する基板保持手段と、前記基板保持手段を回転軸を介
して鉛直軸芯周りに回転駆動する回転駆動手段と、前記
基板上に処理液を供給する処理液供給手段と、前記基板
保持手段の周囲を囲むように配設され、基板に供給され
た処理液が基板の回転に伴って飛散することを防止する
飛散防止カップとを備えた回転式基板処理装置におい
て、前記飛散防止カップの上方から洗浄液を供給する洗
浄液供給手段と、前記基板保持手段の回転軸に挿通配備
され、前記洗浄液供給手段から供給された洗浄液を外周
部へ導く洗浄液案内部が形成されたカップ洗浄部材と、
基板の回転処理時には前記基板保持手段と前記カップ洗
浄部材とが接近するとともに、前記基板保持手段の周囲
を飛散防止カップが取り囲み、カップ洗浄時には前記基
板保持手段とカップ洗浄部材とが離間するとともに、前
記カップ洗浄部材の外周部に飛散防止カップの内面が対
向するように、前記基板保持手段に対してカップ洗浄部
材および飛散防止カップを相対昇降させる昇降手段と、
前記基板保持手段とカップ洗浄部材とが接近したときは
カップ洗浄部材と前記回転軸との係合を解除し、前記基
板保持手段とカップ洗浄部材とが離間したときはカップ
洗浄部材と前記回転軸とを係合連結させる係合手段と、
を備えていることを特徴とするものである。

【００１１】また、請求項２に記載の回転式基板処理装
置は、請求項１に記載の回転式基板処理装置において、
前記カップ洗浄部材は、その上面がほぼ平坦に形成され
ていることを特徴とするものである。

【００１２】また、請求項３に記載の回転式基板処理装
置は、請求項１または請求項２に記載の回転式基板処理
装置において、前記カップ洗浄部材の洗浄液案内部は、
前記洗浄液供給手段から供給される洗浄液を受け入れる
平面視環状の溝を有することを特徴とするものである。

【００１３】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。通常の基板の回転処理時には、昇降手段によって基
板保持手段とカップ洗浄部材とが接近されることによ
り、カップ洗浄部材と基板保持手段の回転軸との係合が
解除される。したがって、基板保持手段のみが回転駆動
手段によって回転駆動されることになり、基板保持手段
に保持されている基板面に処理液を回転塗布することが
できる。回転塗布処理時に基板の周囲に飛散した処理液
は、昇降手段によって基板保持手段を取り囲む位置に移
動されている飛散防止カップによって受け止められて回
収される。

【００１４】その一方、飛散防止カップの洗浄時には、
昇降手段によって基板保持手段とカップ洗浄部材とが離
間されることにより、カップ洗浄部材と基板保持手段の
回転軸とが係合手段を介して係合連結される。するとカ
ップ洗浄部材の外周部は、飛散防止カップの内面と対向
することになる。この状態で回転駆動手段が回転駆動さ
れるとその回転力が回転軸を介してカップ洗浄部材に伝
達され、カップ洗浄部材を回転駆動することができる。
したがって、洗浄液供給手段により飛散防止カップの上
方から洗浄液を供給すると、洗浄液がカップ洗浄部材の
上面に供給されて洗浄液にカップ洗浄部材の遠心力を加
えることができる。洗浄液供給手段は、飛散防止カップ
の上方からカップ洗浄部材に対して洗浄液を供給するよ
うになっているので、洗浄液をカップ洗浄部材の下方か
ら供給する場合に比較して供給時のロスを低減すること
ができるとともに、その供給位置が適切であるか否かを
容易に確認することができ、不適切な場合には適切な位
置に調整することができる。この洗浄液は、洗浄液案内
部に案内されてカップ洗浄部材の外周部から遠心力によ
って周囲に噴出されるので、飛散防止カップの内面を効
果的に洗浄することができる。

【００１５】また、請求項２に記載の発明の作用は次の
とおりである。カップ洗浄部材は、その上方から供給さ
れた洗浄液をその平坦部で受け止めて遠心力によって外
周部に噴出する。カップ洗浄部材の上面を平坦に形成す
ることによって、その厚みを薄くすることができるの
で、カップ洗浄部材の回転駆動時における慣性力を小さ
くすることができる。したがって、回転駆動手段として
駆動トルクが小さなものを採用することができる。ま
た、カップ洗浄時において停止状態から所定の回転速度
に到達するまでの時間を短くすることができるので、そ
の処理時間を短縮することができる。

【００１６】また、請求項３に記載の発明によれば、上
方から供給された洗浄液は、カップ洗浄部材の平面視環
状の溝によって一旦受け止められ、その外周部へと導か
れる。このように洗浄液は、一旦、その溝によって受け
止められてから外周部へと噴出されるので、洗浄液供給
手段の直下部分に供給された洗浄液が溝によって全周に
拡がり、カップ洗浄部材のほぼ全周にわたって洗浄液を
ほぼ均一に行きわたらせることができる。したがって、
カップ洗浄部材のほぼ全周から均等に洗浄液を噴出させ
ることができる。その結果、飛散防止カップの内面をほ
ぼ全周にわたって均一に洗浄することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図１ないし図３は、実施例に係る回
転式基板処理装置の概略構成を示す縦断面図である。特
に、図１は基板の回転処理工程を示す図であり、図２は
基板の搬送工程を示す図であり、図３はカップ洗浄工程
を示す図である。また、図４は、カップ洗浄工程におけ
る要部を拡大した図であり、図５はカップ洗浄部材を示
す一部切り欠き斜視図であり、図６はカップ洗浄部材の
外周面の一部位を示す側面図である。

【００１８】この回転式基板処理装置は、基板Ｗの下面
を吸着保持して鉛直軸芯周りに水平回転するスピンチャ
ック１を備え、このスピンチャック１の上方には、例え
ば、フォトレジスト液を基板Ｗの回転中心付近に供給す
る処理液供給ノズル２を備えている。また、スピンチャ
ック１に吸着保持されている基板Ｗの周囲には、基板Ｗ
に供給されたフォトレジスト液が周囲に飛散することを
防止するためにそれらを囲うように飛散防止カップ３が
配備されている。この飛散防止カップ３の底部には、飛
散した余剰のフォトレジスト液を回収するための排液回
収ドレイン４ａや、フォトレジスト液が飛散する際に発
生するミストやパーティクルを含む気流を排気するため
の排気口４ｂが形成されている。これらの排液回収ドレ
イン４ａおよび排気口４ｂに一般的に連通接続されてい
る排液配管や排気ダクトは、図示を省略している。な
お、上記のスピンチャック１は本発明の基板保持手段に
相当し、処理液供給ノズル２は本発明の処理液供給手段
に相当するものである。

【００１９】スピンチャック１は、基板Ｗの径よりも小
さく形成されており、平面視ほぼ円形状を呈するもので
ある。このスピンチャック１は、その底部に突出形成さ
れた部分に、電動モータ５の回転軸６の上端部に嵌め込
まれている。この電動モータ５は、本発明における回転
駆動手段に相当すものである。

【００２０】上記の飛散防止カップ３は、外カップ３ａ
と内カップ３ｂとから２重筒状に構成されてベース板７
の外縁部に係止されている。ベース板７には、回転処理
時に基板Ｗの裏面に回り込んだフォトレジスト液や付着
したミストを洗浄除去するために、基板Ｗの裏面に向け
て洗浄液を吐出するためのバックリンスノズル８が配設
されている。なお、基板Ｗのサイズが大きな場合、例え
ばφ３００ｍｍ（１２インチ）である場合には洗浄する
面積が大きいので、平面視でほぼ直交する位置の４箇所
にバックリンスノズル８を配設することが好ましい。ベ
ース板７は、その底部を上下一対のシリンダ９，１０に
支持された昇降板１１に支持部材を介して取り付けられ
ている。これらのシリンダ９，１０の伸縮組み合わせに
よって飛散防止カップ３を３段階に昇降可能に構成され
ている。これらのシリンダ９，１０は、本発明における
昇降手段に相当するものである。

【００２１】飛散防止カップ３の側方には、後述するカ
ップ洗浄部材１３に対して上方から洗浄液を供給するた
めの洗浄液供給ノズル１２が配設されている。この洗浄
液供給ノズル１２は、図３に示すように図示しない移動
機構によって移動自在に構成されている。図１中におい
て実線で示した状態が洗浄液供給ノズル１２の待機位置
であり、図３中において実線で示した状態が洗浄液の供
給位置である。このように、回転処理時には飛散防止カ
ップ３から側方に外れた待機位置にあり、カップ洗浄時
においてのみ飛散防止カップ３の上方の供給位置に移動
するように構成されているので、回転処理時において洗
浄液が基板Ｗの表面に落下（いわゆるぼた落ち）して回
転処理に悪影響を与えることを防止することができる。

【００２２】図４および図５を参照する。スピンチャッ
ク１に連動連結された回転軸６には、スピンチャック１
よりも大径のカップ洗浄部材１３が緩挿されている。こ
のカップ洗浄部材１３は、平面視ほぼ円形状を呈し、好
ましくはＰＥＥＫ（ポリ・エーテル・エーテル・ケト
ン），ＰＰ（ポリプロピレン），ＰＥ（ポリエチレ
ン），ＰＶＤＦ（２フッ化テフロン）などの合成樹脂で
形成される。カップ洗浄部材１３には、後述するように
飛散防止カップ３のベース板７が比較的上昇位置にある
ときに、バックリンスノズル８との干渉を回避するため
にそれが挿通される貫通孔１４が形成されている。カッ
プ洗浄部材１３の上面外周側には、洗浄液供給ノズル１
２から供給される洗浄液を受け入れてその外周部へと導
く洗浄液案内部１５が形成されている。

【００２３】この洗浄液案内部１５は、平面視環状に形
成されて上方に向かって開口した溝状の環状開口部１６
を有し、その内部には、洗浄液を貯留するための貯留部
１７が形成されている。この貯留部１７に貯留した洗浄
液は、外周面に形成された噴出部１８の多数の噴出口１
９から遠心力によって周囲に噴出するようになってい
る。なお、この無数の噴出口１９は、図６に示すよう
に、水平方向、やや上向きというように広範囲に効率よ
く洗浄液が噴出するように上下方向に向きが異なるよう
に分散して形成されている。また、噴出部１８の上方に
は、飛散防止カップ３側に向かって張り出した鍔部２０
が形成されている。さらに、この鍔部２０は、図１に示
す回転処理時には、内カップ３ｂの上部の一部を兼用す
るように形成されている。係る構成によると回転処理時
には、内カップ３ｂと一体化するので、飛散防止カップ
３内に流入して基板Ｗの周縁部を流下する気流の整流作
用を妨げることがなく、基板Ｗの回転処理を好適に行う
ことができる。

【００２４】また、このような鍔部２０を有することに
より、飛散防止カップ３とカップ洗浄部材１３との間隔
を極めて狭い間隔Ｌにすることができ、カップ洗浄時に
噴出口１９からやや上向きに噴出する洗浄液が、図６
（ａ）中に点線矢印で示すように飛散防止カップ３外に
漏れて飛散することを防止することができる。なお、点
線矢印のように飛散防止カップ３外に洗浄液が漏れ出る
と、その上方に位置するスピンチャック１が汚染されて
基板Ｗを汚染する問題が生じる。

【００２５】カップ洗浄部材１３は、図１および図２に
示すように、飛散防止カップ３のベース板７が比較的上
昇位置にあるときには、ベース板７に受け持ち支持され
ることにより、飛散防止カップ３と一体的に昇降するよ
うに構成されている。また、図３および図４に示すよう
に、飛散防止カップ３が下方位置にあるときには、回転
軸６の中間部位に形成された小径円盤状の回転伝達部２
５に受け持ち支持されるとともに、カップ洗浄部材１３
の下面中心側に形成されたピン２６が、回転伝達部２５
の係合孔２７に係合してカップ洗浄部材１３が回転軸６
と一体的に回転するようになっている。なお、上述した
回転伝達部２５，ピン２６，係合孔２７は、本発明にお
ける係合手段に相当するものである。

【００２６】上述したように構成された回転式基板処理
装置の動作について以下に説明する。通常の回転処理工
程では、図１に示すように、両シリンダ９，１０を共に
伸長させて飛散防止カップ３をスピンチャック１の高さ
にまで上昇させる。そして、処理液供給ノズル２からフ
ォトレジスト液を基板Ｗの表面に供給し、基板Ｗを高速
で回転駆動させることによりフォトレジスト液を回転塗
布する。なお、上述したようにカップ洗浄部材１３は内
カップ３ｂと一体化しているので、整流作用を妨げるこ
とがなく、回転処理を好適に行うことができる。この処
理において、飛散したフォトレジスト液は、飛散防止カ
ップ３で受け止められて回収される。基板Ｗの表面への
フォトレジスト液塗布が完了すると、バックリンスノズ
ル８から回転状態の基板Ｗ裏面に向けて洗浄液を吹き付
け供給し、バックリンスを行う。なお、この工程中、洗
浄液供給ノズル１２は図１に示す待機位置にある。

【００２７】この回転処理工程では、カップ洗浄部材１
３はベース板７に受け止め支持されて飛散防止カップ３
と一体的に上昇しており、スピンチャック１に接近した
位置にある。このとき、カップ洗浄部材１３と回転伝達
部２５との係合が解かれているので、スピンチャック１
が回転駆動されても、カップ洗浄部材１３は停止したま
まである。なお、上述したバックリンスにおいて、洗浄
液はその一部がカップ洗浄部材１３上に落下して気化す
るが、カップ洗浄部材１３は熱伝導率が小さく比熱が大
きな合成樹脂で形成されているので、カップ洗浄部材１
３はそれほど温度低下することはない。したがって、カ
ップ洗浄部材１３に近接している基板Ｗの温度低下も防
止することができるので、基板Ｗに均一なフォトレジス
ト被膜を塗布形成することができる。

【００２８】次に、処理済み基板Ｗの搬出、あるいは未
処理基板Ｗの搬入を行う搬送工程について図２を参照し
て説明する。まず、一対のシリンダ９，１０のうちの上
方のシリンダ９のみを収縮させて飛散防止カップ３を１
段階だけ下降させる。そして、飛散防止カップ３の上方
にスピンチャック１だけを突出させた状態で、図示しな
い搬送ロボットなどによって基板の搬送が行われる。こ
のときカップ洗浄部材１３はベース板７に受け持たれ
て、中段にまで下降している。

【００２９】次に、飛散防止カップ３の洗浄工程につい
て、図３ないし図５を参照して説明する。この工程で
は、両シリンダ９，１０を収縮させて飛散防止カップ３
を大きく下降させる。このとき飛散防止カップ３ととも
に下降したカップ洗浄部材１３は、その下降途中で図４
および図５に示すように、回転軸６に配設された回転伝
達部２５に受け止められて停止し、それ以降は飛散防止
カップ３だけが下降する。その結果、カップ洗浄部材１
３の外周部に形成された洗浄液案内部１５が飛散防止カ
ップ３における外カップ３ａと内カップ３ｂとの間に臨
む高さ位置に保持される。また、このときカップ洗浄部
材１３のピン２６が回転伝達部２５の係合孔２７に係合
して、カップ洗浄部材１３が回転軸６と一体的に回転可
能となる。さらに、図３中に二点鎖線で示す待機位置に
ある洗浄液供給ノズル１２が、図示しない移動機構によ
って移動されて、図３中に実線で示す供給位置にまで移
動される。

【００３０】この状態で、カップ洗浄部材１３をスピン
チャック１とともに回転軸６を介して回転駆動しつつ、
洗浄液供給ノズル１２から洗浄液を供給する。供給され
た洗浄液は環状開口部１６を通って貯留部１７に貯留す
るが、遠心力によって噴出部１８から外周方向に向かっ
て噴出し、外カップ３ａと内カップ３ｂの内面を洗浄す
る。このとき図６に示すように、カップ洗浄部材１３の
噴出部１８からは水平方向および上向きの各噴出口１９
から洗浄液が噴出するので、飛散防止カップ３の外カッ
プ３ａおよび内カップ３ｂの内面全体が均等に洗浄され
る。なお、カップ洗浄部材１３を高速で回転することに
よって、洗浄液案内部１５とほぼ対向している外カップ
３ａの洗浄効果を一層高め、続いてカップ洗浄部材１３
の回転速度を落とすことによって、洗浄液案内部１５の
下方に位置する内カップ３ｂの洗浄効果を一層高めるよ
うにしてもよい。また、上述したようにカップ洗浄部材
１３の最外周部には鍔部２０が形成されているので、上
方へ噴出した洗浄液が外カップ３ａの外部に漏れだすこ
とに起因する不都合を回避することができる。

【００３１】また、上述した洗浄工程では、カップ洗浄
部材１３を回転させつつ洗浄液を洗浄液供給ノズル１２
から供給するようにしたが、カップ洗浄部材１３を停止
した状態で洗浄液を供給開始し、その後にカップ洗浄部
材１３を回転駆動するようにしてもよい。このようにす
ると、貯留部１７の全周にわたって洗浄液を均等に行き
わたらせることができ、カップ洗浄部材１３を回転駆動
した際に、噴出部１８から均等に洗浄液を噴出させるこ
とができる。したがって、外カップ３ａおよび内カップ
３ｂの内面全周をほぼ均等に洗浄することができる。

【００３２】なお、上記の装置では、洗浄液供給ノズル
１２が上方からカップ洗浄部材１３に洗浄液を供給する
ように構成されている関係上、洗浄液の供給位置を目視
によって容易に確認することができる。したがって、カ
ップ洗浄部材１３への洗浄液の供給位置が不適切なため
にカップ洗浄部材１３から噴出する洗浄液の量が不足す
るような不都合が生じる場合には、その位置を調整する
ことにより不都合を回避することができる。

【００３３】また、上述した構成では、洗浄液供給ノズ
ル１２を１つだけ備えた構成で説明したが、図３中に点
線で示すように、回転中心を挟んだ反対側にも洗浄液供
給ノズル１２を配備し、２本の洗浄液供給ノズル１２か
ら洗浄液を供給するようにしてもよい。係る構成による
と、貯留部１７の全周にわたってより均等に洗浄液を供
給することができるので、上述した例と同様に外カップ
３ａおよび内カップ３ｂの内面全周を均等に洗浄するこ
とができる。なお、洗浄液供給ノズル１２の本数は、カ
ップ洗浄部材１３の貯留部１７の容積や、カップ洗浄部
材１３の大きさに関連する基板Ｗのサイズに応じて適宜
設定すればよい。

【００３４】さらに、上述したように一定方向にのみカ
ップ洗浄部材１３を回転させて洗浄工程を行った結果、
飛散防止カップ３の内面に洗浄ムラが発生している場合
には、一方側にカップ洗浄部材１３を回転させて洗浄を
行う第１の洗浄工程と、他方側にカップ洗浄部材１３を
回転させて洗浄を行う第２の洗浄工程とを行うようにし
てもよい。このように正逆方向にカップ洗浄部材１３を
回転させることにより、カップ洗浄部材１３の噴出部１
８から噴出する洗浄液の噴出軌跡を平面視でみた場合
の、遠心力に伴う偏りが相殺される。その結果、洗浄ム
ラを抑制することができる。

【００３５】また、洗浄液案内部１５に形成した多数の
噴出口１９は、図７（ａ），（ｂ）に示すように、縦方
向に沿って形成したスリット状の噴出口１９としてもよ
い。このような噴出口１９を採用することにより、上下
方向の広範囲にわたって洗浄液を噴出させることができ
る。

【００３６】次に、図８を参照してカップ洗浄部材１３
の変形例について説明する。このカップ洗浄部材３０
は、その上部がほぼ平坦に形成されていることが上述し
たカップ洗浄部材１３と大きく異なっている。

【００３７】洗浄液案内部３１は、平面視で環状の浅い
溝である環状溝３２と、この環状溝３２からカップ洗浄
部材３０の周縁部まで平坦に形成された平坦部３３とに
よって構成されている。飛散防止カップ３の洗浄工程で
は、カップ洗浄部材３０を回転させつつ環状溝３２に向
けて洗浄液供給ノズル１２から洗浄液が供給される。供
給された洗浄液は、環状溝３２をその全周にわたって満
たすが、溢れた洗浄液は遠心力により平坦部３３から外
カップ３ａおよび内カップ３ｂの内面全周に噴出する。
このようにカップ洗浄部材３０を構成しても、上述した
カップ洗浄部材１３と同様の効果を得ることができる。

【００３８】上述したカップ洗浄部材１３では、深い凹
部である貯留部１７を形成している関係上、カップ洗浄
部材１３の厚みが大きくなって慣性力が大きくなるが、
このカップ洗浄部材３０では浅い環状溝３２を形成する
だけであるので、カップ洗浄部材３０の厚みを薄くする
ことができる。したがって、慣性力を小さくすることが
でき、電動モータ５の駆動トルクが小さなものであって
も採用することができる。また、洗浄工程では、カップ
洗浄部材３０が所定の回転数に回転駆動された状態で行
われるが、慣性力が小さくなっているので回転駆動を開
始してから所定の回転数に到達するまでの時間を短縮す
ることができる。したがって、洗浄工程に要する時間を
短縮することができ、装置の稼働率を向上させることが
できる。また、慣性力が小さいので、上述したようにカ
ップ洗浄部材の回転数を可変する場合や、正転逆転を行
うような場合に好適である。

【００３９】なお、図８中に点線で示すように、環状溝
３２からカップ洗浄部材３０の周縁部に向かって放射状
に環状溝３２と同程度の深さを有する噴出溝３４を形成
することによって、洗浄液に方向性を与えるようにして
もよい。

【００４０】また、上記の変形例では、カップ洗浄部材
３０に環状溝３２を形成したが、このような溝を形成す
ることなく、完全に上面が平坦なカップ洗浄部材３０と
してもよい。係る構成によるとさらにカップ洗浄部材３
０をさらに薄く形成することが可能となるので、さらに
慣性力を小さくすることができる。

【００４１】また、カップ洗浄部材３０と回転軸６との
一体化のための係合手段として、例えば図８に示すよう
に、カップ洗浄部材３０の中心部下面に形成した凹部３
５を回転軸６に貫通したピン３７に係合させるように構
成してもよい。

【００４２】さらに、上述の実施例では、カップ洗浄部
材１３を下降させることによって、回転伝達部２５を介
してスピンチャック１の回転軸６とカップ洗浄部材１３
とを係合連結するように構成したが、逆に回転軸６を上
昇させることにより回転伝達部２５を介して回転軸６と
カップ洗浄部材１３とを係合連結させ、飛散防止カップ
３の洗浄を行うように構成してもよい。

【００４３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、次のような効果を得ることが
できる。 （１）カップ洗浄部材に供給された洗浄液は、カップ洗
浄部材の遠心力によって周囲に噴射されて飛散防止カッ
プ内面を洗浄するので、洗浄液の溶解洗浄能力とともに
機械的な洗浄力が加わり、高い洗浄能力を得ることがで
きる。

【００４４】（２）基板保持手段に対してカップ洗浄部
材および飛散防止カップを相対昇降させることによっ
て、自動的にカップ洗浄部材を基板保持手段の回転軸に
係合連結したり、その係合を解除するようにしているの
で、カップ洗浄処理のたびにカップ洗浄部材を着脱する
必要がなく、カップ洗浄処理時間の短縮化を図ることが
できる。また、カップ洗浄部材を保管する手間およびス
ペースも不要となり、取り扱い性および設備管理上で有
利となる。

【００４５】（３）通常の基板回転処理時には、カップ
洗浄部材と基板保持手段の回転軸との係合は解除されて
いるので、基板保持手段のみを低トルクで駆動すること
ができ、回転駆動手段の負荷を軽減することができると
ともに、回転数の制御を容易にすることができる。

【００４６】（４）飛散防止カップの上方からカップ洗
浄部材に対して洗浄液を供給するようにしているので、
カップ洗浄部材の下方から洗浄液を供給する構成に比較
して、洗浄液供給時におけるロスを少なくすることがで
きる。

【００４７】（５）上方からカップ洗浄部材に対して供
給された洗浄液の到達位置を容易に確認することができ
るので、その位置が不適切である場合には、洗浄液供給
手段の位置を調整することにより適切な位置に洗浄液が
到達するようにすることができる。したがって、常に適
切にカップ洗浄処理を行うことができる。

【００４８】また、請求項２に記載の発明によれば、カ
ップ洗浄部材の慣性力を小さくすることができるので、
回転駆動手段として駆動トルクが小さなものを採用する
ことができるとともに、カップ洗浄部材の回転数を処理
時の回転数に迅速に到達させることができるので、カッ
プ洗浄処理に要する時間を短縮することができる。

【００４９】また、請求項３に記載の発明によれば、平
面視環状の溝によってカップ洗浄部材のほぼ全周にわた
って洗浄液を均一に行きわたらせることができ、カップ
洗浄部材のほぼ全周から均等に洗浄液を噴出させること
ができる。したがって、飛散防止カップの内面をほぼ全
周にわたって均一に洗浄することができ、カップ洗浄を
好適に実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る回転式基板処理装置の縦断面図で
あって、回転処理工程を示す図である。

【図２】装置の基板搬送工程を示す縦断面図である。

【図３】装置のカップ洗浄工程を示す縦断面図である。

【図４】カップ洗浄工程における要部を拡大した縦断面
図である。

【図５】実施例装置のカップ洗浄部材を示す一部切り欠
き斜視図である。

【図６】カップ洗浄部材の要部を拡大した縦断面図であ
る。

【図７】カップ洗浄部材の洗浄液案内部の変形例を示す
側面図である。

【図８】カップ洗浄部材の変形例を示す一部切り欠き斜
視図である。

【符号の説明】

１ … スピンチャック（基板保持手段） ２ … 処理液供給ノズル（処理液供給手段） ３ … 飛散防止カップ ５ … 電動モータ（回転駆動手段） ６ … 回転軸 ９，１０ … シリンダ（昇降手段） １２ … 洗浄液供給ノズル（洗浄液供給手段） １３，３０ … カップ洗浄部材 １５，３１ … 洗浄液案内部 ２５ … 回転伝達部（係合手段） ２６ … ピン（係合手段） ２７ … 係合孔（係合手段）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持する基板保持手段と、前記基
   板保持手段を回転軸を介して鉛直軸芯周りに回転駆動す
   る回転駆動手段と、前記基板上に処理液を供給する処理
   液供給手段と、前記基板保持手段の周囲を囲むように配
   設され、基板に供給された処理液が基板の回転に伴って
   飛散することを防止する飛散防止カップとを備えた回転
   式基板処理装置において、 前記飛散防止カップの上方から洗浄液を供給する洗浄液
   供給手段と、 前記基板保持手段の回転軸に挿通配備され、前記洗浄液
   供給手段から供給された洗浄液を外周部へ導く洗浄液案
   内部が形成されたカップ洗浄部材と、 基板の回転処理時には前記基板保持手段と前記カップ洗
   浄部材とが接近するとともに、前記基板保持手段の周囲
   を飛散防止カップが取り囲み、カップ洗浄時には前記基
   板保持手段とカップ洗浄部材とが離間するとともに、前
   記カップ洗浄部材の外周部に飛散防止カップの内面が対
   向するように、前記基板保持手段に対してカップ洗浄部
   材および飛散防止カップを相対昇降させる昇降手段と、 前記基板保持手段とカップ洗浄部材とが接近したときは
   カップ洗浄部材と前記回転軸との係合を解除し、前記基
   板保持手段とカップ洗浄部材とが離間したときはカップ
   洗浄部材と前記回転軸とを係合連結させる係合手段と、 を備えていることを特徴とする回転式基板処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の回転式基板処理装置に
   おいて、前記カップ洗浄部材は、その上面がほぼ平坦に
   形成されていることを特徴とする回転式基板処理装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の回転式
   基板処理装置において、前記カップ洗浄部材の洗浄液案
   内部は、前記洗浄液供給手段から供給される洗浄液を受
   け入れる平面視環状の溝を有することを特徴とする回転
   式基板処理装置。