JPH1058359A - 搬送ロボット - Google Patents
搬送ロボットInfo
- Publication number
- JPH1058359A JPH1058359A JP8213643A JP21364396A JPH1058359A JP H1058359 A JPH1058359 A JP H1058359A JP 8213643 A JP8213643 A JP 8213643A JP 21364396 A JP21364396 A JP 21364396A JP H1058359 A JPH1058359 A JP H1058359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- rotation axis
- common frame
- base column
- common
- Prior art date
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- Abandoned
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/06—Program-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/02—Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/10—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/10—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
- B25J9/107—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】真空雰囲気内の使用に適した小型で安価な搬送
ロボットを提供する。 【解決手段】搬送ロボット１０は支持プレート２４に軸
受けされたベースカラム３２を有する。ベースカラム３
２上に共通フレーム３４が支持される。共通フレーム３
４の第１ビーム部３６ａ、第１中間アーム４２ａ、第１
先端アーム４６ａ及び第１ハンド４８ａ等から左側ハン
ドラ４０ａが構成される。左側ハンドラ４０ａは、共通
モータ８６により伸縮方向が設定され、また、共通モー
タ８６及び第１モータ９６ａにより伸縮駆動される。ま
た、共通フレーム３４の第２ビーム部３６ｂ、第２中間
アーム４２ｂ、第２先端アーム４６ｂ及び第２ハンド４
８ｂ等から右側ハンドラ４０ｂが構成される。右側ハン
ドラ４０ｂは、共通モータ８６により伸縮方向が設定さ
れ、また、共通モータ８６及び第２モータ９６ｂにより
伸縮駆動される。
ロボットを提供する。 【解決手段】搬送ロボット１０は支持プレート２４に軸
受けされたベースカラム３２を有する。ベースカラム３
２上に共通フレーム３４が支持される。共通フレーム３
４の第１ビーム部３６ａ、第１中間アーム４２ａ、第１
先端アーム４６ａ及び第１ハンド４８ａ等から左側ハン
ドラ４０ａが構成される。左側ハンドラ４０ａは、共通
モータ８６により伸縮方向が設定され、また、共通モー
タ８６及び第１モータ９６ａにより伸縮駆動される。ま
た、共通フレーム３４の第２ビーム部３６ｂ、第２中間
アーム４２ｂ、第２先端アーム４６ｂ及び第２ハンド４
８ｂ等から右側ハンドラ４０ｂが構成される。右側ハン
ドラ４０ｂは、共通モータ８６により伸縮方向が設定さ
れ、また、共通モータ８６及び第２モータ９６ｂにより
伸縮駆動される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搬送ロボットに関
し、特に半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体を真空
雰囲気内で取扱うことが必要な半導体プロセスに最適な
ダブルハンド型の搬送ロボットに関する。
し、特に半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体を真空
雰囲気内で取扱うことが必要な半導体プロセスに最適な
ダブルハンド型の搬送ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体
を、ＣＶＤ装置、拡散装置、レジスト塗布装置等々の処
理装置内で搬送するため、或いはこれら装置に対して搬
送するため、搬送ロボットが使用される。この種の搬送
ロボットには、高いスループットを維持しながら正確な
動作を行うことやが要求される。また、特にロードロッ
クチャンバ内等の真空雰囲気中に設置される搬送ロボッ
トに対しては、更に、小型であることやクリーンな環境
を維持することが要求される。
を、ＣＶＤ装置、拡散装置、レジスト塗布装置等々の処
理装置内で搬送するため、或いはこれら装置に対して搬
送するため、搬送ロボットが使用される。この種の搬送
ロボットには、高いスループットを維持しながら正確な
動作を行うことやが要求される。また、特にロードロッ
クチャンバ内等の真空雰囲気中に設置される搬送ロボッ
トに対しては、更に、小型であることやクリーンな環境
を維持することが要求される。
【０００３】図６及び図７は半導体ウェハの搬送に使用
される従来の典型的なダブルハンド型の搬送ロボットを
示す平面図及び部分縦断側面図である。この搬送ロボッ
トにおいては、シャフト１１２を中心として回転可能な
支持プレート１１４上に、左右対象となるように第１及
び第２ハンドラ１１６、１１８が配設される。各ハンド
ラ１１６、１１８は、互いに軸支された基端アーム１２
２、中間アーム１２４及び先端アーム１２６を組合わせ
た多関節アーム構造を有する。先端アーム１２６の自由
端部には半導体ウェハＷを載置するためのハンド１２８
が形成される。基端アーム１２２は支持プレート１１４
下に延びる中空シャフト１３２を介して駆動され、ま
た、中間アーム１２４及び先端アーム１２６は中空シャ
フト１３２に延びるシャフト１３４を介して駆動され
る。
される従来の典型的なダブルハンド型の搬送ロボットを
示す平面図及び部分縦断側面図である。この搬送ロボッ
トにおいては、シャフト１１２を中心として回転可能な
支持プレート１１４上に、左右対象となるように第１及
び第２ハンドラ１１６、１１８が配設される。各ハンド
ラ１１６、１１８は、互いに軸支された基端アーム１２
２、中間アーム１２４及び先端アーム１２６を組合わせ
た多関節アーム構造を有する。先端アーム１２６の自由
端部には半導体ウェハＷを載置するためのハンド１２８
が形成される。基端アーム１２２は支持プレート１１４
下に延びる中空シャフト１３２を介して駆動され、ま
た、中間アーム１２４及び先端アーム１２６は中空シャ
フト１３２に延びるシャフト１３４を介して駆動され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図６及び図７図示の従
来の搬送ロボットは、支持プレート１１４を通る５つの
回転軸、即ち、支持プレート１１４用の１軸、第１及び
第２ハンドラ１１６、１１８の基端アーム１２２用の２
軸、第１及び第２ハンドラ１１６、１１８の中間アーム
１２４及び先端アーム１２６用の２軸を有する。従っ
て、例えば、この搬送ロボットを真空雰囲気内で使用す
る場合には、各軸にごとに機密なシール構造、例えば磁
性流体シール、を設けることがが必要となり、しかも、
これらのシール構造は、それ自体が回転する支持プレー
ト１１４に取付ける必要がある。このため、この搬送ロ
ボットを真空雰囲気内で使用することは、スペースやコ
ストの観点から問題があると共に、真空雰囲気内のクリ
ーンな環境の維持という点でも信頼性に欠ける。本発明
は上述のような問題点に鑑みてなされたものであり、真
空雰囲気内での使用に適した小型で安価な搬送ロボット
を提供することを目的とする。
来の搬送ロボットは、支持プレート１１４を通る５つの
回転軸、即ち、支持プレート１１４用の１軸、第１及び
第２ハンドラ１１６、１１８の基端アーム１２２用の２
軸、第１及び第２ハンドラ１１６、１１８の中間アーム
１２４及び先端アーム１２６用の２軸を有する。従っ
て、例えば、この搬送ロボットを真空雰囲気内で使用す
る場合には、各軸にごとに機密なシール構造、例えば磁
性流体シール、を設けることがが必要となり、しかも、
これらのシール構造は、それ自体が回転する支持プレー
ト１１４に取付ける必要がある。このため、この搬送ロ
ボットを真空雰囲気内で使用することは、スペースやコ
ストの観点から問題があると共に、真空雰囲気内のクリ
ーンな環境の維持という点でも信頼性に欠ける。本発明
は上述のような問題点に鑑みてなされたものであり、真
空雰囲気内での使用に適した小型で安価な搬送ロボット
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の視点は、
搬送ロボットにおいて、支持プレートを貫通すると共に
これに軸受けされたベースカラムと、前記ベースカラム
上に支持された共通フレームと、動力伝達用の第１及び
第２中間軸構造を介して前記共通フレームに回転可能に
夫々接続された第１及び第２中間アームと、動力伝達用
の第１及び第２先端軸構造を介して前記第１及び第２中
間アームの自由端部に回転可能に夫々接続された第１及
び第２先端アームと、前記ベースカラム内を通って前記
共通フレームに至るように、前記ベースカラムに軸受け
された動力伝達用の第１及び第２駆動シャフトと、前記
第１駆動シャフト及び前記第１中間軸構造間、及び前記
第２駆動シャフト及び前記第２中間軸構造間で夫々動力
を伝達するため、前記共通フレーム内に配設された第１
及び第２上流側伝達手段と、前記第１中間軸構造及び前
記第１先端軸構造間、及び前記第２中間軸構造及び前記
第２先端軸構造間で夫々動力を伝達するため、前記第１
及び第２中間アーム内に夫々配設された第１及び第２下
流側伝達手段と、前記ベースカラムを介して前記共通フ
レームを回転駆動するため、前記ベースカラムに接続さ
れた共通駆動源と、前記第１中間アーム及び第１先端ア
ームを回転駆動するため、前記ベースコラムに支持され
ると共に前記第１駆動シャフトに接続された第１駆動源
と、前記第２中間アーム及び第２先端アームを回転駆動
するため、前記ベースコラムに支持されると共に前記第
２駆動シャフトに接続された第２駆動源と、を具備する
ことを特徴とする。
搬送ロボットにおいて、支持プレートを貫通すると共に
これに軸受けされたベースカラムと、前記ベースカラム
上に支持された共通フレームと、動力伝達用の第１及び
第２中間軸構造を介して前記共通フレームに回転可能に
夫々接続された第１及び第２中間アームと、動力伝達用
の第１及び第２先端軸構造を介して前記第１及び第２中
間アームの自由端部に回転可能に夫々接続された第１及
び第２先端アームと、前記ベースカラム内を通って前記
共通フレームに至るように、前記ベースカラムに軸受け
された動力伝達用の第１及び第２駆動シャフトと、前記
第１駆動シャフト及び前記第１中間軸構造間、及び前記
第２駆動シャフト及び前記第２中間軸構造間で夫々動力
を伝達するため、前記共通フレーム内に配設された第１
及び第２上流側伝達手段と、前記第１中間軸構造及び前
記第１先端軸構造間、及び前記第２中間軸構造及び前記
第２先端軸構造間で夫々動力を伝達するため、前記第１
及び第２中間アーム内に夫々配設された第１及び第２下
流側伝達手段と、前記ベースカラムを介して前記共通フ
レームを回転駆動するため、前記ベースカラムに接続さ
れた共通駆動源と、前記第１中間アーム及び第１先端ア
ームを回転駆動するため、前記ベースコラムに支持され
ると共に前記第１駆動シャフトに接続された第１駆動源
と、前記第２中間アーム及び第２先端アームを回転駆動
するため、前記ベースコラムに支持されると共に前記第
２駆動シャフトに接続された第２駆動源と、を具備する
ことを特徴とする。
【０００６】本発明の第２の視点は、第１の視点の搬送
ロボットにおいて、前記共通フレームの回転軸と前記第
１中間アームの回転軸との間の距離と、前記第１中間ア
ームの回転軸と前記第１先端アームの回転軸との間の距
離とが等しく、また、前記共通フレームの回転軸と前記
第２中間アームの回転軸との間の距離と、前記第２中間
アームの回転軸と前記第２先端アームの回転軸との間の
距離とが等しいことを特徴とする。
ロボットにおいて、前記共通フレームの回転軸と前記第
１中間アームの回転軸との間の距離と、前記第１中間ア
ームの回転軸と前記第１先端アームの回転軸との間の距
離とが等しく、また、前記共通フレームの回転軸と前記
第２中間アームの回転軸との間の距離と、前記第２中間
アームの回転軸と前記第２先端アームの回転軸との間の
距離とが等しいことを特徴とする。
【０００７】本発明の第３の視点は、第２の視点の搬送
ロボットにおいて、前記共通フレームの回転軸と前記第
１中間アームの回転軸との間の距離と、前記共通フレー
ムの回転軸と前記第２中間アームの回転軸との間の距離
とが等しいことを特徴とする。
ロボットにおいて、前記共通フレームの回転軸と前記第
１中間アームの回転軸との間の距離と、前記共通フレー
ムの回転軸と前記第２中間アームの回転軸との間の距離
とが等しいことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明の実施の形
態に係る、半導体ウェハの搬送に使用されるダブルハン
ド型の搬送ロボット１０を示す平面図及び側面図であ
る。また、図３及び図４は搬送ロボット１０のハンドリ
ング部１２の内部構造を示す線図、及び搬送ロボット１
０の駆動部１４の詳細を示す部分縦断側面図である。
態に係る、半導体ウェハの搬送に使用されるダブルハン
ド型の搬送ロボット１０を示す平面図及び側面図であ
る。また、図３及び図４は搬送ロボット１０のハンドリ
ング部１２の内部構造を示す線図、及び搬送ロボット１
０の駆動部１４の詳細を示す部分縦断側面図である。
【０００９】搬送ロボット１０は真空雰囲気に設定可能
なロードロックチャンバ２内に配設されたハンドリング
部１２と、ロードロックチャンバ２の底壁４の外側に取
付けられた駆動部１４とを具備する。ロードロックチャ
ンバ２の側壁には２つの開口６、８が形成され、これら
は夫々、例えば真空処理室及びイン／アウトユニット
（図示せず）に連通する。開口６、８には夫々ゲートバ
ルブ６ａ、８ａが配設され、ロードロックチャンバ２内
の気密性が保持されるようになっている。
なロードロックチャンバ２内に配設されたハンドリング
部１２と、ロードロックチャンバ２の底壁４の外側に取
付けられた駆動部１４とを具備する。ロードロックチャ
ンバ２の側壁には２つの開口６、８が形成され、これら
は夫々、例えば真空処理室及びイン／アウトユニット
（図示せず）に連通する。開口６、８には夫々ゲートバ
ルブ６ａ、８ａが配設され、ロードロックチャンバ２内
の気密性が保持されるようになっている。
【００１０】駆動部１４を覆うケーシング２２の天板
は、ハンドリング部１２を支持するための支持プレート
２４からなる。支持プレート２４はロードロックチャン
バ２の底壁４にネジ２５により固定される。底壁４及び
支持プレート２４には互いに整一する円形の開口４ａ、
２４ａが形成される。開口４ａ、２４ａ内には、円柱カ
ラー２６がその軸方向が垂直となるように配設される。
カラー２６はフランジ部２６ａを有し、これを介して支
持プレート２４の下面にネジ２７等により固定される。
ロードロックチャンバ２内の気密性を保持するため、開
口４ａを囲むように支持プレート２４上にＯリング４ｂ
が配設され、また、開口２４ａを囲むようにカラー２６
のフランジ部２６ａ上にＯリング２４ｂが配設される。
は、ハンドリング部１２を支持するための支持プレート
２４からなる。支持プレート２４はロードロックチャン
バ２の底壁４にネジ２５により固定される。底壁４及び
支持プレート２４には互いに整一する円形の開口４ａ、
２４ａが形成される。開口４ａ、２４ａ内には、円柱カ
ラー２６がその軸方向が垂直となるように配設される。
カラー２６はフランジ部２６ａを有し、これを介して支
持プレート２４の下面にネジ２７等により固定される。
ロードロックチャンバ２内の気密性を保持するため、開
口４ａを囲むように支持プレート２４上にＯリング４ｂ
が配設され、また、開口２４ａを囲むようにカラー２６
のフランジ部２６ａ上にＯリング２４ｂが配設される。
【００１１】カラー２６内にはこれと同軸状にベースカ
ラム３２が配設される。ベースカラム３２は軸受け２９
を介してカラー２６内に回転時可能に支持される。ロー
ドロックチャンバ２内の気密性を保持するため、カラー
２６とベースカラム３２との間には磁性流体シール２８
が配設される。
ラム３２が配設される。ベースカラム３２は軸受け２９
を介してカラー２６内に回転時可能に支持される。ロー
ドロックチャンバ２内の気密性を保持するため、カラー
２６とベースカラム３２との間には磁性流体シール２８
が配設される。
【００１２】カラー２６から突出するベースカラム３２
の上端部には共通フレーム３４が、ロードロックチャン
バ２の底壁４に対して平行となるように固定される。共
通フレーム３４は第１及び第２ビーム部３６ａ、３６ｂ
を有する平面がくの字形で且つ内部空間が実質的に閉鎖
されたケーシングにより形成される。第１及び第２ビー
ム部３６ａ、３６ｂは互いに１２０度の角度をなすよう
に設定される。なお、共通フレーム３４は、支持プレー
ト２４上で自転を行うだけのものであるから、ビーム部
のような細い部分を有しない形状、例えば円板形状等に
してもよい。
の上端部には共通フレーム３４が、ロードロックチャン
バ２の底壁４に対して平行となるように固定される。共
通フレーム３４は第１及び第２ビーム部３６ａ、３６ｂ
を有する平面がくの字形で且つ内部空間が実質的に閉鎖
されたケーシングにより形成される。第１及び第２ビー
ム部３６ａ、３６ｂは互いに１２０度の角度をなすよう
に設定される。なお、共通フレーム３４は、支持プレー
ト２４上で自転を行うだけのものであるから、ビーム部
のような細い部分を有しない形状、例えば円板形状等に
してもよい。
【００１３】第１及び第２ビーム部３６ａ、３６ｂの自
由端部には、垂直に配向された、動力伝達用の第１及び
第２中間軸構造３８ａ、３８ｂを介して第１及び第２中
間アーム４２ａ、４２ｂが平行に且つ回転可能に夫々接
続される。第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂもま
た、夫々内部空間が実質的に閉鎖されたケーシングによ
り形成される。
由端部には、垂直に配向された、動力伝達用の第１及び
第２中間軸構造３８ａ、３８ｂを介して第１及び第２中
間アーム４２ａ、４２ｂが平行に且つ回転可能に夫々接
続される。第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂもま
た、夫々内部空間が実質的に閉鎖されたケーシングによ
り形成される。
【００１４】第１及び第２中間軸構造３８ａ、３８ｂ
は、第１及び第２ビーム部３６ａ、３６ｂに固定された
芯シャフト３９ａ、３９ｂと、第１及び第２中間アーム
４２ａ、４２ｂに固定された中空シャフト４１ａ、４１
ｂとを夫々有する。芯シャフト３９ａ、３９ｂの上端部
は第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂに夫々枢着さ
れる。中空シャフト４１ａ、４１ｂの下端部は第１及び
第２ビーム部３６ａ、３６ｂに夫々枢着される。中空シ
ャフト４１ａ、４１ｂはその内部の軸受けを介して芯シ
ャフト３９ａ、３９ｂに同軸状に且つ回転自在に取付け
られる。
は、第１及び第２ビーム部３６ａ、３６ｂに固定された
芯シャフト３９ａ、３９ｂと、第１及び第２中間アーム
４２ａ、４２ｂに固定された中空シャフト４１ａ、４１
ｂとを夫々有する。芯シャフト３９ａ、３９ｂの上端部
は第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂに夫々枢着さ
れる。中空シャフト４１ａ、４１ｂの下端部は第１及び
第２ビーム部３６ａ、３６ｂに夫々枢着される。中空シ
ャフト４１ａ、４１ｂはその内部の軸受けを介して芯シ
ャフト３９ａ、３９ｂに同軸状に且つ回転自在に取付け
られる。
【００１５】第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂの
自由端内には、垂直に配向された、動力伝達用の第１及
び第２先端軸構造４４ａ、４４ｂを介して第１及び第２
先端アーム４６ａ、４６ｂに夫々が平行に且つ回転可能
に夫々接続される。第１及び第２先端軸構造４４ａ、４
４ｂは、第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂに固定
された芯シャフト４３ａ、４３ｂと、第１及び第２先端
アーム４６ａ、４６ｂに固定された中空シャフト４５
ａ、４５ｂとを夫々有する。中空シャフト４５ａ、４５
ｂはその内部の軸受けを介して芯シャフト４３ａ、４３
ｂに同軸状に且つ回転自在に取付けられる。
自由端内には、垂直に配向された、動力伝達用の第１及
び第２先端軸構造４４ａ、４４ｂを介して第１及び第２
先端アーム４６ａ、４６ｂに夫々が平行に且つ回転可能
に夫々接続される。第１及び第２先端軸構造４４ａ、４
４ｂは、第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂに固定
された芯シャフト４３ａ、４３ｂと、第１及び第２先端
アーム４６ａ、４６ｂに固定された中空シャフト４５
ａ、４５ｂとを夫々有する。中空シャフト４５ａ、４５
ｂはその内部の軸受けを介して芯シャフト４３ａ、４３
ｂに同軸状に且つ回転自在に取付けられる。
【００１６】第１先端アーム４６ａは第１中間アーム４
２ａの上側に接続される一方、第２先端アーム４６ｂは
第２中間アーム４２ｂの下側に接続される。第１及び第
２先端アーム４６ａ、４６ｂの自由端部には半導体ウェ
ハＷを載置するための第１及び第２ハンド４８ａ、４８
ｂが夫々形成される。
２ａの上側に接続される一方、第２先端アーム４６ｂは
第２中間アーム４２ｂの下側に接続される。第１及び第
２先端アーム４６ａ、４６ｂの自由端部には半導体ウェ
ハＷを載置するための第１及び第２ハンド４８ａ、４８
ｂが夫々形成される。
【００１７】第１及び第２ハンド４８ａ、４８ｂが近接
した位置で互いに干渉し合うことなく動作できるよう
に、第１及び第２中間軸構造３８ａ、３８ｂは異なる長
さを有する。即ち、第２中間軸構造３８ｂは、第１中間
アーム４２ａと第１先端アーム４６ａとを合わせた高さ
以上の間隔分だけ、第２ビーム部３６ｂから第２中間ア
ーム４２ｂを離間させるように設定される。
した位置で互いに干渉し合うことなく動作できるよう
に、第１及び第２中間軸構造３８ａ、３８ｂは異なる長
さを有する。即ち、第２中間軸構造３８ｂは、第１中間
アーム４２ａと第１先端アーム４６ａとを合わせた高さ
以上の間隔分だけ、第２ビーム部３６ｂから第２中間ア
ーム４２ｂを離間させるように設定される。
【００１８】ベースカラム３２内を通って共通フレーム
３４内に至るように、動力伝達用の第１及び第２駆動シ
ャフト５２ａ、５２ｂが垂直に配設される。第１及び第
２駆動シャフト５２ａ、５２ｂは軸受け５６（第２駆動
シャフト５２ｂ側のみ図示）を介してベースカラム３２
内に夫々回転時可能に支持される。ロードロックチャン
バ２内の気密性を保持するため、ベースカラム３２と第
１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂとの間には磁性
流体シール５４（第２駆動シャフト５２ｂ側のみ図示）
が夫々配設される。
３４内に至るように、動力伝達用の第１及び第２駆動シ
ャフト５２ａ、５２ｂが垂直に配設される。第１及び第
２駆動シャフト５２ａ、５２ｂは軸受け５６（第２駆動
シャフト５２ｂ側のみ図示）を介してベースカラム３２
内に夫々回転時可能に支持される。ロードロックチャン
バ２内の気密性を保持するため、ベースカラム３２と第
１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂとの間には磁性
流体シール５４（第２駆動シャフト５２ｂ側のみ図示）
が夫々配設される。
【００１９】第１駆動シャフト５２ａ及び第１中間軸構
造３８ａ間、及び第２駆動シャフト５２ｂ及び第２中間
軸構造３８ｂ間で夫々動力を伝達するため、共通フレー
ム３４の第１及び第２ビーム部３６ａ、３６ｂ内に第１
及び第２上流側伝達手段６２ａ、６２ｂが夫々配設され
る。第１及び第２上流側伝達手段６２ａ、６２ｂは、第
１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂに固定されたギ
ア付き駆動プーリ６４ａ、６４ｂと、第１及び第２中間
軸構造３８ａ、３８ｂの中空シャフト４１ａ、４１ｂに
固定されたギア付き従動プーリ６６ａ、６６ｂと、プー
リ間に掛渡されたタイミングベルト６８ａ、６８ｂと夫
々を有する。
造３８ａ間、及び第２駆動シャフト５２ｂ及び第２中間
軸構造３８ｂ間で夫々動力を伝達するため、共通フレー
ム３４の第１及び第２ビーム部３６ａ、３６ｂ内に第１
及び第２上流側伝達手段６２ａ、６２ｂが夫々配設され
る。第１及び第２上流側伝達手段６２ａ、６２ｂは、第
１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂに固定されたギ
ア付き駆動プーリ６４ａ、６４ｂと、第１及び第２中間
軸構造３８ａ、３８ｂの中空シャフト４１ａ、４１ｂに
固定されたギア付き従動プーリ６６ａ、６６ｂと、プー
リ間に掛渡されたタイミングベルト６８ａ、６８ｂと夫
々を有する。
【００２０】第１中間軸構造３８ａ及び第１先端軸構造
４４ａ間、第２中間軸構造３８ｂ及び第２先端軸構造４
４ｂ間で夫々動力を伝達するため、第１及び第２中間ア
ーム４２ａ、４２ｂ内に第１及び第２下流側伝達手段７
２ａ、７２ｂが夫々配設される。第１及び第２下流側伝
達手段７２ａ、７２ｂは、第１及び第２中間軸構造３８
ａ、３８ｂの芯シャフト３９ａ、３９ｂに固定されたギ
ア付き駆動プーリ７４ａ、７４ｂと、第１及び第２先端
軸構造４４ａ、４４ｂの中空シャフト４５ａ、４５ｂに
固定されたギア付き従動プーリ７６ａ、７６ｂと、プー
リ間に掛渡されたタイミングベルト７８ａ、７８ｂとを
夫々有する。
４４ａ間、第２中間軸構造３８ｂ及び第２先端軸構造４
４ｂ間で夫々動力を伝達するため、第１及び第２中間ア
ーム４２ａ、４２ｂ内に第１及び第２下流側伝達手段７
２ａ、７２ｂが夫々配設される。第１及び第２下流側伝
達手段７２ａ、７２ｂは、第１及び第２中間軸構造３８
ａ、３８ｂの芯シャフト３９ａ、３９ｂに固定されたギ
ア付き駆動プーリ７４ａ、７４ｂと、第１及び第２先端
軸構造４４ａ、４４ｂの中空シャフト４５ａ、４５ｂに
固定されたギア付き従動プーリ７６ａ、７６ｂと、プー
リ間に掛渡されたタイミングベルト７８ａ、７８ｂとを
夫々有する。
【００２１】第１及び第２下流側伝達手段７２ａ、７２
ｂは、第１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂの回転
により発生する、共通フレーム３４に対する第１及び第
２中間アーム４２ａ、４２ｂの回転と、第１及び第２中
間アーム４２ａ、４２ｂに対する第１及び第２先端アー
ム４６ａ、４６ｂの回転とが、互いに逆方向で且つ回転
量の比が、２：１となるように設定される。例えば、共
通フレーム３４に対して第１中間アーム４２ａが反時計
方向に６０度回転されると、第１中間アーム４２ａに対
して第１先端アーム４６ａが時計方向に３０度回転され
る。この回転量比の設定は、具体的には、第１及び第２
中間軸構造３８ａ、３８ｂ側のプーリ７４ａ、７４ｂと
第１及び第２先端軸構造４４ａ、４４ｂ側のプーリ７６
ａ、７６ｂとのギア比の選択により行われる。
ｂは、第１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂの回転
により発生する、共通フレーム３４に対する第１及び第
２中間アーム４２ａ、４２ｂの回転と、第１及び第２中
間アーム４２ａ、４２ｂに対する第１及び第２先端アー
ム４６ａ、４６ｂの回転とが、互いに逆方向で且つ回転
量の比が、２：１となるように設定される。例えば、共
通フレーム３４に対して第１中間アーム４２ａが反時計
方向に６０度回転されると、第１中間アーム４２ａに対
して第１先端アーム４６ａが時計方向に３０度回転され
る。この回転量比の設定は、具体的には、第１及び第２
中間軸構造３８ａ、３８ｂ側のプーリ７４ａ、７４ｂと
第１及び第２先端軸構造４４ａ、４４ｂ側のプーリ７６
ａ、７６ｂとのギア比の選択により行われる。
【００２２】カラー２６から突出するベースカラム３２
の下端部には大径ギア８２が同軸状に固定される。大径
ギア８２は共通駆動源である共通モータ８６に取付けら
れた小径ギア８４と噛合う。共通モータ８６はアッタチ
メント８８を介して、駆動部１４を覆うケーシング２２
の底板に固定される。従って、共通フレーム３４は、支
持プレート２４に対して、ベースカラム３２を介して共
通モータ８６により回転駆動可能となる。
の下端部には大径ギア８２が同軸状に固定される。大径
ギア８２は共通駆動源である共通モータ８６に取付けら
れた小径ギア８４と噛合う。共通モータ８６はアッタチ
メント８８を介して、駆動部１４を覆うケーシング２２
の底板に固定される。従って、共通フレーム３４は、支
持プレート２４に対して、ベースカラム３２を介して共
通モータ８６により回転駆動可能となる。
【００２３】ベースカラム３２及び大径ギア８２を貫通
して突出する第１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂ
の下端部にはギア９２ａ、９２ｂが夫々同軸状に固定さ
れる。ギア９２ａ、９２ｂは第１及び第２駆動源である
第１及び第２モータ９６ａ、９６ｂに取付けられたピニ
オン９４ａ、９４ｂと夫々噛合う。第１及び第２モータ
９６ａ、９６ｂはアッタチメント９８ａ、９８ｂを介し
て、ベースカラム３２及び大径ギア８２と一体の円板８
３に夫々固定される。
して突出する第１及び第２駆動シャフト５２ａ、５２ｂ
の下端部にはギア９２ａ、９２ｂが夫々同軸状に固定さ
れる。ギア９２ａ、９２ｂは第１及び第２駆動源である
第１及び第２モータ９６ａ、９６ｂに取付けられたピニ
オン９４ａ、９４ｂと夫々噛合う。第１及び第２モータ
９６ａ、９６ｂはアッタチメント９８ａ、９８ｂを介し
て、ベースカラム３２及び大径ギア８２と一体の円板８
３に夫々固定される。
【００２４】従って、第１及び第２モータ９６ａ、９６
ｂはベースカラム３２及び共通フレーム３４と一体的に
移動する。また、第１中間アーム４２ａ及び第１先端ア
ーム４６ａは、共通フレーム３４に対して、第１駆動シ
ャフト５２ａを介して第１モータ９６ａにより回転駆動
可能となる。また、第２中間アーム４２ｂ及び第２先端
アーム４６ｂは、共通フレーム３４に対して、第２駆動
シャフト５２ｂを介して第２モータ９６ｂにより回転駆
動可能となる。
ｂはベースカラム３２及び共通フレーム３４と一体的に
移動する。また、第１中間アーム４２ａ及び第１先端ア
ーム４６ａは、共通フレーム３４に対して、第１駆動シ
ャフト５２ａを介して第１モータ９６ａにより回転駆動
可能となる。また、第２中間アーム４２ｂ及び第２先端
アーム４６ｂは、共通フレーム３４に対して、第２駆動
シャフト５２ｂを介して第２モータ９６ｂにより回転駆
動可能となる。
【００２５】即ち、共通フレーム３４の第１ビーム部３
６ａ、第１中間アーム４２ａ、第１先端アーム４６ａ及
び第１ハンド４８ａ等から左側ハンドラ４０ａが構成さ
れる。左側ハンドラ４０ａは、共通モータ８６により伸
縮方向が設定され、また、共通モータ８６及び第１モー
タ９６ａにより伸縮駆動される。また、共通フレーム３
４の第２ビーム部３６ｂ、第２中間アーム４２ｂ、第２
先端アーム４６ｂ及び第２ハンド４８ｂ等から右側ハン
ドラ４０ｂが構成される。右側ハンドラ４０ｂは、共通
モータ８６により伸縮方向が設定され、また、共通モー
タ８６及び第２モータ９６ｂにより伸縮駆動される。
６ａ、第１中間アーム４２ａ、第１先端アーム４６ａ及
び第１ハンド４８ａ等から左側ハンドラ４０ａが構成さ
れる。左側ハンドラ４０ａは、共通モータ８６により伸
縮方向が設定され、また、共通モータ８６及び第１モー
タ９６ａにより伸縮駆動される。また、共通フレーム３
４の第２ビーム部３６ｂ、第２中間アーム４２ｂ、第２
先端アーム４６ｂ及び第２ハンド４８ｂ等から右側ハン
ドラ４０ｂが構成される。右側ハンドラ４０ｂは、共通
モータ８６により伸縮方向が設定され、また、共通モー
タ８６及び第２モータ９６ｂにより伸縮駆動される。
【００２６】図１或いは後述の図５図示の如く、左右の
ハンドラ４０ａ、４０ｂは、搬送ロボット１０の平面の
形状において、実質的に左右対称となるように配設され
る。より具体的には、共通フレーム３４の回転軸と第１
中間アーム４２ａの回転軸との間の距離と、共通フレー
ム３４の回転軸と第２中間アーム４２ｂの回転軸との間
の距離と、第１中間アーム４２ａの回転軸と第１先端ア
ーム４６ａの回転軸との間の距離と、第２中間アーム４
２ｂの回転軸と第２先端アーム４６ｂの回転軸との間の
距離と、が全て等しくなるように設定される。従って、
図５（ａ）に示すように、左右のハンドラ４０ａ、４０
ｂの初期状態即ちニュートラルな状態において、共通フ
レーム３４の第１ビーム部３６ａ、第１中間アーム４２
ａ及び第１先端アーム４６ａの回転軸は正三角形の頂点
に位置し、また、共通フレーム３４の第２ビーム部３６
ｂ、第２中間アーム４２ｂ及び第２先端アーム４６ｂの
回転軸も正三角形の頂点に位置する。
ハンドラ４０ａ、４０ｂは、搬送ロボット１０の平面の
形状において、実質的に左右対称となるように配設され
る。より具体的には、共通フレーム３４の回転軸と第１
中間アーム４２ａの回転軸との間の距離と、共通フレー
ム３４の回転軸と第２中間アーム４２ｂの回転軸との間
の距離と、第１中間アーム４２ａの回転軸と第１先端ア
ーム４６ａの回転軸との間の距離と、第２中間アーム４
２ｂの回転軸と第２先端アーム４６ｂの回転軸との間の
距離と、が全て等しくなるように設定される。従って、
図５（ａ）に示すように、左右のハンドラ４０ａ、４０
ｂの初期状態即ちニュートラルな状態において、共通フ
レーム３４の第１ビーム部３６ａ、第１中間アーム４２
ａ及び第１先端アーム４６ａの回転軸は正三角形の頂点
に位置し、また、共通フレーム３４の第２ビーム部３６
ｂ、第２中間アーム４２ｂ及び第２先端アーム４６ｂの
回転軸も正三角形の頂点に位置する。
【００２７】次に、図５を参照して搬送ロボット１０の
動作を説明する。図を簡便に且つ分り易くするため、図
５においては各部を線図的に示し、且つ左右のハンドラ
４０ａ、４０ｂによりウェハＷを直線的に搬送する場合
を示す。また、以下の説明において、共通フレーム３
４、第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂを時計方向
に回転させるための共通モータ８６、第１及び第２モー
タ９６ａ、９６ｂの回転方向は「＋」の符号を付し、そ
れと逆方向は「−」の符号を付して示す。
動作を説明する。図を簡便に且つ分り易くするため、図
５においては各部を線図的に示し、且つ左右のハンドラ
４０ａ、４０ｂによりウェハＷを直線的に搬送する場合
を示す。また、以下の説明において、共通フレーム３
４、第１及び第２中間アーム４２ａ、４２ｂを時計方向
に回転させるための共通モータ８６、第１及び第２モー
タ９６ａ、９６ｂの回転方向は「＋」の符号を付し、そ
れと逆方向は「−」の符号を付して示す。
【００２８】図５（ａ）に示す、左右のハンドラ４０
ａ、４０ｂの初期状態即ちニュートラルな状態は、換言
すると、左右のハンドラ４０ａ、４０ｂが折畳まれた状
態、即ちウェハＷを最も引き込んだ状態となる。これ以
上ウェハＷを引き込もうとすると、左右のハンドラ４０
ａ、４０ｂの中間アームが、ハンドリング部１２の最小
旋回範囲ＭＲからはみだしてしまうため、不適当とな
る。
ａ、４０ｂの初期状態即ちニュートラルな状態は、換言
すると、左右のハンドラ４０ａ、４０ｂが折畳まれた状
態、即ちウェハＷを最も引き込んだ状態となる。これ以
上ウェハＷを引き込もうとすると、左右のハンドラ４０
ａ、４０ｂの中間アームが、ハンドリング部１２の最小
旋回範囲ＭＲからはみだしてしまうため、不適当とな
る。
【００２９】まず、図５（ａ）に示す状態から、左側ハ
ンドラ４０ａによりウェハＷを直線的に送出す場合、共
通モータ８６と第１モータ９６ａとを１：２の角速度
で、夫々「−」方向及び「＋」方向に回転させる。この
間、右側ハンドラ４０ｂ用の第２モータ９６ｂは停止さ
せておく。
ンドラ４０ａによりウェハＷを直線的に送出す場合、共
通モータ８６と第１モータ９６ａとを１：２の角速度
で、夫々「−」方向及び「＋」方向に回転させる。この
間、右側ハンドラ４０ｂ用の第２モータ９６ｂは停止さ
せておく。
【００３０】図５（ｅ）に示す、左側ハンドラ４０ａの
第１ビーム部３６ａ、第１中間アーム４２ａ及び第１先
端アーム４６ａが真っ直ぐに伸びた状態は、図５（ａ）
に示す状態から、共通モータ８６を−１２０度回転させ
ると共に、第１モータ９６ａを＋２４０度回転させるこ
とにより得られる。図５（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）は、
図５（ｅ）に示す状態に至るまでの、共通モータ８６を
−３０度、−６０度、−９０度夫々回転させ、また、第
１モータ９６ａを＋６０度、＋１２０度、＋１８０度夫
々回転させた時の状態を示す。
第１ビーム部３６ａ、第１中間アーム４２ａ及び第１先
端アーム４６ａが真っ直ぐに伸びた状態は、図５（ａ）
に示す状態から、共通モータ８６を−１２０度回転させ
ると共に、第１モータ９６ａを＋２４０度回転させるこ
とにより得られる。図５（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）は、
図５（ｅ）に示す状態に至るまでの、共通モータ８６を
−３０度、−６０度、−９０度夫々回転させ、また、第
１モータ９６ａを＋６０度、＋１２０度、＋１８０度夫
々回転させた時の状態を示す。
【００３１】次に、図５（ｅ）に示す状態から、左側ハ
ンドラ４０ａによりウェハＷを直線的に引込む場合、共
通モータ８６と第１モータ９６ａとを１：２の角速度
で、夫々「＋」方向及び「−」方向に回転させる。この
間、右側ハンドラ４０ｂ用の第２モータ９６ｂは停止さ
せておく。
ンドラ４０ａによりウェハＷを直線的に引込む場合、共
通モータ８６と第１モータ９６ａとを１：２の角速度
で、夫々「＋」方向及び「−」方向に回転させる。この
間、右側ハンドラ４０ｂ用の第２モータ９６ｂは停止さ
せておく。
【００３２】図５（ｉ）に示す、左側ハンドラ４０ａが
折畳まれた状態は、図５（ｅ）に示す状態から、共通モ
ータ８６を＋１２０度回転させると共に、第１モータ９
６ａを−２４０度回転させることにより得られる。図５
（ｆ）、（ｇ）及び（ｈ）は、図５（ｉ）に示す状態に
至るまでの、共通モータ８６を＋３０度、＋６０度、＋
９０度夫々回転させ、また、第１モータ９６ａを−６０
度、−１２０度、−１８０度夫々回転させた時の状態を
示す。
折畳まれた状態は、図５（ｅ）に示す状態から、共通モ
ータ８６を＋１２０度回転させると共に、第１モータ９
６ａを−２４０度回転させることにより得られる。図５
（ｆ）、（ｇ）及び（ｈ）は、図５（ｉ）に示す状態に
至るまでの、共通モータ８６を＋３０度、＋６０度、＋
９０度夫々回転させ、また、第１モータ９６ａを−６０
度、−１２０度、−１８０度夫々回転させた時の状態を
示す。
【００３３】次に、図５（ｊ）に示す初期状態或いはニ
ュートラルな状態から、右側ハンドラ４０ａによりウェ
ハＷを直線的に送出す場合、共通モータ８６と第２モー
タ９６ｂとを１：２の角速度で、夫々「＋」方向及び
「−」方向に回転させる。この間、左側ハンドラ４０ａ
用の第１モータ９６ａは停止させておく。
ュートラルな状態から、右側ハンドラ４０ａによりウェ
ハＷを直線的に送出す場合、共通モータ８６と第２モー
タ９６ｂとを１：２の角速度で、夫々「＋」方向及び
「−」方向に回転させる。この間、左側ハンドラ４０ａ
用の第１モータ９６ａは停止させておく。
【００３４】図５（ｎ）に示す、右側ハンドラ４０ｂの
第２ビーム部３６ｂ、第２中間アーム４２ｂ及び第２先
端アーム４６ｂが真っ直ぐに伸びた状態は、図５（ｊ）
に示す状態から、共通モータ８６を＋１２０度回転させ
ると共に、第２モータ９６ｂを−２４０度回転させるこ
とにより得られる。図５（ｋ）、（ｌ）及び（ｍ）は、
図５（ｎ）に示す状態に至るまでの、共通モータ８６を
＋３０度、＋６０度、＋９０度夫々回転させ、また、第
２モータ９６ｂを−６０度、−１２０度、−１８０度夫
々回転させた時の状態を示す。
第２ビーム部３６ｂ、第２中間アーム４２ｂ及び第２先
端アーム４６ｂが真っ直ぐに伸びた状態は、図５（ｊ）
に示す状態から、共通モータ８６を＋１２０度回転させ
ると共に、第２モータ９６ｂを−２４０度回転させるこ
とにより得られる。図５（ｋ）、（ｌ）及び（ｍ）は、
図５（ｎ）に示す状態に至るまでの、共通モータ８６を
＋３０度、＋６０度、＋９０度夫々回転させ、また、第
２モータ９６ｂを−６０度、−１２０度、−１８０度夫
々回転させた時の状態を示す。
【００３５】次に、図５（ｎ）に示す状態から、右側ハ
ンドラ４０ｂによりウェハＷを直線的に引込む場合、共
通モータ８６と第２モータ９６ｂとを１：２の角速度
で、夫々「−」方向及び「＋」方向に回転させる。この
間、左側ハンドラ４０ａ用の第１モータ９６ａは停止さ
せておく。
ンドラ４０ｂによりウェハＷを直線的に引込む場合、共
通モータ８６と第２モータ９６ｂとを１：２の角速度
で、夫々「−」方向及び「＋」方向に回転させる。この
間、左側ハンドラ４０ａ用の第１モータ９６ａは停止さ
せておく。
【００３６】図５（ｒ）に示す、右側ハンドラ４０ｂが
折畳まれた状態は、図５（ｎ）に示す状態から、共通モ
ータ８６を−１２０度回転させると共に、第２モータ９
６ｂを＋２４０度回転させることにより得られる。図５
（ｏ）、（ｐ）及び（ｑ）は、図５（ｒ）に示す状態に
至るまでの、共通モータ８６を−３０度、−６０度、−
９０度夫々回転させ、また、第２モータ９６ｂを＋６０
度、＋１２０度、＋１８０度夫々回転させた時の状態を
示す。
折畳まれた状態は、図５（ｎ）に示す状態から、共通モ
ータ８６を−１２０度回転させると共に、第２モータ９
６ｂを＋２４０度回転させることにより得られる。図５
（ｏ）、（ｐ）及び（ｑ）は、図５（ｒ）に示す状態に
至るまでの、共通モータ８６を−３０度、−６０度、−
９０度夫々回転させ、また、第２モータ９６ｂを＋６０
度、＋１２０度、＋１８０度夫々回転させた時の状態を
示す。
【００３７】また、左右ハンドラ４０ａ、４０ｂの伸縮
方向を変更する場合、第１及び第２モータ９６ａ、９６
ｂを停止させ、共通モータ８６のみを作動させる。これ
により、左右ハンドラ４０ａ、４０ｂを伸縮させること
なく伸縮方向を設定することができる。次に、図５に示
す操作を行えば、その設定された方向において、左右ハ
ンドラ４０ａ、４０ｂは伸縮を行うことができ、即ち、
ウェハＷを直線的に搬送することができる。
方向を変更する場合、第１及び第２モータ９６ａ、９６
ｂを停止させ、共通モータ８６のみを作動させる。これ
により、左右ハンドラ４０ａ、４０ｂを伸縮させること
なく伸縮方向を設定することができる。次に、図５に示
す操作を行えば、その設定された方向において、左右ハ
ンドラ４０ａ、４０ｂは伸縮を行うことができ、即ち、
ウェハＷを直線的に搬送することができる。
【００３８】なお、上述の実施の形態においては、半導
体ウェハを被処理基板として構成されているが、搬送ロ
ボット１０は、第１及び第２先端アーム４６ａ、４６ｂ
の自由端部の形状を変更するだけで、ＬＣＤ基板、ＣＤ
ディスク、フロッピディスク等、種々の基板の処理に適
用することが可能となる。
体ウェハを被処理基板として構成されているが、搬送ロ
ボット１０は、第１及び第２先端アーム４６ａ、４６ｂ
の自由端部の形状を変更するだけで、ＬＣＤ基板、ＣＤ
ディスク、フロッピディスク等、種々の基板の処理に適
用することが可能となる。
【００３９】
【発明の効果】本発明に係る搬送ロボットにおいては、
ハンドリング部を支持するための支持プレートが固定さ
れ、且つ支持プレートを通る回転軸が３軸となる。従っ
て、支持プレートが回転型で且つ５つの回転軸を有する
従来の構造と比較して、小型に且つ安価に製造すること
ができる。特に、これらの特徴は、搬送ロボットを真空
雰囲気内で使用する際に、有効な利点となる。即ち、本
発明によれば、真空雰囲気内での使用に適した小型で安
価な搬送ロボットを提供することができる。
ハンドリング部を支持するための支持プレートが固定さ
れ、且つ支持プレートを通る回転軸が３軸となる。従っ
て、支持プレートが回転型で且つ５つの回転軸を有する
従来の構造と比較して、小型に且つ安価に製造すること
ができる。特に、これらの特徴は、搬送ロボットを真空
雰囲気内で使用する際に、有効な利点となる。即ち、本
発明によれば、真空雰囲気内での使用に適した小型で安
価な搬送ロボットを提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体ウェハ用搬送
ロボットを示す平面図。
ロボットを示す平面図。
【図２】図１図示の搬送ロボットを示す側面図。
【図３】図１図示の搬送ロボットのハンドリング部の内
部構造を示す線図。
部構造を示す線図。
【図４】図１図示の搬送ロボットの駆動部の詳細を示す
部分縦断側面図。
部分縦断側面図。
【図５】図１図示の搬送ロボットの動作を順に示す線
図。
図。
【図６】従来の半導体ウェハ用搬送ロボットを示す平面
図。
図。
【図７】図６図示の搬送ロボットの部分縦断側面図。
２…ロードロックチャンバ、１０…搬送ロボット、１２
…ハンドリング部、１４…駆動部、２４…支持プレー
ト、２６…カラー、３２…ベースカラム、３４…共通フ
レーム、３６ａ、３６ｂ…第１及び第２ビーム部、３８
ａ、３８ｂ…第１及び第２中間軸構造、４２ａ、４２ｂ
…第１及び第２中間アーム、４４ａ、４４ｂ…第１及び
第２先端軸構造、４６ａ、４６ｂ…第１及び第２先端ア
ーム、５２ａ、５２ｂ…第１及び第２駆動シャフト、８
６…共通モータ、９６ａ、９６ｂ…第１及び第２モー
タ。
…ハンドリング部、１４…駆動部、２４…支持プレー
ト、２６…カラー、３２…ベースカラム、３４…共通フ
レーム、３６ａ、３６ｂ…第１及び第２ビーム部、３８
ａ、３８ｂ…第１及び第２中間軸構造、４２ａ、４２ｂ
…第１及び第２中間アーム、４４ａ、４４ｂ…第１及び
第２先端軸構造、４６ａ、４６ｂ…第１及び第２先端ア
ーム、５２ａ、５２ｂ…第１及び第２駆動シャフト、８
６…共通モータ、９６ａ、９６ｂ…第１及び第２モー
タ。
Claims (3)
- 【請求項１】支持プレートを貫通すると共にこれに軸受
けされたベースカラムと、 前記ベースカラム上に支持された共通フレームと、 動力伝達用の第１及び第２中間軸構造を介して前記共通
フレームに回転可能に夫々接続された第１及び第２中間
アームと、 動力伝達用の第１及び第２先端軸構造を介して前記第１
及び第２中間アームの自由端部に回転可能に夫々接続さ
れた第１及び第２先端アームと、 前記ベースカラム内を通って前記共通フレームに至るよ
うに、前記ベースカラムに軸受けされた動力伝達用の第
１及び第２駆動シャフトと、 前記第１駆動シャフト及び前記第１中間軸構造間、及び
前記第２駆動シャフト及び前記第２中間軸構造間で夫々
動力を伝達するため、前記共通フレーム内に配設された
第１及び第２上流側伝達手段と、 前記第１中間軸構造及び前記第１先端軸構造間、及び前
記第２中間軸構造及び前記第２先端軸構造間で夫々動力
を伝達するため、前記第１及び第２中間アーム内に夫々
配設された第１及び第２下流側伝達手段と、 前記ベースカラムを介して前記共通フレームを回転駆動
するため、前記ベースカラムに接続された共通駆動源
と、 前記第１中間アーム及び第１先端アームを回転駆動する
ため、前記ベースコラムに支持されると共に前記第１駆
動シャフトに接続された第１駆動源と、 前記第２中間アーム及び第２先端アームを回転駆動する
ため、前記ベースコラムに支持されると共に前記第２駆
動シャフトに接続された第２駆動源と、を具備すること
を特徴とする搬送ロボット。 - 【請求項２】前記共通フレームの回転軸と前記第１中間
アームの回転軸との間の距離と、前記第１中間アームの
回転軸と前記第１先端アームの回転軸との間の距離とが
等しく、また、前記共通フレームの回転軸と前記第２中
間アームの回転軸との間の距離と、前記第２中間アーム
の回転軸と前記第２先端アームの回転軸との間の距離と
が等しいことを特徴とする請求項１に記載の搬送ロボッ
ト。 - 【請求項３】前記共通フレームの回転軸と前記第１中間
アームの回転軸との間の距離と、前記共通フレームの回
転軸と前記第２中間アームの回転軸との間の距離とが等
しいことを特徴とする請求項２に記載の搬送ロボット。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8213643A JPH1058359A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 搬送ロボット |
| CN97191065A CN1198698A (zh) | 1996-08-13 | 1997-08-11 | 传送机械手 |
| PCT/JP1997/002807 WO1998006544A1 (fr) | 1996-08-13 | 1997-08-11 | Robot de transfert |
| KR1019980702656A KR19990064175A (ko) | 1996-08-13 | 1997-08-11 | 반송로봇 |
| EP97934766A EP0881043A1 (en) | 1996-08-13 | 1997-08-11 | Transfer robot |
| TW086111725A TW365566B (en) | 1996-08-13 | 1997-08-12 | Moving robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8213643A JPH1058359A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 搬送ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1058359A true JPH1058359A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=16642557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8213643A Abandoned JPH1058359A (ja) | 1996-08-13 | 1996-08-13 | 搬送ロボット |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0881043A1 (ja) |
| JP (1) | JPH1058359A (ja) |
| KR (1) | KR19990064175A (ja) |
| CN (1) | CN1198698A (ja) |
| TW (1) | TW365566B (ja) |
| WO (1) | WO1998006544A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002520830A (ja) * | 1998-07-10 | 2002-07-09 | ピーアールアイ オートメーション インコーポレイテッド | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| JP2018137453A (ja) * | 2007-05-08 | 2018-08-30 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 |
| US11801598B2 (en) | 2007-05-08 | 2023-10-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100342519C (zh) * | 2003-07-16 | 2007-10-10 | 东京毅力科创株式会社 | 搬送装置及驱动机构 |
| US8668422B2 (en) * | 2004-08-17 | 2014-03-11 | Mattson Technology, Inc. | Low cost high throughput processing platform |
| CN104913025A (zh) * | 2015-06-11 | 2015-09-16 | 邓莉莉 | 一种工业机器人用的传动轴结构 |
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| JP3181455B2 (ja) * | 1993-11-20 | 2001-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置 |
-
1996
- 1996-08-13 JP JP8213643A patent/JPH1058359A/ja not_active Abandoned
-
1997
- 1997-08-11 WO PCT/JP1997/002807 patent/WO1998006544A1/ja not_active Ceased
- 1997-08-11 CN CN97191065A patent/CN1198698A/zh active Pending
- 1997-08-11 EP EP97934766A patent/EP0881043A1/en not_active Withdrawn
- 1997-08-11 KR KR1019980702656A patent/KR19990064175A/ko not_active Withdrawn
- 1997-08-12 TW TW086111725A patent/TW365566B/zh active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002520830A (ja) * | 1998-07-10 | 2002-07-09 | ピーアールアイ オートメーション インコーポレイテッド | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| JP2018137453A (ja) * | 2007-05-08 | 2018-08-30 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 |
| US11801598B2 (en) | 2007-05-08 | 2023-10-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism |
Also Published As
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| CN1198698A (zh) | 1998-11-11 |
| EP0881043A1 (en) | 1998-12-02 |
| TW365566B (en) | 1999-08-01 |
| KR19990064175A (ko) | 1999-07-26 |
| WO1998006544A1 (fr) | 1998-02-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060228 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20060525 |