JPH1058681A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- JPH1058681A JPH1058681A JP21950096A JP21950096A JPH1058681A JP H1058681 A JPH1058681 A JP H1058681A JP 21950096 A JP21950096 A JP 21950096A JP 21950096 A JP21950096 A JP 21950096A JP H1058681 A JPH1058681 A JP H1058681A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- adhesive
- plate
- recording head
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】複数の薄板を接着剤により接合して、バラツキ
が少なく特性の優れたサイドシュート型のインクジェッ
ト記録ヘッドを得る。 【解決手段】インクノズルと凸部42を有する薄板からな
る下板41と、ノズル流路とインク溜め７と凸部32を有す
る薄板からなる中板31が凸部42で決まる厚さの接着剤層
43で接合され、中板31上に、インク加圧室４を有する薄
板からなる上板20が凸部32で決まる厚さの接着剤層33で
接合され、上板20のインク加圧室に対向する上面に圧電
素子９が接着剤層10により接合されている。凸部はイン
ク流路の周辺の複数箇所に配置され、凸部32及び42で接
着剤層33及び43の厚さが制御され、接着剤がインク流路
へはみ出すことが防止され課題を解決する。
が少なく特性の優れたサイドシュート型のインクジェッ
ト記録ヘッドを得る。 【解決手段】インクノズルと凸部42を有する薄板からな
る下板41と、ノズル流路とインク溜め７と凸部32を有す
る薄板からなる中板31が凸部42で決まる厚さの接着剤層
43で接合され、中板31上に、インク加圧室４を有する薄
板からなる上板20が凸部32で決まる厚さの接着剤層33で
接合され、上板20のインク加圧室に対向する上面に圧電
素子９が接着剤層10により接合されている。凸部はイン
ク流路の周辺の複数箇所に配置され、凸部32及び42で接
着剤層33及び43の厚さが制御され、接着剤がインク流路
へはみ出すことが防止され課題を解決する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、産業用や民生用
に広く利用されている記録計やプリンタなどに搭載され
ているインクジェット記録ヘッドに関する。
に広く利用されている記録計やプリンタなどに搭載され
ているインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】微細なノズル孔よりインクを噴射して紙
などの記録媒体上に付着させて記録する方法は、インク
ジェット記録方法として知られている。その方式の一つ
としてオン・デマンド型インクジェット記録ヘッドがあ
る。この方式のインクジェット記録ヘッドは、一般的に
は、図５に示すサイドシュート型と、図７に示すエッジ
シュート型の２種類に分けられる。
などの記録媒体上に付着させて記録する方法は、インク
ジェット記録方法として知られている。その方式の一つ
としてオン・デマンド型インクジェット記録ヘッドがあ
る。この方式のインクジェット記録ヘッドは、一般的に
は、図５に示すサイドシュート型と、図７に示すエッジ
シュート型の２種類に分けられる。
【０００３】サイドシュート型は、図５に示すように、
セラミック板、ガラス板、金属板あるいはプラスチック
板などに、エッチング、機械加工あるいは金型成形など
の方法によって、複数のインク加圧室４が形成されてい
る上板20と、共通のインク溜め７及びインク加圧室４に
対応する複数のノズル流路３が形成されている中板30
と、ノズル流路３に対応する複数のインクノズル２が形
成されている下板40とが積層・一体化されており、上板
20の外側面のインク加圧室４に対向する位置に電気機械
変換素子である圧電素子９が接着剤層10により接合され
ている。
セラミック板、ガラス板、金属板あるいはプラスチック
板などに、エッチング、機械加工あるいは金型成形など
の方法によって、複数のインク加圧室４が形成されてい
る上板20と、共通のインク溜め７及びインク加圧室４に
対応する複数のノズル流路３が形成されている中板30
と、ノズル流路３に対応する複数のインクノズル２が形
成されている下板40とが積層・一体化されており、上板
20の外側面のインク加圧室４に対向する位置に電気機械
変換素子である圧電素子９が接着剤層10により接合され
ている。
【０００４】エッジシュート型は、図７に示すように、
シリコン板、セラミック板、ガラス板、金属板あるいは
プラスチック板などに、エッチング、機械加工あるいは
金型成形などの方法によって、インクノズル２、ノズル
流路３、インク加圧室４、インク供給路５及び絞り流路
６からなる複数のインク流路11と、共通のインク溜め７
およびインク注入口12となる溝が形成されて流路基板１
が作成され、この流路基板１の溝側の面に振動板８が積
層・一体化されており、振動板８の外側面のインク加圧
室４に対向する位置に圧電素子９が接着剤層10により接
合されている。図６は流路基板１の流路パターンの例を
示すパターン図である。
シリコン板、セラミック板、ガラス板、金属板あるいは
プラスチック板などに、エッチング、機械加工あるいは
金型成形などの方法によって、インクノズル２、ノズル
流路３、インク加圧室４、インク供給路５及び絞り流路
６からなる複数のインク流路11と、共通のインク溜め７
およびインク注入口12となる溝が形成されて流路基板１
が作成され、この流路基板１の溝側の面に振動板８が積
層・一体化されており、振動板８の外側面のインク加圧
室４に対向する位置に圧電素子９が接着剤層10により接
合されている。図６は流路基板１の流路パターンの例を
示すパターン図である。
【０００５】このような構造において、圧電素子９に電
圧パルスを印加すると、圧電素子９の変形により上板20
あるいは振動板８がインク加圧室４側へ変位してインク
加圧室４の容積を急激に減少させ、その容積変化分に対
応するインクがインクノズル２から噴射し、インク滴と
なって対向する記録紙に点着して印字記録される。上記
の構造に構成するための積層・一体化の接合技術として
は、使用する材料によって、静電接合、拡散接合、熱圧
着、熱融着接合、溶剤接合又は接着剤による接合などが
用いられている。
圧パルスを印加すると、圧電素子９の変形により上板20
あるいは振動板８がインク加圧室４側へ変位してインク
加圧室４の容積を急激に減少させ、その容積変化分に対
応するインクがインクノズル２から噴射し、インク滴と
なって対向する記録紙に点着して印字記録される。上記
の構造に構成するための積層・一体化の接合技術として
は、使用する材料によって、静電接合、拡散接合、熱圧
着、熱融着接合、溶剤接合又は接着剤による接合などが
用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の項で述べた
接合方法のうち、接合材料の種類を選ばない方法は接着
剤による接合である。この方法を用いる場合、図７に示
すようなエッジシュート型の構造においては、接合後に
ノズル部分を研磨などの機械加工により所定の長さに加
工するが、この加工において接合面が剥がれてしまうと
いう問題点を有し、更に、インクノズル２などの微細な
流路部分に接着剤がはみ出し、流路の形状を変えたり、
塞いでしまったりするという問題点を有する。
接合方法のうち、接合材料の種類を選ばない方法は接着
剤による接合である。この方法を用いる場合、図７に示
すようなエッジシュート型の構造においては、接合後に
ノズル部分を研磨などの機械加工により所定の長さに加
工するが、この加工において接合面が剥がれてしまうと
いう問題点を有し、更に、インクノズル２などの微細な
流路部分に接着剤がはみ出し、流路の形状を変えたり、
塞いでしまったりするという問題点を有する。
【０００７】一方、図５に示すようなサイドシュート型
の構造においては、接合後に機械加工などを行う必要が
ないので、接着剤による接合は採用可能であるが、接合
時に接着剤が流路内にはみ出すという問題点は、エッジ
シュート型と同様に有している。この発明は、上述のサ
イドシュート型の構造における接着剤接合時の接着剤の
流路内はみ出しを解消し、使用材料の制限の少ない接着
剤接合によるサイドシュート型のインクジェット記録ヘ
ッドで、バラツキの少ない優れた特性を有するインクジ
ェット記録ヘッドを実現することを課題とする。
の構造においては、接合後に機械加工などを行う必要が
ないので、接着剤による接合は採用可能であるが、接合
時に接着剤が流路内にはみ出すという問題点は、エッジ
シュート型と同様に有している。この発明は、上述のサ
イドシュート型の構造における接着剤接合時の接着剤の
流路内はみ出しを解消し、使用材料の制限の少ない接着
剤接合によるサイドシュート型のインクジェット記録ヘ
ッドで、バラツキの少ない優れた特性を有するインクジ
ェット記録ヘッドを実現することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明においては、接着剤で接合する薄板の領域
内に、流路を形成する部分を囲うように複数の凸部を形
成している。この凸部により接着剤層の厚さが制御でき
るので、特性に悪影響を与えるほどの接着剤の流路内へ
のはみ出しを防止することができる。
に、この発明においては、接着剤で接合する薄板の領域
内に、流路を形成する部分を囲うように複数の凸部を形
成している。この凸部により接着剤層の厚さが制御でき
るので、特性に悪影響を与えるほどの接着剤の流路内へ
のはみ出しを防止することができる。
【０００９】この凸部は、薄板をエッチングすることに
より形成することができるし、また、接着剤を用いて形
成することもできる。更に、凸部の周辺部には接着剤層
を有しない領域を設けることが有効である。確実な接合
を確保するために、印刷される接着剤の厚さは接合時の
接着層の厚さより幾らか厚くされるので、凸部周辺の接
着剤層を有しない領域が接着工程時にその余分の接着剤
を吸収する領域として機能するからである。
より形成することができるし、また、接着剤を用いて形
成することもできる。更に、凸部の周辺部には接着剤層
を有しない領域を設けることが有効である。確実な接合
を確保するために、印刷される接着剤の厚さは接合時の
接着層の厚さより幾らか厚くされるので、凸部周辺の接
着剤層を有しない領域が接着工程時にその余分の接着剤
を吸収する領域として機能するからである。
【００１０】また、少なくともインクノズルが形成され
る薄板は金属が優れている。インクノズルの様な微細な
貫通孔の形成や凸部の形成には金属が最も適しているか
らである。
る薄板は金属が優れている。インクノズルの様な微細な
貫通孔の形成や凸部の形成には金属が最も適しているか
らである。
【００１１】
【発明の実施の形態】この発明によるインクジェット記
録ヘッドの実施の形態を図１から図４を用いて説明す
る。図１及び図２はインクジェット記録ヘッドの概念断
面図で、図１は凸部を通る断面図、図２はインク加圧室
を通る断面図である。図３は上板と中板とを接合してい
る接着剤層部における中板側の断面を示す概念断面図、
図４は中板と下板とを接合している接着剤層部における
下板側の断面を示す概念断面図である。図において、従
来技術と同じ機能を有する部分には同じ符号を付してい
る。
録ヘッドの実施の形態を図１から図４を用いて説明す
る。図１及び図２はインクジェット記録ヘッドの概念断
面図で、図１は凸部を通る断面図、図２はインク加圧室
を通る断面図である。図３は上板と中板とを接合してい
る接着剤層部における中板側の断面を示す概念断面図、
図４は中板と下板とを接合している接着剤層部における
下板側の断面を示す概念断面図である。図において、従
来技術と同じ機能を有する部分には同じ符号を付してい
る。
【００１２】この発明によるインクジェット記録ヘッド
は、インクノズル２と凸部42を有する薄板からなる下板
41と、ノズル流路３とインク溜め７と凸部32を有する薄
板からなる中板31が、凸部42で決まる厚さの接着剤層43
で接合され、中板31上に、インク加圧室４を有する薄板
からなる上板20が凸部32で決まる厚さの接着剤層33で接
合され、上板20のインク加圧室４に対向する上面に圧電
素子９が接着剤層10により接合されている。ここでは、
下板41と中板31に凸部42及び43を形成した場合を説明し
たが、上板20と中板31など、どれか２つの板に凸部を形
成することで同じ効果を得ることはできる。
は、インクノズル２と凸部42を有する薄板からなる下板
41と、ノズル流路３とインク溜め７と凸部32を有する薄
板からなる中板31が、凸部42で決まる厚さの接着剤層43
で接合され、中板31上に、インク加圧室４を有する薄板
からなる上板20が凸部32で決まる厚さの接着剤層33で接
合され、上板20のインク加圧室４に対向する上面に圧電
素子９が接着剤層10により接合されている。ここでは、
下板41と中板31に凸部42及び43を形成した場合を説明し
たが、上板20と中板31など、どれか２つの板に凸部を形
成することで同じ効果を得ることはできる。
【００１３】図３及び図４に示すように、凸部32及び42
は、インク流路であるインクノズル２とノズル流路３、
インク加圧室４及びインク溜め７を囲うように配置され
ている。また、接着剤層33及び43は、凸部32及び42の周
辺部やインク加圧室４やインク溜め７に相当する部分を
除いて印刷されている。接着剤層33及び43の厚さを決め
る凸部32及び42は、高さ１〜100 μm とされ、その作成
方法としては、薄板のエッチング、薄板への接着剤など
のスクリーン印刷、あるいはディスペンサーによる接着
剤塗布などの方法がある。凸部を形成する接着剤として
は、紫外線硬化型、紫外線熱併用型、熱硬化型などを用
いることができる。その厚さは、凸部の高さに合わせて
調整され、接合を確実にするため凸部の高さより幾らか
厚くされる。上板20、中板31及び下板41には、厚さ10〜
200 μm の、ニッケルやステンレス（SUS304) などの金
属、ジルコニアやアルミナなどのセラミックス、ポリエ
ーテルイミドやポリエーテルサルフォンやポリアリレー
トなどの樹脂が使われる。上板20に導電性がない場合に
は、圧電素子９を接合する前に、その表面に導電性層を
形成しておくことが必要である。導電性層の形成方法と
しては、導電性ペーストのスクリーン印刷や金属あるい
はＩＴＯの蒸着やスパッタなどが用いられる。
は、インク流路であるインクノズル２とノズル流路３、
インク加圧室４及びインク溜め７を囲うように配置され
ている。また、接着剤層33及び43は、凸部32及び42の周
辺部やインク加圧室４やインク溜め７に相当する部分を
除いて印刷されている。接着剤層33及び43の厚さを決め
る凸部32及び42は、高さ１〜100 μm とされ、その作成
方法としては、薄板のエッチング、薄板への接着剤など
のスクリーン印刷、あるいはディスペンサーによる接着
剤塗布などの方法がある。凸部を形成する接着剤として
は、紫外線硬化型、紫外線熱併用型、熱硬化型などを用
いることができる。その厚さは、凸部の高さに合わせて
調整され、接合を確実にするため凸部の高さより幾らか
厚くされる。上板20、中板31及び下板41には、厚さ10〜
200 μm の、ニッケルやステンレス（SUS304) などの金
属、ジルコニアやアルミナなどのセラミックス、ポリエ
ーテルイミドやポリエーテルサルフォンやポリアリレー
トなどの樹脂が使われる。上板20に導電性がない場合に
は、圧電素子９を接合する前に、その表面に導電性層を
形成しておくことが必要である。導電性層の形成方法と
しては、導電性ペーストのスクリーン印刷や金属あるい
はＩＴＯの蒸着やスパッタなどが用いられる。
【００１４】製造方法としては、上板20、中板31及び下
板41となる薄板に必要な凸部32あるいは42及びインク流
路に相当する部分を形成し、対応する薄板に接着剤層33
あるいは43をローラコートやスクリーン印刷などにより
形成し、接着剤層33あるいは43を仮硬化させる必要があ
る場合には仮硬化させ、これらの薄板を重ね合わせ、３
〜10kg/cm2の加重で加圧し、使用した接着剤の所定の硬
化条件で硬化処理し、一体化しインクジェット記録ヘッ
ドを得る。
板41となる薄板に必要な凸部32あるいは42及びインク流
路に相当する部分を形成し、対応する薄板に接着剤層33
あるいは43をローラコートやスクリーン印刷などにより
形成し、接着剤層33あるいは43を仮硬化させる必要があ
る場合には仮硬化させ、これらの薄板を重ね合わせ、３
〜10kg/cm2の加重で加圧し、使用した接着剤の所定の硬
化条件で硬化処理し、一体化しインクジェット記録ヘッ
ドを得る。
【００１５】以下に実施例について説明する。 〔第１の実施例〕中板31及び下板41の素材として、厚さ
120μm のニッケル薄板を用い、中板31にはノズル流路
３及びインク溜め７に相当する孔を、下板41にはインク
ノズル２に相当する孔をエッチングで形成し、これらの
片面をエッチングして高さ20μmの凸部32あるいは42を
形成した。上板20としては、厚さ 110μm のニッケル薄
板を素材とし、インク加圧室４部の厚さが20μm になる
ようエッチングした。次に、上板20及び中板31の下面に
接着剤層33及び43となる層を、熱可塑性接着剤（テクノ
アルファ社製 371）を乾燥後の厚さが21μm となるよう
にスクリーン印刷で塗布し、所定の条件で乾燥させた。
その後、これらの上板20、中板31及び下板41を重ね合わ
せ、５kg/cm2の加重で加圧し、 170℃で10分間加熱して
接着し一体化した。最後に、エポキシ系の接着剤層10で
厚さ20μm のＰＺＴ系の圧電素子９をインク加圧室に対
向する位置の上板20の上面に接着し、インクジェット記
録ヘッドを完成した。
120μm のニッケル薄板を用い、中板31にはノズル流路
３及びインク溜め７に相当する孔を、下板41にはインク
ノズル２に相当する孔をエッチングで形成し、これらの
片面をエッチングして高さ20μmの凸部32あるいは42を
形成した。上板20としては、厚さ 110μm のニッケル薄
板を素材とし、インク加圧室４部の厚さが20μm になる
ようエッチングした。次に、上板20及び中板31の下面に
接着剤層33及び43となる層を、熱可塑性接着剤（テクノ
アルファ社製 371）を乾燥後の厚さが21μm となるよう
にスクリーン印刷で塗布し、所定の条件で乾燥させた。
その後、これらの上板20、中板31及び下板41を重ね合わ
せ、５kg/cm2の加重で加圧し、 170℃で10分間加熱して
接着し一体化した。最後に、エポキシ系の接着剤層10で
厚さ20μm のＰＺＴ系の圧電素子９をインク加圧室に対
向する位置の上板20の上面に接着し、インクジェット記
録ヘッドを完成した。
【００１６】このようにして作成したインクジェット記
録ヘッドのインク吐出特性及び接着剤層33及び43の厚さ
は、 平均インク吐出速度 ： ９ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±８％ 接着剤層33及び43の厚さ ： 19〜20μm であった。
録ヘッドのインク吐出特性及び接着剤層33及び43の厚さ
は、 平均インク吐出速度 ： ９ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±８％ 接着剤層33及び43の厚さ ： 19〜20μm であった。
【００１７】〔第２の実施例〕中板31及び下板41の素材
として、厚さ 100μm のニッケル薄板を用い、中板31に
はノズル流路３及びインク溜め７に相当する孔をエキシ
マレーザによるレーザ加工で、下板41にはインクノズル
２に相当する孔をエッチングにより形成し、これらの片
面に光硬化性接着剤（スリーボンド社製 3042D）をスク
リーン印刷で硬化後の高さが20μm になるように塗布し
て凸部32あるいは42を形成した。上板20としては、厚さ
110μm のジルコニア薄板を素材とし、インク加圧室４
部の厚さが20μm になるようエキシマレーザによるレー
ザ加工で加工した。素材が絶縁材料であるから、圧電素
子９に電圧をかけるための電極は白金ペーストをスクリ
ーン印刷して形成した。次に、上板20及び中板31に接着
剤層33及び43となる層を、熱可塑性接着剤（テクノアル
ファ社製 371）を乾燥後の厚さが21μm となるようにス
クリーン印刷で塗布し、所定の条件で乾燥させた。その
後、これらの上板20、中板31及び下板41を重ね合わせ、
５kg/cm2の加重で加圧し、 170℃で10分間加熱して接着
し一体化した。最後に、エポキシ系の接着剤層10で厚さ
20μm のＰＺＴ系の圧電素子９をインク加圧室に対向す
る位置の上板20の上面に接着し、インクジェット記録ヘ
ッドを完成した。
として、厚さ 100μm のニッケル薄板を用い、中板31に
はノズル流路３及びインク溜め７に相当する孔をエキシ
マレーザによるレーザ加工で、下板41にはインクノズル
２に相当する孔をエッチングにより形成し、これらの片
面に光硬化性接着剤（スリーボンド社製 3042D）をスク
リーン印刷で硬化後の高さが20μm になるように塗布し
て凸部32あるいは42を形成した。上板20としては、厚さ
110μm のジルコニア薄板を素材とし、インク加圧室４
部の厚さが20μm になるようエキシマレーザによるレー
ザ加工で加工した。素材が絶縁材料であるから、圧電素
子９に電圧をかけるための電極は白金ペーストをスクリ
ーン印刷して形成した。次に、上板20及び中板31に接着
剤層33及び43となる層を、熱可塑性接着剤（テクノアル
ファ社製 371）を乾燥後の厚さが21μm となるようにス
クリーン印刷で塗布し、所定の条件で乾燥させた。その
後、これらの上板20、中板31及び下板41を重ね合わせ、
５kg/cm2の加重で加圧し、 170℃で10分間加熱して接着
し一体化した。最後に、エポキシ系の接着剤層10で厚さ
20μm のＰＺＴ系の圧電素子９をインク加圧室に対向す
る位置の上板20の上面に接着し、インクジェット記録ヘ
ッドを完成した。
【００１８】このようにして作成したインクジェット記
録ヘッドのインク吐出特性及び接着剤層33及び43の厚さ
は、 平均インク吐出速度 ： ８ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±10％ 接着剤層33及び43の厚さ ： 19〜20μm であった。
録ヘッドのインク吐出特性及び接着剤層33及び43の厚さ
は、 平均インク吐出速度 ： ８ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±10％ 接着剤層33及び43の厚さ ： 19〜20μm であった。
【００１９】〔第３の実施例〕中板31及び下板41の素材
として、厚さ 100μm のニッケル薄板を用い、中板31に
はノズル流路３及びインク溜め７に相当する孔を、下板
41にはインクノズル２に相当する孔を機械加工で打ち抜
いて形成し、これらの片面に光硬化性接着剤（スリーボ
ンド社製 3042D）をスクリーン印刷で硬化後の高さが20
μm になるように塗布して凸部32あるいは42を形成し
た。上板20としては、厚さ 110μm のアルミナ薄板を素
材とし、インク加圧室４部の厚さが20μm になるようエ
キシマレーザによるレーザ加工で加工した。この場合も
素材が絶縁材料であるから、圧電素子９に電圧をかける
ための電極は白金ペーストをスクリーン印刷して形成し
た。次に、上板20及び中板31に接着剤層33及び43となる
層を、ホットメルト接着剤（セメダイン社製 HM-245 ）
を乾燥後の厚さが21μm となるようにスクリーン印刷で
塗布し、所定の条件で乾燥させた。その後、これらの上
板20、中板31及び下板41を重ね合わせ、５kg/cm2の加重
で加圧し、 150℃で10分間加熱して接着し一体化した。
最後に、エポキシ系の接着剤層10で厚さ20μm のＰＺＴ
系の圧電素子９をインク加圧室に対向する位置の上板20
の上面に接着し、インクジェット記録ヘッドを完成し
た。
として、厚さ 100μm のニッケル薄板を用い、中板31に
はノズル流路３及びインク溜め７に相当する孔を、下板
41にはインクノズル２に相当する孔を機械加工で打ち抜
いて形成し、これらの片面に光硬化性接着剤（スリーボ
ンド社製 3042D）をスクリーン印刷で硬化後の高さが20
μm になるように塗布して凸部32あるいは42を形成し
た。上板20としては、厚さ 110μm のアルミナ薄板を素
材とし、インク加圧室４部の厚さが20μm になるようエ
キシマレーザによるレーザ加工で加工した。この場合も
素材が絶縁材料であるから、圧電素子９に電圧をかける
ための電極は白金ペーストをスクリーン印刷して形成し
た。次に、上板20及び中板31に接着剤層33及び43となる
層を、ホットメルト接着剤（セメダイン社製 HM-245 ）
を乾燥後の厚さが21μm となるようにスクリーン印刷で
塗布し、所定の条件で乾燥させた。その後、これらの上
板20、中板31及び下板41を重ね合わせ、５kg/cm2の加重
で加圧し、 150℃で10分間加熱して接着し一体化した。
最後に、エポキシ系の接着剤層10で厚さ20μm のＰＺＴ
系の圧電素子９をインク加圧室に対向する位置の上板20
の上面に接着し、インクジェット記録ヘッドを完成し
た。
【００２０】このようにして作成したインクジェット記
録ヘッドのインク吐出特性及び接着剤層33及び43の厚さ
は、 平均インク吐出速度 ： ９ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±12％ 接着剤層33及び43の厚さ ： 18〜20μm であった。
録ヘッドのインク吐出特性及び接着剤層33及び43の厚さ
は、 平均インク吐出速度 ： ９ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±12％ 接着剤層33及び43の厚さ ： 18〜20μm であった。
【００２１】参考までに、従来技術による方法、すなわ
ち凸部を形成しない状態で、第１の実施例と同じ素材を
用い、21μm の接着剤層により作成したインクジェット
記録ヘッドの場合のインク吐出特性及び接着剤層33及び
43の厚さは、 平均インク吐出速度 ： ４ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±50％ 接着剤層33及び43の厚さ ： １〜10μm であった。
ち凸部を形成しない状態で、第１の実施例と同じ素材を
用い、21μm の接着剤層により作成したインクジェット
記録ヘッドの場合のインク吐出特性及び接着剤層33及び
43の厚さは、 平均インク吐出速度 ： ４ｍ／秒 インク吐出速度偏差 ： ±50％ 接着剤層33及び43の厚さ ： １〜10μm であった。
【００２２】このように、凸部を設けることにより接着
剤層33及び43の厚さが揃い、接着剤のインク流路へのは
み出しがなくなり、良好なインク吐出特性が得られた。
剤層33及び43の厚さが揃い、接着剤のインク流路へのは
み出しがなくなり、良好なインク吐出特性が得られた。
【００２３】
【発明の効果】この発明によれば、接着剤層で接合され
る領域に複数の凸部を設け、その凸部の高さで接着剤層
の厚さを制御しているため、接着剤層の厚さが正確に決
まり、接着剤がインク流路にはみ出し、インクの吐出特
性を悪化させることがなく、インク吐出特性が優れた、
特性のバラツキが少ない、したがって印字品質の良好な
インクジェット記録ヘッドを安定して作成することがで
きる。
る領域に複数の凸部を設け、その凸部の高さで接着剤層
の厚さを制御しているため、接着剤層の厚さが正確に決
まり、接着剤がインク流路にはみ出し、インクの吐出特
性を悪化させることがなく、インク吐出特性が優れた、
特性のバラツキが少ない、したがって印字品質の良好な
インクジェット記録ヘッドを安定して作成することがで
きる。
【図１】この発明によるインクジェット記録ヘッドの構
造を示す断面図
造を示す断面図
【図２】この発明によるインクジェット記録ヘッドの構
造を示す別部分の断面図
造を示す別部分の断面図
【図３】この発明によるインクジェット記録ヘッドの上
板と中板とを接合している接着剤層部における中板側の
断面を示す概念断面図
板と中板とを接合している接着剤層部における中板側の
断面を示す概念断面図
【図４】この発明によるインクジェット記録ヘッドの中
板と下板とを接合している接着剤層部における下板側の
断面を示す概念断面図
板と下板とを接合している接着剤層部における下板側の
断面を示す概念断面図
【図５】従来のサイドシュート型インクジェット記録ヘ
ッドの構造を示す概念断面図
ッドの構造を示す概念断面図
【図６】従来のエッジシュート型インクジェット記録ヘ
ッドの流路基板例のパターン図
ッドの流路基板例のパターン図
【図７】従来のエッジシュート型インクジェット記録ヘ
ッドの構造を示す概念断面図
ッドの構造を示す概念断面図
１ 流路基板 ２ インクノズル ３ ノズル流路 ４ インク加圧室 ５ インク供給路 ６ 絞り流路 ７ インク溜め ８ 振動板 ９ 圧電素子 10 接着剤層 11 インク流路 12 インク注入口 20 上板 30, 31 中板 32 凸部 33 接着剤層 40, 41 下板 42 凸部 43 接着剤層
Claims (5)
- 【請求項１】接着剤で接合された複数の薄板により、イ
ンク加圧室を含むインク流路の一部が形成され、インク
ノズルを有する薄板には貫通孔としてインクノズルが形
成されているインクジェット記録ヘッドにおいて、 接着剤で接合される薄板の領域内に、流路を形成する部
分を囲うように複数の凸部が形成されていることを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】凸部が、薄板をエッチングすることにより
形成された凸部であることを特徴とする請求項１に記載
のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】凸部が、接着剤により形成された凸部であ
ることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記
録ヘッド。 - 【請求項４】凸部の周辺部には接着剤層を有しない領域
があることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれ
かに記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項５】少なくともインクノズルが形成される薄板
は金属よりなることを特徴とする請求項１から請求項４
のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21950096A JPH1058681A (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21950096A JPH1058681A (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1058681A true JPH1058681A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=16736433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21950096A Pending JPH1058681A (ja) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1058681A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000034047A1 (en) * | 1998-12-07 | 2000-06-15 | Nec Corporation | Inkjet recording head and method of producing the same |
-
1996
- 1996-08-21 JP JP21950096A patent/JPH1058681A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000034047A1 (en) * | 1998-12-07 | 2000-06-15 | Nec Corporation | Inkjet recording head and method of producing the same |
| US6554406B1 (en) | 1998-12-07 | 2003-04-29 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Inkjet recording head and method of producing the same |
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