JPH105996A - 半田供給装置と半田液面変位測定方法 - Google Patents
半田供給装置と半田液面変位測定方法Info
- Publication number
- JPH105996A JPH105996A JP18660696A JP18660696A JPH105996A JP H105996 A JPH105996 A JP H105996A JP 18660696 A JP18660696 A JP 18660696A JP 18660696 A JP18660696 A JP 18660696A JP H105996 A JPH105996 A JP H105996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder
- liquid
- liquid level
- displacement
- displacement sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半田の液面の位置の変位を精度良く測定する
ことができる半田供給装置と半田液面変位測定方法を提
供すること。 【解決手段】 半田を部品に供給する半田供給装置10
において、半田液200を収容する収容手段20と、収
容手段20に収容されている半田液200の液面LSの
位置を測定する液面位置測定手段30と、を有し、液面
位置測定手段30は、液面位置を非接触で検出する渦電
流式変位センサ40を備える。
ことができる半田供給装置と半田液面変位測定方法を提
供すること。 【解決手段】 半田を部品に供給する半田供給装置10
において、半田液200を収容する収容手段20と、収
容手段20に収容されている半田液200の液面LSの
位置を測定する液面位置測定手段30と、を有し、液面
位置測定手段30は、液面位置を非接触で検出する渦電
流式変位センサ40を備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、部品、例えば電子
部品に対して半田を供給する半田供給装置と半田液面変
位測定方法に関するものである。
部品に対して半田を供給する半田供給装置と半田液面変
位測定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品の端子に対して半田付けを行な
う場合には、半田供給装置を用いる。この半田供給装置
は半田液(半田溶液)を収容する半田槽を備えており、
この半田槽の中には半田液が収容されている。電子部品
の端子にはこの半田槽の半田液の液面につけることによ
り半田を供給する。このような半田の供給あるいは付着
は、電子部品の小型化や高精度化に伴い、その半田を供
給する位置や半田供給量を高精度にコントロールする必
要がある半田の供給位置や半田量を高精度にコントロー
ルするために、半田槽における半田液の液面位置の変位
の高精度な測定とその液面位置の維持管理が必須であ
る。
う場合には、半田供給装置を用いる。この半田供給装置
は半田液(半田溶液)を収容する半田槽を備えており、
この半田槽の中には半田液が収容されている。電子部品
の端子にはこの半田槽の半田液の液面につけることによ
り半田を供給する。このような半田の供給あるいは付着
は、電子部品の小型化や高精度化に伴い、その半田を供
給する位置や半田供給量を高精度にコントロールする必
要がある半田の供給位置や半田量を高精度にコントロー
ルするために、半田槽における半田液の液面位置の変位
の高精度な測定とその液面位置の維持管理が必須であ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、電子部品の
端子を半田液につける際に、液面に揺れが生じるばかり
でなく、半田液を補充したときにもその液面に揺れが生
じ、液面の揺れが収まってきても、半田液面には常に微
小な揺れが発生している。このような微小な揺れが発生
している半田液において、図18で示すようにピン型の
接触センサ3が半田液1の液面2の位置Qを測定する。
ところが、この種の接触センサ3は半田液1の液面2に
直接つけるので、接触センサ3の先端部分3aに半田が
徐々に付着して成長していくことから、接触センサ3は
液面2の位置Qを正確に測定することができなくなって
しまう。しかも、上述したように半田液1の液面2には
常に微小な揺れが発生しているので、高分解能で高精度
の接触型のセンサを用いても安定した液面1の位置の変
位の測定を精度良く行なうことができないという問題が
ある。そこで本発明は上記課題を解消し、半田の液面の
位置の変位を精度良く測定することができる半田供給装
置と半田液面変位測定方法を提供することを目的として
いる。
端子を半田液につける際に、液面に揺れが生じるばかり
でなく、半田液を補充したときにもその液面に揺れが生
じ、液面の揺れが収まってきても、半田液面には常に微
小な揺れが発生している。このような微小な揺れが発生
している半田液において、図18で示すようにピン型の
接触センサ3が半田液1の液面2の位置Qを測定する。
ところが、この種の接触センサ3は半田液1の液面2に
直接つけるので、接触センサ3の先端部分3aに半田が
徐々に付着して成長していくことから、接触センサ3は
液面2の位置Qを正確に測定することができなくなって
しまう。しかも、上述したように半田液1の液面2には
常に微小な揺れが発生しているので、高分解能で高精度
の接触型のセンサを用いても安定した液面1の位置の変
位の測定を精度良く行なうことができないという問題が
ある。そこで本発明は上記課題を解消し、半田の液面の
位置の変位を精度良く測定することができる半田供給装
置と半田液面変位測定方法を提供することを目的として
いる。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、半田を部品に供給する半田供給装置において、
半田液を収容する収容手段と、収容手段に収容されてい
る半田液の液面の位置を測定する液面位置測定手段と、
を有し、液面位置測定手段は、液面位置を非接触で検出
する渦電流式変位センサを備える半田供給装置により、
達成される。
っては、半田を部品に供給する半田供給装置において、
半田液を収容する収容手段と、収容手段に収容されてい
る半田液の液面の位置を測定する液面位置測定手段と、
を有し、液面位置測定手段は、液面位置を非接触で検出
する渦電流式変位センサを備える半田供給装置により、
達成される。
【0005】本発明では、収容手段には半田液が収容さ
れており、液面位置測定手段がこの半田液の液面の位置
を測定する。その場合には液面位置測定手段の渦電流式
変位センサが液面位置を接触で検出する。この渦電流変
位センサは、熱を発する半田液に対して耐熱性を有し、
かつ半田液の液面位置の変動に対応した検出出力を発生
することができる。渦電流式変位センサは、液面に対し
て非接触であるので、従来生じていた半田が付着して成
長するようなトラブルはないので、収容手段内の半田の
液面位置の変位を高精度で測定することができる。しか
も、本発明では、好ましくは液面位置測定手段の演算手
段が渦電流式変位センサの検出する液面位置に関するア
ナログ出力を複数回サンプリングして、平均化すること
により液面位置を演算するので、液面位置が常に微小な
揺れを発生していても、この揺れをキャンセルして、高
精度な液面位置の変位を検出することができる。
れており、液面位置測定手段がこの半田液の液面の位置
を測定する。その場合には液面位置測定手段の渦電流式
変位センサが液面位置を接触で検出する。この渦電流変
位センサは、熱を発する半田液に対して耐熱性を有し、
かつ半田液の液面位置の変動に対応した検出出力を発生
することができる。渦電流式変位センサは、液面に対し
て非接触であるので、従来生じていた半田が付着して成
長するようなトラブルはないので、収容手段内の半田の
液面位置の変位を高精度で測定することができる。しか
も、本発明では、好ましくは液面位置測定手段の演算手
段が渦電流式変位センサの検出する液面位置に関するア
ナログ出力を複数回サンプリングして、平均化すること
により液面位置を演算するので、液面位置が常に微小な
揺れを発生していても、この揺れをキャンセルして、高
精度な液面位置の変位を検出することができる。
【0006】本発明では、好ましくは制御部が演算手段
により与えられている液面位置の情報に基づいて半田追
加手段を作動することにより、収容手段内の半田液の液
面の位置をほぼ一定にすることができる。従って、部品
に対して半田を供給する場合の供給量を一定にしたり半
田供給位置を常に一定にすることができる。本発明で
は、好ましくはセンサ移動手段が、半田液の液面位置の
測定をする時のみ渦電流式変位センサを収容手段内の半
田液の液面に対応して位置させるようになっているの
で、半田液の液面位置の測定をしない時には渦電流式変
位センサは半田液の熱から保護できる。
により与えられている液面位置の情報に基づいて半田追
加手段を作動することにより、収容手段内の半田液の液
面の位置をほぼ一定にすることができる。従って、部品
に対して半田を供給する場合の供給量を一定にしたり半
田供給位置を常に一定にすることができる。本発明で
は、好ましくはセンサ移動手段が、半田液の液面位置の
測定をする時のみ渦電流式変位センサを収容手段内の半
田液の液面に対応して位置させるようになっているの
で、半田液の液面位置の測定をしない時には渦電流式変
位センサは半田液の熱から保護できる。
【0007】上記目的は、本発明にあっては、半田を部
品に供給する場合に半田の液面位置の変位を測定する半
田液面変位測定方法において、収容手段に収容されてい
る半田液の液面の位置を、渦電流式変位センサで非接触
で検出し、渦電流式変位センサが検出する液面位置に関
するアナログ出力を複数回サンプリングして、サンプリ
ングしたアナログ値を平均化することにより液面位置の
変位を得る半田液面変位測定方法により、達成される。
品に供給する場合に半田の液面位置の変位を測定する半
田液面変位測定方法において、収容手段に収容されてい
る半田液の液面の位置を、渦電流式変位センサで非接触
で検出し、渦電流式変位センサが検出する液面位置に関
するアナログ出力を複数回サンプリングして、サンプリ
ングしたアナログ値を平均化することにより液面位置の
変位を得る半田液面変位測定方法により、達成される。
【0008】本発明では、収容手段に収容されている半
田液の液面の位置が、渦電流式変位センサで非接触に検
出される。このように非接触で液面の位置を検出するこ
とにより、渦電流式変位センサにおける半田の付着によ
る成長などのトラブルを防ぐことができる。渦電流式変
位センサが検出する液面位置に関するアナログ出力は、
複数回サンプリングして、そのサンプリングしたアナロ
グ値を平均化することで、液面位置の変位を得る。この
ようにすることで、半田液の液面位置が微小な揺れを発
生していても、微小な揺れをキャンセルすることがで
き、液面位置の変位を高精度で測定することができる。
田液の液面の位置が、渦電流式変位センサで非接触に検
出される。このように非接触で液面の位置を検出するこ
とにより、渦電流式変位センサにおける半田の付着によ
る成長などのトラブルを防ぐことができる。渦電流式変
位センサが検出する液面位置に関するアナログ出力は、
複数回サンプリングして、そのサンプリングしたアナロ
グ値を平均化することで、液面位置の変位を得る。この
ようにすることで、半田液の液面位置が微小な揺れを発
生していても、微小な揺れをキャンセルすることがで
き、液面位置の変位を高精度で測定することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。
【0010】図1は、本発明の半田供給装置の好ましい
実施の形態を示している。この半田供給装置は、電子部
品PAの端子Tに対して所定量の半田を所定位置に供給
(付着)する装置である。図2はこの電子部品PAの一
例を拡大して示している。電子部品PAは、例えば光デ
ィスク装置に用いられている光学ピックアップを構成す
る一部品である。光ディスク装置は、例えばコンパクト
ディスク(CD)に記録されている情報を再生したり、
光磁気ディスクに情報を記録したり、記録されている情
報を再生するための装置である。
実施の形態を示している。この半田供給装置は、電子部
品PAの端子Tに対して所定量の半田を所定位置に供給
(付着)する装置である。図2はこの電子部品PAの一
例を拡大して示している。電子部品PAは、例えば光デ
ィスク装置に用いられている光学ピックアップを構成す
る一部品である。光ディスク装置は、例えばコンパクト
ディスク(CD)に記録されている情報を再生したり、
光磁気ディスクに情報を記録したり、記録されている情
報を再生するための装置である。
【0011】光学ピックアップは、対物レンズを備えて
おり、この対物レンズは、レーザ光源から発生するレー
ザ光を集束して光ディスクの情報記録面に照射し、その
情報記録面からの戻り光を再び受光部側に送る役目を有
する。従って、この対物レンズは、光ディスクの半径方
向(トラッキング方向という)に移動するためのトラッ
キングコイルや対物レンズを光ディスクの情報記録面側
に近づけたり遠ざけたりするためのフォーカスコイル等
を備えている。
おり、この対物レンズは、レーザ光源から発生するレー
ザ光を集束して光ディスクの情報記録面に照射し、その
情報記録面からの戻り光を再び受光部側に送る役目を有
する。従って、この対物レンズは、光ディスクの半径方
向(トラッキング方向という)に移動するためのトラッ
キングコイルや対物レンズを光ディスクの情報記録面側
に近づけたり遠ざけたりするためのフォーカスコイル等
を備えている。
【0012】図2では、フレーム4に対してフォーカス
コイルやトラッキングコイルとして採用するコイル5,
6が設けられている。これらのコイル5,6のコイル端
子はピン7にそれぞれ巻き付けられている。このピン7
に巻き付けられたコイルの端子6aの一部分6bを図2
の半田液200に対して入れて、この部分6bに所定量
の半田を所定位置まで付着させる必要がある。このため
に部品PAは、図1の部品供給手段300により移動し
て位置決めできる。
コイルやトラッキングコイルとして採用するコイル5,
6が設けられている。これらのコイル5,6のコイル端
子はピン7にそれぞれ巻き付けられている。このピン7
に巻き付けられたコイルの端子6aの一部分6bを図2
の半田液200に対して入れて、この部分6bに所定量
の半田を所定位置まで付着させる必要がある。このため
に部品PAは、図1の部品供給手段300により移動し
て位置決めできる。
【0013】図1において、この半田供給装置10は、
収容手段20、液面位置測定手段30及びセンサ移動手
段80等を有している。収容手段20は、半田液200
を収容する収容槽であり、収容手段20は半田追加手段
21を備えている。半田液200は、例えばSn60P
b40AやSn25Pb75Aのような種類の半田であ
り、380〜390℃程度で溶かしたものである。半田
追加手段21は半田液200を所定の温度で収容手段2
0の上部の開口部分から必要量を追加して供給できるも
のである。この収容手段20は図示しないがスキージを
備えており、スキージは半田液200の液面LSに例え
ば半田の酸化膜やピン7に巻き付けられたコイルの線材
の絶縁皮膜が熱により溶け出したものが浮遊している場
合に、液面LSのクリーニングを行なうようになってい
る。
収容手段20、液面位置測定手段30及びセンサ移動手
段80等を有している。収容手段20は、半田液200
を収容する収容槽であり、収容手段20は半田追加手段
21を備えている。半田液200は、例えばSn60P
b40AやSn25Pb75Aのような種類の半田であ
り、380〜390℃程度で溶かしたものである。半田
追加手段21は半田液200を所定の温度で収容手段2
0の上部の開口部分から必要量を追加して供給できるも
のである。この収容手段20は図示しないがスキージを
備えており、スキージは半田液200の液面LSに例え
ば半田の酸化膜やピン7に巻き付けられたコイルの線材
の絶縁皮膜が熱により溶け出したものが浮遊している場
合に、液面LSのクリーニングを行なうようになってい
る。
【0014】次に、液面位置測定手段30について説明
をする。液面位置測定手段30は、収容手段20の半田
液200の液面LSの位置の変位を高精度で測定するた
めの測定手段である。液面位置測定手段30は渦電流式
変位センサ40、演算手段60、制御部70等を有して
いる。
をする。液面位置測定手段30は、収容手段20の半田
液200の液面LSの位置の変位を高精度で測定するた
めの測定手段である。液面位置測定手段30は渦電流式
変位センサ40、演算手段60、制御部70等を有して
いる。
【0015】まず渦電流式変位センサ40について説明
をする。渦電流式変位センサ40は、液面LSに対して
図3と図4に示すように非接触で液面LSの位置のZ方
向(上下方向)の変位を検出するものである。図1と図
5に示すように変位センサ40はヘッド41と回路部4
2を備えている。ヘッド41はこの回路部42に接続さ
れており、ヘッド41は液面LSに対して所定の間隔を
おいて配置されて液面LSに対して非接触である。回路
部42は図5のように電源43、発振部44、検波部4
5、増幅部46、リニアライザー47、増幅部48を備
えている。電源43はこれら発振部44から増幅部48
に対して各々電力供給をする。
をする。渦電流式変位センサ40は、液面LSに対して
図3と図4に示すように非接触で液面LSの位置のZ方
向(上下方向)の変位を検出するものである。図1と図
5に示すように変位センサ40はヘッド41と回路部4
2を備えている。ヘッド41はこの回路部42に接続さ
れており、ヘッド41は液面LSに対して所定の間隔を
おいて配置されて液面LSに対して非接触である。回路
部42は図5のように電源43、発振部44、検波部4
5、増幅部46、リニアライザー47、増幅部48を備
えている。電源43はこれら発振部44から増幅部48
に対して各々電力供給をする。
【0016】発振部44は、ヘッド41に対して図3の
ような高周波電流HFIを供給するようになっている。
発振部44がヘッド41のコイル41aに対して高周波
電流HFIを供給するとヘッド41には高周波発振が起
こる。この高周波電流により、ヘッド41の付近には高
周波磁界HFが起こり、この高周波磁界HFの近くに液
面LSがあると高周波磁界HFの磁束の通過と垂直方向
の面において図3に示すような渦電流Iが流れる。金属
である半田の液面LSに渦電流Iが流れると電力を消費
するが、これを渦電流損(エディカレントロス)とい
う。
ような高周波電流HFIを供給するようになっている。
発振部44がヘッド41のコイル41aに対して高周波
電流HFIを供給するとヘッド41には高周波発振が起
こる。この高周波電流により、ヘッド41の付近には高
周波磁界HFが起こり、この高周波磁界HFの近くに液
面LSがあると高周波磁界HFの磁束の通過と垂直方向
の面において図3に示すような渦電流Iが流れる。金属
である半田の液面LSに渦電流Iが流れると電力を消費
するが、これを渦電流損(エディカレントロス)とい
う。
【0017】図6は、液面LSがヘッド41に対して近
づく場合と離れる場合及びその中間位置における高周波
電流の発振振幅の大きさを示している。図3と図5の渦
電流式変位センサ40は、アナログ出力を出すアナログ
センサであるが、変位センサ40では渦電流損が大きく
なるにつれて、図6の発振振幅が徐々に小さくなる発振
方式(軟発振という)を用いている。つまりヘッド41
が液面LSに近づくと発振振幅は小さくなり、液面LS
が徐々に離れていくと発振振幅が大きくなる。この液面
LSとヘッド41の距離Dと発振振幅Wの関係は図7に
示すようにほぼ正比例に近い曲線を示す。
づく場合と離れる場合及びその中間位置における高周波
電流の発振振幅の大きさを示している。図3と図5の渦
電流式変位センサ40は、アナログ出力を出すアナログ
センサであるが、変位センサ40では渦電流損が大きく
なるにつれて、図6の発振振幅が徐々に小さくなる発振
方式(軟発振という)を用いている。つまりヘッド41
が液面LSに近づくと発振振幅は小さくなり、液面LS
が徐々に離れていくと発振振幅が大きくなる。この液面
LSとヘッド41の距離Dと発振振幅Wの関係は図7に
示すようにほぼ正比例に近い曲線を示す。
【0018】図5のヘッド41のコイル41aに対して
図3の高周波電流HFIが発振部44から与えられる
と、発振部44では図6の例で示すような発振振幅が得
られ、検波部45はこの図6の発振振幅を検波する。つ
まり図8に示すように、得られた発振振幅(高周波電
圧)が検波部45で検波されると、その高周波電圧の振
幅に応じた直流電圧値を得ることができる。
図3の高周波電流HFIが発振部44から与えられる
と、発振部44では図6の例で示すような発振振幅が得
られ、検波部45はこの図6の発振振幅を検波する。つ
まり図8に示すように、得られた発振振幅(高周波電
圧)が検波部45で検波されると、その高周波電圧の振
幅に応じた直流電圧値を得ることができる。
【0019】図5の増幅部46は、検波部45で得られ
た直流電圧値を増幅し、リニアライザー47に送る。リ
ニアライザー47は、図9に示すように、検波部45か
ら増幅部46で増幅された検波出力SDを、図6の距離
D(液面LSとヘッド41の距離)との関係において、
図9の破線(直線)BLに対応するように直線化する。
つまり、距離Dに比例した検波出力SD(出力電圧)を
得ることができる。そしてリニアライザー47で得られ
たこの検波出力LSDは、図5の増幅部48でさらに増
幅することで、液面LSの液面位置に対応する検出出力
信号STとなる。この電圧値である検出出力信号STは
図1の演算手段60の電圧比較器61に送られる。図6
のヘッド41と液面LSの距離Dは例えば5mm程度で
ある。
た直流電圧値を増幅し、リニアライザー47に送る。リ
ニアライザー47は、図9に示すように、検波部45か
ら増幅部46で増幅された検波出力SDを、図6の距離
D(液面LSとヘッド41の距離)との関係において、
図9の破線(直線)BLに対応するように直線化する。
つまり、距離Dに比例した検波出力SD(出力電圧)を
得ることができる。そしてリニアライザー47で得られ
たこの検波出力LSDは、図5の増幅部48でさらに増
幅することで、液面LSの液面位置に対応する検出出力
信号STとなる。この電圧値である検出出力信号STは
図1の演算手段60の電圧比較器61に送られる。図6
のヘッド41と液面LSの距離Dは例えば5mm程度で
ある。
【0020】上述した非接触の渦電流式変位センサ40
を採用するのは、次の理由からである。図6の距離Dの
値を、正確に電圧値に変換するセンサとしては、次のよ
うな5通りの検出方式が考えられる。つまり、渦電流
式、光学式(三角測距式)、超音波式、接触式、光学式
(レーザフォーカス方式)の5通りのセンサである。と
ころが、これら5つの検出方式のセンサの中で半田の液
面LSを10μmの精度でしかも非接触で測定できるの
は、渦電流式、光学式(三角測距式)及び光学式(レー
ザフォーカス方式)である。これら選ばれた3つの渦電
流式、光学式(三角測距式)、光学式(レーザフォーカ
ス方式)の中で、半田液の発生する高温に耐えうるセン
サは、渦電流式の変位センサだけである。
を採用するのは、次の理由からである。図6の距離Dの
値を、正確に電圧値に変換するセンサとしては、次のよ
うな5通りの検出方式が考えられる。つまり、渦電流
式、光学式(三角測距式)、超音波式、接触式、光学式
(レーザフォーカス方式)の5通りのセンサである。と
ころが、これら5つの検出方式のセンサの中で半田の液
面LSを10μmの精度でしかも非接触で測定できるの
は、渦電流式、光学式(三角測距式)及び光学式(レー
ザフォーカス方式)である。これら選ばれた3つの渦電
流式、光学式(三角測距式)、光学式(レーザフォーカ
ス方式)の中で、半田液の発生する高温に耐えうるセン
サは、渦電流式の変位センサだけである。
【0021】次に、図1の演算手段60について説明す
る。演算手段60は、上述した電圧比較器61とコンピ
ュータ62を備えている。電圧比較器61は、変位セン
サ40からの検出出力信号(センサ出力、電圧値)ST
を図10に示すように3種類の判定出力に変換する。こ
の3種類の判定出力とは、高判定出力(High)SH
と、低判定出力(Low)SL、および良判定出力(O
K)SNである。これらの高判定出力SH、低判定出力
SL、良判定出力SNは、電圧比較器61に予め設定さ
れている図10に例示する基準用の高設定値BHと低設
定値BLと、変位センサ40からの検出出力信号STと
の比較により得ることができる。例えば検出出力信号S
Tが高設定値BHよりも高くなれば高判定出力SHが出
力され、検出出力信号STが低設定値BLよりも低くな
れば低判定出力SLが出力され、そうでなく検出出力信
号STが高設定BHと低設定値BLの間にある場合には
良判定出力SNが出力できる。
る。演算手段60は、上述した電圧比較器61とコンピ
ュータ62を備えている。電圧比較器61は、変位セン
サ40からの検出出力信号(センサ出力、電圧値)ST
を図10に示すように3種類の判定出力に変換する。こ
の3種類の判定出力とは、高判定出力(High)SH
と、低判定出力(Low)SL、および良判定出力(O
K)SNである。これらの高判定出力SH、低判定出力
SL、良判定出力SNは、電圧比較器61に予め設定さ
れている図10に例示する基準用の高設定値BHと低設
定値BLと、変位センサ40からの検出出力信号STと
の比較により得ることができる。例えば検出出力信号S
Tが高設定値BHよりも高くなれば高判定出力SHが出
力され、検出出力信号STが低設定値BLよりも低くな
れば低判定出力SLが出力され、そうでなく検出出力信
号STが高設定BHと低設定値BLの間にある場合には
良判定出力SNが出力できる。
【0022】このような高判定出力SHと低判定出力S
Lと良判定出力SNは、電圧比較器61から制御部70
に送られる。また図10の検出出力信号STは電圧比較
器61からコンピュータ62に送られて、図1の液面L
Sの位置の変位量に相当する出力電圧値は、電圧比較器
61において例えば4000回分(1秒間に2000回
×2秒間)を演算して、図1の液面LSの位置(高さ)
の平均値を算出して、その後、その変位量を判定して、
その変位量の判定データを電圧比較器61からコンピュ
ータ62に対して送信してそのデータをディスプレイに
表示するとともにハードディスクのような記憶媒体に記
録保存する。
Lと良判定出力SNは、電圧比較器61から制御部70
に送られる。また図10の検出出力信号STは電圧比較
器61からコンピュータ62に送られて、図1の液面L
Sの位置の変位量に相当する出力電圧値は、電圧比較器
61において例えば4000回分(1秒間に2000回
×2秒間)を演算して、図1の液面LSの位置(高さ)
の平均値を算出して、その後、その変位量を判定して、
その変位量の判定データを電圧比較器61からコンピュ
ータ62に対して送信してそのデータをディスプレイに
表示するとともにハードディスクのような記憶媒体に記
録保存する。
【0023】図11は、図1の電圧比較器61における
検出出力信号STのサンプリングの一例を示している。
図11において、検出出力信号STは正確な液面LSの
高さに対して微小に振動しており、このままでは正確な
液面LSの高さを測定することができない。そこで、半
田の液面LSが揺れている場合に、サンプリングのタイ
ミング(Tn)ごとに、実際の高さとは異なる高さを図
1の変位センサ40が出力してしまうことを防ぐため
に、サンプリングデータを図1の電圧比較器61で平滑
して演算するようにしている。
検出出力信号STのサンプリングの一例を示している。
図11において、検出出力信号STは正確な液面LSの
高さに対して微小に振動しており、このままでは正確な
液面LSの高さを測定することができない。そこで、半
田の液面LSが揺れている場合に、サンプリングのタイ
ミング(Tn)ごとに、実際の高さとは異なる高さを図
1の変位センサ40が出力してしまうことを防ぐため
に、サンプリングデータを図1の電圧比較器61で平滑
して演算するようにしている。
【0024】電圧比較器61は、リアルタイムに高速に
サンプリングされた液面LSの高さのデータをデータバ
ッファに蓄えて、現時点Pから指定された個数M個分の
過去の液面LSのデータを平均して出力する機能を有し
ている。つまり、液面LSの高さのサンプリングデータ
(変位センサ40の検出出力信号ST)は移動平均化さ
れる。例えば図12に示すように現時点Pから指定され
た個数Mを3とした場合には、図12のようになる。図
1の半田供給装置10では、液面の振動周期に対して十
分に短いサンプリング間隔で測定された変位センサ40
の検出出力信号STが、振動周期に対して十分に長い時
間間隔に相当する数だけ移動平均することで、液面振動
の影響を平均化するわけである。
サンプリングされた液面LSの高さのデータをデータバ
ッファに蓄えて、現時点Pから指定された個数M個分の
過去の液面LSのデータを平均して出力する機能を有し
ている。つまり、液面LSの高さのサンプリングデータ
(変位センサ40の検出出力信号ST)は移動平均化さ
れる。例えば図12に示すように現時点Pから指定され
た個数Mを3とした場合には、図12のようになる。図
1の半田供給装置10では、液面の振動周期に対して十
分に短いサンプリング間隔で測定された変位センサ40
の検出出力信号STが、振動周期に対して十分に長い時
間間隔に相当する数だけ移動平均することで、液面振動
の影響を平均化するわけである。
【0025】次に、図1の制御部70は、電圧比較器6
1から得られた判定結果である図10の高判定出力S
H、低判定出力SL及び良判定出力SNに基づいて、図
10に示すように半田追加供給信号ADを図1の半田追
加手段21に対して出力する。この半田追加供給信号A
Dは、図10の検出出力信号STが低設定値BNより所
定値V1だけ低下した時から、直線的に上昇して高設定
値BHと低設定値BLのほぼ中間位置に達するまでの
間、半田追加手段21に送られる。半田追加手段21は
この半田追加供給信号ADに基づいて、収容手段20に
対して半田液200を追加することにより、液面LSの
位置の低下を補う。
1から得られた判定結果である図10の高判定出力S
H、低判定出力SL及び良判定出力SNに基づいて、図
10に示すように半田追加供給信号ADを図1の半田追
加手段21に対して出力する。この半田追加供給信号A
Dは、図10の検出出力信号STが低設定値BNより所
定値V1だけ低下した時から、直線的に上昇して高設定
値BHと低設定値BLのほぼ中間位置に達するまでの
間、半田追加手段21に送られる。半田追加手段21は
この半田追加供給信号ADに基づいて、収容手段20に
対して半田液200を追加することにより、液面LSの
位置の低下を補う。
【0026】ところで、図1の半田追加手段21は、半
田供給作業の1サイクル毎に固定量を追加して供給して
いる。この半田の固定量の供給は1サイクルの半田供給
作業において消費される半田を補う目的の供給である。
それに加えて、上述した半田追加供給信号ADに基づい
て、さらに半田の追加供給を行なう。この追加供給は、
図10に示すように液面LSの高さを監視する渦電流式
の変位センサ40の検出出力信号(センサ出力)STが
図10の低設定値BLよりも低くなった時に行なわれ
る。半田の追加供給量は、既に述べたように高設定値B
Hと低設定値BLの中間程度の液面高さに達する量を目
安としている。半田供給作業1サイクル毎に行なわれる
固定量の供給量は、長期的に見て液面高さが低下する傾
向を持つように、ごく僅かに少なめに調整する。このよ
うにごく僅かに少なめに調整するのは、もし半田の液面
LSの位置が高設定値BHよりも超えた場合には、人手
により収容手段20の半田液200を吸出しする作業が
必要となり、大変面倒であり、電子部品PAに対する半
田供給作業が中断してしまうからである。
田供給作業の1サイクル毎に固定量を追加して供給して
いる。この半田の固定量の供給は1サイクルの半田供給
作業において消費される半田を補う目的の供給である。
それに加えて、上述した半田追加供給信号ADに基づい
て、さらに半田の追加供給を行なう。この追加供給は、
図10に示すように液面LSの高さを監視する渦電流式
の変位センサ40の検出出力信号(センサ出力)STが
図10の低設定値BLよりも低くなった時に行なわれ
る。半田の追加供給量は、既に述べたように高設定値B
Hと低設定値BLの中間程度の液面高さに達する量を目
安としている。半田供給作業1サイクル毎に行なわれる
固定量の供給量は、長期的に見て液面高さが低下する傾
向を持つように、ごく僅かに少なめに調整する。このよ
うにごく僅かに少なめに調整するのは、もし半田の液面
LSの位置が高設定値BHよりも超えた場合には、人手
により収容手段20の半田液200を吸出しする作業が
必要となり、大変面倒であり、電子部品PAに対する半
田供給作業が中断してしまうからである。
【0027】なお、図10の半田追加供給信号ADは、
変位センサ40の検出出力信号STの不安定さを考慮し
て、低判定出力SLが複数回、例えば3回程度連続して
生じた場合に行なうのが望ましい。また高判定出力SH
及び低判定出力SLが予め指定された回数、例えば5回
連続して出力された場合には、制御部70はエラー発生
部71を作動して音声もしくは光信号等により液面SL
の位置(高さ)の異常のエラーを発生させて作業者に知
らせることができる。図1のセンサ移動手段80は変位
センサ40のヘッド41を、半田液200の液面LSの
上に所定距離をおいて位置決めしたりあるいは液面LS
から外部に退避させるための装置である。センサ移動手
段80はスライダ81とスライダ82を備えている。ス
ライダ82の先端にはヘッド41が取り付けられてい
る。スライダ82はスライダ81のガイドシャフト83
に設定されており、モータ84の送りネジ85が回転す
ることにより、スライダ82はガイドシャフト83に沿
ってZ方向に上下動する。
変位センサ40の検出出力信号STの不安定さを考慮し
て、低判定出力SLが複数回、例えば3回程度連続して
生じた場合に行なうのが望ましい。また高判定出力SH
及び低判定出力SLが予め指定された回数、例えば5回
連続して出力された場合には、制御部70はエラー発生
部71を作動して音声もしくは光信号等により液面SL
の位置(高さ)の異常のエラーを発生させて作業者に知
らせることができる。図1のセンサ移動手段80は変位
センサ40のヘッド41を、半田液200の液面LSの
上に所定距離をおいて位置決めしたりあるいは液面LS
から外部に退避させるための装置である。センサ移動手
段80はスライダ81とスライダ82を備えている。ス
ライダ82の先端にはヘッド41が取り付けられてい
る。スライダ82はスライダ81のガイドシャフト83
に設定されており、モータ84の送りネジ85が回転す
ることにより、スライダ82はガイドシャフト83に沿
ってZ方向に上下動する。
【0028】スライダ81はガイドレール86に設定さ
れており、モータ87が作動すると送りネジ88が回転
するので、スライダ81はガイドレール86に沿ってX
方向に移動して位置決め可能である。
れており、モータ87が作動すると送りネジ88が回転
するので、スライダ81はガイドレール86に沿ってX
方向に移動して位置決め可能である。
【0029】次に、上述した半田供給装置10を用いて
液面変位測定方法について説明する。図1の部品供給手
段300が電子部品PAの端子Tを液面LSにつけて半
田の端子Tへの供給を行なう作業を繰り返すと、半田液
200の液面LSが低下していくとともに、液面LSは
常に微小な揺れを伴う。そこで変位センサ40を用いて
半田液200の液面LSの位置の変位を測定する。ま
ず、スライダ81をX1方向に移動し、かつスライダ8
2をZ1方向に移動する。これによりヘッド41は液面
LSの上部に位置決めされる。そしてスライダ82をZ
2の方向に下げることにより、ヘッド41は液面LSに
対して例えば5mm程度の距離Dをおいて正確に位置決
めされる。
液面変位測定方法について説明する。図1の部品供給手
段300が電子部品PAの端子Tを液面LSにつけて半
田の端子Tへの供給を行なう作業を繰り返すと、半田液
200の液面LSが低下していくとともに、液面LSは
常に微小な揺れを伴う。そこで変位センサ40を用いて
半田液200の液面LSの位置の変位を測定する。ま
ず、スライダ81をX1方向に移動し、かつスライダ8
2をZ1方向に移動する。これによりヘッド41は液面
LSの上部に位置決めされる。そしてスライダ82をZ
2の方向に下げることにより、ヘッド41は液面LSに
対して例えば5mm程度の距離Dをおいて正確に位置決
めされる。
【0030】変位センサ40のヘッド41は、液面LS
の位置に対応して図10の検出出力信号STを電圧比較
器61に送る。電圧比較61は、この検出出力信号ST
と高設定値BH及び低設定値BLと比較を行なうこと
で、図10の高判定出力SH、低判定出力SL、良判定
出力SNを制御部70に送る。これにより制御部70は
これら3種類の判定結果に基づいて半田追加供給信号A
Dを図10のように必要に応じて半田追加手段21に送
る。半田追加手段21は収容手段20内に追加の半田追
加信号ADに対応する追加の半田を供給する。ところで
電圧比較器61は変位センサ40からの検出出力信号S
Tを2000回/秒の速度で例えば2秒間サンプリング
して、しかもその平均値を得てその平均値を液面LSの
位置の変位の測定値とすることにより、たとえば液面L
Sの1/100mmの位置の変位を測定することができ
る。その結果、半田液200の液面LSは常時一定の位
置(高さ)を保つことができる。
の位置に対応して図10の検出出力信号STを電圧比較
器61に送る。電圧比較61は、この検出出力信号ST
と高設定値BH及び低設定値BLと比較を行なうこと
で、図10の高判定出力SH、低判定出力SL、良判定
出力SNを制御部70に送る。これにより制御部70は
これら3種類の判定結果に基づいて半田追加供給信号A
Dを図10のように必要に応じて半田追加手段21に送
る。半田追加手段21は収容手段20内に追加の半田追
加信号ADに対応する追加の半田を供給する。ところで
電圧比較器61は変位センサ40からの検出出力信号S
Tを2000回/秒の速度で例えば2秒間サンプリング
して、しかもその平均値を得てその平均値を液面LSの
位置の変位の測定値とすることにより、たとえば液面L
Sの1/100mmの位置の変位を測定することができ
る。その結果、半田液200の液面LSは常時一定の位
置(高さ)を保つことができる。
【0031】このように液面LSの測定が済むと、耐熱
性の変位センサ40ではあるが、測定時間以外には、半
田液200から退出させる方がより好ましい。従って、
モータ84を作動してスライダ82をZ1方向に上げて
かつモータ87を作動してスライダ81をX2方向に移
動することにより、ヘッド41は半田液200の液面L
Sから収容手段200の外部に退出させることができ
る。このようにしてヘッド41の熱による影響を極力小
さくして保護する。
性の変位センサ40ではあるが、測定時間以外には、半
田液200から退出させる方がより好ましい。従って、
モータ84を作動してスライダ82をZ1方向に上げて
かつモータ87を作動してスライダ81をX2方向に移
動することにより、ヘッド41は半田液200の液面L
Sから収容手段200の外部に退出させることができ
る。このようにしてヘッド41の熱による影響を極力小
さくして保護する。
【0032】以上のようにして、収容手段200内の半
田液200の液面Sの位置の変位は、変位センサ40の
ヘッド41を液面LSに対して所定の距離Dをおいて設
定することで、液面LSの微小な揺れをキャンセルして
高い精度で液面LSの位置の変位を測定することができ
る。測定された液面LSの変位に基づいて、制御部70
は半田追加手段21に対して指令を行なうことで、半田
追加手段21は必要とする正確な量の追加分の半田を収
容手段21に追加することができる。
田液200の液面Sの位置の変位は、変位センサ40の
ヘッド41を液面LSに対して所定の距離Dをおいて設
定することで、液面LSの微小な揺れをキャンセルして
高い精度で液面LSの位置の変位を測定することができ
る。測定された液面LSの変位に基づいて、制御部70
は半田追加手段21に対して指令を行なうことで、半田
追加手段21は必要とする正確な量の追加分の半田を収
容手段21に追加することができる。
【0033】ところで、従来では電子部品に対して半田
を供給するラインにおいて、ある一定の時間内に例えば
2回の液面LSの位置の変位の作業者による確認作業が
必要であった。従来、このような液面LSの位置の変位
の確認作業は1回につき10分程度必要であったが、こ
のような液面LSの位置の変位の確認作業を図1の半田
供給装置が自動的に行なうことができる。なお、上述し
たように渦電流式の変位センサ40はもともと耐熱型の
ものであり、さらに耐熱手段を付加する必要はない。
を供給するラインにおいて、ある一定の時間内に例えば
2回の液面LSの位置の変位の作業者による確認作業が
必要であった。従来、このような液面LSの位置の変位
の確認作業は1回につき10分程度必要であったが、こ
のような液面LSの位置の変位の確認作業を図1の半田
供給装置が自動的に行なうことができる。なお、上述し
たように渦電流式の変位センサ40はもともと耐熱型の
ものであり、さらに耐熱手段を付加する必要はない。
【0034】また、上述した半田供給装置では、半田液
の液面LSの常に微小な揺れが発生しているのにも係わ
らず、液面の揺れの影響なくして安定した液面LSの位
置の変位の測定結果を得ることができる。そして収容手
段20の液面LSが減少したときでも、半田液が常に供
給できるので、常に一定の液面高さを高精度に維持する
ことができる。
の液面LSの常に微小な揺れが発生しているのにも係わ
らず、液面の揺れの影響なくして安定した液面LSの位
置の変位の測定結果を得ることができる。そして収容手
段20の液面LSが減少したときでも、半田液が常に供
給できるので、常に一定の液面高さを高精度に維持する
ことができる。
【0035】図13は、図1の変位センサ40の繰り返
し安定性の一例を示している。図13のグラフの縦軸は
変位センサの検出出力信号STの電圧値を示し、横軸は
繰り返し頻度を示している。グラフ中の破線は4096
データの移動平均を示し、実線は1024データの移動
平均を示している。測定手順は、実際に図1に示す装置
にて渦電流式の変位センサー40を用いて収容手段20
の液面LSを繰り返し測定したものである。毎測定時に
スキージ動作を行う事で、実際の使用条件に近い状態で
作り出している。図14は、図13の1024データ移
動平均測定時の測定度数分布結果を示しており、縦軸は
出現頻度であり、横軸は変位センサの検出出力信号ST
である。図15は、図13の4096データの移動平均
測定時の測定結果の一例を示しており、縦軸は出現頻度
で、横軸は変位センサの検出出力信号STである。
し安定性の一例を示している。図13のグラフの縦軸は
変位センサの検出出力信号STの電圧値を示し、横軸は
繰り返し頻度を示している。グラフ中の破線は4096
データの移動平均を示し、実線は1024データの移動
平均を示している。測定手順は、実際に図1に示す装置
にて渦電流式の変位センサー40を用いて収容手段20
の液面LSを繰り返し測定したものである。毎測定時に
スキージ動作を行う事で、実際の使用条件に近い状態で
作り出している。図14は、図13の1024データ移
動平均測定時の測定度数分布結果を示しており、縦軸は
出現頻度であり、横軸は変位センサの検出出力信号ST
である。図15は、図13の4096データの移動平均
測定時の測定結果の一例を示しており、縦軸は出現頻度
で、横軸は変位センサの検出出力信号STである。
【0036】図14と図15の測定結果(度数分布表)
から明らかなように、50回の測定データのうちに、半
数以上が検出出力信号ST0.065V内に収まってい
ることがわかる。液面LSの位置の変位の管理は、0.
1mm程度の精度が得られれば十分であると考えられる
ので、実質的に変位センサの検出出力信号STが0.0
659以内の幅に収まっていれば十分である。
から明らかなように、50回の測定データのうちに、半
数以上が検出出力信号ST0.065V内に収まってい
ることがわかる。液面LSの位置の変位の管理は、0.
1mm程度の精度が得られれば十分であると考えられる
ので、実質的に変位センサの検出出力信号STが0.0
659以内の幅に収まっていれば十分である。
【0037】図16は、液面変化の一つの測定例を示し
ている。図17は、図16の部分A付近を拡大して示し
ており、液面低下発生前後の液面変化の一例を示してい
る。検出出力信号STの4.3Vの線が液面LSの低下
の限界値である。検出出力信号STは限界値4.3Vを
数回超えているが、この4.3Vを超える回数がたとえ
ば5回に満たないならば、図1における半田供給作業サ
イクルを停止しなくてよい。図17の時点t1と時点t
2で比べると検出出力信号STの値が低下しているが、
この信号STが低下しているということは、図1の半田
追加供給信号ADが半田追加手段21に供給されて半田
されることで、半田追加手段21が収容手段20に対し
て所定量の半田を追加した効果を示している。
ている。図17は、図16の部分A付近を拡大して示し
ており、液面低下発生前後の液面変化の一例を示してい
る。検出出力信号STの4.3Vの線が液面LSの低下
の限界値である。検出出力信号STは限界値4.3Vを
数回超えているが、この4.3Vを超える回数がたとえ
ば5回に満たないならば、図1における半田供給作業サ
イクルを停止しなくてよい。図17の時点t1と時点t
2で比べると検出出力信号STの値が低下しているが、
この信号STが低下しているということは、図1の半田
追加供給信号ADが半田追加手段21に供給されて半田
されることで、半田追加手段21が収容手段20に対し
て所定量の半田を追加した効果を示している。
【0038】上述した実施の形態では、電子部品に対し
て半田を供給する装置、特に光学ピックアップの一部品
である電子部品の端子に対して半田を供給する例を示し
ている。しかし、これに限らず他の種類の電子部品に対
して半田を供給する装置においても本発明は適用でき
る。
て半田を供給する装置、特に光学ピックアップの一部品
である電子部品の端子に対して半田を供給する例を示し
ている。しかし、これに限らず他の種類の電子部品に対
して半田を供給する装置においても本発明は適用でき
る。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半田の液面の位置の変位を精度良く測定することができ
る。
半田の液面の位置の変位を精度良く測定することができ
る。
【図1】本発明の半田供給装置の好ましい実施の形態を
示す全体図。
示す全体図。
【図2】半田の供給対象となる電子部品の一例を示す
図。
図。
【図3】半田供給装置の渦電流式の耐熱性の非接触式変
位センサのヘッド等を示す図。
位センサのヘッド等を示す図。
【図4】図3のヘッドと液面を示す図。
【図5】変位センサの一例を示すブロック図。
【図6】変位センサのヘッドと液面との関係及び発振振
幅の関係を示す図。
幅の関係を示す図。
【図7】発振振幅と距離の関係を示す図。
【図8】ヘッドから得られる発振振幅の検波の一例を示
す図。
す図。
【図9】図8における検波出力と距離との関係を示す
図。
図。
【図10】検出出力信号に基づいて3種類の判定出力の
様子を示す図。
様子を示す図。
【図11】微小に揺れる半田液の液面の高さの一例を示
す図。
す図。
【図12】図11における液面のサンプリングの一例を
示す図。
示す図。
【図13】変位センサの繰り返し安定性の一例を示す
図。
図。
【図14】図13におけるデータの移動平均測定時の測
定結果の一例を示す図。
定結果の一例を示す図。
【図15】図13における別のデータの移動平均測定時
の測定結果の一例を示す図。
の測定結果の一例を示す図。
【図16】変位センサの検出出力信号と液面の位置の関
係の一例を示す図。
係の一例を示す図。
【図17】図16における測定の一例の一部を拡大して
示す図。
示す図。
【図18】従来のセンサの測定例を示す図。
10・・・半田供給装置、20・・・収容手段、21・
・・半田追加手段、30・・・液面位置測定手段、40
・・・渦電流式の変位センサ、60・・・演算手段、7
0・・・制御部、200・・・半田液、LS・・・半田
液の液面、PA・・・電子部品
・・半田追加手段、30・・・液面位置測定手段、40
・・・渦電流式の変位センサ、60・・・演算手段、7
0・・・制御部、200・・・半田液、LS・・・半田
液の液面、PA・・・電子部品
Claims (5)
- 【請求項1】 半田を部品に供給する半田供給装置にお
いて、 半田液を収容する収容手段と、 収容手段に収容されている半田液の液面の位置を測定す
る液面位置測定手段と、を有し、 液面位置測定手段は、液面位置を非接触で検出する渦電
流式変位センサを備えることを特徴とする半田供給装
置。 - 【請求項2】 液面位置測定手段は、渦電流式変位セン
サが検出する液面位置に関するアナログ出力を複数回サ
ンプリングして平均化することにより液面位置を演算す
る演算手段を備える請求項1に記載の半田供給装置。 - 【請求項3】 半田液を収容手段に追加するための半田
追加手段と、 半田追加手段に対して演算手段で得られた液面位置の情
報を与えて半田追加手段を作動することにより、収容手
段内の半田液の液面の位置をほぼ一定にする制御部と、
を備える請求項1に記載の半田供給装置。 - 【請求項4】 半田液の液面位置の測定時には渦電流式
変位センサを収容手段の半田液の液面に対応して非接触
で位置させ、半田液の液面位置を測定しない時には、渦
電流式変位センサを収容手段の半田液の液面から退出さ
せるセンサ移動手段を備える請求項1に記載の半田供給
装置。 - 【請求項5】 半田を部品に供給する場合に半田の液面
位置の変位を測定する半田液面変位測定方法において、 収容手段に収容されている半田液の液面の位置を、渦電
流式変位センサで非接触で検出し、 渦電流式変位センサが検出する液面位置に関するアナロ
グ出力を複数回サンプリングして、 サンプリングしたアナログ値を平均化することにより液
面位置の変位を得ることを特徴とする半田液面変位測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18660696A JPH105996A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 半田供給装置と半田液面変位測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18660696A JPH105996A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 半田供給装置と半田液面変位測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH105996A true JPH105996A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=16191519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18660696A Pending JPH105996A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | 半田供給装置と半田液面変位測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH105996A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4853288A (en) * | 1987-03-27 | 1989-08-01 | Hoechst Aktiengesellschaft | Stabilized red phosphorus and process for making it |
| JP2012101263A (ja) * | 2010-11-12 | 2012-05-31 | Asahi Sunac Corp | 線材切断装置 |
| JP2016176708A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | 形状計測装置、加工装置及び形状計測装置の校正方法 |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP18660696A patent/JPH105996A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4853288A (en) * | 1987-03-27 | 1989-08-01 | Hoechst Aktiengesellschaft | Stabilized red phosphorus and process for making it |
| JP2012101263A (ja) * | 2010-11-12 | 2012-05-31 | Asahi Sunac Corp | 線材切断装置 |
| JP2016176708A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-10-06 | 住友重機械工業株式会社 | 形状計測装置、加工装置及び形状計測装置の校正方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5963393A (en) | Servo-free velocity estimator for coil driven actuator arm in a data storage drive | |
| KR100190798B1 (ko) | 자기헤드위치제어장치 | |
| JP4162086B2 (ja) | 液体材料塗布方法 | |
| US20030053387A1 (en) | Apparatus and method of measuring vibration quantity and method of designing loop | |
| US5872674A (en) | Actuator bias prediction using lookup-table hysteresis modeling | |
| JPH105996A (ja) | 半田供給装置と半田液面変位測定方法 | |
| JPH0831206B2 (ja) | 記録されたデータトラックの中心を識別する方法 | |
| US20070127147A1 (en) | Contact detecting apparatus, and method for detecting contact | |
| Thomsen-Schmidt | Characterization of a traceable profiler instrument for areal roughness measurement | |
| JP4852264B2 (ja) | 表面形状測定用触針式段差計及びその針圧補正方法 | |
| JP2005308406A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| US7108167B2 (en) | Wire bonder with a device for determining the vectorial distance between the capillary and the image recognition system and method | |
| JP2649410B2 (ja) | レーザーダイオード出射光量の制御方法及び制御装置 | |
| JP2016194511A (ja) | 走査プローブ顕微鏡、走査プローブ顕微鏡の測定レンジ調整方法及び測定レンジ調整プログラム | |
| CN101206876A (zh) | 光盘装置及其信息记录方法 | |
| US11062730B2 (en) | Method for evaluating magnetic head and evaluation apparatus of magnetic head | |
| US7961578B2 (en) | Method and apparatus for generating synchronous clock for write operation in a disk drive | |
| JP4957919B2 (ja) | 磁気特性検査方法及び装置 | |
| JP2008215930A (ja) | 試料表面の測定方法及び測定装置 | |
| JPS6347601A (ja) | スキヤニングキヤパシタンスマイクロスコピ− | |
| JP2797585B2 (ja) | 走査型トンネリング分光装置 | |
| KR100667735B1 (ko) | 액튜에이터의 이동속도 제어장치 및 방법 | |
| US20050243671A1 (en) | Compensation method for front monitor diode | |
| CN121576877A (zh) | 一种量块自动化检定装置及检定方法 | |
| JP4502140B2 (ja) | 液体材料塗布方法及び装置 |