JPH1060626A - 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 - Google Patents
酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法Info
- Publication number
- JPH1060626A JPH1060626A JP21737296A JP21737296A JPH1060626A JP H1060626 A JPH1060626 A JP H1060626A JP 21737296 A JP21737296 A JP 21737296A JP 21737296 A JP21737296 A JP 21737296A JP H1060626 A JPH1060626 A JP H1060626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- film
- electron beam
- aluminum
- aluminum oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】蒸着源をアルミニウムとし、電子線により加熱
蒸発させると共に、真空槽内に酸素を供給して反応さ
せ、酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造する反応蒸着
において、バリア性の優れた酸化アルミニウムの蒸着膜
を連続的に製造を可能とする。 【解決手段】蒸着源のアルミニウムへ照射する電子線の
位置を、冷却ドラムの中心と酸素吹き出し口を結ぶ線の
延長した位置より、走行するプラスチックフィルムの巻
き出し側とし、アルミニウムを蒸発させ、供給した酸素
と反応させる。
蒸発させると共に、真空槽内に酸素を供給して反応さ
せ、酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造する反応蒸着
において、バリア性の優れた酸化アルミニウムの蒸着膜
を連続的に製造を可能とする。 【解決手段】蒸着源のアルミニウムへ照射する電子線の
位置を、冷却ドラムの中心と酸素吹き出し口を結ぶ線の
延長した位置より、走行するプラスチックフィルムの巻
き出し側とし、アルミニウムを蒸発させ、供給した酸素
と反応させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子線を照射し、
蒸着源のアルミニウムを蒸発させると共に、酸素と反応
させる酸化アルミニウム蒸着方法で、バリア性の優れた
連続酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造する方法に関
する。
蒸着源のアルミニウムを蒸発させると共に、酸素と反応
させる酸化アルミニウム蒸着方法で、バリア性の優れた
連続酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造する方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】連続したプラスチックフィルム上に酸化
アルミニウムを蒸着した蒸着フィルムは、特開昭５８−
２１７３号に示されるように、ガスバリア性フィルムと
して、既に知られている。
アルミニウムを蒸着した蒸着フィルムは、特開昭５８−
２１７３号に示されるように、ガスバリア性フィルムと
して、既に知られている。
【０００３】この酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造
方法として、酸化アルミニウム自体を蒸発源とする方法
が一般的である。しかし、酸化アルミニウムを蒸発源と
した場合は、蒸気圧が低く、また、蒸発には高温で行わ
なければならない課題があった。
方法として、酸化アルミニウム自体を蒸発源とする方法
が一般的である。しかし、酸化アルミニウムを蒸発源と
した場合は、蒸気圧が低く、また、蒸発には高温で行わ
なければならない課題があった。
【０００４】そこで、アルミニウムを蒸発源とし、アル
ミニウム蒸気中に酸素ガスを導入しながら蒸着する、い
わゆる反応蒸着法により、酸化アルミニウム蒸着フィル
ムを製造する方法が知られている。この反応蒸着法は、
真空槽内に酸素を導入しながら蒸着を行うため、供給す
る酸素量とアルミニウムの蒸発量との割合が重要となっ
てくる。この酸素の供給量とアルミニウムの蒸発量との
割合を特定することにより、真空槽内の圧力を一定の範
囲内にすることができ、均一な膜厚の酸化アルミニウム
層をプラスチックフィルム上に蒸着する方法が提案され
ている。（特公平６−９９７９８号参照）
ミニウム蒸気中に酸素ガスを導入しながら蒸着する、い
わゆる反応蒸着法により、酸化アルミニウム蒸着フィル
ムを製造する方法が知られている。この反応蒸着法は、
真空槽内に酸素を導入しながら蒸着を行うため、供給す
る酸素量とアルミニウムの蒸発量との割合が重要となっ
てくる。この酸素の供給量とアルミニウムの蒸発量との
割合を特定することにより、真空槽内の圧力を一定の範
囲内にすることができ、均一な膜厚の酸化アルミニウム
層をプラスチックフィルム上に蒸着する方法が提案され
ている。（特公平６−９９７９８号参照）
【０００５】一方、蒸発方法の１つとして、電子線照射
加熱方法があり、この蒸着方法で、前記アルミニウムを
蒸発源とし、アルミニウム蒸気中に酸素ガスを導入しな
がら蒸着する、いわゆる反応蒸着法により安定した性
能、膜厚の酸化アルミニウムを蒸着させる場合、アルミ
ニウムの蒸発量と、酸素の供給量の割合が重要であると
共に、電子線のアルミニウムへ照射する位置により、形
成される酸化アルミニウム蒸着層のバリア性が変化する
ことがわかった。
加熱方法があり、この蒸着方法で、前記アルミニウムを
蒸発源とし、アルミニウム蒸気中に酸素ガスを導入しな
がら蒸着する、いわゆる反応蒸着法により安定した性
能、膜厚の酸化アルミニウムを蒸着させる場合、アルミ
ニウムの蒸発量と、酸素の供給量の割合が重要であると
共に、電子線のアルミニウムへ照射する位置により、形
成される酸化アルミニウム蒸着層のバリア性が変化する
ことがわかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、アルミニウ
ムを蒸発源とし、真空槽内に酸素を供給しながら連続し
たプラスチックフィルム上に、酸化アルミニウムを連続
的に蒸着する製造方法において、電子線照射により蒸着
源を加熱する方式で、安定した性能を有する酸化アルミ
ニウム蒸着層を形成する、酸化アルミニウム蒸着フィル
ムの製造方法を提供することを目的とする。
ムを蒸発源とし、真空槽内に酸素を供給しながら連続し
たプラスチックフィルム上に、酸化アルミニウムを連続
的に蒸着する製造方法において、電子線照射により蒸着
源を加熱する方式で、安定した性能を有する酸化アルミ
ニウム蒸着層を形成する、酸化アルミニウム蒸着フィル
ムの製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ルツボ内のア
ルミニウムに電子線を照射して、アルミニウムを加熱蒸
発させ、かつ、冷却ドラムの下方に設けた酸素吹き出し
口から供給した酸素と反応させることにより、酸化アル
ミニウム蒸着フィルムとする製造方法において、連続し
たプラスチックフィルムを真空槽内に設置された巻取軸
から巻き出し、冷却ドラムに沿って走行させながら、フ
ィルム巻取軸に巻き取る製造工程で、前記蒸着を、電子
線のルツボのアルミニウムに照射する位置を、冷却ドラ
ムの中心と酸素吹き出し口を結ぶ線の延長した位置より
巻き出し側としたことを特徴とする、酸化アルミニウム
蒸着フィルムの製造方法である。
ルミニウムに電子線を照射して、アルミニウムを加熱蒸
発させ、かつ、冷却ドラムの下方に設けた酸素吹き出し
口から供給した酸素と反応させることにより、酸化アル
ミニウム蒸着フィルムとする製造方法において、連続し
たプラスチックフィルムを真空槽内に設置された巻取軸
から巻き出し、冷却ドラムに沿って走行させながら、フ
ィルム巻取軸に巻き取る製造工程で、前記蒸着を、電子
線のルツボのアルミニウムに照射する位置を、冷却ドラ
ムの中心と酸素吹き出し口を結ぶ線の延長した位置より
巻き出し側としたことを特徴とする、酸化アルミニウム
蒸着フィルムの製造方法である。
【０００８】
【作用】電子線のルツボのアルミニウムの照射位置を、
冷却ドラムの中心と酸素吹き出し口を結ぶ線の延長した
位置より巻き出し側とすることにより、蒸発したアルミ
ニウムと酸素との反応が効果的に行うことができる。
冷却ドラムの中心と酸素吹き出し口を結ぶ線の延長した
位置より巻き出し側とすることにより、蒸発したアルミ
ニウムと酸素との反応が効果的に行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の反応蒸着装置の
一例を示す説明図である。真空槽１内に設置された巻取
軸２に巻かれた連続したプラスチックフィルム５は、−
３０℃〜１０℃に冷却された冷却ドラム３に沿って走行
しながら、フィルム巻取軸４に巻き取られる。同時に、
ルツボ６内のアルミニウムに電子線ビーム銃７から電子
線を照射して、アルミニウムを蒸発し、かつアルミニウ
ムの蒸気雰囲気内に位置したガス吹き出し口８から酸素
を供給する。
一例を示す説明図である。真空槽１内に設置された巻取
軸２に巻かれた連続したプラスチックフィルム５は、−
３０℃〜１０℃に冷却された冷却ドラム３に沿って走行
しながら、フィルム巻取軸４に巻き取られる。同時に、
ルツボ６内のアルミニウムに電子線ビーム銃７から電子
線を照射して、アルミニウムを蒸発し、かつアルミニウ
ムの蒸気雰囲気内に位置したガス吹き出し口８から酸素
を供給する。
【００１０】この時、図２に示すように、電子ビーム銃
７から電子線の照射角度を変えることにより、ルツボ６
のアルミニウムに照射する位置を、冷却ドラム３の中心
と酸素吹き出し口８を結ぶ線の延長した位置より巻き出
し側に１５〜４０ｍｍの位置（方法１）、冷却ドラム３
の中心と酸素吹き出し口８を結ぶ線の延長した位置（方
法２）、および冷却ドラム３の中心と酸素吹き出し口８
を結ぶ線の延長した位置Ａより巻き取り側に１５〜４０
ｍｍの位置（方法３）でそれぞれ以下の条件で蒸着を行
った。
７から電子線の照射角度を変えることにより、ルツボ６
のアルミニウムに照射する位置を、冷却ドラム３の中心
と酸素吹き出し口８を結ぶ線の延長した位置より巻き出
し側に１５〜４０ｍｍの位置（方法１）、冷却ドラム３
の中心と酸素吹き出し口８を結ぶ線の延長した位置（方
法２）、および冷却ドラム３の中心と酸素吹き出し口８
を結ぶ線の延長した位置Ａより巻き取り側に１５〜４０
ｍｍの位置（方法３）でそれぞれ以下の条件で蒸着を行
った。
【００１１】前記蒸着方法を行った本発明の具体的条件
について説明する。幅５０ｃｍのポリエステルフィルム
（厚さ１２μｍ）を６００ｍ／分の速度で走行させ、こ
のポリエステルフィルム上に、厚さ４００Åの酸化アル
ミニウム層を蒸着するため、蒸着源となるアルミニウム
の蒸発量Ａを１０８．３ｇ／分（４．０モル／分）と
し、一方、酸素の供給量Ｂを８〜１３リットル／分
（０．４７７〜０．７７４モル／分）とした。すなわ
ち、酸素供給量Ｂ／アルミニウム蒸発量を０．１２〜
０．１９となる範囲に条件で行った。この時、蒸発した
アルミニウムがポリエステルフィルム上に、酸化アルミ
ニウムとしての付着効率を３０％とし、酸素供給量が過
剰にならないように設定した。
について説明する。幅５０ｃｍのポリエステルフィルム
（厚さ１２μｍ）を６００ｍ／分の速度で走行させ、こ
のポリエステルフィルム上に、厚さ４００Åの酸化アル
ミニウム層を蒸着するため、蒸着源となるアルミニウム
の蒸発量Ａを１０８．３ｇ／分（４．０モル／分）と
し、一方、酸素の供給量Ｂを８〜１３リットル／分
（０．４７７〜０．７７４モル／分）とした。すなわ
ち、酸素供給量Ｂ／アルミニウム蒸発量を０．１２〜
０．１９となる範囲に条件で行った。この時、蒸発した
アルミニウムがポリエステルフィルム上に、酸化アルミ
ニウムとしての付着効率を３０％とし、酸素供給量が過
剰にならないように設定した。
【００１２】上記方法で蒸着した酸化アルミニウム蒸着
フィルムの酸素、および水蒸気のバリア性を表１に示す
通りであった。
フィルムの酸素、および水蒸気のバリア性を表１に示す
通りであった。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、電子線のアルミニウム
へ照射する位置を、冷却ドラム３の中心と酸素吹き出し
口８を結ぶ線の延長した位置より巻き出し側にずらした
位置とすることにより、バリア性の優れた、酸化アルミ
ニウム蒸着フィルムを製造することができる。また、電
子線照射による蒸着方法であり、より少ない酸素の供給
量での反応蒸着ができ、圧力のバラツキが小さく、より
効果的に酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造が可能と
なった。
へ照射する位置を、冷却ドラム３の中心と酸素吹き出し
口８を結ぶ線の延長した位置より巻き出し側にずらした
位置とすることにより、バリア性の優れた、酸化アルミ
ニウム蒸着フィルムを製造することができる。また、電
子線照射による蒸着方法であり、より少ない酸素の供給
量での反応蒸着ができ、圧力のバラツキが小さく、より
効果的に酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造が可能と
なった。
【図１】本発明の蒸着フィルムを製造する装置の概略を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】図１における電子線の照射位置を示す説明図で
ある。
ある。
１…真空槽 ２、４…巻取軸 ３…冷却ドラム ５…プラスチックフィルム ６…ルツボ ７…電子ビーム銃 ８…ガス吹き出し口
Claims (1)
- 【請求項１】ルツボ内のアルミニウムに電子線を照射し
て、アルミニウムを加熱蒸発させ、かつ、冷却ドラムの
下方に設けた酸素吹き出し口から供給した酸素と反応さ
せることにより、酸化アルミニウム蒸着フィルムとする
製造方法において、連続したプラスチックフィルムを真
空槽内に設置された巻取軸から巻き出し、冷却ドラムに
沿って走行させながら、フィルム巻取軸に巻き取る製造
工程で、前記蒸着を、電子線のルツボのアルミニウムに
照射する位置を、冷却ドラムの中心と酸素吹き出し口を
結ぶ線の延長した位置より巻き出し側としたことを特徴
とする、酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21737296A JPH1060626A (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21737296A JPH1060626A (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1060626A true JPH1060626A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=16703147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21737296A Pending JPH1060626A (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1060626A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110527955A (zh) * | 2019-09-30 | 2019-12-03 | 长春理工大学 | 一种阶跃低折射率Al2O3薄膜的制备方法 |
| RU2709069C1 (ru) * | 2019-06-03 | 2019-12-13 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" | Способ электронно-лучевого нанесения упрочняющего покрытия на изделия из полимерных материалов |
-
1996
- 1996-08-19 JP JP21737296A patent/JPH1060626A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2709069C1 (ru) * | 2019-06-03 | 2019-12-13 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" | Способ электронно-лучевого нанесения упрочняющего покрытия на изделия из полимерных материалов |
| CN110527955A (zh) * | 2019-09-30 | 2019-12-03 | 长春理工大学 | 一种阶跃低折射率Al2O3薄膜的制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4543275A (en) | Method of forming thin vapor deposited film of organic material | |
| US7541070B2 (en) | Method of vapor-depositing strip-shaped substrates with a transparent barrier layer made of aluminum oxide | |
| CA2018886A1 (en) | Process for making diamond, doped diamond, diamond-cubic boron nitride composite films at low temperature | |
| JPH08197676A (ja) | 障壁層を有するプラスチックフィルムの製造方法および装置 | |
| JPH1060626A (ja) | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 | |
| KR0148355B1 (ko) | 고용체 층으로 피복된 작업편, 그 제조방법, 작업편의 용도, 및 상기 방법을 실시하기 위한 장치 | |
| JPH07286265A (ja) | 真空ウェブ・コーテング用方法及び装置 | |
| JPS62103359A (ja) | 透明ガス遮断性フイルムの製造方法 | |
| JP2570279B2 (ja) | 包装用フイルム | |
| JP3295955B2 (ja) | 蒸着フィルムの製造方法 | |
| JP3837782B2 (ja) | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 | |
| JPH11200011A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| EP0656430B2 (en) | Process and apparatus for the codeposition of metallic oxides on plastic films. | |
| JPH04110752U (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP2001192808A (ja) | 透明ＡｌＯｘバリア膜の形成方法及び製造装置 | |
| JPH09165674A (ja) | 真空被覆装置 | |
| JPH08325710A (ja) | 金属酸化物蒸着方法 | |
| JPH0533122A (ja) | 蒸着フイルム | |
| JP4934902B2 (ja) | 巻き取り式真空蒸着装置 | |
| JPH0693447A (ja) | 蒸着フィルムの製造装置 | |
| JP4491656B2 (ja) | 光触媒層被覆部材及びその製造方法 | |
| JP2898652B2 (ja) | イオンプレーティング用蒸発装置 | |
| JP2002020857A (ja) | 真空成膜装置及び成膜用坩堝。 | |
| JP3781154B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0714161A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060421 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060502 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060619 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060718 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |