JPH1062146A - シート状物の欠陥検査装置 - Google Patents
シート状物の欠陥検査装置Info
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- JPH1062146A JPH1062146A JP22377796A JP22377796A JPH1062146A JP H1062146 A JPH1062146 A JP H1062146A JP 22377796 A JP22377796 A JP 22377796A JP 22377796 A JP22377796 A JP 22377796A JP H1062146 A JPH1062146 A JP H1062146A
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Abstract
ず、常に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、
かつ検査精度の高いシート状物の検査装置を提供する。 【解決手段】 一定方向に移動するベルト上にシート状
被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散
乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する
欠陥を検出する装置に於いて、（１）ベルトに通気性素
材を用いること、（２）検査位置を通過するベルト下部
に、ベルトの走行方向面に垂直に複数の孔またはスリッ
トを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、
検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より
吸引すること、（３）該センサーの撮像部（焦点）が天
板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセン
サーが配設された構造の欠陥検査装置とする。
Description
のシート状被検査物に存在する異物、傷、ピンホール等
の欠陥をＣＣＤリニアイメージセンサーやレーザー式検
査機等のセンサーを用いて電子的に検出する光学的検査
装置に関するものである。
ィルター等の光学フィルムに存在する異物、傷、ピンホ
ール等の欠陥は図６に示す如く光源１より光を照射し、
シート状被検査物２よりの反射散乱光をＣＣＤリニアイ
メージセンサー３で受光し、そのセンサーからの出力信
号を図示しない検出手段で検出し、シートに存在する欠
陥を光の明暗として判断・検出する方法が行われてい
る。これらを工業的に検査する場合には一連の製造工程
の中で、一定方向に移動するベルト上にフィルム等のシ
ート状被検査物を載置し、特定場所にセンサーの焦点を
合わせて上記した方法により検査が行われているが、こ
れらの検査方法はフィルム面上で反射する散乱光にセン
サーの焦点距離を合わせていることより、ベルト上に載
置されたフィルムに何らかの要因で撓みや凹凸等が生じ
る場合には欠陥として検出されるため、検査位置に於け
るフィルムはセンサーと等距離に位置し焦点がずれない
ようにする必要がある。
査位置を通過するベルト下部に真空吸引ボックスを配設
し、検査位置を通過するフィルムをベルト下部より吸着
し検査に供するフィルムをベルトに密着させ検査する方
法が考えられる。この方法はベルトにフィルムを吸着さ
せるため、フィルム周囲の巻き上がり等は防止し得る
が、フィルム（シート）が大きい場合には真空吸引ボッ
クスの中央部が周辺部よりも下方に撓んで、その反射画
像波形は図５のようになり焦点距離が合い難いとの欠点
を有する。
的で本発明者等は図４に示すような真空吸引ボックスに
２〜５ｍｍ径の丸孔を穿った厚み３ｍｍの金属製ラス板
を天板として配設し用いたが、検査に供するフィルムが
薄い場合には、該丸孔中央部に於いて微妙にフィルムが
下方に撓み、その反射画像波形は図４のようになり、欠
陥が存在する場合との差異が不明確となり、上述した方
法の欠点を完全には解決し得なかった。かかる知見を基
礎として本発明者等は、大きさ、厚みに影響されず、常
に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、かつ精
度の高いシ−ト状物の欠陥検査装置を見出すべく鋭意検
討した結果、該真空吸引ボックスに敷設する天板形状を
工夫し、特定位置にセンサーを配設するという簡単な方
法で上記問題点が全て解決し得ることを見出し、本発明
を完成するに至った。
に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これ
に光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光
し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に
於いて、（１）ベルトに通気性素材を用いること、
（２）検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行
方向面に垂直に複数の孔またはスリットを複数列設けた
天板を有する真空吸引機構を配設し、検査位置を通過す
るシート状被検査物をベルト下部より吸引すること、
（３）該センサーの撮像部（焦点）が天板に穿った孔間
またはスリット間になる如く光源とセンサーが配設され
てなることを特徴とするシ−ト状物の欠陥検査装置を提
供するにある。
に詳細に説明する。図１は本発明のシ−ト状物の欠陥検
査装置を示す概略図であり、図２〜図４はベルト４と接
触する真空吸引機構５の天板構造を示す概略図である。
図１においてシート状被検査物である偏光フィルム２は
走行するベルト上に載置され検査位置Ａまで搬送され
る。検査位置Ａはベルト下部に真空吸引ボックス５と天
板６よりなる真空吸引機構Ｂを持ち、ベルトで搬送され
てきた偏光フィルムをベルト下部より吸引しベルト上に
密着させ、この状態に於いて光源１から照射された光を
反射散乱光としてＣＣＤリニアイメージセンサー或いは
レーザー式検査機等のセンサー３で受光し、そのセンサ
ーからの出力信号を図示しない検出手段で検出する構造
となっている。この方法に於いて欠陥はその光の明暗と
して検出し判断する。
の孔構造に特徴を有する。図２及び図３は本発明に用い
る天板６を示すものである。図２に示す天板６に於いて
はベルト４の走行方向面に垂直に丸孔７を連続的に、且
つ複数列有する例である。図３はベルトの走行方向面に
垂直にスリット８を複数列有する例である。該孔の数、
孔径、孔の形状、スリットの幅、列数等はベルト上に載
置されたフィルムがベルトに密着すればよく、特に制限
されないが、通常孔径５ｍｍ〜２０ｍｍ、孔間隔５ｍｍ
〜１５ｍｍ、各列の間隔５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲で実施
すればよい。またスリットの場合にはスリットの幅５ｍ
ｍ〜１５ｍｍ、各列の間隔５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲で実
施すればよい。
間Ｙに常にセンサーの焦点がある状態で光源１及びセン
サー３をベルト４の走行方向面に垂直なラインＡ上に設
置することを必須とする。かかる構造とすることによ
り、検査位置Ａは常に天板６の孔或いはスリットのない
平板上に存在するフィルム部を検査するため、検査位置
Ａのフィルム部には撓みや凹凸が生じ難く、図２、図３
の反射画像波形に見られる如く、画像はフラットである
ため、誤認が少なく検出精度が向上する。検査位置Ａは
天板に形成されるいずれのスリット間Ｙ〜Ｙn'或いは孔
間Ｙ〜Ｙn'であってもよい。
りの吸引能がベルト上のフィルム２に達し得るものであ
ればよく、通常厚み約０．３ｍｍ〜０．５ｍｍのポリエ
チレン製の多孔質ベルトが使用される。ベルトの色は特
に制限されないが通常グレーが使用される。真空吸引ボ
ックス５の天板６とベルト４の間に抵抗を少なくする目
的で厚み約２ｍｍ〜４ｍｍのポリエチレン製の多孔質シ
ート９を配設してもよい。また天板６の素材はステンレ
ス、合成樹脂成形体、セラミックス等いずれでもよく、
特に制限されない。真空吸引ボックス内の真空度は通常
約７０ｍｍＨｇ〜約９０ｍｍＨｇの範囲で実施される。
構の天板を特殊構造とし、センサーの撮像部（焦点）を
特定位置に配設するのみで、何ら操作を複雑化すること
なく、従来公知のＣＣＤリニアイメージセンサー等を用
いた光学的検査装置の検出精度を向上せしめ得るもので
あり、その産業上の効果はすこぶる大である。
検査装置の概略図である。
びこれを用いた反射画像波形を示す。
びこれを用いた反射画像波形を示す。
びこれを用いた反射画像波形を示す。
れを用いた反射画像波形を示す。
検査装置の概略図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 一定方向に移動するベルト上にシート状
被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散
乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する
欠陥を検出する装置に於いて、（１）ベルトに通気性素
材を用いること、（２）検査位置を通過するベルト下部
に、ベルトの走行方向面に垂直に複数の孔またはスリッ
トを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、
検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より
吸引すること、（３）該センサーの撮像部（焦点）が天
板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセン
サーが配設されてなることを特徴とするシ−ト状物の欠
陥検査装置。 - 【請求項２】 センサーがＣＣＤリニアイメージセンサ
ーまたはレーザー式検査機であることを特徴とする請求
項１記載のシ−ト状物の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22377796A JP3677885B2 (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | シート状物の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22377796A JP3677885B2 (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | シート状物の欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062146A true JPH1062146A (ja) | 1998-03-06 |
| JP3677885B2 JP3677885B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=16803556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22377796A Expired - Fee Related JP3677885B2 (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | シート状物の欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3677885B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155736A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Ever Techno Co Ltd | 偏光フィルム検査装置及び方法 |
| JP2009008645A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Ncb Networks Co Ltd | 多段階方式の偏光フィルム検査装置 |
| CN100462778C (zh) * | 2005-12-05 | 2009-02-18 | 恩富技术株式会社 | 偏振光膜检查装置及方法 |
| KR100922616B1 (ko) * | 2007-10-24 | 2009-10-21 | 주식회사 아바코 | 필름 검사장치 |
| JP2009244024A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | フィルム欠陥検査方法及び装置 |
| JP2012078120A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kirin Techno-System Co Ltd | 容器用キャップの検査装置 |
-
1996
- 1996-08-26 JP JP22377796A patent/JP3677885B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2009244024A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | フィルム欠陥検査方法及び装置 |
| JP2012078120A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kirin Techno-System Co Ltd | 容器用キャップの検査装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3677885B2 (ja) | 2005-08-03 |
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